CN112520330A - 物品搬运装置 - Google Patents
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- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 64
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
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Abstract
物品搬运装置具备升降单元和移载装置。移载装置具备支承于升降单元的上侧移载部及支承于与上侧移载部相同的升降单元的下侧移载部。上侧移载部具备支承物品的上侧支承部、使上侧支承部突出退回的上侧突出退回驱动部。下侧移载部具备支承物品的下侧支承部、使下侧支承部突出退回的下侧突出退回驱动部。上侧突出退回驱动部被比上侧支承部靠上方地配置,并且下侧突出退回驱动部被比下侧支承部靠下方地配置。
Description
技术领域
本发明涉及搬运物品的物品搬运装置。
背景技术
例如,日本特开2018-052659号公报公开了沿着沿上下方向的搬运路径搬运物品的物品搬运装置。以下,在背景技术的说明中标注于括号内的附图标记是日本特开2018-052659号公报的附图标记。
日本特开2018-052659号公报所公开的物品搬运装置(2)如该公报的图4所示,具备沿着沿上下方向配置的引导轨道(14)升降的升降体(21)、被在上下方向上分开地配置的一对移载部(31A、31B)。一对移载部(31A、31B)分别构成为在一对移载部(31A、31B)与相对于引导轨道(14)在水平方向上离开地配置的多个保持部(10)之间移载物品(A)。
一对移载部(31A、31B)都由同一升降体(21)支承。由此,一对移载部(31A、31B)能够与该升降体(21)一同沿上下方向移动。这样,日本特开2018-052659号公报所公开的技术中,在单一的升降体(21)设置有一对能够在移载部(31)与保持部(10)之间移载物品(A)的移载部(31),所以能够实现物品(A)的搬运效率的提高。
但是,日本特开2018-052659号公报所公开的技术中,构成为,一对移载部(31A、31B)分别具备能够支承物品(A)的支承部(35),使该支承部(35)相对于保持部(10)侧突出退回,由此,在前述支承部(35)与保持部(10)之间进行物品(A)的移载。并且,各移载部(31A、31B)在各支承部(35)的下侧具备用于使支承部(35)突出退回的驱动部、机构。因此,在下侧的移载部(31A)具备的支承部(35)与上侧的移载部(31B)具备的支承部(35)之间,配置上侧的移载部(31B)具备的上述驱动部。因此,这一对支承部(35)的上下方向的间隔与上述驱动部的配置空间相应地变大。沿上下方向排列的多个保持部(10)的配置间隔大多根据一对支承部(35)的上下方向的间隔设定。因此,根据作为设备整体能够配置更多的保持部(10)的观点,在日本特开2018-052659号公报所公开的技术中有改善的余地。
发明内容
鉴于上述实际情况,在具备沿上下方向排列地配置的一对移载部的物品搬运装置中,希望实现能够使这一对移载部各自具备的支承部的上下方向的间隔变窄的技术。
本申请的物品搬运装置是一种物品搬运装置,前述物品搬运装置搬运物品,前述物品搬运装置具备引导轨道、升降单元、移载装置,前述引导轨道被沿搬运路径设置,前述搬运路径沿着上下方向,前述升降单元沿前述引导轨道升降,前述移载装置被支承于前述升降单元,并且在被相对于前述引导轨道沿水平方向离开地配置的多个保持部之间移载物品,前述移载装置具备支承于前述升降单元的上侧移载部、及配置于前述上侧移载部的下侧而支承于与前述上侧移载部相同的前述升降单元的下侧移载部,前述上侧移载部具备支承物品的上侧支承部、使前述上侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的上侧突出退回驱动部,前述下侧移载部具备支承物品的下侧支承部、使前述下侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的下侧突出退回驱动部,前述上侧突出退回驱动部被比前述上侧支承部靠上方地配置,并且前述下侧突出退回驱动部被比前述下侧支承部靠下方地配置。
根据本结构,上侧移载部与下侧移载部的双方被支承于同一升降单元,所以能够将两个物品同时搬运,并且能够将这两个物品分别借助上侧移载部与下侧移载部被相对于互不相同的保持部移载。因此,能够提高物品的搬运效率。并且,用于使上侧支承部突出退回的上侧突出退回驱动部被比该上侧支承部靠上方地配置,并且用于使下侧支承部突出退回的下侧突出退回驱动部被比该下侧支承部靠下方地配置,所以能够避免在上侧支承部与下侧支承部的上下方向之间配置突出退回驱动部。由此,与以往的结构相比,能够使上侧支承部与下侧支承部的上下方向的间隔变窄。多个保持部沿上下方向排列的情况下,为使上侧移载部与下侧移载部能够相对于这些保持部同时并行地进行移载,沿上下方向排列的多个保持部的配置间隔需要为与上侧支承部与下侧支承部的配置间隔对应的间隔。根据本结构,在这样的情况下,也能够使沿上下方向排列的多个保持部的配置间隔变窄,所以能够设置更多的保持部,能够使能够保持的物品的数量变多。
本申请的技术的进一步的特征和优点可以根据参照附图所记述的以下的例示性且非限定性的实施方式的说明更加明确。
附图说明
图1是物品搬运设备的立体图。
图2是物品搬运装置的水平剖视图。
图3是物品搬运装置的铅垂剖视图。
图4是表示比较例的物品搬运装置的铅垂剖视图。
图5是物品搬运装置的控制框图。
具体实施方式
物品搬运装置是搬运物品的装置,例如,应用于进行原材料、中间制品、或成品等的搬运、保管的物品搬运设备。以下将物品搬运装置应用于在清洁环境下进行原材料的处理等的清洁室设置的物品搬运设备的情况作为例示,对物品搬运装置的实施方式进行说明。
如图1所示,物品搬运设备F具备在多层之间搬运物品W的层间搬运装置1、在各层在顶棚附近行进来搬运物品W的顶棚搬运装置6、在各层的地面上行进来搬运物品W的地面搬运装置7、设置于各层的地面来向层间搬运装置1搬入物品W或从层间搬运装置1搬出物品W的出入搬运装置8。另外,作为物品W,例如能够例示容纳半导体基板、掩模基板等的容纳容器(前端开启式晶圆传送盒(FOUP,Front Opening Unified Pod)、掩模垫等)。在本实施方式中,层间搬运装置1相当于“物品搬运装置”。
层间搬运装置1被设置于以将各层的地面沿上下方向贯通的状态遍及多层地设置的筒状的区划体9的内部。顶棚搬运装置6及地面搬运装置7设置于区划体9的外部。如图2所示,出入搬运装置8在将区划体9沿水平方向贯通的状态下被遍及区划体9的内部与外部地设置。出入搬运装置8在位于区划体9的外部的一侧的端部(外部侧端部81)与位于区划体9的内部的一侧的端部(内部侧端部82)之间搬运物品W。出入搬运装置8例如用带式运输机、辊式运输机等运输机构成。
在区划体9的内部设置有多个保持物品W的保持部90(参照图2及图3)。若由顶棚搬运装置6、地面搬运装置7或作业者等将物品W载置于出入搬运装置8的外部侧端部81,则该物品W被出入搬运装置8向区划体9的内部的内部侧端部82搬运。之后,物品W被层间搬运装置1从内部侧端部82向处于同一层或其他层的保持部90搬运,被该保持部90保持。此外,被保持部90保持的物品W被层间搬运装置1从保持部90向处于同一层或其他层的出入搬运装置8的内部侧端部82搬运,之后被出入搬运装置8向外部侧端部81搬运。被向外部侧端部81搬运的物品W被顶棚搬运装置6、地面搬运装置7或作业者等从外部侧端部81向其他场所搬运。此外,也有借助层间搬运装置1从内部侧端部82向另外的出入搬运装置8的内部侧端部82搬运物品W的情况,从保持部90向另外的保持部90搬运物品W的情况。另外,出入搬运装置8的内部侧端部82在未搬运物品W的状态下,在该位置保持物品W,所以也作为保持部90发挥功能。
接着,对层间搬运装置1(物品搬运装置)的结构进行详细说明。
如图2及图3所示,层间搬运装置1具备被沿沿着上下方向V的搬运路径R设置的引导轨道10、沿引导轨道10升降的升降单元20、支承于升降单元20并且在与被相对于引导轨道10在水平方向上离开地配置的多个保持部90之间移载物品W的移载装置30。层间搬运装置1在保持部90与其他保持部90(包括内部侧端部82)之间搬运物品W。
这里,多个保持部90被在上下方向V上分开地配置。并且,在本实施方式中,多个保持部90相对于移载装置30被在绕沿上下方向V的轴心的多个方向上分开地配置(参照图2)。本例中,除了出入搬运装置8的内部侧端部82,一般的保持部90具备将物品W从下方支承的支承部件91,构成为在借助支承部件91将物品W从下方支承的状态下保持物品W。此外,支承部件91俯视时形成为U字形,成U字形的支承部件91的各末端部被以朝向层间搬运装置1侧的方式设置。换言之,支承部件91设置成成U字形的支承部件91的开口部朝向层间搬运装置1侧。层间搬运装置1构成为能够在与这样的结构的保持部90之间移载物品W。
引导轨道10被沿上下方向V遍及多层地配置。支承移载装置30的升降单元20能够沿这样的引导轨道10升降。由此,层间搬运装置1能够遍及多层地搬运物品W。
在本实施方式中,升降单元20具备支承于引导轨道10的主体部20a。主体部20a被卷绕于分别在引导轨道10的上下的两端部设置的一对滑轮(未图示)的带20b连结。升降单元20借助升降马达20m(参照图5)驱动一方的滑轮来从动地驱动带20b,由此能够使主体部20a沿引导轨道10升降。
在本实施方式中,升降单元20具备支承移载装置30的连结部L。本例中,连结部L将主体部20a与移载装置30连结。图示的例子中,连结部L具备上侧连结部21L、比上侧连结部21L靠下方设置的下侧连结部22L。
移载装置30具备设置于升降单元20的上侧移载部31、及配置于上侧移载部31的下侧而支承于与上侧移载部31相同的升降单元20的下侧移载部32。在本实施方式中,上侧移载部31借助上侧连结部21L与主体部20a连结,由此支承于升降单元20。并且,下侧移载部32借助下侧连结部22L与主体部20a连结,由此支承于升降单元20。
上侧移载部31具备支承物品W的上侧支承部31S、使上侧支承部31S在基准位置P1和与基准位置P1相比向保持部90侧突出的突出位置P2之间突出退回的上侧突出退回驱动部31A。在本实施方式中,上侧移载部31还具备使上侧支承部31S绕沿上下方向V的轴心回转的上侧回转驱动部31B。
在本实施方式中,上侧支承部31S被支承于上侧突出退回驱动部31A。本例中,上侧支承部31S被上侧突出退回驱动部31A从上方支承。换言之,上侧支承部31S被上侧突出退回驱动部31A悬挂支承。
在本实施方式中,上侧支承部31S构成为将物品W从下方支承。图示的例子中,上侧支承部31S具备支承基部31Sa、与支承基部31Sa连结的支承体31Sb,构成为借助该支承体31Sb将物品W从下方支承。支承基部31Sa形成为盒状,能够容纳构成上侧支承部31S的各要素。支承体31Sb与支承基部31Sa的下部连结,从该支承基部31Sa向水平方向突出。支承体31Sb俯视时形成为比成U字形的支承部件91的开口部小 (参照图2)。由此,支承体31Sb能够在上下方向上通过支承部件91的上述开口部。在本实施方式中,上侧支承部31S具备使支承体31Sb上下移动的上侧移载驱动部,这里具备上侧移载马达31Sm(参照图5)。本例中,上侧移载马达31Sm容纳于支承基部31Sa的内部。支承体31Sb在将物品W从下方支承的状态下被上侧移载马达31Sm驱动而从上向下通过支承部件91的开口部,由此向支承部件91传递物品W。此外,支承体31Sb在支承部件91将物品W从下方支承的状态下,被上侧移载马达31Sm驱动而从下向上地通过支承部件91的开口部,由此从支承部件91取得物品W。由此,上侧移载部31在上侧移载部31与保持部90之间移载物品W。
在本实施方式中,上侧支承部31S具备在借助支承体31Sb支承物品W的状态下限制该物品W从支承体31Sb脱落的限制体31Sc。限制体31Sc在支承体31Sb支承着物品W的状态下相对于该物品W配置于上方。本例中,限制体31Sc与支承基部31Sa的上部连结而从该支承基部31Sa向水平方向突出。本例中,限制体31Sc与上述的支承体31Sb从支承基部31Sa向相同的方向突出。支承体31Sb被上侧移载马达31Sm驱动而上下移动时,与限制体31Sc一同上下移动。即,支承体31Sb与限制体31Sc在上下方向V上不能相对移动,支承体31Sb与限制体31Sc的上下方向V的离开距离总是为恒定。支承体31Sb与限制体31Sc的上下方向V的离开距离设定成至少比作为搬运对象的物品W的上下方向V的尺寸长。
在本实施方式中,上侧突出退回驱动部31A被支承于上侧回转驱动部31B。本例中,上侧突出退回驱动部31A被上侧回转驱动部31B从上方支承。换言之,上侧突出退回驱动部31A被上侧回转驱动部31B悬挂支承。
在本实施方式中,上侧突出退回驱动部31A构成为使用水平多关节臂(所谓的选择顺应性装配机器手臂,SCARA;Selective Compliance Assembly Robot Arm)。具体地,上侧突出退回驱动部31A具备具有多个连杆的上侧连杆机构31Aa、驱动上侧连杆机构31Aa的上侧突出退回马达31Am(参照图5)。并且,上侧连杆机构31Aa构成为,被上侧突出退回马达31Am驱动,各连杆绕铅垂轴回转,由此沿水平方向伸缩动作。上侧连杆机构31Aa在其基端部与上侧回转驱动部31B连结,并且在其末端部与上侧支承部31S连结。由此,上侧连杆机构31Aa构成为,被上侧突出退回马达31Am驱动而伸缩动作,由此在基准位置P1与突出位置P2之间使上侧支承部31S沿水平方向突出退回。
在本实施方式中,上侧回转驱动部31B被支承于升降单元20。本例中,上侧回转驱动部31B经由上侧连结部21L支承于升降单元20。图示的例子中,上侧回转驱动部31B被容纳于设置于上侧连结部21L的上侧盒部31C的内部。
在本实施方式中,上侧回转驱动部31B具备上侧回转台31Ba、驱动上侧回转台31Ba的上侧回转马达31Bm(参照图5)。并且,上侧回转台31Ba构成为被上侧回转马达31Bm驱动而旋转动作。上侧回转台31Ba被上侧回转马达31Bm驱动而旋转动作,由此使上侧突出退回驱动部31A与被支承于上侧突出退回驱动部31A的上侧支承部31S绕沿上下方向V的轴心回转。由此,能够改变被上侧突出退回驱动部31A驱动而突出退回的上侧支承部31S的突出退回方向,进而,能够在与被在相对于上侧移载部31(移载装置30)绕沿上下方向V的轴心的多个方向分开地配置的多个保持部90之间移载物品W。
下侧移载部32具备支承物品W的下侧支承部32S、使下侧支承部32S在基准位置P1和与基准位置P1相比向保持部90侧突出的突出位置P2之间突出退回的下侧突出退回驱动部32A。在本实施方式中,下侧移载部32还具备使下侧支承部32S绕沿上下方向V的轴心回转的下侧回转驱动部32B。
在本实施方式中,下侧支承部32S被支承于下侧突出退回驱动部32A。本例中,下侧支承部32S被下侧突出退回驱动部32A从下方支承。换言之,下侧支承部32S被下侧突出退回驱动部32A载置支承。
在本实施方式中,下侧支承部32S构成为将物品W从下方支承。如上所述,本例中,关于上侧支承部31S,也构成为将物品W从下方支承。即,上侧支承部31S及下侧支承部32S的双方构成为将物品W从下方支承。图示的例子中,下侧支承部32S具备支承基部32Sa、与支承基部32Sa连结的支承体32Sb,构成为借助该支承体32Sb将物品W从下方支承。支承基部32Sa形成为盒状,能够容纳构成下侧支承部32S的各要素。支承体32Sb与支承基部32Sa的下部连结而从该支承基部32Sa向水平方向突出。支承体32Sb形成为俯视时比成U字形的支承部件91的开口部小(参照图2)。由此,支承体32Sb能够沿上下方向通过支承部件91的上述开口部。在本实施方式中,下侧支承部32S具备使支承体32Sb上下移动的下侧移载驱动部、这里具备下侧移载马达32Sm(参照图5)。本例中,下侧移载马达32Sm容纳于支承基部32Sa的内部。支承体32Sb在将物品W从下方支承的状态下,被下侧移载马达32Sm驱动而从上向下地通过支承部件91的开口部,由此向支承部件91传递物品W。此外,支承体32Sb在支承部件91将物品W从下方支承的状态下,被下侧移载马达32Sm驱动而从下向上地通过支承部件91的开口部,由此从支承部件91取得物品W。由此,下侧移载部32在与保持部90之间移载物品W。
在本实施方式中,下侧支承部32S具备在借助支承体32Sb支承物品W的状态下限制该物品W从支承体32Sb脱落的限制体32Sc。限制体32Sc在支承体32Sb支承着物品W的状态下相对于该物品W配置于上方。本例中,限制体32Sc与支承基部32Sa的上部连结而从该支承基部32Sa向水平方向突出。本例中,支承体32Sb与限制体32Sc从支承基部32Sa向相同的方向突出。支承体32Sb被下侧移载马达32Sm驱动而上下移动时,与限制体32Sc一同上下移动。即,支承体32Sb与限制体32Sc在上下方向V上不能相对移动,支承体32Sb与限制体32Sc的上下方向V的离开距离总是为恒定。支承体32Sb与限制体32Sc的上下方向V的离开距离至少被设定为比作为搬运对象的物品W的上下方向V的尺寸长。
在本实施方式中,下侧突出退回驱动部32A被支承于下侧回转驱动部32B。本例中,下侧突出退回驱动部32A被下侧回转驱动部32B从下方支承。换言之,下侧突出退回驱动部32A被载置支承于下侧回转驱动部32B。
在本实施方式中,下侧突出退回驱动部32A构成为使用水平多关节臂。具体地,下侧突出退回驱动部32A具备具有多个连杆的下侧连杆机构32Aa、驱动下侧连杆机构32Aa的下侧突出退回马达32Am(参照图5)。并且,下侧连杆机构32Aa构成为,被下侧突出退回马达32Am驱动,各连杆绕铅垂轴回转,由此沿水平方向伸缩动作。下侧连杆机构32Aa在其基端部与下侧回转驱动部32B连结,并且在其末端部与下侧支承部32S连结。由此,下侧连杆机构32Aa构成为,被下侧突出退回马达32Am驱动而伸缩动作,由此在基准位置P1与突出位置P2之间,使下侧支承部32S沿水平方向突出退回。
在本实施方式中,下侧回转驱动部32B被支承于升降单元20。本例中,下侧回转驱动部32B经由下侧连结部22L支承于升降单元20。图示的例子中,下侧回转驱动部32B容纳于在下侧连结部22L设置的下侧盒部32C的内部。
在本实施方式中,下侧回转驱动部32B具备下侧回转台32Ba和驱动下侧回转台32Ba的下侧回转马达32Bm(参照图5)。并且,下侧回转台32Ba构成为,被下侧回转马达32Bm驱动而旋转动作。下侧回转台32Ba被下侧回转马达32Bm驱动而旋转动作,由此使下侧突出退回驱动部32A与支承于下侧突出退回驱动部32A的下侧支承部32S绕沿上下方向V的轴心回转。由此,能够改变被下侧突出退回驱动部32A驱动而突出退回的下侧支承部32S的突出退回方向,进而,在与被在相对于下侧移载部32(移载装置30)绕沿上下方向V的轴心的多个方向上分开地配置的多个保持部90之间能够移载物品W。
以上说明的层间搬运装置1中,如图3所示,上侧突出退回驱动部31A与上侧支承部31S相比配置于上方,并且下侧突出退回驱动部32A与下侧支承部32S相比配置于下方。即,该层间搬运装置1中,构成为在上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V之间,不配置用于物品W的移载时使支承部(31S、32S)突出退回的突出退回驱动部(31A、32A)。
并且,在本实施方式中,上侧回转驱动部31B被比上侧支承部31S靠上方地配置,并且下侧回转驱动部32B被比下侧支承部32S靠下方地配置。即,本实施方式的层间搬运装置1中,构成为在上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V之间,也不配置用于物品W的移载时改变支承部(31S、32S)的突出退回方向的回转驱动部(31B、32B)。
此外,在本实施方式中,上侧移载部31与下侧移载部32用同一部件构成。具体地,上侧支承部31S与下侧支承部32S用同一部件构成。此外,上侧突出退回驱动部31A与下侧突出退回驱动部32A用同一部件构成。并且,上侧回转驱动部31B与下侧回转驱动部32B用同一部件构成。借助这样的结构,能够减少层间搬运装置1的制造成本,此外,能够减轻制造的工夫。
并且,在本实施方式中,使用互相相同的部件构成的上侧移载部31与下侧移载部32被以互相沿上下方向V翻转的状态支承于同一升降单元20。但是,支承体(31Sb、32Sb)的连结构造在上侧支承部31S与下侧支承部32S不同。即,上侧支承部31S中,支承体31Sb与支承基部31Sa的距上侧突出退回驱动部31A较远侧的端部附近连结。另一方面,下侧支承部32S中,支承体32Sb与支承基部32Sa的距下侧突出退回驱动部32A较近侧的端部附近连结。此外,在本实施方式中,关于限制体(31Sc、32Sc)的连结构造,在上侧支承部31S与下侧支承部32S也不同。即,上侧支承部31S中,限制体31Sc与支承基部31Sa的距上侧突出退回驱动部31A较近侧的端部附近连结。另一方面,下侧支承部32S中,限制体32Sc与支承基部32Sa的距下侧突出退回驱动部32A较远侧的端部附近连结。根据这样的结构,在上侧支承部31S与下侧支承部32S,均能够实现将物品W从下方支承的结构,并且均能够实现将该物品W的脱落从上方限制的结构。
根据以上那样的结构,能够使上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V的间隔变窄。此外,设置有具备这样的一对支承部(本例中为上侧支承部31S及下侧支承部32S)的物品搬运装置(本例中为层间搬运装置1)的设备中,一般地,作为物品W的移载目的地的多个保持部90的上下方向V的间隔取决于一对支承部的上下方向V的间隔。借助一对支承部将两个物品W同时移载的情况下,一对支承部的上下方向V的间隔与多个保持部90的上下方向V的间隔不一致的话,有难以进行上述同时移载的情况。并且,根据本结构,能够如上所述地使上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V的间隔变窄,所以也能够使与此对应的多个保持部90的上下方向V的间隔变窄。因此,根据本结构,能够在设备内设置更多的保持部90,能够使能够保持于区划体9的内部的物品W的数量变多。以下,参照图4所示的比较例来具体地说明。
图4表示比较例的层间搬运装置100。如图4所示,上侧移载部310、比上侧移载部310靠下侧地配置的下侧移载部320被支承于同一升降单元200。上侧移载部310具备上侧回转驱动部310B、被上侧回转驱动部310B从下方支承的上侧突出退回驱动部310A、被上侧突出退回驱动部310A从下方支承的上侧支承部310S。并且,上侧支承部310S具备将物品W从下方支承的支承体310Sb。下侧移载部320与上侧移载部310为同一构造。即,下侧移载部320具备下侧回转驱动部320B、被下侧回转驱动部320B从下方支承的下侧突出退回驱动部320A、被下侧突出退回驱动部320A从下方支承的下侧支承部320S。并且,下侧支承部320S具备将物品W从下方支承的支承体320Sb。
图4所示的比较例中,下侧突出退回驱动部320A被比下侧支承部32S靠下方地配置,与此相同地,关于上侧突出退回驱动部310A也被比上侧支承部310S靠下方地配置。即,该比较例的层间搬运装置100中,构成为,在上侧支承部310S与下侧支承部320S的上下方向V之间,配置有物品W的移载时用于使上侧支承部310S突出退回的上侧突出退回驱动部310A。
此外,图4所示的比较例中,下侧回转驱动部320B被比下侧支承部320S靠下方地配置,与此相同地,关于上侧回转驱动部310B也被比上侧支承部310S靠下方地配置。即,该比较例的层间搬运装置100中,构成为,在上侧支承部310S与下侧支承部320S的上下方向V之间,除了上侧突出退回驱动部310A,还配置有物品W的移载时用于改变上侧支承部310S的突出退回方向的上侧回转驱动部310B。
如上所述,作为物品W的移载目的地的多个保持部900的上下方向V的间隔取决于一对支承部(310S、320S)的上下方向V的间隔。这里,多个保持部900(支承部件910)的上下方向V的间隔9Gp为,和上侧支承部310S的支承体310Sb与下侧支承部320S的支承体320Sb的上下方向V的间隔3Gp相等。
另一方面,如图3所示,本申请的层间搬运装置1中,在上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V之间未配置有突出退回驱动部(31A、32A)及回转驱动部(31B、32B)。因此,本申请的层间搬运装置1中,与比较例的层间搬运装置100相比,能够将上侧支承部31S与下侧支承部32S在上下方向V上接近地配置。图示的例子中,上侧支承部31S的支承体31Sb与下侧支承部32S的支承体32Sb的上下方向V的间隔3G变得比比较例的情况的间隔3Gp(参照图4)窄。并且,本申请的层间搬运装置1中,取决于一对支承体(31Sb、32Sb)的上下方向V的间隔3G的、即与该间隔3G相等的多个保持部90(支承部件91)的上下方向V的间隔9G也变得比比较例的情况下的多个保持部900的间隔9Gp(参照图4)窄。
这样,根据本申请的层间搬运装置1,能够使上侧支承部31S与下侧支承部32S的上下方向V的间隔3G与以往相比变窄,所以能够使与其对应的多个保持部90的上下方向V的间隔9G也变窄。因此,设备内能够与以往相比设置更多的保持部90,能够使能够保持于区划体9的内部的物品W的数量变多。
接着,参照图5,对物品搬运设备F的控制结构进行说明。
如图5所示,物品搬运设备F具备将设备内的多个物品W的保管、移动等总括地管理的总括控制装置Ht、控制顶棚搬运装置6的动作的顶棚搬运控制装置H6、控制地面搬运装置7的动作的地面搬运控制装置H7、控制层间搬运装置1的动作的层间搬运控制装置H1。这些各控制装置构成为能够通过有线或无线来互相通信。此外,这些各控制装置例如具备微型计算机等处理器、存储器等周边电路等。并且,通过这些硬件与计算机等处理器上所执行的程序的协同工作,实现各功能。
在本实施方式中,层间搬运控制装置H1具备控制升降马达20m来控制升降单元20的动作的升降控制部H20。此外,层间搬运控制装置H1具备控制上侧移载马达31Sm的上侧移载控制部Hs1、控制上侧突出退回马达31Am来控制上侧突出退回驱动部31A的动作的上侧突出退回控制部Ha1、控制上侧回转马达31Bm来控制上侧回转驱动部31B的动作的上侧回转控制部Hb1。进而,层间搬运控制装置H1具备控制下侧移载马达32Sm的下侧移载控制部Hs2、控制下侧突出退回马达32Am来控制下侧突出退回驱动部32A的动作的下侧突出退回控制部Ha2、控制下侧回转马达32Bm来控制下侧回转驱动部32B的动作的下侧回转控制部Hb2。
在本实施方式中,上侧移载部31与下侧移载部32用相同的硬件结构的控制部构成。如上所述,在本实施方式中,上侧移载部31与下侧移载部32用同一部件构成,并且在互相在上下方向V上翻转的状态下支承于同一升降单元20。
借助该结构,上侧支承部31S的支承体31Sb的上下动作与下侧支承部32S的支承体32Sb的上下动作互相的动作方向相同的情况下,作为各自的驱动源的上侧移载马达31Sm与下侧移载马达32Sm的动作方向(这里为旋转方向)相反,所以控制指令为互相相反的方向的指令。因此,在本实施方式中,上侧支承部31S的支承体31Sb的上下动作与下侧支承部32S的支承体32Sb的上下动作分别借助上侧移载控制部Hs1与下侧移载控制部Hs2,通过输出互相相反的方向的控制指令而被控制。例如,使上侧支承部31S与下侧支承部32S的双方向上方移动的情况下,上侧移载控制部Hs1使上侧支承部31S的支承体31Sb向接近上侧突出退回驱动部31A的方向移动。另一方面,下侧移载控制部Hs2使下侧支承部32S的支承体32Sb向从下侧突出退回驱动部32A远离的方向移动。这样,在上侧移载控制部Hs1与下侧移载控制部Hs2,输出互相相反方向的控制指令,由此能够使各支承体(31Sb、32Sb)沿相同的方向上下移动。
此外,借助如上所述的结构,上侧支承部31S的旋转动作与下侧支承部32S的旋转动作的动作方向互相相同的情况下,作为各自的驱动源的上侧回转马达31Bm与下侧回转马达32Bm的动作方向(这里为旋转方向)相反,所以控制指令为互相相反的方向的指令。因此,在本实施方式中,上侧支承部31S的旋转动作与下侧支承部32S的旋转动作分别借助上侧回转控制部Hb1与下侧回转控制部Hb2,输出互相相反的方向的控制指令而被控制。例如,使上侧支承部31S与下侧支承部32S的双方从上方观察顺时针回转的情况下,上侧回转控制部Hb1从上侧突出退回驱动部31A侧观察,以使上侧支承部31S逆时针旋转地回转的方式控制上侧回转驱动部31B的动作。另一方面,下侧回转控制部Hb2从下侧突出退回驱动部32A侧观察,以使下侧支承部32S顺时针旋转地回转的方式控制下侧回转驱动部32B的动作。这样,在上侧回转控制部Hb1与下侧回转控制部Hb2,输出互相不同的方向的控制指令,由此能够使各自的支承部(31S、32S)向相同的方向回转。
另一方面,与上述那样的结构无关地,上侧支承部31S的突出退回动作与下侧支承部32S的突出退回动作互相的动作方向相同的情况下,各自的驱动源即上侧突出退回马达31Am与下侧突出退回马达32Am的动作方向(这里为旋转方向)相同,所以控制指令为互相相同的方向的指令。因此,在本实施方式中,上侧支承部31S的突出退回动作与下侧支承部32S的突出退回动作分别借助上侧突出退回控制部Ha1与下侧突出退回控制部Ha2,通过输出互相相同的方向的指令的控制指令来控制。
〔其他实施方式〕
接着,对物品搬运装置的其他实施方式进行说明。
(1)上述实施方式中,对如下例子进行了说明:关于上侧移载部31,上侧回转驱动部31B支承于升降单元20,上侧突出退回驱动部31A支承于上侧回转驱动部31B,上侧支承部31S支承于上侧突出退回驱动部31A,关于下侧移载部32,下侧回转驱动部32B支承于升降单元20,下侧突出退回驱动部32A支承于下侧回转驱动部32B,下侧支承部32S支承于下侧突出退回驱动部32A。但是,不限于这样的例子,能够将这些各部分被支承的顺序适当改变。例如,也可以是,关于上侧移载部31,上侧突出退回驱动部31A支承于升降单元20,上侧回转驱动部31B支承于上侧突出退回驱动部31A,上侧支承部31S支承于上侧回转驱动部31B。关于下侧移载部32也相同。
(2)上述实施方式中,对上侧移载部31具备上侧回转驱动部31B而下侧移载部32具备下侧回转驱动部32B的例子进行了说明。但是,上侧回转驱动部31B及下侧回转驱动部32B并非上侧移载部31或下侧移载部32的必需的结构要素。因此,例如,也可以是,构成为不具备上侧回转驱动部31B及下侧回转驱动部32B的至少一方。
(3)上述实施方式中,对上侧移载部31与下侧移载部32用同一部件构成的例子进行了说明。但是,不限于这样的例子,也可以是,上侧移载部31与下侧移载部32部分地或者整体地用互不相同的部件构成。
(4)上述实施方式中,对构成为上侧支承部31S及下侧支承部32S的双方将物品W从下方支承的例子进行了说明。但是,不限于这样的例子,也可以构成为,上侧支承部31S及下侧支承部32S的至少一方具备将物品W从其上部或侧部夹着地支承的把持部。
(5)另外,上述实施方式所公开的结构只要不产生矛盾就也能够与其他实施方式所公开的结构组合应用。关于其他结构,本说明书中公开的实施方式在所有的方面都只不过是例示。因此,能够在不脱离本申请的宗旨的范围内适当地进行各种改变。
〔上述实施方式的概要〕
以下,对上述说明的物品搬运装置进行说明。
一种物品搬运装置,前述物品搬运装置搬运物品,前述物品搬运装置具备引导轨道、升降单元、移载装置,前述引导轨道被沿搬运路径设置,前述搬运路径沿着上下方向,前述升降单元沿前述引导轨道升降,前述移载装置被支承于前述升降单元,并且在前述移载装置与被相对于前述引导轨道沿水平方向离开地配置的多个保持部之间移载物品,前述移载装置具备支承于前述升降单元的上侧移载部、及配置于前述上侧移载部的下侧而支承于与前述上侧移载部相同的前述升降单元的下侧移载部,前述上侧移载部具备支承物品的上侧支承部、使前述上侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的上侧突出退回驱动部,前述下侧移载部具备支承物品的下侧支承部、使前述下侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的下侧突出退回驱动部,前述上侧突出退回驱动部被比前述上侧支承部靠上方地配置,并且前述下侧突出退回驱动部被比前述下侧支承部靠下方地配置。
根据本结构,上侧移载部与下侧移载部的双方被支承于同一升降单元,所以能够将两个物品同时搬运,并且能够将这两个物品分别借助上侧移载部与下侧移载部被相对于互不相同的保持部移载。因此,能够提高物品的搬运效率。并且,用于使上侧支承部突出退回的上侧突出退回驱动部被比该上侧支承部靠上方地配置,并且用于使下侧支承部突出退回的下侧突出退回驱动部被比该下侧支承部靠下方地配置,所以能够避免在上侧支承部与下侧支承部的上下方向之间配置突出退回驱动部。由此,与以往的结构相比,能够使上侧支承部与下侧支承部的上下方向的间隔变窄。多个保持部沿上下方向排列的情况下,为使上侧移载部与下侧移载部能够相对于这些保持部同时并行地进行移载,沿上下方向排列的多个保持部的配置间隔需要为与上侧支承部与下侧支承部的配置间隔对应的间隔。根据本结构,在这样的情况下,也能够使沿上下方向排列的多个保持部的配置间隔变窄,所以能够设置更多的保持部,能够使能够保持的物品的数量变多。
这里,优选的是,多个前述保持部被相对于前述移载装置在绕沿前述上下方向的轴心的多个方向分开地配置,前述上侧移载部具备使前述上侧支承部绕沿前述上下方向的轴心回转的上侧回转驱动部,前述下侧移载部具备使前述下侧支承部绕沿前述上下方向的轴心回转的下侧回转驱动部,前述上侧回转驱动部被比前述上侧支承部靠上方地配置,并且前述下侧回转驱动部被比前述下侧支承部靠下方地配置。
根据本结构,分别借助上侧移载部与下侧移载部,能够相对于被相对于移载装置在绕沿上下方向的轴心的多个方向分开地配置的多个保持部移载物品。并且,用于使上侧支承部回转的上侧回转驱动部被比该上侧支承部靠上方地配置,并且用于使下侧支承部回转的下侧回转驱动部被比该下侧支承部靠下方地配置,所以能够避免在上侧支承部与下侧支承部的上下方向之间配置回转驱动部。由此,实现能够使上侧支承部与下侧支承部的双方绕沿上下方向的轴心回转的结构的同时,也能够使上侧支承部与下侧支承部的上下方向的间隔变窄。
此外,优选的是,前述上侧回转驱动部被支承于前述升降单元,前述上侧突出退回驱动部被支承于前述上侧回转驱动部,前述上侧支承部被支承于前述上侧突出退回驱动部,前述下侧回转驱动部被支承于前述升降单元,前述下侧突出退回驱动部被支承于前述下侧回转驱动部,前述下侧支承部被支承于前述下侧突出退回驱动部。
根据本结构,上侧回转驱动部被比上侧突出退回驱动部靠升降单元侧地配置,所以能够避免在上侧突出退回驱动部的末端侧配置上侧回转驱动部,能够使上侧突出退回驱动部的末端侧变轻。由此,能够减轻作用于上侧突出退回驱动部的载荷。这方面关于下侧突出退回驱动部也相同。因此,根据本结构,能够减轻突出退回驱动部的负荷。
此外,优选的是,前述上侧支承部及前述下侧支承部的双方构成为将物品从下方支承。
作为支承物品的支承部的结构,例如,也可以具有具备将物品从其上部或侧部夹持地支承的把持部的结构。但是,该结构中,需要用于把持物品等的把持部、驱动该把持部的驱动部等机构,支承部、移载部容易大型化。若支承部、移载部大型化,则上侧支承部与下侧支承部的配置间隔也容易变大。根据本结构,上侧支承部及下侧支承部的双方构成为将物品从下方支承,所以与如上所述地具备把持部的结构相比,能够使支承部、移载部的结构简化,所以能够抑制它们的大型化。因此,容易使上侧支承部与下侧支承部的配置间隔变窄。
产业上的可利用性
本申请的技术能够利用于搬运物品的物品搬运装置。
附图标记说明
1:层间搬运装置(物品搬运装置)
10:引导轨道
20:升降单元
30:移载装置
31:上侧移载部
31A:上侧突出退回驱动部
31B:上侧回转驱动部
31S:上侧支承部
32:下侧移载部
32A:下侧突出退回驱动部
32B:下侧回转驱动部
32S:下侧支承部
90:保持部
P1:基准位置
P2:突出位置
V:上下方向
R:搬运路径
W:物品。
Claims (4)
1.一种物品搬运装置,前述物品搬运装置搬运物品,前述物品搬运装置具备引导轨道、升降单元、移载装置,前述引导轨道被沿搬运路径设置,前述搬运路径沿着上下方向,前述升降单元沿前述引导轨道升降,前述移载装置被支承于前述升降单元,并且在与被相对于前述引导轨道沿水平方向离开地配置的多个保持部之间移载物品,其特征在于,
前述移载装置具备支承于前述升降单元的上侧移载部、及配置于前述上侧移载部的下侧而支承于与前述上侧移载部相同的前述升降单元的下侧移载部,
前述上侧移载部具备支承物品的上侧支承部、使前述上侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的上侧突出退回驱动部,
前述下侧移载部具备支承物品的下侧支承部、使前述下侧支承部在基准位置和与前述基准位置相比向前述保持部侧突出的突出位置之间突出退回的下侧突出退回驱动部,
前述上侧突出退回驱动部被比前述上侧支承部靠上方地配置,并且前述下侧突出退回驱动部被比前述下侧支承部靠下方地配置。
2.如权利要求1所述的物品搬运装置,其特征在于,
多个前述保持部被相对于前述移载装置在绕沿前述上下方向的轴心的多个方向分开地配置,
前述上侧移载部具备使前述上侧支承部绕沿前述上下方向的轴心回转的上侧回转驱动部,
前述下侧移载部具备使前述下侧支承部绕沿前述上下方向的轴心回转的下侧回转驱动部,
前述上侧回转驱动部被比前述上侧支承部靠上方地配置,并且前述下侧回转驱动部被比前述下侧支承部靠下方地配置。
3.如权利要求2所述的物品搬运装置,其特征在于,
前述上侧回转驱动部被支承于前述升降单元,前述上侧突出退回驱动部被支承于前述上侧回转驱动部,前述上侧支承部被支承于前述上侧突出退回驱动部,
前述下侧回转驱动部被支承于前述升降单元,前述下侧突出退回驱动部被支承于前述下侧回转驱动部,前述下侧支承部被支承于前述下侧突出退回驱动部。
4.如权利要求1至3中任一项所述的物品搬运装置,其特征在于,
构成为,前述上侧支承部及前述下侧支承部的双方将物品从下方支承。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019-168692 | 2019-09-17 | ||
JP2019168692A JP2021046273A (ja) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 物品搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112520330A true CN112520330A (zh) | 2021-03-19 |
Family
ID=74877665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010979786.1A Pending CN112520330A (zh) | 2019-09-17 | 2020-09-17 | 物品搬运装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2021046273A (zh) |
KR (1) | KR20210032905A (zh) |
CN (1) | CN112520330A (zh) |
TW (1) | TW202112631A (zh) |
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2019
- 2019-09-17 JP JP2019168692A patent/JP2021046273A/ja active Pending
-
2020
- 2020-08-11 TW TW109127245A patent/TW202112631A/zh unknown
- 2020-09-04 KR KR1020200112846A patent/KR20210032905A/ko active Search and Examination
- 2020-09-17 CN CN202010979786.1A patent/CN112520330A/zh active Pending
-
2023
- 2023-08-14 JP JP2023131823A patent/JP2023153247A/ja active Pending
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Also Published As
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JP2021046273A (ja) | 2021-03-25 |
JP2023153247A (ja) | 2023-10-17 |
TW202112631A (zh) | 2021-04-01 |
KR20210032905A (ko) | 2021-03-25 |
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