CN105584767A - 物品输送设备 - Google Patents
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Abstract
提供一种防止物品从移载装置的滚落的同时能够顺畅地进行由移载装置进行的物品的移载的物品输送设备。在物品输送装置中具备沿着上下方向升降移动的升降体(14)、和被升降体(14)支承而在自己与移载对象部位之间移载物品(W)的移载装置(15);在移载装置(15)中具备将物品(W)载置支承而向突出位置和回退位置进退移动的支承体(17);将支承体(17)构成为,具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件(9),由该支承部件(9)将物品(W)载置支承;将缓冲体(29)以相对于被支承部件(9)载置支承的物品(W)向上方离开设定距离的状态装备在升降体(14)上。
Description
技术领域
本发明涉及具备在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置的物品输送设备。
背景技术
在日本公开特许公报特开平6-156628号(专利文献1)中,记载有具备在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置的物品输送设备的一例。该物品输送装置具备沿着上下方向升降移动的升降体、和支承在该升降体上并在自己与移载对象部位之间移载物品的移载装置。移载装置具备将物品载置支承的支承体、和使该支承体向朝向移载对象部位突出的突出位置和朝向升降体回退的回退位置进退移动的进退用驱动装置。
在专利文献1的物品输送设备中,在升降体上具备在上下方向上弹性变形自如的缓冲体。该缓冲体位于载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品的上方。具体而言,该缓冲体在载荷稳定器(11)与推压板(15)之间具备弹簧(16a)而在上下方向上弹性变形自如地构成。此外,缓冲体构成为,能够向从上方对载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品推压的推压位置、和相对于载置支承在叉装置(9)的支承部件上的物品向上方离开的离开位置升降移动。
例如,当升降体升降移动时,通过使缓冲体下降移动并使其位于推压位置,实现用缓冲体将物品推压的状态。由此,能够使得物品不从支承部件浮起,能够降低物品从移载装置落下的可能性。特别是,在升降体上升移动的途中急停止那样的情况下,通过朝上的惯性力,物品要从支承部件浮起。但是,如果物品被缓冲体从上方推压,则能够抑制该物品的浮起。因而,即使是使升降体紧急停止那样的情况,也能够降低物品从移载装置滚落的可能性。此外,当使移载装置的支承部件进退移动而在与移载对象部位之间移载物品时,能够使缓冲体上升移动而位于退避位置,以使移载的物品不与缓冲体干涉。
但是,在专利文献1的物品输送设备中,在用移载装置移载(移交)物品之前,为了将由缓冲体对于物品的推压解除,需要使缓冲体上升移动到退避位置。此外,在通过移载装置完成物品的移载(接受)后,为了用缓冲体推压物品,需要使缓冲体下降移动到推压位置。这样,需要在用移载装置将物品移载的前后使缓冲体升降移动,所以成为伴随着稍稍复杂的操作。
发明内容
所以,要求有容易在防止物品从移载装置的滚落的同时顺畅地进行由移载装置进行的物品的移载的物品输送设备。
作为一个技术方案,鉴于上述的物品输送设备具备物品输送装置,上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品;上述物品输送装置具备升降体和移载装置,上述升降体沿着上下方向升降移动,上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品;上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置,上述支承体载置支承物品,上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动;上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件,且构成为用该支承部件载置支承物品;在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上。
根据该结构,即使是物品从支承部件浮起的情况,由于该浮起的物品被缓冲体承接住,所以也能够防止物品的设定距离以上的浮起。通过这样抑制物品从支承部件的浮起,能够防止物品从支承部件滚落。此外,由于缓冲体在上下方向上弹性变形自如地构成,所以能够抑制物品被缓冲体承接住时的冲击。并且,由缓冲体承接住的物品通过重力向支承部件上落下,但由于承接住该物品的支承部件在上下方向上弹性变形自如地构成,所以能够抑制物品被支承部件承接住时的冲击。
此外,缓冲体相对于被支承部件载置支承的物品向上方离开了设定距离。即,由于确保了空间以使物品不与缓冲体接触,所以当用移载装置移载物品时,即使不使缓冲体向上方退避,也能够在避免物品与缓冲体的接触的同时移载物品。这样,能够在防止物品的设定距离以上的浮起而抑制物品从支承部件滚落的同时,不使缓冲体升降移动而用移载装置移载物品,所以容易顺畅地进行通过移载装置进行的物品的移载。
物品输送设备的更多的特征和优点,根据参照附图说明的关于实施方式的以下的记载会变得明确。
附图说明
图1是物品输送设备的主视图。
图2是移载装置的支承体的部分切掉立体图。
图3是表示将容器载置支承的定位部件的侧视图。
图4是表示从将容器载置支承的状态进一步缩短的定位部件的侧视图。
图5是表示停止在卸下用升降停止位置的升降体的主视图。
图6是表示停止在抄取用升降停止位置的升降体的主视图。
图7是表示上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(通常时)。
图8是上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(浮起时)。
图9是表示上升中的升降体紧急停止时的容器的动态的图(反向运动时)。
图10是控制框图。
具体实施方式
以下,基于附图对物品输送设备的实施方式进行说明。如图1所示,在物品输送设备中,具备:具有多个收存作为物品的容器W的收存部1的物品收存搁架2、输送容器W的堆装起重机3、将设置物品收存搁架2及堆装起重机3的设置空间覆盖的壁体K、和以将壁体K贯通的状态配设且将容器W载置输送的出入库输送机4。
物品收存搁架2以夹着堆装起重机3的桅杆13对置的状态具备一对。在一对物品收存搁架2的各自中,以在上下方向及搁架横宽度方向(与图1的纸面正交的方向)上排列的状态具备多个收存部1。在多个收存部1的各自中,具备将收存的容器W载置支承的载置体5。另外,在一对物品收存搁架2的一方(在图1中位于右侧的物品收存搁架2)中,具备用来向收存在收存部1中的容器W供给作为惰性气体的氮气的氮气供给装置16。
出入库输送机4构成为,在位于壁体K的外侧的外部移载部位4a与位于壁体K的内侧的内部移载部位4b之间载置输送容器W。顶棚输送车B对于设置在较高的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a进行容器W的载卸,作业者对于设置在较低的位置处的出入库输送机4的外部移载部位4a进行容器W的载卸。
如果将容器W载置到出入库输送机4的外部移载部位4a,则该容器W被出入库输送机4从外部移载部位4a向内部移载部位4b载置输送,被堆装起重机3从内部移载部位4b向收存部1输送(入库)。相反,在物品输送设备中,如果由堆装起重机3将容器W从收存部1输送到出入库输送机4的内部移载部位4b,则该容器W被出入库输送机4从内部移载部位4b向外部移载部位4a载置输送,被顶棚输送车B或作业者从外部移载部位4a卸下(出库)。这样,堆装起重机3在内部移载部位4b与收存部1之间输送容器W。另外,内部移载部位4b及收存部1相当于移载对象部位,堆装起重机3相当于在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品的物品输送装置。
如图5及图6所示,在容器W中,具备收容多片半导体基板的容器主体部6、位于比该容器主体部6靠上方且装备在容器W的上端部的凸缘部7、和将形成在容器主体部6的前表面上的基板取放用的基板出入口关闭的拆装自如的盖体(未图示)。如图5及图6所示,堆装起重机3构成为,在将容器主体部6的底部载置支承的状态下输送容器W,如图1所示,顶棚输送车B构成为,在将凸缘部7悬挂支承的状态下输送容器W。另外,在本实施方式中,设收容半导体基板的FOUP(FrontOpeningUnifiedPod;正面开口标准箱)为容器W(物品)。
如图2、图5及图6所示,在容器主体部6的底面(容器W的底面)上,以放射状具备向上方凹入的3个底面凹部8。该底面凹部8形成为越靠上方越细的尖细形状,底面凹部8的内表面形成为倾斜面。该底面凹部8装备为,当内部移载部位4b或收存部1的容器W被堆装起重机3的移载装置15的支承体17抄取时,装备在支承体17上的定位部件9从下方与其卡合。当容器W被移载装置15的支承体17抄取时,在容器W相对于支承体17在水平方向上偏差的情况下,装备在支承体17上的定位部件9被底面凹部8的内表面导引。由此,将容器W的相对于支承体17的水平方向上的位置修正为适当的位置。另外,底面凹部8相当于在物品的下表面形成为向上方凹入的形状的凹入部。
如图5及图6所示,在凸缘部7的上表面(容器W的上表面)上,形成有向下方凹入的上表面凹部10。该上表面凹部10形成为越靠下方越细的尖细形状,上表面凹部10的内表面形成为倾斜面。该上表面凹部10构成为,当顶棚输送车B在外部移载部位4a上载置有容器W的状态下使支承机构b下降移动时,装备在支承机构b上的推压部与其卡合。并且,如图1所示,当顶棚输送车B使支承机构b下降移动时,在支承机构b相对于载置支承在载置台1a上的容器W在水平方向上偏差的情况下,推压部被上表面凹部10的内表面导引。由此,将支承机构b相对于容器W的水平方向上的位置修正为适当的位置。另外,凸缘部7的上表面上的除了上表面凹部10以外的部分形成为平坦的面。凸缘部7的上表面上的除了上表面凹部10以外的部分相当于容器W的顶面。
如图1所示,堆装起重机3具备:行进台车12,在形成在一对物品收存搁架2之间的行进路径上沿着搁架横宽度方向行进;升降体14,沿着立设在该行进台车12上的桅杆13升降移动;移载装置15,支承在升降体14上,在自己与收存部1或内部移载部位4b之间移载容器W。堆装起重机3构成为,通过行进用马达12a(参照图10)的驱动而行进台车12行进,通过升降用马达14a(参照图10)的驱动而升降体14升降,以及通过移载装置15的动作在内部移载部位4b与收存部1之间输送容器W。
如图5及图6所示,移载装置15具备将容器W载置支承的支承体17、使支承体17沿着水平方向移动的连杆机构18、连结着连杆机构18的基部的旋转台19、使连杆机构18伸缩而使支承体17进退移动的进退用马达20(参照图10)、和使旋转台19绕纵轴心旋转的回旋用马达21(参照图10)。
通过由进退用马达20的驱动使连杆机构18伸缩,支承体17沿着进退方向移动。支承体17通过这样沿着进退方向移动,向朝向升降体14回退的回退位置(在图5及图6中用实线表示的位置)与朝向收存部1突出的突出位置(在图5及图6中用假想线表示的位置)进退移动。另外,进退用马达20相当于使支承体17向突出位置和回退位置进退移动的进退用驱动装置。
此外,通过由回旋用马达21的驱动使旋转台19旋转并使支承体17及连杆机构18绕纵轴心回旋,将移载装置15的姿势切换为与一对物品收存搁架2中的一方对置的姿势和与另一方对置的姿势。通过这样切换移载装置15的姿势,将支承体17突出的方向切换为一对物品收存搁架2中的一方的物品收存搁架2存在的方向和另一方的物品收存搁架2存在的方向。
接着,对控制堆装起重机3的动作的控制装置H进行说明。堆装起重机3被在设置在地上的轨道上行进的行进台车12支承,能够沿搁架横宽度方向移动。在堆装起重机3(行进台车12)上,关于多个收存部1的各自及多个内部移载部位4b的各自,预先设定了搁架横宽度方向上的位置被决定的行进停止位置。此外,在堆装起重机3(移载装置15)上,关于多个收存部1的各自及多个内部移载部位4b的各自,预先设定了上下方向上的位置被决定的抄取用升降停止位置(参照图6)。此外,也预先设定了比该抄取用升降停止位置高设定量的卸下用升降停止位置(参照图5)。这些行进停止位置的信息、抄取用升降停止位置的信息及卸下用升降停止位置的信息存储在控制装置H中。
如图6所示,在升降体14位于抄取用停止位置的高度的状态下,支承体17位于比载置体5靠下方。如图5所示,在升降体14位于卸下用停止位置的高度的状态下,支承体17位于比载置体5靠上方。
控制装置H以收存部1或内部移载部位4b为输送源或输送目标,如果被从上位的管理机构(未图示)指令了将容器W从输送源输送到输送目标的输送指令,则执行物品输送控制。在该物品输送控制中,依次执行抄取用移动控制、抄取用移载控制、卸下用移动控制、卸下用移载控制。
在抄取用移动控制中,控制装置H控制行进用马达12a的动作,以使行进台车12行进到与输送源对应的行进停止位置,控制升降用马达14a的动作,以使升降体14升降移动到与输送源对应的抄取用升降停止位置。此外,在移载装置15的姿势不是与输送源对置的姿势的情况下,在抄取用移动控制中,控制装置H控制回旋用马达21的动作以使旋转台19旋转180°。
在抄取用移载控制中,控制装置H在使支承体17突出到突出位置(图6中用假想线表示的状态)后,使升降体14上升移动到与输送源对应的卸下用升降停止位置(在图5中用假想线表示的状态),然后,控制升降用马达14a及进退用马达20的动作,以使支承体17回退到回退位置(在图5中用实线表示的状态)。控制装置H通过执行这些抄取用移动控制和抄取用移载控制,将位于输送源的容器W向支承体17上移载。
如图5所示,在卸下用移动控制中,控制行进用马达12a的动作以使行进台车12行进到与输送目标对应的行进停止位置,控制升降用马达14a的动作以使升降体14升降移动到与输送目标对应的卸下用升降停止位置。此外,在移载装置15的姿势不是与输送目标对置的姿势的情况下,在卸下用移动控制中控制回旋用马达21的动作,以使旋转台19旋转180°。
在卸下用移载控制中,在使支承体17突出到突出位置(在图5中用假想线表示的状态)后,使升降体14下降移动到与输送目标对应的抄取用升降停止位置(在图6中用假想线表示的状态),然后,控制升降用马达14a及进退用马达20的动作以使支承体17回退到回退位置(在图6中用实线表示的状态)。通过控制装置H执行这些卸下用移动控制和卸下用移载控制,将位于移载装置15的支承体17上的容器W向输送目标移载。
在壁体K上,具备用于作业者向堆装起重机3行进的行进路径进入的开闭门(未图示)、和检测该开闭门的开闭状态的开闭传感器S。控制装置H构成为,在物品输送控制的执行中由开闭传感器S检测到开闭门的打开状态的情况下,基于该开闭传感器S的检测信息,执行将物品输送控制中断而使堆装起重机3紧急停止的紧急停止控制。
并且,在这样堆装起重机3紧急停止时、特别是在抄取用移动控制或卸下移动控制的执行中当升降台正在升降移动时堆装起重机3紧急停止时,容器W有可能从移载装置15滚落。为了这样的滚落的防止及将施加在容器W上的冲击缓和,精心设计了移载装置15的定位部件9的构造,并且在移载装置15上装备了缓冲体29。具体而言,如图3及图4所示,在堆装起重机3的移载装置15中,将容器W载置支承的定位部件9在上下方向上弹性变形自如地构成。在本说明书中,在说明“某个物体能够在上下方向上弹性变形”的情况下,这是该物体的至少一部分在压力下其形状或尺寸能够弹性地在上下方向上变化的意思。此外,如图5~图9所示,装备缓冲体29,以使其位于载置支承在定位部件9上的容器W的上方。以下,对这些定位部件9及缓冲体29进行说明。
移载装置15的支承体17构成为,具备在上下方向上弹性变形自如的定位部件9,用该定位部件9将容器W载置支承。具体而言,如图2所示,支承体17具备:基部部件24,连结在连杆机构18的前端部,通过进退用马达20沿着进退方向进退移动;作为支承部件的定位部件9,以从基部部件24向上方突出的状态支承在基部部件24上。定位部件9与容器W的底面凹部8对应而装备在支承体17的3处。
如图3及图4所示,定位部件9具备:卡合部25,从下方与容器W的底面凹部8卡合;弹性部26,以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在卡合部25与基部部件24之间;缓冲部27,以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在定位部件9与基部部件24之间。卡合部25具备:插通部25a,向基部部件24的贯通孔24a插通;卡合支承部25b,位于比基部部件24的上表面靠上方,比贯通孔24a大径;卡止部25c,位于比基部部件24的下表面靠下方,比贯通孔24a大径。
并且,弹性部26以在上下方向上被压缩的状态装备在基部部件24的上表面与卡合支承部25b的下表面之间,以将卡合部25朝向上方施力的状态装备。该弹性部26由在上下方向上堆叠的多片盘簧构成。此外,缓冲部27装备在基部部件24的下表面与卡止部25c的上表面之间,以将通过作用力而弹性部26相对于基部部件24上升移动时的冲击缓和。该缓冲部27由环形状的弹性部件(例如聚氨酯橡胶)构成。
如图5~图9所示,缓冲体29支承在立设于升降体14上的框体30上,以相对于被定位部件9载置支承的容器W向上方离开了设定距离L1的状态装备在升降体14上。这样装备的缓冲体29装备在升降体14上,以与升降体14一体地移动。缓冲体29形成为薄板状,以沿着水平方向的姿势装备。缓冲体29的下表面形成为平坦面,形成为沿着容器W的顶面的形状。该缓冲体29由比重比较小的多孔质状的弹性部件(例如硅海绵)构成。
设定距离L1(参照图7)被设定为比插入长度L2(参照图3)短的长度,上述插入长度L2是在定位部件9载置支承着容器W的状态下与底面凹部8卡合的定位部件9中的插入在底面凹部8中的部分的上下方向的长度。另外,设定距离L1在容器W为最重的条件下被决定,FOUP的情况在满载着半导体基板的状态下被决定。当是容器W为最重的条件时,定位部件9回退最多。因而,载置支承在定位部件9上的容器W的上端与缓冲体29的距离(与设定距离L1对应)在此时为最长。在该状态下,也决定设定距离L1以满足“L1<L2”。
另外,在容器W为最轻的条件时,定位部件9与容器W为最重的条件时相比伸长了。因而,被定位部件9载置支承的容器W的上端与缓冲体29的距离(与设定距离L1对应)在此时为最短。设定距离L1被决定为,在该条件下容器W与缓冲体29也离开。即,设定距离L1被决定为,在容器W为最轻的条件时,被定位部件9载置支承的容器W的上端与缓冲体29离开,并且,即使是容器W为最重的条件时也满足“L1<L2”。
如上述那样,在定位部件9载置支承着容器W的状态下容器W与缓冲体29离开设定距离L1。因而,当移载装置15使支承体17进退移动到回退位置或突出位置时,被该支承体17载置支承的容器W不与缓冲体29接触。
这样,在移载装置15上以位于被定位部件9载置支承的容器W的上方的方式装备有缓冲体29,以使载置支承容器W的该定位部件9在上下方向上弹性变形自如地构成。因此,例如在升降体14上升移动的途中紧急停止的情况下,为以下这样的动态。
首先,在通过抄取用移动控制及卸下用移动控制而升降台以通常的加减速度及通常的升降速度上升移动的情况下,如图7所示,容器W被3个定位部件9载置支承。此时,在容器W与缓冲体29之间至少确保有设定距离L1的空间。此时,如图3所示,3个定位部件9为从最伸长的状态稍稍缩短的状态。
这里,在执行紧急停止控制而以通常的减速度以上的减速度减速的情况下,如图8所示,有可能通过惯性而容器W从定位部件9(支承部件)浮起。此时,该浮起的容器W被缓冲体29承接住。因而,在抑制承接住容器W的冲击的同时防止容器W从定位部件9的滚落。此时,维持为3个定位部件9插入在容器W的底面凹部8中的状态,但这些定位部件9为最伸长的状态。如上述那样,决定设定距离L1以满足“L1<L2”。因而,即使是浮起的容器W被缓冲体29承接住的状态,定位部件9也被维持为插入在底面凹部8中的状态。
然后,如图9所示,通过缓冲体29的弹性力及重力,容器W从相对于定位部件9浮起的状态成为与定位部件9接触的状态。即,作为浮起的反向运动,相对于定位部件9落下。此时,容器W被具有弹性力的定位部件9承接住,所以能够抑制反向运动的冲击。这样即使堆装起重机3紧急停止,也能够抑制容器W从升降体14落下、以及在浮起及回位时在容器W上作用较强的冲击。
另外,所谓容器W从定位部件9浮起,意味着与容器W被定位部件9载置支承的状态下的定位部件9的下端(弹性部26的下端)到容器W的下端的上下方向的距离相比,从该定位部件9的下端(弹性部26的下端)到容器W的下端的上下方向的距离较长。因此,通过随着容器W从定位部件9浮起而定位部件9向上方伸长,即使是容器W从定位部件9浮起的状态,也有定位部件9中的卡合部25的上端部接触在容器W的底面凹部8上的情况。
〔其他实施方式〕
(1)在上述实施方式中,表示了将支承部件用形成为销状的定位部件9构成的例子。但是,支承部件也可以为具备将容器W的底面整体载置支承的板状的支承板的结构等,用支承部件将容器W载置支承的形态只要是在上下方向上弹性变形自如,也可以是其他形态。
(2)在上述实施方式中,例示了将设定距离L1设定得比插入长度L2短的形态。但是,设定长度L1也可以与插入长度L2相同或较长。
(3)此外,设定距离L1也可以根据插入长度L2和定位部件9的上下方向的伸缩量来设定。即,当容器W从定位部件9浮起时追随于容器W的浮起而定位部件9向上方伸长,但也可以将设定距离L1设定为在浮起的容器W被缓冲体29承接住的状态下浮起的容器W的底面凹部8的下端位于比伸长到上方的定位部件9的上端靠下方那样的距离。总之,设定距离L1只要是浮起的容器W与缓冲体29接触的距离就可以,但为了更适当地防止容器W的滚落,优选的是将设定距离L1设定为在浮起的容器W被缓冲体29承接住的状态下定位部件9被插入在底面凹部8中的距离。
(4)此外,在上述实施方式中,例示了将定位部件9的复原力设定为在由定位部件9载置支承着容器W时定位部件9成为最伸长的状态与最缩短的状态的中间的状态的力的形态。但是,定位部件9的复原力也可以设定为当用定位部件9载置支承着容器W时定位部件9成为最伸长的状态或最缩短的状态的力。
(5)在上述实施方式中,将缓冲体29的形状形成为沿着容器W的顶面的形状,但也可以将缓冲体29的形状形成为具备与上表面凹部10嵌合的部分且沿着容器W的凸缘部7的上表面的形状,或者将缓冲体29的形状形成为沿着容器W的容器主体部6的上表面的形状等,沿着物品的顶面以外的上表面的形状。
(6)在上述实施方式中,将弹性部26用多片盘簧构成,但也可以将弹性部26用螺旋弹簧或硅海绵等其他的弹性部件构成。此外,将缓冲体29用硅海绵构成,但也可以将缓冲体29用橡胶片或螺旋弹簧等其他弹性部件构成。此外,在上述实施方式中,在定位部件9上具备基部部件24、卡合部25和弹性部26,将定位部件9在上下方向上伸缩自如地构成,但也可以将定位部件9的整体用橡胶等弹性部件构成而将定位部件9在上下方向上伸缩自如地构成。
(7)在上述实施方式中,使物品为FOUP,但物品也可以是贮存器或纸板箱等其他容器或容器以外的结构。
以下,对在上述中说明的物品输送设备的概要简单地说明。
作为一个技术方案,物品输送设备具备物品输送装置,上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品;上述物品输送装置具备升降体和移载装置,上述升降体沿着上下方向升降移动,上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品;上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置,上述支承体载置支承物品,上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动;上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件,且构成为用该支承部件载置支承物品;在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上。
根据该结构,即使是物品从支承部件浮起的情况,由于该浮起的物品被缓冲体承接住,所以也能够防止物品的设定距离以上的浮起。通过这样具备抑制物品从支承部件的浮起,能够防止物品从支承部件滚落。此外,由于缓冲体在上下方向上弹性变形自如地构成,所以能够抑制物品被缓冲体承接住时的冲击。并且,由缓冲体承接住的物品通过重力向支承部件上落下,但由于承接住该物品的支承部件在上下方向上弹性变形自如地构成,所以能够抑制物品被支承部件承接住时的冲击。
此外,缓冲体相对于被支承部件载置支承的物品向上方离开了设定距离。即,由于确保了空间以使物品不与缓冲体接触,所以当用移载装置移载物品时,即使不使缓冲体向上方退避,也能够在避免物品与缓冲体的接触的同时移载物品。这样,能够在防止物品的设定距离以上的浮起而抑制物品从支承部件滚落的同时,不使缓冲体升降移动而用移载装置移载物品,所以容易顺畅地进行通过移载装置进行的物品的移载。
这里,优选的是,上述支承体具备基部部件,上述基部部件被上述进退用驱动装置进退移动;上述支承部件以从上述基部部件向上方突出的状态装备在上述支承体上,该支承部件具备卡合部和弹性部,上述卡合部从下方与在物品的下表面上形成为向上方凹入的形状的凹入部卡合,上述弹性部以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在该卡合部与上述基部部件之间并将上述卡合部向上方施力。
根据该结构,通过夹设在卡合部与基部部件之间的弹性部在上下方向上伸缩,支承部件在上下方向上弹性变形。因此,支承部件的卡合部不需要为在上下方向上弹性变形的结构,通过将卡合部构成为硬质并将该硬质的卡合部与凹入部卡合而将物品载置支承,容易将物品稳定地用支承部件载置支承。此外,通过支承部件的卡合部从下方与凹入部卡合,能够用支承部件限制物品向水平方向的位置偏移,所以在这一点上也能够用支承部件将物品稳定良好地载置支承。
此外,优选的是,上述设定距离被设定为比插入长度短的长度,上述插入长度是在上述支承部件载置支承着物品的状态下与上述凹入部卡合的上述卡合部中的插入在上述凹入部中的部分的上下方向的长度。
根据该结构,由于设定距离被设定为比插入长度短的长度,所以当物品从支承部件浮起而该物品接触在缓冲体上时,维持包括上端的卡合部的一部分向凹入部插入的状态。因此,即使是物品从支承部件浮起的状态,通过包括上端的卡合部的一部分与凹入部接触,也能够用支承部件限制物品向水平方向的位置偏移,能够恰当地防止物品从支承部件的滚落。
此外,优选的是,上述设定距离被设定为以下的长度:当上述物品为最轻的条件时被上述支承部件载置支承的上述物品的上端与上述缓冲体的下端离开,并且即使是上述物品为最重的条件时也比上述插入长度短的长度。
在物品为最轻的条件时,支承部件(卡合部)与物品为最重的条件时相比伸长了。因而,被支承部件载置支承的物品的上端与缓冲体的距离(对应于设定距离)在此时成为最短。通过决定设定距离以使得在该条件下物品与缓冲体也离开,即使物品较轻,也能够在物品的上端与缓冲体之间确保间隙。此外,如上述那样,由于设定距离被设定为比插入长度短的长度,所以即使是物品从支承部件浮起而该物品接触在缓冲体上时,也维持卡合部的一部分向凹入部插入的状态。
此外,优选的是,上述缓冲体的下表面被形成为沿着物品的上表面的形状。
根据该结构,当物品从支承部件浮起时,物品的上表面与缓冲体的下表面面接触,物品的浮起被缓冲体承接住,所以能够尽量抑制由缓冲体承接住物品时的物品的姿势的变化。
此外,优选的是,物品的顶面被形成为平坦的面;上述缓冲体被形成为板状,以沿着被上述支承体载置支承的物品的顶面的姿势装备在上述升降体上。
根据该结构,仅将形成为板状的缓冲体以沿着被支承部件载置支承的物品的顶面的姿势装备到升降体上就可以,所以能够容易地形成缓冲体并且能够容易地设置缓冲体。
附图标记说明
1收存部(移载对象部位)
3堆装起重机(物品输送装置)
4b内部移载部位(移载对象部位)
8底面凹部(凹入部)
9定位部件(支承部件)
14升降体
15移载装置
17支承体
20进退用马达(进退用驱动装置)
24基部部件
25卡合部
26弹性部
29缓冲体
L1设定距离
L2插入长度
W容器(物品)。
Claims (6)
1.一种物品输送设备,具备物品输送装置,上述物品输送装置在沿上下方向排列的多个移载对象部位之间输送物品;
这里,上述物品输送装置具备升降体和移载装置,上述升降体沿着上下方向升降移动,上述移载装置被上述升降体支承并在自己与上述移载对象部位之间移载物品;
上述移载装置具备支承体和进退用驱动装置,上述支承体载置支承物品,上述进退用驱动装置使上述支承体向朝向上述移载对象部位突出的突出位置和朝向上述升降体回退的回退位置进退移动;
该物品输送设备的特征在于,
上述支承体具备在上下方向上弹性变形自如的支承部件,且构成为用该支承部件载置支承物品;
在上下方向上弹性变形自如的缓冲体以相对于被上述支承部件载置支承的物品向上方离开设定距离的状态装备在上述升降体上。
2.如权利要求1所述的物品输送设备,其特征在于,
上述支承体具备基部部件,上述基部部件被上述进退用驱动装置进退移动;
上述支承部件以从上述基部部件向上方突出的状态装备在上述支承体上,该支承部件具备卡合部和弹性部,上述卡合部从下方与在物品的下表面上形成为向上方凹入的形状的凹入部卡合,上述弹性部以在上下方向上伸缩自如的状态夹设在该卡合部与上述基部部件之间并将上述卡合部向上方施力。
3.如权利要求2所述的物品输送设备,其特征在于,
上述设定距离被设定为比插入长度短的长度,上述插入长度是在上述支承部件载置支承着物品的状态下与上述凹入部卡合的上述卡合部中的插入在上述凹入部中的部分的上下方向的长度。
4.如权利要求3所述的物品输送设备,其特征在于,
上述设定距离被设定为以下的长度:当上述物品为最轻的条件时被上述支承部件载置支承的上述物品的上端与上述缓冲体的下端离开,并且即使是上述物品为最重的条件时也比上述插入长度短的长度。
5.如权利要求1~4中任一项所述的物品输送设备,其特征在于,
上述缓冲体的下表面被形成为沿着物品的上表面的形状。
6.如权利要求5所述的物品输送设备,其特征在于,
物品的顶面被形成为平坦的面;
上述缓冲体被形成为板状,以沿着被上述支承体载置支承的物品的顶面的姿势装备在上述升降体上。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107804641A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 株式会社大福 | 物品输送装置 |
CN110342399A (zh) * | 2018-04-03 | 2019-10-18 | 株式会社大福 | 物品搬运装置 |
CN110406871A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 株式会社大福 | 物品搬运设备 |
CN110406872A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 株式会社大福 | 物品搬运装置及物品搬运设备 |
CN110577047A (zh) * | 2018-06-11 | 2019-12-17 | 村田机械株式会社 | 物品载置部件、具备该部件的储存库及搬运车系统 |
CN112439846A (zh) * | 2019-08-30 | 2021-03-05 | 株式会社三井高科技 | 金属制品的排出装置以及金属制品的制造方法 |
CN112520330A (zh) * | 2019-09-17 | 2021-03-19 | 株式会社大福 | 物品搬运装置 |
TWI828868B (zh) * | 2019-02-22 | 2024-01-11 | 日商村田機械股份有限公司 | 移載裝置及堆高式起重機 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3530592A4 (en) * | 2016-10-18 | 2020-07-01 | Murata Machinery, Ltd. | STORAGE BRIDGE |
KR102247038B1 (ko) * | 2017-10-30 | 2021-04-30 | 세메스 주식회사 | 호이스트 모듈의 위치 보정 방법 |
JP6819565B2 (ja) * | 2017-12-21 | 2021-01-27 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
CN113727918B (zh) * | 2019-05-13 | 2023-04-07 | 村田机械株式会社 | 高架输送车 |
JP2023018160A (ja) * | 2019-11-22 | 2023-02-08 | 村田機械株式会社 | スタッカクレーン |
JP2022101200A (ja) * | 2020-12-24 | 2022-07-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05301611A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Nkk Corp | シート材用立体自動倉庫 |
JPH0724813U (ja) * | 1993-10-13 | 1995-05-12 | 村田機械株式会社 | スライドフォークの荷ズレ防止装置 |
JP2001348104A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Nippon Steel Corp | 自動倉庫の出し入れ装置 |
JP2003128209A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Murata Mach Ltd | 搬送装置 |
CN101241873A (zh) * | 2007-02-09 | 2008-08-13 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB651714A (en) * | 1946-02-02 | 1951-04-11 | Zach Lamar Cobb | Material handling equipment |
JPH0661330A (ja) * | 1992-08-05 | 1994-03-04 | Tokyo Electron Tohoku Ltd | ウエハ処理装置のロードロック室構造 |
JPH06156628A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-03 | Toyota Autom Loom Works Ltd | スタッカクレーン |
JPH0779098A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント基板支持装置 |
JP3247616B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2002-01-21 | 鹿島建設株式会社 | 倉庫の床構造 |
JP3105831B2 (ja) * | 1997-06-26 | 2000-11-06 | 日本電産リード株式会社 | プリント基板検査装置のガイドピン部およびプリント基板検査装置のガイドピン固定方法 |
JP2004103924A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 回路基板保持装置および対回路基板作業機 |
JP4466264B2 (ja) * | 2004-08-03 | 2010-05-26 | ムラテックオートメーション株式会社 | ストッカ |
JP2009137368A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Denso Corp | 搬送台車 |
JP5258981B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2013-08-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板保持具及び基板搬送装置及び基板処理装置 |
JP6156628B2 (ja) | 2013-04-17 | 2017-07-05 | 株式会社Ihi | 排煙脱硝装置及び排煙脱硝方法 |
KR102127113B1 (ko) * | 2013-10-29 | 2020-06-29 | 삼성전자 주식회사 | 카세트 이송장치 및 이를 이용하여 카세트 이송방법 |
JP6102759B2 (ja) * | 2014-01-16 | 2017-03-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送台車 |
JP6327124B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-05-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
-
2014
- 2014-11-12 JP JP2014230061A patent/JP6435795B2/ja active Active
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2015
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- 2015-11-12 CN CN201510768917.0A patent/CN105584767B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05301611A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Nkk Corp | シート材用立体自動倉庫 |
JPH0724813U (ja) * | 1993-10-13 | 1995-05-12 | 村田機械株式会社 | スライドフォークの荷ズレ防止装置 |
JP2001348104A (ja) * | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Nippon Steel Corp | 自動倉庫の出し入れ装置 |
JP2003128209A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-08 | Murata Mach Ltd | 搬送装置 |
CN101241873A (zh) * | 2007-02-09 | 2008-08-13 | 株式会社大福 | 物品输送设备 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107804641A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-16 | 株式会社大福 | 物品输送装置 |
CN110342399A (zh) * | 2018-04-03 | 2019-10-18 | 株式会社大福 | 物品搬运装置 |
CN110342399B (zh) * | 2018-04-03 | 2022-09-09 | 株式会社大福 | 物品搬运装置 |
CN110406872A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 株式会社大福 | 物品搬运装置及物品搬运设备 |
CN110406871B (zh) * | 2018-04-27 | 2021-12-28 | 株式会社大福 | 物品搬运设备 |
CN110406872B (zh) * | 2018-04-27 | 2022-01-11 | 株式会社大福 | 物品搬运装置及物品搬运设备 |
CN110406871A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 株式会社大福 | 物品搬运设备 |
TWI820116B (zh) * | 2018-04-27 | 2023-11-01 | 日商大福股份有限公司 | 物品搬送裝置及物品搬送設備 |
CN110577047A (zh) * | 2018-06-11 | 2019-12-17 | 村田机械株式会社 | 物品载置部件、具备该部件的储存库及搬运车系统 |
CN110577047B (zh) * | 2018-06-11 | 2022-11-29 | 村田机械株式会社 | 物品载置部件、具备该部件的储存库及搬运车系统 |
TWI828868B (zh) * | 2019-02-22 | 2024-01-11 | 日商村田機械股份有限公司 | 移載裝置及堆高式起重機 |
CN112439846A (zh) * | 2019-08-30 | 2021-03-05 | 株式会社三井高科技 | 金属制品的排出装置以及金属制品的制造方法 |
CN112520330A (zh) * | 2019-09-17 | 2021-03-19 | 株式会社大福 | 物品搬运装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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