KR20160056826A - 물품 반송 설비 - Google Patents

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Abstract

이송탑재 장치로부터의 물품의 전락을 방지하면서 이송탑재 장치에 의한 물품의 이송탑재를 원활하게 행할 수 있는 물품 반송 설비를 제공한다. 물품 반송 장치에, 상하 방향을 따라 승강 이동하는 승강체(14)와, 승강체(14)에 지지되어 자기와 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품(W)을 이송탑재하는 이송탑재 장치(15)를 구비하고, 이송탑재 장치(15)에, 물품(W)을 탑재 지지하여 돌출 위치와 퇴피 위치로 출퇴 이동하는 지지체(17)를 구비하고, 지지체(17)를, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 지지 부재(9)를 구비하여 상기 지지 부재(9)에 의해 물품(W)을 탑재 지지하도록 구성하고, 완충체(29)를, 지지 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 물품(W)에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되는 상태로 승강체(14)에 구비한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)의 사이에서 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
일본 공개 특허 공보 평6―156628호(특허 문헌 1)에는, 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재 대상 개소의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비의 일례가 기재되어 있다. 이 물품 반송 장치는, 상하 방향을 따라 승강 이동하는 승강체와, 이 승강체에 지지되어 자기(自己)와 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고 있다. 이송탑재 장치는, 물품을 탑재 지지하는 지지체와, 이 지지체를 이송탑재 대상 개소를 향해 돌출된 돌출 위치와 승강체를 향해 퇴피시킨 퇴피 위치로 출퇴(出退) 이동시키는 출퇴용 구동 장치를 구비하고 있다.
특허 문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 승강체에, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체가 구비되어 있다. 그 완충체는, 포크 장치(9)의 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품의 위쪽에 위치하고 있다. 구체적으로는, 그 완충체는, 로드 스태빌라이져(11)와 압압판(押壓坂; pressing plate)(15)과의 사이에 스프링(16a)을 구비하여 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있다. 또한, 완충체는, 포크 장치(9)의 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로부터 압압하는 압압 위치와, 포크 장치(9)의 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 이격되는 이격 위치로 승강 이동 가능하도록 구성되어 있다.
예를 들면, 승강체가 승강 이동할 때, 완충체를 하강 이동시켜 압압 위치에 위치시킴으로써, 완충체에 의해 물품을 가압한 상태가 실현된다. 이로써, 물품이 지지 부재로부터 부상(浮上)되지 않도록 할 수 있어, 물품이 이송탑재 장치로부터 낙하할 가능성을 저감할 수 있다. 특히, 승강체가 상승 이동하고 있는 도중에 급정지하는 것과 같은 경우, 상방향의 관성력에 의해 물품은 지지 부재로부터 부상하려고 한다. 그러나, 물품이 완충체에 의해 위쪽으로부터 압압되어 있으면 상기 물품의 부상을 억제할 수 있다. 따라서, 승강체를 비상 정지시킨 것과 같은 경우라도, 물품이 이송탑재 장치로부터 전락(轉落)할 가능성을 저감할 수 있다. 또한, 이송탑재 장치의 지지 부재를 출퇴 이동시켜 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재할 때는, 이송탑재하는 물품이 완충체에 간섭하지 않도록, 완충체를 상승 이동시켜 퇴피 위치에 위치시킬 수 있다.
단, 특허 문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재하기(받아건네기) 전에는, 완충체에 의한 물품에 대한 압압을 해제하기 위해, 완충체를 퇴피 위치까지 상승 이동시킬 필요가 있다. 또한, 이송탑재 장치에 의해 물품의 이송탑재(수취)가 완료된 후에는, 완충체에 의해 물품을 압압하기 위해, 완충체를 압압 위치까지 하강 이동시킬 필요가 있다. 이와 같이, 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재하기 전후에 있어서 완충체를 승강 이동시킬 필요가 있으므로, 약간 번거로운 조작을 수반하는 것으로 되어 있다.
일본 공개 특허 공보 평6―156628호
그래서, 이송탑재 장치로부터의 물품의 전락을 방지하면서 이송탑재 장치에 의한 물품의 이송탑재를 원활하게 행하기 용이한 물품 반송 설비가 요구된다.
일 태양(態樣)으로서, 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비는, 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재 대상 개소의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송 장치를 구비하고, 상기 물품 반송 장치가, 상하 방향을 따라 승강 이동하는 승강체와, 상기 승강체에 지지되어 자기와 상기 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고, 상기 이송탑재 장치가, 물품을 탑재 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이송탑재 대상 개소를 향해 돌출된 돌출 위치와 상기 승강체를 향해 퇴피시킨 퇴피 위치로 출퇴 이동시키는 출퇴용 구동 장치를 구비하고,
상기 지지체가, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 지지 부재를 구비하여, 상기 지지 부재에 의해 물품을 탑재 지지하도록 구성되며, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체가, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되는 상태로 상기 승강체에 구비되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품이 지지 부재로부터 부상하는 경우라도, 그 부상한 물품이 완충체에 의해 캐치(catch)되므로, 물품의 설정 거리 이상의 부상을 방지할 수 있다. 이와 같이 물품의 지지 부재로부터의 부상을 억제함으로써, 물품이 지지 부재로부터 전락하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 완충체는 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있으므로, 물품이 완충체에 캐치되었을 때의 충격을 억제할 수 있다. 그리고, 완충체에 의해 캐치된 물품은 중력에 의해 지지 부재 상으로 낙하하지만, 그 물품을 캐치하는 지지 부재는, 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있으므로, 물품이 지지 부재에 의해 캐치되었을 때의 충격을 억제할 수 있다.
또한, 완충체는, 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되어 있다. 즉, 물품이 완충체에 접촉되지 않도록 공간이 확보되어 있으므로, 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재할 때, 완충체를 위쪽으로 퇴피시키지 않아도, 물품과 완충체와의 접촉을 피하면서, 물품을 이송탑재할 수 있다. 이와 같이, 물품의 설정 거리 이상의 부상을 방지하여 물품이 지지 부재로부터 전락하는 것을 억제할 수 있으면서, 완충체를 승강 이동시키지 않고 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재할 수 있으므로, 이송탑재 장치에 의한 물품의 이송탑재가 원활하게 행하기 용이해진다.
물품 반송 설비의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 물품 반송 설비의 정면도
도 2는 이송탑재 장치에있어서의 지지체의 일부 절결(切缺) 사시도
도 3은 용기를 탑재 지지한 위치 결정 부재를 나타낸 측면도
도 4는 용기를 탑재 지지한 상태로부터 더 단축한 위치 결정 부재를 나타낸 측면도
도 5는 내림용(unloading) 승강 정지 위치에 정지하고 있는 승강체를 나타낸 정면도
도 6은 픽업용(pick up) 승강 정지 위치에 정지하고 있는 승강체를 나타낸 정면도
도 7은 상승 중인 승강체가 비상 정지했을 때의 용기의 거동(擧動)을 나타낸 도면(통상 시)
도 8은 상승 중인 승강체가 비상 정지했을 때의 용기의 거동을 나타낸 도면(부상 시)
도 9는 상승 중인 승강체가 비상 정지했을 때의 용기의 거동을 나타낸 도면(반동시)
도 10은 제어 블록도
이하, 물품 반송 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 물품으로서의 용기(W)를 수납하는 수납부(1)를 복수 구비한 물품 수납 선반(2)과, 용기(W)를 반송하는 스태커 크레인(stacker crane)(3)과, 물품 수납 선반(2)이나 스태커 크레인(3)이 설치되는 설치 공간을 덮는 벽체(K)와, 벽체(K)를 관통하는 상태로 설치되어 용기(W)를 탑재 반송하는 입출고(入出庫) 컨베이어(4)가 구비되어 있다.
물품 수납 선반(2)은, 스태커 크레인(3)의 마스트(mast)(13)를 협지(sandwich)하여 대향하는 상태로 한 쌍 구비되어 있다. 한 쌍의 물품 수납 선반(2)의 각각에는, 수납부(1)가 상하 방향 및 선반 가로 폭 방향[도 1의 지면(紙面)와 직교하는 방향]으로 배열되는 상태로 복수 구비되어 있다. 복수의 수납부(1)의 각각에는, 수납한 용기(W)를 탑재 지지하는 탑재체(5)가 구비되어 있다. 그리고, 한 쌍의 물품 수납 선반(2)의 한쪽[도 1에 있어서 우측에 위치하는 물품 수납 선반(2)]에는, 수납부(1)에 수납되어 있는 용기(W)에 불활성 기체로서의 질소 가스를 공급하기 위한 질소 가스 공급 장치(16)가 구비되어 있다.
입출고 컨베이어(4)는, 벽체(K)의 외측에 위치하는 외부 이송탑재 개소(4a)와 벽체(K)의 내측에 위치하는 내부 이송탑재 개소(4b)와의 사이에서 용기(W)를 탑재 반송하도록 구성되어 있다. 높은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(4)의 외부 이송탑재 개소(4a)에 대해서는, 천정 반송차(搬送車)(B)가 용기(W)의 탑재 하강(loads and unloads)을 행하고, 낮은 위치에 설치되어 있는 입출고 컨베이어(4)의 외부 이송탑재 개소(4a)에 대해서는, 작업자가 용기(W)의 탑재 하강을 행하도록 되어 있다.
입출고 컨베이어(4)의 외부 이송탑재 개소(4a)에 용기(W)가 탑재되면, 상기 용기(W)는, 입출고 컨베이어(4)에 의해 외부 이송탑재 개소(4a)로부터 내부 이송탑재 개소(4b)로 탑재 반송되고, 스태커 크레인(3)에 의해 내부 이송탑재 개소(4b)로부터 수납부(1)로 반송된다[입고(入庫)]. 반대로, 또한 물품 반송 설비에서는, 스태커 크레인(3)에 의해 용기(W)가 수납부(1)로부터 입출고 컨베이어(4)의 내부 이송탑재 개소(4b)로 반송되면, 상기 용기(W)는, 입출고 컨베이어(4)에 의해 내부 이송탑재 개소(4b)로부터 외부 이송탑재 개소(4a)로 탑재 반송되고, 천정 반송차(B) 또는 작업자에 의해 외부 이송탑재 개소(4a)로부터 하강한다[출고(出庫)]. 이와 같이, 스태커 크레인(3)은, 내부 이송탑재 개소(4b)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)를 반송한다. 그리고, 내부 이송탑재 개소(4b) 및 수납부(1)가, 이송탑재 대상 개소에 상당하고, 스태커 크레인(3)이, 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재 대상 개소의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송 장치에 상당한다.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 복수 개의 반도체 기판을 수용하는 용기 본체부(6)와, 이 용기 본체부(6)보다 위쪽에 위치하여 용기(W)의 상단부에 구비된 플랜지부(7)와, 용기 본체부(6)의 전면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 폐쇄하는 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(3)은, 용기 본체부(6)의 바닥부를 탑재 지지한 상태로 용기(W)를 반송하도록 구성되며, 도 1에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(B)는, 플랜지부(7)를 현수(懸垂) 지지한 상태로 용기(W)를 반송하도록 구성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)(물품)로 하고 있다.
도 2, 도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 용기 본체부(6)의 바닥면[용기(W)의 바닥면]에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 3개의 바닥면 오목부(8)가 방사상으로 구비되어 있다. 이 바닥면 오목부(8)는, 위쪽으로 갈수록 좁은 형상으로 형성되어 있고, 바닥면 오목부(8)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다. 이 바닥면 오목부(8)는, 내부 이송탑재 개소(4b)나 수납부(1)의 용기(W)가 스태커 크레인(3)에서의 이송탑재 장치(15)의 지지체(17)에 의해 들어올려질 때, 지지체(17)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구비되어 있다. 용기(W)가 이송탑재 장치(15)의 지지체(17)에 의해 들어올려질 때, 용기(W)가 지지체(17)에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 지지체(17)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(8)의 내면에 의해 안내된다. 이로써, 용기(W)의 지지체(17)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정된다. 그리고, 바닥면 오목부(8)가, 물품의 하면에 있어서 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성된 오목부에 상당한다.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(7)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 상면 오목부(10)가 형성되어 있다. 이 상면 오목부(10)는, 아래쪽으로 갈수록 좁은 형상으로 형성되어 있고, 상면 오목부(10)의 내면이 경사면으로 형성되어 있다. 이 상면 오목부(10)는, 외부 이송탑재 개소(4a)에 용기(W)가 탑재되어 있는 상태로 천정 반송차(B)가 지지 기구(機構)(b)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(b)에 구비되어 있는 압압부(押壓部)가 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 그리고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(B)가 지지 기구(b)를 하강 이동시켰을 때, 탑재대(1a)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 지지 기구(b)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 압압부가 상면 오목부(10)의 내면에 의해 안내된다. 이로써, 지지 기구(b)의 용기(W)에 대한 수평 방향에서의 위치가 적정한 위치로 수정된다. 그리고, 플랜지부(7)의 상면에서의 상면 오목부(10)를 제외한 부분은, 평탄한 면으로 형성되어 있다. 플랜지부(7)의 상면에서의 상면 오목부(10)를 제외한 부분이, 용기(W)의 천정면에 상당한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(3)은, 한 쌍의 물품 수납 선반(2)의 사이에 형성된 주행 경로를 선반 가로 폭방향을 따라 주행하는 주행 대차(carriage)(12)와, 그 주행 대차(12)에 세워 설치된 마스트(13)를 따라 승강 이동하는 승강체(14)와, 승강체(14)에 지지되어 자기와 수납부(1)나 내부 이송탑재 개소(4b)와의 사이에서 용기(W)를 이송탑재하는 이송탑재 장치(15)를 구비하고 있다. 스태커 크레인(3)은, 주행용 모터(12a)(도 10 참조)의 구동에 의해 주행 대차(12)가 주행하고, 승강용 모터(14a)(도 10 참조)의 구동에 의해 승강체(14)가 승강하고, 및 이송탑재 장치(15)의 작동에 의해, 내부 이송탑재 개소(4b)와 수납부(1)와의 사이에서 용기(W)를 반송하도록 구성되어 있다.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 이송탑재 장치(15)는, 용기(W)를 탑재 지지하는 지지체(17)와, 지지체(17)를 수평 방향을 따라 이동시키는 링크 기구(18)와, 링크 기구(18)의 기부(基部)가 연결된 회전대(19)와, 링크 기구(18)를 신축(伸縮)시켜 지지체(17)를 출퇴 이동시키는 출퇴용 모터(20)(도 10 참조)와, 회전대(19)를 세로 축심 주위로 회전시키는 선회용(旋回用) 모터(21)(도 10 참조)가 구비되어 있다.
출퇴용 모터(20)의 구동에 의해 링크 기구(18)를 신축시킴으로써 지지체(17)가 출퇴 방향을 따라 이동한다. 지지체(17)는, 이와 같이 출퇴 방향을 따라 이동함으로써, 승강체(14)를 향해 퇴피시킨 퇴피 위치(도 5 및 도 6에 있어서 실선으로 나타낸 위치)와 수납부(1)를 향해 돌출된 돌출 위치(도 5 및 도 6에 있어서 가상선으로 나타낸 위치)로 출퇴 이동한다. 그리고, 출퇴용 모터(20)가, 지지체(17)를 돌출 위치와 퇴피 위치로 출퇴 이동시키는 출퇴용 구동 장치에 상당한다.
또한, 선회용 모터(21)의 구동에 의해 회전대(19)를 회전시켜 지지체(17) 및 링크 기구(18)를 세로 축심 주위로 선회(旋回)시킴으로써, 이송탑재 장치(15)의 자세가, 한 쌍의 물품 수납 선반(2) 중 한쪽에 대향하는 자세와 다른 쪽에 대향하는 자세로 전환된다. 이와 같이 이송탑재 장치(15)의 자세를 전환함으로써, 지지체(17)가 돌출하는 방향을, 한 쌍의 물품 수납 선반(2) 중 한쪽의 물품 수납 선반(2)이 존재하는 방향과 다른 쪽의 물품 수납 선반(2)이 존재하는 방향으로 전환된다.
다음에, 스태커 크레인(3)의 작동을 제어하는 제어 장치(H)에 대하여 설명한다. 스태커 크레인(3)은, 지상에 설치된 레일 상을 주행하는 주행 대차(12)에 지지되어, 선반 가로 폭 방향으로 이동 가능하다. 스태커 크레인(3)[주행 대차(12)]에는, 복수의 수납부(1)의 각각 및 복수의 내부 이송탑재 개소(4b)의 각각에 대하여, 선반 가로 폭 방향에서의 위치가 정해진 주행 정지 위치가 미리 설정되어 있다. 또한, 스태커 크레인(3)[이송탑재 장치(15)]에는, 복수의 수납부(1)의 각각 및 복수의 내부 이송탑재 개소(4b)의 각각에 대하여, 상하 방향에서의 위치가 정해진 픽업용 승강 정지 위치(도 6 참조)가 미리 설정되어 있다. 또한, 그 픽업용 승강 정지 위치보다 설정량이 높은 내림용 승강 정지 위치(도 5 참조)도 미리 설정되어 있다. 이들 주행 정지 위치의 정보, 픽업용 승강 정지 위치의 정보 및 내림용 승강 정지 위치의 정보는, 제어 장치(H)에 기억되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 픽업용 정지 위치의 높이에 승강체(14)가 위치하고 있는 상태에서는, 지지체(17)가 탑재체(5)보다 아래쪽에 위치하고 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 내림용 정지 위치의 높이에 승강체(14)가 위치하고 있는 상태에서는, 지지체(17)가 탑재체(5)보다 위쪽에 위치하고 있다.
제어 장치(H)는, 수납부(1)나 내부 이송탑재 개소(4b)를 반송원(搬送元)이나 반송처(搬送處)로 하여, 상위의 관리 수단(도시하지 않음)으로부터 반송원으로부터 반송처까지 용기(W)를 반송하는 반송 지령이 지령되면 물품 반송 제어를 실행한다. 이 물품 반송 제어에서는, 픽업용 이동 제어, 픽업용 이송탑재 제어, 내림용 이동 제어, 내림용 이송탑재 제어의 순으로 실행된다.
픽업용 이동 제어에서는, 제어 장치(H)는, 반송원에 대응하는 주행 정지 위치에 주행 대차(12)를 주행시키기 위해 주행용 모터(12a)의 작동을 제어하고, 반송원에 대응하는 픽업용 승강 정지 위치로 승강체(14)를 승강 이동시키기 위해 승강용 모터(14a)의 작동을 제어한다. 또한, 이송탑재 장치(15)의 자세가 반송원에 대향하는 자세가 아닐 경우에는, 픽업용 이동 제어에 있어서, 제어 장치(H)는, 회전대(19)를 180°회전시키기 위해 선회용 모터(21)의 작동을 제어한다.
픽업용 이송탑재 제어에서는, 제어 장치(H)는, 지지체(17)를 돌출 위치로 돌출(도 6에 가상선으로 나타낸 상태)시킨 후, 반송원에 대응하는 내림용 승강 정지 위치까지 승강체(14)를 상승 이동(도 5에 가상선으로 나타낸 상태)시키고, 그 후, 지지체(17)를 퇴피 위치로 퇴피(도 5에 실선으로 나타낸 상태)시키기 위해, 승강용 모터(14a) 및 출퇴용 모터(20)의 작동을 제어한다. 제어 장치(H)가, 이들 픽업용 이동 제어와 픽업용 이송탑재 제어를 실행함으로써, 반송원에 위치하고 있던 용기(W)가 지지체(17) 상으로 이송탑재된다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 내림용 이동 제어에서는, 반송처에 대응하는 주행 정지 위치에 주행 대차(12)를 주행시키기 위해 주행용 모터(12a)의 작동을 제어하고, 반송처에 대응하는 내림용 승강 정지 위치에 승강체(14)를 승강 이동시키기 위해 승강용 모터(14a)의 작동을 제어한다. 또한, 이송탑재 장치(15)의 자세가 반송처에 대향하는 자세가 아닐 경우에는, 내림용 이동 제어에 있어서, 회전대(19)를 180°회전시키기 위해 선회용 모터(21)의 작동을 제어한다.
내림용 이송탑재 제어에서는, 지지체(17)를 돌출 위치로 돌출(도 5에 가상선으로 나타낸 상태)시킨 후, 반송처에 대응하는 픽업용 승강 정지 위치까지 승강체(14)를 하강 이동(도 6에 가상선으로 나타낸 상태)시키고, 그 후, 지지체(17)를 퇴피 위치로 퇴피(도 6에 실선으로 나타낸 상태)시키기 위해, 승강용 모터(14a) 및 출퇴용 모터(20)의 작동을 제어한다. 제어 장치(H)가, 이들 내림용 이동 제어와 내림용 이송탑재 제어를 실행함으로써, 이송탑재 장치(15)의 지지체(17) 상에 위치하고 있던 용기(W)가 반송처로 이송탑재된다.
벽체(K)에는, 스태커 크레인(3)이 주행하는 주행 경로에 작업자가 외부로부터 진입하기 위한 개폐 도어(도시하지 않음)와, 그 개폐 도어의 개폐 상태를 검출하는 개폐 센서(S)가 구비되어 있다. 제어 장치(H)는, 물품 반송 제어의 실행 중에 개폐 센서(S)에 의해 개폐 도어의 개방 상태가 검출된 경우에는, 그 개폐 센서(S)의 검출 정보에 기초하여, 물품 반송 제어를 중단하여 스태커 크레인(3)을 비상 정지시키는 비상 정지 제어를 실행하도록 구성되어 있다.
그리고, 이와 같이 스태커 크레인(3)이 비상 정지했을 때, 특히, 픽업용 이동 제어나 내림용 이동 제어의 실행 중에 있어서 승강대가 승강 이동하고 있을 때 스태커 크레인(3)이 비상 정지했을 때는, 용기(W)가 이송탑재 장치(15)로부터 전락할 가능성이 있다. 이와 같은 전락의 방지나, 용기(W)에 가해지는 충격을 완화하기 위해, 이송탑재 장치(15)에서의 위치 결정 부재(9)의 구조가 연구되어 있는 동시에, 이송탑재 장치(15)에는 완충체(29)가 구비되어 있다. 구체적으로는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(3)의 이송탑재 장치(15)에 있어서 용기(W)를 탑재 지지하는 위치 결정 부재(9)가 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있다. 본 명세서에 있어서, 「어떤 물품이 상하 방향으로 탄성 변형 가능하다」라고 설명되어 있는 경우, 이것은, 그 물품 중 적어도 일부가 압력 하에서 그 형상 또는 치수가 탄성적으로 상하 방향으로 변화 가능하다는 의미이다. 또한, 도 5∼도 9에 나타낸 바와 같이, 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)의 위쪽에 위치하도록 완충체(29)가 구비되어 있다. 이하, 이들 위치 결정 부재(9)나 완충체(29)에 대하여 설명한다.
이송탑재 장치(15)의 지지체(17)는, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 위치 결정 부재(9)를 구비하여, 상기 위치 결정 부재(9)에 의해 용기(W)를 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 지지체(17)는, 링크 기구(18)의 선단부에 연결되어 출퇴용 모터(20)에 의해 출퇴 방향을 따라 출퇴 이동되는 베이스 부재(24)와, 베이스 부재(24)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 베이스 부재(24)에 지지되어 있는 지지 부재로서의 위치 결정 부재(9)를 구비하고 있다. 위치 결정 부재(9)는, 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 대응하여 지지체(17)의 3개소에 구비되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 위치 결정 부재(9)는, 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 걸어맞춤부(25)와, 걸어맞춤부(25)와 베이스 부재(24)와의 사이에 상하 방향으로 신축 가능한 상태로 개재(介在)되는 탄성부(26)와, 위치 결정 부재(9)와 베이스 부재(24)와의 사이에 상하 방향으로 신축 가능한 상태로 개재되는 완충부(27)를 구비하고 있다. 걸어맞춤부(25)는, 베이스 부재(24)의 관통공(24a)에 삽통(揷通)되는 삽통부(25a)와, 베이스 부재(24)의 상면보다 위쪽에 위치하여 관통공(24a)보다 대경(大徑)의 걸어맞춤 지지부(25b)와, 베이스 부재(24)의 하면보다 아래쪽에 위치하여 관통공(24a)보다 대경의 걸림부(25c)를 구비하고 있다.
그리고, 탄성부(26)는, 베이스 부재(24)의 상면과 걸어맞춤 지지부(25b)의 하면과의 사이에 상하 방향으로 압축된 상태로 구비되어 있고, 걸어맞춤부(25)를 위쪽을 향해 가압하는 상태로 구비되어 있다. 이 탄성부(26)는, 상하 방향으로 중첩된 복수 개의 접시 스프링에 의해 구성되어 있다. 또한, 완충부(27)는, 가압력에 의해 탄성부(26)가 베이스 부재(24)에 대하여 상승 이동했을 때의 충격을 완화하도록, 베이스 부재(24)의 하면과 걸림부(25c)의 상면과의 사이에 구비되어 있다. 이 완충부(27)는, 링 형상의 탄성 부재(예를 들면, 우레탄고무)에 의해 구성되어 있다.
도 5∼도 9에 나타낸 바와 같이, 완충체(29)는, 승강체(14)에 세워 설치된 프레임체(30)에 지지되어 있고, 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 위쪽으로 설정 거리 L1만큼 이격되는 상태로 승강체(14)에 구비되어 있다. 이와 같이 구비되어 있는 완충체(29)는, 승강체(14)와 일체로 이동하도록 승강체(14)에 구비되어 있다. 완충체(29)는, 박판형(薄板形)으로 형성되어 있고, 수평 방향을 따른 자세로 구비되어 있다. 완충체(29)의 하면은 평탄면으로 형성되어 있고, 용기(W)의 천정면을 따르는 형상으로 형성되어 있다. 이 완충체(29)는, 비교적 비중이 작은 다공질형의 탄성 부재(예를 들면, 실리콘 스펀지)에 의해 구성되어 있다.
설정 거리 L1(도 7 참조)은, 위치 결정 부재(9)가 용기(W)를 탑재 지지하고 있는 상태에 있어서 바닥면 오목부(8)에 걸어맞추어져 있는 위치 결정 부재(9) 중 바닥면 오목부(8)에 삽입되는 부분의 상하 방향의 길이인 삽입 길이 L2(도 3 참조)보다 짧은 길이로 설정되어 있다. 그리고, 설정 거리 L1은, 용기(W)가 가장 무거워지는 조건 하에서 정해져 있고, FOUP의 경우에는 반도체 기판을 만재(滿載)한 상태로 정해져 있다. 용기(W)가 가장 무거워지는 조건일 때, 위치 결정 부재(9)는 가장 퇴피한다. 따라서, 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)의 상단(上端)과 완충체(29)와의 거리(설정 거리 L1에 대응함)는, 이 때 가장 길어진다. 이 상태에 있어서도, "L1<L2"가 만족되도록, 설정 거리 L1이 정해져 있다.
그리고, 용기(W)가 가장 가벼워지는 조건일 때는, 위치 결정 부재(9)는 용기(W)가 가장 무거워지는 조건일 때에 비해 신장되어 있다. 따라서, 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)의 상단과, 완충체(29)와의 거리(설정 거리 L1에 대응함)는, 이 때 가장 짧아진다. 설정 거리 L1은, 이 조건에 있어서도, 용기(W)와 완충체(29)가 이격되도록, 정해져 있다. 즉, 설정 거리 L1은, 용기(W)가 가장 가벼워지는 조건일 때, 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)의 상단과 완충체(29)가 이격되고, 또한 용기(W)가 가장 무거워지는 조건일 때라도"L1<L2"가 만족되도록, 정해져 있다.
전술한 바와 같이, 위치 결정 부재(9)가 용기(W)를 탑재 지지하고 있는 상태에 있어서, 용기(W)와 완충체(29)와는 설정 거리 L1만큼 이격되어 있다. 따라서, 이송탑재 장치(15)가 지지체(17)를 퇴피 위치나 돌출 위치로 출퇴 이동시킬 때, 그 지지체(17)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)는, 완충체(29)에 접촉하지 않는다.
이와 같이, 이송탑재 장치(15)에는, 용기(W)를 탑재 지지하는 위치 결정 부재(9)가 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되며, 이 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)의 위쪽에 위치하도록 완충체(29)가 구비되어 있다. 그러므로, 예를 들면, 승강체(14)가 상승 이동하고 있는 도중에 비상 정지한 경우에는, 다음과 같은 거동으로 된다.
먼저, 픽업용 이동 제어나 내림용 이동 제어에 의해, 통상의 가감(加減) 속도 및 통상의 승강 속도로 승강대가 상승 이동하고 있는 경우에는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 용기(W)는, 3개의 위치 결정 부재(9)에 탑재 지지되어 있다. 이때, 용기(W)와 완충체(29)와의 사이에는 적어도 설정 거리 L1의 공간이 확보되어 있다. 이 때, 도 3에 나타낸 바와 같이, 3개의 위치 결정 부재(9)는, 가장 신장시킨 상태로부터 약간 단축된 상태로 되어 있다.
여기서, 비상 정지 제어가 실행되어, 통상의 감속도 이상의 감속도로 감속되었을 경우, 도 8에 나타낸 바와 같이, 관성에 의해 용기(W)는 위치 결정 부재(9)(지지 부재)로부터 부상할 가능성이 있다. 이 때, 그 부상한 용기(W)는, 완충체(29)에 의해 캐치된다. 따라서, 용기(W)를 캐치하는 충격을 억제하면서 용기(W)의 위치 결정 부재(9)로부터의 전락이 방지된다. 이 때, 3개의 위치 결정 부재(9)가 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 삽입된 상태로 유지되어 있지만, 이들 위치 결정 부재(9)는 가장 신장된 상태로 되어 있다. 전술한 바와 같이, "L1<L2"가 만족되도록, 설정 거리 L1이 정해져 있다. 따라서, 부상한 용기(W)가, 완충체(29)에 의해 캐치되어 있는 상태에서도, 위치 결정 부재(9)는, 바닥면 오목부(8)에 삽입되어 있는 상태로 유지된다.
그 후, 도 9에 나타낸 바와 같이, 완충체(29)의 탄성력 및 중력에 의해, 용기(W)는, 위치 결정 부재(9)에 대하여 부상한 상태로부터 위치 결정 부재(9)에 접촉하는 상태로 된다. 즉, 부상의 반동(反動)으로서, 위치 결정 부재(9)에 대하여 낙하한다. 이 때, 용기(W)는, 탄성력을 가지는 위치 결정 부재(9)에 의해 캐치되므로, 반동의 충격을 억제할 수 있다. 이와 같이 스태커 크레인(3)이 비상 정지해도, 용기(W)가 승강체(14)로부터 낙하하는 것이나, 부상 및 복귀 시에 용기(W)에 강한 충격이 가해지는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 용기(W)가 위치 결정 부재(9)로부터 부상한다는 것은, 용기(W)가 위치 결정 부재(9)에 의해 탑재 지지되어 있는 상태에서의 위치 결정 부재(9)의 하단(下端)[탄성부(26)의 하단]으로부터 용기(W)의 하단까지의 상하 방향의 거리에 비하여, 이 위치 결정 부재(9)의 하단[탄성부(26)의 하단]으로부터 용기(W)의 하단까지의 상하 방향의 거리가 길어지는 것을 의미하고 있다. 그러므로, 용기(W)가 위치 결정 부재(9)로부터 부상하는데 수반하여 위치 결정 부재(9)가 위쪽으로 신장됨으로써, 용기(W)가 위치 결정 부재(9)로부터 부상하고 있는 상태에서도 위치 결정 부재(9)에서의 걸어맞춤부(25)의 상단부가 용기(W)의 바닥면 오목부(8)에 접촉되고 있는 경우가 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 지지 부재를, 핀형으로 형성한 위치 결정 부재(9)에 의해 구성하는 예를 나타낸다. 그러나, 지지 부재는, 용기(W)의 바닥면 전체를 탑재 지지하는 판형의 지지판을 구비한 것으로 하는 등, 지지 부재에 의해 용기(W)를 탑재 지지하는 형태는 상하 방향으로 탄성 변형 가능하면 다른 형태라도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 설정 거리 L1을, 삽입 길이 L2보다 짧게 설정하는 형태를 예시했다. 그러나, 설정 길이 L1은, 삽입 길이 L2와 같거나 또는 길어도 된다.
(3) 또한, 설정 거리 L1은, 삽입 길이 L2와 위치 결정 부재(9)의 상하 방향의 신축량(伸縮量)에 따라 설정해도 된다. 즉, 용기(W)가 위치 결정 부재(9)로부터 부상했을 때 용기(W)의 부상에 추종하여 위치 결정 부재(9)가 위쪽으로 신장되지만, 설정 거리 L1을, 부상한 용기(W)가 완충체(29)에 의해 캐치된 상태에서, 부상한 용기(W)에서의 바닥면 오목부(8)의 하단이 위쪽으로 신장시킨 위치 결정 부재(9)의 상단보다 아래쪽에 위치하도록 한 거리로 설정해도 된다. 요컨대, 설정 거리 L1은, 부상한 용기(W)가 완충체(29)에 접촉하는 거리인 것이 바람직하지만, 보다 적절하게 용기(W)의 전락을 방지하기 위해, 설정 거리 L1을, 부상한 용기(W)가 완충체(29)에 의해 캐치된 상태에서 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(8)에 삽입되어 있는 거리로 설정하는 것이 바람직하다.
(4) 또한, 상기 실시형태에서는, 위치 결정 부재(9)의 복원력을, 위치 결정 부재(9)에 의해 용기(W)를 탑재 지지했을 때 위치 결정 부재(9)가 가장 신장시킨 상태와 가장 단축된 상태와의 중간의 상태로 되는 힘으로 설정하는 형태를 예시했다. 그러나, 위치 결정 부재(9)의 복원력은, 위치 결정 부재(9)에 의해 용기(W)를 탑재 지지했을 때, 위치 결정 부재(9)가 가장 신장된 상태로 되거나, 또는 가장 단축된 상태로 되는 힘으로 설정되어도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 완충체(29)의 형상을, 용기(W)의 천정면을 따르는 형상으로 형성하였으나, 완충체(29)의 형상을, 상면 오목부(10)에 끼워맞추어지는 부분을 구비하여 용기(W)의 플랜지부(7)의 상면을 따르는 형상으로 형성하거나, 또는 완충체(29)의 형상을, 용기(W)의 용기 본체부(6)의 상면을 따르는 형상으로 형성하는 등, 물품에서의 천정면 이외의 상면을 따르는 형상으로 형성해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 탄성부(26)를, 복수 개의 접시 스프링에 의해 구성하였지만, 탄성부(26)를, 코일 스프링이나 실리콘 스펀지 등의 다른 탄성 부재에 의해 구성해도 된다. 또한, 완충체(29)를, 실리콘 스펀지에 의해 구성하였지만, 완충체(29)를, 고무 시트나 코일 스프링 등의 다른 탄성 부재에 의해 구성해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 위치 결정 부재(9)에, 베이스 부재(24)와 걸어맞춤부(25)와 탄성부(26)를 구비하여 위치 결정 부재(9)를 상하 방향으로 신축 가능하게 구성하였지만, 위치 결정 부재(9)의 전체를 고무 등의 탄성 부재에 의해 구성하여 위치 결정 부재(9)를 상하 방향으로 신축 가능하게 구성해도 된다.
(7) 상기 실시형태에서는, 물품을 FOUP로 하였으나, 물품은, 컨테이너나 카톤(carton) 케이스 등의 다른 용기나 용기 이외의 것이라도 된다.
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 간단하게 설명한다.
일 태양으로서, 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재 대상 개소의 사이에서 물품을 반송하는 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비는, 상기 물품 반송 장치가, 상하 방향을 따라 승강 이동하는 승강체와, 상기 승강체에 지지되어 자기와 상기 이송탑재 대상 개소와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치를 구비하고, 상기 이송탑재 장치가, 물품을 탑재 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이송탑재 대상 개소를 향해 돌출된 돌출 위치와 상기 승강체를 향해 퇴피시킨 퇴피 위치로 출퇴 이동시키는 출퇴용 구동 장치를 구비하고,
상기 지지체가, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 지지 부재를 구비하여, 상기 지지 부재에 의해 물품을 탑재 지지하도록 구성되며, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체가, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되는 상태로 상기 승강체에 구비되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품이 지지 부재로부터 부상하는 경우라도, 그 부상한 물품이 완충체에 의해 캐치되므로, 물품의 설정 거리 이상의 부상을 방지할 수 있다. 이와 같이 물품의 지지 부재로부터의 부상을 억제함으로써, 물품이 지지 부재로부터 전락하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 완충체는 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있으므로, 물품이 완충체에 캐치되었을 때의 충격을 억제할 수 있다. 그리고, 완충체에 의해 캐치된 물품은 중력에 의해 지지 부재 상으로 낙하하지만, 그 물품을 캐치하는 지지 부재는, 상하 방향으로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있으므로, 물품이 지지 부재에 의해 캐치되었을 때의 충격을 억제할 수 있다.
또한, 완충체는, 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되어 있다. 즉, 물품이 완충체에 접촉되지 않도록 공간이 확보되어 있으므로, 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재할 때, 완충체를 위쪽으로 퇴피시키지 않아도, 물품과 완충체와의 접촉을 피하면서, 물품을 이송탑재할 수 있다. 이와 같이, 물품의 설정 거리 이상의 부상을 방지하여 물품이 지지 부재로부터 전락하는 것을 억제할 수 있으면서, 완충체를 승강 이동시키지 않고 이송탑재 장치에 의해 물품을 이송탑재할 수 있으므로, 이송탑재 장치에 의한 물품의 이송탑재가 원활하게 행하지기 용이해진다.
여기서, 상기 지지체가, 상기 출퇴용 구동 장치에 의해 출퇴 이동되는 베이스 부재를 구비하고, 상기 지지 부재가, 상기 베이스 부재로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 상기 지지체에 구비되고, 상기 지지 부재가, 물품의 하면에 있어서 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성된 오목부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 걸어맞춤부와, 상기 걸어맞춤부와 상기 베이스 부재와의 사이에 상하 방향으로 신축 가능한 상태로 개재되어 상기 걸어맞춤부를 위쪽으로 가압하는 탄성부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 걸어맞춤부와 베이스 부재와의 사이에 개재하는 탄성부가 상하 방향으로 신축됨으로써 지지 부재가 상하 방향으로 탄성 변형된다. 그러므로, 지지 부재에서의 걸어맞춤부는 상하 방향으로 탄성 변형되는 구성으로 할 필요가 없어, 걸어맞춤부를 경질(硬質)로 구성하여 그 경질인 걸어맞춤부를 오목부에 걸어맞추어 물품을 탑재 지지함으로써, 지지 부재에 의해 물품을 안정적으로 탑재 지지하기 용이해진다. 또한, 지지 부재에서의 걸어맞춤부가 오목부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어져 있으므로, 지지 부재에 의해 물품의 수평 방향으로의 위치 어긋남을 규제할 수 있어, 이 점에서도 지지 부재에 의해 물품을 안정적으로 탑재 지지할 수 있다.
또한, 상기 설정 거리가, 상기 지지 부재가 물품을 탑재 지지하고 있는 상태에 있어서 상기 오목부에 걸어맞추어져 있는 상기 걸어맞춤부 중 상기 오목부에 삽입되는 부분의 상하 방향의 길이인 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 설정 거리가 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있으므로, 물품이 지지 부재로부터 부상하여 상기 물품이 완충체에 접촉되었을 때는, 상단을 포함하는 걸어맞춤부의 일부가 오목부에 삽입된 상태가 유지된다. 그러므로, 물품이 지지 부재로부터 부상한 상태에서도, 상단을 포함하는 걸어맞춤부의 일부가 오목부에 접촉함으로써, 지지 부재에 의해 물품의 수평 방향으로의 위치 어긋남을 규제할 수 있어, 물품의 지지 부재로부터의 전락을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 상기 설정 거리는, 상기 물품이 가장 가벼워지는 조건일 때, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 상기 물품의 상단과, 상기 완충체의 하단이 이격되고, 또한 상기 물품이 가장 무거워지는 조건일 때라도, 상기 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있는 것이 바람직하다.
물품이 가장 가벼워지는 조건일 때는, 지지 부재(걸어맞춤부)는, 물품이 가장 무거워지는 조건일 때 비해 신장되어 있다. 따라서, 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품의 상단과 완충체와의 거리(설정 거리에 대응함)는, 이 때 가장 짧아진다. 설정 거리가, 이 조건에 있어서도, 물품과 완충체가 이격되도록 정해져 있으므로, 물품이 가벼워도, 물품의 상단과 완충체와의 사이에 간극을 확보할 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 설정 거리가 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있으므로, 물품이 지지 부재로부터 부상하여 상기 물품이 완충체에 접촉되었을 때라도, 걸어맞춤부의 일부가 오목부에 삽입된 상태가 유지된다.
또한, 상기 완충체의 하면이, 물품의 상면을 따르는 형상으로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 물품이 지지 부재로부터 부상했을 때, 물품의 상면이 완충체의 하면에 면접촉하여 물품의 부상이 완충체에 의해 캐치되므로, 완충체에 의해 물품을 캐치했을 때의 물품의 자세의 변화를 최대한 억제할 수 있다.
또한, 물품의 천정면이 평탄한 면으로 형성되고, 상기 완충체가, 판형으로 형성되어, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품의 천정면을 따르는 자세로 상기 승강체에 구비되어 있으므로, 바람직하다.
이 구성에 의하면, 판형으로 형성한 완충체를, 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품의 천정면을 따르는 자세로 승강체에 구비하는 것만으로 되므로, 완충체를 용이하게 형성할 수 있고 또한 완충체를 용이하게 설치할 수 있다.
1; 수납부(이송탑재 대상 개소)
3; 스태커 크레인(물품 반송 장치)
4b; 내부 이송탑재 개소(이송탑재 대상 개소)
8; 바닥면 오목부
9; 위치 결정 부재(지지 부재)
14; 승강체
15; 이송탑재 장치
17; 지지체
20; 출퇴용 모터(출퇴용 구동 장치)
24; 베이스 부재
25; 걸어맞춤부
26; 탄성부
29; 완충체
L1; 설정 거리
L2; 삽입 길이
W; 용기(물품)

Claims (6)

  1. 상하 방향으로 배열되는 복수의 이송탑재(移載; transfer) 대상 개소(箇所)의 사이에서 물품을 반송(搬送)하는 물품 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비로서,
    상기 물품 반송 장치는, 상하 방향을 따라 승강 이동하는 승강체; 및 상기 승강체에 지지되어 자기(自己)와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 물품을 이송탑재하는 이송탑재 장치;를 구비하고,
    상기 이송탑재 장치는, 물품을 탑재 지지하는 지지체; 및 상기 지지체를 상기 이송탑재 대상 개소를 향해 돌출된 돌출 위치와 상기 승강체를 향해 퇴피시킨 퇴피 위치로 출퇴(出退) 이동시키는 출퇴용 구동 장치;를 구비하고,
    상기 지지체가, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 지지 부재를 구비하여, 상기 지지 부재에 의해 물품을 탑재 지지하도록 구성되며,
    상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체가, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 물품에 대하여 위쪽으로 설정 거리만큼 이격되는 상태로 상기 승강체에 구비되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지체가, 상기 출퇴용 구동 장치에 의해 출퇴 이동되는 베이스 부재를 구비하고,
    상기 지지 부재가, 상기 베이스 부재로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 상기 지지체에 구비되고, 상기 지지 부재가, 물품의 하면에 있어서 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성된 오목부에 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 걸어맞춤부; 및 상기 걸어맞춤부와 상기 베이스 부재 사이에 상하 방향으로 신축(伸縮) 가능한 상태로 개재되어 상기 걸어맞춤부를 위쪽으로 가압하는 탄성부;를 구비하고 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 설정 거리가, 상기 지지 부재가 물품을 탑재 지지하고 있는 상태에 있어서 상기 오목부에 걸어맞추어져 있는 상기 걸어맞춤부 중 상기 오목부에 삽입되는 부분의 상하 방향의 길이인 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 설정 거리는, 상기 물품이 가장 가벼워지는 조건일 때, 상기 지지 부재에 탑재 지지되어 있는 상기 물품의 상단(上端)과, 상기 완충체의 하단(下端)이 이격되고, 또한 상기 물품이 가장 무거워지는 조건일 때라도, 상기 삽입 길이보다 짧은 길이로 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 완충체의 하면이, 물품의 상면을 따르는 형상으로 형성되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 물품의 천정면이 평탄한 면으로 형성되고,
    상기 완충체가, 판형으로 형성되어, 상기 지지체에 탑재 지지되어 있는 물품의 천정면을 따르는 자세로 상기 승강체에 구비되어 있는, 물품 반송 설비.
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