JP2022101200A - 物品搬送車 - Google Patents
物品搬送車 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022101200A JP2022101200A JP2020215637A JP2020215637A JP2022101200A JP 2022101200 A JP2022101200 A JP 2022101200A JP 2020215637 A JP2020215637 A JP 2020215637A JP 2020215637 A JP2020215637 A JP 2020215637A JP 2022101200 A JP2022101200 A JP 2022101200A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- pair
- respect
- traveling
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 173
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 70
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 26
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 19
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
- B66C1/22—Rigid members, e.g. L-shaped members, with parts engaging the under surface of the loads; Crane hooks
- B66C1/28—Duplicate, e.g. pivoted, members engaging the loads from two sides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C11/00—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
- B66C11/02—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways with operating gear or operator's cabin suspended, or laterally offset, from runway or track
- B66C11/04—Underhung trolleys
- B66C11/06—Underhung trolleys running on monorails
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67775—Docking arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C19/00—Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
以下、本発明に係る物品搬送車を物品搬送設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール2に沿って走行自在な天井搬送車として構成された物品搬送車1と、物品6に収容されている基板に対して処理を行う処理装置3と、その処理装置3に隣接する状態で床面上に設置された支持台等の載置箇所4と、が設けられている。ここで、支持台は、物品搬送車1による物品6の載置箇所4の一例である。このように、本実施形態では、走行レール2によって物品搬送車1の走行経路が構成されている。物品搬送車1によって搬送される物品6は、収容物を収容する搬送容器であり、具体的には、収容物として複数の半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unify Pod)である。
図2に示すように、本実施形態に係る物品6は、複数枚の基板を収容する本体部7と、この本体部7より上方である物品6の上部に備えられたフランジ部9と、を備えている。また、この物品6は、本体部7の前面に形成された基板出し入れ用の開口を閉じる蓋体5(図6参照)を備えている。蓋体5は、本体部7に対して着脱自在に設けられている。なお、以下では、上下方向Zに沿う上下方向視で、物品6の中心から蓋体5に直交する方向を物品前後方向とし、物品前後方向と直交する方向を物品左右方向とする。
次に、物品搬送車1について説明する。ここでは、物品搬送車1の走行方向に沿う方向を走行方向Xと称し、走行方向Xと上下方向視で直交する方向を幅方向Yと称して説明する。本実施形態では、物品6はその物品左右方向が物品搬送車1の走行方向Xに沿う向きで支持される。そのため、以下では、物品6が保持装置23にて保持されている状態を基準として、物品6の物品左右方向を走行方向Xとし、物品6の物品前後方向を幅方向Yとして説明する。
次に、物品搬送車1の保持装置23について説明する。
図3~図5に示すように、物品搬送車1の保持装置23は、昇降装置24に連結された連結部31と、物品6に接触して物品6を支持する物品支持部51と、を備えている。本実施形態では、連結部31は、巻取りベルト24aの先端部に連結されている。そのため、連結部31は、昇降装置24によって昇降される。連結部31は、後述する弾性支持機構36及び案内機構37を支持する支持体31aと、支持体31aに取り付けられて、弾性支持機構36及び案内機構37を覆う箱状の筐体31bと、を備えている。また、本実施形態では、保持装置23は、物品支持部51を構成する一対の把持部50を互いに接近及び離間させる方向に駆動する把持駆動機構30を備えている。この把持駆動機構30も、支持体31aに支持され、筐体31bの内部に収容されている。
次に、保持装置23に保持された状態の物品6を、昇降装置24により下降させて直下の載置箇所4に載置する(移載する)場合の動作について説明する。
次に、物品搬送車のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送車の概要について説明する。
また、本構成によれば、案内機構が、連結部に対する物品支持部の揺動を規制するように構成されているため、物品支持部が連結部に対して傾くことを規制できる。そのため、例えば物品の重心に偏りがあること等によって物品支持部に対して偏った荷重が作用した場合であっても、物品支持部及び物品支持部に支持された物品が連結部に対して傾くことを規制することができる。従って、昇降装置によって保持装置を下降させて物品を載置箇所に載置する場合に、物品の姿勢が適正姿勢に対して傾くことで物品を適切に載置できない事態が生じることを回避することができる。一方、案内機構は、連結部に対する物品支持部の上下方向の平行移動を許容する。そのため、物品支持部及び物品支持部に支持された物品に作用する上下方向の振動を弾性支持機構によって緩和する効果が案内機構によって妨げられることはない。
このように本構成によれば、物品に伝わる振動を少なく抑えることができるようにしつつ、物品が適正な姿勢に対して傾くことを抑制して物品を載置箇所に適切に載置することができる。
6 :物品
9 :フランジ部
11 :底部
23 :保持装置
24 :昇降装置
31 :連結部
32 :物品支持部
50 :把持部
36 :弾性支持機構
36a :弾性体
37 :案内機構
37a :直動案内機構
B :係合凹部
P :係合凸部
X :走行方向
Y :幅方向
Z :上下方向
Claims (5)
- 走行経路に沿って走行する走行体と、物品を保持する保持装置と、前記走行体に搭載され前記保持装置を前記走行体に対して昇降させる昇降装置と、を備え、
前記保持装置が、前記昇降装置に連結された連結部と、前記物品に接触して前記物品を支持する物品支持部と、を備えた物品搬送車であって、
前記保持装置が、前記物品支持部と前記連結部との間に設けられて前記物品支持部を前記連結部に対して上下方向に弾性を有する状態で支持する弾性支持機構と、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の移動を案内する案内機構と、を備え、
前記案内機構が、前記連結部に対する前記物品支持部の前記上下方向の平行移動を許容すると共に、前記連結部に対する前記物品支持部の揺動を規制するように構成されている、物品搬送車。 - 前記物品支持部は、一対の把持部を備え、
一対の前記把持部は、前記走行経路に沿う方向である走行方向に互いに離間して配置され、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部が互いに独立して上下動するように一対の前記把持部を支持しており、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについての前記連結部に対する前記上下方向の移動を案内するように構成されている、請求項1に記載の物品搬送車。 - 前記上下方向に沿う上下方向視で前記走行方向に直交する方向を幅方向として、
前記弾性支持機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の弾性体を備え、
前記案内機構は、一対の前記把持部のそれぞれについて、前記幅方向に離間して配置された一対の直動案内機構を備え、
一対の前記把持部のそれぞれにおいて、一対の前記直動案内機構が一対の前記弾性体よりも前記幅方向の外側に配置されている、請求項2に記載の物品搬送車。 - 前記案内機構は、水平面に沿う方向に互いに離間して複数個所に配置された直動案内機構を備え、
前記直動案内機構のそれぞれは、前記連結部及び前記物品支持部の一方に固定された案内体と、前記連結部及び前記物品支持部の他方に固定されて前記案内体に沿って移動する移動体と、を備え、
前記案内体は、前記上下方向に沿って前記移動体が移動するように配置されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の物品搬送車。 - 前記物品は、上部に設けられたフランジ部と底部に設けられた係合凹部とを備えた容器であり、
前記係合凹部は、前記昇降装置により下降されて載置箇所に載置される場合に、当該載置箇所に設けられた位置決め用の係合凸部に係合され、
前記物品支持部は、一対の把持部により前記フランジ部を把持するように構成されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送車。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020215637A JP2022101200A (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 物品搬送車 |
TW110144220A TW202227353A (zh) | 2020-12-24 | 2021-11-26 | 物品搬送車 |
KR1020210176578A KR20220092381A (ko) | 2020-12-24 | 2021-12-10 | 물품 반송차 |
US17/560,726 US20220208583A1 (en) | 2020-12-24 | 2021-12-23 | Article Transport Vehicle |
CN202111599783.6A CN114678309A (zh) | 2020-12-24 | 2021-12-24 | 物品搬运车 |
JP2024064057A JP2024074987A (ja) | 2020-12-24 | 2024-04-11 | 物品搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020215637A JP2022101200A (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 物品搬送車 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024064057A Division JP2024074987A (ja) | 2020-12-24 | 2024-04-11 | 物品搬送車 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022101200A true JP2022101200A (ja) | 2022-07-06 |
Family
ID=82071261
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020215637A Pending JP2022101200A (ja) | 2020-12-24 | 2020-12-24 | 物品搬送車 |
JP2024064057A Pending JP2024074987A (ja) | 2020-12-24 | 2024-04-11 | 物品搬送車 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024064057A Pending JP2024074987A (ja) | 2020-12-24 | 2024-04-11 | 物品搬送車 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220208583A1 (ja) |
JP (2) | JP2022101200A (ja) |
KR (1) | KR20220092381A (ja) |
CN (1) | CN114678309A (ja) |
TW (1) | TW202227353A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN118164369B (zh) * | 2024-05-16 | 2024-07-12 | 中电建成都建设投资有限公司 | 一种用于小直径小转弯盾构施工的梁吊 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009154983A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫及び入出庫方法 |
JP2016094263A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6435795B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-12-12 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
JP6460245B2 (ja) * | 2015-08-27 | 2019-01-30 | 村田機械株式会社 | 取出装置及び保管装置 |
US10583568B2 (en) * | 2016-10-27 | 2020-03-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Workpiece conveying device |
JP6794946B2 (ja) * | 2017-07-11 | 2020-12-02 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP6835039B2 (ja) * | 2018-06-19 | 2021-02-24 | 株式会社ダイフク | 物品搬送体 |
-
2020
- 2020-12-24 JP JP2020215637A patent/JP2022101200A/ja active Pending
-
2021
- 2021-11-26 TW TW110144220A patent/TW202227353A/zh unknown
- 2021-12-10 KR KR1020210176578A patent/KR20220092381A/ko unknown
- 2021-12-23 US US17/560,726 patent/US20220208583A1/en active Pending
- 2021-12-24 CN CN202111599783.6A patent/CN114678309A/zh active Pending
-
2024
- 2024-04-11 JP JP2024064057A patent/JP2024074987A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009154983A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Asyst Technologies Japan Inc | 保管庫及び入出庫方法 |
JP2016094263A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2024074987A (ja) | 2024-05-31 |
KR20220092381A (ko) | 2022-07-01 |
TW202227353A (zh) | 2022-07-16 |
US20220208583A1 (en) | 2022-06-30 |
CN114678309A (zh) | 2022-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107097799B (zh) | 桥式输送车 | |
CN109890730B (zh) | 空中搬送车 | |
KR102417790B1 (ko) | 물품 반송차 | |
KR101227918B1 (ko) | 천정반송차 | |
CN107804641B (zh) | 物品输送装置 | |
KR101359682B1 (ko) | 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템 | |
JP2024074987A (ja) | 物品搬送車 | |
JP6958639B2 (ja) | 搬送車 | |
CN113439063B (zh) | 空中搬送车 | |
JP2015196569A (ja) | 搬送装置及び天井走行車 | |
WO2023013172A1 (ja) | 天井搬送車 | |
US20240002148A1 (en) | Overhead transport vehicle | |
JP7238736B2 (ja) | 物品昇降装置 | |
JP7268667B2 (ja) | 搬送車 | |
WO2023013173A1 (ja) | 天井搬送車 | |
TWI827842B (zh) | 高架搬送車 | |
TW202406829A (zh) | 高架搬送車 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221117 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20231129 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20240130 |