JP6477579B2 - 容器支持棚 - Google Patents
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- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 27
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 27
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 17
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 101000931462 Homo sapiens Protein FosB Proteins 0.000 description 1
- 102100020847 Protein FosB Human genes 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Description
前記第一支持体に前記容器を搬送する搬送装置は、前記容器の前記底部における搬送用被支持部を下方から支持する第二支持体を備え、前記容器の前記底部は、上方に窪む3つの被支持部を備え、前記3つの被支持部は、前記底部の基準位置に対して放射状に配置され、上下方向に見て、前記容器の前記基準位置と前記容器の重心とが並ぶ方向を前後方向とし、前記前後方向における前記基準位置に対して前記容器の重心が存在する方向を前方とし、その反対方向を後方として、前記3つの被支持部のうちの2つが、前記容器の重心より前記前方に位置する前被支持部であり、前記3つの被支持部のうちの残り1つが、前記容器の重心より前記後方に位置する後被支持部であり、前記第一支持体は、板状に形成された板状部材から成る板状部を備え、また、前記2つの前被支持部に下方から係合した状態で前記容器の前記底部を下方から支持する2つの前支持部と、前記容器の前記底部における重心より前記後方に位置する部分を下方から支持する前記板状部と、前記第一支持体により支持した前記容器における前記搬送用被支持部と上下方向に重なる部分に形成されて前記第二支持体が上下方向に通過可能な切欠き部と、前記第一支持体により支持した前記容器の前端より前記前方に延在する延在部と、を備え、前記延在部は、前記第一支持体により支持されている前記容器と前記前後方向に見て重複する規制部を有し、上下方向に見て、前記前後方向に対して直交する方向を幅方向とし、前記幅方向の一方向を第一幅方向とし、前記幅方向の他方向を第二幅方向として、前記第一支持体は、前記第一支持体により支持した前記容器における前記第一幅方向の端部より前記第一幅方向に延在すると共に前記幅方向に見て前記容器と重複する第一幅規制部を有する第一幅延在部と、前記第一支持体により支持した前記容器における前記第二幅方向の端部より前記第二幅方向に延在すると共に前記幅方向に見て前記容器と重複する第二幅規制部を有する第二幅延在部と、を備え前記規制部と前記第一幅規制部と前記第二幅規制部とは、前記板状部と一体的に形成され、それぞれ前記板状部材の端部を上方に折り曲げて形成されている点にある。
また、容器の前端の下方には、第一支持体の延在部が存在しているため、前方に転倒しようとする容器を延在部により下方から受け止めることで、容器が前方に転倒することを規制できる。また、第一支持体に延在部を備えることで第一支持部が比較的大型になるが、第一支持体に切欠きを備えることで、搬送装置は、切欠きを上下方向に通過させるように第二支持体を移動させるようにして、容器を第1支持体との間で移載できる。
図1に示すように、容器収納設備は、容器Wを収納する収納部1Aを複数備えた容器収納棚1と、容器収納棚1の棚前方向X1に形成された移動空間Sを走行して容器Wを搬送する搬送装置としてのスタッカークレーン2と、を備えている。また、容器収納設備は、容器収納棚1やスタッカークレーン2が設置される領域の側周囲を覆う壁体Kと、壁体Kを貫通する状態で設置されて容器Wを搬送する搬送コンベヤ4と、を備えている。尚、本実施形態では、FOUP(Front Opening Unified Pod)を容器Wとしており、容器Wは、収容物として半導体基板(ウェハ)を収容する。
図2に示すように、容器Wは、半導体基板を収容する収容空間11を有する収容部12と、容器Wの上端部に備えられているフランジ部13と、収容部12の前面に形成された開口14を閉じる着脱自在な蓋体15と、が備えられている。このように、容器Wは、半導体基板を収容する収容空間11と、収容空間11に対して半導体基板を出し入れするための開口14と、を備えており、開口14は、収容空間11に対して棚前方向X1に備えられている。
収容空間11は、その収容空間11に収容されている半導体基板の中心が、容器Wの棚前後方向Xの中心より棚前方向X1に位置するように形成されている。そのため、収容空間11に収容する半導体基板の枚数が増えるに従って容器Wの重心P2は棚前方向X1に移動する。
基準位置P1は、上下方向Zに見て容器Wの重心P2より棚後方向X2に設定されている。重心P2は、容器Wの収容空間11に収容可能な最大枚数の半導体基板を収容している状態における容器Wの重心である。本実施形態では、容器Wの収容空間11に全く半導体基板を収容していない状態の重心も、基準位置P1より棚前方向X1に位置している。
図3に示すように、2つの前被支持部17Aのうちの一方は、幅方向Yにおいて、底部16における容器Wの重心P2に対して第一幅方向Y1に備えられている。2つの前被支持部17Aのうちの他方は、幅方向Yにおいて、底部16における容器Wの重心P2に対して第二幅方向Y2に備えられている。これら2つの前被支持部17Aは、棚前後方向Xにおいて同じ位置に備えられている。後被支持部17Bは、幅方向Yにおいて、底部16における容器Wの重心P2と同じ位置に備えられている。
図1及び図4に示すように、容器収納棚1は、容器Wを収納可能な複数の収納部1Aを上下方向Z及び幅方向Yに並ぶ状態で複数備えている。複数の収納部1Aの夫々は、容器Wの底部16を下方から支持する第一支持体21を備えている。このように、容器収納棚1には第一支持体21を備えている。
図4に示すように、容器収納棚1は、上下方向Zに沿う姿勢で設置された複数の縦枠体22Aと、幅方向Yに沿う姿勢で設置された横枠体22Bと、を備えており、これら縦枠体22Aと横枠体22Bとを組み合わせて枠組み22が形成されている。
枠組み22は、容器収納棚1における棚後方向X2側の端部に設置されており、第一支持体21は、横枠体22Bから棚前方向X1に延びる姿勢で横枠体22Bに支持されている。つまり、第一支持体21は、その棚後方向X2側の端部が横枠体22Bに連結された状態で枠組み22に支持されている。尚、壁体Kは、容器収納棚1の枠組み22に固定されている。
具体的には、板状部23と補強部24との夫々にリベット挿通用の孔が形成されている。そして、板状部23と補強部24とを上下方向に重ねた状態でこれらのリベット挿通用の孔にリベットを上方から挿通させた後、リベットの先端(下端)を潰してリベットの先端を棚前後方向Xや幅方向Yに押し広げ、リベットの頭と先端とで板状部23と補強部24とを上下方向に挟むようにして板状部23と補強部24とを連結している。このようにリベットを用いて板状部23と補強部24とを連結することで、例えば、板状部23と補強部24とを溶接により連結する場合のように板状部23や補強部24が熱によって変形することを回避できると共に板状部23と補強部24との連結に要するコストを抑えることができる。
図1に示すように、スタッカークレーン2は、幅方向Yに沿って走行する走行台車31と、走行台車31に立設されたマスト32と、マスト32に沿って昇降する昇降体33と、昇降体33に支持された移載装置34と、を備えている。移載装置34は、移載対象箇所(収納部1Aや搬送コンベヤ4の内側箇所4B)と自己との間で容器Wを移載できるように構成されている。
そして、移載装置34は、出退操作装置を縦軸心周りに回転させることで、第二支持体36の引退位置から突出する方向を、一対の容器収納棚1の一方が存在する方向と、一対の容器収納棚1の他方が存在する方向と、に択一的に選択自在に構成されている。そのため、移載装置34は、一対の容器収納棚1のいずれの収納部1Aに対しても各収納部1Aとの間で容器Wを移載できるように構成されている。
次に、第一支持体21について説明を加える。
図2に示すように、第一支持体21は、2つの前被支持部17Aに下方から係合した状態で容器Wの底部16を下方から支持する2つの前支持部25と、容器Wの底部16における重心P2より棚後方向X2に位置する部分を下方から支持する板状部23と、を備えている。板状部23は、容器Wにおける底部16の後端部16Aを支持しており、この板状部23が、容器Wの底部16における重心P2より棚後方向X2に位置する部分を下方から支持する後支持部に相当する。
つまり、第一支持体21は、第一支持体21により支持している容器Wの前端よりも棚前方向X1に延在する延在部としての前延在部43を備えている。この前延在部43は、第一支持体21により支持されている容器Wと棚前後方向Xに見て重複する規制部としての前規制部44を有している。前規制部44は、その上端が第一支持体21により支持している容器Wの前被支持部17Aよりも上方に位置する高さで、且つ、容器Wの高さの1/5を超えない高さに形成されている。ちなみに、前規制部44の高さは、容器Wを支持している第二支持体36が引退位置から突出位置に移動するときや突出位置から引退位置に移動するときに、前規制部44が第二支持体36に支持されている容器Wに干渉しない高さであればよい。
つまり、第一支持体21は、第一支持体21により支持した容器Wにおける第一幅方向Y1の端部より第一幅方向Y1に延在する第一幅延在部45を備えている。この第一幅延在部45は、幅方向Yに見て容器Wと重複する第一幅規制部46を有している。また、第一支持体21は、第一支持体21により支持した容器Wにおける第二幅方向Y2の端部より第二幅方向Y2に延在する第二幅延在部47を備えている。この第二幅延在部47は、幅方向Yに見て容器Wと重複する第二幅規制部48を有している。第一幅規制部46及び第二幅規制部48は、前規制部44と同じ高さに形成されている。
(1)上記実施形態では、容器の底部における重心より前方に位置する部分を後支持部により下方から支持する構成として、後支持部としての板状部により容器の後端部を下方から支持する構成としたが、後支持部による容器を支持する構成はこれに限定されない。つまり、例えば、後支持部を、板状部から上方に突出するとともに板状部からの突出量が前支持部より小さい形状に形成して、後被支持部に下方から係合した状態で容器の底部を下方から支持してもよい。また、板状部に複数の突起を形成して、この複数の突起により容器の後端部を下方から支持する構成としてもよい。
また、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部とを備えたが、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部とのうちの一部のみ(例えば前規制部のみ)を備えてもよく、また、第一支持体に、前規制部と第一幅規制部と第二幅規制部との全てを備えないようにしてもよい。
2 スタッカークレーン(搬送装置)
16 底部
16A 後端部
17 被支持部
17A 前被支持部
17B 後被支持部
21 支持体
23 板状部(後支持部)
25 前支持部
36 第二支持体
43 前延在部
44 前規制部
45 第一幅延在部
46 第一幅規制部
47 第二幅延在部
48 第二幅規制部
P1 基準位置
P2 重心
S 移動空間
W 容器
X 棚前後方向(前後方向)
X1 棚前方向(前方)
X2 棚後方向(後方)
Claims (5)
- 半導体基板を収容する容器の底部を下方から支持する第一支持体を備えた容器支持棚であって、
前記第一支持体に前記容器を搬送する搬送装置は、前記容器の前記底部における搬送用被支持部を下方から支持する第二支持体を備え、
前記容器の前記底部は、上方に窪む3つの被支持部を備え、
前記3つの被支持部は、前記底部の基準位置に対して放射状に配置され、
上下方向に見て、前記容器の前記基準位置と前記容器の重心とが並ぶ方向を前後方向とし、前記前後方向における前記基準位置に対して前記容器の重心が存在する方向を前方とし、その反対方向を後方として、
前記3つの被支持部のうちの2つが、前記容器の重心より前記前方に位置する前被支持部であり、前記3つの被支持部のうちの残り1つが、前記容器の重心より前記後方に位置する後被支持部であり、
前記第一支持体は、板状に形成された板状部材から成る板状部を備え、また、前記2つの前被支持部に下方から係合した状態で前記容器の前記底部を下方から支持する2つの前支持部と、前記容器の前記底部における重心より前記後方に位置する部分を下方から支持する前記板状部と、前記第一支持体により支持した前記容器における前記搬送用被支持部と上下方向に重なる部分に形成されて前記第二支持体が上下方向に通過可能な切欠き部と、前記第一支持体により支持した前記容器の前端より前記前方に延在する延在部と、を備え、
前記延在部は、前記第一支持体により支持されている前記容器と前記前後方向に見て重複する規制部を有し、
上下方向に見て、前記前後方向に対して直交する方向を幅方向とし、前記幅方向の一方向を第一幅方向とし、前記幅方向の他方向を第二幅方向として、
前記第一支持体は、前記第一支持体により支持した前記容器における前記第一幅方向の端部より前記第一幅方向に延在すると共に前記幅方向に見て前記容器と重複する第一幅規制部を有する第一幅延在部と、前記第一支持体により支持した前記容器における前記第二幅方向の端部より前記第二幅方向に延在すると共に前記幅方向に見て前記容器と重複する第二幅規制部を有する第二幅延在部と、を備え
前記規制部と前記第一幅規制部と前記第二幅規制部とは、前記板状部と一体的に形成され、それぞれ前記板状部材の端部を上方に折り曲げて形成されている容器支持棚。 - 前記第一幅規制部及び前記第二幅規制部は、前記規制部と同じ高さに形成されている請求項1に記載の容器支持棚。
- 前記第一支持体は、前記2つの前支持部と前記板状部とにより、前記2つの前被支持部が前記後被支持部より上方に位置する傾斜姿勢で、前記容器を支持する請求項1又は2に記載の容器支持棚。
- 前記第一支持体が前記容器を支持した状態で、前記容器の底面における前端部分と前記規制部とが前記前後方向に見て重複している請求項3に記載の容器支持棚。
- 前記第一支持体は、前記第一支持体に支持している前記容器の前方が、前記搬送装置が走行する移動空間を向く姿勢で、前記容器を支持する請求項1から4の何れか1項に記載の容器支持棚。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084656A JP6477579B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 容器支持棚 |
TW106113060A TWI742070B (zh) | 2016-04-20 | 2017-04-19 | 容器支持架 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016084656A JP6477579B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 容器支持棚 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017195279A JP2017195279A (ja) | 2017-10-26 |
JP6477579B2 true JP6477579B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=60155116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016084656A Active JP6477579B2 (ja) | 2016-04-20 | 2016-04-20 | 容器支持棚 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6477579B2 (ja) |
TW (1) | TWI742070B (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5106363B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2012-12-26 | ミライアル株式会社 | ウエハ収納容器 |
JP2014049585A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5888288B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2016-03-16 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備の検査装置 |
-
2016
- 2016-04-20 JP JP2016084656A patent/JP6477579B2/ja active Active
-
2017
- 2017-04-19 TW TW106113060A patent/TWI742070B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI742070B (zh) | 2021-10-11 |
TW201740500A (zh) | 2017-11-16 |
JP2017195279A (ja) | 2017-10-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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