WO2018211898A1 - 保管システム - Google Patents

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WO2018211898A1
WO2018211898A1 PCT/JP2018/015894 JP2018015894W WO2018211898A1 WO 2018211898 A1 WO2018211898 A1 WO 2018211898A1 JP 2018015894 W JP2018015894 W JP 2018015894W WO 2018211898 A1 WO2018211898 A1 WO 2018211898A1
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靖久 伊藤
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村田機械株式会社
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a storage system.
  • a traveling rail having a plurality of rails arranged in a grid on the same horizontal plane, and a carriage that travels on the traveling rail and holds and lifts articles
  • a system that includes a storage unit that is disposed below the traveling rail and on which articles are placed (see, for example, Patent Document 1).
  • the carriage delivers articles to the storage unit through an opening area provided between the rails.
  • a storage unit is provided on the entire surface of the area below the road rail except directly above the load port. In such a configuration, the degree of freedom of installation of the storage unit is low.
  • an object of one embodiment of the present invention is to provide a storage system that can improve the degree of freedom of installation of the storage unit.
  • a storage system includes a plurality of first rails extending in a first direction and a plurality of second rails extending in a second direction orthogonal to the first direction, and the plurality of first rails And a plurality of second rails arranged in a lattice pattern on the same plane, a plurality of regions surrounded by a pair of first rails adjacent to each other and a pair of second rails adjacent to each other vertically and horizontally.
  • a storage unit on which the article is placed the carriage delivers the article to the storage unit
  • the storage unit has a plurality of rack units adjacent to each other, and each of the plurality of rack units Is the placement section on which the article is placed
  • Mounting member with containing is provided so as to be located immediately below the region, and is detachable with respect to the running rail.
  • This storage system can improve the degree of freedom of installation, removal, position change, etc. of the storage unit as compared with the case where the entire storage unit is composed of a single rack.
  • each of the plurality of rack units may include a support member that supports the mounting member, and the support member may be detachably suspended from the traveling rail.
  • the rack unit including the mounting member can be attached to and detached from the traveling rail by attaching and detaching the support member to and from the traveling rail.
  • each of the rack units corresponds to a plurality of opening regions arranged in a matrix (that is, arranged in a plurality of rows in both the first direction and the second direction).
  • the freedom degree such as installation of a storage part, removal, a position change, can be improved. For example, it is particularly effective when it is desired to remove the storage part for one row of the open area.
  • each of the plurality of regions forms an opening region having a size that allows the article to pass in the vertical direction, and the carriage holds the article above the traveling rail.
  • the vehicle may travel in a state, and the article may be delivered to the placement member through the opening region. According to this, the article can be delivered to the storage unit simply by moving the article up and down in the vertical direction through the opening region.
  • each of the plurality of support members is suspended from the intersection between the first rail and the second rail, and the carriage holds the article below the traveling rail.
  • the article may travel while passing between a plurality of support members.
  • the travel rail hardly interferes with the delivery operation of the goods, so the layout flexibility of the transfer destination is improved.
  • a mounting member can be supported just under an opening area
  • the mounting member may be a pair of beam-like members that are spaced from each other. According to this, since the article is placed on the pair of beam-like members, for example, compared with the case where the article is placed on the flat plate-like member, the airflow is prevented from being obstructed by the rack unit. Can do. In particular, when this storage system is used in a clean room, it is possible to suppress the obstruction of the vertical airflow for keeping the clean room clean.
  • FIG. 1 is a plan view of a storage system according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a partially enlarged view of the storage system of FIG.
  • FIG. 3 is a front view of a rack unit provided in the storage system of FIG. 4 is a bottom view of the rack unit of FIG.
  • FIG. 5 is a side view of the rack unit of FIG.
  • FIG. 6 is a front view of a rack unit provided in the storage system of the second embodiment.
  • FIG. 7 is a bottom view of the rack unit of FIG.
  • FIG. 8 is a front view of another rack unit provided in the storage system of the second embodiment.
  • FIG. 9 is a bottom view of the rack unit of FIG.
  • the storage system 1 includes a traveling rail 2, a plurality of carts 3, and a storage unit 4.
  • the storage system 1 is laid above a plurality of semiconductor processing apparatuses 10 each having a plurality of apparatus ports 8 in a semiconductor manufacturing factory.
  • the storage system 1 temporarily stores a FOUP (Front Opening Unified Pod) 9 containing a plurality of semiconductor wafers. More specifically, in the storage system 1, the FOUP 9 is transported between the storage unit 4 and the device port 8 by the carriage 3 traveling on the traveling rail 2, and the storage unit 4 FOUP 9 (before supplying the FOUP 9 to the device port 8).
  • the FOUP 9 and the FOUP 9) collected from the apparatus port 8 are temporarily stored.
  • the FOUP 9 is carried into or out of the storage system 1 by OHT (Overhead Hoist Transfer). The OHT travels along a track laid between the storage system 1 and the ceiling of the semiconductor manufacturing factory.
  • OHT Overhead Hoist Transfer
  • the respective semiconductor processing apparatuses 10 are arranged in a plurality of rows (two rows along the first direction D1 in FIG. 1) on the lower side of the traveling rail 2. Each semiconductor processing apparatus 10 is disposed in a direction in which the apparatus ports 8 face each other in a pair of adjacent rows.
  • the FOUP 9 is supplied to the apparatus port 8 of the semiconductor processing apparatus 10 by the carriage 3, the semiconductor wafer accommodated in the FOUP 9 is taken into the semiconductor processing apparatus 10. Then, after the semiconductor wafer is subjected to a predetermined process in the semiconductor processing apparatus 10, it is accommodated in the FOUP 9 again. As a result, the FOUP 9 can be collected and transported by the carriage 3.
  • the traveling rail 2 has a plurality of first rails 21 and a plurality of second rails 22.
  • Each first rail 21 extends linearly in the first direction D1, and a predetermined interval is provided between the first rails 21 adjacent to each other.
  • Each second rail 22 extends linearly in a second direction D2 orthogonal to the first direction D1, and a predetermined interval is provided between the second rails 22 adjacent to each other.
  • the plurality of first rails 21 and the plurality of second rails 22 are arranged in a grid on the same horizontal plane.
  • the carriage 3 includes a traveling part 31, a transfer part 32, and a protruding part 33.
  • the traveling unit 31 can travel in the first direction D1 along a pair of first rails 21 adjacent to each other, and can travel in a second direction D2 along a pair of second rails 22 adjacent to each other. is there.
  • the traveling unit 31 includes a main body unit 37, four wheels 36, and a wheel support arm 38. Each wheel 36 is rotatably supported by a wheel support arm 38 provided so as to protrude downward from the main body portion 37, and rolls on the tread surface 24 a of the traveling rail 2.
  • the transfer unit 32 includes a holding unit 32a that holds the flange portion 9a of the FOUP 9, a belt 32b that suspends the holding unit 32a, and an elevating drive unit 32c that raises and lowers the holding unit 32a by winding and lowering the belt 32b. And a ⁇ rotation mechanism 32d that rotates the elevating drive unit 32c about a vertical direction (a direction perpendicular to each of the first direction D1 and the second direction D2).
  • FIG. 3 shows a state in the middle of transferring the FOUP 9 to the storage unit 4 by the transfer unit 32.
  • the protruding portion 33 causes the transfer portion 32 to protrude from the traveling portion 31 in each of the first direction D1 and the second direction D2.
  • the protrusion 33 includes a turning mechanism 33a.
  • the base end part of the turning mechanism 33a is rotatably attached to the traveling part 31, and the transfer part 32 is attached to the distal end part of the turning mechanism 33a.
  • the traveling rail 2 is provided with a plurality of rectangular (that is, checkered) regions.
  • Each rectangular region is a region surrounded by a pair of first rails 21 adjacent to each other and a pair of second rails 22 adjacent to each other, and a plurality of regions are formed vertically and horizontally.
  • vertical and horizontally means that each of the first direction D1 and the second direction D2
  • a plurality of rectangular regions are formed vertically and horizontally means a rectangular shape. It means that a plurality of regions are formed in a matrix form arranged in each of the first direction D1 and the second direction D2.
  • Each rectangular area forms an opening area having a size that allows the FOUP 9 to pass in the vertical direction.
  • the carriage 3 travels by the traveling unit 31 in a state where the FOUP 9 is retained above the traveling rail 2 by the retaining unit 32 a of the transfer unit 32. In addition, the carriage 3 delivers the FOUP 9 to the storage unit 4 through the predetermined opening region by the transfer unit 32.
  • the first opening area (opening area) 2 a is an area located immediately above the device port 8.
  • the second opening region (opening region) 2b is the device port 8 through the first opening region 2a in a state where the carriage 3 positions the transfer part 32 on the first opening region 2a. This is an area located immediately below the stop position of the traveling unit 31 when the FOUP 9 is delivered.
  • the third opening region (opening region) 2c is a region other than the first opening region 2a and the second opening region 2b.
  • the area above the plurality of device ports 8 and below the traveling rail 2 is classified into a non-storage area 5 and a storage area 6.
  • the non-storage area 5 includes a plurality of sections each constituted by each first opening area 2a and each area provided adjacent to the first opening area 2a so as to surround the first opening area 2a; It is an area immediately below the area (intervening) located between the sections in the opening area 2c.
  • the “region located between each compartment” is located between two compartments constituting at least one combination among all combinations constituted by two compartments of the plurality of compartments. It means a region where all the regions are added together.
  • the non-storage area 5 is an area where each section is located with respect to a line connecting the outer edges on the side that does not face the other sections among the outer edges of each section.
  • the storage area 6 is an area excluding the non-storage area 5, and a plurality of third opening areas 2c are provided immediately above it.
  • the storage area 6 is an area on the side where each section is not located with respect to a line connecting the outer edges on the side not facing the other sections among the outer edges of each section.
  • the storage unit 4 is not provided immediately below all the areas provided adjacent to the first opening area 2a so as to surround the first opening area 2a in the third opening area 2c.
  • the storage unit 4 may not be provided in the non-storage region 5. In this case, in the traveling rail 2 around the device port 8, it is possible to suppress the occurrence of traffic congestion due to the carriage 3. .
  • the storage unit 4 is configured by combining a plurality of rack units 40 adjacent to each other.
  • Each rack unit 40 has a mounting member 51 for mounting the FOUP 9 (details will be described later), and a pair of first rails 21 adjacent to each other and a pair of second rails 22 adjacent to each other.
  • the mounting member 51 is provided so as to be located immediately below a region (opening region) surrounded by.
  • Each rack unit 40 is attached so as to correspond to the plurality of third opening regions 2c provided adjacent to the first rail 21 or the second rail 22 and arranged on both sides thereof.
  • Each placement member 51 is formed with a plurality of placement portions 50 that are portions on which the FOUP 9 is placed.
  • At least one of the plurality of rack units 40 is formed such that the plurality of placement portions 50 are arranged in a row in the placement member 51, and the direction in which the plurality of placement portions 50 are arranged in a row is the first direction. It is provided so as to be parallel to D1 or the second direction D2. That is, each rack unit 40 corresponds to a plurality of third opening regions 2c arranged in a line in either the first direction D1 or the second direction D2. FOUP 9 is delivered to each rack unit 40 through each of the corresponding third opening regions 2c. As an example, in the storage system 1, each rack unit 40 corresponds to the three third opening regions 2c arranged in a row in the second direction D2.
  • the first opening region 2 a is formed by partially thinning out at least one of the first rail 21 and the second rail 22.
  • Each first opening region 2a has a size corresponding to a plurality of second opening regions 2b and third opening regions 2c.
  • the first opening region 2a is a region immediately above the plurality of device ports 8 arranged in a line in the first direction D1.
  • the first rail 21 is formed of an H-shaped steel material in which the web portion 23 is arranged vertically.
  • the upper surface of the flange portion 24 provided at the lower end of the web portion 23 is a tread surface 24 a of the four wheels 36 included in the traveling portion 31 of the carriage 3.
  • the second rail 22 has the same configuration as the first rail 21.
  • the four wheels 36 are a pair of tread surfaces 24a (tread surfaces 24a of the first rail 21) facing each other in the second direction D2.
  • a pair of tread surfaces 24a (the tread surface 24a of the second rail 22) facing each other in the first direction D1.
  • the traveling unit 31 performs the direction change between the first direction D1 and the second direction D2 by simultaneously changing the direction when the four wheels 36 are located at the four intersections.
  • the rack unit 40 includes a placement member 51, a plurality of support members 42, and a plurality of reinforcement members 43.
  • the placement member 51 is a member on which the FOUP 9 is placed.
  • the mounting member 51 is, for example, a pair of beam-like members 41 provided at intervals.
  • the pair of beam-like members 41 extends in the direction below the plurality of third opening regions 2c arranged in a line in either the first direction D1 or the second direction D2.
  • the pair of beam-like members 41 are arranged in parallel to each other on the same horizontal plane. That is, the pair of beam-like members 41 are arranged in parallel.
  • Each support member 42 is a member for supporting the mounting member 51.
  • Each support member 42 extends upward from both ends of the pair of beam-like members 41.
  • the upper end portion of each support member 42 is detachably attached to the first rail 21 or the second rail 22.
  • each support member 42 is suspended from the traveling rail 2 so as to be detachable. That is, the rack unit 40 is suspended from the traveling rail 2 below the third opening region 2 c and is detachable from the traveling rail 2.
  • the pair of beam members 41 extends in the second direction D2 below the three third opening regions 2c arranged in a row in the second direction D2, The upper end portion of each support member 42 is detachably attached to the first rail 21.
  • the plurality of reinforcing members 43 connect the pair of support members 42 connected to the end portions on the same side in each of the pair of beam-like members 41 at their lower end portions. Thereby, the change of the attitude
  • a plurality of brackets 25 are detachably fixed to the lower surfaces of the flange portions 24 of the first rail 21 and the second rail 22 with bolts or the like.
  • the plurality of brackets 25 are arranged at a pitch corresponding to the third opening region 2c.
  • Each bracket 25 provided on the first rail 21 has a pair of beam-like members 41 extending in the second direction D2, and one of the pair of rack units 40 adjacent to each other in the second direction D2.
  • the upper end portion of the other side support member 42 in the side rack unit 40 and the upper end portion of the one side support member 42 in the other side rack unit 40 can be attached by bolts.
  • Each bracket 25 provided on the second rail 22 has a pair of beam-like members 41 extending in the first direction D1 and one of the pair of rack units 40 adjacent to each other in the first direction D1.
  • the upper end portion of the other side support member 42 in the side rack unit 40 and the upper end portion of the one side support member 42 in the other side rack unit 40 can be attached by bolts. Therefore, with the above configuration, the rack unit 40 can be attached to and detached from the flange portion 24 by attaching and detaching the bracket 25 to the lower surface of the flange portion 24 of each of the first rail 21 and the second rail 22. . [Position relationship of rack unit mounting surface]
  • a plurality of beam-like members 41 included in the rack unit 40 are provided in a plurality via the respective third opening regions 2 c corresponding to the rack unit 40.
  • FOUP9 is mounted.
  • the mounting member 51 such as the beam-like member 41 is provided with a mounting portion 50 that is a portion on which the FOUP 9 is mounted, and the upper surface of the mounting portion 50 is a mounting surface 40a. Therefore, when viewed from the vertical direction, the FOUP 9 placed on the placement surface 40a is located in the third opening region 2c.
  • a plurality of (here, three) positioning pins (positioning portions) 44 for positioning each FOUP 9 with respect to the rack unit 40 are provided on the upper surface of the pair of beam-like members 41.
  • the positioning pin 44 is also referred to as a kinema pin, and restricts the movement of each FOUP 9 relative to the rack unit 40 by fitting into a recess provided on the bottom surface of the FOUP 9.
  • the rack unit 40 is configured such that the FOUP 9 placed on the placement surface 40 a overlaps the first rail 21 and the second rail 22 when viewed from the horizontal direction.
  • the space between the mounting surface 40a and the first rail 21 and the space between the mounting surface 40a and the second rail 22 have sizes that the FOUP 9 cannot pass through.
  • the rack unit 40 is configured such that the upper end of the FOUP 9 placed on the placement surface 40a is positioned below the lower end of the main body portion 37 of the traveling unit 31 of the carriage 3 that travels immediately above the rack unit 40. ing.
  • the rack unit 40 is configured such that the upper end of the FOUP 9 placed on the placement surface 40 a is positioned above the tread surface 24 a of the traveling rail 2.
  • the traveling rail 2 has a first stop area 20a and a second stop area (adjacent area) 20b.
  • the first stop area 20 a is a part of the traveling rail 2 corresponding to the plurality of third opening areas 2 c immediately above the storage area 6.
  • the second stop area 20 b is a part of the traveling rail 2 corresponding to the plurality of second opening areas 2 b adjacent to each of the plurality of first opening areas 2 a in the non-storage area 5.
  • the first stop area 20a and the second stop area 20b do not overlap.
  • the storage unit 4 is provided below the first stop region 20a, but the storage unit 4 is not provided below the second stop region 20b.
  • a working scaffold 7 attached to the traveling rail 2 so as to be suspended is provided below the second opening region 2b (for example, a region immediately below).
  • the first opening region 2a extends in the first direction D1
  • the second stop region 20b is in the first direction D1 on both sides of the first opening region 2a in the second direction D2.
  • the cart 3 travels in the first direction D1 and the second direction D2 with the transfer unit 32 protruding from the travel unit 31 in the first direction D1.
  • an operation example of the carriage 3 in this case will be described.
  • the transfer unit 32 When delivering the FOUP 9 to the predetermined rack unit 40 via the predetermined third opening region 2c, the transfer unit 32 is projected in the first direction D1 from the traveling unit 31.
  • the traveling unit 31 stops at the first stop region 20a so that 32 is positioned on the predetermined third opening region 2c.
  • the carriage 3 moves the holding unit 32a of the transfer unit 32 up and down to deliver the FOUP 9 to the predetermined rack unit 40 through the predetermined third opening region 2c.
  • the carriage 3 does not deliver the FOUP 9 to the rack unit 40 via the third opening area 2c.
  • the stop position of the traveling unit 31 when the FOUP 9 is delivered to the rack unit 40 via the third opening region 2c with the carriage 3 positioned on the third opening region 2c. Is defined at a position excluding the portion directly above the second opening region 2b.
  • the cart 3 may deliver the FOUP 9 to the predetermined rack unit 40 through the predetermined third opening region 2c as follows. That is, the carriage 3 stops the traveling unit 31 at a portion corresponding to one third opening region 2c of the pair of third opening regions 2c adjacent to each other in the storage region 6, and on the other third opening region 2c. The transfer unit 32 is positioned in the position. In this state, the carriage 3 may deliver the FOUP 9 to the predetermined rack unit 40 via the other third opening region 2c.
  • the cart 3 does not deliver the FOUP 9 to the rack unit 40 via the first opening area 2a and the second opening area 2b.
  • the transfer port 32 protrudes from the traveling unit 31 in the second direction D2, and the device port
  • the traveling unit 31 stops at a portion corresponding to the second stop region 20b so that the transfer unit 32 is positioned on the first opening region 2a immediately above the eighth.
  • the carriage 3 transfers the FOUP 9 to the device port 8 through the first opening region 2a by moving the holding unit 32a of the transfer unit 32 up and down.
  • the traveling unit 31 stops at a portion shifted from the portion corresponding to the lattice in the second opening region 2b.
  • the traveling unit 31 stops at portions extending over the portions corresponding to the two lattices adjacent to each other, and in this state, the carriage 3 may deliver the FOUP 9 to the device port 8.
  • the storage unit 4 having a desired shape can be configured by appropriately combining a plurality of rack units 40, and the storage unit 4 is compared with the case where the entire storage unit 4 is configured by a single rack. The degree of freedom of installation of 4 can be improved.
  • each rack unit includes a support member 42 that supports the mounting member 51, and the support member 42 is detachably suspended from the traveling rail 2. For this reason, the mounting member 51 can be easily disposed at an appropriate height.
  • At least one of the plurality of rack units 40 is formed such that a plurality of placement units 50 on which the FOUP 9 is placed on the placement member 51 are arranged in a row, and Are arranged so that the direction in which the mounting portions 50 are arranged in a row is parallel to the first direction D1 or the second direction D2. For this reason, each of all the rack units 40 is arranged in a matrix (that is, arranged in a plurality of rows in both the first direction D1 and the second direction D2). Compared with the case where it is comprised so that it may respond
  • each region surrounded by a pair of adjacent first rails 21 and a pair of adjacent second rails 22 is an opening region having a size that allows the FOUP 9 to pass in the vertical direction.
  • the carriage 3 travels in a state where the FOUP 9 is held above the traveling rail 2 and delivers the FOUP 9 to the mounting member 51 via the third opening region 2c.
  • action and effect of improving the freedom degree of installation of the storage part 4 can be show
  • the mounting member 51 is a pair of beam-like members 41 that are spaced apart from each other. For this reason, since the FOUP 9 is placed on the pair of beam-like members 41, for example, compared with the case where the FOUP 9 is placed on a flat plate-like member, the air flow is prevented from being blocked by the rack unit 40. Can do. In particular, when the storage system 1 is used in a clean room, it is possible to suppress the obstruction of the vertical airflow for keeping the clean room clean. [Second Embodiment] [Storage system configuration]
  • the traveling rail 2 ⁇ / b> A includes a plurality of first rail members 61, a plurality of second rail members 62, and a plurality of cross rail members 63.
  • Each first rail member 61 extends linearly in the first direction D1.
  • Each first rail member 61 forms a plurality of rows arranged at predetermined intervals along the first direction D1.
  • Each row of the first rail members 61 is arranged in the second direction D2.
  • Each second rail member 62 extends linearly in the second direction D2.
  • Each second rail member 62 forms a plurality of rows arranged at a predetermined interval along the second direction D2.
  • Each row of the second rail members 62 is arranged in the first direction D1.
  • a gap between adjacent first rail members 61 in the row of first rail members 61 and a gap between adjacent second rail members 62 in the row of second rail members 62 are common. Yes.
  • Each cross rail member 63 has a gap between adjacent first rail members 61 in the row of first rail members 61 (that is, between adjacent second rail members 62 in the row of second rail members 62). In the gap).
  • a slit (gap) S1 is formed between each cross rail member 63 and the end of each first rail member 61 on both sides thereof.
  • a slit (gap) S2 is formed between each cross rail member 63 and the end of each second rail member 62 on both sides thereof.
  • the slits S1, S2 are formed to have a sufficiently small width with respect to the diameter of each wheel 36 of the carriage 3A.
  • Each of the first rail member 61, the second rail member 62, and the cross rail member 63 is suspended from, for example, a ceiling.
  • the plurality of first rail members 61 and the plurality of cross rail members 63 arranged along the first direction D1 constitute the first rail 21A.
  • the plurality of second rail members 62 and the plurality of cross rail members 63 arranged along the second direction D2 constitute the second rail 22A. That is, the cross rail member 63 serves as both the first rail 21A and the second rail 22A, and constitutes a cross portion between the first rail 21A and the second rail 22A.
  • the traveling rail 2A has a plurality of vertical and horizontal regions surrounded by a pair of first rails 21A adjacent to each other and a pair of second rails 22A adjacent to each other.
  • the carriage 3A includes a traveling unit 31A and a transfer unit 32.
  • the traveling portion 31A includes a main body portion 37A, four wheels 36A, and a wheel support arm 38A.
  • Each wheel 36A is rotatably supported by a wheel support arm 38A provided so as to protrude upward from the main body portion 37A, and rolls on the tread surface 24a of the traveling rail 2A. That is, the main body portion 37A and the transfer portion 32 are suspended from the wheels 36A located on the traveling rail 2A below the traveling rail 2A via the wheel support arms 38A.
  • the transfer part 32 since it is comprised similarly to the transfer part 32 which the trolley
  • Each rack unit 40A includes a mounting member 51A, two pairs of support members 42A, and two connection members 43A that connect the lower ends of each pair of support members 42A.
  • the rack unit 40A shown in FIGS. 6 and 7 is configured to correspond to one of the regions surrounded by a pair of first rails 21A adjacent to each other and a pair of second rails 22A adjacent to each other. ing.
  • the mounting member 51A is provided at a height at which the carriage 3A can travel above the FOUP 9 without interfering with the FOUP 9 in a state where the FOUP 9 is mounted on the upper surface thereof.
  • the mounting member 51A is a pair of beam-like members 41A spanned between two connection members 43A.
  • a plurality (three in this case) of positioning pins 44A are provided on the upper surface of the mounting portion 50A of the beam-like member 41A.
  • Each support member 42A is detachably suspended from the cross rail member 63.
  • four support members 42 ⁇ / b> A are provided for each cross rail member 63, and each of these support members 42 ⁇ / b> A is provided with the mounting member 51 ⁇ / b> A of each rack unit 40 ⁇ / b> A provided on four sides of the cross rail member 63.
  • Support each one As an example, a bracket 65 is provided below the cross rail member 63.
  • a through hole is formed in the bracket 65 at a position corresponding to the upper end of each support member 42A.
  • a screw hole is formed in the axial direction at the upper end of each support member 42A.
  • Each rack unit 40A is fixed to the cross rail member 63 by fastening the bolts 66 inserted into the through holes in the bracket 65 into the screw holes in the support members 42A.
  • Each rack unit 40 ⁇ / b> A is removed from the cross rail member 63 by removing each bolt 66 from the through hole.
  • the configuration that allows the rack unit 40A to be attached to and detached from the traveling rail 2A is not limited to the above.
  • the bracket 65 is provided with a locked portion, and a locking portion is provided at the upper end of each support member 42A.
  • the rack 65 has a simple configuration in which each support member 42A is locked with respect to the bracket 65.
  • the unit 40A may be attached to the traveling rail 2A.
  • each support member 42A may be directly latched with respect to the cross rail member 63.
  • the plurality of support members 42A provided on the same cross rail member 63 may be shared by the plurality of rack units 40A.
  • the rack unit 40A includes a plurality of regions surrounded by a pair of adjacent first rails 21A and a pair of adjacent second rails 22A. It may be configured to correspond to a region.
  • the rack unit 40A may be configured to correspond to a plurality of the regions arranged in a row in either the first direction D1 or the second direction D2.
  • the rack unit 40A shown in FIGS. 8 and 9 is configured to correspond to the two regions arranged in a line in the second direction D2. [Dolly movement]
  • each wheel 36A is slit when the carriage 3A travels in the first direction D1. It is possible to pass over S1, and each wheel 36A can pass over the slit S2 when the carriage 3A travels in the second direction D2.
  • the wheel support arm 38A that supports the wheel 36A passes through the slit S2, while each wheel 36A passes through the cross rail member 63.
  • the wheel support arm 38A that supports the wheel 36A passes through the slit S1. Therefore, the carriage 3A can travel on the traveling rail 2A without interfering with the traveling rail 2A.
  • each support member 42A is suspended from the cross rail member 63, and the carriage 3A does not travel directly under the cross rail member 63, each support member 42A and the carriage 3A do not interfere with each other. Therefore, the carriage 3A can travel on the traveling rail 2A without interfering with the rack unit 40A.
  • the carriage 3A is surrounded by a pair of first rails 21A adjacent to each other and a pair of second rails 22A adjacent to each other because the transfer portion 32 is located below the traveling rails 2A.
  • the FOUP 9 is delivered to the rack unit 40A without passing through the area.
  • each support member 42A is suspended from the cross rail member 63, which is an intersection of the first rail 21A and the second rail 22A.
  • the carriage 3A travels while passing the FOUP 9 between the plurality of support members 42A in a state where the FOUP 9 is held below the traveling rail 2A. For this reason, even when the cart 3A travels below the traveling rail 2A, the operation and effect of improving the degree of freedom of installation of the storage unit 4 can be suitably achieved.
  • the traveling rail 2A can be installed at a position close to the ceiling of the semiconductor manufacturing factory.
  • the traveling rail 2A can be installed at a position higher than the traveling rail 2 of the first embodiment.
  • the semiconductor processing apparatus 10 having a relatively high height (for example, a semiconductor taller than the height at which the traveling rail 2 of the first embodiment is installed).
  • the processing device 10 can be installed below the traveling rail 2A.
  • the FOUP 9 is formed on the traveling rail 2 in order for the carriage 3 to deliver the FOUP 9 to the device port 8 below the traveling rail 2. It is necessary to pass through the first opening region 2a. For this reason, there is a restriction that the position of the first opening region 2a in the traveling rail 2 must be matched to the layout of the device port 8 arranged below the first opening region 2a.
  • the traveling rail 2A of the second embodiment since there is no such restriction, the traveling rail 2A can be freely installed regardless of the layout of the device port 8 disposed below the traveling rail 2A. In other words, the degree of freedom of layout of the device port 8 disposed below the traveling rail 2A can be improved.
  • each rack unit 40 only needs to be configured to correspond to at least one third opening region 2c, and each of all the rack units 40 has one third opening region 2c. You may be comprised so that it may respond
  • each of the rack units 40 configured to correspond to 2c has a plurality of m ⁇ n (m and n are integers of 2 or more) arranged in a matrix in the first direction D1 and the second direction D2.
  • the one traveling rail 2 means the traveling rail 2 which comprises the range in which each trolley
  • the plurality of first rails 21 and 21A and the plurality of second rails 22 and 22A are not limited to the same horizontal plane, for example, arranged on the same inclined plane. May be. Further, the storage system 1, 1 ⁇ / b> A may not have a plurality of carriages 3, 3 ⁇ / b> A, and may have only one.
  • the projecting portion 33 of the carriage 3 may project the transfer portion 32 from the running portion 31 in either the first direction D1 or the second direction D2. That is, the protrusion part 33 should just project the transfer part 32 from the running part 31 in at least one direction of the first direction D1 and the second direction D2.
  • the projecting portion 33 includes a slide mechanism for moving the transfer portion 32 forward and backward, and the slide mechanism causes the transfer portion 32 to project from the traveling portion 31 in either the first direction D1 or the second direction D2.
  • the protrusion 33 rotates the arm extending in the horizontal direction from the traveling unit 31 around the central axis on the traveling unit 31 to rotate the transfer unit 32 held on the tip side of the arm.
  • a swing mechanism may be included, and the transfer unit 32 may be protruded from the traveling unit 31 in either the first direction D1 or the second direction D2 by the swing mechanism. Moreover, the protrusion part 33 may remain in a state in which the transfer part 32 is always protruded from the traveling part 31 in either the first direction D1 or the second direction D2.
  • rack units 40 and 40A may be provided below the second stop area 20b. In this case, the carriages 3 and 3A travel to a portion corresponding to the second stop area 20b. In a state where the units 31 and 31A are stopped, the FOUP 9 is not delivered to the rack units 40 and 40A.
  • a plurality of (for example, two) rack units 40 and 40A provided adjacent to each other share the support members 42 and 42A on the adjacent sides. Also good. That is, for example, in the second embodiment, one (single) support member 42A may be suspended from the cross rail member 63, and the support member 42A may be shared by a plurality of rack units 40A.
  • the article stored by the storage system of one embodiment of the present invention is not limited to the FOUP 9 in which a plurality of semiconductor wafers are stored, and may be other containers in which glass wafers, reticles, or the like are stored.
  • the storage system of one embodiment of the present invention is not limited to a semiconductor manufacturing factory, and can be applied to other facilities.

Landscapes

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Abstract

保管システムは、第１方向に延在する複数の第１レール及び第２方向に延在する複数の第２レールが同一の水平面上に格子状に配置されることにより、１対の第１レール及び１対の第２レールによって囲まれた開口領域を縦横に複数形成する走行レールと、走行部及び移載部を有する台車と、ＦＯＵＰが載置される保管部と、を備える。保管部は、互いに隣接する複数のラックユニットを有し、各ラックユニットは、ＦＯＵＰが載置される載置部材を含むと共に載置部材が開口領域の直下に位置するように設けられ、且つ、走行レールに対して着脱可能である。

Description

保管システム
　本発明の一態様は、保管システムに関する。
　例えば半導体製造工場の搬送装置に適用される保管システムとして、同一の水平面上に格子状に配置された複数のレールを有する走行レールと、走行レールを走行し且つ物品の保持及び昇降を行う台車と、走行レールの下側に配置され、物品が載置される保管部と、を備えるシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような保管システムでは、台車は、レール間に設けられた開口領域を介して、保管部に対し物品の受け渡しを行う。
国際公開第１５／１７４１８１号
　上述したような保管システムでは、走行レールの下側において、ロードポートの直上を除く領域一面に保管部が設けられている。このような構成では、保管部の設置の自由度が低い。
　そこで、本発明の一態様は、保管部の設置の自由度を向上させることができる保管システムを提供することを目的とする。
　本発明の一態様の保管システムは、第１方向に延在する複数の第１レール及び第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の第１レール及び複数の第２レールが同一の平面上に格子状に配置されることにより、互いに隣り合う１対の第１レールと互いに隣り合う１対の第２レールとによって囲まれた領域を縦横に複数形成する走行レールと、走行レールを第１方向及び第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部を有する台車と、走行レールの下側に設けられ、物品が載置される保管部と、を備え、台車は、保管部に対し、物品の受け渡しを行い、保管部は、互いに隣接する複数のラックユニットを有し、複数のラックユニットのそれぞれは、物品が載置される載置部材を含むと共に載置部材が領域の直下に位置するように設けられ、且つ、走行レールに対して着脱可能である。
　この保管システムでは、保管部の全体が単一のラックにより構成されている場合と比較して、保管部の設置、撤去、位置変更等の自由度を向上させることができる。
　本発明の一態様の保管システムでは、複数のラックユニットのそれぞれは、載置部材を支持する支持部材を含み、支持部材は、走行レールから着脱可能に吊り下げられていてもよい。これによれば、走行レールに対して支持部材を着脱させることで、載置部材を含むラックユニットを走行レールに対して着脱させることができる。
　本発明の一態様の保管システムでは、複数のラックユニットのうちの少なくとも１つは、載置部材において物品が載置される複数の載置部が１列に並ぶように形成されており、且つ、複数の載置部が１列に並ぶ方向が第１方向又は第２方向に平行となるように設けられていてもよい。これによれば、全てのラックユニットのそれぞれが、マトリックス状に配置された（すなわち、第１方向及び第２方向の両方向に複数列ずつ並ぶように配置された）複数の開口領域に対応するように構成されている場合と比較して、保管部の設置、撤去、位置変更等の自由度を向上させることができる。例えば、開口領域の１列分だけ保管部を取り去りたい場合に特に有効である。
　本発明の一態様の保管システムでは、複数の領域のそれぞれは、物品が上下方向に通過し得る大きさを有する開口領域を形成しており、台車は、物品を走行レールよりも上側で保持した状態で走行し、載置部材に対し、開口領域を介して物品の受け渡しを行ってもよい。これによれば、台車が開口領域を介して物品を鉛直方向に昇降させるだけで、保管部に対し物品の受け渡しを行うことができる。
　本発明の一態様の保管システムでは、複数の支持部材のそれぞれは、第１レールと第２レールとの交差部分から吊り下げられ、台車は、物品を走行レールよりも下側で保持した状態で、当該物品を複数の支持部材の間を通過させて走行してもよい。これによれば、台車が走行レールよりも下方の移載先に対し物品の受け渡しを行う際に、走行レールが物品の受け渡しの動作の妨げとなりにくいため、移載先のレイアウトの自由度を向上させることができる。また、このような構成においては、台車の走行の妨げとなりにくい位置に設けられた支持部材により、載置部材を開口領域の直下に支持することができる。
　本発明の一態様の保管システムでは、載置部材は、互いに間隔を空けて設けられた１対の梁状部材であってもよい。これによれば、１対の梁状部材に物品が載置されるため、例えば平板状の部材に物品が載置される場合と比較して、ラックユニットによって気流が妨げられることを抑制することができる。特に、この保管システムがクリーンルーム内において用いられる場合、クリーンルーム内を清浄状態に保つための上下方向の気流が妨げられることを抑制することができる。
　本発明の一態様によれば、保管部の設置の自由度を向上させることが可能となる。
図１は、第１実施形態の保管システムの平面図である。 図２は、図１の保管システムの一部拡大図である。 図３は、図１の保管システムが備えるラックユニットの正面図である。 図４は、図３のラックユニットの底面図である。 図５は、図３のラックユニットの側面図である。 図６は、第２実施形態の保管システムが備えるラックユニットの正面図である。 図７は、図６のラックユニットの底面図である。 図８は、第２実施形態の保管システムが備える他のラックユニットの正面図である。 図９は、図８のラックユニットの底面図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［第１実施形態］
［保管システムの構成］
　図１及び図２に示されるように、保管システム１は、走行レール２と、複数の台車３と、保管部４と、を備えている。保管システム１は、半導体製造工場において、複数の装置ポート８をそれぞれ備える複数の半導体処理装置１０の上方に敷設されている。保管システム１は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）９を一時的に保管する。より具体的には、保管システム１では、走行レール２を走行する台車３によって、保管部４と装置ポート８との間でＦＯＵＰ９が搬送され、保管部４によってＦＯＵＰ９（装置ポート８に供給する前のＦＯＵＰ９、装置ポート８から回収した後のＦＯＵＰ９）が一時的に保管される。なお、保管システム１に対しては、例えばＯＨＴ（Overhead　Hoist　Transfer）によってＦＯＵＰ９が搬入され又は搬出される。ＯＨＴは、保管システム１と半導体製造工場の天井との間に敷設された軌道に沿って走行する。
　各半導体処理装置１０は、走行レール２の下側において、複数列（図１では第１方向Ｄ１に沿って２列）に並んで配置されている。各半導体処理装置１０は、互いに隣り合う一対の列同士で装置ポート８が互いに対面する向きに配置されている。台車３によって半導体処理装置１０の装置ポート８にＦＯＵＰ９が供給されると、当該ＦＯＵＰ９に収容された半導体ウェハが半導体処理装置１０に取り込まれる。そして、当該半導体ウェハは、半導体処理装置１０において所定の処理を施された後に、再びＦＯＵＰ９に収容される。これにより、ＦＯＵＰ９は、台車３によって回収及び搬送可能な状態となる。
　走行レール２は、複数の第１レール２１と、複数の第２レール２２と、を有している。各第１レール２１は、第１方向Ｄ１に直線状に延在しており、互いに隣り合う第１レール２１間には、所定間隔が設けられている。各第２レール２２は、第１方向Ｄ１に直交する第２方向Ｄ２に直線状に延在しており、互いに隣り合う第２レール２２間には、所定間隔が設けられている。複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２は、同一の水平面上に格子状に配置されている。
　図１、図２及び図３に示されるように、台車３は、走行部３１と、移載部３２と、突出部３３と、を有している。走行部３１は、互いに隣り合う１対の第１レール２１に沿って第１方向Ｄ１に走行可能であると共に、互いに隣り合う１対の第２レール２２に沿って第２方向Ｄ２に走行可能である。走行部３１は、本体部３７、４個の車輪３６及び車輪支持アーム３８を含んでいる。各車輪３６は、本体部３７から下方に突出するように設けられた車輪支持アーム３８に回転可能に支持されており、走行レール２の踏面２４ａ上を転動する。
　移載部３２は、ＦＯＵＰ９のフランジ部９ａを保持する保持部３２ａと、保持部３２ａを吊り下げるベルト３２ｂと、ベルト３２ｂの巻き上げ、巻き下ろしを行うことによって保持部３２ａを昇降させる昇降駆動部３２ｃと、昇降駆動部３２ｃを鉛直方向（第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに垂直な方向）回りに回転させるθ回転機構３２ｄと、を含んでいる。なお、図３には、移載部３２によって保管部４に対しＦＯＵＰ９が受け渡される途中の状態が示されている。
　突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれの方向に移載部３２を突出させる。一例として、突出部３３は旋回機構３３ａを含んで構成される。旋回機構３３ａの基端部が走行部３１に回転可能に取り付けられており、移載部３２が旋回機構３３ａの先端部に取り付けられている。
　走行レール２には、複数の矩形状（すなわち、升目状）の領域が設けられている。各矩形状の領域は、互いに隣り合う１対の第１レール２１と互いに隣り合う１対の第２レール２２とによって囲まれた領域であり、縦横に複数形成されている。ここで、「縦横に」とは、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに、ということを意味し、「矩形状の領域が、縦横に複数形成されている」とは、矩形状の領域が、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれに複数並ぶマトリックス状に形成されていることを意味する。各矩形状の領域は、ＦＯＵＰ９が上下方向に通過可能な大きさを有する開口領域を形成している。
　台車３は、移載部３２の保持部３２ａによってＦＯＵＰ９を走行レール２よりも上側で保持した状態で、走行部３１によって走行する。また、台車３は、移載部３２によって、保管部４に対し所定の開口領域を介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。
　複数の開口領域のうち、第１開口領域（開口領域）２ａは、装置ポート８の直上に位置する領域である。複数の開口領域のうち、第２開口領域（開口領域）２ｂは、台車３が第１開口領域２ａ上に移載部３２を位置させた状態で、第１開口領域２ａを介して装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の、走行部３１の停止位置の直下に位置する領域である。複数の開口領域のうち、第３開口領域（開口領域）２ｃは、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂ以外の領域である。
　複数の装置ポート８の上側且つ走行レール２の下側の領域は、非保管領域５と保管領域６とに分類される。非保管領域５は、各第１開口領域２ａ及び当該第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた各領域によってそれぞれ構成される複数の区画と、第３開口領域２ｃのうち各区画の間に位置する（介在する）領域と、の直下の領域である。ここで、「各区画の間に位置する領域」とは、複数の区画のうちの２つの区画によって構成される組み合わせの全てのうち、少なくとも１つの組み合わせを構成する２つの区画の間に位置する領域を、全て足し合わせた領域を意味する。換言すると、非保管領域５は、各区画の外縁のうち他の区画と対面しない側の外縁のそれぞれを繋いだ線に対して、各区画が位置する側の領域である。保管領域６は、非保管領域５を除く領域であり、その直上には複数の第３開口領域２ｃが設けられている。換言すると、保管領域６は、各区画の外縁のうち他の区画と対面しない側の外縁のそれぞれを繋いだ線に対して、各区画が位置しない側の領域である。
　保管部４は、第３開口領域２ｃのうち、第１開口領域２ａを取り囲むように当該第１開口領域２ａに隣接して設けられた全ての領域の直下に設けられていない。なお、保管部４は、非保管領域５には設けられていなくてもよく、この場合、装置ポート８の周辺の走行レール２において、台車３による交通渋滞の発生を抑制することが可能となる。
　保管部４は、互いに隣接する複数のラックユニット４０が組み合わされることで構成されている。各ラックユニット４０は、ＦＯＵＰ９が載置されるための載置部材５１を有しており（詳しくは後述）、互いに隣り合う１対の第１レール２１と互いに隣り合う１対の第２レール２２とによって囲まれた領域（開口領域）の直下に載置部材５１が位置するように設けられている。各ラックユニット４０は、１本の第１レール２１又は第２レール２２に隣接してその両側に並んで設けられた複数の第３開口領域２ｃに対応して取り付けられている。各載置部材５１には、ＦＯＵＰ９が載置される部分である載置部５０が複数形成されている。複数のラックユニット４０のうちの少なくとも１つは、載置部材５１において複数の載置部５０が１列に並ぶように形成され、複数の載置部５０が１列に並ぶ方向が第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に平行となるように設けられている。つまり、各ラックユニット４０は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に１列に並ぶ複数の第３開口領域２ｃに対応している。各ラックユニット４０に対しては、対応する複数の第３開口領域２ｃのそれぞれを介してＦＯＵＰ９の受け渡しが行われる。一例として、保管システム１では、各ラックユニット４０は、第２方向Ｄ２に１列に並ぶ３個の第３開口領域２ｃに対応している。
　第１開口領域２ａは、第１レール２１及び第２レール２２の少なくとも一方が部分的に間引かれることで形成されている。各第１開口領域２ａは、複数の第２開口領域２ｂ及び第３開口領域２ｃに対応する大きさを有している。一例として、保管システム１では、第１開口領域２ａは、第１方向Ｄ１に１列に並ぶ複数の装置ポート８の直上の領域である。
［走行レール及びラックユニットの構成］
　図３、図４及び図５に示されるように、第１レール２１は、ウェブ部２３が縦になるように配置されたＨ形鋼材によって形成されている。ウェブ部２３の下端に設けられたフランジ部２４の上面は、台車３の走行部３１が有する４個の車輪３６の踏面２４ａである。第２レール２２は、第１レール２１と同様の構成を有している。走行部３１が第２開口領域２ｂ又は第３開口領域２ｃの直上に位置する場合、４個の車輪３６は、第２方向Ｄ２において互いに向かい合う１対の踏面２４ａ（第１レール２１の踏面２４ａ）と第１方向Ｄ１において互いに向かい合う１対の踏面２４ａ（第２レール２２の踏面２４ａ）とで形成される４個所の交差部分に位置する。走行部３１は、４個の車輪３６が４個所の交差部分に位置する際に一斉に方向転換を行うことで、第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との間で方向転換を行う。
　ラックユニット４０は、載置部材５１と、複数の支持部材４２と、複数の補強部材４３と、を有している。上述したように、載置部材５１は、ＦＯＵＰ９が載置されるための部材である。載置部材５１は、例えば、互いに間隔を開けて設けられた１対の梁状部材４１である。１対の梁状部材４１は、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に１列に並ぶ複数の第３開口領域２ｃの下側において、当該方向に延在している。１対の梁状部材４１は、同一の水平面上に互いに平行に配置されている。つまり、１対の梁状部材４１は、水平に並設されている。
　各支持部材４２は、載置部材５１を支持するための部材である。各支持部材４２は、１対の梁状部材４１のそれぞれの両端部から上側に延在している。各支持部材４２の上端部は、第１レール２１又は第２レール２２に着脱可能に取り付けられている。換言すると、各支持部材４２は、走行レール２から着脱可能に吊り下げられている。つまり、ラックユニット４０は、第３開口領域２ｃの下側において走行レール２から吊り下げられており、走行レール２に対して着脱可能である。一例として、保管システム１では、１対の梁状部材４１は、第２方向Ｄ２に１列に並ぶ３個の第３開口領域２ｃの下側において、第２方向Ｄ２に延在しており、各支持部材４２の上端部は、第１レール２１に着脱可能に取り付けられている。
　複数の補強部材４３は、１対の梁状部材４１のそれぞれにおける同じ側の端部に接続された１対の支持部材４２同士を、それらの下端部同士において互いに連結している。これにより、各支持部材４２の姿勢の変化が抑制される。
　第１レール２１又は第２レール２２に対するラックユニット４０の取付構造について、より具体的に説明する。第１レール２１及び第２レール２２のそれぞれのフランジ部２４の下面には、複数のブラケット２５がボルト等で着脱可能に固定されている。複数のブラケット２５は、第３開口領域２ｃに対応するピッチで配置されている。第１レール２１に設けられた各ブラケット２５には、第２方向Ｄ２に延在する１対の梁状部材４１を有し且つ第２方向Ｄ２において互いに隣接する一対のラックユニット４０のうち、一方側のラックユニット４０における他方側の支持部材４２の上端部、及び他方側のラックユニット４０における一方側の支持部材４２の上端部が、ボルトによって取り付け可能である。第２レール２２に設けられた各ブラケット２５には、第１方向Ｄ１に延在する１対の梁状部材４１を有し且つ第１方向Ｄ１において互いに隣接する一対のラックユニット４０のうち、一方側のラックユニット４０における他方側の支持部材４２の上端部、及び他方側のラックユニット４０における一方側の支持部材４２の上端部が、ボルトによって取り付け可能である。よって、上記構成により、第１レール２１及び第２レール２２のそれぞれのフランジ部２４の下面に対してブラケット２５を着脱することで、ラックユニット４０を当該フランジ部２４に対して着脱することができる。
［ラックユニットの載置面の位置関係］
　図３、図４及び図５に示されるように、ラックユニット４０が有する１対の梁状部材４１には、当該ラックユニット４０が対応する複数の第３開口領域２ｃのそれぞれを介して、複数のＦＯＵＰ９が載置される。梁状部材４１等の載置部材５１には、ＦＯＵＰ９が載置される部分である載置部５０が形成されており、その載置部５０の上面が載置面４０ａとされている。したがって、鉛直方向から見た場合に、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９は、第３開口領域２ｃ内に位置する。１対の梁状部材４１の上面には、各ＦＯＵＰ９をラックユニット４０に対して位置決めするための複数（ここでは、３個）の位置決めピン（位置決め部）４４が設けられている。位置決めピン４４は、キネマピンとも称され、ＦＯＵＰ９の底面に設けられた凹部に嵌まることで各ＦＯＵＰ９のラックユニット４０に対する移動を規制する。
　ラックユニット４０は、水平方向から見た場合に、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９が第１レール２１及び第２レール２２と重なるように、構成されている。載置面４０ａと第１レール２１との間の空間、及び載置面４０ａと第２レール２２との間の空間は、それぞれ、ＦＯＵＰ９が通過し得ない大きさを有している。また、ラックユニット４０は、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９の上端がその直上を走行する台車３の走行部３１が有する本体部３７の下端よりも下側に位置するように、構成されている。更に、ラックユニット４０は、載置面４０ａに載置されたＦＯＵＰ９の上端が走行レール２の踏面２４ａよりも上側に位置するように、構成されている。
［保管システムにおける台車の動作例］
　図２に示されるように、走行レール２には、第１停止領域２０ａ及び第２停止領域（隣接領域）２０ｂが設定されている。第１停止領域２０ａは、走行レール２のうち、保管領域６の直上の複数の第３開口領域２ｃに対応する部分である。第２停止領域２０ｂは、走行レール２のうち、非保管領域５において複数の第１開口領域２ａのそれぞれに隣接する複数の第２開口領域２ｂに対応する部分である。このように、第１停止領域２０ａと第２停止領域２０ｂとは、重なっていない。
　また、第１停止領域２０ａの下側には、保管部４が設けられているが、第２停止領域２０ｂの下側には、保管部４が設けられていない。第２開口領域２ｂの下側（例えば、直下の領域）には、吊り下げられるように走行レール２に対して取り付けられた作業用の足場７が設けられている。
　一例として、保管システム１では、第１開口領域２ａは、第１方向Ｄ１に延在しており、第２停止領域２０ｂは、第２方向Ｄ２における第１開口領域２ａの両側において第１方向Ｄ１に１列に並ぶ複数の第２開口領域２ｂに対応する部分である。そして、台車３は、走行部３１から第１方向Ｄ１に移載部３２を突出させた状態で、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２のそれぞれの方向に走行する。以下、この場合における台車３の動作例について説明する。
　所定のラックユニット４０に対し、所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う場合には、走行部３１から第１方向Ｄ１に移載部３２を突出させた状態で、移載部３２が当該所定の第３開口領域２ｃ上に位置するように、走行部３１が第１停止領域２０ａに停止する。その状態で、台車３は、移載部３２の保持部３２ａを昇降させることで、所定のラックユニット４０に対し、所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。
　この場合において、走行部３１が第２停止領域２０ｂに停止した状態では、台車３は、ラックユニット４０に対し第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。換言すると、台車３が第３開口領域２ｃ上に移載部３２を位置させた状態で、第３開口領域２ｃを介してラックユニット４０に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う際の走行部３１の停止位置は、第２開口領域２ｂの直上を除く位置に定められている。
　また、台車３は、所定のラックユニット４０に対し、以下のようにして所定の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。すなわち、台車３は、保管領域６において互いに隣接する一対の第３開口領域２ｃのうち、一方の第３開口領域２ｃに対応する部分に走行部３１を停止させ、他方の第３開口領域２ｃ上に移載部３２を位置させる。この状態で、台車３は、所定のラックユニット４０に対し、他方の第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。
　なお、台車３は、第１開口領域２ａ及び第２開口領域２ｂを介しては、ラックユニット４０に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。
　所定の装置ポート８に対し、所定の第１開口領域２ａを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う場合には、走行部３１から第２方向Ｄ２に移載部３２を突出させた状態で、当該装置ポート８の直上の当該第１開口領域２ａ上に移載部３２が位置するように、第２停止領域２０ｂに対応する部分に走行部３１が停止する。その状態で、台車３は、移載部３２の保持部３２ａを昇降させることで、当該第１開口領域２ａを介して、当該装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。なお、第１開口領域２ａにおいて、複数の第１レール２１及び複数の第２レール２２によって構成された格子に対応する部分からずれた部分の直下に装置ポート８が位置している場合（すなわち、互いに隣接した２つの格子に対応する各部分に亘る部分の直下に装置ポート８が位置している場合）、第２開口領域２ｂにおいて、格子に対応する部分からずれた部分に走行部３１が停止し（すなわち、互いに隣接した２つの格子に対応する各部分に亘る部分に走行部３１が停止し）、その状態で、台車３は、当該装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行ってもよい。
［作用及び効果］
　以上説明したように、保管システム１では、保管部４を構成する各ラックユニット４０は、ＦＯＵＰ９が載置される載置部材５１としての梁状部材４１が第３開口領域２ｃの直下に位置するように設けられている。このため、複数のラックユニット４０を適宜組み合わせて所望の形状の保管部４を構成することが可能となり、保管部４の全体が単一のラックにより構成されている場合と比較して、保管部４の設置の自由度を向上させることができる。
　保管システム１では、各ラックユニットは、載置部材５１を支持する支持部材４２を含み、支持部材４２は、走行レール２から着脱可能に吊り下げられている。このため、載置部材５１を適切な高さに容易に配置することができる。
　保管システム１では、複数のラックユニット４０のうちの少なくとも１つは、載置部材５１においてＦＯＵＰ９が載置される複数の載置部５０が１列に並ぶように形成されており、且つ、複数の載置部５０が１列に並ぶ方向が第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に平行となるように設けられている。このため、全てのラックユニット４０のそれぞれが、マトリックス状に配置された（すなわち、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の両方向に複数列ずつ並ぶように配置された）複数の第３開口領域２ｃに対応するように構成されている場合と比較して、保管部４の設置の自由度が低下することを抑制することができる。例えば、第３開口領域２ｃの１列分だけラックユニット４０を取り去りたい場合に特に有効である。
　保管システム１では、互いに隣り合う１対の第１レール２１と互いに隣り合う１対の第２レール２２とによって囲まれた各領域は、ＦＯＵＰ９が上下方向に通過し得る大きさを有する開口領域を形成しており、台車３は、ＦＯＵＰ９を走行レール２よりも上側で保持した状態で走行し、載置部材５１に対し、第３開口領域２ｃを介してＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。このため、台車３が走行レール２の上側を走行するものである場合にも、保管部４の設置の自由度を向上させるという作用及び効果を好適に奏することができる。
　後述する第２実施形態に示されるように、台車３ＡがＦＯＵＰ９を走行レール２Ａよりも下側で保持した状態で走行する保管システム１Ａでは、走行レール２ＡにスリットＳ１，Ｓ２を形成する必要がある（図６及び図７参照）。一方、第１実施形態に示されるように、台車３がＦＯＵＰ９を走行レール２よりも上側で保持した状態で走行する保管システム１では、走行レール２にスリットを設ける必要がなく、台車３の走行時に各車輪３６がスリットに落ち込むことがない。このため、第２実施形態の保管システム１Ａと比較して、台車３の走行時における振動を抑制することができる。
　保管システム１では、載置部材５１は、互いに間隔を空けて設けられた１対の梁状部材４１である。このため、１対の梁状部材４１にＦＯＵＰ９が載置されるため、例えば平板状の部材にＦＯＵＰ９が載置される場合と比較して、ラックユニット４０によって気流が妨げられることを抑制することができる。特に、この保管システム１がクリーンルーム内において用いられる場合、クリーンルーム内を清浄状態に保つための上下方向の気流が妨げられることを抑制することができる。
［第２実施形態］
［保管システムの構成］
　図６及び図７に示されるように、保管システム１Ａは、走行レール２Ａ、台車３Ａ及びラックユニット４０Ａの構成において、上述した保管システム１と主に相違している。走行レール２Ａは、複数の第１レール部材６１と、複数の第２レール部材６２と、複数の交差レール部材６３と、を有している。各第１レール部材６１は、第１方向Ｄ１に直線状に延在している。各第１レール部材６１は、第１方向Ｄ１に沿って所定間隔で複数配置された列を複数形成している。これらの第１レール部材６１の各列は、第２方向Ｄ２に並んでいる。各第２レール部材６２は、第２方向Ｄ２に直線状に延在している。各第２レール部材６２は、第２方向Ｄ２に沿って所定間隔で複数配置された列を複数形成している。これらの第２レール部材６２の各列は、第１方向Ｄ１に並んでいる。第１レール部材６１の列における互いに隣り合う第１レール部材６１同士の間の隙間と、第２レール部材６２の列における互いに隣り合う第２レール部材６２同士の間の隙間とは、共通している。
　各交差レール部材６３は、第１レール部材６１の列における互いに隣り合う第１レール部材６１同士の間の隙間（すなわち、第２レール部材６２の列における互いに隣り合う第２レール部材６２同士の間の隙間）に配置されている。第１方向Ｄ１において、各交差レール部材６３とその両側の各第１レール部材６１の端部との間には、スリット（空隙）Ｓ１が形成されている。第２方向Ｄ２において、各交差レール部材６３とその両側の各第２レール部材６２の端部との間には、スリット（空隙）Ｓ２が形成されている。スリットＳ１，Ｓ２は、台車３Ａの各車輪３６の直径に対して十分に小さい幅を有するように形成されている。第１レール部材６１、第２レール部材６２及び交差レール部材６３のそれぞれは、例えば天井から吊り下げられている。
　第１方向Ｄ１に沿って配置された複数の第１レール部材６１及び複数の交差レール部材６３は、第１レール２１Ａを構成している。第２方向Ｄ２に沿って配置された複数の第２レール部材６２及び複数の交差レール部材６３は、第２レール２２Ａを構成している。つまり、交差レール部材６３は、第１レール２１Ａと第２レール２２Ａとを兼ねており、第１レール２１Ａと第２レール２２Ａとの交差部分を構成している。走行レール２Ａは、互いに隣り合う１対の第１レール２１Ａと互いに隣り合う１対の第２レール２２Ａとによって囲まれた領域を縦横に複数形成している。
　台車３Ａは、走行部３１Ａ及び移載部３２を有している。走行部３１Ａは、本体部３７Ａ、４個の車輪３６Ａ及び車輪支持アーム３８Ａを含んでいる。各車輪３６Ａは、本体部３７Ａから上方に突出するように設けられた車輪支持アーム３８Ａに回転可能に支持されており、走行レール２Ａの踏面２４ａ上を転動する。つまり、本体部３７Ａ及び移載部３２は、走行レール２Ａ上に位置する各車輪３６Ａから、車輪支持アーム３８Ａを介して、走行レール２Ａよりも下側に吊り下げられている。なお、移載部３２については、第１実施形態の台車３が有する移載部３２と同様に構成されているため、ここでは説明を省略する。
　各ラックユニット４０Ａは、載置部材５１Ａと、２対の支持部材４２Ａと、各対の支持部材４２Ａの下端部同士を接続する２個の接続部材４３Ａと、を有している。図６及び図７に示されるラックユニット４０Ａは、互いに隣り合う１対の第１レール２１Ａと互いに隣り合う１対の第２レール２２Ａとによって囲まれた領域の１つに対応するように構成されている。
　載置部材５１Ａは、その上面にＦＯＵＰ９が載置された状態において、当該ＦＯＵＰ９と干渉せずに当該ＦＯＵＰ９の上方を台車３Ａが走行可能な高さに設けられている。載置部材５１Ａは、２個の接続部材４３Ａの間に掛け渡された１対の梁状部材４１Ａである。梁状部材４１Ａの載置部５０Ａの上面には、複数（ここでは、３個）の位置決めピン４４Ａが設けられている。
　各支持部材４２Ａは、交差レール部材６３から着脱可能に吊り下げられている。支持部材４２Ａは、１個の交差レール部材６３に対して例えば４個ずつ設けられ、これらの各支持部材４２Ａは、当該交差レール部材６３の四方に設けられる各ラックユニット４０Ａの載置部材５１Ａをそれぞれ支持する。一例として、交差レール部材６３の下側には、ブラケット６５が設けられている。ブラケット６５には、各支持部材４２Ａの上端部に対応する位置に貫通孔が形成されている。各支持部材４２Ａの上端部には、軸心方向にねじ孔が形成されている。ブラケット６５における各貫通孔に挿通されたボルト６６が各支持部材４２Ａにおけるねじ孔に締着されることで、各ラックユニット４０Ａが交差レール部材６３に対して固定される。各ボルト６６が貫通孔から取り外されることで、各ラックユニット４０Ａが交差レール部材６３から取り外される。なお、ラックユニット４０Ａを走行レール２Ａに対して着脱可能とする構成は上記に限定されない。例えば、ブラケット６５に被係止部が、各支持部材４２Ａの上端部に係止部がそれぞれ設けられており、各支持部材４２Ａがブラケット６５に対して係止されるといった簡単な構成により、ラックユニット４０Ａが走行レール２Ａに取り付けられるものであってもよい。或いは、交差レール部材６３に被係止部が設けられ、各支持部材４２Ａが交差レール部材６３に対して直接係止されるものであってもよい。また、同一の交差レール部材６３に設けられた複数の支持部材４２Ａは、複数のラックユニット４０Ａに共用されてもよい。
　なお、図８及び図９に示されるように、ラックユニット４０Ａは、互いに隣り合う１対の第１レール２１Ａと互いに隣り合う１対の第２レール２２Ａとによって囲まれた領域が複数個並んだ領域に対応するように構成されていてもよい。例えば、ラックユニット４０Ａは、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に１列に並ぶ複数の上記領域に対応するように構成されていてもよい。一例として、図８及び図９に示されるラックユニット４０Ａは、第２方向Ｄ２に１列に並ぶ２個の上記領域に対応するように構成されている。
［台車の動作］
　以上のように構成された保管システム１Ａにおいては、図６に示されるように、台車３Ａは、移載部３２によって、ＦＯＵＰ９を走行レール２Ａよりも下側で保持した状態で、走行部３１Ａによって、当該ＦＯＵＰ９を複数の支持部材４２Ａの間を通過させて走行する。このとき、スリットＳ１，Ｓ２は台車３Ａの各車輪３６Ａの直径に対して十分に小さい幅を有するように形成されているため、台車３Ａが第１方向Ｄ１に走行する場合において各車輪３６ＡはスリットＳ１上を通過することが可能であり、台車３Ａが第２方向Ｄ２に走行する場合において各車輪３６ＡはスリットＳ２上を通過することが可能である。
　また、各車輪３６Ａが交差レール部材６３を第１方向Ｄ１に通過する場合には、当該車輪３６Ａを支持する車輪支持アーム３８ＡはスリットＳ２を通り、一方、各車輪３６Ａが交差レール部材６３を第２方向Ｄ２に通過する場合には、当該車輪３６Ａを支持する車輪支持アーム３８ＡはスリットＳ１を通る。したがって、台車３Ａは、走行レール２Ａと干渉することなく走行レール２Ａを走行することができる。
　また、各支持部材４２Ａは交差レール部材６３から吊り下げられており、且つ、台車３Ａは交差レール部材６３の直下を走行しないことから、各支持部材４２Ａと台車３Ａとは干渉しない。したがって、台車３Ａは、ラックユニット４０Ａと干渉することなく走行レール２Ａを走行することができる。
　なお、台車３Ａは、移載部３２が走行レール２Ａよりも下側に位置しているため、互いに隣り合う１対の第１レール２１Ａと互いに隣り合う１対の第２レール２２Ａとによって囲まれた領域を通過させずに、ラックユニット４０Ａに対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行う。
［作用及び効果］
　以上説明したように、保管システム１Ａでは、各支持部材４２Ａは、第１レール２１Ａと第２レール２２Ａとの交差部分である交差レール部材６３から吊り下げられている。そして、台車３Ａは、ＦＯＵＰ９を走行レール２Ａよりも下側で保持した状態で、当該ＦＯＵＰ９を複数の支持部材４２Ａの間を通過させて走行する。このため、台車３Ａが走行レール２Ａの下側を走行するものである場合にも、保管部４の設置の自由度を向上させるという作用及び効果を好適に奏することができる。
　上述した第１実施形態に示されるように、台車３がＦＯＵＰ９を走行レール２よりも上側で保持した状態で走行する保管システム１では、半導体製造工場の天井と走行レール２との間に、台車３に保持されたＦＯＵＰ９が移動することができる程度の上下方向の空間を確保する必要がある（図３参照）。一方、第２実施形態に示されるように、台車３ＡがＦＯＵＰ９を走行レール２Ａよりも下側で保持した状態で走行する保管システム１Ａでは、このような空間を確保する必要がなく、第１実施形態の保管システム１と比較して、走行レール２Ａを半導体製造工場の天井に近い位置に設置することができる。すなわち、第１実施形態の走行レール２よりも高い位置に走行レール２Ａを設置することができる。これにより、走行レール２Ａにおいてラックユニット４０Ａが設けられていない位置については、比較的背の高い半導体処理装置１０（例えば、第１実施形態の走行レール２の設置される高さよりも背の高い半導体処理装置１０）を走行レール２Ａの下方に設置することができる。
　また、上述した第１実施形態に示されるように、保管システム１では、台車３が走行レール２よりも下方の装置ポート８に対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行うためには、ＦＯＵＰ９を走行レール２に形成された第１開口領域２ａを通過させる必要がある。このため、走行レール２における第１開口領域２ａの位置を、その下方に配置される装置ポート８のレイアウトに合わせなければならないという制約がある。一方、第２実施形態の保管システム１Ａでは、このような制約がないため、走行レール２Ａの下方に配置される装置ポート８のレイアウトによらず、走行レール２Ａを自由に設置することができる。換言すると、走行レール２Ａの下方に配置される装置ポート８のレイアウトの自由度を向上させることができる。
［変形例］
　以上、本発明の第１実施形態及び第２実施形態について説明したが、本発明は、上記第１実施形態及び第２実施形態に限定されない。例えば、第１実施形態において、各ラックユニット４０は、少なくとも１つの第３開口領域２ｃに対応するように構成されていればよく、全てのラックユニット４０のそれぞれが１つの第３開口領域２ｃに対応するように構成されていてもよい。つまり、各載置部材５１には、ＦＯＵＰ９が載置される部分である載置部５０が１つだけ形成されていてもよい。
　また、第１実施形態において、複数のラックユニット４０のうちの少なくとも１つが複数の第３開口領域２ｃに対応するように構成されている場合には、いずれのラックユニット４０も、第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２に１列に並ぶ複数の第３開口領域２ｃに対応するように構成されていなくてもよい。つまり、１個の走行レール２に対して設けられた複数のラックユニット４０のうちの少なくとも１つが複数の第３開口領域２ｃに対応するように構成されていれば、これら複数の第３開口領域２ｃに対応するように構成された全てのラックユニット４０のそれぞれが、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２にｍ×ｎ（ｍ，ｎは２以上の整数）でマトリックス状に配列された複数の第１開口領域２ａに対応するように構成されていてもよい。その場合、ｍ＝ｎであってもよいし、ｍ＜ｎ又はｍ＞ｎであってもよい。なお、１個の走行レール２とは、各台車３がその走行部３１によって単独で走行可能な範囲を構成する走行レール２を意味する。
　また、第１実施形態及び第２実施形態において、複数の第１レール２１，２１Ａ及び複数の第２レール２２，２２Ａは、同一の水平面上に限らず、例えば、傾斜した同一の平面上に配置されていてもよい。また、保管システム１，１Ａは、台車３，３Ａを複数有していなくてもよく、１台だけ有していてもよい。
　また、第１実施形態において、台車３の突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させるものであってもよい。つまり、突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の少なくとも一方向に移載部３２を突出させるものであればよい。例えば、突出部３３は、移載部３２を進退させるスライド機構を含み、このスライド機構により、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させてもよく、或いは、突出部３３は、走行部３１から水平方向に延びるアームを走行部３１上の中心軸回りに回動させて、当該アームの先端側で保持した移載部３２を旋回させるスイング機構を含み、このスイング機構により、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を突出させてもよい。また、突出部３３は、走行部３１から第１方向Ｄ１又は第２方向Ｄ２のいずれかの方向に移載部３２を常時突出させた状態のままであってもよい。
　また、第１実施形態において、第２停止領域２０ｂの下側にラックユニット４０，４０Ａが設けられていてもよく、その場合、台車３，３Ａは、第２停止領域２０ｂに対応する部分に走行部３１，３１Ａが停止した状態においては、ラックユニット４０，４０Ａに対しＦＯＵＰ９の受け渡しを行わない。
　また、第１実施形態及び第２実施形態において、互いに隣接して設けられた複数（例えば、２個）のラックユニット４０，４０Ａは、互いに隣接する側の支持部材４２，４２Ａを共有していてもよい。つまり、例えば第２実施形態において、交差レール部材６３から１本（単一）の支持部材４２Ａが吊り下げられ、その支持部材４２Ａが複数のラックユニット４０Ａにより共有されていてもよい。
　また、本発明の一態様の保管システムが保管する物品は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ９に限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の一態様の保管システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
　本発明の一態様によれば、保管部の設置の自由度を向上させることができる保管システムを提供することが可能となる。
　１，１Ａ…保管システム、２，２Ａ…走行レール、２ａ…第１開口領域（領域，開口領域）、２ｂ…第２開口領域（領域，開口領域）、２ｃ…第３開口領域（領域，開口領域）、３，３Ａ…台車、４…保管部、９…ＦＯＵＰ（物品）、２１，２１Ａ…第１レール、２２，２２Ａ…第２レール、３１，３１Ａ…走行部、３２…移載部、４０，４０Ａ…ラックユニット、４１，４１Ａ…梁状部材、４２，４２Ａ…支持部材、５０，５０Ａ…載置部、５１，５１Ａ…載置部材、Ｄ１…第１方向、Ｄ２…第２方向。

Claims (6)

  1. 　第１方向に延在する複数の第１レール及び前記第１方向に直交する第２方向に延在する複数の第２レールを有し、複数の前記第１レール及び複数の前記第２レールが同一の平面上に格子状に配置されることにより、互いに隣り合う１対の前記第１レールと互いに隣り合う１対の前記第２レールとによって囲まれた領域を縦横に複数形成する走行レールと、
    　前記走行レールを前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれの方向に走行する走行部、並びに、物品の保持及び昇降を行う移載部を有する台車と、
    　前記走行レールの下側に設けられ、前記物品が載置される保管部と、を備え、
    　前記台車は、前記保管部に対し、前記物品の受け渡しを行い、
    　前記保管部は、互いに隣接する複数のラックユニットを有し、
    　複数の前記ラックユニットのそれぞれは、前記物品が載置される載置部材を含むと共に前記載置部材が前記領域の直下に位置するように設けられ、且つ、前記走行レールに対して着脱可能である、保管システム。
  2. 　複数の前記ラックユニットのそれぞれは、前記走行レールから着脱可能に吊り下げられ且つ前記載置部材を支持する支持部材を含む、請求項１に記載の保管システム。
  3. 　複数の前記ラックユニットのうちの少なくとも１つは、前記載置部材において前記物品が載置される複数の載置部が１列に並ぶように形成されており、複数の前記載置部が１列に並ぶ方向が前記第１方向又は前記第２方向に平行となるように設けられる、請求項２に記載の保管システム。
  4. 　複数の前記領域のそれぞれは、前記物品が上下方向に通過し得る大きさを有する開口領域を形成しており、
    　前記台車は、
    　前記物品を前記走行レールよりも上側で保持して走行し、
    　前記載置部材に対し、前記開口領域を介して前記物品の受け渡しを行う、請求項１～３のいずれか一項に記載の保管システム。
  5. 　複数の前記支持部材のそれぞれは、前記第１レールと前記第２レールとの交差部分から吊り下げられ、
    　前記台車は、前記物品を前記走行レールよりも下側で保持した状態で、当該物品を複数の前記支持部材の間を通過させて走行する、請求項２又は３に記載の保管システム。
  6. 　前記載置部材は、互いに間隔を空けて設けられた１対の梁状部材である、請求項１～５のいずれか一項に記載の保管システム。
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