CN109791906A - 顶棚搬运系统以及顶棚搬运车 - Google Patents

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Abstract

通过在轨道的侧方增加能载置物品的载置部，增加顶棚附近能保管的物品的数量。顶棚搬运系统(100)具备顶棚搬运车(3)；第一载置部(21)，配置于行驶导轨(6)下方且侧方，在通过横向伸出机构(11)使物品保持部(13)及升降驱动部(12)突出至第一突出量(R1)的状态能载置保持于物品保持部的物品，第一载置部设定于在载置了物品的状态保持该将物品保持于物品保持部的状态，通过横向伸出机构使物品保持部以及升降驱动部能突出至第二突出量(R2)的高度；第二载置部(22)，配置于行驶导轨的下方且侧方且第一载置部的外侧，在通过横向伸出机构使物品保持部及升降驱动部突出至第二突出量的状态能载置保持于物品保持部的物品。

Description

顶棚搬运系统以及顶棚搬运车
技术领域
本发明涉及顶棚搬运系统以及顶棚搬运车。
背景技术
在半导体制造工厂等制造工厂中，为了搬运例如半导体晶圆的搬运容器(FOUP)或者掩模搬运用的掩模盒(Reticle Pod)等物品，使用沿着铺设于顶棚的导轨行驶的顶棚搬运车。另外，在这样的制造工厂中，用于暂时保管物品的保管装置设置在地板面上的情况较多，因此导致地板面上空间有保管装置那么大小的空间被占用了。因此，近年来，提出使能够载置物品的载置部沿着顶棚搬运车的行驶路径配置，并在顶棚附近保管物品的顶棚搬运系统(例如参照专利文献1)。
专利文献1:日本专利第5729415号公报
对于专利文献1所记载的顶棚搬运系统而言，在导轨的下方，载置部沿着顶棚搬运车的行驶路径配置为一列。另外，也提出过在轨道的下方且侧方，载置部沿着行驶路径配置为一列的形式。即便将这些导轨的下方以及下方且侧方的载置部合起来，载置部的设置数也有限，从而难以增加能够保管的物品的数量。另外，在工厂等建筑物内，顶棚附近的空间空闲的情况较多，谋求有效地利用该空间而减少地板面上的保管装置。
发明内容
鉴于以上那样的状况，本发明目的在于提供通过使能够载置物品的载置部朝向轨道的侧方增加来增加顶棚附近能够保管的物品的数量的顶棚搬运系统以及顶棚搬运车。
本发明涉及的顶棚搬运系统具备：轨道，其铺设于顶棚或者顶棚附近；顶棚搬运车，其沿着轨道行驶，并具备保持物品的物品保持部、使物品保持部升降的升降驱动部、以及能够使物品保持部以及升降驱动部向轨道的侧方突出的横向伸出机构；第一载置部，其配置于轨道的下方且侧方，在通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部突出至第一突出量的状态能够载置保持于所述物品保持部的物品，并且，所述第一载置部的高度被设定为，在载置了物品的状态且将物品保持于所述物品保持部的状态保持不变地通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部能够突出至比所述第一突出量大的第二突出量且在突出时物品彼此不干涉的高度；以及第二载置部，其配置于所述轨道的下方且侧方且所述第一载置部的外侧，在通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部突出至所述第二突出量的状态能够载置保持于所述物品保持部的物品。
另外，也可以是，将向所述轨道的侧方突出至所述第一突出量时的所述物品保持部作为基准，所述第一载置部被配置在比所述物品2个大小的高度尺寸靠下方的位置。另外，也可以是，第一载置部朝向轨道的侧方配置多个。另外，也可以是，第二载置部配置于比第一载置部靠上方的位置。另外，也可以是，第二载置部配置于比载置于第一载置部的物品的上端靠上方的位置。另外，也可以是，第二载置部在沿着轨道的方向上配置于与第一载置部相同的位置。另外，也可以是，第一载置部以及第二载置部分别设置于从顶棚悬吊设置的框架。另外，也可以是，具备配置于轨道的下方，并能够载置保持于物品保持部的物品的第三载置部。另外，也可以是，第三载置部配置于比第一载置部靠下方的位置。
另外，本发明可提供用于上述的顶棚搬运系统的顶棚搬运车。
根据本发明所涉及的顶棚搬运系统，横向伸出机构能够在分别与朝向轨道的侧方配置的第一载置部以及第二载置部之间移载物品。由此，能够朝向轨道的侧方增加能够载置的载置部的数量。由此，能够增加顶棚或者顶棚附近能够保管的物品的数量。另外，横向伸出机构能够不与载置于第一载置部的物品干涉地使物品保持部以及升降驱动部突出至第二载置部。由此，即使对于从顶棚搬运车分离的第二载置部，无论是否在第一载置部载置有物品，均能够移载物品。
另外，在将向所述轨道的侧方突出至所述第一突出量时的所述物品保持部作为基准而所述第一载置部被配置在比物品2个大小的高度尺寸靠下方的位置的顶棚搬运系统中，能够不与载置于第一载置部的物品干涉地可靠地使物品保持部以及升降驱动部突出至第二突出量。另外，在第一载置部朝向轨道的侧方配置多个的顶棚搬运系统中，能够进一步增加顶棚或者顶棚附近能够保管的物品的数量。另外，在第二载置部配置于比第一载置部靠上方的位置的顶棚搬运系统中，在相对于第二载置部移载物品时，能够减少物品的升降量，能够提高物品的移载效率。
另外，在第二载置部配置于比载置于第一载置部的物品的上端靠上方的位置的顶棚搬运系统中，在横向伸出机构突出至第二突出量的期间，能够更可靠地防止由物品保持部保持的物品与载置于第一载置部的物品干涉。另外，在第二载置部在沿着轨道的方向上配置于与第一载置部相同的位置的顶棚搬运系统中，第一载置部与第二载置部未在沿着轨道的方向上错开配置，因此能够高效利用空间地配置第一载置部以及第二载置部。另外，在第一载置部以及第二载置部分别设置于从顶棚悬吊设置的框架的顶棚搬运系统中，在框架配置有第一载置部以及第二载置部，因此能够高效地配置第一载置部以及第二载置部。另外，在具备：配置于轨道的下方并能够载置保持于物品保持部的物品的第三载置部的第一载置部以及第二载置部中，能够进一步增加顶棚或者顶棚附近能够保管的物品的数量。另外，在第三载置部配置于比第一载置部靠下方的位置的顶棚搬运系统中，避免载置于第三载置部的物品与顶棚搬运车的干涉，并且由于第一载置部配置于上方，所以能够减少物品相对于第一载置部的升降量，能够提高物品的移载效率。
根据本发明涉及的顶棚搬运车，在上述的顶棚搬运系统中，能够相对于第一载置部或者第二载置部移载物品，并且能够确保相对于以往的保管装置等也能够移载物品之类的通用性。
附图说明
图1是表示第一实施方式所涉及的顶棚搬运系统以及顶棚搬运车的一个例子的主视图。
图2是图1所示的顶棚搬运系统以及顶棚搬运车的侧视图。
图3是对向第一载置部载置容器的动作进行说明的图。
图4示出向第二载置部载置容器的动作，其中的(A)是使横向伸出机构突出至第二突出量的状态的图，(B)是使容器向下方移动的状态的图。
图5是表示第二实施方式涉及的顶棚搬运系统的一个例子的主视图。
图6是对向第一载置部载置容器的动作进行说明的图。
图7示出向第二载置部载置容器的动作，其中的(A)是使横向伸出机构突出至第二突出量的状态的图，(B)是使容器向下方移动的状态的图。
图8是表示变形例涉及的顶棚搬运系统的主视图。
图9是表示其他变形例涉及的顶棚搬运系统的主视图。
图10是表示其他变形例涉及的顶棚搬运系统的主视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。但是，本发明不限定于此。另外，在附图中为了对实施方式进行说明，将一部分放大或者强调而记载等适当地变更比例尺来表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面记载为XY平面。另外，将与XY平面垂直的方向记载为Z方向。对X方向、Y方向以及Z方向来说，以图中的箭头的方向为+方向，与箭头的方向相反方向为－方向的情况进行说明。
[第一实施方式]
图1以及图2是表示第一实施方式涉及的顶棚搬运系统100的一个例子的图。图1是主视图，图2是侧视图。顶棚搬运系统100具备：顶棚搬运车3、第一载置部21、第二载置部22以及第三载置部23。顶棚搬运系统100例如设置于半导体器件的制造工厂。顶棚搬运系统100能够通过顶棚搬运车3保持并搬运物品2，另外，能够通过顶棚搬运车3将物品2载置于第一载置部21、第二载置部22以及第三载置部23，并保管物品2。此外，在本实施方式中，是否设置第三载置部23是任意的，因此图1中由单点划线表示。
物品2例如是收容半导体元件的制造所使用的晶圆、或者掩模等物品的搬运容器。作为搬运容器的物品2，例如为能够通过氮气或清洁干燥的空气等相对于收容物不活泼的净化气体来净化内部的FOUP、SMIF Pod、掩模盒等。在本实施方式中，示出物品2为FOUP的例子。
物品2具备主体部2a、开口2b、以及闭塞开口2b的盖2c。开口2b设置于主体部2a的侧面，并形成为朝向水平方向(图1中+Y方向)开口。收容于物品2的晶圆等收容物经由开口2b而相对于物品2的内部进出。盖2c能够拆装地设置于物品2，以闭塞开口2b。盖2c例如通过各种拆装装置相对于主体部2a安装或者取下。在该第一实施方式中，盖2c配置于物品2的+Y侧。另外，物品2在主体部2a的底面设置有凹部2e，并且在主体部2a的顶部设置有凸缘部2g。凹部2e被设置为从底面中央以放射状的多个(例如3个)槽状，以便例如后述的多个(例如3个)销25嵌入。凸缘部2g形成为能够由后述的物品保持部13保持的形状。
物品2通过顶棚搬运车3等搬运装置，向处理装置(未图示)搬入，然后从处理装置搬出。作为处理装置，例如，为处理半导体晶圆的成膜装置、涂布装置/显影装置、曝光装置、蚀刻装置等，在制造各种器件(例半导体器件)的过程中实施各种处理。
顶棚搬运车3具备：保持物品2的物品保持部13、使物品保持部13沿铅垂方向升降的升降驱动部12、以及行驶驱动部5。顶棚搬运车3由于行驶驱动部5的驱动力而沿着行驶导轨(轨道)6行驶。行驶导轨6例如通过悬挂金属件等从净化室的顶棚18以悬挂的状态配置于顶棚18的附近，并沿X方向延伸。此外，行驶导轨6不限定于通过悬挂金属件悬吊的形式，也可以直接安装于顶棚18。
行驶驱动部5具有：作为驱动源的线性马达或电动旋转马达(未图示)、行驶轮7以及编码器(未图示)。行驶轮7以能够在行驶导轨6的一部分行驶的状态配置。编码器例如对行驶轮7的转速或者形成于行驶导轨6的指标等进行检测，并将其检测结果向控制部(未图示)输出。此外，控制部基于编码器的检测结果控制线性马达等，进行顶棚搬运车3的速度或停止位置的控制。
在顶棚搬运车3安装有从行驶驱动部5向下方延伸的支承轴9。在支承轴9的下部安装有基座部10。在基座部10的下部安装有横向伸出机构11。横向伸出机构11以多个可动板11a在上下方向(Z方向)重叠的状态配置，在最下部的可动板11a的下部安装有升降驱动部12。顶棚搬运车3能够通过横向伸出机构11使升降驱动部12在水平方向上移动。
基座部10具有Y方向引导件(未图示)、Y方向驱动部(未图示)等。基座部10通过电动马达等的来自Y方向驱动部的驱动力，能够使横向伸出机构11沿着引导件向+Y方向或者－Y方向移动。横向伸出机构11例如具有在Z方向上重叠配置的多个可动板11a。在本实施方式中使用3个可动板11a，但不局限于此，也可以使用2个或4个以上可动板11a。多个可动板11a分别通过Y方向引导件能够在Y方向上移动。在最下部(－Z侧)的可动板11a设置有升降驱动部12以及未图示的转动部。
此外，转动部具有转动部件(未图示)和转动驱动部(未图示)。转动部件设置为能够沿绕上下方向(Z轴)的轴的方向旋转。转动部件能够与升降驱动部12连接而使升降驱动部12绕上下方向的轴旋转。转动驱动部使用电动马达等，使转动部件绕上下方向的轴旋转。该转动部通过来自转动驱动部的驱动力使升降驱动部12旋转，由此能够改变后述的物品保持部13(或物品2)的朝向。此外，这样的转动部通过未图示的控制部控制。但是，顶棚搬运车3是否具备转动部是任意的，也可以没有转动部。
物品保持部13通过把持物品2的凸缘部2g，来悬挂保持物品2。物品保持部13例如是具有能够在水平方向上移动的爪部13a的卡盘，使爪部13a进入物品2的凸缘部2g的下方，并使物品保持部13上升，从而使物品2以悬挂的状态保持。物品保持部13与线材或带等多个(例如4个)悬挂部件13b连接。升降驱动部12例如是升降机，能够通过送出悬挂部件13b而使物品保持部13下降，通过卷起悬挂部件13b而使物品保持部13上升。升降驱动部12被控制部(未图示)控制，使物品保持部13以规定速度下降或上升。另外，升降驱动部12被控制部控制，将物品保持部13保持为目标的高度。
上述的基座部10、横向伸出机构11以及升降驱动部12与行驶驱动部5成为一体而在X方向上移动。在基座部10、横向伸出机构11以及升降驱动部12的－X侧以及+X侧分别设置有罩16(参照图2)。罩16分别经由支承轴9被顶棚搬运车3支承，与顶棚搬运车3一体在X方向上移动。另外，罩16以从物品2的下端向下方延伸的状态配置，以便在物品2的搬运时，覆盖物品保持部13所保持的物品2的上下方向。
第一载置部21在行驶导轨6的下方(－Z侧)并且+Y侧以及－Y侧的两侧的侧方配置。第一载置部21是在行驶导轨6的侧方配置的第一侧轨缓冲区。第一载置部21设置于第一框架31。第一框架31以带状并且板状形成，但第一框架31的形状未被限定。第一框架31沿着行驶导轨6在X方向上延伸配置。另外，第一框架31通过上下方向的棒状的固定部件34在从顶棚18悬吊的状态固定，配置于顶棚18的附近。
例如在以通过顶棚搬运车3的升降驱动部12上升至最上位置的物品保持部13作为基准，第一框架31配置为比物品2的2个大小的高度尺寸(Z方向的距离)靠下方(－Z侧)。由此，第一载置部21以物品保持部13作为基准比物品2的2个大小的高度尺寸靠下方配置。另外，如图2所示，第一载置部21在第一框架31上沿X方向排列配置多个。此外，第一载置部21沿X方向排列的数量能够任意地设定，根据第一框架31的X方向的长度设定。
第一载置部21配置于以下位置，即，在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第一突出量R1的状态下能够载置保持于物品保持部13的物品2的位置。第一载置部21配置为例如在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第一突出量R1的状态第一载置部21的多个销25位于物品2的各凹部2e的下方。换言之，在物品保持部13以及升降驱动部12突出至第一突出量R1的状态，第一载置部21配置于由物品保持部13保持的物品2的正下方。另外，例如，由上升至最上位置的物品保持部13保持的物品2与第一载置部21之间在铅垂方向上敞开。
另外，第一载置部21设定为以下高度，即，在载置了物品2的状态下并保持在物品保持部13保持物品的状态，能够通过横向伸出机构11使保持物品2的物品保持部13以及升降驱动部12突出至大于第一突出量R1的第二突出量R2的高度。如上述那样，第一载置部21通过横向伸出机构11向行驶导轨6的侧方突出至第一突出量R1，并且，以通过升降驱动部12上升至最上位置的物品保持部13为基准而配置于比物品2的2个大小的高度尺寸靠下方的位置，因此即使通过横向伸出机构11，使保持物品2的物品保持部13以及升降驱动部12突出至第二突出量R2，也能够避免载置于第一载置部21的物品2与物品保持部13保持的物品2碰撞。
第二载置部22配置在行驶导轨6的下方(－Z侧)并且+Y侧以及－Y侧的两侧的侧方、且第一载置部21的外侧。即，第二载置部22在比处于+Y侧的第一载置部21更靠+Y侧的位置配置，且在比处于－Y侧的第一载置部21更靠－Y侧的位置配置。与第一载置部21相同，第二载置部22是配置于行驶导轨6的侧方的第二侧轨缓冲区，且配置于顶棚18的附近。
第二载置部22配置于以下位置，即，在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第二突出量R2的状态下能够载置保持于物品保持部13的物品2的位置。第二载置部22配置为，例如在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第二突出量R2的状态，第二载置部22的多个销25位于物品2的各凹部2e的下方。换言之，在物品保持部13以及升降驱动部12突出至第二突出量R2的状态下，第二载置部22配置于由物品保持部13保持的物品2的正下方。另外，例如，由上升至最上位置的物品保持部13保持的物品2与第二载置部22之间在铅垂方向上敞开。另外，第二载置部22配置于比第一载置部21靠上方(+Z侧)距离L1的位置。
第二载置部22设置于第二框架32。第二框架32呈带状且板状形成，但第二框架32的形状未限定。第二框架32与第一框架31相同，在通过上下方向的棒状的固定部件34从顶棚18悬吊的状态固定，并配置于顶棚18的附近。第二框架32沿着行驶导轨6在X方向上延伸配置。第二载置部22通过固定部件34而与第一载置部21一体化，但不局限于此，第二框架32也可以通过与第一框架31不同的其他固定部件从顶棚18悬吊。
如图2所示，第二载置部22在第二框架32上沿X方向排列配置多个。另外，第二载置部22在沿着行驶导轨6的X方向上，配置于与第一载置部21相同的位置。即，第一载置部21和第二载置部22在与X方向正交的Y方向上排列配置。在该结构中，第一载置部21与第二载置部22未在沿着行驶导轨6的方向上错开配置，因此在顶棚搬运车3停止的一个位置，能够对第一载置部21以及第二载置部22的任一个进行物品2的移载。即，能够使对第一载置部21移载物品2时的顶棚搬运车3的停止位置、与对第二载置部22移载物品2时的顶棚搬运车3的停止位置相同。但是，不限定于第一载置部21和第二载置部22在沿着行驶导轨6的X方向上配置于相同的位置，第一载置部21和第二载置部22也可以在X方向上错开配置。
第三载置部23配置于行驶导轨6的下方(－Z侧)。第三载置部23是配置于行驶导轨6的正下方的下轨缓冲区，且配置于顶棚18的附近。第三载置部23配置于在使物品保持部13下降时能够载置保持于物品保持部13的物品2的位置。第三载置部23由形成第一载置部21的第一框架31的固定部件34保持而形成，也可以通过与固定部件34不同的其他固定部件而从顶棚18悬挂。另外，虽未图示，但第三载置部23也可以在行驶导轨6的正下方沿X方向配置多个。但是，如上述那样，也可以不设置第三载置部23。
在各第一载置部21、各第二载置部22以及各第三载置部23设置有使物品2定位的多个销25。销25例如朝向上方设置有三个。各个销25与在物品2的底部设置的多个放射状的凹部2e的位置对应配置，并能够嵌入各凹部2e。物品2在向第一载置部21、第二载置部22以及第三载置部23载置时，通过销25嵌入物品2的凹部2e而被定位。此外，凹部2e以及销25的形状以及个数分别不限定于图1以及图2所示的结构，可任意设定。
接下来，对顶棚搬运系统100的动作进行说明。图3是对在第一载置部21载置物品2的动作进行说明的图。在第一载置部21载置物品2的情况下，控制顶棚搬运车3的控制部使保持物品2的顶棚搬运车3在作为移载目的地的第一载置部21的侧方停止，使横向伸出机构11例如向+Y方向突出至第一突出量R1。接着，控制部通过驱动升降驱动部12而使物品保持部13下降，从而如图3所示，物品2下降而载置于第一载置部21。此时，销25进入物品2的凹部2e，使物品2相对于第一载置部21定位。
接下来，对从该状态向第二载置部22载置物品2的动作进行说明。图4是对向第二载置部22载置物品2的动作进行说明的图，其中的(A)表示使横向伸出机构11突出至第二突出量R2的状态，(B)表示通过升降驱动部12使物品2向下方移动了的状态。首先，控制部使保持物品2的顶棚搬运车3停在作为移载目的地的第二载置部22的侧方。接着，如图4的(A)所示，控制部使横向伸出机构11例如向+Y方向突出至第二突出量R2。
此时，被物品保持部13保持的物品2的下端成为在与载置于第一载置部21的物品2的上端之间隔开距离L3的状态。因此，能够不与载置于第一载置部21的物品2干涉地通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12突出至第二突出量R2。
另外，第二载置部22配置于比第一载置部21以距离L1靠上方的位置(参照图1)。该第二载置部22配置于比第一载置部21靠上方的位置，但在横向伸出机构11突出至第二突出量R2的情况下，在物品2的下端与第二载置部22之间确保距离L2。因此，在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12突出至第二突出量R2的情况下，物品2的下端不会与第二载置部22碰撞。此外，在图4中，示出销25的上端与物品2的下端之间为距离L2。通过缩小距离L2，能够减少由升降驱动部12实施的物品2的升降量，能够以短时间实现物品2的升降所需要的时间，能够提高物品2的移载效率。
此外，第二载置部22配置于比载置于第一载置部21的物品2的上端靠上方的位置，但不限定于此。例如，第二载置部22也可以配置于与载置于第一载置部21的物品2的上端相同的高度，或者也可以配置于比载置于第一载置部21的物品2的上端靠下方的位置。
接着，如图4的(B)所示，控制部通过驱动升降驱动部12而使物品2下降，能够将物品2向第二载置部22载置。此时，销25进入物品2的凹部2e，使物品2相对于第二载置部22定位。此外，在物品2载置于第三载置部23的情况下，使顶棚搬运车3在移载目的地的第三载置部23的上方停止，接着驱动升降驱动部12而使物品2下降，由此能够使物品2载置于第三载置部23。此外，在使物品2载置于第三载置部23时，销25进入物品2的凹部2e，使物品2相对于第三载置部23定位这点与上述相同。
另外，在使载置于第一载置部21或者第二载置部22的物品2向顶棚搬运车3移载的情况下，与上述相同，通过横向伸出机构11使物品保持部13突出至第一突出量R1或第二突出量R2。接着，驱动升降驱动部12而使物品保持部13下降，利用爪部13a把持物品2的凸缘部2g后驱动升降驱动部12而使物品保持部13上升。接着，通过驱动横向伸出机构11收回可动板11a，将物品2收容于顶棚搬运车3的罩16内。
在将载置于第二载置部22的物品2向顶棚搬运车3移载的情况下，在第一载置部21载置有物品2的情况下，在物品保持部13上升了的状态物品2的下端与载置于第一载置部21的物品2的上端之间也可确保距离L3，因此在将物品2收容于顶棚搬运车3的罩16内时，物品2不会与载置于第一载置部21的物品2的上端碰撞。
如以上那样，根据第一实施方式涉及的顶棚搬运系统100，通过横向伸出机构11，能够在与第一载置部21以及第二载置部22之间分别移载物品2。由此，能够在行驶导轨6的侧方增加能够载置物品2的载置部的数量，能够增加在顶棚18的附近能够保管的物品2的数量。另外，横向伸出机构11能够不与载置于第一载置部21的物品2干涉地相对于第二载置部22进行移物品2的移载。由此，即使对从顶棚搬运车3分离的第二载置部22，无论物品2是否载置于第一载置部21，均能够移载物品2。
此外，在上述的实施方式中，以行驶导轨6(顶棚搬运车3)作为中心而在+Y侧以及－Y侧双方设置第一载置部21以及第二载置部22，但不限定于此。例如，也可以是在+Y侧以及－Y侧任一方配置第一载置部21以及第二载置部22，而在任另一方不配置第一载置部21以及第二载置部22的形式，或者也可以是在任另一方配置第一载置部21以及第二载置部22的任一方的形式。
[第二实施方式]
图5是表示第二实施方式涉及的顶棚搬运系统200的一个例子的图。在第二实施方式中，第一载置部21与第二载置部22高度位置(Z方向的位置)相同这点与第一实施方式不同。针对其他结构，与第一实施方式相同，因此标注相同的附图标记而省略或简化其说明。以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明。
第一载置部21与第一实施方式相同，配置于以下位置，即，在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第一突出量R1的状态下，能够载置保持于物品保持部13的物品2的位置。换句话说，第一载置部21配置为，在横向伸出机构11的突出量为第一突出量R1的状态下销25位于物品2的凹部2e的下方。第二载置部22配置于以下位置，即，在通过横向伸出机构11使物品保持部13以及升降驱动部12在Y方向上突出至第二突出量R2的状态下，能够载置保持于物品保持部13的物品2的位置。换句话说，第二载置部22配置为，在横向伸出机构11的突出量为第二突出量R2的状态下销25位于物品2的凹部2e的下方。
第一载置部21以及第二载置部22在相同的框架131以沿Y方向排列的状态设置。框架131以带状且板状形成。框架131在通过上下方向的棒状的固定部件132从顶棚18悬挂的状态下固定，配置于顶棚18的附近。框架132沿着行驶导轨6在X方向延伸配置。此外，第一载置部21以及第二载置部22不限定于设置在相同的框架131。例如，也可以是，第一载置部21和第二载置部22分别设置于不同框架，这些框架通过共用或者各自不同的固定部件从顶棚18悬吊。
接下来，对顶棚搬运系统200的动作进行说明。图6是对向第一载置部21载置物品2的动作进行说明的图。在向第一载置部21载置物品2的情况下，与第一实施方式相同，控制顶棚搬运车3的控制部使顶棚搬运车3停在作为物品2的移载目的地的第一载置部21的侧方。接着，控制部使横向伸出机构11例如向+Y方向突出至第一突出量R1。接着，控制部通过升降驱动部12使物品保持部13下降而使物品2下降。由此，如图6所示，物品2载置于第一载置部21。
接下来，对在第二载置部22载置物品2的动作进行说明。图7是对向第二载置部22载置物品2的动作进行说明的图，其中的(A)示出使横向伸出机构11突出至第二突出量R2的状态，(B)示出通过升降驱动部12使物品2下降了的状态。首先，控制部使顶棚搬运车3停在作为物品2的移载目的地的第二载置部22的侧方。接着，如图7的(A)所示，控制部使横向伸出机构11例如向+Y方向突出至第二突出量R2。
此时，被物品保持部13保持的物品2的下端在与载置于第一载置部21的物品2的上端之间确保距离L3。因此，能够不与载置于第一载置部21的物品2干涉地使保持物品2的物品保持部13以及升降驱动部12突出至第二突出量R2。接着，控制部通过驱动升降驱动部12而使物品保持部13下降。由此，如图7的(B)所示，物品2载置于第二载置部22。
如以上那样，根据第二实施方式涉及的顶棚搬运系统200，在第一载置部21与第二载置部22的高度位置相同的情况下，也与第一实施方式相同，即使对从顶棚搬运车3离开的第二载置部22，无论是否在第一载置部21载置有物品2，均能够移载物品2，并能够增加在顶棚18的附近能够保管的物品2的数量。另外，第一载置部21与第二载置部22配置于相同的高度，因此作为整体而构造简单，能够降低设置成本。另外，在第一载置部21和第二载置部22中基于升降驱动部12的升降行程共用，因此能够使基于控制部的控制变简单。
另外，与第一实施方式相同，在顶棚搬运系统200中，第三载置部23也可以配置于行驶导轨6的下方。此外，针对第三载置部23，为与第一实施方式相同的结构，省略说明。另外，第三载置部23也可以保持于固定部件132，或者也可以通过与固定部件132不同的其他固定部件而从顶棚18悬挂。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述的实施方式中，将第一载置部21与第三载置部23配置于相同的高度位置(Z方向的位置)的结构列举为例子进行了说明，但不限定于此。
图8是表示变形例涉及的顶棚搬运系统100A的一个例子的主视图。如图8所示的顶棚搬运系统100A那样，第一载置部21也可以配置于第三载置部23的上方。如图8所示，顶棚搬运车3为了覆盖搬运中的物品2而具备罩16。该罩16成为延伸至比搬运中的物品2的下端靠下方的状态。第三载置部23设定为所载置的物品2的上端不与该罩16干涉那样的高度。另一方面，第一载置部21相对于所载置的物品2的上端，可确保上述的距离L3即可，因此不需要成为与第三载置部23相同的高度，也可以配置于比第三载置部23靠上方的位置。
这样，通过第三载置部23配置于比第一载置部21靠下方，即第一载置部21配置于上方，从而通过升降驱动部12使物品2升降的距离变短。作为其结果，物品2的升降所需要的时间变短，能够提高物品2的移载效率。此外，第一载置部21能够向上方配置至能够确保距离L3(参照图4或者图7)的高度的位置。
另外，在上述的实施方式中，将第一载置部21在行驶导轨6的+Y侧以及－Y侧各配置1列的结构列举为例子进行了说明，但不限定于此。图9是表示变形例涉及的顶棚搬运系统100B的一个例子的主视图。如图9所示的顶棚搬运系统100B那样，第一载置部21也可以在行驶导轨6的+Y侧以及－Y侧分别配置2列。由此，能够进一步增加在顶棚18的附近能够保管的物品2的数量。此外，第一载置部21也可以配置为3列以上，另外，第一载置部21的列数在行驶导轨6的+Y侧和－Y侧也可以不同。
另外，在上述实施方式中，将使盖2c位于+Y侧的位置而配置物品2的结构列举为例子进行了说明，但不限定于此。图10是表示变形例涉及的顶棚搬运系统100C的一个例子的主视图。在图10所示的顶棚搬运系统100C中，针对行驶导轨6的+Y侧，与第一实施方式相同，载置于第一载置部21以及第二载置部22的物品2配置为盖2c位于+Y侧的位置。另外，针对行驶导轨6的－Y侧，载置于第一载置部21以及第二载置部22的物品2配置为，盖2c位于－Y侧的位置。顶棚搬运系统100C在向行驶导轨6的－Y侧的第一载置部21以及第二载置部22载置物品2的情况下，能够利用转动部使物品2沿绕Z轴的方向转动180°来实现。
另外，在上述的实施方式中，将第一载置部21配置于以物品保持部13作为基准而比物品2的2个大小的高度尺寸靠下方的位置的结构列举为例子进行了说明，但不局限于此，也可以在以物品保持部13作为基准而比物品2的2个大小的高度尺寸靠上方的位置配置第一载置部21。
另外，在上述的实施方式中，示出在第一载置部21、第二载置部22以及第三载置部23仅载置物品2的结构，但也可以在物品2载置时对物品2进行处理。例如，第一载置部21、第二载置部22以及第三载置部22的至少一个也可以具备：在载置物品2时对物品2的内部供给净化气体的净化气体供给装置。该净化气体供给装置也可以是例如具备在第一载置部21等载置了物品2时与物品2的内部连接的供给喷嘴，经由该供给喷嘴供给净化气体。另外，在法律允许的范围内援引日本专利申请的特愿2016-186750、以及本说明书所引用的全部文献的内容而成为正文的记载的一部分。
附图标记说明
L1、L2、L3、L4...距离；R1...第一突出量；R2...第二突出量；2...物品；3...顶棚搬运车；5...行驶驱动部；6...行驶导轨；11...横向伸出机构；12...升降驱动部；13...物品保持部；16...罩；18...顶棚；21...第一载置部；22...第二载置部；23...第三载置部；31...第一框架(框架)；32...第二框架(框架)；131...框架；100、100A、100B、100C、200...顶棚搬运系统。

Claims (10)

1.一种顶棚搬运系统，其特征在于，具备：
轨道，其铺设于顶棚或者顶棚附近；
顶棚搬运车，其沿着所述轨道行驶，并具备保持物品的物品保持部、使所述物品保持部升降的升降驱动部、以及能够使所述物品保持部以及所述升降驱动部向所述轨道的侧方突出的横向伸出机构；
第一载置部，其配置于所述轨道的下方且侧方，在通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部突出至第一突出量的状态能够载置保持于所述物品保持部的物品，并且，所述第一载置部的高度被设定为，在载置了物品的状态且将物品保持于所述物品保持部的状态保持不变地通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部能够突出至比所述第一突出量大的第二突出量且在突出时物品彼此不干涉的高度；以及
第二载置部，其配置于所述轨道的下方且侧方且所述第一载置部的外侧，在通过所述横向伸出机构使所述物品保持部以及所述升降驱动部突出至所述第二突出量的状态能够载置保持于所述物品保持部的物品。
2.根据权利要求1所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
将向所述轨道的侧方突出至所述第一突出量时的所述物品保持部作为基准，所述第一载置部被配置在比所述物品2个大小的高度尺寸靠下方的位置。
3.根据权利要求1或2所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第一载置部朝向所述轨道的侧方配置多个。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第二载置部配置于比所述第一载置部靠上方的位置。
5.根据权利要求4所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第二载置部配置于比载置于所述第一载置部的物品的上端靠上方的位置。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第二载置部在沿着所述轨道的方向上配置于与所述第一载置部相同的位置。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第一载置部以及所述第二载置部分别设置于从顶棚悬吊设置的框架。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
具备第三载置部，其配置于所述轨道的下方，能够载置保持于所述物品保持部的物品。
9.根据权利要求8所述的顶棚搬运系统，其特征在于，
所述第三载置部配置于比所述第一载置部靠下方的位置。
10.一种顶棚搬运车，其特征在于，
在权利要求1～9中任一项所述的顶棚搬运系统中使用。
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