KR102302099B1 - 보관 시스템 - Google Patents

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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 보관 시스템은, 제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 레일 및 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일이 동일한 수평면 상에 격자형상으로 배치됨으로써, 한 쌍의 제1 레일 및 한 쌍의 제2 레일에 의해 둘러싸인 개구 영역을 종횡으로 복수로 형성하는 주행 레일과, 주행부 및 이재부를 갖는 대차와, FOUP가 재치되는 보관부를 구비한다. 보관부는, 서로 인접하는 복수의 랙 유닛을 가지며, 각 랙 유닛은, FOUP가 재치되는 재치 부재를 포함하는 동시에 재치 부재가 개구 영역의 바로 아래에 위치하도록 설치되고, 또한, 주행 레일에 대해 탈부착이 가능하다.

Description

보관 시스템
[0001] 본 발명의 일 양태는, 보관 시스템에 관한 것이다.
[0002] 예컨대 반도체 제조공장의 반송장치에 적용되는 보관 시스템으로서, 동일한 수평면 상에 격자(格子)형상으로 배치된 복수의 레일을 갖는 주행 레일과, 주행 레일을 주행하고 또한 물품의 유지 및 승강을 행하는 대차(台車)와, 주행 레일의 하측에 배치되며, 물품이 재치(載置)되는 보관부를 구비하는 시스템이 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 이러한 보관 시스템에서는, 대차는, 레일 사이에 설치된 개구 영역을 통해, 보관부에 대하여 물품을 넘긴다.
[0003] 국제 공개 제15/174181호
[0004] 상술한 바와 같은 보관 시스템에서는, 주행 레일의 하측에 있어서, 로드 포트(load port)의 바로 위(直上)를 제외한 영역 일면에 보관부가 설치되어 있다. 이러한 구성에서는, 보관부의 설치의 자유도가 낮다.
[0005] 따라서, 본 발명의 일 양태는, 보관부의 설치의 자유도를 향상시킬 수 있는 보관 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템은, 제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 레일 및 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 갖고, 복수의 제1 레일 및 복수의 제2 레일이 동일한 평면 상에 격자형상으로 배치됨으로써, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일에 의해 둘러싸인 영역을 종횡으로 복수로 형성하는 주행 레일과, 주행 레일을 제1 방향 및 제2 방향의 각각의 방향으로 주행하는 주행부, 및 물품의 유지 및 승강을 행하는 이재부(移載部)를 갖는 대차와, 주행 레일의 하측에 설치되며, 물품이 재치(載置)되는 보관부를 구비하고, 대차는, 보관부에 대하여 물품을 넘기며, 보관부는, 서로 인접하는 복수의 랙 유닛(rack unit)을 갖고, 복수의 랙 유닛의 각각은, 물품이 재치되는 재치 부재를 포함하는 동시에 재치 부재가 영역의 바로 아래(直下)에 위치하도록 설치되며, 또한, 주행 레일에 대하여 탈부착 가능하다.
[0007] 이 보관 시스템에서는, 보관부의 전체가 단일 랙에 의해 구성되어 있는 경우에 비해, 보관부의 설치, 철거, 위치 변경 등의 자유도를 향상시킬 수가 있다.
[0008] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템에서는, 복수의 랙 유닛의 각각은, 재치 부재를 지지하는 지지 부재를 포함하고, 지지 부재는, 주행 레일로부터 탈부착 가능하게 매달려 있어도 된다. 이에 따르면, 주행 레일에 대해서 지지 부재를 탈부착시킴으로써, 재치 부재를 포함하는 랙 유닛을 주행 레일에 대해서 탈부착시킬 수가 있다.
[0009] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템에서는, 복수의 랙 유닛 중의 적어도 하나는, 재치 부재에 있어서 물품이 재치되는 복수의 재치부가 일렬로 늘어서도록 형성되어 있으며, 또한, 복수의 재치부가 일렬로 늘어선 방향이 제1 방향 또는 제2 방향과 평행이 되도록 설치되어 있어도 된다. 이에 따르면, 모든 랙 유닛의 각각이, 매트릭스 형상으로 배치된(즉, 제1 방향 및 제2 방향의 양 방향으로 복수 열(列)씩 늘어서도록 배치된) 복수의 개구 영역에 대응하도록 구성되어 있는 경우에 비해, 보관부의 설치, 철거, 위치 변경 등의 자유도를 향상시킬 수가 있다. 예컨대, 개구 영역의 1열 분량(分)만큼 보관부를 제거하고자 하는 경우에 특히 유효하다.
[0010] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템에서는, 복수의 영역의 각각은, 물품이 상하방향으로 통과할 수 있는 크기를 갖는 개구 영역을 형성하고 있으며, 대차는, 물품을 주행 레일보다 상측에서 유지한 상태로 주행하고, 재치 부재에 대하여, 개구 영역을 통해 물품을 넘겨도 된다. 이에 따르면, 대차가 개구 영역을 통해 물품을 연직 방향으로 승강시키는 것만으로, 보관부에 대하여 물품을 넘길 수가 있다.
[0011] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템에서는, 복수의 지지 부재의 각각은, 제1 레일과 제2 레일의 교차 부분으로부터 매달리고, 대차는, 물품을 주행 레일보다 하측에서 유지한 상태로, 해당 물품을 복수의 지지 부재의 사이를 통과시켜 주행해도 된다. 이에 따르면, 대차가 주행 레일보다 하방인 이재처(移載先)에 대하여 물품을 넘길 때에, 주행 레일이 물품을 넘기는 동작을 방해하기 어렵기 때문에, 이재처의 레이아웃의 자유도를 향상시킬 수가 있다. 또, 이러한 구성에 있어서는, 대차의 주행에 방해가 되기 어려운 위치에 설치된 지지 부재에 의해, 재치 부재를 개구 영역의 바로 아래에 지지할 수가 있다.
[0012] 본 발명의 일 양태의 보관 시스템에서는, 재치 부재는, 서로 간격을 두고 설치된 한 쌍의 기둥형상 부재여도 된다. 이에 따르면, 한 쌍의 기둥형상 부재에 물품이 재치되기 때문에, 예컨대 평판 형상의 부재에 물품이 재치되는 경우에 비해, 랙 유닛에 의해 기류가 방해받는 것을 억제할 수가 있다. 특히, 이 보관 시스템이 클린 룸(clean room) 내에 있어서 이용될 경우, 클린 룸 내부를 청정 상태로 유지하기 위한 상하방향의 기류가 방해받는 것을 억제할 수가 있다.
[0013] 본 발명의 일 양태에 의하면, 보관부의 설치의 자유도를 향상시킬 수 있게 된다.
[0014] 도 1은 제1 실시형태의 보관 시스템의 평면도이다.
도 2는, 도 1의 보관 시스템의 일부 확대도이다.
도 3은, 도 1의 보관 시스템이 구비하는 랙 유닛의 정면도이다.
도 4는, 도 3의 랙 유닛의 저면도이다.
도 5는, 도 3의 랙 유닛의 측면도이다.
도 6은, 제2 실시형태의 보관 시스템이 구비하는 랙 유닛의 정면도이다.
도 7은, 도 6의 랙 유닛의 저면도이다.
도 8은, 제2 실시형태의 보관 시스템이 구비하는 다른 랙 유닛의 정면도이다.
도 9는, 도 8의 랙 유닛의 저면도이다.
[0015] 이하, 본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일 또는 상당(相當) 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략하도록 한다.
(제1 실시형태)
(보관 시스템의 구성)
[0016] 도 1 및 도 2에 나타내어진 바와 같이, 보관 시스템(1)은, 주행 레일(2)과, 복수의 대차(3)와, 보관부(4)를 구비하고 있다. 보관 시스템(1)은, 반도체 제조공장에 있어서, 복수의 장치 포트(8)를 각각 구비하는 복수의 반도체 처리장치(10)의 상방에 부설(敷設)되어 있다. 보관 시스템(1)은, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod; 9)를 일시적으로 보관한다. 보다 구체적으로는, 보관 시스템(1)에서는, 주행 레일(2)을 주행하는 대차(3)에 의해, 보관부(4)와 장치 포트(8)의 사이에서 FOUP(9)가 반송(搬送)되며, 보관부(4)에 의해 FOUP(9)(장치 포트(8)에 공급하기 전의 FOUP(9), 장치 포트(8)로부터 회수한 후의 FOUP(9))가 일시적으로 보관된다. 또한, 보관 시스템(1)에 대해서는, 예컨대 OHT(Overhead Hoist Transfer)에 의해 FOUP(9)가 반입되거나 또는 반출된다. OHT는, 보관 시스템(1)과 반도체 제조공장의 천정 사이에 부설된 궤도를 따라 주행한다.
[0017] 각 반도체 처리장치(10)는, 주행 레일(2)의 하측에 있어서, 복수 열(도 1에서는 제1 방향(D1)을 따라 2열)로 늘어서서 배치되어 있다. 각 반도체 처리장치(10)는, 서로 이웃하는 한 쌍의 열끼리 장치 포트(8)가 서로 대면(對面)하는 방향으로 배치되어 있다. 대차(3)에 의해 반도체 처리장치(10)의 장치 포트(8)에 FOUP(9)가 공급되면, 해당 FOUP(9)에 수용된 반도체 웨이퍼가 반도체 처리장치(10)에 도입된다. 그리고, 해당 반도체 웨이퍼는, 반도체 처리장치(10)에 있어서 소정의 처리가 가해진 후에, 다시 FOUP(9)에 수용된다. 이로써, FOUP(9)는, 대차(3)에 의해 회수 및 반송이 가능한 상태가 된다.
[0018] 주행 레일(2)은, 복수의 제1 레일(21)과, 복수의 제2 레일(22)을 갖고 있다. 각 제1 레일(21)은, 제1 방향(D1)으로 직선 형상으로 연장되어 있으며, 서로 이웃하는 제1 레일(21) 사이에는, 소정 간격이 형성되어 있다. 각 제2 레일(22)은, 제1 방향(D1)과 직교하는 제2 방향(D2)으로 직선 형상으로 연장되어 있으며, 서로 이웃하는 제2 레일(22) 사이에는, 소정 간격이 형성되어 있다. 복수의 제1 레일(21) 및 복수의 제2 레일(22)은, 동일한 수평면 상에 격자형상으로 배치되어 있다.
[0019] 도 1, 도 2 및 도 3에 나타내어진 바와 같이, 대차(3)는, 주행부(31)와, 이재부(32)와, 돌출부(33)를 갖고 있다. 주행부(31)는, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21)을 따라 제1 방향(D1)으로 주행 가능한 동시에, 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22)을 따라 제2 방향(D2)으로 주행 가능하다. 주행부(31)는, 본체부(37), 4개의 차륜(車輪, 36) 및 차륜 지지 아암(arm)(38)을 포함하고 있다. 각 차륜(36)은, 본체부(37)로부터 하방으로 돌출하도록 설치된 차륜 지지 아암(38)에 회전 가능하게 지지되어 있으며, 주행 레일(2)의 답면(踏面)(24a) 위를 굴러 이동(轉動)한다.
[0020] 이재부(32)는, FOUP(9)의 플랜지부(9a)를 유지하는 유지부(32a)와, 유지부(32a)를 매다는 벨트(32b)와, 벨트(32b)를 감아 올리거나 감아 내림에 따라 유지부(32a)를 승강시키는 승강 구동부(32c)와, 승강 구동부(32c)를 연직(鉛直) 방향(제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 각각에 수직인 방향) 둘레로 회전시키는 θ 회전 기구(32d)를 포함하고 있다. 또한, 도 3에는, 이재부(32)에 의해 보관부(4)에 대하여 FOUP(9)가 넘겨지는 도중(途中)의 상태가 도시되어 있다.
[0021] 돌출부(33)는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 각각의 방향으로 이재부(32)를 돌출시킨다. 일례로서, 돌출부(33)는 선회(旋回) 기구(33a)를 포함하여 구성된다. 선회 기구(33a)의 기단부(基端部)가 주행부(31)에 회전 가능하게 부착되어 있으며, 이재부(32)가 선회 기구(33a)의 선단부에 부착되어 있다.
[0022] 주행 레일(2)에는, 복수의 직각사각형상(즉, 바둑판형상)의 영역이 설치되어 있다. 각 직각사각형상의 영역은, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22)에 의해 둘러싸인 영역이며, 종횡으로 복수로 형성되어 있다. 여기서, 「종횡으로」란, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 각각으로라는 것을 의미하며, 「직각사각형상의 영역이, 종횡으로 복수로 형성되어 있다」는 것은, 직각사각형상의 영역이, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 각각으로 복수로 늘어선 매트릭스 형상으로 형성되어 있는 것을 의미한다. 각 직각사각형상의 영역은, FOUP(9)가 상하방향으로 통과할 수 있는 크기를 갖는 개구 영역을 형성하고 있다.
[0023] 대차(3)는, 이재부(32)의 유지부(32a)에 의해 FOUP(9)를 주행 레일(2)보다 상측에서 유지한 상태로, 주행부(31)에 의해 주행한다. 또, 대차(3)는, 이재부(32)에 의해, 보관부(4)에 대하여 소정의 개구 영역을 통해 FOUP(9)를 넘긴다.
[0024] 복수의 개구 영역 중, 제1 개구 영역(개구 영역; 2a)은, 장치 포트(8)의 바로 위에 위치하는 영역이다. 복수의 개구 영역 중, 제2 개구 영역(개구 영역; 2b)은, 대차(3)가 제1 개구 영역(2a) 상에 이재부(32)를 위치시킨 상태에서, 제1 개구 영역(2a)을 통해 장치 포트(8)에 대하여 FOUP(9)를 넘길 때의, 주행부(31)의 정지 위치의 바로 아래(直下)에 위치하는 영역이다. 복수의 개구 영역 중, 제3 개구 영역(개구 영역; 2c)은, 제1 개구 영역(2a) 및 제2 개구 영역(2b) 이외의 영역이다.
[0025] 복수의 장치 포트(8)의 상측이면서 또한 주행 레일(2)의 하측인 영역은, 비(非) 보관 영역(5)과 보관 영역(6)으로 분류된다. 비 보관 영역(5)은, 각 제1 개구 영역(2a) 및 상기 제1 개구 영역(2a)을 둘러싸도록 상기 제1 개구 영역(2a)에 인접하여 설치된 각 영역에 의해 각각 구성되는 복수의 구획과, 제3 개구 영역(2c) 중 각 구획의 사이에 위치하는(개재하는) 영역의 바로 아래의 영역이다. 여기서, 「각 구획의 사이에 위치하는 영역」이란, 복수의 구획 중 2개의 구획에 의해 구성되는 모든 조합 중, 적어도 1개의 조합을 구성하는 2개의 구획의 사이에 위치하는 영역을, 모두 합한 영역을 의미한다. 환언하면, 비 보관 영역(5)은, 각 구획의 외측 가장자리 중 다른 구획과 대면하지 않는 쪽의 외측 가장자리의 각각을 이은 선에 대하여, 각 구획이 위치하는 쪽의 영역이다. 보관 영역(6)은, 비 보관 영역(5)을 제외한 영역이며, 그 바로 위에는 복수의 제3 개구 영역(2c)이 설치되어 있다. 환언하면, 보관 영역(6)은, 각 구획의 외측 가장자리 중 다른 구획과 대면하지 않는 쪽의 외측 가장자리의 각각을 이은 선에 대하여, 각 구획이 위치하지 않는 쪽의 영역이다.
[0026] 보관부(4)는, 제3 개구 영역(2c) 중, 제1 개구 영역(2a)을 둘러싸도록 상기 제1 개구 영역(2a)에 인접하여 설치된 모든 영역의 바로 아래에 설치되어 있지 않다. 또한, 보관부(4)는, 비 보관 영역(5)에는 설치되어 있지 않아도 되며, 이 경우, 장치 포트(8) 주변의 주행 레일(2)에 있어서, 대차(3)로 인한 교통 정체의 발생을 억제할 수 있게 된다.
[0027] 보관부(4)는, 서로 인접하는 복수의 랙 유닛(40)이 조합됨으로써 구성되어 있다. 각 랙 유닛(40)은, FOUP(9)가 재치(載置)되기 위한 재치 부재(51)를 갖고 있고(자세한 사항은 후술함), 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22)에 의해 둘러싸인 영역(개구 영역)의 바로 아래에 재치 부재(51)가 위치하도록 설치되어 있다. 각 랙 유닛(40)은, 1개의 제1 레일(21) 또는 제2 레일(22)에 인접하여 그 양측에 늘어서서 설치된 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하여 부착되어 있다. 각 재치 부재(51)에는, FOUP(9)가 재치되는 부분인 재치부(50)가 복수로 형성되어 있다. 복수의 랙 유닛(40) 중의 적어도 하나는, 재치 부재(51)에 있어서 복수의 재치부(50)가 일렬로 늘어서도록 형성되며, 복수의 재치부(50)가 일렬로 늘어선 방향이 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)과 평행이 되도록 설치되어 있다. 즉, 각 랙 유닛(40)은, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하고 있다. 각 랙 유닛(40)에 대해서는, 대응하는 복수의 제3 개구 영역(2c)의 각각을 통해 FOUP(9)가 넘겨진다. 일례로서, 보관 시스템(1)에서는, 각 랙 유닛(40)은, 제2 방향(D2)으로 일렬로 늘어선 3개의 제3 개구 영역(2c)에 대응하고 있다.
[0028] 제1 개구 영역(2a)은, 제1 레일(21) 및 제2 레일(22) 중의 적어도 일방(一方)이 부분적으로 제거됨으로써 형성되어 있다. 각 제1 개구 영역(2a)은, 복수의 제2 개구 영역(2b) 및 제3 개구 영역(2c)에 대응하는 크기를 갖고 있다. 일례로서, 보관 시스템(1)에서는, 제1 개구 영역(2a)은, 제1 방향(D1)으로 일렬로 늘어선 복수의 장치 포트(8)의 바로 위의 영역이다.
(주행 레일 및 랙 유닛의 구성)
[0029] 도 3, 도 4 및 도 5에 나타내어진 바와 같이, 제1 레일(21)은, 웨브(web)부(23)가 세로가 되도록 배치된 H형 강재(鋼材)에 의해 형성되어 있다. 웨브부(23)의 하단(下端)에 설치된 플랜지부(24)의 상면은, 대차(3)의 주행부(31)가 갖는 4개의 차륜(36)의 답면(24a)이다. 제2 레일(22)은, 제1 레일(21)과 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 주행부(31)가 제2 개구 영역(2b) 또는 제3 개구 영역(2c)의 바로 위에 위치할 경우, 4개의 차륜(36)은, 제2 방향(D2)에 있어서 서로 마주 하는 한 쌍의 답면(24a)(제1 레일(21)의 답면(24a))과 제1 방향(D1)에 있어서 서로 마주 하는 한 쌍의 답면(24a)(제2 레일(22)의 답면(24a))으로 형성되는 4곳의 교차 부분에 위치한다. 주행부(31)는, 4개의 차륜(36)이 4곳의 교차 부분에 위치할 때에 일제히 방향 전환을 행함으로써, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)의 사이에서 방향 전환을 행한다.
[0030] 랙 유닛(40)은, 재치 부재(51)와, 복수의 지지 부재(42)와, 복수의 보강 부재(43)를 갖고 있다. 위에서 기술한 바와 같이, 재치 부재(51)는, FOUP(9)가 재치되기 위한 부재이다. 재치 부재(51)는, 예컨대, 서로 간격을 두고 설치된 한 쌍의 기둥형상 부재(41)이다. 한 쌍의 기둥형상 부재(41)는, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 제3 개구 영역(2c)의 하측에 있어서, 해당 방향으로 연장되어 있다. 한 쌍의 기둥형상 부재(41)는, 동일한 수평면 상에 서로 평행하게 배치되어 있다. 즉, 한 쌍의 기둥형상 부재(41)는, 수평으로 병설(竝設)되어 있다.
[0031] 각 지지 부재(42)는, 재치 부재(51)를 지지하기 위한 부재이다. 각 지지 부재(42)는, 한 쌍의 기둥형상 부재(41)의 각각의 양단부로부터 상측으로 연장되어 있다. 각 지지 부재(42)의 상단부는, 제1 레일(21) 또는 제2 레일(22)에 탈부착 가능하게 부착되어 있다. 환언하면, 각 지지 부재(42)는, 주행 레일(2)로부터 탈부착 가능하게 매달려 있다. 즉, 랙 유닛(40)은, 제3 개구 영역(2c)의 하측에 있어서 주행 레일(2)로부터 매달려 있으며, 주행 레일(2)에 대해서 탈부착 가능하다. 일례로서, 보관 시스템(1)에서는, 한 쌍의 기둥형상 부재(41)는, 제2 방향(D2)으로 일렬로 늘어선 3개의 제3 개구 영역(2c)의 하측에 있어서, 제2 방향(D2)으로 연장되어 있으며, 각 지지 부재(42)의 상단부는, 제1 레일(21)에 탈부착 가능하게 부착되어 있다.
[0032] 복수의 보강 부재(43)는, 한 쌍의 기둥형상 부재(41)의 각각에 있어서의 같은 쪽의 단부(端部)에 접속된 한 쌍의 지지 부재(42)들을, 이들의 하단부끼리 서로 연결하고 있다. 이로써, 각 지지 부재(42)의 자세의 변화가 억제된다.
[0033] 제1 레일(21) 또는 제2 레일(22)에 대한 랙 유닛(40)의 부착 구조에 대해, 보다 구체적으로 설명한다. 제1 레일(21) 및 제2 레일(22)의 각각의 플랜지부(24)의 하면에는, 복수의 브래킷(25)이 볼트 등에 의해 탈부착 가능하게 고정되어 있다. 복수의 브래킷(25)은, 제3 개구 영역(2c)에 대응하는 피치(pitch)로 배치되어 있다. 제1 레일(21)에 설치된 각 브래킷(25)에는, 제2 방향(D2)으로 연장되는 한 쌍의 기둥형상 부재(41)를 가지며 또한 제2 방향(D2)에 있어서 서로 인접하는 한 쌍의 랙 유닛(40) 중, 일방(一方) 측의 랙 유닛(40)에 있어서의 타방(他方) 측의 지지 부재(42)의 상단부, 및 타방 측의 랙 유닛(40)에 있어서의 일방 측의 지지 부재(42)의 상단부가, 볼트에 의해 부착 가능하다. 제2 레일(22)에 설치된 각 브래킷(25)에는, 제1 방향(D1)으로 연장되는 한 쌍의 기둥형상 부재(41)를 가지며 또한 제1 방향(D1)에 있어서 서로 인접하는 한 쌍의 랙 유닛(40) 중, 일방 측의 랙 유닛(40)에 있어서의 타방 측의 지지 부재(42)의 상단부, 및 타방 측의 랙 유닛(40)에 있어서의 일방 측의 지지 부재(42)의 상단부가, 볼트에 의해 부착 가능하다. 따라서, 상기 구성에 의해, 제1 레일(21) 및 제2 레일(22)의 각각의 플랜지부(24)의 하면에 대하여 브래킷(25)을 탈부착함으로써, 랙 유닛(40)을 상기 플랜지부(24)에 대해 탈부착할 수가 있다.
(랙 유닛의 재치면의 위치관계)
[0034] 도 3, 도 4 및 도 5에 나타내어진 바와 같이, 랙 유닛(40)이 갖는 한 쌍의 기둥형상 부재(41)에는, 상기 랙 유닛(40)이 대응하는 복수의 제3 개구 영역(2c)의 각각을 사이에 두고, 복수의 FOUP(9)가 재치된다. 기둥형상 부재(41) 등의 재치 부재(51)에는, FOUP(9)가 재치되는 부분인 재치부(50)가 형성되어 있으며, 그 재치부(50)의 상면이 재치면(40a)으로 되어 있다. 따라서, 연직 방향에서 보았을 경우에, 재치면(40a)에 재치된 FOUP(9)는, 제3 개구 영역(2c) 내에 위치한다. 한 쌍의 기둥형상 부재(41)의 상면에는, 각 FOUP(9)를 랙 유닛(40)에 대해 위치결정하기 위한 복수(여기에서는, 3개)의 위치결정 핀(위치결정부; 44)이 설치되어 있다. 위치결정 핀(44)은, 키네마틱 핀(kinematic pin)이라고도 칭해지며, FOUP(9)의 바닥면에 형성된 오목부에 끼워져 각 FOUP(9)의 랙 유닛(40)에 대한 이동을 규제한다.
[0035] 랙 유닛(40)은, 수평방향에서 보았을 경우에, 재치면(40a)에 재치된 FOUP(9)가 제1 레일(21) 및 제2 레일(22)과 겹치도록 구성되어 있다. 재치면(40a)과 제1 레일(21) 사이의 공간, 및 재치면(40a)과 제2 레일(22) 사이의 공간은, 각각, FOUP(9)가 통과할 수 없는 크기를 갖고 있다. 또, 랙 유닛(40)은, 재치면(40a)에 재치된 FOUP(9)의 상단(上端)이 그 바로 위를 주행하는 대차(3)의 주행부(31)가 갖는 본체부(37)의 하단(下端)보다 하측에 위치하도록 구성되어 있다. 나아가, 랙 유닛(40)은, 재치면(40a)에 재치된 FOUP(9)의 상단이 주행 레일(2)의 답면(24a)보다 상측에 위치하도록 구성되어 있다.
(보관 시스템에 있어서의 대차의 동작예)
[0036] 도 2에 나타내어진 바와 같이, 주행 레일(2)에는, 제1 정지 영역(20a) 및 제2 정지 영역(인접 영역; 20b)이 설정되어 있다. 제1 정지 영역(20a)은, 주행 레일(2) 중, 보관 영역(6) 바로 위의 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하는 부분이다. 제2 정지 영역(20b)은, 주행 레일(2) 중, 비 보관 영역(5)에 있어서 복수의 제1 개구 영역(2a)의 각각에 인접하는 복수의 제2 개구 영역(2b)에 대응하는 부분이다. 이와 같이, 제1 정지 영역(20a)과 제2 정지 영역(20b)은, 겹쳐 있지 않다.
[0037] 또, 제1 정지 영역(20a)의 하측에는, 보관부(4)가 설치되어 있으나, 제2 정지 영역(20b)의 하측에는, 보관부(4)가 설치되어 있지 않다. 제2 개구 영역(2b)의 하측(예컨대, 바로 아래의 영역)에는, 매달리도록 주행 레일(2)에 대해 부착된 작업용의 비계(scaffold, 7)가 설치되어 있다.
[0038] 일례로서, 보관 시스템(1)에서는, 제1 개구 영역(2a)은, 제1 방향(D1)으로 연장되어 있으며, 제2 정지 영역(20b)은, 제2 방향(D2)에 있어서의 제1 개구 영역(2a)의 양측에 있어서 제1 방향(D1)으로 일렬로 늘어선 복수의 제2 개구 영역(2b)에 대응하는 부분이다. 그리고, 대차(3)는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1)으로 이재부(32)를 돌출시킨 상태에서, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 각각의 방향으로 주행한다. 이하, 이 경우에 있어서의 대차(3)의 동작예에 대해 설명한다.
[0039] 소정의 랙 유닛(40)에 대하여, 소정의 제3 개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘기는 경우에는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1)으로 이재부(32)를 돌출시킨 상태에서, 이재부(32)가 상기 소정의 제3 개구 영역(2c) 상에 위치하도록, 주행부(31)가 제1 정지 영역(20a)에 정지한다. 그 상태에서, 대차(3)는, 이재부(32)의 유지부(32a)를 승강시킴으로써, 소정의 랙 유닛(40)에 대하여, 소정의 제3 개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘긴다.
[0040] 이 경우에 있어서, 주행부(31)가 제2 정지 영역(20b)에 정지한 상태에서는, 대차(3)는, 랙 유닛(40)에 대하여 제 3개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘기지 않는다. 환언하면, 대차(3)가 제3 개구 영역(2c) 상에 이재부(32)를 위치시킨 상태에서, 제3 개구 영역(2c)을 통해 랙 유닛(40)에 대하여 FOUP(9)를 넘길 때의 주행부(31)의 정지 위치는, 제2 개구 영역(2b)의 바로 위를 제외한 위치로 정해져 있다.
[0041] 또, 대차(3)는, 소정의 랙 유닛(40)에 대하여, 이하와 같이 하여 소정의 제3 개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘겨도 된다. 즉, 대차(3)는, 보관 영역(6)에 있어서 서로 인접하는 한 쌍의 제3 개구 영역(2c) 중, 일방의 제3 개구 영역(2c)에 대응하는 부분에 주행부(31)를 정지시키고, 타방의 제3 개구 영역(2c) 상에 이재부(32)를 위치시킨다. 이 상태에서, 대차(3)는, 소정의 랙 유닛(40)에 대하여, 타방의 제3 개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘겨도 된다.
[0042] 또한, 대차(3)는, 제1 개구 영역(2a) 및 제2 개구 영역(2b)을 통해서는, 랙 유닛(40)에 대하여 FOUP(9)를 넘기지 않는다.
[0043] 소정의 장치 포트(8)에 대하여, 소정의 제1 개구 영역(2a)을 통해 FOUP(9)를 넘기는 경우에는, 주행부(31)로부터 제2 방향(D2)으로 이재부(32)를 돌출시킨 상태에서, 해당 장치 포트(8) 바로 위의 상기 제1 개구 영역(2a) 상에 이재부(32)가 위치하도록, 제2 정지 영역(20b)에 대응하는 부분에 주행부(31)가 정지한다. 그 상태에서, 대차(3)는, 이재부(32)의 유지부(32a)를 승강시킴으로써, 상기 제1 개구 영역(2a)을 통해, 상기 장치 포트(8)에 대하여 FOUP(9)를 넘긴다. 또한, 제1 개구 영역(2a)에 있어서, 복수의 제1 레일(21) 및 복수의 제2 레일(22)에 의해 구성된 격자(格子)에 대응하는 부분으로부터 벗어난 부분의 바로 아래에 장치 포트(8)가 위치하고 있는 경우(즉, 서로 인접한 2개의 격자에 대응하는 각 부분에 걸치는 부분의 바로 아래에 장치 포트(8)가 위치하고 있는 경우), 제2 개구 영역(2b)에 있어서, 격자에 대응하는 부분으로부터 벗어난 부분에 주행부(31)가 정지하고(즉, 서로 인접한 2개의 격자에 대응하는 각 부분에 걸치는 부분에 주행부(31)가 정지하고), 그 상태에서, 대차(3)는, 상기 장치 포트(8)에 대하여 FOUP(9)를 넘겨도 된다.
(작용 및 효과)
[0044] 이상 설명한 바와 같이, 보관 시스템(1)에서는, 보관부(4)를 구성하는 각 랙 유닛(40)은, FOUP(9)가 재치되는 재치 부재(51)로서의 기둥형상 부재(41)가 제3 개구 영역(2c)의 바로 아래에 위치하도록 설치되어 있다. 이 때문에, 복수의 랙 유닛(40)을 적절히 조합하여 원하는 형상의 보관부(4)를 구성할 수 있게 되며, 보관부(4)의 전체가 단일 랙에 의해 구성되어 있는 경우에 비해, 보관부(4)의 설치의 자유도를 향상시킬 수가 있다.
[0045] 보관 시스템(1)에서는, 각 랙 유닛은, 재치 부재(51)를 지지하는 지지 부재(42)를 포함하고, 지지 부재(42)는, 주행 레일(2)로부터 탈부착 가능하게 매달려 있다. 이 때문에, 재치 부재(51)를 적절한 높이에 용이하게 배치할 수가 있다.
[0046] 보관 시스템(1)에서는, 복수의 랙 유닛(40) 중의 적어도 하나는, 재치 부재(51)에 있어서 FOUP(9)가 재치되는 복수의 재치부(50)가 일렬로 늘어서도록 형성되어 있으며, 또한, 복수의 재치부(50)가 일렬로 늘어선 방향이 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)과 평행이 되도록 설치되어 있다. 이 때문에, 모든 랙 유닛(40)의 각각이, 매트릭스 형상으로 배치된(즉, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)의 양 방향으로 복수 열씩 늘어서도록 배치된) 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있는 경우에 비해, 보관부(4)의 설치의 자유도가 저하되는 것을 억제할 수가 있다. 예컨대, 제3 개구 영역(2c)의 1열 분량만큼 랙 유닛(40)을 제거하고자 하는 경우에 특히 유효하다.
[0047] 보관 시스템(1)에서는, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22)에 의해 둘러싸인 각 영역은, FOUP(9)가 상하방향으로 통과할 수 있는 크기를 갖는 개구 영역을 형성하고 있으며, 대차(3)는, FOUP(9)를 주행 레일(2)보다 상측에서 유지한 상태로 주행하고, 재치 부재(51)에 대하여, 제3 개구 영역(2c)을 통해 FOUP(9)를 넘긴다. 이 때문에, 대차(3)가 주행 레일(2)의 상측을 주행하는 것인 경우에도, 보관부(4)의 설치의 자유도를 향상시킨다고 하는 작용 및 효과를 바람직하게 나타낼 수가 있다.
[0048] 후술하는 제2 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 대차(3A)가 FOUP(9)를 주행 레일(2A)보다 하측에서 유지한 상태로 주행하는 보관 시스템(1A)에서는, 주행 레일(2A)에 슬릿(S1, S2)을 형성할 필요가 있다(도 6 및 도 7 참조). 한편, 제1 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 대차(3)가 FOUP(9)를 주행 레일(2)보다 상측에서 유지한 상태로 주행하는 보관 시스템(1)에서는, 주행 레일(2)에 슬릿을 형성할 필요가 없어, 대차(3)의 주행 시에 각 차륜(36)이 슬릿에 빠지는 일이 없다. 이 때문에, 제2 실시형태의 보관 시스템(1A)에 비해, 대차(3)의 주행 시에 있어서의 진동을 억제할 수가 있다.
[0049] 보관 시스템(1)에서는, 재치 부재(51)는, 서로 간격을 두고 설치된 한 쌍의 기둥형상 부재(41)이다. 이 때문에, 한 쌍의 기둥형상 부재(41)에 FOUP(9)가 재치되기 때문에, 예컨대 평판 형상의 부재에 FOUP(9)가 재치되는 경우에 비해, 랙 유닛(40)에 의해 기류가 방해되는 것을 억제할 수가 있다. 특히, 이 보관 시스템(1)이 클린 룸 내에 있어서 이용될 경우, 클린 룸 내부를 청정 상태로 유지하기 위한 상하방향의 기류가 방해되는 것을 억제할 수가 있다.
(제2 실시형태)
(보관 시스템의 구성)
[0050] 도 6 및 도 7에 나타내어진 바와 같이, 보관 시스템(1A)은, 주행 레일(2A), 대차(3A) 및 랙 유닛(40A)의 구성에 있어서, 상술한 보관 시스템(1)과 주로 상위하다. 주행 레일(2A)은, 복수의 제1 레일 부재(61)와, 복수의 제2 레일 부재(62)와, 복수의 교차 레일 부재(63)를 갖고 있다. 각 제1 레일 부재(61)는, 제1 방향(D1)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 각 제1 레일 부재(61)는, 제1 방향(D1)을 따라 소정 간격으로 복수로 배치된 열(列)을 복수로 형성하고 있다. 이들 제1 레일 부재(61)의 각 열은, 제2 방향(D2)으로 늘어서 있다. 각 제2 레일 부재(62)는, 제2 방향(D2)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 각 제2 레일 부재(62)는, 제2 방향(D2)을 따라 소정 간격으로 복수로 배치된 열을 복수로 형성하고 있다. 이들 제2 레일 부재(62)의 각 열은, 제1 방향(D1)으로 늘어서 있다. 제1 레일 부재(61)의 열에 있어서의 서로 이웃하는 제1 레일 부재(61)끼리 사이의 틈새와, 제2 레일 부재(62)의 열에 있어서의 서로 이웃하는 제2 레일 부재(62)들끼리 사이의 틈새는, 공통되어 있다.
[0051] 각 교차 레일 부재(63)는, 제1 레일 부재(61)의 열에 있어서의 서로 이웃하는 제1 레일 부재(61)끼리 사이의 틈새(즉, 제2 레일 부재(62)의 열에 있어서의 서로 이웃하는 제2 레일 부재(62)끼리 사이의 틈새)에 배치되어 있다. 제1 방향(D1)에 있어서, 각 교차 레일 부재(63)와 그 양측의 각 제1 레일 부재(61)의 단부(端部)의 사이에는, 슬릿(공극(空隙); S1)이 형성되어 있다. 제2 방향(D2)에 있어서, 각 교차 레일 부재(63)와 그 양측의 각 제2 레일 부재(62)의 단부의 사이에는, 슬릿(공극; S2)이 형성되어 있다. 슬릿(S1, S2)은, 대차(3A)의 각 차륜(36)의 직경에 대해 충분히 작은 폭을 갖도록 형성되어 있다. 제1 레일 부재(61), 제2 레일 부재(62) 및 교차 레일 부재(63)의 각각은, 예컨대 천정으로부터 매달려 있다.
[0052] 제1 방향(D1)을 따라 배치된 복수의 제1 레일 부재(61) 및 복수의 교차 레일 부재(63)는, 제1 레일(21A)을 구성하고 있다. 제2 방향(D2)을 따라 배치된 복수의 제2 레일 부재(62) 및 복수의 교차 레일 부재(63)는, 제2 레일(22A)을 구성하고 있다. 즉, 교차 레일 부재(63)는, 제1 레일(21A)과 제2 레일(22A)을 겸하고 있으며, 제1 레일(21A)과 제2 레일(22A)의 교차 부분을 구성하고 있다. 주행 레일(2A)은, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21A)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22A)에 의해 둘러싸인 영역을 종횡(縱橫)으로 복수로 형성하고 있다.
[0053] 대차(3A)는, 주행부(31A) 및 이재부(32)를 갖고 있다. 주행부(31A)는, 본체부(37A), 4개의 차륜(36A) 및 차륜 지지 아암(38A)을 포함하고 있다. 각 차륜(36A)은, 본체부(37A)로부터 상방으로 돌출하도록 설치된 차륜 지지 아암(38A)에 회전 가능하게 지지되어 있으며, 주행 레일(2A)의 답면(24a) 상을 굴러 이동한다. 즉, 본체부(37A) 및 이재부(32)는, 주행 레일(2A) 상에 위치하는 각 차륜(36A)으로부터, 차륜 지지 아암(38A)을 통해, 주행 레일(2A)보다 하측에 매달려 있다. 또한, 이재부(32)에 대해서는, 제1 실시형태의 대차(3)가 갖는 이재부(32)와 마찬가지로 구성되어 있기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.
[0054] 각 랙 유닛(40A)은, 재치 부재(51A)와, 2쌍의 지지 부재(42A)와, 각 쌍의 지지 부재(42A)의 하단부끼리 접속하는 2개의 접속 부재(43A)를 갖고 있다. 도 6 및 도 7에 나타내어진 랙 유닛(40A)은, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21A)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22A)에 의해 둘러싸인 영역의 하나에 대응하도록 구성되어 있다.
[0055] 재치 부재(51A)는, 그 상면에 FOUP(9)가 재치된 상태에 있어서, 해당 FOUP(9)와 간섭하지 않고 해당 FOUP(9)의 상방을 대차(3A)가 주행할 수 있는 높이에 설치되어 있다. 재치 부재(51A)는, 2개의 접속 부재(43A)의 사이에 걸쳐진 한 쌍의 기둥형상 부재(41A)이다. 기둥형상 부재(41A)의 재치부(50A)의 상면에는, 복수(여기에서는, 3개)의 위치결정 핀(44A)이 설치되어 있다.
[0056] 각 지지 부재(42A)는, 교차 레일 부재(63)로부터 탈부착 가능하게 매달려 있다. 지지 부재(42A)는, 1개의 교차 레일 부재(63)에 대해서 예컨대 4 개씩 설치되며, 이들 각 지지 부재(42A)는, 해당 교차 레일 부재(63)의 사방(四方)에 설치되는 각 랙 유닛(40A)의 재치 부재(51A)를 각각 지지한다. 일례로서, 교차 레일 부재(63)의 하측에는, 브래킷(65)이 설치되어 있다. 브래킷(65)에는, 각 지지 부재(42A)의 상단부에 대응하는 위치에 관통구멍이 형성되어 있다. 각 지지 부재(42A)의 상단부에는, 축심 방향으로 나사구멍이 형성되어 있다. 브래킷(65)에 있어서의 각 관통구멍에 관통 삽입된 볼트(66)가 각 지지 부재(42A)에 있어서의 나사구멍에 조임 부착됨으로써, 각 랙 유닛(40A)이 교차 레일 부재(63)에 대해 고정된다. 각 볼트(66)가 관통구멍으로부터 떼내어 짐에 따라, 각 랙 유닛(40A)이 교차 레일 부재(63)로부터 떼내어 진다. 또한, 랙 유닛(40A)을 주행 레일(2A)에 대해서 탈부착 가능하게 하는 구성은 상기한 것으로 한정되지 않는다. 예컨대, 브래킷(65)에 피(被)걸림고정부가, 각 지지 부재(42A)의 상단부에 걸림고정부가 각각 설치되어 있어, 각 지지 부재(42A)가 브래킷(65)에 대해 걸림고정되는 간단한 구성에 의해, 랙 유닛(40A)이 주행 레일(2A)에 부착되는 것이어도 된다. 혹은, 교차 레일 부재(63)에 피걸림고정부가 설치되어, 각 지지 부재(42A)가 교차 레일 부재(63)에 대해 직접 걸림고정되는 것이어도 된다. 또, 동일한 교차 레일 부재(63)에 설치된 복수의 지지 부재(42A)는, 복수의 랙 유닛(40A)에 의해 공용(共用)되어도 된다.
[0057] 또한, 도 8 및 도 9에 나타내어진 바와 같이, 랙 유닛(40A)은, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21A)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22A)에 의해 둘러싸인 영역이 복수로 늘어선 영역에 대응하도록 구성되어 있어도 된다. 예컨대, 랙 유닛(40A)은, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 일렬로 늘어선 복수의 상기 영역에 대응하도록 구성되어 있어도 된다. 일례로서, 도 8 및 도 9에 나타내어진 랙 유닛(40A)은, 제2 방향(D2)으로 일렬로 늘어선 2개의 상기 영역에 대응하도록 구성되어 있다.
(대차의 동작)
[0058] 이상과 같이 구성된 보관 시스템(1A)에 있어서는, 도 6에 나타내어진 바와 같이, 대차(3A)는, 이재부(32)에 의해, FOUP(9)를 주행 레일(2A)보다 하측에서 유지한 상태로, 주행부(31A)에 의해, 해당 FOUP(9)를 복수의 지지 부재(42A)의 사이를 통과시켜 주행한다. 이때, 슬릿(S1, S2)은 대차(3A)의 각 차륜(36A)의 직경에 대해서 충분히 작은 폭을 갖도록 형성되어 있기 때문에, 대차(3A)가 제1 방향(D1)으로 주행하는 경우에 있어서 각 차륜(36A)은 슬릿(S1) 상을 통과하는 것이 가능하며, 대차(3A)가 제2 방향(D2)으로 주행하는 경우에 있어서 각 차륜(36A)은 슬릿(S2) 상을 통과하는 것이 가능하다.
[0059] 또, 각 차륜(36A)이 교차 레일 부재(63)를 제1 방향(D1)으로 통과할 경우에는, 해당 차륜(36A)을 지지하는 차륜 지지 아암(38A)은 슬릿(S2)을 지나고, 한편, 각 차륜(36A)이 교차 레일 부재(63)를 제2 방향(D2)으로 통과할 경우에는, 해당 차륜(36A)을 지지하는 차륜 지지 아암(38A)은 슬릿(S1)을 지난다. 따라서, 대차(3A)는, 주행 레일(2A)과 간섭하는 일 없이 주행 레일(2A)을 주행할 수가 있다.
[0060] 또, 각 지지 부재(42A)는 교차 레일 부재(63)로부터 매달려 있고, 또한, 대차(3A)는 교차 레일 부재(63)의 바로 아래를 주행하지 않기 때문에, 각 지지 부재(42A)와 대차(3A)는 간섭하지 않는다. 따라서, 대차(3A)는, 랙 유닛(40A)과 간섭하는 일 없이 주행 레일(2A)을 주행할 수가 있다.
[0061] 또한, 대차(3A)는, 이재부(32)가 주행 레일(2A)보다 하측에 위치하고 있기 때문에, 서로 이웃하는 한 쌍의 제1 레일(21A)과 서로 이웃하는 한 쌍의 제2 레일(22A)에 의해 둘러싸인 영역을 통과시키지 않으며, 랙 유닛(40A)에 대하여 FOUP(9)를 넘긴다.
(작용 및 효과)
[0062] 이상 설명한 바와 같이, 보관 시스템(1A)에서는, 각 지지 부재(42A)는, 제1 레일(21A)과 제2 레일(22A)의 교차 부분인 교차 레일 부재(63)로부터 매달려 있다. 그리고, 대차(3A)는, FOUP(9)를 주행 레일(2A)보다 하측에서 유지한 상태로, 해당 FOUP(9)를 복수의 지지 부재(42A)의 사이를 통과시켜 주행한다. 이 때문에, 대차(3A)가 주행 레일(2A)의 하측을 주행하는 것인 경우에도, 보관부(4)의 설치의 자유도를 향상시킨다고 하는 작용 및 효과를 매우 적합하게 나타낼 수가 있다.
[0063] 상술한 제1 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 대차(3)가 FOUP(9)를 주행 레일(2)보다 상측에서 유지한 상태로 주행하는 보관 시스템(1)에서는, 반도체 제조 공장의 천정과 주행 레일(2)의 사이에, 대차(3)에 유지된 FOUP(9)가 이동할 수 있을 정도의 상하방향의 공간을 확보할 필요가 있다(도 3 참조). 한편, 제2 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 대차(3A)가 FOUP(9)를 주행 레일(2A)보다 하측에서 유지한 상태로 주행하는 보관 시스템(1A)에서는, 이러한 공간을 확보할 필요가 없어, 제1 실시형태의 보관 시스템(1)에 비해, 주행 레일(2A)을 반도체 제조 공장의 천정에 가까운 위치에 설치할 수가 있다. 즉, 제1 실시형태의 주행 레일(2)보다 높은 위치에 주행 레일(2A)을 설치할 수가 있다. 이로써, 주행 레일(2A)에 있어서 랙 유닛(40A)이 설치되어 있지 않은 위치에 대해서는, 비교적 키가 큰 반도체 처리장치(10)(예컨대, 제1 실시형태의 주행 레일(2)이 설치되는 높이보다 높은 반도체 처리장치(10))를 주행 레일(2A)의 하방에 설치할 수가 있다.
[0064] 또, 상술한 제1 실시형태에 나타내어진 바와 같이, 보관 시스템(1)에서는, 대차(3)가 주행 레일(2)보다 하방인 장치 포트(8)에 대해 FOUP(9)를 넘기기 위해서는, FOUP(9)를 주행 레일(2)에 형성된 제1 개구 영역(2a)을 통과시킬 필요가 있다. 이 때문에, 주행 레일(2)에 있어서의 제1 개구 영역(2a)의 위치를, 그 하방에 배치되는 장치 포트(8)의 레이아웃에 맞추지 않으면 안 된다는 제약이 있다. 한편, 제2 실시형태의 보관 시스템(1A)에서는, 이러한 제약이 없기 때문에, 주행 레일(2A)의 하방에 배치되는 장치 포트(8)의 레이아웃에 상관 없이, 주행 레일(2A)을 자유롭게 설치할 수가 있다. 환언하면, 주행 레일(2A)의 하방에 배치되는 장치 포트(8)의 레이아웃의 자유도를 향상시킬 수가 있다.
(변형예)
[0065] 이상, 본 발명의 제1 실시형태 및 제2 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은, 상기 제1 실시형태 및 제2 실시형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 제1 실시형태에 있어서, 각 랙 유닛(40)은, 적어도 1개의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있으면 되고, 모든 랙 유닛(40)의 각각이 1개의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있어도 된다. 즉, 각 재치 부재(51)에는, FOUP(9)가 재치되는 부분인 재치부(50)가 1개만 형성되어 있어도 된다.
[0066] 또, 제1 실시형태에 있어서, 복수의 랙 유닛(40) 중 적어도 1개가 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있는 경우에는, 어떠한 랙 유닛(40)이든, 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2)으로 일렬로 늘어선 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있지 않아도 된다. 즉, 1개의 주행 레일(2)에 대해 설치된 복수의 랙 유닛(40) 중의 적어도 1개가 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성되어 있으면, 이들 복수의 제3 개구 영역(2c)에 대응하도록 구성된 모든 랙 유닛(40)의 각각이, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)으로 m×n(m, n는 2 이상의 정수(整數))으로 매트릭스 형상으로 배열된 복수의 제1 개구 영역(2a)에 대응하도록 구성되어 있어도 된다. 그 경우, m=n여도 되고, m＜n 또는 m＞n여도 된다. 또한, 1개의 주행 레일(2)이란, 각 대차(3)가 그 주행부(31)에 의해 단독으로 주행 가능한 범위를 구성하는 주행 레일(2)을 의미한다.
[0067] 또, 제1 실시형태 및 제2 실시형태에 있어서, 복수의 제1 레일(21, 21A) 및 복수의 제2 레일(22, 22A)은, 동일한 수평면 상으로 한정하지 않고, 예컨대, 경사진 동일한 평면 상에 배치되어 있어도 된다. 또, 보관 시스템(1, 1A)은, 대차(3, 3A)를 복수로 갖고 있지 않아도 되며, 한 대만 갖고 있어도 된다.
[0068] 또, 제1 실시형태에 있어서, 대차(3)의 돌출부(33)는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 이재부(32)를 돌출시키는 것이어도 된다. 즉, 돌출부(33)는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2) 중의 적어도 일(一) 방향으로 이재부(32)를 돌출시키는 것이면 된다. 예컨대, 돌출부(33)는, 이재부(32)를 진퇴시키는 슬라이드 기구를 포함하고, 이 슬라이드 기구에 의해, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 이재부(32)를 돌출시켜도 되며, 혹은, 돌출부(33)는, 주행부(31)로부터 수평방향으로 연장되는 아암을 주행부(31) 상의 중심축 둘레로 회동시켜, 해당 아암의 선단 측에서 유지한 이재부(32)를 선회시키는 스윙 기구를 포함하고, 이 스윙 기구에 의해, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 이재부(32)를 돌출시켜도 된다. 또, 돌출부(33)는, 주행부(31)로부터 제1 방향(D1) 또는 제2 방향(D2) 중의 어느 방향으로 이재부(32)를 상시(常時) 돌출시킨 상태 그대로여도 된다.
[0069] 또, 제1 실시형태에 있어서, 제2 정지 영역(20b)의 하측에 랙 유닛(40, 40A)이 설치되어 있어도 되고, 그 경우, 대차(3, 3A)는, 제2 정지 영역(20b)에 대응하는 부분에 주행부(31, 31A)가 정지한 상태에 있어서는, 랙 유닛(40, 40A)에 대하여 FOUP(9)를 넘기지 않는다.
[0070] 또, 제1 실시형태 및 제2 실시형태에 있어서, 서로 인접하여 설치된 복수(예컨대, 2개)의 랙 유닛(40, 40A)은, 서로 인접하는 쪽의 지지 부재(42, 42A)를 공유하고 있어도 된다. 즉, 예컨대 제2 실시형태에 있어서, 교차 레일 부재(63)로부터 1개(단일)의 지지 부재(42A)가 매달리고, 그 지지 부재(42A)가 복수의 랙 유닛(40A)에 의해 공유되어도 된다.
[0071] 또, 본 발명의 일 양태의 보관 시스템이 보관하는 물품은, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(9)로 한정되지 않고, 유리 웨이퍼, 레티클 등이 수용된 그 밖의 용기인 것으로 해도 된다. 또, 본 발명의 일 양태의 보관 시스템은, 반도체 제조 공장으로 한정되지 않으며, 그 밖의 시설에도 적용 가능하다.
(산업상의 이용 가능성)
[0072] 본 발명의 일 양태에 의하면, 보관부의 설치의 자유도를 향상시킬 수 있는 보관 시스템을 제공할 수 있게 된다.
[0073] 1, 1A 보관 시스템
2, 2A 주행 레일
2a 제1 개구 영역(영역, 개구 영역)
2b 제2 개구 영역(영역, 개구 영역)
2c 제3 개구 영역(영역, 개구 영역)
3, 3A 대차
4 보관부
9 FOUP(물품)
21, 21A 제1 레일
22, 22A 제2 레일
31, 31A 주행부
32 이재부
40, 40A 랙 유닛
41, 41A 기둥형상 부재
42, 42A 지지 부재
50, 50A 재치부(載置部)
51, 51A 재치 부재
D1 제1 방향
D2 제2 방향

Claims (6)

  1. 제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 레일 및 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 갖고, 복수의 상기 제1 레일 및 복수의 상기 제2 레일이 동일한 평면 상에 격자(格子)형상으로 배치됨으로써, 서로 이웃하는 한 쌍의 상기 제1 레일과 서로 이웃하는 한 쌍의 상기 제2 레일에 의해 둘러싸인 영역을 종횡(縱橫)으로 복수로 형성하는 주행 레일과,
    상기 주행 레일을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각의 방향으로 주행하는 주행부, 및 물품의 유지 및 승강을 행하는 이재부(移載部)를 갖는 대차(台車)와,
    상기 주행 레일의 하측에 설치되며, 상기 물품이 재치(載置)되는 보관부를 구비하고,
    상기 주행 레일은, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 교차 부분을 구성하는 복수의 교차 레일 부재를 가지며,
    상기 대차는, 상기 보관부에 대하여 상기 물품을 넘기고,
    상기 보관부는, 서로 인접하는 복수의 랙 유닛(rack unit)을 가지며,
    복수의 상기 랙 유닛의 각각은, 상기 물품이 재치되는 재치 부재를 포함하는 동시에 상기 재치 부재가 상기 영역의 바로 아래에 위치하도록 설치되며, 또한, 상기 주행 레일에 대해 탈부착 가능하고,
    복수의 상기 교차 레일 부재의 각각에 설치된 복수의 브래킷을 더 구비하며,
    상기 브래킷은, 상기 교차 레일 부재의 네 모서리에 각각 설치되는 4개의 상기 랙 유닛을 탈부착할 수 있고,
    복수의 상기 랙 유닛의 각각은, 해당 랙 유닛의 네 모서리에 각각 위치하는 4개의 상기 브래킷을 통해, 상기 주행 레일에 대해 탈부착 가능한,
    보관 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 랙 유닛의 각각은, 상기 주행 레일로부터 탈부착 가능하게 매달리며 또한 상기 재치 부재를 지지하는 지지 부재를 포함하는,
    보관 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 랙 유닛 중의 적어도 하나는, 상기 재치 부재에 있어서 상기 물품이 재치되는 복수의 재치부가 일렬로 늘어서도록 형성되어 있으며, 복수의 상기 재치부가 일렬로 늘어선 방향이 상기 제1 방향 또는 상기 제2 방향과 평행이 되도록 설치되는,
    보관 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    복수의 상기 영역의 각각은, 상기 물품이 상하방향으로 통과할 수 있는 크기를 갖는 개구 영역을 형성하고 있으며,
    상기 대차는,
    상기 물품을 상기 주행 레일보다 상측에서 유지하여 주행하고,
    상기 재치 부재에 대하여, 상기 개구 영역을 통해 상기 물품을 넘기는,
    보관 시스템.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    복수의 상기 지지 부재의 각각은, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일의 교차 부분으로부터 매달리고,
    상기 대차는, 상기 물품을 상기 주행 레일보다 하측에서 유지한 상태로, 해당 물품을 복수의 상기 지지 부재의 사이를 통과시켜 주행하는,
    보관 시스템.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 재치 부재는, 서로 간격을 두고 설치된 한 쌍의 기둥형상 부재인,
    보관 시스템.
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