KR102659882B1 - 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템 - Google Patents

천장 반송차 및 천장 반송차 시스템 Download PDF

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Abstract

천장 반송차(6)는, 궤도(4)를 따라 주행 가능한 주행부(18)와, FOUP(10)을 파지하는 척(30A)을 가지고, 또한 주행부(18)에 대하여 현수 부재(28A)에 의해 승강되는 승강부(30)를 구비한 천장 반송차(6)이다. 천장 반송차(6)는 주행부(18)에 마련되어, 천장 반송차(6)에 있어서의 각 부를 제어하는 본체 컨트롤러(50)와, 승강부(30)에 마련되어, 승강부(30)에 생기는 진동을 검출하는 진동 검출부(55A)와, 승강부(30)에 마련되어, 진동 검출부(55A)에 의한 진동의 검출 결과가, 미리 설정된 허용 범위(R) 내인지 여부를 판정하고, 또한 판정의 결과를 본체 컨트롤러(50)에 출력하는 진동 감시부(55B)를 구비한다.

Description

천장 반송차 및 천장 반송차 시스템
본 발명의 일측면은, 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템에 관한 것이다.
궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가지고, 상기 본체부에 대하여 복수의 현수 부재가 감기 및 풀기됨으로써 승강하는 승강부를 구비한 천장 반송차가 알려져 있다. 이러한 천장 반송차에서는, 승강부에 파지되는 물품에 생기는 진동을 간이한 구성으로 감시하고자 하는 니즈가 있다. 예를 들면 특허 문헌 1에는, 천장 반송차에 진동 센서를 마련하고, 진동 센서에 의해 취득되는 진동을, 주행 모터 및 승강 모터의 출력 토크와 회전수 등과 함께, 천장 반송차의 외부에 마련된 진단 장치로 송신하여, 진단 장치가 천장 반송차의 진단을 자동적으로 행할 수 있도록 한 진단 시스템이 개시되어 있다.
일본특허공개공보 2006-315813호
그러나, 상기 종래의 진단 시스템은, 천장 반송차로부터 송신되는 다양한 정보에 기초하여 고도의 분석·진단을 하는 진단 장치를 마련할 필요가 있기 때문에, 승강부에 파지되는 물품에 생기는 진동을 간이한 구성으로 파악하고자 하는 니즈에는 부합하지 않는다. 또한, 상기 종래의 진단 시스템은, 진동 센서에 의해 취득되는 진동 정보를 그대로 송신하고, 또한 출력 토크 및 회전수도 송신하는 구성이기 때문에, 천장 반송차에 탑재되어 있는 본체 제어부에 있어서의 통신을 포함한 처리의 부하도 커진다.
따라서, 본 발명의 일측면의 목적은, 천장 반송차에 탑재되어 있는 본체 제어부에 있어서의 처리의 부하를 증대시키지 않고 또한 간이한 구성으로, 승강부에 파지되는 물품에 생기는 진동을 감시할 수 있는 천장 반송차 및 천장 반송차 시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차는, 궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가지고 또한 본체부에 대하여 현수 부재에 의해 승강되는 승강부를 구비한 천장 반송차로서, 본체부에 마련되어, 천장 반송차에 있어서의 각 부를 제어하는 본체 제어부와, 승강부에 마련되어, 승강부에 생기는 진동을 검출하는 진동 검출부와, 승강부에 마련되어, 진동 검출부에 의한 진동의 검출 결과가, 미리 설정된 허용 범위 내인지 여부를 판정하고, 또한 판정의 결과를 본체 제어부에 출력하는 진동 감시부를 구비한다.
이 구성에서는, 진동의 검출 결과가 미리 설정된 허용 범위를 초과했는지 여부의 판정 결과만이, 진동 감시부로부터 본체 제어부에 출력되므로, 진동 검출부에 의해 검출되는 검출 결과 전부가 본체 제어부에 출력되는 구성에 비해, 본체 제어부에 있어서의 처리의 부하를 경감시킬 수 있다. 또한, 이 구성에서는, 검출되는 진동이 미리 설정된 허용 범위 내인지 여부를 판정할 뿐이므로, 고도의 분석 등을 실시하지 않고 간이한 구성으로 물품에 생기는 진동을 감시할 수 있다. 이러한 결과, 천장 반송차에 탑재되어 있는 본체 제어부에 있어서의 처리의 부하를 증대시키지 않고 또한 간이한 구성으로, 승강부에 파지되는 물품에 생기는 진동을 감시할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 본체 제어부는, 진동 감시부에 대하여 허용 범위를 설정해도 된다. 이에 의해, 이상인 진동을 판정하기 위한 허용 범위를 용이하게 설정하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 진동 감시부는, 진동 검출부에 의해 검출되는 진동이 허용 범위를 초과했을 때에, 그 취지를 본체 제어부에 출력해도 된다. 이 구성에서는, 진동 검출부에 의해 검출되는 진동이 허용 범위를 초과했다고 판정되었을 때만, 즉 진동 감시부가 이상인 진동을 검지했다고 판정되었을 때만, 본체 제어부에 그 취지를 출력하므로, 본체 제어부에 있어서의 처리의 부하를 더 경감시키는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 진동 감시부는, 주행 시에 있어서의 진동의 판정의 결과 및 물품의 승강 시에 있어서의 진동의 판정의 결과 중 적어도 일방을 본체 제어부에 출력해도 된다. 이 구성에서는, 천장 반송차의 주행 중에 있어서의 이상인 진동, 및 천장 반송차가 정지한 상태에서의 승강부의 승강 중에 있어서의 이상인 진동 중 적어도 일방을 감시하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차에서는, 진동 감시부는, 복수의 허용 범위를 설정 가능하게 마련되어 있고, 천장 반송차의 동작 상황에 따라 허용 범위가 전환되도록 설정되어 있어도 된다. 여기서 말하는 동작 상황에는, 예를 들면 직선 궤도 주행 시, 곡선 궤도 주행 시 및 물품 승강 시 등이 포함된다. 이 구성에서는, 천장 반송차의 동작 상황에 따른 이상인 진동을 적절하게 취득하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따른 천장 반송차 시스템은, 상술한 복수의 천장 반송차와, 복수의 천장 반송차에 있어서의 본체 제어부와 통신 가능하게 마련된 상태 감시부를 구비하고, 상태 감시부는, 진동 감시부에 의한 판정의 결과와 궤도 상의 위치를 관련지어 기억하고, 또한 판정의 결과를 궤도의 배치를 나타내는 맵 데이터에 중첩한 정보를 출력해도 된다. 이 구성에서는, 이상인 진동(진동이 허용 범위를 초과한 것)과, 그 이상인 진동이 발생한 위치가 관련지어진 상태로 기억되므로, 이상인 진동이 발생하고 있는 개소의 파악이 용이해진다. 또한, 이상인 진동이 발생하고 있는 위치는, 맵 데이터에 중첩하여 표시되므로, 이상인 진동이 발생하고 있는 위치의 시각적인 인식이 가능해진다.
본 발명의 일측면에 따르면, 천장 반송차에 탑재되어 있는 본체 제어부에 있어서의 처리의 부하를 증대시키지 않고 또한 간이한 구성으로, 승강부에 파지되는 물품에 생기는 진동을 감시할 수 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 이동 재치(載置) 장치를 구비하는 천장 반송차를 나타내는 측면도이다.
도 2는 도 1의 천장 반송차의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 진동 검출부가 검출하는 진동의 검출 결과의 일례이다.
도 4는 도 1의 천장 반송차에 있어서의 진동의 감시의 흐름을 나타내는 순서도이다.
도 5는 반송 컨트롤러가 출력하는 진동 감시 화면의 일례이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일측면의 적합한 일실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략한다.
일실시 형태의 천장 반송차 시스템(1)은, 복수의 천장 반송차(6)(도 1 참조)와, 궤도(4)와, 반송 컨트롤러(70)(도 2 참조)를 구비하고 있다.
도 1에 나타나는 바와 같이, 일실시 형태의 천장 반송차(6)는, 궤도(4)를 따라 이동 가능한 천장 반송차로서, FOUP(Front Opening Unified Pod)(물품)(10)을 재치부(도시하지 않음) 간에서 반송하기 위한 시스템에 이용된다. 천장 반송차(6)는, FOUP(10) 대신에, 예를 들면, 복수의 글라스 기판을 저장하는 레티클 포드 등과 같은 용기, 그리고 일반 부품 등을 반송해도 된다. 여기서는, 예를 들면, 공장의 천장 등에 부설된 일방 통행의 궤도(4)를 따라 천장 반송차(6)가 주행하는 천장 반송차 시스템(1)에 이용되는 천장 반송차(6)를 예로 들어 설명한다.
궤도(4)는, 예를 들면, 작업자의 머리 위 스페이스인 천장 부근에 부설되어 있다. 궤도(4)는, 예를 들면 천장으로부터 현수되어 있다. 궤도(4)는, 천장 반송차(6)를 주행시키기 위한 미리 정해진 주행로이다. 재치부는 궤도(4)를 따라 배치되어, 천장 반송차(6)가 FOUP(10)을 전달 가능한 위치에 마련되어 있다. 재치부에는, 버퍼 및 전달 포트가 포함된다. 버퍼는, FOUP(10)이 일시적으로 재치되는 재치부이다. 버퍼는, 예를 들면, 목적으로 하는 전달 포트에 다른 FOUP(10)이 재치되어 있는 등의 이유에 의해, 천장 반송차(6)가 반송하고 있는 FOUP(10)을 그 전달 포트로 이동 재치할 수 없는 경우에, FOUP(10)이 임시 재치되는 재치부이다. 전달 포트는, 예를 들면 세정 장치, 성막 장치, 리소그래피 장치, 에칭 장치, 열 처리 장치, 평탄화 장치를 비롯한 반도체의 처리 장치(도시하지 않음)에 대하여 FOUP(10)의 전달을 행하기 위한 재치부이다. 또한, 처리 장치는 특별히 한정되지 않으며, 각종 장치여도 된다.
천장 반송차(6)는, 궤도(4)를 따라 주행하여, FOUP(10)을 반송한다. 천장 반송차(6)는, 천장 주행식 무인 반송차이다. 천장 반송차 시스템(1)이 구비하는 천장 반송차(6)의 대수는 특별히 한정되지 않으며, 복수이다. 도 1 및 도 2에 나타나는 바와 같이, 천장 반송차(6)는 주행부(18)와, 이동 재치 장치(7)와, 본체 컨트롤러(본체 제어부)(50)를 가진다.
주행부(18)는 모터 등을 포함하여 구성되고, 천장 반송차(6)를 궤도(4)를 따라 주행시킨다. 이동 재치 장치(7)는 본체부(22)와, 횡방향 이송부(24)와, θ 드라이브(26)와, 승강 구동부(28)와, 승강부(30)와, 전후 프레임(33, 33)을 가진다.
본체부(22)는 횡방향 이송부(24), θ 드라이브(26), 승강 구동부(28) 및 승강부(30)를 지지한다. 횡방향 이송부(24)는 θ 드라이브(26), 승강 구동부(28) 및 승강부(30)를 일괄하여, 궤도(4)의 주행 방향과 직각인 방향으로 횡측 이송한다. θ 드라이브(26)는, 승강 구동부(28) 및 승강부(30) 중 적어도 어느 하나를 수평면 내에서 정해진 각도 범위 내에서 회동시킨다. 승강 구동부(28)는, 와이어, 로프 및 벨트 등의 현수 부재(28A)를 감거나 또는 풂으로써 승강부(30)를 승강시킨다.
승강부(30)에는, 척(파지부)(30A)과, 센서 유닛(55)이 마련되어 있다. 척(30A)은, FOUP(10)의 플랜지부를 하방으로부터 지지한 상태로 보지(保持)한다. 척(30A)은, FOUP(10)의 보지 또는 해방이 가능하게 되어 있다. 전후 프레임(33, 33)은, 도시하지 않는 클로 등을 출몰시켜, 반송 중에 FOUP(10)이 낙하하는 것을 방지한다. 전후 프레임(33, 33)은, 천장 반송차(6)의 주행 방향의 전후에 마련되어 있다.
센서 유닛(55)은, 승강부(30)에 생기는 진동(즉, 척(30A)에 파지되는 FOUP(10)에 생기는 진동)을 검출하여, 검출 결과를 후단에서 상술하는 본체 컨트롤러(50)에 출력한다. 센서 유닛(55)은, 진동을 검출하는 진동 검출부(55A)와 진동 감시부(55B)를 가지고 있다. 진동 검출부(55A)는, 예를 들면 3축 가속도 센서이며, X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 진동을 검출한다. 진동 검출부(55A)는, 승강부(30)를 Z축 방향으로부터 평면으로 봤을 때에, 승강부(30)의 중심 위치에 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 척(30A)에 인접하는 위치에 마련되어 있다. 진동 검출부(55A)는, 정해진 간격으로 연속적으로, X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 진동을 검출하고 있다(도 3 참조).
진동 감시부(55B)는, 진동 검출부(55A)에 의한 진동의 검출 결과가, 미리 설정된 허용 범위(R) 내인지 여부를 판정하고, 또한 상기의 판정의 결과를 본체 컨트롤러(50)에 출력한다. 진동 감시부(55B)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 진동 감시부(55B)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 진동 감시부(55B)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다.
진동 감시부(55B)에 있어서 설정되어 있는 허용 범위(R)는, 본체 컨트롤러(50)에 의해 설정된다. 본 실시 형태의 진동 감시부(55B)는, 진동 검출부(55A)에 의한 진동의 검출 결과(도 3 참조)를 감시하고 있어, 상기의 허용 범위(R)를 초과했을 때에만, 상기 허용 범위를 초과한 취지의 신호를 본체 컨트롤러(50)에 출력한다. 즉, 진동 감시부(55B)는, 도 3에 나타나는 포인트(D)에 있어서, 허용 범위(R)를 초과한 취지의 신호를 본체 컨트롤러(50)에 출력한다.
진동 감시부(55B)는, 주행 시에 있어서의 진동의 판정의 결과와, FOUP(10)의 승강 시에 있어서의 진동의 판정의 결과를 본체 컨트롤러(50)에 출력한다. 즉, 본 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 주행 시 및 승강 시의 양방에서 승강부(30)에 생기는 진동을 감시할 수 있다.
진동 감시부(55B)는, 복수의 허용 범위(R)를 설정 가능하게 마련되어 있다. 예를 들면, 진동 감시부(55B)는, 직선 궤도 주행 시에 있어서의 허용 범위(R1), 곡선 궤도 주행 시에 있어서의 허용 범위(R2), 및 FOUP 승강 시에 있어서의 허용 범위(R3)가 포함된다. 또한, 진동 감시부(55B)는, 천장 반송차(6)의 동작 상황에 따라 허용 범위(R1, R2, R3)가 전환되도록 설정되어 있다.
본체 컨트롤러(50)는, CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 본체 컨트롤러(50)는, 천장 반송차(6)(즉, 주행부(18) 및 이동 재치 장치(7))에 있어서의 각 부의 각종 동작을 제어한다. 구체적으로, 도 2에 나타나는 바와 같이, 본체 컨트롤러(50)는 주행부(18)와, 횡방향 이송부(24)와, θ 드라이브(26)와, 승강 구동부(28)와, 승강부(30)를 제어한다. 본체 컨트롤러(50)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 본체 컨트롤러(50)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 본체 컨트롤러(50)와 센서 유닛(55)은 유선 또는 무선에 의해, 서로 통신 가능하게 마련되어 있다. 유선의 경우에는, 현수 부재(28A)에 통신선이 내장된다.
본체 컨트롤러(50)는, 진동 감시부(55B)에 대하여 허용 범위(R)를 설정한다. 본 실시 형태의 진동 감시부(55B)는, 직선 궤도 주행 시에 있어서의 허용 범위(R1), 곡선 궤도 주행 시에 있어서의 허용 범위(R2), 및 물품 승강 시에 있어서의 허용 범위(R3)의 각각을 진동 감시부(55B)에 설정한다.
본체 컨트롤러(50)는, 적절한 수단에 의해, 천장 반송차(6)의 위치를 파악 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 본체 컨트롤러(50)는, 궤도(4)에 부착되어 있는 바코드 등으로부터 취득되는 위치 정보, 및 주행부(18)에 구비되는 모터 등의 카운터 등에 의해, 당해 천장 반송차(6)의 위치가 파악 가능하게 되어 있다. 본체 컨트롤러(50)는, 센서 유닛(55)으로부터 송신되는 허용 범위(R)를 초과한 취지의 신호를 수신하면, 당해 신호와 당해 천장 반송차(6)의 위치를 관련지어 도시하지 않는 메모리 등에 기억한다. 즉, 본체 컨트롤러(50)는, 허용 범위(R)를 초과한 진동(이상 진동)이 계측된 위치를 나타내는 정보를 기억한다. 그리고, 본체 컨트롤러(50)는, 반송 컨트롤러(70)로부터의 요구에 따라, 허용 범위(R)를 초과한 진동이 계측된 위치를 나타내는 정보를 반송 컨트롤러(70)로 송신한다.
도 2에 나타나는 반송 컨트롤러(70)는, 복수의 천장 반송차(6)를 제어한다. 반송 컨트롤러(70)는 CPU, ROM 및 RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 반송 컨트롤러(70)는, 예를 들면 ROM에 저장되어 있는 프로그램이 RAM 상에 로드되어 CPU로 실행되는 소프트웨어로서 구성할 수 있다. 반송 컨트롤러(70)는, 전자 회로 등에 의한 하드웨어로서 구성되어도 된다. 반송 컨트롤러(70)는 CPU, RAM 및 ROM 등의 하드웨어와, 프로그램 등의 소프트웨어가 협동함으로써 구성되는 반송 제어부(71) 및 상태 감시부(72)와, 기억부(73)를 가지고 있다.
반송 제어부(71)는, 도시하지 않는 상위 컨트롤러로부터의 반송 요구에 기초하여, 복수의 천장 반송차(6)에 반송 명령을 할당한다. 상태 감시부(72)는, 천장 반송차(6)의 본체 컨트롤러(50)에 허용 범위(R)를 초과한 진동이 계측된 위치를 나타내는 정보를 본체 컨트롤러(50)에 송신시킨다. 기억부(73)는, 진동 감시부(55B)에 의한 판정의 결과와, 궤도(4) 상의 위치를 관련지어 기억한다. 즉, 기억부(73)는, 본체 컨트롤러(50)로부터 송신되어 오는, 허용 범위(R)를 초과한 진동(이상 진동)이 계측된 위치를 나타내는 정보를 기억한다.
본 실시 형태의 상태 감시부(72)는, 기억부(73)에 기억된 정보를 단말 장치(80)에 출력한다. 예를 들면, 상태 감시부(72)는, 도 5에 나타나는 것과 같은, 진동 감시 화면(SC1)을 단말 장치(80)에 표시시킨다. 진동 감시 화면(SC1)은, 궤도(4)의 배치 평면도 상에, 이상 진동이 발생한 위치(A)를 중첩한 화면이다. 궤도(4)의 궤도 평면도에는, 궤도(4) 외에 스토커 등(궤도(4)를 따라 표시되어 있는 직사각형 형상의 도형)이 표시되어 있다.
이어서, 주로 도 4를 참조하여, 본 실시 형태에 있어서의 천장 반송차 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 본체 컨트롤러(50)는, 진동 감시부(55B)에 진동의 허용 범위(R)를 설정하기 위한 임계치를 진동 감시부(55B)로 송신한다(단계(S1)). 본체 컨트롤러(50)로부터 임계치를 수신한 진동 감시부(55B)는, 허용 범위(R)(임계치)를 설정한다(단계(S2)). 진동 감시부(55B)는, 허용 범위(R)를 설정한 취지를 본체 컨트롤러(50)로 송신한다(단계(S3)). 이에 의해, 센서 유닛(55)에 있어서의 진동 감시의 준비, 즉, 진동 검출부(55A)에 의해 검출된 진동이 허용 범위(R)를 초과한 경우(이상 진동이 검출된 경우)에, 그 취지의 신호를 출력하기 위한 준비가 완료된다(단계(S10)).
센서 유닛(55)에 있어서의 진동 감시의 준비가 완료되면, 진동 검출부(55A)는, 정해진 간격으로 승강부(30)에 생기는 진동을 검출한다. 진동 감시부(55B)와 진동 검출부(55A)는 축차(逐次) 데이터 통신을 행하고 있으며, 진동 감시부(55B)는, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동을 감시하고 있다(단계(S11)). 또한, 본체 컨트롤러(50)는, 진동이 허용 범위(R)를 초과하고 있지 않은가를 축차 체크하고 있다(단계(S12)). 여기서, 진동 검출부(55A)가, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동값이 허용 범위(R)를 초과한 것을 검지하면(단계(S13)), 그 취지의 정보를 본체 컨트롤러(50)로 송신한다(단계(S14)).
본체 컨트롤러(50)는, 진동 감시부(55B)로부터 송신되는 허용 범위(R)를 초과한 취지의 신호를 수신하면(단계(S15)), 그 취지의 신호와 궤도(4) 상의 위치를 관련지은 이상 진동 정보를, 도시하지 않는 메모리 등에 기억시킨다. 반송 컨트롤러(70)는, 본체 컨트롤러(50)에 대하여, 천장 반송차(6)의 상황을 정기적으로 문의한다(단계(S16)). 본체 컨트롤러(50)는, 반송 컨트롤러(70)로부터 정기적인 문의를 접수했을 때에, 메모리에 이상 진동 정보(진동 검출 로그)가 기억(축적)되어 있으면, 당해 이상 진동 정보를 반송 컨트롤러(70)에 출력한다(단계(S20)).
반송 컨트롤러(70)는, 본체 컨트롤러(50)로부터 출력되어 오는 이상 진동 정보를 수신하면, 당해 이상 진동 정보를 기억부(73)에 기억시킨다(단계(S21)). 그리고, 반송 컨트롤러(70)는, 기억부(73)에 기억되어 있는 이상 진동 정보를 단말 장치(80)에 출력한다(단계(S22)). 단말 장치(80)의 예에는 표시 디스플레이, 휴대 단말, 스마트 폰, 태블릿 등이 포함된다. 단말 장치(80)는, 반송 컨트롤러(70)로부터 송신되어 오는 이상 진동 정보를, 도 5에 나타나는 것과 같은 진동 감시 화면(SC1)으로서 표시한다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 진동 검출부(55A)에 의한 진동의 검출 결과가 미리 설정된 허용 범위(R)를 초과했는지 여부의 판정 결과만이, 진동 감시부(55B)로부터 본체 컨트롤러(50)에 출력된다. 이에 의해, 센서 유닛(55)에 의해 검출되는 검출 결과 전부가 본체 컨트롤러(50)에 출력되는 구성에 비해, 본체 컨트롤러(50)에 있어서의 처리의 부하를 경감시킬 수 있다. 또한, 상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동이 미리 설정된 허용 범위(R) 내인지 여부를 판정할 뿐이므로, 고도의 분석 등을 실시하지 않고 간이한 구성으로 FOUP(10)에 생기는 진동을 감시할 수 있다. 이러한 결과, 천장 반송차(6)에 탑재되어 있는 본체 컨트롤러(50)에 있어서의 처리의 부하를 증대시키지 않고 또한 간이한 구성으로, 승강부(30)에 파지되는 FOUP(10)에 생기는 진동을 감시할 수 있다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 본체 컨트롤러(50)는, 진동 감시부(55B)에 대하여 허용 범위(R)를 설정할 수 있다. 이 구성에서는, 이상인 진동을 판정하기 위한 허용 범위(R)를 용이하게 설정하는 것이 가능해진다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 진동 감시부(55B)는, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동이 허용 범위(R)를 초과했다고 판정했을 때에, 그 취지의 신호를 본체 컨트롤러(50)에 출력하고 있다. 이 구성에서는, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동이 허용 범위(R)를 초과했다고 판정되었을 때만, 즉 진동 감시부(55B)가 이상인 진동을 검지했다고 판정되었을 때만, 본체 컨트롤러(50)에 그 취지의 신호를 출력하므로, 본체 컨트롤러(50)에 있어서의 처리의 부하를 더 경감시키는 것이 가능해진다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 진동 감시부(55B)는, 주행 시에 있어서의 진동의 판정의 결과 및 FOUP(10)의 승강 시에 있어서의 진동의 판정의 결과의 양방을 본체 컨트롤러(50)에 출력하고 있다. 이 구성에서는, 천장 반송차(6)의 주행 중에 있어서의 이상인 진동, 및 천장 반송차(6)가 정지한 상태에서의 승강부(30)의 승강 중에 있어서의 이상인 진동의 양방을 감시하는 것이 가능해진다.
상기 실시 형태의 천장 반송차(6)에서는, 진동 감시부(55B)는, 복수의 허용 범위를 설정 가능하게 마련되어 있고, 천장 반송차(6)의 동작 상황에 따라 허용 범위가 전환되도록 설정되어 있다. 이 구성에서는, 천장 반송차(6)의 동작 상황에 따른 이상인 진동을 적절하게 취득하는 것이 가능해진다.
상기 실시 형태의 천장 반송차 시스템(1)에서는, 이상인 진동(진동이 허용 범위를 초과한 것)과, 그 이상인 진동이 발생한 위치가 관련지어진 상태로 기억되므로, 궤도(4)의 이상 개소의 파악이 용이해진다. 또한, 상기 실시 형태에서는, 기억부(73)에 기억된 진동 정보가, 도 5에 나타나는 것과 같은 진동 감시 화면(SC1)으로서 표시되므로, 시각적인 파악이 가능한 정보를 제공할 수 있다.
이상, 본 발명의 일측면의 일실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명의 일측면은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
상기 실시 형태에서는, 본체 컨트롤러(50)에 의해 복수의 허용 범위(R1, R2, R3)가 설정되는 예를 들어 설명했지만 이에 한정되지 않으며, 1 개여도, 2 개여도 4 개 이상이어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 진동 감시부(55B)는, 진동 검출부(55A)에 의해 검출되는 진동이 허용 범위(R)를 초과했을 때에만, 그 취지의 신호를 본체 컨트롤러(50)에 출력하는 예를 들어 설명했지만, 허용 범위(R)를 초과하고 있는가 초과하고 있지 않은가라고 하는 정보(신호)를, 정기적으로 본체 컨트롤러(50)에 출력해도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 본체 컨트롤러(50)로부터 진동 감시부(55B)에 있어서의 상기 허용 범위(R)를 설정할 수 있는 예를 들어 설명했지만, 설정 불가능하게 구성되어도 된다. 이 경우, 진동 감시부(55B)에 있어서 미리 허용 범위(R)가 설정되어 있어도 되고, 진동 감시부(55B)에 마련된 스위치 등에 의해 전환 가능하게 구성되어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 판정의 결과를 궤도(4)의 배치를 나타내는 맵 데이터에 중첩한 정보를 출력하는 상태 감시부(72)가 반송 컨트롤러(70)에 구성된 예를 들어 설명했지만, 별도 독립된 컨트롤러를 마련해도 되고, 복수의 천장 반송차(6) 중 하나의 천장 반송차(6)에 상기 기능을 가지는 컨트롤러가 마련되어도 된다.
1 : 천장 반송차 시스템
4 : 궤도
6 : 천장 반송차
18 : 주행부
22 : 본체부
28A : 현수 부재
30 : 승강부
30A : 척(파지부)
50 : 본체 컨트롤러(본체 제어부)
55 : 센서 유닛
55A : 진동 검출부
55B : 진동 감시부
70 : 반송 컨트롤러
71 : 반송 제어부
72 : 상태 감시부
73 : 기억부
R, R1, R2, R3 : 허용 범위
SC1 : 진동 감시 화면

Claims (6)

  1. 궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가지고 또한 상기 본체부에 대하여 현수 부재에 의해 승강되는 승강부를 구비한 천장 반송차로서,
    상기 본체부에 마련되어, 상기 천장 반송차에 있어서의 각 부를 제어하는 본체 제어부와,
    상기 승강부에 마련되어, 상기 승강부에 생기는 진동을 검출하는 진동 검출부와,
    상기 승강부에 마련되어, 상기 진동 검출부에 의한 상기 진동의 검출 결과가 미리 설정된 허용 범위 내인지 여부를 판정하고 또한 상기 판정의 결과를 상기 본체 제어부에 출력하는 진동 감시부를 구비하고,
    상기 본체 제어부와 상기 진동 감시부는 별도의 구성이고, 상기 본체 제어부는 상기 판정의 결과를 상기 진동 감시부로부터 수신하는, 천장 반송차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체 제어부는 상기 진동 감시부에 대하여 상기 허용 범위를 설정하는, 천장 반송차.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 진동 감시부는 상기 진동 검출부에 의해 검출되는 진동이 상기 허용 범위를 초과했을 때에 그 취지를 상기 본체 제어부에 출력하는, 천장 반송차.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 진동 감시부는 주행 시에 있어서의 상기 진동의 판정의 결과 및 상기 물품의 승강 시에 있어서의 상기 진동의 판정의 결과 중 적어도 일방을 상기 본체 제어부에 출력하는, 천장 반송차.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 진동 감시부는 복수의 상기 허용 범위를 설정 가능하게 마련되어 있고, 상기 천장 반송차의 동작 상황에 따라 상기 허용 범위가 전환되도록 설정되어 있는, 천장 반송차.
  6. 제 1 항, 제 2 항 및 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 복수의 천장 반송차와,
    복수의 상기 천장 반송차에 있어서의 상기 본체 제어부와 통신 가능하게 마련된 상태 감시부를 구비하고,
    상기 상태 감시부는, 상기 진동 감시부에 의한 판정의 결과와 상기 궤도 상의 위치를 관련지어 기억하고, 또한 상기 판정의 결과를 상기 궤도의 배치를 나타내는 맵 데이터에 중첩한 정보를 출력하는, 천장 반송차 시스템.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2022331427A1 (en) * 2021-08-17 2024-02-22 Tusimple, Inc. Determining mechanical health and road conditions encountered by autonomous vehicles
JPWO2023084940A1 (ko) * 2021-11-11 2023-05-19
GB2623532A (en) * 2022-10-18 2024-04-24 Ocado Innovation Ltd Method and system for detecting track defects

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101702779B1 (ko) 2015-10-29 2017-02-03 세메스 주식회사 반송 대차의 핸드 유닛

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050028447A (ko) 2003-09-18 2005-03-23 엘지.필립스 엘시디 주식회사 자동반송대차를 이용한 단차 측정 장치 및 측정 방법
JP2006315813A (ja) 2005-05-13 2006-11-24 Murata Mach Ltd 移動体の診断システム
JP4117625B2 (ja) * 2005-05-26 2008-07-16 村田機械株式会社 搬送車システム
JP2009249053A (ja) * 2008-04-01 2009-10-29 Murata Mach Ltd 自動倉庫
SG11201407697RA (en) * 2012-07-26 2015-04-29 Murata Machinery Ltd Overhead traveling vehicle system and control method for overhead traveling vehicle system
JP6079672B2 (ja) * 2014-03-10 2017-02-15 村田機械株式会社 搬送車システム
KR102502235B1 (ko) * 2015-07-16 2023-02-21 삼성전자주식회사 물류 모니터링 시스템 및 이의 동작 방법
JP6471702B2 (ja) * 2016-01-12 2019-02-20 株式会社ダイフク 物品搬送装置
EP3442882A4 (en) * 2016-04-15 2019-08-21 Conexbird OY METHOD, SOFTWARE AND DEVICE FOR INSPECTION OF SHIPMENTS
JP6819224B2 (ja) * 2016-10-31 2021-01-27 株式会社ダイフク 搬送車

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101702779B1 (ko) 2015-10-29 2017-02-03 세메스 주식회사 반송 대차의 핸드 유닛

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