KR101359682B1 - 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템 - Google Patents

천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템 Download PDF

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Abstract

사이드 버퍼(2)는 FOUP(6)이 재치되는 저부(23)와, 규제부(291)와, 물품 받이부(292)와, 링크부(293)를 가지고 있다. 규제부(291)는 규제 위치와 퇴피 위치로 이동 가능하다. 규제 위치에서는, 규제부(291)는, 저부(23)에서의 FOUP(6)의 기울기를 규제한다. 퇴피 위치에서는, 규제부(291)는, 저부(23)와 저부(23)의 바로 위의 위치와의 사이에서 FOUP(6)의 이동을 허용한다. 물품 받이부(292)는 저부(23)에 재치된 FOUP(6)으로부터 힘을 받도록 배치된다. 링크부(293)는 그 힘에 의해 규제부(291)를 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동시킨다.

Description

천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템{SIDE BUFFER FOR A TRANSPORT VEHICLE THAT TRAVELS ALONG THE CEILING, AND TRANSPORT VEHICLE SYSTEM}
본 발명은, 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템에 관한 것이다.
반도체의 제조 공장에는, 기판이 수납된 용기를 처리 장치 사이에서 반송하기 위한 반송 시스템이 채용되고 있다.
반송 시스템은, 예를 들면 천장으로부터 매달린 레일과, 레일로부터 매달리도록 지지된 반송차를 구비하고 있다. 반송차는, 기판이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)을 반송한다.
또한 레일의 근방에는, 처리 장치에 FOUP을 반송하는 타이밍을 조정 가능하게 하기 위하여, 사이드 버퍼가 설치되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1을 참조).
이하, 특허 문헌 1의 사이드 버퍼에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 특허 문헌 1의 기술에 대한 설명에서, 부재명에 부여된 부호는 특허 문헌 1에서의 부호이며, 본원의 도면에 기재된 부호와는 관계가 없다.
특허 문헌 1에 기재된 사이드 버퍼는, 지진 등에 의한 요동으로 재치대(載置臺)(300)로부터 FOUP이 낙하하는 것을 방지하기 위하여, 전도(轉倒) 방지 부재(350)를 가지고 있다.
전도 방지 부재(350)의 형상은 각진 U 자이다. 전도 방지 부재(350)는, 경동(傾動) 규제부(350a), 연결부(350b) 및 고정부(350c)로 구성되어 있다. 경동 규제부(350a), 연결부(350b) 및 고정부(350c)는 일체로 형성되어 있다. 고정부(350c)는 판상(板狀)의 부위이며, 재치대(300)의 빔(360)에 나사 고정되어 있다. 연결부(350b)는, 고정부(350c)로부터 상방으로 연장되는 판상의 부위이다. 경동 규제부(350a)는, 연결부(350b)에 대하여 수직으로 연장되어 있는 판상의 부위이다. 즉 경동 규제부(350a)는, 재치대(300)에서 물품이 재치되는 위치의 상방에 배치된다.
특허 문헌 1에서 물품(500)은, FOUP으로서, 측면부의 최하부에 돌기부(510)를 가지고 있다. 돌기부(510)의 상면에는 접촉면부(510a)가 설치되어 있다. 물품(500)은, 재치대(300)에 재치될 때, 반송차(3)에 의해 재치대(300)를 향해 대략 수평 방향으로 이동된다. 이 이동 동작에서 높이 방향에서의 물품(500)의 접촉면부(510a)의 위치는, 높이 방향에서의 경동 규제부(350a)의 위치보다 낮다. 물품(500)은, 이 이동 동작에 의해 재치대(300)의 상방까지 이송된 후에 하강되어, 재치대(300)에 재치된다.
물품(500)이 재치대(300)에 재치된 상태에서 기울어지면, 접촉면부(510a)가 경동 규제부(350a)에 접촉한다. 따라서, 재치대(300)에 재치되어 있는 물품(500)의 경동의 범위가 제한된다.
일본특허공개공보 2009 - 196748 호
상술한 재치대(300)에서는 경동 규제부(350a)가, 재치대(300)에서 물품(500)이 재치되는 부분의 상방에 배치되어 있다. 따라서, 경동 규제부(350a)보다 상방의 위치와 재치대(300)와의 사이에서 물품을 상하 방향으로 이동시킬 수 없다.
또한, 특허 문헌 1에서의 반송 시스템에서는, 물품(500)은 재치대의 편측으로부터만 출납되도록 되어 있다. 왜냐하면, FOUP의 덮개의 가장자리는 측면으로부터 돌출되어 있어, 재치대의 반대측으로부터 출납하면, 경동 규제부에 FOUP의 덮개가 접촉하기 때문이다. 따라서, 특허 문헌 1에 기재된 기술은, 측면으로부터 덮개가 돌출되어 있는 FOUP을, 재치대의 양측으로부터 출납하는 반송차 시스템에는 적용될 수 없다.
본 발명의 과제는, 전도 방지 기구를 가지는 사이드 버퍼에서의 물품의 출납 방향의 자유도를 높이는 것에 있다.
이하에 수단으로서 설명하는 복수의 태양은, 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.
본 발명의 한 관점에 따른 사이드 버퍼는, 천장을 주행하는 반송차를 구비하는 반송차 시스템에 설치되는 사이드 버퍼이다. 이 사이드 버퍼는, 물품이 재치되는 재치부와, 재치부를 천장으로부터 매다는 현수 부재와, 재치부에서의 물품의 기울기를 규제하는 규제 위치와, 재치부와 재치부의 바로 위로서 규제부의 상방의 위치와 하방의 위치와의 사이에서의 물품의 이동을 허용하는 퇴피 위치로 이동 가능한 규제부와, 재치부에 재치된 물품으로부터 힘을 받도록 배치되는 물품 받이부와, 힘에 의해 규제부를 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동시키는 링크부를 구비한다.
규제부가 규제 위치에 위치할 때는, 물품의 기울기가 규제되므로, 물품의 전도가 방지된다. 한편, 규제부가 퇴피 위치에 위치할 때는, 재치부와 재치부의 바로 위의 위치와의 사이에서의 물품의 이동이 허용되므로, 물품의 이동재치의 자유도가 높아진다. 예를 들면, 물품을 재치부의 바로 위의 위치로부터 재치부에 재치할 수 있다.
또한, 링크부가 규제부를 퇴피 위치로부터 규제 위치에 이동시키기 위하여 물품으로부터의 힘을 이용하고 있으므로, 특별한 구동 부재를 이용할 필요가 없다.
규제부는, 규제 위치에 있어서, 상기 반송차의 진행 방향에서 물품의 양측에 배치되어도 된다. 또한 물품 받이부는, 물품이 재치부에 재치되어 있을 때, 수평 또한 상기 진행 방향에 수직인 방향에서의 물품의 단부(端部) 근방이 상기 물품 받이부 상에 재치되도록 배치되어도 된다.
이 경우, 물품이 물품 받이부에 재치됨으로써, 링크부가 규제부를 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동시킨다. 따라서, 물품을 재치부에 재치하는 동작에 의해, 규제부를 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동시킬 수 있다.
사이드 버퍼는, 규제부를 퇴피 위치를 향해 가압하는 가압부를 더 구비하고 있어도 된다. 이 경우, 상술한 힘이 없을 때에는, 규제부는 퇴피 위치로 확실히 이동한다.
사이드 버퍼는, 규제부로서의 제 1 플레이트와, 제 1 플레이트에 대향하는 물품 받이부로서의 제 2 플레이트와, 제 1 플레이트와 제 2 플레이트를 연결하는 링크부로서의 제 3 플레이트를 가지고 있어도 된다.
제 1 플레이트, 제 2 플레이트 및 제 3 플레이트는 U 자 형상을 형성하도록 구성되어 있어도 된다.
규제부, 물품 받이부 및 링크부는 일체로 형성되어 있어도 된다.
사이드 버퍼는 회전축을 더 구비해도 되고, 규제부는 회전축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있어도 된다.
물품은 표면에 돌기를 구비하고 있어도 된다. 또한 규제부는, 규제 위치에 있어서, 돌기의 이동 범위를 규제함으로써 물품의 기울기를 규제하도록 배치되어도 된다.
사이드 버퍼는 규제부, 물품 받이부 및 링크부를 제 1 조로서 구비해도 된다. 또한 사이드 버퍼는, 새로운 규제부, 물품 받이부 및 링크부를 제 2 조로서 구비해도 된다. 제 1 조는 재치부의 편측에 배치되고, 제 2 조는 제 1 조가 배치된 측의 반대측에 배치되어도 된다. 이 경우, 물품은 양측으로부터 규제부에 의해 기울기가 규제되므로, 요동이 생겨도 물품의 자세가 보다 안정적으로 유지된다.
본 발명의 다른 관점에 따른 반송차 시스템은, 상술한 사이드 버퍼의 어느 일방과, 재치부와 재치부의 바로 위로서 규제부보다 높은 위치와의 사이에서 물품을 상하 방향으로 이동시키는 반송차를 구비한다.
본 발명에 따른 사이드 버퍼에서는, 규제부가 규제 위치와 퇴피 위치에서 이동 가능하므로, 물품의 출납 방향의 자유도가 높아진다.
도 1은 본 발명의 실시의 한 형태에 따른 FOUP의 외관을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시의 한 형태에 따른 반송차 시스템의 개요를 도시한 정면도이다.
도 3은 도 2의 반송차 시스템에 포함되는 사이드 버퍼의 평면도이다.
도 4는 사이드 버퍼의 정면도이다.
도 5는 FOUP이 사이드 버퍼로부터 이탈되어 있는 상태에서의, 사이드 버퍼의 A - A화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 6은 FOUP이 사이드 버퍼에 재치되어 있는 상태에서의, 사이드 버퍼의 A - A 화살표 방향에서 본 단면도이다.
도 7은 FOUP이 사이드 버퍼에 재치될 때의 FOUP의 동작을 도시한 도면이다.
도 8은 FOUP이 기울었을 때의 규제 부재에 의한 FOUP의 전도 방지를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전도 방지 기구를 나타내는 단면도이다.
1. 제 1 실시예
1 - 1. FOUP의 구성
도 1을 참조하여, 후술하는 반송차 시스템(1)에서 반송되는 FOUP(6)의 구성을 설명한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 포드(pod) 본체(61), 덮개(62), 상부 플랜지(flange)(63), 핸들(64) 및 하부 플랜지(65)를 구비한다.
포드 본체(61)는 대략 직육면체의 용기이며, 내부에 반도체 기판을 수납 가능하다.
상부 플랜지(63)는 포드 본체(61)의 상면의 대략 중앙에 설치된다. 상부 플랜지(63)는, 포드 본체(61)의 상면에 평행한 플레이트와, 그 플레이트와 포드 본체(61)를 연결하고, 또한 포드 본체(61)로부터 상방향으로 돌출하는 지지부로 구성되어 있다.
핸들(64)은 일방향으로 긴 형상이며, 포드 본체(61)에서 마주하는 2 개의 측면의 양방에 설치된다. ‘측면’이란, 포드 본체(61)의 면 중, 포드 본체(61)의 상면 및 덮개(62)의 양방에 접하는 면이다. 핸들(64)은, 측면의 하변에 대하여 비스듬하게 배치된다. 구체적으로 핸들(64)은, 핸들(64)의 길이 방향 단부(端部) 중 덮개(62)에 가까운 쪽의 단부가 포드 본체(61)의 상면에 가깝게 되도록, 또한 타방의 단부가 포드 본체(61)의 상면으로부터 멀어지도록 배치된다.
하부 플랜지(65)는, 핸들(64)이 설치된 것과 동일한 측면의 하변(포드 본체(61)의 측면과 하면에 개재되는 변)을 따라 설치된다. 하부 플랜지(65)는, 측면에 대하여 대략 수직인 방향으로, 즉 포드 본체(61)의 하면과 평행한 방향으로 돌출한다.
1 - 2. 반송차 시스템의 구성
도 2를 참조하여, 반송차 시스템의 구성에 대하여 설명한다.
본 실시예에 따른 반송차 시스템(1)은, 반도체의 제조 시스템에 적용되어 있다. 반송차 시스템(1)은, 복수의 처리 장치(9) 사이에서 FOUP(6)을 반송한다.
1 - 3. 반송차 시스템의 구성
도 2를 참조하여, 반송차 시스템(1)의 구성에 대하여 설명한다. 또한 이하에서는, x 축 방향은 도 2의 수평 방향, y 축 방향은 도 2의 종 방향(즉, 수직 방향), z 축 방향은 도 2의 지면에 수직인 방향이다.
반송차 시스템(1)은, 정해진 경로 상에 복수의 반송차(3)를 주행시키는 시스템이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 반송차 시스템(1)은, 반송차(3), 주행 레일(30) 및 지지 기둥(31)을 구비한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 주행 레일(30)은, 지지 기둥(31)에 의해 클린룸의 천장(5)으로부터 매달려 있다. 주행 레일(30)은, 주행 레일 본체(32)와 급전 레일(33)로 구성되어 있다. 주행 레일(30)은, 그 길이 방향이 z 축과 평행하게 배치된다. 반송차 시스템이 설치되는 장소는 클린룸에 한정되지 않고, 주행 레일은, 반송차 시스템이 클린룸 이외의 다른 방에 설치될 경우도, 그 방의 천장으로부터 매달려 있다.
반송차(3)는 현수식의 반송차이다. 반송차(3)는 도 2에 도시한 바와 같이, 베이스(34), 주행 구동부(35), 수전부(受電部)(36), 2 개의 커버(37), 횡 이동 기구(39), 승강 구동부(40) 및 승강대(41)를 가진다. 주행 구동부(35)는 베이스(34)에 접속되고, 주행 레일 본체(32) 내를 주행할 수 있다. 수전부(36)는 급전 레일(33)로부터 전력을 공급받을 수 있다. 2 개의 커버(37)는, 반송차(3)의 진행 방향(주행 레일(30)의 길이 방향)에서 FOUP(6)을 사이에 두도록 베이스(34)에 고정된다.
횡 이동 기구(39)는, 승강 구동부(40), 승강대(41) 및 FOUP(6)을 x 축 방향으로 이동시킬 수 있다. 승강 구동부(40)는, 벨트, 와이어 또는 로프 등의 현수 부재로 승강대(41)를 y 축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 승강대(41)는, FOUP(6)의 상부 플랜지(63)를 핸드에 의해 끼워 고정할(chuck) 수 있고, 또한 그 고정을 해제할 수 있다.
1 - 4. 사이드 버퍼의 구성
(전체의 구성)
도 2 ~ 도 5를 참조하여, 사이드 버퍼(2)의 구성에 대하여 설명한다. 또한 도 5에서 , 단면보다 앞측에 배치된 부분은 일점 쇄선으로 도시한다.
사이드 버퍼는, 주행 레일(30)의 근방에 배치된 기구이다. 사이드 버퍼(2)는, FOUP(6)이 임시 거치되도록 되어 있다.
도 2 ~ 도 5에 도시한 바와 같이, 사이드 버퍼(2)는 프레임 부재(20), 빔(21), 지지 기둥(22) 및 전도 방지 기구(29)를 구비한다.
빔(21)은 z 축 방향으로 긴 형상이다. 빔(21)은 2 개가 1 조로서 사용된다.
지지 기둥(22)(현수 부재)은, 제 1 단이 빔(21)에 고정되고, 제 2 단이 천장(5)에 고정된다. 이리하여, 지지 기둥(22)은 빔(21) 및 빔(21)에 고정된 다른 부재를 천장(5)으로부터 매달고 있다. 또한 도 2에서, 2 개의 지지 기둥(22)은 FOUP(6) 및 저부(底部)(23)보다 앞측 및 내측에 각각 위치하므로, 설명의 편의상, 일점 쇄선으로 도시한다.
프레임 부재(20)는 빔(21)에 지지되어 있다. 프레임 부재(20)는 저부(23)(재치부), 횡 패널(24), 전 패널(251), 후 패널(252)을 구비한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 저부(23)는 대략 X 자 형상의 판상 부재이다. 저부(23)는 빔(21)에 나사 등에 의해 고정된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 4 개의 횡 패널(24)은 그들 면이 z 축에 평행이 되도록 배치된다. 4 개의 횡 패널(24) 중 2 개는, 저부(23)의 우측 가장자리(도 3의 상측의 가장자리)에, z 축 방향으로 나란하도록 배치된다. 나머지 2 개의 횡 패널(24)은, 저부(23)의 좌측 가장자리(도 3의 하측의 가장자리)에서 z 축 방향으로 나란하도록 배치된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 횡 패널(24)은 저부(23)로부터 상방향(y축의 정방향)으로 돌출되도록 설치된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 전 패널(251)과 후 패널(252)은 z 축 방향에서 대향하도록 배치된다. 도 5에 도시한 바와 같이, 전 패널(251) 및 후 패널(252)은 저부(23)의 면 방향에 수직으로 배치된다. 즉, 전 패널(251) 및 후 패널(252)은 x - y 평면에 평행하게 배치된다. 전 패널(251)의 x 축 방향에서의 양단(兩端)은, 오른쪽 앞측(도 3의 좌상(左上))의 횡 패널(24)의 전단(前端)과 왼쪽 앞측(도 3의 좌하)의 횡 패널(24)의 전단에 각각 접속되어 있고, 후 패널(252)의 x 축 방향에서의 양단은, 오른쪽 후측의 횡 패널(24)(도 3의 우상)의 후단과 왼쪽 후측의 횡 패널(24)(도 3의 우하)의 후단에 각각 접속되어 있다.
이러한 배치에 의해, 전 패널(251)과 저부(23)의 사이 및 후 패널(252)과 저부(23)의 사이에는 간극이 존재한다. 후술하는 규제 부재(290)는 이 간극 내에 배치된다.
프레임 부재(20)는, 전체가 수지로 일체로서 형성되어 있어도 되고, 복수의 부재로 조립되어 있어도 된다.
(전도 방지 기구의 구성)
도 3 ~ 도 5를 참조하여, 전도 방지 기구(29)의 구성에 대하여 설명한다. 전도 방지 기구(29)는, 사이드 버퍼(2)가 흔들려도, FOUP(6)의 전도를 방지하기 위한 기구이다. 또한 도 3에서, 전도 방지 기구(29)에 포함되는 각 부재의 위치는, FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치되었을 때의 위치이다.
도 3 ~ 도 5에 도시한 바와 같이, 전도 방지 기구(29)는, z 축 방향에서의 저부(23)의 양단 근방에 각각 1 개씩 배치된다. 2 개의 전도 방지 기구(29)는, 저부(23)의 중심을 통과하는 x - y 평면에 대하여 대칭으로 배치된다. 전도 방지 기구(29)는 규제 부재(290), 회전축(295) 및 스프링(296)을 구비한다.
규제 부재(290)는, 사이드 버퍼(2)에 수용된 FOUP(6)의 기울기를 규제함으로써, FOUP(6)의 전도를 방지할 수 있다. 규제 부재(290)는 규제부(291)(제 1 플레이트), 물품 받이부(292)(제 2 플레이트) 및 링크부(293)(제 3 플레이트)를 구비한다.
규제부(291), 물품 받이부(292) 및 링크부(293)는 대략 직사각형의 판상 부재이다. 규제부(291)는 링크부(293)의 직사각형의 한 변으로부터 직각으로 연장된다. 링크부(293)의 면 방향에 수직인 방향에서, 규제부(291)의 폭은 물품 받이부(292)의 폭보다 짧다.
규제부(291)의 면 방향과 링크부(293)의 면 방향의 이루는 각도는 대략 직각이다.
물품 받이부(292)는 좁고 긴 형상이며, 링크부(293)를 개재하여 규제부(291)와 대향하도록 배치된다. 물품 받이부(292)는, 후술하는 회전축(295)을 개재하여, 그 길이 방향이 x 축에 평행이 되도록 배치된다. 물품 받이부(292)의 길이는, FOUP(6)의 x 축 방향에서의 길이 ; 하부 플랜지 (65)의 형상 및 z 축 방향의 폭 ; 규제부(291)와 물품 받이부(292)와의 거리 ; 및 규제부(291)의 z 축 방향의 폭 등에 따라 설정된다. 사이드 버퍼(2)에 탑재될 때의 물품 받이부(292)의 길이와 FOUP(6)의 길이와의 관계에 대해서는, 후술한다.
링크부(293)는, 물품 받이부(292)의 폭 방향에서의 가장자리로부터, 물품 받이부(292)의 면 방향에 직각으로 연장된다. 즉, 링크부(293)는 규제부(291)와 물품 받이부(292)를 연결한다.
물품 받이부(292)의 길이 방향에서, 규제부(291)의 길이 및 링크부(293)의 길이는 물품 받이부(292)의 길이보다 짧다. 링크부(293) 및 규제부(291)는, 물품 받이부(292)의 길이 방향에서 물품 받이부(292)의 중심이 아닌, 물품 받이부(292)의 일방의 단부쪽(도면) 위치에 배치되어 있다. 단, 링크부 및 규제부의 형상, 수 및 위치는 변경 가능하다. 단, 규제부(291)의 길이, 링크부(293)의 길이 및 물품 받이부(292)의 길이의 대소 관계는 변경 가능하다.
도 5에 도시한 바와 같이, 규제부(291) 및 링크부(293)를 횡단 y - z 평면에 평행한 단면(A - A 단면)에서 보면, 규제 부재(290)는 U 자 형상이며, 더 구체적으로는 각진 U 자 형상이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 규제부(291) 및 물품 받이부(292)는 U 자 형상의 단면에서 서로 마주하는 부분이다. 링크부(293)는 U 자 형상의 바닥 부분에 해당한다. 상술한 바와 같이, 이 단면에서, 링크부(293)의 면 방향에 수직인 방향에서 규제부(291)의 폭은, 물품 받이부(292)의 폭보다 짧다.
규제 부재(290)는 단면 금속판이 절곡됨으로써 형성되어 있어도 되고, 주조로 형성되어 있어도 되며, 수지 등의 재료에 의해 형성되어 있어도 된다.
회전축(295)은, 규제 부재(290)의 물품 받이부(292)와 링크부(293)의 사이의 모서리에, 물품 받이부(292)의 길이 방향을 따라 설치된다. 회전축(295)의 양단은, 각각 횡 패널(24)에 형성된 축받이 홀(도시하지 않음)에 보지(保持)된다. 축받이 홀은, 횡 패널(24)의 하부(저부(23)에 가까운 부위)로서, 저부(23)의 전단의 근방 및 후단의 근방에 형성된다. 이리하여, 회전축(295)은 x 축에 평행하게 배치된다. 즉, 규제 부재(290)는 z 축 방향에서 저부(23)의 양측에, 그 길이 방향이 x 축과 평행이 되도록 배치된다. 규제 부재(290)는, 회전축(295)를 중심으로 회전 가능하다. 이 회전에 의해, 규제부(291)는 회전축(295)을 중심으로 회전할 수 있다.
도 7에 도시한 바와 같이, 사이드 버퍼(2)에 탑재된 상태에서, 물품 받이부(292)의 길이 방향의 일단은, FOUP(6)의 x 축 방향에서의 일단의 근방에 배치되고, 물품 받이부(292)의 타단은, FOUP(6)의 타단의 근방에 배치된다. 또한 도 7에서는, 물품 받이부(292)의 x 축 방향에서의 양단은, FOUP(6)의 x 축 방향에서의 양단에 대하여 내측에 배치된다. 단 다른 실시예로서, 물품 받이부(292)의 x 축 방향에서의 가장자리는 FOUP(6)의 x 축 방향에서의 가장자리와 동일 위치 또는 외측이어도 된다.
도 3 ~ 도 5에 도시한 바와 같이, 스프링(296)은 회전축(295)의 양단 근방에 설치된다. 보다 구체적으로, 스프링(296)은 링크부(293) 및 물품 받이부(292)보다 회전축(295)의 양단의 근처에 배치된다. 스프링(296)은 회전축(295)에 감긴다. 스프링(296)의 제 1 단은 저부(23)에 접촉하고, 타단은 규제 부재(290)에 고정된다.
스프링(296)은 규제 부재(290)를, 규제 부재(290)가 열리는 방향(2 개의 규제 부재(290)의 규제부(291) 간의 거리가 벌어지는 방향)으로 가압한다.
즉, 전측의 규제 부재(290)는 스프링(296)으로부터, 링크부(293)를 전 패널(251)을 향해 미는 힘을 받는다. 단, 저부(23)에 대한(z - x 평면에 대한) 이 규제 부재(290)의 기울기는, 전 패널(251)에 의해 제한된다. 그 결과, 이 규제 부재(290)의 물품 받이부(292)는 FOUP(6)으로 압하되는 위치, 즉 FOUP(6)으로부터의 힘을 받는 위치에 배치된다.
또한 후측(도 5에서의 우측)의 규제 부재(290)는, 스프링(296)으로부터 링크부(293)를 후 패널(252)을 향해 미는 힘을 받는다. 단, 저부(23)에 대한 이 규제 부재(290)의 기울기는 후 패널(252)에 의해 제한된다. 그 결과, 이 규제 부재(290)의 물품 받이부(292)는 FOUP(6)으로 압하되는 위치, 즉 FOUP(6)으로부터의 힘을 받는 위치에 배치된다.
즉, 도 5에 도시한 바와 같이, 회전축(295) 및 전 패널(251)에 의해, 물품 받이부(292)는 링크부(293)보다 z 축 방향에서 저부(23)의 중심의 근처에 배치된다. 즉 규제 부재(290)는, 그 U 자 형상 단면에서의 오목부가 z 축 방향에서 프레임 부재(20)의 내측을 향하도록 배치된다.
FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치되어 있지 않을 때, 규제부(291)는 스프링(296)에 의해 가압됨으로써, 퇴피 위치에 배치된다(도 5). 후술하는 바와 같이, FOUP(6)은 사이드 버퍼(2)에 재치될 때, 승강 구동부(40)의 재치 동작에 의해, 수직 방향(y 축 방향)을 따라 규제 부재(290)보다 위로부터 저부(23)까지 내려진다. “퇴피 위치”란, 재치 동작에서의 FOUP(6)의 궤도로부터 벗어난 위치이며, 즉 재치 동작 중의 FOUP(6)으로 압하되는 위치이며, 또한 재치 동작 중의 FOUP(6)으로부터의 힘을 받지 않는 위치이다(도 5).
후술하는 바와 같이, 물품 받이부(292)는 FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치되었을 때, FOUP(6)으로부터 힘을 받는다. 링크부(293)는 이 힘을 규제부(291)에 전달함으로써 규제부(291)를 이동시킨다. 구체적으로, 물품 받이부(292) 상에 FOUP(6)이 재치됨으로써, 물품 받이부(292)는 하향(y 축의 부방향)의 힘을 받는다. 규제 부재(290)가 회전축(295)을 중심으로 회전 가능하므로, 이 힘에 의해 물품 받이부(292)는 하향으로 이동한다. 링크부(293)는 물품 받이부(292)에 접속되어 있으므로, 링크부(293)도 회전축(295)을 중심으로 회전한다. 링크부(293)는 규제부(291)에도 접속되어 있으므로, 규제부(291)도 회전축(295)을 중심으로 회전한다. 이리하여, 규제부(291)는 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동한다(도 6). 즉 링크부(293)는, 물품 받이부(292)가 받은 힘에 의해, 규제부(291)를 퇴피 위치로부터 규제 위치로 이동시킨다. 규제부(291)의 이동의 상세는, 도 6을 참조하여 후술한다.
1 - 5. 반송차 시스템(1)의 동작
도 2를 참조하여, 반송차 시스템(1)의 동작에 대하여 설명한다.
반송차 시스템(1)에서 반송차(3)는, 상위의 콘트롤러로부터의 지령에 따라, 처리 장치(9)로부터 FOUP(6)을 적재하고, 또한 주행 레일(30) 상을 이동함으로써, 다른 처리 장치(9)까지 FOUP(6)을 반송한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 처리 장치(9)는 로드 포트(91)와 출입구(92)를 구비한다.
FOUP(6)은, 반송차(3)에 의해 목적지인 처리 장치(9)의 로드 포트(91)에 재치된다. FOUP(6) 내의 기판은, 로봇에 의해 취출되어 처리 장치(9)에 의해 처리된다. 처리가 완료되면, 기판은 FOUP(6)으로 되돌려진다. 반송차(3)는, FOUP(6)을 다음의 목적지로 반송한다.
FOUP(6)은, 반송차(3)에 의해 사이드 버퍼(2)에 재치되어도 된다. FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치됨으로써, 처리 장치(9)에의 반입의 타이밍이 조정된다.
1 - 6. 사이드 버퍼에의 재치
도 2, 도 5 ~ 도 7을 참조하여, 사이드 버퍼(2)에의 FOUP(6)의 재치에 대하여 설명한다. 도 6에서는 도 5와 마찬가지로, FOUP(6)은 이점 쇄선으로 도시하고, 단면보다 앞측에 배치된 부분은 일점 쇄선으로 도시한다. 도 7에서, 사이드 버퍼(2)에 재치된 FOUP(6)은 실선으로, 사이드 버퍼(2)로부터 이탈한 FOUP(6)은 점선으로 도시한다. 또한 도 7에서는, 전 패널(251) 및 후 패널(252) 등의 부재의 도시는 생략되어 있다.
도 5에 도시한 바와 같이, FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치되어 있지 않을 때, 스프링(296)에 의해 힘이 가해짐으로써, 2 개의 규제 부재(290)는 벌어진 상태(2 개의 규제 부재(290)의 규제부(291) 간의 거리가 큰 상태)로 되어 있다. 이 상태에서 물품 받이부(292)의 선단이, FOUP(6)의 재치되는 영역에서 저부(23)보다 높은 위치에 배치되어 있다. 또한 이 상태에서, 규제부(291)는 FOUP(6)이 재치되는 영역으로부터 이탈한 퇴피 위치에 있고, 저부(23)와 저부(23)의 바로 위의 위치와의 사이에서의 FOUP(6)의 이동을 허용하고 있다.
도 7에 도시한 바와 같이, FOUP(6)은 규제 부재(290)보다 위로부터 수직 방향으로 강하됨으로써 사이드 버퍼(2)에 재치된다. 구체적으로 FOUP(6)은, 승강대(41)에 보지된 상태에서, 횡 이동 기구(39)에 의해 x 축 방향으로 이동됨으로써, 저부(23) 및 규제부(291)의 상방까지 이동된다(수평 전위 동작). 이어서 FOUP(6)은, 승강 구동부(40)에 의해 수직 방향으로 강하된다(강하 동작). FOUP(6)의 이동 방향은, 도 2에 화살표(D1 및 D2)로도 나타나 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, 물품 받이부(292)는 강하하는 FOUP(6)에 의해 압하된다. 물품 받이부(292)가 압하됨으로써, 회전축(295)을 중심으로서 규제 부재(290)가 회전한다. 즉, 물품 받이부(292)가 받은 힘을 링크부(293)가 규제부(291)에 전달함으로써, 전측(도 6의 좌측)의 규제 부재(290)의 규제부(291)는 도 6에서의 시계 방향으로 회전하고, 후측(도 6의 우측)의 규제 부재(290)의 규제부(291)는 도 6에서의 반시계 방향으로 회전한다.
최종적으로, 물품 받이부(292)는 FOUP(6)에 의해 저부(23)와 동일한 높이까지 압하된다(도 6). 이에 의해, 링크부(293)는 y 축에 평행이 되도록 기립한다. 또한, 규제부(291)는 규제 위치로 이동한다. “규제 위치”란, FOUP(6)의 하부 플랜지(65)의 바로 위이다. 이리하여, 규제 부재(290)는 닫힌 상태(2 개의 규제 부재(290)의 규제부(291) 간의 거리가 작은 상태)가 된다. 하부 플랜지(65)는, y 축 방향에서 규제부(291)와 물품 받이부(292)의 사이에 개재된다.
1 - 7. 전도 방지 기능
지진 등에 의해 FOUP(6)이 기울 경우의 규제 부재(290)의 기능에 대하여, 도 8을 참조하여 설명한다. 도 8에서는, 흔들려서 사이드 버퍼(2)에 대하여 기울어진 FOUP(6)이 점선으로 도시되어 있다. 또한, 규제 부재(290) 이외의 사이드 버퍼(2)의 부재의 도시는 생략되어 있다.
도 8에 도시한 바와 같이, FOUP(6)이 좌우로(x - y 평면 방향으로) 기울어도, 규제 부재(290)에 의해 FOUP(6)의 전도는 방지 가능하다. 왜냐하면, FOUP(6)이 기울어도 규제부(291)의 위치는 거의 변화하지 않기 때문이다. 즉 FOUP(6)이 기울어도, 규제부(291)는 하부 플랜지(65)의 이동 범위를 제한할 수 있다. 그 결과, FOUP(6)의 사이드 버퍼(2)에 대한 기울기가 제한된다.
이어서, FOUP(6)이 기울어도 규제부(291)의 위치가 거의 변화하지 않는 이유를 설명한다. 규제 부재(290)는, FOUP(6)이 물품 받이부(292) 상에 재치되도록 배치되어 있으므로, FOUP(6)이 기울어도 물품 받이부(292)의 이동 범위(규제 부재(290)의 회전 각도)는 FOUP(6)의 무게에 의해 제한된다.
이와 같이, FOUP(6)이 기울어도 물품 받이부(292)의 이동 범위가 제한되므로, 규제부(291)의 이동 범위도 제한되고, 그 결과 하부 플랜지(65)의 이동이 규제된다.
즉 규제부(291)는, FOUP(6)이 기울어도 규제 위치를 유지할 수 있도록 설치된다. 보다 구체적으로, 규제부(291)와 물품 받이부(292)와의 거리 ; x 축 방향에서의 하부 플랜지(65)에 대한 규제부(291)의 단부의 위치 ; x 축 방향에서의 물품 받이부(292)의 길이 ; 및, x 축 방향에서의 FOUP(6)의 단부에 대한 물품 받이부(292)의 단부의 위치 ; 등의 요소가, FOUP(6)이 기울었을 때에 규제부(291)가 하부 플랜지(65)에 접촉하도록, 즉 FOUP(6)이 기울었을 때, FOUP(6)에 의해 제한되는 규제부(291)의 가동 범위의 상한에서, 하부 플랜지(65)가 규제부(291)에 접촉하도록 설정된다.
1 - 8. 사이드 버퍼로부터의 FOUP의 이동
사이드 버퍼(2)로부터 반송차(3)에 의해 다른 장소로 이동될 때, FOUP(6)은, 승강대(41)에 보지되고, 승강 구동부(40)에 의해 수직 방향을 따라 위로 이동된다(도 5, 도 7). 그리고 FOUP(6)은, 횡 이동 기구(39)에 의해 2 개의 커버(37)의 사이에 수용된다. 이 후 FOUP(6)은, 반송차(3)에 의해 다음의 목적지로 반송된다.
이와 같이, 전도 방지 기구(29)는 사이드 버퍼(2)로부터의 수직 방향으로의 FOUP(6)의 재치 및 취출을 방해하지 않는다. 즉, FOUP(6)의 전도가 효과적으로 방지되고, 또한 사이드 버퍼(2)에 대한 원활한 FOUP(6)의 출납이 가능해진다.
또한 FOUP(6)은, 도 2의 D1 방향뿐 아니라, D2 방향으로도 출납 가능하다. 즉, 사이드 버퍼(2)에 대하여 x 축의 정부(正負) 양 방향으로부터의 FOUP(6)의 출납이 가능하다. 이러한 2 방향으로부터의 출납이 가능한 것은, 규제부(291)가 퇴피 위치로 이동함으로써, FOUP(6)의 출납을 방해하지 않기 때문이다.
2 방향으로부터의 출납은, 예를 들면 x 축 방향에서 사이드 버퍼(2)의 양측에 레일을 배치함으로써 실현된다. 이와 같이 레일을 배치함으로써, 사이드 버퍼(2)에 대하여 도 2의 좌우 양방으로부터 반송차(3)에 의해 FOUP(6)이 출납된다.
또한, D1 방향으로부터 재치된 FOUP(6)이 D2 방향으로부터 취출되어도 되고, D2 방향으로부터 재치된 FOUP(6)이 D1 방향으로부터 취출되어도 된다.
또한 사이드 버퍼(2)에 의하면, 규제 부재(290)를 구비함으로써, FOUP(6)의 전도 방지를 위하여 횡 패널(24), 전 패널(251) 및 후 패널(252)의 높이를 높게 할 필요가 없다. 이 때문에, 사이드 버퍼(2)에 FOUP(6)을 출납할 때의 승강 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 이동 재치를 행하는 반송차(3)의 동작 시간이 짧아진다.
이상에 기술한 바와 같이, 규제 부재(290)는, 회전축(295)을 중심으로 회전함으로써 도 5에 도시된 제 1 자세와 도 6에 도시된 제 2 자세를 취할 수 있다. 제 1 자세에서는, 규제 부재(290)는 z 축 방향에서 외측으로 열려 있고, 규제부(291)는 퇴피 위치에 있다. 이 때문에, 규제부(291)는 FOUP(6)을 저부(23)에 재치할 때의 장애가 되지 않는다. 또한 제 2 자세에서는, 규제 부재(290)는 z 축 방향 내측으로 닫혀 있고, 규제부(291)는 규제 위치에 있다. 이 때문에, FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 대하여 도 8에 도시한 바와 같이 기울었을 경우에도 FOUP(6)의 기울기를 제한한다. 또한, 반송차(3)에 의해 FOUP(6)이 상방으로 인상되면, FOUP(6)이 물품 받이부(292)로부터 멀어짐으로써, 규제 부재(290)는 스프링(296)에 의해 제 2 자세로부터 제 1 자세로 이행한다. 이 때문에, 인상되는 FOUP(6)에 대하여 규제부(291)가 간섭하지 않는다. 이상으로부터, 규제 부재(290)는 FOUP(6)의 기울기에 대해서는 제한을 가하지만, FOUP(6)의 상하 방향의 이동에 대해서는 제한을 가하지 않는다.
2. 제 2 실시예
도 9를 참조하여, 제 2 실시예에 따른 사이드 버퍼에 대하여 설명한다. 제 2 실시예에 따른 사이드 버퍼는, 가압부로서 스프링(296) 대신에 추(297)를 구비하는 것 이외에는, 제 1 실시예의 사이드 버퍼(2)와 동일한 구성을 가진다. 따라서, 이미 설명된 부재에 대한 설명 및 도시는 생략된다.
도 9에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 사이드 버퍼의 전도 방지 기구(298)는 추(297)를 구비한다. 추(297)는, 규제 부재(290)의 U 자 형상의 바닥의 외면에 고정된다. 즉, 추(297)는 링크부(293)의 외면에 고정된다. 추(297)는 규제 부재(290)와 일체로 형성되어 있어도 된다.
도 9에 도시한 바와 같이, FOUP이 사이드 버퍼에 재치되어 있지 않을 때, 전측의 규제 부재(290)는 추(297)에 의해 전 패널(251)로 기울고, 후측의 규제 부재(290)는 추(297)에 의해 후 패널(252)로 기운다. 이리하여, 규제부(291)는 퇴피 위치에 배치된다. 즉, 전도 방지 기구(298)(규제 부재(290) 및 추(297))의 중심은, 규제 부재(290)가 퇴피 위치에 힘이 가해지도록 설정되어 있다.
제 1 실시예에서 설명한 바와 같이, FOUP이 사이드 버퍼에 재치될 때는, FOUP은 사이드 버퍼의 바로 위로부터 하방으로 내려진다. 그 결과, 물품 받이부(292)가 FOUP(6)으로 압하된다. 규제 부재(290)가 회전축(295)을 중심으로 회전함으로써, 규제부(291)는 규제 위치로 이동한다.
3. 다른 실시예
이상, 본 발명의 일실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
(1) 제 1 및 제 2 실시예에서는, 규제부(291), 물품 받이부(292) 및 링크부(293)는 규제 부재(290)에 일체로서 포함된다. 단, 규제부(291), 물품 받이부(292) 및 링크부(293)는 각각 분리 가능한 개별의 부재여도 된다.
(2) 제 1 및 제 2 실시예에서는, 전 패널(251) 및 후 패널(252)이, FOUP(6)이 재치되어 있지 않을 때의 규제부(291)의 이동을 제한한다. 단, 규제부(291)의 이동을 제한하는 이들 이외의 부재가 설치되어도 되고, 스프링(296)(가압부)의 힘을 제한하는 다른 부재가 설치되어도 된다.
(3) 제 1 및 제 2 실시예에서, 규제 부재(290)와 회전축(295)은 다른 부재이다. 단, 규제 부재(290)와 회전축(295)이 일체로 형성되어 있어도 된다. 또한, 규제부(291)가 물품 받이부(292) 및 링크부(293)와 분리 가능한 부재일 경우, 규제부(291)에 회전축(295)이 장착되어 있어도 되고, 규제부(291)와 회전축(295)이 일체로 형성되어 있어도 된다.
(4) 제 1 및 제 2 실시예에서, 물품인 FOUP(6)이 사이드 버퍼(2)에 재치되어 있을 때, FOUP(6)의 바닥은, 주로 프레임 부재(20)의 저부(23)에 의해 유지된다. 단, 물품 받이부(292)의 크기 및 강도가 적절히 설정됨으로써, 물품 받이부(292)가 물품의 저부를 지지할 수 있으면, 프레임 부재(20)의 저부(23)는 생략되어도 된다. 즉, 물품 받이부가 재치부를 겸하고 있어도 된다.
(5) 제 1 및 제 2 실시예에서, 규제부(291)는 z 축 방향(제 1 방향)에서 FOUP(6)의 양단에 접촉하도록 배치된다. 또한, 물품 받이부(292)는 x 축 방향(제 2 방향)에서의 FOUP(6)의 양단의 근방이 물품 받이부(292) 상에 재치되도록 배치된다. x 축은 z 축에 직교한다.
단 이들 실시예의 구성은, “규제부가 제 1 방향에서 물품의 양측에 위치하고, 물품이 재치부에 재치되어 있을 때, 물품 받이부가 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향에서의 물품의 단부 근방이 물품 받이부 상에 재치되도록 배치된다”라고 하는 구성의 일례에 불과하다. 즉, 제 2 방향은 제 1 방향에 직교할 필요는 없다. 또한, 물품 받이부는 물품 받이부 상에 물품의 양단이 재치되도록 배치될 필요는 없고, 물품의 편단(片端) 근방만 재치되도록 배치되어도 된다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시예 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.
산업상의 이용 가능성
본 발명은, 재치대 및 반송차 시스템에 적용 가능하다.
1 : 반송차 시스템
2 : 사이드 버퍼
20 : 프레임 부재
21 : 빔
22 : 지지 기둥(현수 부재)
23 : 저부(재치부)
24 : 횡 패널
251 : 전 패널
252 : 후 패널
29, 298 : 전도 방지 기구
290 : 규제 부재
291 : 규제부
292 : 물품 받이부
293 : 링크부
295 : 회전축
296 : 스프링(가압부)
297 : 추(가압부)
3 : 반송차
30 : 주행 레일
31 : 지지 기둥
32 : 주행 레일 본체
33 : 급전 레일
34 : 베이스
35 : 주행 구동부
36 : 수전부
37 : 커버
39 : 횡 이동 기구(제 1 이동부)
40 : 승강 구동부(제 2 이동부)
41 : 승강대
5 : 천장
6 : FOUP(물품)
61 : 포드 본체
62 : 덮개
63 : 상부 플랜지
64 : 핸들
65 : 하부 플랜지
9 : 처리 장치

Claims (13)

  1. 천장을 주행하는 반송차를 구비하는 반송차 시스템에 설치되는 사이드 버퍼로서,
    물품이 재치되는 재치부와,
    상기 재치부를 천장으로부터 매다는 현수 부재와,
    상기 재치부에서의 물품의 기울기를 규제하는 규제 위치와, 상기 재치부의 바로 위로서 규제부의 상방의 위치와 하방의 위치와의 사이에서의 상기 물품의 이동을 허용하는 퇴피 위치로 이동 가능하며, 상기 반송차의 진행 방향에서 상기 물품의 양측에 배치되는 규제부와,
    상기 물품이 상기 재치부에 재치되어 있을 때, 수평 방향이고 또한 상기 반송차의 진행 방향에 수직인 방향에서의 상기 물품의 양 단부 근방이 위에 재치되도록 배치됨으로써, 상기 물품으로부터 힘을 받도록 배치되는 물품 받이부와,
    상기 힘에 의해 상기 규제부를 상기 퇴피 위치로부터 상기 규제 위치로 이동시키는 링크부를 구비하는 사이드 버퍼.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 규제부를 상기 퇴피 위치를 향해 가압하는 가압부를 더 구비하는 사이드 버퍼.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 규제부로서의 제 1 플레이트와, 상기 제 1 플레이트에 대향하는 상기 물품 받이부로서의 제 2 플레이트와, 상기 제 1 플레이트와 제 2 플레이트를 연결하는 상기 링크부로서의 제 3 플레이트를 구비하는 사이드 버퍼.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트, 상기 제 2 플레이트 및 상기 제 3 플레이트는 U 자 형상을 구성하도록 구성되는 사이드 버퍼.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 규제부, 상기 물품 받이부 및 상기 링크부는 일체로 형성되어 있는 사이드 버퍼.
  7. 제 1 항에 있어서,
    회전축을 더 구비하고,
    상기 규제부는, 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 사이드 버퍼.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 물품은 표면에 돌기를 구비하고,
    상기 규제부는, 상기 규제 위치에 있어서, 상기 돌기의 이동 범위를 규제함으로써 상기 물품의 기울기를 규제하도록 배치되는 사이드 버퍼.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 규제부, 물품 받이부 및 링크부를 제 1 조로서 구비하고,
    새로운 규제부, 물품 받이부 및 링크부를 제 2 조로서 구비하고,
    상기 제 1 조는 상기 재치부의 편측에 배치되고, 상기 제 2 조는 상기 제 1 조가 배치된 측의 반대측에 배치되는 사이드 버퍼.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 규제부를 상기 퇴피 위치를 향해 가압하는 가압부를 더 구비하는 사이드 버퍼.
  11. 제 6 항에 있어서,
    회전축을 더 구비하고,
    상기 규제부는, 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 사이드 버퍼.
  12. 제 10 항에 있어서,
    회전축을 더 구비하고,
    상기 규제부는, 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 사이드 버퍼.
  13. 제 1 항에 기재된 사이드 버퍼와,
    천장을 주행하고, 상기 재치부와 상기 재치부의 바로 위로서 상기 규제부보다 높은 위치와의 사이에서 상기 물품을 이동시키는 반송차를 구비하는 반송차 시스템.
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