KR20220092381A - 물품 반송차 - Google Patents

물품 반송차 Download PDF

Info

Publication number
KR20220092381A
KR20220092381A KR1020210176578A KR20210176578A KR20220092381A KR 20220092381 A KR20220092381 A KR 20220092381A KR 1020210176578 A KR1020210176578 A KR 1020210176578A KR 20210176578 A KR20210176578 A KR 20210176578A KR 20220092381 A KR20220092381 A KR 20220092381A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
article
pair
respect
traveling
gripping
Prior art date
Application number
KR1020210176578A
Other languages
English (en)
Inventor
다이치 도미다
히로시 오쓰카
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20220092381A publication Critical patent/KR20220092381A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
    • B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
    • B66C1/22—Rigid members, e.g. L-shaped members, with parts engaging the under surface of the loads; Crane hooks
    • B66C1/28—Duplicate, e.g. pivoted, members engaging the loads from two sides
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C11/00—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways
    • B66C11/02—Trolleys or crabs, e.g. operating above runways with operating gear or operator's cabin suspended, or laterally offset, from runway or track
    • B66C11/04—Underhung trolleys
    • B66C11/06—Underhung trolleys running on monorails
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C19/00—Cranes comprising trolleys or crabs running on fixed or movable bridges or gantries

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

물품 반송차는 주행체와, 물품(6)을 유지하는 유지 장치(23)와, 주행체에 탑재되고 유지 장치(23)를 주행체에 대하여 승강시키는 승강 장치를 구비하고, 유지 장치(23)가, 승강 장치에 연결된 연결부(31)와, 물품(6)을 지지하는 물품 지지부(51)를 구비한 물품 반송차로서, 유지 장치(23)가, 물품 지지부(51)와 연결부(31) 사이에 설치되어 물품 지지부(51)를 연결부(31)에 대하여 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 상태로 지지하는 탄성 지지 기구(36)와, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 상하 방향 Z의 이동을 안내하는 안내 기구(37)를 구비하고, 안내 기구(37)가, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 상하 방향 Z의 평행 이동을 허용하고 또한, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 요동을 규제한다.

Description

물품 반송차{ARTICLE TRANSPORT VEHICLE}
본 발명은, 주행 경로를 따라 주행하는 주행체와, 물품을 유지하는 유지 장치와, 주행체에 탑재되고 유지 장치를 주행체에 대하여 승강시키는 승강 장치를 구비하고 있는 물품 반송차(搬送車)에 관한 것이다.
종래의 이러한 종류의 물품 반송차가, 일본공개특허 제2016-094263호 공보(특허문헌 1)에 개시되어 있다. 이하, 배경기술의 설명에 있어서 괄호 내에 나타내어진 부호는, 특허문헌 1의 것이다.
특허문헌 1에 개시된 나타내어진 물품 반송차(1)는, 주행 레일(2) 위를 이동 경로를 따라 주행하는 주행 이동부(16)와, 주행 이동부(16)에 지지되고 또한 물품(반송물(6))을 매달아 지지하는 지지 기구(機構)(23)와, 지지 기구(23)를 승강 이동 가능하게 지지하는 승강 지지부(17)를 구비하고 있다. 지지 기구(23)는, 승강체(31)와, 안내 지지부(35)와, 승강체(31)와 안내 지지부(35) 사이에 위치하여 안내 지지부(35)의 하중을 받는, 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 완충체(36)를 가지고 있다. 그러므로, 주행 이동부(16)가 주행할 때의 진동이나 승강체(31)가 승강할 때 물품(6)에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있도록 되어 있다.
특허문헌 1에 개시된 물품 반송차(1)는, 물품(6)을 바닥면 상의 지지대(4)에 이송탑재(transfer)하기 위하여, 권회체(28)를 회전 구동시키고, 권취 벨트(24a)를 조출(繰出)함으로써, 지지 기구(23)를 물품(6)과 함께 하강시킨다. 일반적으로, 지지대(4)에는, 물품(6)을 위치결정하기 위한 위치결정핀 등의 위치결정 기구가 설치되어 있으므로, 물품(6)을 지지대(4)에 적절하게 이송탑재하기 위해서는, 물품(6)을 적정한 자세로 지지대(4)까지 하강시킬 필요가 있다.
그러나, 특허문헌 1에 개시된 물품 반송차(1)에서는, 안내 지지부(35)가 승강체(31)에 대하여 완충체(36)를 통하여 지지되고 있으므로, 안내 지지부(35)에 대하여 치우친 하중이 작용한 경우에는, 안내 지지부(35)가 승강체(31)에 대하여 경사지는 경우가 있다. 예를 들면, 물품(6)의 중심(重心)의 위치에 치우침이 있는 경우 등에, 완충체(36)의 변형량에 치우침이 생겨 안내 지지부(35)가 승강체(31)에 대하여 경사지고, 물품(6)이 적정한 자세에 대하여 경사진 자세로 되는 일이 있다. 이와 같이, 물품(6)이 적정한 자세에 대하여 경사진 자세로 지지대(4)까지 하강한 경우에는, 물품(6)을 지지대(4)에 적절하게 이송탑재할 수 없는 경우가 있다. 한편, 물품(6)이 경사진 자세로 되는 것을 제한하기 위하여, 완충체(36)의 탄성률을 높게 하면, 물품(6)에 전달되는 진동을 적절하게 억제하는 것이 곤란해진다.
그래서, 물품에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있도록 하면서, 물품이 적정한 자세에 대하여 경사지는 것을 억제하여 물품을 탑재 개소에 적절하게 탑재할 수 있는 물품 반송차의 실현이 요망된다.
본 개시에 관한, 물품 반송차의 특징적 구성은, 주행 경로를 따라 주행하는 주행체와, 물품을 유지하는 유지 장치와, 상기 주행체에 탑재되고 상기 유지 장치를 상기 주행체에 대하여 승강시키는 승강 장치를 구비하고, 상기 유지 장치가, 상기 승강 장치에 연결된 연결부와, 상기 물품에 접촉하여 상기 물품을 지지하는 물품 지지부를 구비한 물품 반송차로서, 상기 유지 장치가, 상기 물품 지지부와 상기 연결부 사이에 설치되어 상기 물품 지지부를 상기 연결부에 대하여 상하 방향으로 탄성을 가지는 상태로 지지하는 탄성 지지 기구와, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 이동을 안내하는 안내 기구를 구비하고, 상기 안내 기구가, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 평행 이동을 허용하고 또한, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 요동을 규제하도록 구성되어 있다.
본 구성에 의하면, 물품 지지부와 연결부 사이에 탄성 지지 기구가 설치되어 있으므로, 주행체가 주행하는 것에 의한 주행체의 진동이나, 승강 장치에 의해 승강하는 것에 의한 유지 장치의 진동 등을 탄성 지지 기구에 의해 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 물품에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있다.
또한, 본 구성에 의하면, 안내 기구가, 연결부에 대한 물품 지지부의 요동을 규제하도록 구성되어 있으므로, 물품 지지부가 연결부에 대하여 경사지는 것을 규제할 수 있다. 그러므로, 예를 들면 물품의 중심에 치우침이 있는 것 등에 의해 물품 지지부에 대하여 치우친 하중이 작용한 경우라도, 물품 지지부 및 물품 지지부에 지지된 물품이 연결부에 대하여 경사지는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 승강 장치에 의해 유지 장치를 하강시켜 물품을 탑재 개소에 탑재하는 경우에, 물품의 자세가 적정 자세에 대하여 경사짐으로써 물품을 적절하게 탑재할 수 없는 사태가 발생하는 것을 회피할 수 있다. 한편, 안내 기구는, 연결부에 대한 물품 지지부의 상하 방향의 평행 이동을 허용한다. 그러므로, 물품 지지부 및 물품 지지부에 지지된 물품에 작용하는 상하 방향의 진동을 탄성 지지 기구에 의해 완화하는 효과가 안내 기구에 의해 방해되는 일은 없다.
이와 같이 본 구성에 의하면, 물품에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있도록 하면서, 물품이 적정한 자세에 대하여 경사지는 것을 억제하여 물품을 탑재 개소에 적절하게 탑재할 수 있다.
[도 1] 물품 반송 설비의 측면도
[도 2] 천장 반송차의 측면도
[도 3] 한 쌍의 반송물 지지부가 지지용 위치에 위치하고 있는 유지 장치의 종단 측면도
[도 4] 유지 장치의 평면도
[도 5] 물품 반송차의 주행 상태에 있어서, 물품 지지부가 주행 방향으로 경사지는 경우의 측면도
[도 6] 물품이 탑재 개소에 적절하게 이송탑재된 경우의 측면도
[도 7] 물품이 경사진 상태에서 탑재 개소에 이송탑재되는 경우의 측면도
1. 실시형태
이하, 본 발명에 따른 물품 반송차를 물품 반송 설비에 적용한 경우의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 천장 측에 설치된 주행 레일(2)을 따라 주행 가능한 천장 반송차로서 구성된 물품 반송차(1)와, 물품(6)에 수용되어 있는 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(3)와, 그 처리 장치(3)에 인접하는 상태에서 바닥면 상에 설치된 지지대 등의 탑재 개소(4)가 설치되어 있다. 여기서, 지지대는, 물품 반송차(1)에 의한 물품(6)의 탑재 개소(4)의 일례이다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 주행 레일(2)에 의해 물품 반송차(1)의 주행 경로가 구성되어 있다. 물품 반송차(1)에 의해 반송되는 물품(6)은, 수용물을 수용하는 반송 용기이며, 구체적으로는, 수용물로서 복수의 반도체 기판을 수용하는 FOUP(Front Opening Unify Pod)이다.
물품(6)을 탑재하는 지지대 등의 탑재 개소(4)는, 물품 반송차(1)의 주행 경로의 아래쪽에 설치되어 있고, 물품 반송차(1)의 주행 방향 X를 따라 복수 설치되어 있다. 물품 반송차(1)는, 물품(6)을 반송하고 또한 승강 장치(24)에 의해 물품(6)을 하강시켜 탑재 개소(4)에 물품(6)을 탑재한다. 또한, 물품 반송차(1)는, 물품(6)을 탑재 개소(4)로부터 수취하여 승강 장치(24)에 의해 상승시키고, 별도의 반송처(搬送處)를 향하여 물품(6)을 반송한다. 본 실시형태에서는, 이와 같은 물품 반송차(1)와 탑재 개소(4) 사이에서의 물품(6)의 수도(受渡:받아건넴)을 이송탑재라고 하고, 그와 같은 동작을 이송탑재 동작이라고 한다. 본 실시형태에서는, 탑재 개소(4)에서의 물품(6)이 탑재되는 탑재면(4a)에는, 물품(6)의 위치결정용의 걸어맞춤 볼록부(P)가 형성되어 있다. 본 예에서는, 탑재면(4a) 위에, 3개의 걸어맞춤 볼록부(P)가 삼각형의 정상점 부분에 위치하도록 한 위치 관계로 배치되어 있다. 본 예에서는, 탑재 개소(4)로서의 지지대에 물품(6)로서의 FOUP가 탑재된 후, 처리 장치(3)에 의해 해당 FOUP 내로부터 반도체 기판이 취출되고, 소정의 처리가 행해진다. 그리고, 처리가 완료된 반도체 기판을 수용한 FOUP를, 물품 반송차(1)가 수취하여 별도의 처리 장치(3) 등의 반송처에 반송한다.
[물품]
도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 관한 물품(6)은, 복수 개의 기판을 수용하는 본체부(7)와, 이 본체부(7)보다 위쪽인 물품(6)의 상부에 구비된 플랜지부(9)를 구비하고 있다.
또한, 이 물품(6)은, 본체부(7)의 전면(前面)에 형성된 기판 출입용의 개구를 닫는 커버체(5)(도 6 참조)를 구비하고 있다. 커버체(5)는, 본체부(7)에 대하여 착탈 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 이하에서는, 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향에서 볼 때, 물품(6)의 중심으로부터 커버체(5)에 직교하는 방향을 물품 전후 방향으로 하고, 물품 전후 방향과 직교하는 방향을 물품 좌우 방향으로 한다.
본 실시형태에서는, 커버체(5)의 단위체적당의 중량은, 물품(6)(FOUP)의 기타의 부분에 비하여 크다. 그러므로, 본체부(7)에 반도체 기판이 수용되어 있지 않은 빈 상태에서는, 물품(6)의 중심은 물품 전후 방향의 커버체(5) 측에 치우친다. 본체부(7)에 반도체 기판이 수용되고 물품(6)의 전체의 중량이 커지면, 해당 중량에서의 커버체(5)의 중량의 비율이 작아진다. 그러므로, 중심 위치는 물품(6)의 중앙 부분에 가까워지도록, 물품 전후 방향에서의 커버체(5) 측과는 반대 측을 향하여 이동한다. 또한, 물품(6)은, 물품 좌우 방향에 있어서는 중량이 균등해지도록 구성되어 있다. 그러므로, 물품(6)이 빈 상태인 경우나, 반도체 기판이 수용된 상태인 경우에 있어서도, 물품(6)의 중심의 물품 좌우 방향의 치우침은 작다.
플랜지부(9)와 본체부(7)는, 물품 연결부(8)를 통하여 연결되어 있다. 물품 연결부(8)는, 본체부(7)로부터 위쪽으로 돌출되도록 형성되어 있다. 그리고, 플랜지부(9)는, 물품 연결부(8)의 상부에 장착되고, 상기 물품 연결부(8)로부터 물품 전후 방향 및 물품 좌우 방향으로 돌출하는 판형으로 형성되어 있다. 그리고, 본체부(7)의 상면과 플랜지부(9)의 하면 사이에 형성되는, 물품 전후 방향 및 물품 좌우 방향의 오목부에 의해, 삽입용 공간(12)이 형성되어 있다. 이 삽입용 공간(12)에, 후술하는 한 쌍의 파지부(50)가 삽입됨으로써, 물품(6)이 한 쌍의 파지부(50)에 의해 파지된다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 물품(6)은, 바닥부(11)에 형성된 걸어맞춤 오목부(B)를 구비하고 있다. 걸어맞춤 오목부(B)는, 전술한 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에 형성된 걸어맞춤 볼록부(P)에 걸어맞추어짐으로써, 탑재 개소(4)에서의 물품(6)의 위치결정을 행하기 위한 것이다. 본 실시형태에서는, 바닥부(11)의 아래쪽을 향하는 면인 바닥면(11a)에, 3개의 걸어맞춤 오목부(B)가 삼각형의 정상점 부분에 위치하는 위치 관계로 배치되어 있다. 3개의 걸어맞춤 오목부(B)의 위치 관계는, 탑재 개소(4)의 3개의 걸어맞춤 볼록부(P)의 위치 관계에 대응하고 있다. 각 걸어맞춤 오목부(B)는, 바닥면(11a)으로부터 위쪽을 향하여 오목한 오목홈으로 되어 있다. 본 예에서는, 3개의 걸어맞춤 오목부(B) 중 2개는 물품(6)의 전단부(前端部)에 근접하고 또한 물품 좌우 방향으로 이격하여 형성되어 있다. 3개의 걸어맞춤 오목부(B) 중 1개는, 물품(6)의 후단부(後端部)에 근접하고 또한 좌우 방향에서 2개의 걸어맞춤 오목부(B)의 중간에 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 걸어맞춤 오목부(B)는, 후술하는 승강 장치(24)에 의해 하강되어 물품(6)이 탑재 개소(4)에 탑재되는 경우에, 해당 탑재 개소(4)에 형성된 위치결정용의 걸어맞춤 볼록부(P)에 걸어맞추어진다.
[물품 반송차]
다음으로, 물품 반송차(1)에 대하여 설명한다. 여기서는, 물품 반송차(1)의 주행 방향을 따르는 방향을 주행 방향 X로 하고, 주행 방향 X와 상하 방향에서 볼 때 직교하는 방향을 폭 방향 Y로 하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 물품(6)은 그 물품 좌우 방향이 물품 반송차(1)의 주행 방향 X를 따르는 방향에서 지지된다. 그러므로, 이하에서는, 물품(6)이 유지 장치(23)에 의해 유지되고 있는 상태를 기준으로 하여, 물품(6)의 물품 좌우 방향을 주행 방향 X로 하고, 물품(6)의 물품 전후 방향을 폭 방향 Y로 하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)는, 주행 경로를 따라 주행하는 주행체(16)와, 물품(6)을 유지하는 유지 장치(23)와, 주행체(16)에 탑재되고 유지 장치(23)를 주행체(16)에 대하여 승강시키는 승강 장치(24)를 구비하고 있다. 또한, 물품 반송차(1)는, 승강 장치(24)에 의한 승강 범위의 상한 부근에 유지 장치(23)가 위치하는 상태에서, 해당 유지 장치(23)에 지지된 물품(6)의 상방 측 및 주행 방향 X의 양측을 덮는 커버부(25)를 더 포함하고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 주행체(16)는, 주행용 모터(19)에서 회전 구동되어 주행 레일(2)의 상면을 전동(轉動)하는 구동륜(20)과, 주행 레일(2)의 측면과 맞닿는 회전 가능한 안내륜(21)을 구비하고 있다. 그리고, 구동륜(20)이 주행용 모터(19)에 의해 회전 구동되고, 안내륜(21)이 주행 레일(2)의 측면과 맞닿아 안내된다. 이로써, 주행체(16)가 주행 레일(2)에 안내되어 주행 경로를 따라 주행한다.
승강 장치(24)는, 권취 벨트(24a)를 권회하는 권회체(28)와, 권회체(28)를 회전 구동시키는 승강용 모터(29)를 구비하고 있다. 권취 벨트(24a)의 선단부에는, 유지 장치(23)가 연결되어 있다. 그리고, 승강 장치(24)는, 승강용 모터(29)에서 권회체(28)를 정전(正轉) 방향으로 회전 구동시켜 권취 벨트(24a)를 조출하고, 권회체(28)를 역전 방향으로 회전 구동시켜 권취 벨트(24a)를 권취함으로써, 유지 장치(23)를 주행체(16)에 대하여 승강시킨다.
[유지 장치]
다음으로, 물품 반송차(1)의 유지 장치(23)에 대하여 설명한다.
도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)의 유지 장치(23)는, 승강 장치(24)에 연결된 연결부(31)와, 물품(6)에 접촉하여 물품(6)을 지지하는 물품 지지부(51)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 연결부(31)는, 권취 벨트(24a)의 선단부에 연결되어 있다. 그러므로, 연결부(31)는 승강 장치(24)에 의해 승강된다. 연결부(31)는, 후술하는 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)를 지지하는 지지체(31a)와, 지지체(31a)에 장착되어, 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)를 덮는 상자형의 하우징(3lb)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 유지 장치(23)는, 물품 지지부(51)를 구성하는 한 쌍의 파지부(50)를 서로 접근 및 이격시키는 방향으로 구동하는 파지 구동 기구(30)를 구비하고 있다. 이 파지 구동 기구(30)도, 지지체(31a)에 지지되고, 하우징(3lb)의 내부에 수용되어 있다.
먼저, 파지 구동 기구(30)에 대하여 설명한다. 파지 구동 기구(30)는, 파지 안내 기구(38)와, 파지 구동원(33)과, 파지 전달 기구(39)를 구비하고 있다. 파지 구동원(33)은 본 실시형태에서는, 전동 모터에 의해 구성되는 파지 구동 모터다.
파지 안내 기구(38)는, 한 쌍의 파지부(50)의 상호의 접근·이격 방향의 이동을 안내하는 기구이다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지부(50)의 접근·이격 방향은, 주행 방향 X에 평행한 방향이다. 그리고, 본 예에서는, 파지 안내 기구(38)는 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대응하여 설치되고, 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 접근·이격 방향의 이동에 연동하는 연동 부재(42)와, 한 쌍의 연동 부재(42)의 접근·이격 방향의 이동을 안내하는 안내 레일(40)을 구비하고 있다. 여기서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수의 안내 레일(40)이 주행 방향 X를 따르도록 지지체(31a)에 지지되고 있다. 본 실시형태에서는, 1개의 연동 부재(42)에 대하여 한 쌍의 안내 레일(40)이 폭 방향 Y로 이격하여 배치되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 파지 안내 기구(38)는, 한 쌍의 연동 부재(42)에 대응하여 4개의 안내 레일(40)을 구비하고 있다. 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 연동 부재(42)의 각각에서의, 각 안내 레일(40)에 의해 안내되는 부분에는, 해당 안내 레일(40)을 따라 주행 방향 X로 안내되는 피안내 부재(41)가 장착되어 있다. 피안내 부재(41)는, 안내 레일(40)을 따라 이동 가능한 상태에서 해당 안내 레일(40)에 걸어맞추어져 있다.
상기한 바와 같이, 연동 부재(42)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대응하여 설치되어 있다. 그리고, 각 연동 부재(42)는 파지 전달 기구(39)와 안내 기구(37)를 접속하도록 구성되어 있다. 그리고, 연동 부재(42)와 파지부(50)는, 안내 기구(37)를 통하여 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 후술하는 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대응하는 안내 기구(37)가, 각각 한 쌍의 직동(直動) 안내 기구(37a)를 구비하고 있다. 따라서, 연동 부재(42)는, 파지 전달 기구(39)와 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)를 접속하고 있다.
구체적으로는, 연동 부재(42)는, 동일한 파지부(50)를 유지하는 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)의 각각에 고정된 한 쌍의 연동 고정부(42a)와, 한 쌍의 연동 고정부(42a)를 서로 연결하는 연동 본체부(42b)와, 해당 연동 본체부(42b)에 설치되어, 파지 전달 기구(39)에 접속된 연동 접속부(42c)를 구비하고 있다. 본 예에서는, 연동 본체부(42b)는, 폭 방향 Y로 긴 장척(長尺) 판형으로 형성되어 있다. 그리고, 연동 본체부(42b)는, 폭 방향 Y로 이격하여 배치된 2개의 피안내 부재(41)에 고정되어 있다. 또한, 연동 본체부(42b)는, 폭 방향 Y로 이격하여 배치된 한 쌍의 연동 고정부(42a)에 연결되어 있다. 본 예에서는, 한 쌍의 연동 고정부(42a)의 각각은, 상하 방향 Z로서 볼 때 피안내 부재(41)와 중복되도록 배치되어 있다. 이와 같이, 연동 본체부(42b)는, 한 쌍의 피안내 부재(41)끼리를 연결하고 또한, 한 쌍의 연동 고정부(42a)끼리를 연결하고 있다. 한 쌍의 연동 고정부(42a)는, 연동 본체부(42b)보다 상하 방향 Z의 치수가 크게 형성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 연동 고정부(42a)의 각각에서의 상하 방향 Z에 직교하는 방향을 향하는 면에, 직동 안내 기구(37a)가 장착되어 있다. 연동 접속부(42c)는, 후술하는 파지 전달 기구(39)에 접속되는 부분이다. 본 실시형태에서는, 파지 전달 기구(39)를 구성하는 너트부(35)가 연동 접속부(42c)에 장착되어 있다. 여기서는, 연동 접속부(42c)는, 연동 본체부(42b)의 폭 방향 Y로서의 중앙 부분에 형성되어 있다. 또한, 도시한 예에서는, 연동 접속부(42c)는, 너트부(35)를 내부에 유지하는 블록형으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 연동 부재(42)의 각각이 구비하는 연동 접속부(42c)가, 주행 방향 X로 서로 이격하여 배치되어 있다.
파지 전달 기구(39)는, 파지 구동원(33)의 동력을 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 전달하고, 한 쌍의 파지부(50)를 서로 접근 및 이격시키는 방향으로 이동시키는 기구이다. 본 실시형태에서는, 파지 전달 기구(39)는 볼 나사(34)과, 볼 나사(34)에 나사결합하는 너트부(35)를 구비하고 있다.
볼 나사(34)는, 파지 구동원(33)로서의 파지 구동 모터에 접속되고 있다. 그리고, 볼 나사(34)는, 해당 파지 구동원(33)에 의해, 축심(軸心) 주위에 회전하도록 구동된다. 본 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 볼 나사(34)는, 축심이 주행 방향 X를 따르도록 배치되어 있다. 또한, 본 예에서는, 볼 나사(34)는, 지지체(31a)에서의 폭 방향 Y의 중앙 부분에 배치되어 있다. 볼 나사(34)의 외주면(外周面)에는, 수나사가 형성되어 있다.
본 예에서는, 볼 나사(34)의 축심을 따른 방향(주행 방향 X)의 중앙부에 대하여 한쪽 측과 다른 쪽 측에서, 나선의 방향이 역방향으로 되도록 수나사가 형성되어 있다. 또한, 볼 나사(34)의 축심을 따른 방향(주행 방향 X)의 일방 측의 단부가, 파지 구동원(33)에 접속되고 있다. 구체적으로는, 볼 나사(34)의 축 방향의 일단부가, 파지 구동 모터의 출력축에 연결되어 있다.
너트부(35)는, 볼 나사(34)의 외주면에 형성된 수나사에 나사결합하도록, 내주면(內周面)에 암나사가 형성된 통형 부재이다. 따라서, 너트부(35)의 축심 방향도, 볼 나사(34)와 마찬가지로 주행 방향 X를 따르도록 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 상기한 바와 같이, 너트부(35)는 연동 부재(42)의 연동 접속부(42c)에 장착되어 있다. 즉, 주행 방향 X로 서로 이격하여 배치된 한 쌍의 연동 접속부(42c)의 각각에, 너트부(35)가 장착되어 있다. 그리고, 한쪽의 너트부(35)와 다른 쪽의 너트부(35)가, 볼 나사(34)에서의, 수나사의 방향이 서로 다른 부분에 나사결합되어 있다. 따라서, 볼 나사(34)가 제1 방향으로 회전한 경우에 한 쌍의 너트부(35)가 서로 접근하고, 볼 나사(34)가 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 회전한 경우에 한 쌍의 너트부(35)가 서로 이격한다. 이와 같은 한 쌍의 너트부(35)의 접근 및 이격되는 동작에 연동하여, 한 쌍의 연동 부재(42) 및 한 쌍의 파지부(50)가 서로 접근 및 이격한다.
물품 지지부(51)는 도 4에 나타낸 바와 같이 한 쌍의 파지부(50)를 구비하고 있고, 한 쌍의 파지부(50)는 주행 방향 X로 서로 이격하여 배치되어 있다. 그리고, 물품 지지부(51)는, 한 쌍의 파지부(50)에 의해 물품(6)의 플랜지부(9)를 파지하도록 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 후술하는 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)를 통하여 연동 부재(42)에 지지되고 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 플랜지부(9)에 접하는 부분이 되는 파지 클로우(claw)부(50a)와, 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)에 의해 지지되는 피(被)지지부(50b)와, 파지 클로우부(50a)와 피지지부(50b)를 연결하는 파지 연결부(50c)를 구비하고 있다. 본 예에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 파지 클로우부(50a)는, 폭 방향 Y로 연장되는 장척 판형으로 형성되어 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 피지지부(50b)는 폭 방향 Y로 연장하도록 형성되어 있다. 그리고, 파지 연결부(50c)는, 파지 클로우부(50a) 및 피지지부(50b)에서의 폭 방향 Y의 양 단부의 각각에 형성되고, 파지 클로우부(50a)와 피지지부(50b)를 연결하고 있다. 이와 같이, 본 예에서는, 파지부(50)는 한 쌍의 파지 연결부(50c)를 구비하고 있다. 그리고, 한 쌍의 파지부(50)는, 방향이 대칭으로 배치되어 있는 것 외에, 서로 동일한 구성으로 되어 있다.
파지 클로우부(50a)는 연결부(31)보다 아래쪽에 배치되어 있다. 피지지부(50b)는 연결부(31)의 내부에 수용되어 있다. 파지 연결부(50c)는, 파지 클로우부(50a)와 피지지부(50b)를 접속하도록, 연결부(31)의 내부로부터 연결부(31)보다 아래쪽을 향하여 돌출되도록 배치되어 있다. 본 예에서는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 파지 연결부(50c)는, 연결부(31)의 지지체(31a)에 형성된 관통공(43)을 통하여 상하 방향 Z로 연장되어 있다. 상기한 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 한 쌍의 파지 연결부(50c)를 구비하고 있다. 따라서, 지지체(31a)에는, 주행 방향 X 및 폭 방향 Y로 이격되어 4개의 관통공(43)이 형성되어 있고, 각 관통공(43)에 1개의 파지 연결부(50c)가 삽통되어 있다.
도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 파지 클로우부(50a)가, 플랜지부(9)의 아래쪽에 형성된 삽입용 공간(12)에 배치된 상태에서, 플랜지부(9)를 파지한다. 보다 구체적으로는, 한 쌍의 파지 클로우부(50a)가 플랜지부(9)에 대하여 아래쪽으로부터 맞닿음으로써, 플랜지부(9)를 아래쪽으로부터 지지한다. 여기서, 상기한 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 후술하는 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)를 통하여 연동 부재(42)에 지지되고 있다. 그리고, 한 쌍의 연동 부재(42)가, 파지 구동 기구(30)에 의해 주행 방향 X에 접근 및 이격되는 방향으로 구동됨으로써, 한 쌍의 파지부(50)도, 접근 및 이격되는 방향으로 구동된다. 이로써, 한 쌍의 파지부(50)의 간격이, 파지용 간격과 해제용 간격으로 변화된다. 파지용 간격은, 한 쌍의 파지부(50)가 서로 접근한 상태의 간격이다. 이 파지용 간격이 된 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우부(50a)의 주행 방향 X의 간격은, 플랜지부(9)의 주행 방향 X의 폭보다 좁아진다. 해제용 간격은, 한 쌍의 파지부(50)가 서로 이격된 상태의 간격이다. 이 해제용 간격으로 된 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우부(50a)의 주행 방향 X의 간격은, 플랜지부(9)의 주행 방향 X의 폭보다 넓어진다.
따라서, 한 쌍의 파지부(50)를 해제용 간격으로부터 파지용 간격으로 변화시킴으로써, 플랜지부(9)를 파지하여, 유지 장치(23)에 의해 물품(6)을 유지할 수 있다. 또한, 한 쌍의 파지부(50)를 파지용 간격으로부터 해제용 간격으로 변화시킴으로써, 플랜지부(9)의 파지를 해제하여, 유지 장치(23)에 의한 물품(6)의 유지를 해제할 수 있다.
도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 유지 장치(23)는, 물품 지지부(51)와 연결부(31) 사이에 설치되어 물품 지지부(51)를 연결부(31)에 대하여 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 상태로 지지하는 탄성 지지 기구(36)를 구비하고 있다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품 지지부(51)는 한 쌍의 파지부(50)를 구비하고 있다. 그래서, 탄성 지지 기구(36)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각을 연결부(31)에 대하여 탄성적으로 지지하도록 구성되어 있다. 또한 상기한 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)는, 파지 안내 기구(38)에 의해 상호의 접근·이격 방향(여기서는 주행 방향 X)의 이동이 안내되도록 구성되어 있다. 그러므로, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 탄성 지지 기구(36) 및 안내 기구(37)를 통하여, 파지 안내 기구(38)를 구성하는 연동 부재(42)에 지지되고 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 탄성 지지 기구(36)는, 파지부(50)를 연동 부재(42)에 대하여 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 상태로 지지하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 탄성 지지 기구(36)는, 연동 본체부(42b)와 파지부(50)의 피지지부(50b)의 상하 방향 Z 사이에 설치되어 있다. 도시한 예에서는, 연동 본체부(42b)보다 위쪽에 피지지부(50b)가 배치되어 있다. 따라서, 탄성 지지 기구(36)는 피지지부(50b)를 아래쪽으로부터 탄성적으로 지지하고 있다. 본 예에서는, 탄성 지지 기구(36)는 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 탄성체(36a)를 구비하고 있다. 탄성체(36a)는 도시한 예에서는 압축 코일 스프링이다. 탄성체(36a)의 하단부는 연동 본체부(42b)에 유지되고, 탄성체(36a)의 상단부는 피지지부(50b)에 유지되고 있다. 즉, 연동 본체부(42b) 및 피지지부(50b)는, 각각 탄성체(36a)를 유지하는 유지부를 구비하고 있다. 그리고, 탄성체(36a)는, 압축 상태에서 연동 본체부(42b)와 피지지부(50b) 사이에 끼어서 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 탄성 지지 기구(36)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대하여, 폭 방향 Y로 이격하여 배치된 한 쌍의 탄성체(36a)를 구비하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 1개의 파지부(50)에 대응하는 한 쌍의 탄성체(36a)는, 폭 방향 Y로 이격하여 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 있어서, 한 쌍의 탄성체(36a)는 한 쌍의 안내 레일(40)보다 폭 방향 Y의 내측에 배치되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 탄성 지지 기구(36)는, 한 쌍의 파지부(50)가 서로 독립적으로 상하 이동하도록 한 쌍의 파지부(50)를 지지하고 있다. 상기한 바와 같이, 탄성 지지 기구(36)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대응하여 설치되고, 한 쌍의 파지부(50)의 각각을 연결부(31)에 대하여 탄성적으로 지지하도록 구성되어 있다. 따라서, 한 쌍의 파지부(50)의 한쪽은, 한 쌍의 탄성 지지 기구(36)의 한쪽에 의해 연결부(31)에 대하여 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 상태로 지지되고, 한 쌍의 파지부(50)의 다른 쪽은, 한 쌍의 탄성 지지 기구(36)의 다른 쪽에 의해 연결부(31)에 대하여 상하 방향 Z로 탄성을 가지는 상태로 지지되어 있다. 이로써, 한 쌍의 파지부(50)는, 서로 독립적으로 상하 이동하도록 탄성 지지 기구(36)에 의해 지지되고 있다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 유지 장치(23)는, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 상하 방향 Z의 이동을 안내하는 안내 기구(37)를 구비하고 있다. 안내 기구(37)는, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 상하 방향 Z의 평행 이동을 허용하고 또한, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 요동을 규제하도록 구성되어 있다. 상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품 지지부(51)는 한 쌍의 파지부(50)를 구비하고 있다. 그래서, 안내 기구(37)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 연결부(31)에 대한 상하 방향 Z의 평행 이동을 허용하도록 구성되어 있다. 또한, 안내 기구(37)는, 연결부(31)에 대한 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 폭 방향 Y 및 주행 방향 X의 요동을 규제하도록 구성되어 있다. 그러므로, 본 실시형태에서는, 안내 기구(37)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각이, 대응하는 연동 부재(42)에 대하여 상하 방향 Z로 평행 이동 가능한 상태에서, 파지부(50)와 연동 부재(42)를 접속하고 있다.
여기서 「평행 이동」이란, 물품 지지부(51)가 물품(6)을 지지하고 있지 않고, 유지 장치(23)가 수평면에 대하여 이상적인 위치 관계로 되는 자세를 기준 자세로 하고, 기준 자세에 있어서 상하 방향 Z로 평행하게 되는 연결부(31)의 기준이 되는 가상축을 제1 기준축으로 하고, 기준 자세에 있어서 상하 방향 Z로 평행하게 되는 물품 지지부(51)의 기준이 되는 가상축을 제2 기준축으로 한 경우에, 제1 기준축과 제2 기준축이 평행한 상태인 채로, 물품 지지부(51)(본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각)이 연결부(31)에 대하여 상대 이동하는 것을 말한다. 또한, 「요동」이란 제1 기준축에 대하여 제2 기준축이 경사지도록, 물품 지지부(51)(본 실시형태에서는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각)가 연결부(31)에 대하여 상대 이동하는 것을 말한다. 안내 기구(37)가, 연결부(31)에 대한 물품 지지부(51)의 요동을 규제하도록 구성되어 있으므로, 물품 지지부(51)가 연결부(31)에 대하여 경사지는 것이 규제된다.
본 실시형태에서는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 안내 기구(37)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대한 연결부(31)에 대한 상하 방향 Z의 이동을 안내하도록 구성되어 있다. 여기서, 안내 기구(37)는, 한 쌍의 파지부(50)가 서로 독립적으로 상하 이동하도록 한 쌍의 파지부(50)를 안내하는 구성으로 되어 있다. 이와 같은 안내를 위해, 안내 기구(37)는 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 안내 기구(37)는, 수평면을 따르는 방향으로 서로 이격하여 복수 개소에 배치된 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있다. 구체적으로는, 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 안내 기구(37)는 전체로서 4개의 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있다. 직동 안내 기구(37a)의 각각은, 연결부(31)에 고정된 안내체(37b)와, 물품 지지부(51)에 고정되어 안내체(37b)를 따라 이동하는 이동체(37c)를 구비하고 있다. 또한, 안내체(37b)는, 상하 방향 Z를 따라 이동체(37c)가 이동하도록 배치되어 있다. 즉, 안내체(37b)는 상하 방향 Z를 따라 배치되어 있다. 여기서, 안내체(37b)는, 이동체(37c)가 직선적으로 이동하도록 안내하는 부재이며, 본 예에서는, 레일 형으로 형성되어 있다. 이동체(37c)는, 안내체(37b)를 따라 직선적으로 이동하도록, 안내체(37b)에 걸어맞추어져 있다. 그리고, 본 예에서는, 직동 안내 기구(37a)는 리니어 가이드다.
본 실시형태에서는, 안내체(37b)는 연동 부재(42)에 고정되어 있다. 또한, 이동체(37c)는 파지부(50)에 고정되어 있다. 상기한 바와 같이, 이동체(37c)가 안내체(37b)를 따라 상하 방향 Z로 이동하도록 안내되는 것에 의해, 파지부(50)는, 연동 부재(42)에 대하여 상하 방향 Z로 이동하도록 안내된다. 즉, 파지부(50)의 연동 부재(42)에 대한 상하 방향 Z의 평행 이동이 허용된다. 한편, 안내체(37b)에 안내되는 이동체(37c)가, 상하 방향 Z 이외에는 이동할 수 없는 것에 의해, 파지부(50)의 연동 부재(42)에 대한 폭 방향 Y 및 주행 방향 X로의 요동은 규제된다.
또한, 본 실시형태에서는, 안내 기구(37)는, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대하여, 폭 방향 Y로 이격하여 배치된 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 1개의 파지부(50)에 대응하는 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)는, 폭 방향 Y로 이격하여 배치되어 있다. 본 예에서는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)는, 연동 본체부(42b)의 폭 방향 Y의 양 단부에 형성된 한 쌍의 연동 고정부(42a)의 각각에 장착되어 있다. 보다 구체적으로는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)의 각각의 안내체(37b)가, 연동 고정부(42a)에 고정되어 있다. 이와 같이, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)는 연동 부재(42)에 의해 연결되어 있다. 또한, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)는 상하 방향 Z에서 볼 때, 연동 본체부(42b) 및 피안내 부재(41)와 중복되는 위치에 배치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)는, 파지부(50)에서의 피지지부(50b)에 장착되어 있다. 보다 구체적으로는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)의 각각의 이동체(37c)가, 피지지부(50b)에 고정되어 있다. 그러므로, 파지부(50)는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)에 의해, 연동 부재(42)에 대하여 상하 방향 Z를 따라 평행 이동하도록 안내된다.
그런데, 한 쌍의 파지부(50)는 서로 독립하고 있다. 즉, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은 도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 서로 다른 탄성 지지 기구(36)에 의해 지지되고, 서로 다른 안내 기구(37)에 의해 안내된다. 이로써, 한 쌍의 파지부(50)는, 연결부(31)에 대하여 서로 독립적으로 상하 방향 Z로 이동하는 것이 허용된다. 그러므로, 예를 들면 도 5에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50) 상하 방향 Z의 위치가 서로 상이한 것으로 될 수 있다.
이와 같이, 한 쌍의 파지부(50)가 주행 방향 X로 서로 이격하여 배치되고, 각각 독립적으로 상하 이동하도록 되어 있으므로, 상기와 같은 안내 기구(37)를 구비하고 있음에도 불구하고, 물품(6)의 주행 방향 X의 요동이 허용된다. 일반적으로, 물품 반송차(1)에 의해 반송 중인 물품(6)에는, 물품 반송차(1)의 가감속 등에 의해 주행 방향 X의 하중이 작용하는 경우가 많다. 그러나, 본 실시형태의 구성에 의하면, 한 쌍의 파지부(50)가 서로 독립적으로 상하 이동하므로, 물품(6)이 주행 방향 X로 요동하는 방향의 진동을 탄성 지지 기구(36)에 의해 완화하는 효과가 안내 기구(37)에 의해 방해되는 일이 없다. 한편, 본 실시형태의 구성에 있어서도, 안내 기구(37)가 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대하여, 연결부(31)에 대한 상하 방향 Z의 이동을 안내하도록 구성되며, 연결부(31)에 대한 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 요동, 특히 폭 방향 Y의 요동을 규제하도록 구성되어 있다. 그러므로, 예를 들면 물품(6)의 중심에 폭 방향 Y의 치우침이 있는 것 등에 의해 한 쌍의 파지부(50)에 대하여 폭 방향 Y로 치우친 하중이 작용한 경우라도, 한 쌍의 파지부(50)가 연결부(31)에 대하여 폭 방향 Y로 경사지는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 한 쌍의 파지부(50)에 지지된 물품(6)이 연결부(31)에 대하여 폭 방향 Y로 경사지는 것을 규제할 수 있다. 본 실시형태에서는, 물품(6)이 복수의 반도체 기판을 수용하는 FOUP이며, 커버체(5)(도 6 참조)가 물품(6)에서의 폭 방향 Y의 일방 측에 배치된 상태에서, 물품 반송차(1)에 의해 반송된다. FOUP은, 커버체(5)의 단위체적당의 중량이 그 외의 부분에 비하여 크고, 내부에 수용되는 반도체 기판의 개수 등에 의해, 물품(6)의 전체에서의 폭 방향 Y의 중심 위치가 변동한다. 그러나, 본 실시형태에 관한 구성에 의하면, 이와 같은 중심의 변동에 의해, 물품(6)이 폭 방향 Y로 경사지는 것을 규제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 있어서, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)가 한 쌍의 탄성체(36a)보다 폭 방향 Y의 외측에 배치되어 있다.
여기서, 물품(6)의 폭 방향 Y의 요동에 의해 파지부(50)에 작용하는 하중은, 지레의 원리에 의해, 폭 방향 Y의 내측 쪽이 폭 방향 Y의 외측보다 커지는 것이 일반적이다. 따라서, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)를 한 쌍의 탄성체(36a)보다 폭 방향 Y의 내측에 배치하는 것보다도, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)를 한 쌍의 탄성체(36a)보다 폭 방향 Y의 외측에 배치한 쪽이, 직동 안내 기구(37a)에 작용하는 하중을 작게 할 수 있다. 그리고, 이 경우, 한 쌍의 탄성체(36a)에는 비교적 큰 하중이 작용하게 되지만, 일반적으로, 탄성체(36a)는, 직동 안내 기구(37a)보다 구조가 단순하고 강도도 높아 확보하기 쉬우므로, 큰 문제는 생기기 어렵다.
[물품의 이송탑재 동작]
다음으로, 유지 장치(23)에 유지된 상태의 물품(6)을, 승강 장치(24)에 의해 하강시켜 바로 아래의 탑재 개소(4)에 탑재하는(이송탑재하는) 경우의 동작에 대하여 설명한다.
여기서, 물품(6)이 커버부(25)에 수용된 상태에서의, 주행체(16)에 대한 유지 장치(23)의 위치를 주행용 위치(도 2 참조)로 한다. 승강 장치(24)는, 승강용 모터(29)의 회전 구동에 의해 권취 벨트(24a)를 조출하여, 유지 장치(23)를 주행용 위치로부터 이송탑재용 위치(도 6 참조)까지 하강시킨다. 유지 장치(23)를 이송탑재용 위치까지 하강시킴으로써, 유지 장치(23)에 유지된 물품(6)이 탑재 개소(4)에 탑재된다. 이와 같이, 이송탑재용 위치는, 주행용 위치보다 아래쪽의 위치로서, 유지 장치(23)에 유지된 물품(6)이 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에 탑재된 상태에서의, 주행체(16)에 대한 유지 장치(23)의 위치이다. 유지 장치(23)가 이송탑재용 위치에 있고, 물품(6)이 탑재면(4a)에 탑재된 상태에서, 파지 구동 기구(30)에 의해, 한 쌍의 파지부(50)의 간격을, 물품(6)을 파지하는 파지용 간격으로부터 물품(6)의 파지를 해제하는 해제용 간격으로 전환한다. 이와 같이 하여, 물품(6)은 탑재 개소(4)에 이송탑재된다. 상기한 바와 같이, 본 예에서는, 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에, 위치결정용의 걸어맞춤 볼록부(P)가 복수 형성되어 있다. 또한, 물품(6)의 바닥면(11a)에, 해당 걸어맞춤 볼록부(P)와 걸어맞추어지는 걸어맞춤 오목부(B)가 형성되어 있다. 그리고, 물품(6)이 적정 자세인 상태에서 유지 장치(23)가 이송탑재용 위치까지 하강한 경우, 물품(6)의 걸어맞춤 오목부(B)가 탑재 개소(4)의 걸어맞춤 볼록부(P)에 걸어맞추어진 상태로 되고, 물품(6)이 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에 적정하게 탑재된다. 이하에서는, 유지 장치(23)가 이송탑재용 위치까지 하강한 경우에, 물품(6)의 걸어맞춤 오목부(B)가 탑재 개소(4)의 걸어맞춤 볼록부(P)에 적정하게 걸어맞추어질 수 있는 물품(6)의 자세를 적정 자세로 한다. 본 실시형태에서는, 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)는 수평면을 따르도록 배치되어 있고, 물품(6)의 자세가 적정 자세인 상태에서는, 물품(6)의 바닥면(11a)는 수평면을 따르는 자세로 된다.
비교예로서, 유지 장치(23)가 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있지 않는 경우의 이송탑재 동작에 대하여 설명한다. 이 경우, 한 쌍의 파지부(50)는 연결부(31)에 대한 요동이 규제되지 않는다.
그러므로, 물품(6)의 중심이 폭 방향 Y로 치우쳐 있는 경우, 한 쌍의 파지부(50)에 대하여 치우친 하중이 작용하고, 한 쌍의 파지부(50) 및 이것에 파지된 물품(6)이 연결부(31)에 대하여 폭 방향 Y로 경사진다. 예를 들면, 본 실시형태와 같이, 물품(6)이 복수의 반도체 기판을 수용하는 FOUP이며, 커버체(5)(도 7 참조)가 물품(6)에서의 폭 방향 Y의 한쪽 측에 배치되어 있는 경우, 커버체(5)의 단위체적당의 중량이 그 외의 부분에 비하여 크기 때문에, 내부에 수용되는 반도체 기판의 개수에 의해, 물품(6)의 전체에서의 폭 방향 Y의 중심 위치가 변동한다. 구체적으로는, 반도체 기판의 개수가 적어짐에 따라서, 물품(6)의 중심이 폭 방향 Y로서의 커버체(5) 측에 치우치게 된다. 본 비교예와 같이, 유지 장치(23)가 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있지 않는 경우, 한 쌍의 파지부(50)는 탄성 지지 기구(36)에 의해 탄성적으로 지지되고 있다. 그러므로, 물품(6)의 중심에 치우침이 있으면, 중심이 치우쳐 있는 측에 물품(6)과 함께 한 쌍의 파지부(50)가 경사지는 것을 규제할 수 없고, 물품(6)이 적정 자세에 대하여 폭 방향 Y로 경사지게 된다. 이와 같이 물품(6)이 적정 자세에 대하여 경사진 상태에서 유지 장치(23)가 이송탑재용 위치까지 하강한 경우, 예를 들면 도 7에 나타낸 바와 같이, 물품(6)의 바닥면(11a)이 탑재면(4a)로 대하여 경사진 자세로 된다. 그러므로, 물품(6)의 걸어맞춤 오목부(B)가 탑재 개소(4)의 걸어맞춤 볼록부(P)에 적정하게 걸어맞춤할 수 없는 경우가 생긴다. 이와 같은 경우, 물품(6)을 탑재 개소(4)에 적절하게 탑재할 수 없고, 이송탑재 불량이 되는 사태가 발생할 수 있다.
이에 대하여, 본 실시형태와 같이, 유지 장치(23)가 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있는 경우, 물품 지지부(51)로서의 한 쌍의 파지부(50)는, 연결부(31)에 대하여 상하 방향 Z의 평행 이동이 허용되고 있고 또한, 연결부(31)에 대한 요동이 규제되고 있다. 그러므로, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 상하 방향 Z로 평행 이동하는 것만이 허용되는 상태에서 탄성 지지 기구(36)에 의해 탄성적으로 지지되고 있다. 또한 상기한 바와 같이, 한 쌍의 파지부(50)의 각각은, 폭 방향 Y로 연장하도록 형성되어 있고, 물품(6)의 플랜지부(9)를 폭 방향 Y를 따르는 자세로 지지하고 있다. 그러므로, 물품(6)이 한 쌍의 파지부(50)에 대하여 폭 방향 Y로 요동하는 것이 규제되고 있다. 이로써, 상기한 바와 같이 물품(6)의 중심이 폭 방향 Y로 치우쳐 있는 것에 의해, 한 쌍의 파지부(50)에 대하여 치우친 하중이 작용한 경우라도, 연결부(31)에 대한 한 쌍의 파지부(50)의 각각의 자세는 유지되고, 물품(6)이 연결부(31)에 대하여 경사지는 것이 규제된다. 따라서, 승강 장치(24)에 의해 유지 장치(23)를 이송탑재용 위치까지 하강시켜 물품(6)을 탑재 개소(4)에 탑재하는 경우에, 물품(6)의 자세가 적정 자세에 대하여 경사지는 것을 규제할 수 있다. 이와 같이 물품(6)을 적정 자세로 유지한 상태에서 유지 장치(23)를 이송탑재용 위치까지 하강시킴으로써, 도 6에 나타낸 바와 같이, 물품(6)의 바닥면(11a)에 형성된 걸어맞춤 오목부(B)를 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에 형성된 걸어맞춤 볼록부(P)에 적정하게 걸어맞추게 할 수 있다. 즉, 물품(6)의 중심의 폭 방향 Y의 치우침에 관계없이, 물품(6)을 탑재 개소(4)에 적절하게 탑재할 수 있다.
2. 기타의 실시형태
다음으로, 물품 반송차의 기타의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 물품 지지부(51)와 연결부(31) 사이에 설치된 탄성 지지 기구(36)를 구성하는 탄성체(36a)를 압축 코일 스프링으로 한 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 탄성체(36a)의 구성은, 이것에는 한정되지 않는다. 탄성 지지 기구(36)에서의 탄성체(36a)의 배치를 변경함으로써, 인장 코일 스프링 등의 다른 형식의 스프링을 사용해도 된다. 또한, 예를 들면, 탄성을 가지는 합성 고무나 합성 수지 등을 사용해도 된다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 물품 지지부(51)가 한 쌍의 파지부(50)를 구비하고 있고, 한 쌍의 파지부(50)가 주행 방향 X로 서로 이격하여 배치되는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 물품 지지부(51)의 구성은 이것에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 한 쌍의 파지부(50)가 폭 방향 Y로 서로 이격하여 배치되어 있어도 된다. 이와 같은 구성은, 물품(6)의 중심 위치에 주행 방향 X의 치우침이 있는 경우,및 반송 중인 물품(6)에 폭 방향 Y의 하중이 작용하는 경우에 적합하다. 또한, 예를 들면, 물품 지지부(51)가, 한 쌍의 파지부(50) 대신에, 플랜지부(9)의 삽입용 공간(12)에 삽입되는 포크를 구비하고 있어도 된다. 혹은, 물품 지지부(51)이, 한 쌍의 파지부(50) 대신에, 물품(6)을 탑재면에 탑재하여 지지하기 위한 탑재부를 구비하고 있어도 된다. 이들 구성의 경우, 일체적으로 구성된 물품 지지부(51)의 전체가, 탄성 지지 기구(36)에 의해 탄성 지지되고 또한, 안내 기구(37)에 의해 연결부(31)에 대한 상하 방향 Z의 평행 이동을 허용하고 또한 연결부(31)에 대한 요동(주행 방향 X 및 폭 방향 Y의 양쪽의 요동)을 규제하도록 안내된다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)가 한 쌍의 탄성체(36a)보다 폭 방향 Y의 외측에 배치되어 있는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 한 쌍의 직동 안내 기구(37a)가 한 쌍의 탄성체(36a)보다 폭 방향 Y의 내측에 배치되어 있어도 된다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 한 쌍의 안내체(37b)가 연동 고정부(42a)에 고정되고, 한 쌍의 이동체(37c)가 피지지부(50b)에 고정되는 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 한 쌍의 안내체(37b)가 피지지부(50b)에 고정되고, 한 쌍의 이동체(37c)가 연동 고정부(42a)에 고정되어 있어도 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 안내 기구(37)를 구성하는 직동 안내 기구(37a)의 일례로서, 리니어 가이드를 이용하는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 직동 안내 기구(37a)의 구성은 이것에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 볼 스플라인, 리니어 부싱(linear bushing) 등, 공지의 각종 직동 안내 기구를 사용할 수 있다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 안내 기구(37)가, 한 쌍의 파지부(50)의 각각에 대하여 2개, 합계 4개의 직동 안내 기구(37a)를 구비하는 구성을 예로서 설명했다.
그러나, 안내 기구(37)의 구성은 이것에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 1개의 파지부(50)에 대하여 3개 이상의 직동 안내 기구(37a)를 구비하고 있어도 된다. 또한, 1개의 파지부(50)에 대하여, 1개의 직동 안내 기구(37a)만을 구비해도 된다. 또한, 물품 지지부(51)가 일체적으로 구성되어 있는 경우에는, 해당 일체적인 물품 지지부(51)에 대하여, 1개 혹은 복수의 직동 안내 기구(37a)가 설치되어 있어도 된다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 물품(6)이 플랜지부(9)와 걸어맞춤 오목부(B)를 구비하고, 탑재 개소(4)에 걸어맞춤 오목부(B)와 걸어맞추어지는 걸어맞춤 볼록부(P)가 형성된 구성을 예로서 설명했다. 그러나, 본 개시는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품(6)이 걸어맞춤 오목부(B)를 구비하지 않고, 탑재 개소(4)에 걸어맞춤 볼록부(P)가 형성되어 있지 않은 구성이어도 된다. 그와 같은 구성이라도, 상기 실시형태의 구성에 의해, 물품(6)이 탑재 개소(4)의 탑재면(4a)에 대하여 경사진 자세로 탑재되는 것을 규제함으로써, 물품(6)을 탑재 개소(4)에 적절하게 탑재할 수 있다.
(8) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용할 수도 있다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.
3. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송차의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송차는, 주행 경로를 따라 주행하는 주행체와, 물품을 유지하는 유지 장치와, 상기 주행체에 탑재되고 상기 유지 장치를 상기 주행체에 대하여 승강시키는 승강 장치를 구비하고, 상기 유지 장치가, 상기 승강 장치에 연결된 연결부와, 상기 물품에 접촉하여 상기 물품을 지지하는 물품 지지부를 구비한 물품 반송차로서, 상기 유지 장치가, 상기 물품 지지부와 상기 연결부 사이에 설치되어 상기 물품 지지부를 상기 연결부에 대하여 상하 방향으로 탄성을 가지는 상태로 지지하는 탄성 지지 기구와, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 이동을 안내하는 안내 기구를 구비하고, 상기 안내 기구가, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 평행 이동을 허용하고 또한, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 요동을 규제하도록 구성되어 있다.
본 구성에 의하면, 물품 지지부와 연결부 사이에 탄성 지지 기구가 설치되어 있으므로, 주행체가 주행하는 것에 의한 주행체의 진동이나, 승강 장치에 의해 승강하는 것에 의한 유지 장치의 진동 등을 탄성 지지 기구에 의해 감쇠시킬 수 있다. 따라서, 물품에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있다.
또한, 본 구성에 의하면, 안내 기구가, 연결부에 대한 물품 지지부의 요동을 규제하도록 구성되어 있으므로, 물품 지지부가 연결부에 대하여 경사지는 것을 규제할 수 있다. 그러므로, 예를 들면 물품의 중심에 치우침이 있는 것 등에 의해 물품 지지부에 대하여 치우친 하중이 작용한 경우라도, 물품 지지부 및 물품 지지부에 지지된 물품이 연결부에 대하여 경사지는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 승강 장치에 의해 유지 장치를 하강시켜 물품을 탑재 개소에 탑재하는 경우에, 물품의 자세가 적정 자세에 대하여 경사짐으로써 물품을 적절하게 탑재할 수 없는 사태가 발생하는 것을 회피할 수 있다. 한편, 안내 기구는, 연결부에 대한 물품 지지부의 상하 방향의 평행 이동을 허용한다. 그러므로, 물품 지지부 및 물품 지지부에 지지된 물품에 작용하는 상하 방향의 진동을 탄성 지지 기구에 의해 완화하는 효과가 안내 기구에 의해 방해되는 일은 없다.
이와 같이 본 구성에 의하면, 물품에 전달되는 진동을 적게 억제할 수 있도록 하면서, 물품이 적정한 자세에 대하여 경사지는 것을 억제하여 물품을 탑재 개소에 적절하게 탑재할 수 있다.
여기서, 상기 물품 지지부는, 한 쌍의 파지부를 구비하고, 한 쌍의 상기 파지부는, 상기 주행 경로를 따른 방향인 주행 방향으로 서로 이격하여 배치되고, 상기 탄성 지지 기구는, 한 쌍의 상기 파지부가 서로 독립적으로 상하 이동하도록 한 쌍의 상기 파지부를 지지하고 있고, 상기 안내 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대한 상기 연결부에 대한 상기 상하 방향의 이동을 안내하도록 구성되어 있으면 바람직하다.
일반적으로, 물품 반송차에 의해 반송 중인 물품에는, 물품 반송차의 가감속에 의해 주행 방향의 하중이 작용하는 경우가 많다. 본 구성에 의하면, 한 쌍의 파지부가 주행 방향으로 서로 이격하여 배치되고, 각각 독립적으로 상하 이동하도록 탄성 지지 기구에 지지되고 있으므로, 상기와 같은 안내 기구를 구비한 구성에 있어서도, 물품의 주행 방향의 요동이 허용된다. 따라서, 물품이 주행 방향으로 요동하는 방향의 진동을 탄성 지지 기구에 의해 완화하는 효과가 안내 기구에 의해 방해되는 일은 없다. 한편, 본 구성에 있어서도, 상하 방향에서 볼 때 상기 주행 방향에 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 안내 기구가, 한 쌍의 파지부의 각각에 대하여, 연결부에 대한 상하 방향의 이동을 안내하도록 구성되며, 연결부에 대한 한 쌍의 파지부의 각각의 요동을 규제하도록 구성되어 있다. 그러므로, 예를 들면 물품의 중심에 폭 방향의 치우침 있는 것 등에 의해 물품 지지부에 대하여 폭 방향에 치우친 하중이 작용한 경우라도, 물품 지지부가 연결부에 대하여 폭 방향으로 경사지는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 물품 지지부에 지지된 물품이 연결부에 대하여 폭 방향으로 경사지는 것을 규제할 수 있다. 본 구성은, 물품의 중심이 폭 방향으로 치우치는 일이 많은 경우에 적합하다.
또한, 상기 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 주행 방향에 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여, 상기 탄성 지지 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대하여, 상기 폭 방향으로 이격하여 배치된 한 쌍의 탄성체를 구비하고, 상기 안내 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대하여, 상기 폭 방향으로 이격하여 배치된 한 쌍의 직동 안내 기구를 구비하고, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 있어서, 한 쌍의 상기 직동 안내 기구가 한 쌍의 상기 탄성체보다 상기 폭 방향의 외측에 배치되어 있으면 바람직하다.
본 구성에 의하면, 한 쌍의 직동 안내 기구가 한 쌍의 탄성체보다 폭 방향의 내측에 배치되는 경우보다, 직동 안내 기구에 작용하는 하중을 작게 할 수 있다. 따라서, 직동 안내 기구의 대형화나 고비용화를 회피하기 쉬워진다.
또한, 상기 안내 기구는, 수평면을 따르는 방향으로 서로 이격하여 복수 개소에 배치된 직동 안내 기구를 구비하고, 상기 직동 안내 기구의 각각은, 상기 연결부 및 상기 물품 지지부 중 한쪽에 고정된 안내체와, 상기 연결부 및 상기 물품 지지부 중 다른 쪽에 고정되어 상기 안내체를 따라 이동하는 이동체를 구비하고, 상기 안내체는, 상기 상하 방향을 따라 상기 이동체가 이동하도록 배치되어 있으면 바람직하다.
본 구성에 의하면, 직동 안내 기구가, 수평면을 따르는 방향으로 서로 이격하여 복수 개소에 배치되어 있으므로, 각각의 직동 안내 기구에 작용하는 하중을 비교적 작게 억제하기 쉽다. 또한, 복수 개소에 배치된 직동 안내 기구에 의해, 물품 지지부를 안정적으로 지지하기 쉽다.
또한, 상기 물품은, 상부에 형성된 플랜지부와 바닥부에 형성된 걸어맞춤 오목부를 구비한 용기이며, 상기 걸어맞춤 오목부는, 상기 승강 장치에 의해 하강되어 탑재 개소에 탑재되는 경우에, 해당 탑재 개소에 형성된 위치결정용의 걸어맞춤 볼록부에 걸어맞추어지고, 상기 물품 지지부는, 한 쌍의 파지부에 의해 상기 플랜지부를 파지하도록 구성되어 있으면 바람직하다.
본 구성에 의하면, 물품을 탑재 개소에 탑재하는 경우에, 걸어맞춤 오목부가 걸어맞춤 볼록부에 걸어맞추어지므로, 탑재 개소가 적절한 위치에 용기를 적절하게 탑재할 수 있다. 또한, 물품 지지부가, 한 쌍의 파지부에 의해 플랜지부를 파지함으로써, 물품을 매단 상태로 적절하게 유지할 수 있다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 개시에 관한 기술은, 주행 경로를 따라 주행하는 물품 반송차에 이용할 수 있다.
1: 천장 반송차(물품 반송차)
6: 물품
9: 플랜지부
11: 바닥부
23: 유지 장치
24: 승강 장치
31: 연결부
32: 물품 지지부
50: 파지부
36: 탄성 지지 기구
36a : 탄성체
37: 안내 기구
37a : 직동 안내 기구
B : 걸어맞춤 오목부
P : 걸어맞춤 볼록부
X : 주행 방향
Y : 폭 방향
Z : 상하 방향

Claims (5)

  1. 주행 경로를 따라 주행하는 주행체;
    물품을 유지하는 유지 장치; 및
    상기 주행체에 탑재되고 상기 유지 장치를 상기 주행체에 대하여 승강시키는 승강 장치;를 구비하고,
    상기 유지 장치가, 상기 승강 장치에 연결된 연결부와, 상기 물품에 접촉하여 상기 물품을 지지하는 물품 지지부를 구비하고,
    상기 유지 장치가, 상기 물품 지지부와 상기 연결부 사이에 설치되어 상기 물품 지지부를 상기 연결부에 대하여 상하 방향으로 탄성을 가지는 상태로 지지하는 탄성 지지 기구와, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 이동을 안내하는 안내 기구를 구비하고,
    상기 안내 기구가, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 상기 상하 방향의 평행 이동을 허용하고 또한, 상기 연결부에 대한 상기 물품 지지부의 요동을 규제하도록 구성되어 있는,
    물품 반송차(搬送車).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물품 지지부는, 한 쌍의 파지부를 구비하고,
    한 쌍의 상기 파지부는, 상기 주행 경로를 따른 방향인 주행 방향으로 서로 이격하여 배치되고,
    상기 탄성 지지 기구는, 한 쌍의 상기 파지부가 서로 독립적으로 상하 이동하도록 한 쌍의 상기 파지부를 지지하고 있고,
    상기 안내 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대한 상기 연결부에 대한 상기 상하 방향의 이동을 안내하도록 구성되어 있는, 물품 반송차.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 주행 방향에 직교하는 방향을 폭 방향으로 하여,
    상기 탄성 지지 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대하여, 상기 폭 방향으로 이격하여 배치된 한 쌍의 탄성체를 구비하고,
    상기 안내 기구는, 한 쌍의 상기 파지부의 각각에 대하여, 상기 폭 방향으로 이격하여 배치된 한 쌍의 직동(直動) 안내 기구를 구비하고,
    한 쌍의 상기 파지부의 각각에 있어서, 한 쌍의 상기 직동 안내 기구가 한 쌍의 상기 탄성체보다 상기 폭 방향의 외측에 배치되어 있는, 물품 반송차.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 안내 기구는, 수평면을 따르는 방향으로 서로 이격하여 복수 개소에 배치된 직동 안내 기구를 구비하고,
    상기 직동 안내 기구의 각각은, 상기 연결부 및 상기 물품 지지부 중 한쪽에 고정된 안내체와, 상기 연결부 및 상기 물품 지지부 중 다른 쪽에 고정되어 상기 안내체를 따라 이동하는 이동체를 구비하고,
    상기 안내체는, 상기 상하 방향을 따라 상기 이동체가 이동하도록 배치되어 있는, 물품 반송차.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 물품은, 상부에 형성된 플랜지부와 바닥부에 형성된 걸어맞춤 오목부를 구비한 용기이며,
    상기 걸어맞춤 오목부는, 상기 승강 장치에 의해 하강되어 탑재 개소에 탑재되는 경우에, 상기 탑재 개소에 형성된 위치결정용의 걸어맞춤 볼록부에 걸어맞추어지고,
    상기 물품 지지부는, 한 쌍의 파지부에 의해 상기 플랜지부를 파지하도록 구성되어 있는, 물품 반송차.
KR1020210176578A 2020-12-24 2021-12-10 물품 반송차 KR20220092381A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020215637A JP2022101200A (ja) 2020-12-24 2020-12-24 物品搬送車
JPJP-P-2020-215637 2020-12-24

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220092381A true KR20220092381A (ko) 2022-07-01

Family

ID=82071261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210176578A KR20220092381A (ko) 2020-12-24 2021-12-10 물품 반송차

Country Status (5)

Country Link
US (1) US12087607B2 (ko)
JP (2) JP2022101200A (ko)
KR (1) KR20220092381A (ko)
CN (1) CN114678309A (ko)
TW (1) TW202227353A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118164369B (zh) * 2024-05-16 2024-07-12 中电建成都建设投资有限公司 一种用于小直径小转弯盾构施工的梁吊

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5217416B2 (ja) * 2007-12-25 2013-06-19 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
JP6435795B2 (ja) * 2014-11-12 2018-12-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6327124B2 (ja) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク 物品搬送車
US10643877B2 (en) * 2015-08-27 2020-05-05 Murata Machinery, Ltd. Retrieving device and storing device
JP6223631B1 (ja) * 2016-10-27 2017-11-01 三菱電機株式会社 ワーク搬送装置
JP6794946B2 (ja) * 2017-07-11 2020-12-02 株式会社ダイフク 物品搬送車
JP6835039B2 (ja) * 2018-06-19 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送体

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022101200A (ja) 2022-07-06
US12087607B2 (en) 2024-09-10
US20220208583A1 (en) 2022-06-30
CN114678309A (zh) 2022-06-28
TW202227353A (zh) 2022-07-16
JP2024074987A (ja) 2024-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107097799B (zh) 桥式输送车
JP6327124B2 (ja) 物品搬送車
CN109890730B (zh) 空中搬送车
KR101227918B1 (ko) 천정반송차
KR20190063951A (ko) Oht 장치의 비히클
CN110615241B (zh) 物品输送体
JP2024074987A (ja) 物品搬送車
KR102289021B1 (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
JP2022182018A (ja) 天井搬送車
KR20210116999A (ko) 천장 반송 장치
WO2023013172A1 (ja) 天井搬送車
US20240002148A1 (en) Overhead transport vehicle
WO2023218757A1 (ja) 天井搬送車
KR20220028853A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 이송 장치
WO2023013173A1 (ja) 天井搬送車
JP7537457B2 (ja) 天井搬送車
TWI827842B (zh) 高架搬送車
JP7238736B2 (ja) 物品昇降装置
KR20220071902A (ko) 반송차