TW201814817A - 高架搬送系統及高架搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題，在於在軌道之側方增加可載置物品之載置部，藉此增加可在天花板附近進行保管之物品數。
高架搬送系統100具備有：高架搬送車3；第1載置部21，其係配置於移行軌條6之下方且側方，可在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12突出至第1突出量R1為止之狀態下載置物品保持部13所保持之物品2，且被設定為可藉由橫向伸出機構11在載置有物品2之狀態下維持物品保持部13保持物品之狀態使物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止；以及第2載置部22，其係配置於移行軌條6之下方且側方且第1載置部21之外側，並可在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止之狀態下載置物品保持部13所保持之物品2。

Description

高架搬送系統及高架搬送車
本發明係關於高架搬送系統及高架搬送車。
於半導體製造工廠等之製造工廠中，為了搬送例如半導體晶圓之搬送容器(FOUP(front opening unified pod)；前開式晶圓盒)或光罩搬送用之光罩盒等物品，而使用沿著被鋪設於天花板之軌條移行之高架搬送車。又，於如此之製造工廠中，由於在地板面上設置有用以暫時性地保管物品之保管裝置的情形較多，因此地板面上之空間會被占去保管裝置的尺寸。由此，近年來提案有將可載置物品之載置部沿著高架搬送車之移行路徑配置，而將物品保管於天花板附近之高架搬送系統(例如參照專利文獻1)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第5729415號公報
專利文獻1所記載之高架搬送系統，係於軌條之下方使載置部沿著高架搬送車之移行路徑被配置成一列。又，亦提案有於軌條之下方且側方沿著移行路徑呈一列地配置有載置部之形態。即便將該等軌條之下方及下方且側方之載置部加在一起，載置 部之設置數也有限，難以增加可保管之物品數。又，於工廠等之建築物內，天花板附近之空間閒置之情形較多，故需要有效地利用該空間來減少地板面上之保管裝置。
鑒於以上之實情，本發明之目的，在於提供可藉由朝向軌道之側方增加可載置物品之載置部，來增加可於天花板附近保管之物品數之高架搬送系統及高架搬送車。
本發明之高架搬送系統具備有：軌道，其係鋪設於天花板或天花板附近；高架搬送車，其沿著軌道移行，且具備有保持物品之物品保持部、使物品保持部進行升降之升降驅動部、以及可使物品保持部及升降驅動部朝軌道之側方突出之橫向伸出機構；第1載置部，其係配置於軌道之下方且側方，可在藉由橫向伸出機構使物品保持部及升降驅動部突出至第1突出量為止之狀態下載置物品保持部所保持之物品，且被設定為可藉由橫向伸出機構在載置有物品之狀態下維持由物品保持部保持物品之狀態使物品保持部及升降驅動部突出至較第1突出量更大之第2突出量為止並於突出時物品彼此不會產生干涉的高度；以及第2載置部，其配置於軌道之下方且側方且第1載置部之外側，並可在藉由橫向伸出機構使物品保持部及升降驅動部突出至第2突出量為止之狀態下載置物品保持部所保持之物品。
又，第1載置部亦可被配置於以朝軌道之側方突出第1突出量時之物品保持部為基準，較2個物品的高度尺寸更下方。又，第1載置部亦可朝向軌道之側方配置有複數個。又，第2載置部亦可被配置於較第1載置部更上方。又，第2載置部亦可被配置 於較第1載置部所載置之物品之上端更上方。又，第2載置部亦可被配置於沿著軌道之方向上，與第1載置部之相同位置。又，第1載置部及第2載置部亦可分別被設置於自天花板被懸吊設置之框架。又，本發明之高架搬送系統亦可具備有被配置於軌道之下方且可載置物品保持部所保持之物品之第3載置部。又，第3載置部亦可被配置於較第1載置部更下方。
又，本發明提供一種使用於前述之高架搬送系統之高架搬送車。
根據本發明之高架搬送系統，橫向伸出機構可於朝向軌道之側方被配置之第1載置部及第2載置部之各者之間移載物品。藉此，可朝向軌道之側方增加可進行載置之載置部的數量。藉此，可增加可在天花板或天花板附近進行保管之物品數。又，橫向伸出機構可不與被載置於第1載置部之物品產生干涉地，使物品保持部及升降驅動部突出至第2載置部。藉此，無論第1載置部是否載置有物品，均可對遠離高架搬送車之第2載置部移載物品。
又，在第1載置部被載置於以朝軌道之側方突出至第1突出量為止時之物品保持部為基準而較2個物品的高度尺寸更下方之高架搬送系統中，可不與被載置於第1載置部之物品產生干涉地，確實地使物品保持部及升降驅動部突出至第2突出量為止。又，在第1載置部朝向軌道之側方配置有複數個之高架搬送系統中，可進一步增加可在天花板或天花板附近進行保管之物品數。又，在第2載置部被配置於較第1載置部更上方之高架搬送系統中，於對第2載置部移載物品時，可減少物品之升降量，而可提高物品之移載 效率。
又，在第2載置部被配置於較第1載置部所載置之物品之上端更上方之高架搬送系統中，於橫向伸出機構突出至第2突出量為止之期間，可更確實地防止由物品保持部所保持之物品與被載置於第1載置部之物品產生干涉。又，在第2載置部被配置於沿著軌道之方向上與第1載置部之相同位置之高架搬送系統中，由於第1載置部與第2載置部未於沿著軌道之方向上被錯開地配置，因此可空間效率佳地配置第1載置部及第2載置部。又，在第1載置部及第2載置部分別被設置於自天花板被懸吊設置之框架之高架搬送系統中，由於第1載置部及第2載置部被配置於框架，因此可效率佳地配置第1載置部及第2載置部。又，在具備有被配置於軌道之下方且可載置物品保持部所保持之物品之第3載置部之第1載置部及第2載置部中，可更進一步增加可在天花板或天花板附近進行保管之物品數。又，在第3載置部被配置於較第1載置部更下方之高架搬送系統中，可一邊避免被載置於第3載置部之物品與高架搬送車產生干涉，一邊使第1載置部被配置於上方，因此可減少物品相對於第1載置部之升降量，而可提高物品之移載效率。
根據本發明之高架搬送車，於前述之高架搬送系統中，可對第1載置部或第2載置部移載物品，而且，可確保即便對習知之保管裝置等亦可移載物品之通用性。
2‧‧‧物品
2a‧‧‧本體部
2b‧‧‧開口
2c‧‧‧蓋
2e‧‧‧凹部
2g‧‧‧凸緣部
3‧‧‧高架搬送車
5‧‧‧移行驅動部
6‧‧‧移行軌條
7‧‧‧移行輪
9‧‧‧支撐軸
10‧‧‧基座部
11‧‧‧橫向伸出機構
11a‧‧‧可動板
12‧‧‧升降驅動部
13‧‧‧物品保持部
13a‧‧‧爪部
13b‧‧‧懸吊構件
16‧‧‧外罩
18‧‧‧天花板
21‧‧‧第1載置部
22‧‧‧第2載置部
23‧‧‧第3載置部
25‧‧‧銷
31‧‧‧第1框架(框架)
32‧‧‧第2框架(框架)
34、132‧‧‧固定構件
100、100A、100B、100C、200‧‧‧高架搬送系統
131‧‧‧框架
L1、L2、L3、L4‧‧‧距離
R1‧‧‧第1突出量
R2‧‧‧第2突出量
X、Y、Z‧‧‧方向
圖1係表示第1實施形態之高架搬送系統及高架搬送車之一例之前視圖。
圖2係圖1所示之高架搬送系統及高架搬送車之側視圖。
圖3係說明將容器載置於第1載置部之動作之圖。
圖4表示將容器載置於第2載置部之動作，圖4(A)係使橫向伸出機構突出至第2突出量為止之狀態之圖，圖4(B)係使容器向下方移動之狀態之圖。
圖5係表示第2實施形態之高架搬送系統之一例之前視圖。
圖6係說明將容器載置於第1載置部之動作之圖。
圖7表示將容器載置於第2載置部之動作，圖7(A)係使橫向伸出機構突出至第2突出量為止之狀態之圖，圖7(B)係使容器向下方移動之狀態之圖。
圖8係表示變化例之高架搬送系統之前視圖。
圖9係表示另一變化例之高架搬送系統之前視圖。
圖10係表示另一變化例之高架搬送系統之前視圖。
以下，一邊參照圖式一邊對本發明之實施形態進行說明。然而，本發明並不限定於此。又，圖式中為了說明實施形態，將一部分放大或加以強調而記載等適當地變更比例來表現。在以下各圖中，使用XYZ座標系對圖中之方向進行說明。於該XYZ座標系中，將平行於水平面之平面設為XY平面。又，將垂直於XY平面之方向標示為Z方向。X方向、Y方向及Z方向之各者，以圖中之箭頭方向為+方向，而與箭頭之方向相反之方向為-方向來進行說明。
[第1實施形態]
圖1及圖2係表示第1實施形態之高架搬送系統100之一例之圖。圖1為前視圖，圖2為側視圖。高架搬送系統100具備有高架搬送車3、第1載置部21、第2載置部22、及第3載置部23。高架搬送系統100例如被設置於半導體器件之製造工廠。高架搬送系統100可藉由高架搬送車3保持物品2並加以搬送，而且，可藉由高架搬送車3將物品2載置於第1載置部21、第2載置部22及第3載置部23而保管物品2。再者，於本實施形態中，由於是否設置第3載置部23為任意，因此在圖1中以一點鏈線來表示。
物品2為收容例如使用於半導體元件之製造之晶圓、或光罩等物品之搬送容器。作為搬送容器之物品2，例如為可藉由氮氣或潔淨乾燥空氣等對收容物具有惰性之淨化氣體來沖洗內部之FOUP、SMIF(Standard Mechanical Interface；標準機械界面)盒、光罩盒等。於本實施形態中，表示物品2為FOUP之例。
物品2具備有本體部2a、開口2b、及封閉開口2b之蓋2c。開口2b係設置於本體部2a之側面，並以朝向水平方向(圖1中為+Y方向)開口之方式所形成。被收容於物品2之晶圓等之收容物，係經由開口2b相對於物品2之內部被搬入搬出。蓋2c係以封閉開口2b之方式，可裝卸地被安裝於物品2。蓋2c例如藉由各種裝卸裝置而相對於本體部2a被安裝或拆卸。於該第1實施形態中，蓋2c被配置於物品2之+Y側。又，物品2於本體部2a之底面設置有凹部2e，而且，於本體部2a之頂部設置有凸緣部2g。凹部2e例如以嵌入後述之複數根(例如3根)銷25之方式，自底面中央呈放射狀地被設置為複數條(例如3條)之溝狀。凸緣部2g係形成為可藉由後述之物品保持部13加以保持之形狀。
物品2係藉由高架搬送車3等搬送裝置，朝向處理裝置(未圖示)被搬入、或自處理裝置被搬出。作為處理裝置，例如為對半導體晶圓進行處理之成膜裝置、塗佈機/顯影機、曝光裝置、蝕刻裝置等，於製造各種器件(例如半導體器件)之過程中實施各種處理。
高架搬送車3具備有保持物品2之物品保持部13、使物品保持部13沿著鉛直方向升降之升降驅動部12、及移行驅動部5。高架搬送車3藉由移行驅動部5之驅動力而沿著移行軌條(軌道)6移行。移行軌條6例如以藉由懸吊金屬件等自無塵室之天花板18所懸吊之狀態，被配置於天花板18之附近，且朝X方向延伸。再者，移行軌條6並不限定於藉由懸吊金屬件所懸吊之形態，亦可直接被安裝於天花板18。
移行驅動部5具有作為驅動源之線性馬達或電動旋轉馬達(未圖示)、移行輪7、及編碼器(未圖示)。移行輪7係以可於移行軌條6之一部分移行之狀態被配置。編碼器例如檢測移行輪7之旋轉數或被形成於移行軌條6之指標等，並將其檢測結果輸出至控制部(未圖示)。再者，控制部根據編碼器之檢測結果來控制線性馬達等，而進行高架搬送車3之速度或停止位置之控制。
於高架搬送車3，安裝有自移行驅動部5朝下方延伸之支撐軸9。於支撐軸9之下部，安裝有基座部10。於基座部10之下部，安裝有橫向伸出機構11。橫向伸出機構11係以複數片可動板11a沿著上下方向(Z方向)重疊之狀態被配置，並於最下部之可動板11a之下部安裝有升降驅動部12。高架搬送車3可藉由橫向伸出機構11使升降驅動部12朝水平方向移動。
基座部10具有Y方向導件(未圖示)、及Y方向驅動部(未圖示)等。基座部10可藉由來自電動馬達等之Y方向驅動部之驅動力，使橫向伸出機構11沿著導件而朝+Y方向或-Y方向移動。橫向伸出機構11具有例如沿著Z方向重疊而被配置之複數片可動板11a。本實施形態雖使用3片可動板11a，但並不限定於此，亦可使用2片或4片以上之可動板11a。複數片可動板11a可分別藉由Y方向導件而朝Y方向移動。於最下部(-Z側)之可動板11a，設置有升降驅動部12及未圖示之轉動部。
再者，轉動部具有轉動構件(未圖示)、及轉動驅動部(未圖示)。轉動構件可繞上下方向(Z軸)之軸方向旋轉地被設置。轉動構件係連接於升降驅動部12，可使升降驅動部12繞上下方向之軸旋轉。轉動驅動部係採用電動馬達等，使轉動構件繞上下方向之軸旋轉。該轉動部藉由來自轉動驅動部之驅動力使升降驅動部12旋轉，藉此，可改變後述之物品保持部13(或物品2)之朝向。再者，如此之轉動部係由未圖示之控制部所控制。然而，高架搬送車3是否具備有轉動部為任意，而亦可無轉動部。
物品保持部13藉由把持物品2之凸緣部2g，將物品2懸吊而加以保持。物品保持部13例如為具有可沿著水平方向移動之爪部13a之夾具，且使爪部13a進入至物品2之凸緣部2g之下方，並使物品保持部13上升，藉此將物品2以懸吊之狀態加以保持。物品保持部13係與金屬線或皮帶等之複數根(例如4根)懸吊構件13b相連接。升降驅動部12例如為吊車，可藉由捲出懸吊構件13b使物品保持部13下降，且可藉由捲取懸吊構件13b使物品保持部13上升。升降驅動部12係由控制部(未圖示)所控制，使物品保 持部13以既定之速度下降或上升。又，升降驅動部12係由控制部所控制，而將物品保持部13保持於目標之高度。
前述之基座部10、橫向伸出機構11及升降驅動部12，與移行驅動部5成為一體地沿著X方向移動。於基座部10、橫向伸出機構11及升降驅動部12之-X側及+X側，分別設置有外罩16(參照圖2)。外罩16分別經由支撐軸9被支撐於高架搬送車3，而與高架搬送車3成為一體地沿著X方向移動。又，外罩16係於物品2之搬送時，以覆蓋物品保持部13所保持之物品2之上下方向之方式，在朝較物品2之下端更下方延伸之狀態下被配置。
第1載置部21係配置於移行軌條6之下方(-Z側)且+Y側及-Y側之兩側的側方。第1載置部21係被配置於移行軌條6之側方之第1側軌緩衝區。第1載置部21係設置於第1框架31。第1框架31雖被形成為帶狀且板狀，但第1框架31之形狀並未被限定。第1框架31係沿著移行軌條6而朝X方向延伸地被配置。又，第1框架31係藉由上下方向之棒狀之固定構件34以自天花板18所懸吊之狀態被固定，而被配置於天花板18之附近。
第1框架31例如以藉由高架搬送車3之升降驅動部12而被上升至最上位置之物品保持部13為基準，被配置於較2個物品2的高度尺寸(Z方向的距離)更下方(-Z側)。藉此，第1載置部21係以物品保持部13為基準而被配置於較2個物品2的高度尺寸更下方。又，第1載置部21係如圖2所示，於第1框架31上沿著X方向排列地配置有複數個。再者，第1載置部21沿著X方向排列之數量可任意地設定，且依據第1框架31之X方向之長度所設定。
第1載置部21係於藉由橫向伸出機構11使物品保持 部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第1突出量R1為止之狀態下，被配置於可載置由物品保持部13所保持之物品2的位置。第1載置部21例如被配置為在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第1突出量R1為止之狀態下，第1載置部21之複數根銷25位於物品2之各凹部2e之下方。換言之，第1載置部21係於物品保持部13及升降驅動部12突出至第1突出量R1為止之狀態下，被配置於由物品保持部13所保持之物品2之正下方。又，例如，由上升至最上位置之物品保持部13所保持之物品2與第1載置部21之間，朝鉛直方向被開放。
又，第1載置部21係設定於在載置有物品2之狀態下，以將物品保持於物品保持部13之狀態，藉由橫向伸出機構11使保持有物品2之物品保持部13及升降驅動部12可突出至較第1突出量R1更大之第2突出量R2為止之高度。如前所述，由於第1載置部21係配置於以藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝移行軌條6之側方突出第1突出量R1且藉由升降驅動部12使該等上升至最上位置之物品保持部13為基準而較2個物品2之高度尺寸更下方，因此即便藉由橫向伸出機構11使保持有物品2之物品保持部13及升降驅動部12突出第2突出量R2，亦可避免被載置於第1載置部21之物品2與物品保持部13所保持之物品2碰撞。
第2載置部22係配置於移行軌條6之下方(-Z側)且+Y側及-Y側之兩側的側方且第1載置部21之外側。亦即，第2載置部22係配置於位在+Y側之第1載置部21之更+Y側，且被配置於位在-Y側之第1載置部21之更-Y側。第2載置部22係與第 1載置部21同樣地，為被配置於移行軌條6之側方之第2側軌緩衝區，且被配置於天花板18之附近。
第2載置部22係配置於在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第2突出量R2為止之狀態下，可載置物品保持部13所保持之物品2的位置。第2載置部22例如被配置為在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第2突出量R2為止之狀態下，第2載置部22之複數根銷25位於物品2之各凹部2e之下方。換言之，第2載置部22係於物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止之狀態下，被配置於由物品保持部13所保持之物品2之正下方。又，例如，由上升至最上位置之物品保持部13所保持之物品2與第2載置部22之間，朝鉛直方向被開放。又，第2載置部22係配置於較第1載置部21高距離L1之上方(+Z側)。
第2載置部22係設置於第2框架32。第2框架32雖被形成為帶狀且板狀，但第2框架32之形狀並未被限定。第2框架32係與第1框架31同樣地，藉由上下方向之棒狀之固定構件34以自天花板18所懸吊之狀態被固定，而被配置於天花板18之附近。第2框架32係沿著移行軌條6朝X方向延伸地被配置。第2載置部22雖藉由固定構件34而與第1載置部21被一體化，但並不限定於此，第2框架32亦可藉由與第1框架31不同之固定構件而自天花板18被懸吊。
第2載置部22係如圖2所示，於第2框架32上沿著X方向排列地配置有複數個。又，第2載置部22係於沿著移行軌條6之X方向上，被配置於與第1載置部21相同之位置。亦即， 第1載置部21與第2載置部22係沿著與X方向正交之Y方向排列而被配置。於該構成中，由於第1載置部21與第2載置部22未於沿著移行軌條6之方向上錯開地被配置，因此可於高架搬送車3停止之1個位置上，對第1載置部21及第2載置部22之任一者進行物品2之移載。亦即，可使對第1載置部21移載物品2時之高架搬送車3之停止位置與對第2載置部22移載物品2時之高架搬送車3之停止位置相同。然而，第1載置部21與第2載置部22並不限定在沿著移行軌條6之X方向上被配置於相同位置，第1載置部21與第2載置部22亦可於X方向上錯開地被配置。
第3載置部23係配置於移行軌條6之下方(-Z側)。第3載置部23為被配置於移行軌條6正下方之下軌緩衝區，且被配置於天花板18之附近。第3載置部23係配置於在使物品保持部13下降時可載置由物品保持部13所保持之物品2的位置。第3載置部23既可被形成為由形成第1載置部21之第1框架31之固定構件34所保持，亦可藉由與固定構件34不同之固定構件自天花板18所懸吊。又，雖未圖示，但第3載置部23亦可於移行軌條6之正下方沿著X方向配置有複數個。然而，如前所述，亦可不設置第3載置部23。
於各第1載置部21、各第2載置部22及各第3載置部23，設置有對物品2進行定位之複數根銷25。銷25例如朝向上方設置有3個。各根銷25係對應於被設置在物品2之底部之複數個呈放射狀之凹部2e的位置所配置，可嵌入於各凹部2e。物品2在被載置於第1載置部21、第2載置部22、及第3載置部23時，藉由銷25被嵌入物品2之凹部2e而被定位。再者，凹部2e及銷 25之形狀以及個數，分別不限定於圖1及圖2所示之構成，而可任意地設定。
其次，對高架搬送系統100之動作進行說明。圖3係說明將物品2載置於第1載置部21之動作之圖。於將物品2載置於第1載置部21之情形時，控制高架搬送車3之控制部，使保持物品2之高架搬送車3停止於作為移載目的地之第1載置部21之側方，並使橫向伸出機構11例如朝+Y方向突出至第1突出量R1為止。接著，控制部驅動升降驅動部12使物品保持部13下降，藉此如圖3所示，物品2下降而被載置於第1載置部21。此時，銷25進入至物品2之凹部2e，將物品2定位於第1載置部21。
其次，對自該狀態將物品2載置於第2載置部22之動作進行說明。圖4係說明將物品2載置於第2載置部22之動作之圖，圖4(A)表示使橫向伸出機構11突出至第2突出量R2為止之狀態，圖4(B)表示藉由升降驅動部12使物品2朝向下方移動之狀態。首先，控制部使保持物品2之高架搬送車3，停止於作為移載目的地之第2載置部22之側方。接著，控制部如圖4(A)所示，使橫向伸出機構11例如朝+Y方向突出至第2突出量R2為止。
此時，被保持於物品保持部13之物品2之下端，成為與被載置於第1載置部21之物品2之上端之間隔開距離L3之狀態。因此，可不與被載置於第1載置部21之物品2產生干涉地，藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止。
又，第2載置部22係配置於較第1載置部21高距離L1之上方(參照圖1)。該第2載置部22雖被配置於較第1載置部 21更上方，但於橫向伸出機構11突出至第2突出量R2為止之情形時，物品2之下端與第2載置部22之間被確保有距離L2。因此，即便於藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止之情形時，物品2之下端亦不會碰撞到第2載置部22。再者，於圖4中，將銷25之上端與物品2之下端之間表示為距離L2。可藉由縮小距離L2而可減少由升降驅動部12所進行物品2之升降量，可使物品2之升降所需之時間以較短的時間來進行，而可使物品2之移載效率提高。
再者，第2載置部22雖被配置於較被載置於第1載置部21之物品2之上端更上方，但並不限定於此。例如，第2載置部22既可被配置於與被載置於第1載置部21之物品2之上端相同之高度，或者亦可被配置於較被載置於第1載置部21之物品2之上端更下方。
接著，控制部驅動升降驅動部12使物品2下降，藉此如圖4(B)所示，可將物品2載置於第2載置部22。此時，銷25進入至物品2之凹部2e，將物品2定位於第2載置部22。再者，於將物品2載置於第3載置部23之情形時，使高架搬送車3停止於移載目的地之第3載置部23之上方，接著，驅動升降驅動部12使物品2下降，藉此可將物品2載置於第3載置部23。再者，關於將物品2載置於第3載置部23時，銷25進入至物品2之凹部2e，而將物品2定位於第3載置部23的部分，與前述相同。
又，於將被載置於第1載置部21或第2載置部22之物品2移載至高架搬送車3之情形時，與前述相同地藉由橫向伸出機構11使物品保持部13突出至第1突出量R1或第2突出量R2 為止。接著，驅動升降驅動部12使物品保持部13下降，並於以爪部13a把持物品2之凸緣部2g後驅動升降驅動部12使物品保持部13上升。接著，驅動橫向伸出機構11將可動板11a拉入，藉此使物品2被收容於高架搬送車3之外罩16內。
於將被載置於第2載置部22之物品2移載至高架搬送車3之情形時，由於即便於第1載置部21載置有物品2之情形時，於物品保持部13已上升之狀態下亦可於物品2之下端與被載置於第1載置部21之物品2之上端之間確保有距離L3，因此於將物品2收容至高架搬送車3之外罩16內時，物品2不會碰撞到被載置於第1載置部21之物品2之上端。
如以上所述，根據第1實施形態之高架搬送系統100，可藉由橫向伸出機構11，而於第1載置部21及第2載置部22之各者之間移載物品2。藉此，可於移行軌條6之側方增加可載置物品2之載置部之數量，而可增加可於天花板18之附近進行保管之物品2之數量。又，橫向伸出機構11可不與被載置於第1載置部21之物品2產生干涉地，進行對第2載置部22之移物品2之移載。藉此，無論第1載置部21是否載置有物品2，均可對遠離高架搬送車3之第2載置部22移載物品2。
再者，在前述之實施形態中，雖以移行軌條6(高架搬送車3)為中心而於+Y側及-Y側之雙方設置第1載置部21及第2載置部22，但並不限定於此。例如亦可為在+Y側及-Y側之任意一側配置第1載置部21及第2載置部22，並在任意另一側不配置第1載置部21及第2載置部22之形態、或者為在任意另一側配置第1載置部21及第2載置部22中之任一者之形態。
[第2實施形態]
圖5係表示第2實施形態之高架搬送系統200之一例之圖。於第2實施形態中，關於第1載置部21與第2載置部22之高度位置(Z方向之位置)相同的部分，與第1實施形態不同。其他構成與第1實施形態相同，標示相同符號並省略或簡化其說明。以下，以與第1實施形態之差異點為中心進行說明。
與第1實施形態相同地，第1載置部21係配置於在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第1突出量R1為止之狀態下，可載置物品保持部13所保持之物品2的位置。亦即，第1載置部21係配置為在橫向伸出機構11之突出量成為第1突出量R1之狀態下，銷25位於物品2之凹部2e之下方。第2載置部22配置於在藉由橫向伸出機構11使物品保持部13及升降驅動部12朝Y方向突出至第2突出量R2為止之狀態下，可載置物品保持部13所保持之物品2的位置。亦即，第2載置部22係配置為在橫向伸出機構11之突出量成為第2突出量R2之狀態下，銷25位於物品2之凹部2e之下方。
第1載置部21及第2載置部22係以沿著Y方向排列之狀態，被設置於同一框架131。框架131係形成為帶狀且板狀。框架131係由上下方向之棒狀之固定構件132，以自天花板18懸吊之狀態被固定，而被配置於天花板18之附近。框架132係沿著移行軌條6朝X方向延伸地被配置。再者，第1載置部21及第2載置部22並不限定於被設置在同一框架131。例如，亦可為第1載置部21與第2載置部22分別被設置於不同框架，且該等框架由共通 或個別之固定構件自天花板18所懸吊。
其次，對高架搬送系統200之動作進行說明。圖6係說明將物品2載置於第1載置部21之動作之圖。於將物品2載置於第1載置部21之情形時，與第1實施形態相同地，控制高架搬送車3之控制部使高架搬送車3停止於作為物品2之移載目的地之第1載置部21之側方。接著，控制部使橫向伸出機構11例如朝+Y方向突出至第1突出量R1為止。接著，控制部藉由升降驅動部12使物品保持部13下降而使物品2下降。藉此，如圖6所示，物品2便被載置於第1載置部21。
其次，對將物品2載置於第2載置部22之動作進行說明。圖7係說明將物品2載置於第2載置部22之動作之圖，圖7(A)表示使橫向伸出機構11突出至第2突出量R2為止之狀態，圖7(B)表示藉由升降驅動部12使物品2下降之狀態。首先，控制部使高架搬送車3停止於作為物品2之移送目的地之第2載置部22之側方。接著，控制部如圖7(A)所示使橫向伸出機構11例如朝+Y方向突出至第2突出量R2為止。
此時，被載置於物品保持部13之物品2之下端，與被載置於第1載置部21之物品2之上端之間，確保有距離L3。因此，可不與被載置於第1載置部21之物品2產生干涉地，使保持物品2之物品保持部13及升降驅動部12突出至第2突出量R2為止。接著，控制部藉由驅動升降驅動部12使物品保持部13下降。藉此，如圖7(B)所示，物品2便被載置於第2載置部22。
如以上所述，根據第2實施形態之高架搬送系統200，即便於第1載置部21與第2載置部22之高度位置相同之情 形時，亦與第1實施形態相同地，無論第1載置部21是否載置有物品2，均可對遠離高架搬送車3之第2載置部22移載物品2，且可增加可於天花板18之附近進行保管之物品2之數量。又，由於第1載置部21與第2載置部22被配置於相同高度，因此整體上構造簡單，而可降低設置成本。又，由於在第1載置部21與第2載置部22藉由升降驅動部12所進行之升降行程共通，因此可使控制部之控制變簡單。
又，與第1實施形態相同地，即便於高架搬送系統200中，第3載置部23亦可被配置於移行軌條6之下方。再者，第3載置部23為與第1實施形態相同之構成，故省略說明。又，第3載置部23既可被保持於固定構件132，或者，亦可藉由與固定構件132不同之固定構件自天花板18所懸吊。
以上，雖已對實施形態進行說明，但本發明並不限定於前述之說明，可不脫離本發明之主旨之範圍內進行各種變更。例如，於前述之實施形態中，雖已列舉第1載置部21與第3載置部23被配置於相同高度位置(Z方向之位置)之構成為例進行說明，但並不限定於此。
圖8係表示變化例之高架搬送系統100A之一例之前視圖。如圖8所示之高架搬送系統100A，第1載置部21亦可被配置於第3載置部23之上方。如圖8所示，高架搬送車3具備有用以覆蓋搬送中之物品2之外罩16。該外罩16成為延伸至較搬送中之物品2之下端更下方之狀態。第3載置部23係設定於所載置之物品2之上端不會與該外罩16產生干涉之高度。另一邊，由於第1載置部21只要相對於所載置之物品2之上端確保有前述之距離L3 即可，因此並無與第3載置部23配置在相同高度之必要，而可配置於較第3載置部23更上方。
如此，藉由第3載置部23被配置於較第1載置部21更下方，亦即，藉由第1載置部21被配置於上方，利用升降驅動部12使物品2升降之距離會縮短。其結果，物品2之升降所需之時間縮短，而可提高物品2之移載效率。再者，第1載置部21可在可確保距離L3(參照圖4或圖7)之高度的範圍內配置於上方。
又，於前述之實施形態中，雖已列舉第1載置部21於移行軌條6之+Y側及-Y側分別各配置有1列之構成為例進行說明，但並不限定於此。圖9係表示變化例之高架搬送系統100B之一例之前視圖。如圖9所示之高架搬送系統100B，第1載置部21亦可於移行軌條6之+Y側及-Y側分別各配置有2列。藉此，可進一步增加可於天花板18之附近進行保管之物品2之數量。再者，第1載置部21既可配置3列以上，或者，亦可為第1載置部21之列數於移行軌條6之+Y側與-Y側不同。
又，於前述之實施形態中，雖已列舉以蓋2c位於+Y側之方式配置物品2之構成為例進行說明，但並不限定於此。圖10係表示變化例之高架搬送系統100C之一例之前視圖。於圖10所示之高架搬送系統100C中，移行軌條6之+Y側與第1實施形態相同地，被載置於第1載置部21及第2載置部22之物品2係以蓋2c位於+Y側之方式被配置。又，移行軌條6之-Y側，被載置於第1載置部21及第2載置部22之物品2係以蓋2c位於-Y側之方式被配置。高架搬送系統100C於要將物品2載置於移行軌條6之-Y側之第1載置部21及第2載置部22之情形時，可藉由利用轉動部使 物品2繞Z軸之軸方向轉動180°來實現。
又，於前述之實施形態中，雖已列舉第1載置部21以物品保持部13為基準而被配置於較2個物品2之高度尺寸更下方之構成為例進行說明，但並不限定於此，第1載置部21亦可以物品保持部13為基準而被配置於較2個物品2之高度尺寸更上方。
又，於前述之實施形態中，雖已表示單純將物品2載置於第1載置部21、第2載置部22、及第3載置部23之構成，但亦可於物品2之載置時對物品2進行處理。例如，第1載置部21、第2載置部22及第3載置部22之至少一者，亦可具備有於載置有物品2時對物品2之內部供給淨化氣體之淨化氣體供給裝置。該淨化氣體供給裝置亦可具備有例如於第1載置部21等載置有物品2時與物品2之內部連接之供給噴嘴，並經由該供給噴嘴供給淨化氣體。又，可於法令所容許之範圍內援用作為日本專利申請案之特願2016-186750、及本說明書所引用之所有文獻之內容，來作為本說明書之一部分。

Claims (10)

  1. 一種高架搬送系統，其具備有：軌道，其係鋪設於天花板或天花板附近；高架搬送車，其沿著上述軌道移行，且具備有保持物品之物品保持部、使上述物品保持部進行升降之升降驅動部、以及可使上述物品保持部及上述升降驅動部朝上述軌道之側方突出之橫向伸出機構；第1載置部，其係配置於上述軌道之下方且側方，可在藉由上述橫向伸出機構使上述物品保持部及上述升降驅動部突出至第1突出量為止之狀態下載置上述物品保持部所保持之物品，且被設定為可藉由上述橫向伸出機構在載置有物品之狀態下維持由上述物品保持部保持物品之狀態使上述物品保持部及上述升降驅動部突出至較上述第1突出量更大之第2突出量為止並於突出時物品彼此不會產生干涉的高度；以及第2載置部，其係配置於上述軌道之下方且側方且上述第1載置部之外側，並可在藉由上述橫向伸出機構使上述物品保持部及上述升降驅動部突出至上述第2突出量為止之狀態下載置上述物品保持部所保持之物品。
  2. 如請求項1之高架搬送系統，其中，上述第1載置部係配置於以朝上述軌道之側方突出至上述第1突出量為止時之上述物品保持部為基準，較2個上述物品的高度尺寸更下方。
  3. 如請求項1或2之高架搬送系統，其中，上述第1載置部係朝向上述軌道之側方配置有複數個。
  4. 如請求項1至3中任一項之高架搬送系統，其中，上述第2 載置部係配置於較上述第1載置部更上方。
  5. 如請求項4之高架搬送系統，其中，上述第2載置部係配置於較上述第1載置部所載置之物品之上端更上方。
  6. 如請求項1至5中任一項之高架搬送系統，其中，上述第2載置部係配置於沿著上述軌道之方向上，與上述第1載置部之相同位置。
  7. 如請求項1至6中任一項之高架搬送系統，其中，上述第1載置部及上述第2載置部分別被設置於自天花板被懸吊設置之框架。
  8. 如請求項1至7中任一項之高架搬送系統，其中，其具備有被配置於上述軌道之下方且可載置上述物品保持部所保持之物品之第3載置部。
  9. 如請求項8之高架搬送系統，其中，上述第3載置部係配置於較上述第1載置部更下方。
  10. 一種高架搬送車，係使用於請求項1至9中任一項所記載之高架搬送系統者。
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