TWI477425B - Upwind buffer and transfer system for elevated transport vehicles - Google Patents

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Description

高架移行式搬送車之側向緩衝區及搬送車系統
本發明有關於高架移行式搬送車之側向緩衝區及搬送車系統。
在半導體之製造工廠中，採用有在處理裝置間搬送收容有基板之容器之搬送系統。
搬送系統係例如具備有：軌道，由高架吊下；和搬送車，被支持成從軌道吊下。搬送車搬送收容有基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)。
另外，在軌道附近設有側向緩衝區，可以用來調整於處理裝置搬送FOUP之時序(例如，參照專利文獻1)。
以下說明專利文獻1之側向緩衝區。另外，在以下專利文獻1之技術說明中，附加在構件名稱之符號為專利文獻1中之符號，與本案之圖面所記載之符號無關。
專利文獻1所記載之側向緩衝區，為防止因地震等搖動使FOUP從載置台300落下，所以具有防止翻倒構件350。
防止翻倒構件350之形狀是方角之U字。防止翻倒構件350由傾動限制部350a、連接部350b和固定部350c所構成。傾動限制部350a、連接部350b和固定部350c係形成為一體。固定部350c為板狀之部位，以螺絲固定在載置台300之樑360。連接部350b是從固定部350c延伸到上方之板狀之部位。傾動限制部350a是相對連接部350b垂直延伸之板狀之部位。亦即，傾動限制部350a被配置在載置台300之載置有物品之位置上方。
在專利文獻1中，物品500為FOUP，在側面部最下部具有突起部510。在突起部510上面設有接觸面部510a。物品500當被載置在載置台300時，利用搬送車3大致水平地朝向載置台300移動。在該移動動作時，在高度方向之物品500接觸面部510a之位置，係低於高度方向之傾動限制部350a之位置。物品500係利用該移動動作被移送到載置台300上方後進行下降，並被載置在載置台300。
物品500以被載置在載置台300之狀態產生傾斜時，接觸面部510a會與傾動限制部350a接觸。因此，被載置在載置台300之物品500傾斜移動之範圍受到限制。
【先前技術文獻】 【專利文獻】
專利文獻1：日本專利特開2009-196748號公報
在上述之載置台300，傾動限制部350a被配置在載置台300中載置有物品500之部分上方。因此，不能使物品在傾動限制部350a上方之位置和載置台300之間，上下方向移動。
另外，在專利文獻1之搬送系統中，物品500只在載置台之一側出入。這是因為若使FOUP之蓋子之緣從側面突出，而從載置台相反側出入時，則FOUP之蓋子會與傾動限制部接觸。因此，專利文獻1所記載之技術不能適用在將蓋子從側面突出之FOUP從載置台兩側出入之搬送車系統。
本發明之課題是提高具有防止翻倒機構之側向緩衝區之物品出入方向之自由度。
以下說明作為解決手段之複數態樣，可以依照需要任意地組合。
本發明一觀點之側向緩衝區是設在具備有高架移行式搬送車之側向緩衝區。該側向緩衝區具備有：載置部，用來載置有物品；吊下構件，將載置部從高架吊下；限制部，可以移動到限制位置和退避位置，上述限制位置係用以限制載置部之物品之傾斜，上述退避位置係於載置部和載置部正上方，且容許上述物品在限制部之上方位置和下方位置之間移動；物品接受部，被配置成接受來自被載置在載置部之物品之力；和鏈部，利用力使限制部從退避位置移動到限制位置。
當限制部位於限制位置時，因為物品之傾斜被限制，所以可以阻止物品之翻倒。另一方面，當限制部位於退避位置時，容許物品在載置部和載置部正上方之位置之間移動，所以物品之移載自由度變高。例如，可以使物品從載置部之正上方位置載置到載置部。
另外，鏈部是為了使限制部從退避位置移動到限制位置，而使用來自物品之力，所以不需要使用特別之驅動構件。
限制部亦可以在限制位置，被配置在上述搬送車行進方向之上述物品兩側。另外，物品接受部被配置成當物品被載置在載置部時，在水平且垂直於上述行進方向之方向，使物品之端部附近被載置在上述物品接受部之上。
在此種情況時，經由將物品載置在物品接受部，利用鏈部使限制部從退避位置移動到限制位置。因此，利用載置部載置物品之動作，可以使限制部從退避位置移動到限制位置。
側向緩衝區亦可以更具備有附加勢能部，用來將限制部朝向退避位置附加勢能。在此種情況，當除去上述之力時，限制部可以確實地移動到退避位置。
亦可以使側向緩衝區具備有：作為限制部之第1板；與第1板面對作為物品接受部之第2板；和用來連接第1板和第2板作為鏈部之第3板。
亦可以使第1板、第2板和第3板構成為U字形狀。
亦可以使限制部、物品接受部和鏈部形成為一體。
亦可以使側向緩衝區更具備有旋轉軸，限制部亦可設置成可以旋轉軸作為中心進行旋轉。
物品亦可以在表面具備有突起。另外，限制部係配置成在限制位置限制突起之移動範圍，藉以限制物品之傾斜。
側向緩衝區亦可具備有限制部、物品接受部和鏈部作為第1組。另外，側向緩衝區更具備有限制部、物品接受部和鏈部作為第2組。第1組被配置在載置部之一側，第2組被配置在第1組之配置側之相反側。在此種情況時，因為物品從兩側以限制部限制其傾斜，所以即使產生搖動，亦可以更穩定地維持物品之姿勢。
本發明另一觀點之搬送車系統，具備有：上述側向緩衝區任一項；和搬送車，高架移行，在載置部和載置部正上方高於限制部位置之間，使物品上下移動。
在本發明之側向緩衝區，因為限制部可以在限制位置和退避位置移動，所以物品出入方向之自由度變高。
 1.　第1實施形態
1-1.FOUP之構造
參照圖1同時說明以後述搬送車系統1搬送之FOUP6之構造。
如圖1所示，具備有罐(pod)本體61、蓋子62、上部突緣(flange)63、手柄64、和下部突緣65。
罐本體61為大致立方體之容器，在內部可以收容半導體基板。
上部突緣63設在罐本體61之上面略中央。上部突緣63之構成包含有：板，平行於罐本體61上面；和支持部，用來連接該板和罐本體61，和從罐本體61向上方突出。
手柄64是在一方向呈長形狀，設在與罐本體61面對面之2個側面雙方。「側面」是指罐本體61之面中與罐本體61上面和蓋子62雙方接合之面。手柄64被配置成相對於側面下邊形成傾斜。具體而言，手柄64被配置成使手柄64長度方向端部中接近蓋子62一方之端部，接近罐本體61上面，且另一方端部遠離罐本體61上面。
下部突緣65被設置成沿著設有手柄64相同側面之下邊(被罐本體61側面和下面所夾住之邊)。下部突緣65在相對側面大致垂直之方向，亦即，在與罐本體61下面平行之方向進行突出。
1-2.　搬送車系統之構造
參照圖2說明搬送車系統之構造。
本實施形態之搬送車系統1適用在半導體之製造系統。搬送車系統1在複數處理裝置9之間搬送FOUP6。
1-3.　搬送車系統之構造
參照圖2說明搬送車系統1之構造。另外，以下，x軸方向是圖2之水平方向，y軸方向是圖2之縱方向(亦即，鉛直方向)，z軸方向是垂直於圖2紙面之方向。
搬送車系統1是在既定路經上使複數搬送車3行走之系統。如圖2所示，搬送車系統1具備有搬送車3、行走軌道30和支柱31。
如圖2所示，行走軌道30係利用支柱31從清潔室之頂板5吊下。行走軌道30由行走本體32和供電軌道33所構成。行走軌道30被配置成使其長度方向平行於z軸。設置搬送車系統之場所並不只限於清潔室，在搬送車系統被設在清潔室以外之其他房間之情況時，行走軌道亦從該房間高架吊下。
搬送車3為懸吊式搬送車。搬送車3，係如圖2所示，具有基座34、行走驅動部35、受電部36、2個蓋子37、橫向移動機構39、升降驅動部40和升降台41。行走驅動部35連接到基座34，可以在行走本體32內行走。受電部36可以接受來自供電軌道33之電。2個蓋子37在搬送車3之行進方向(行走軌道30之長度方向)，以夾住FOUP6之方式被固定在基座34。
橫向移動機構39可以使升降驅動部40，升降台41和FOUP6在x軸方向移動。升降驅動部40係利用皮帶、線或繩索等懸吊構件，可以使升降台41沿著y軸方向升降。升降台41可利用手柄夾住FOUP6之上部突緣63，又，可解除該夾住狀態。
1-4.　側向緩衝區之構造 (全體之構造)
參照圖2~圖5說明側向緩衝區2之構造。另外，在圖5中被配置在剖面近前方部分以一點鏈線描繪。
側向緩衝區成為被配置在行走軌道30附近之機構。側向緩衝區2成為暫時放置FOUP6之方式。
如圖2~圖5所示，側向緩衝區2具備有框架構件20、樑21、支柱22和防止翻倒機構29。
樑21成為在z軸方向呈長形狀。樑21以2根為1組地使用。
支柱22(吊下構件)其第1端被固定在樑21，第2端被固定在頂板5。利用此種方式，支柱22係將樑21和被固定在樑21之其他構件從頂板5吊下。另外，圖2中，2根支柱22因為分別位於FOUP6和底部23近前方和深處，所以為說明之便，以一點鏈線描繪。
框架構件20被樑21支持。框架構件20具備有底部23(載置部)、橫面板24、前面板251、和後面板252。
如圖3所示，底部23為大致X字狀之板狀構件。底部23係利用螺絲等固定在樑21。
如圖3所示，4個橫面板24被配置成使該等面平行於z軸。4個橫面板24中之2個係在底部23之右緣(圖3之上側緣)，被配置成在z軸方向排列。其餘2個橫面板24係在底部23之左緣(圖3之下側之緣)，被配置成在z軸方向排列。如圖4所示，橫面板24被配置成從底部23向上方(y軸之正方向)突出。
如圖3所示，前面板251和後面板252被配置成在z軸方向互面對。如圖5所示，前面板251和後面板252被配置成垂直於底部23之面方向。亦即，前面板251和後面板252被配置成平行於x-y平面。前面板251之x軸方向之兩端分別連接到右前(圖3之左上)之橫面板24前端和左前(圖3之左下)之橫面板24前端，後面板252之x軸方向兩端，分別連接到右後側之橫面板24(圖3之右上)後端和左後側之橫面板24(圖3之右下)後端。
利用此種配置，在前面板251和底部23之間，及後面板252和底部23之間存在有間隙。後述之限制構件290被配置在該間隙內。
框架構件20全體可以樹脂一體形成，亦可以由複數構件組合而成。
(防止翻倒機構之構造)
參照圖3~圖5說明防止翻倒機構29之構造。防止翻倒機構29是即使側向緩衝區2搖動時亦可以防止FOUP6翻倒之機構。另外，圖3中防止翻倒機構29所含之各個構件之位置是FOUP6被載置在側向緩衝區2時之位置。
如圖3~圖5所示，防止翻倒機構29在z軸方向之底部23之兩端附近分別各配置1個。2個之防止翻倒機構29係相對通過底部23中心之x-y平面，被配置成對稱。防止翻倒機構29具備有限制構件290、旋轉軸295和彈簧296。
限制構件290經由限制被收容在側向緩衝區2之FOUP6之傾斜，可以用來防止FOUP6翻倒。限制構件290具備有限制部291(第1板)、物品接受部292(第2板)、和鏈部293(第3板)。
限制部291、物品接受部292、和鏈部293是大致矩形之板狀構件。限制部291從鏈部293矩形之一邊直角地延伸。在鏈部293面方向之垂直方向，限制部291之寬度小於物品接受部292之寬度。
限制部291面方向和鏈部293面方向所形成之角度為大致直角。
物品接受部292為細長之形狀，被配置成經由鏈部293面對限制部291。物品接受部292經由後述之旋轉軸295，被配置成使其長度方向平行於x軸。物品接受部292之長度可依照：FOUP6x軸方向之長度；下部突緣65之形狀和x軸方向之寬度；限制部291和物品接受部292之距離；和限制部291z軸方向之寬度等來設定。組入到側向緩衝區2時物品接受部292長度和FOUP6長度之關係將於後述。
鏈部293從物品接受部292短邊方向之端，在物品接受部292之面方向直角地延伸。亦即，鏈部293連結限制部291和物品接受部292。
在物品接受部292之長度方向，限制部291之長度和鏈部293之長度，小於物品接受部292之長度。鏈部293和限制部291不是被配置在物品接受部292之長度方向中物品接受部292之中心，而是被配置在靠近物品接受部292一方端部之(圖中)位置。但是，鏈部和限制部之形狀、數目和位置可以變更。但是，限制部291長度、鏈部293長度和物品接受部292長度之大小關係可以變更。
如圖5所示，在平行於橫切限制部291和鏈部293之yz平面之剖面(A/A剖面)，限制構件290為U字形狀，更具體而言，成為方角之U字形狀。如圖5所示，限制部291和物品接受部292是U字形之剖面中互相面對之部分。鏈部293為U字形狀之底部分。如上述之方式，在該剖面中，在鏈部293面方向之垂直方向，限制部291之寬度小於物品接受部292之寬度。
限制構件290亦可以經由使切斷之金屬板折曲而形成，亦可以利用鑄造形成，亦可以利用樹脂等之材料形成。
旋轉軸295在限制構件290之物品接受部292和鏈部293之間之角，被設置成沿著物品接受部292之長度方向。旋轉軸295兩端分別被保持在設於橫面板24之軸承孔(未圖示)。軸承孔在橫面板24之下部(接近底部23之部位)，被設在底部23之前端附近和後端附近。如此一來，旋轉軸295被配置成平行於x軸。換言之，限制構件290在z軸方向於底部23兩側被配置成使其長度方向平行於x軸。限制構件290可以旋轉軸295為中心進行旋轉。利用該旋轉，限制部291可以旋轉軸295為中心進行旋轉。
如圖7所示，在組入到側向緩衝區2之狀態，物品接受部292長度方向之一端，被配置在FOUP6x軸方向之一端附近，物品接受部292另一端被配置在FOUP6之另一端附近。另外，在圖7中，物品接受部292x軸方向之兩端，係相對FOUP6x軸方向之兩端，被配置在內側。但是，作為別的實施形態，物品接受部292x軸方向之端，亦可位於FOUP6x軸方向之端之相同位置或外側。
如圖3~圖5所示，彈簧296設在旋轉軸295之兩端附近。更具體而言，彈簧296被配置成比鏈部293和物品接受部292更接近旋轉軸295之兩端。彈簧296捲繞至旋轉軸295。彈簧296之第1端與底部23接觸，另一端被固定在限制構件290。
彈簧296係將限制構件290朝向限制構件290開放之方向(使2個限制構件290之限制部291間之距離開放方向)附加勢能。
亦即，前側之限制構件290接受來自彈簧296使鏈部293倒向前面板251之力。但是，相對於底部23(對z-x平面)該限制構件290之傾斜被前面板251限制。其結果是限制構件290之物品接受部292被配置在壓下到FOUP6之位置，亦即，配置在接受來自FOUP6之力之位置。
另外，後側(圖5之右側)之限制構件290接受來自彈簧296使鏈部293倒向後面板252之力。但是，相對於底部23該限制構件290之傾斜被後面板252限制。其結果是限制構件290之物品接受部292被配置在壓下到FOUP6之位置，亦即，配置在接受來自FOUP6之力之位置。
換言之，如圖5所示，利用旋轉軸295和前面板251，使物品接受部292被配置在比鏈部293更接近z軸方向之底部23之中心。亦即，限制構件290被配置成使其U字形剖面中凹部在z軸方向面向框架構件20之內側。
當FOUP6未被載置在側緩衝區2時，限制部291被彈簧296附加勢能，而被配置在退避位置(圖5)。如後述，當FOUP6被載置在側向緩衝區2時，利用升降驅動部40之載置動作，沿著鉛直方向(y軸方向)從限制構件290上方下降到底部23。“退避位置”是指載置動作中脫離FOUP6之軌道之位置，換言之，是指載置動作中未壓下到FOUP6之位置，更換言，是指載置動作中未接受到來自FOUP6之力之位置(圖5)。
如後述，當FOUP6被載置在側向緩衝區2時，物品接受部292會接受來自FOUP6之力。鏈部293將該力傳達到限制部291，用來移動限制部291。具體而言，在物品接受部292上載置FOUP6，藉此，物品接受部292會接受向下(y軸之負方向)之力。因為限制構件290可以旋轉軸295為中心進行旋轉，所以利用該力可以使物品接受部292向下移動。
因為鏈部293連接到物品接受部292，所以鏈部293亦可以旋轉軸295為中心進行旋轉。因為鏈部293亦連接到移動限制部291，所以移動限制部291亦可以旋轉軸295為中心進行旋轉。如此一來，移動限制部291係從退避位置移動到限制位置(圖6)。亦即，鏈部293利用物品接受部292所接受到之力，使限制部291從退避位置移動到限制位置。限制部291之移動之詳細部分則參照圖6並於後述進行說明。
1-5.　搬送車系統1之動作
參照圖2說明搬送車系統1之動作。
在搬送車系統1中，搬送車3係依照來自上位之控制器指令，裝入來自處理裝置9之物品，然後在行走軌道30上移動，用來將FOUP6搬送到其他之處理裝置9。
如圖2所示，處理裝置9具備有裝載埠91和出入口92。
利用搬送車3使FOUP6被載置在目的地之處理裝置9之裝載埠91。FOUP6內之基板係利用裝載埠取出，並利用處理裝置9進行處理。當處理完成時使基板回到FOUP6。搬送車3將FOUP6搬送到下一個目的地。
FOUP6亦可以利用搬送車3載置在側向緩衝區2。經由將FOUP6載置在側向緩衝區2，藉此可以調整搬入到處理裝置9之時序。
1-6.　對側向緩衝區之載置
參照圖2、圖5~圖7，說明對側向緩衝區2之FOUP6之載置。在圖6中，與圖5同樣地，FOUP6係以2點鏈線描繪，被配置在剖面近前方之部分以一點鏈線描繪。在圖7中，被載置在側向緩衝區2之FOUP6以實線描繪，離開側向緩衝區2之FOUP6以虛線描繪。另外，在圖7中，省略前面板251和後面板252等構件之圖示。
如圖5所示，當FOUP6未被載置在側緩衝區2時，利用彈簧296附加勢能，使2個限制構件290成為張開之狀態(2個限制構件290之限制部291之間之距離變大之狀態)。在此種狀態，物品接受部292之前端被配置在FOUP6之載置區域中高於底部23之位置。另外，在此種狀態下，限制部291在離開載置FOUP6之區域之退避位置，容許FOUP6在底部23和底部23正上方之位置之間移動。
如圖7所示，FOUP6利用限制構件290在鉛直方向，從上下降，藉此被載置在側向緩衝區2。具體而言，FOUP6以被保持在升降台41之狀態，利用橫向移動機構39在軸方向移動，用來移動到底部23和限制部291上方(水平轉位動作)。其次，FOUP6係利用升降驅動部40在鉛直方向下降(下降動作)。FOUP6之移動方向在圖2亦以D1和D2表示。
如圖6所示，物品接受部292係經由下降之FOUP6而壓下。利用物品接受部292之壓下，來使限制構件290以旋轉軸295作為中心而進行旋轉。亦即，鏈部293將物品接受部292所接受到之力傳達到限制部291，用來使前側(圖6之左側)之限制構件290之限制部291在圖6中順時針旋轉，且後側(圖6之右側)之限制構件290之限制部291在圖6中反時針旋轉。
最後，物品接受部292係利用FOUP6被壓下到與底部23相同之高度(圖6)。利用此種方式，鏈部293立起而成為與y軸平行。然後，限制部291移動到限制位置。“限制位置”在FOUP6之下部突緣65正上方。如此一來，限制構件290成為閉合狀態(2個限制構件290之限制部291間之距離變小之狀態)。下部突緣65在y軸方向被夾在限制部291和物品接受部292之間。
1-7.　防止翻倒功能
參照圖8說明因地震等使FOUP6傾斜之情況時之限制構件290功能。在圖8中，由於搖動而相對於側向緩衝區2傾斜之FOUP6以虛線描繪。另外，省略限制構件290以外之側向緩衝區2之構件圖示。
如圖8所示，即使FOUP6左右(在x-y平面方向)傾斜時，亦利用限制構件290防止FOUP6翻倒。假如某種原因使FOUP6傾斜時，限制部291位置亦可大致不變。亦即，即使FOUP6傾斜時，限制部291亦可以限制下部突緣65之移動範圍。其結果是可以限制FOUP6相對於側向緩衝區2之傾斜。
其次，說明即使FOUP6傾斜時，限制部291之位置亦大致不變之理由。因為限制構件290被配置成將FOUP6可載置在物品接受部292之上，所以即使FOUP6傾斜時，物品接受部292之移動範圍(限制構件290之旋轉角度)會因為FOUP6之重量而被限制。
利用此種方式，因為即使FOUP6傾斜時，物品接受部292之移動範圍亦被限制，所以限制部291之移動範圍被限制，其結果是下部突緣65之移動被限制。
換言之，限制部291被配置成即使FOUP6傾斜時，亦可以維持限制位置。更具體而言，限制部291和物品接受部292之距離；相對於x軸方向中限制部291端部之下部突緣65之位置；x軸方向中物品接受部292之長度；以及相對於x軸方向中物品接受部292端部之FOUP6端部之位置等要件，設定成為當FOUP6傾斜時限制部291與下部突緣65接觸，亦即，FOUP6傾斜時，在被FOUP6限制之限制部291之可動範圍上限，使下部突緣65與限制部291接觸。
1-8.　從側向緩衝區之FOUP之移動
利用搬送車3從側向緩衝區2移動到其他之場所時，FOUP6，保持在升降台41，並利用升降驅動部40沿著鉛直方向向上移動(圖5、圖7)。然後，FOUP6利用橫向移動機構39被收容在2個之蓋子37之間。然後，FOUP6利用搬送車3搬送到下一個之目的地。
利用此種方式，防止翻倒機構29不會妨礙進從側向緩衝區2朝向鉛直方向載置和取出FOUP6。亦即，可以有效地防止FOUP6翻倒，同時可使FOUP6相對於側向緩衝區2順利出入。
另外，FOUP6不只在圖2之D1方向，亦可以在D2方向出入。亦即，相對於側向緩衝區2，FOUP6可以從x軸之正負雙方出入。可以從如此之2方向出入，可經由使限制部291移動到退避位置，而不會妨礙FOUP6之出入。
從2方向出入之實現，可例如在x軸方向之側向緩衝區2之兩側配置軌道。以此方式配置軌道，利用搬送車3從圖2左右雙方使FOUP6出入。
另外，從D1方向載置之FOUP6亦可以從D2方向取出，從D2方向載置之FOUP6亦可以從D1方向取出。
另外，依照側向緩衝區2具備有限制構件290，因而為了防止FOUP6之翻倒時，不需要增加橫面板24、前面板251、和後面板252之高度。因此，FOUP6出入側向緩衝區2時可縮短升降距離。因此，進行移載之搬送車3之動作時間變短。
依照上述之方式，限制構件290以旋轉軸295為中心進行旋轉，用來取得圖5所示之第1姿勢和圖6所示之第2姿勢。在第1姿勢，限制構件290在z軸方向對外側開放，限制部291位於退避位置。另外，在第2姿勢，限制構件290在z軸方內側閉合，限制部291位於限制位置。因此，如圖8所示，相對於側向緩衝區2，即使在FOUP6傾斜之情況時，亦可以限制FOUP6之傾斜。另外，當利用搬送車3將FOUP6拉起到上方，則FOUP6離開物品接受部292，因此限制構件290可利用彈簧296，從第2姿勢轉移到第1姿勢。因此，限制部291不會干涉被拉起之FOUP6。利用以上之方式，限制構件290可相對於FOUP6之傾斜施加限制，但是對FOUP6之上下方向之移動不施加限制。
2.第2實施形態
參照圖9說明第2實施形態之側向緩衝區。第2實施形態之側向緩衝區具備有錘297用以代替作為附加勢能部之彈簧296，除此之外，具有與第1實施形態之側向緩衝區2相同之構造。因此，省略上面已說明之構件之說明和圖示。
如圖9所示，本實施形態之側向緩衝區之防止翻倒機構298具備有錘297。錘297被固定在限制構件290之U字形狀之底之外面。亦即，錘297被固定在鏈部293之外面。錘297亦可以與限制構件290形成一體。
如圖9所示，當FOUP未被載置在側向緩衝區時，前側之限制構件290係利用錘297傾向前面板251，後側之限制構件290係利用錘297傾向後面板252。如此一來，限制部291被配置在退避位置。亦即，防止翻倒機構298(限制構件290和錘297)之重心，被設定成將限制構件290附加勢能而到 退避位置。
如第1實施形態所說明，當FOUP被載置在側向緩衝區時，FOUP從側向緩衝區正上方下降到下方。其結果是物品接受部292被壓下到FOUP6。限制構件290以旋轉軸295為中心進行旋轉，用來使限制部291移動到限制位置。
3.其他之實施形態
以上，已說明本發明一實施形態，但是本發明並不只限於上述之實施形態，在不脫離發明之主旨之範圍可以有各種之變更。
(1)在第1和第2實施形態中，包含使限制部291、物品接受部292、和鏈部293形成與限制構件290成為一體。但是，限制部291、物品接受部292、和鏈部293亦可以成為互相分離之個別構件。
(2)在第1和第2實施形態中，前面板251和後面板252用來限制當未載置FOUP6時之限制部291之移動。但是限制部291之移動之限制，亦可以利用該等以外所設之構件，且亦可以利用限制彈簧296(附加勢能部)之力等其他所設之構件。
(3)在第1和第2實施形態中，限制構件290和旋轉軸295是個別之構件。但是，限制構件290和旋轉軸295亦可以形成一體。另外，在限制部291為可以與物品接受部292和鏈部293分離之構件之情況時，亦可以將限制部291安裝在旋 轉軸295，亦可以使限制部291和旋轉軸295形成一體。
(4)在第1和第2實施形態中，當作為物品之FOUP6被載置在側向緩衝區2時，FOUP6之底，主要地由框架構件20之底部23支持。但是，經由適當地設定物品接受部292之大小和強度，假如物品接受部292可以支持物品之底部時，框架構件20之底部23亦可以省略。亦即，物品接受部可以兼作載置部。
(5)在第1和第2實施形態中，限制部291被配置成在z軸方向(第1位置)與FOUP6兩端接觸。另外，物品接受部292被配置成在x軸方向(第2方向)中使FOUP6兩端附近載置在物品接受部292之上。x軸和z軸呈正交。
但是，該等實施形態之構造只不過是一實例用來構成“配置成當限制部位於第1方向之物品兩側，物品被載置在載置部時，物品接受部將與第1方向交叉之第2方向中物品端部附近載置在物品接受部292之上”。亦即，第2方向不一定要與第1方向正交。另外，物品接受部不一定要被配置成使物品之兩端載置在物品接受部上，亦可以配置成只載置物品之一端附近。
以上，已說明本發明之實施形態，但是本發明並不只限於上述之實施形態，在不脫離本案發明之主旨之範圍可以有各種之變更。特別是本說明書所述之複數實施形態和變化例可以依照需要任意地組合。
(產業上之可利用性)
本發明可適用在載置台和搬送車系統。
1‧‧‧搬送車系統
2‧‧‧側向緩衝區
3‧‧‧搬送車
5．．．頂板
6．．．FOUP(物品)
9．．．處理裝置
20．．．框架構件
21．．．樑
22．．．支柱(吊下構件)
23．．．底部(載置部)
24．．．橫面板
29、298．．．防止翻倒機構
30．．．行走軌道
31．．．支柱
32．．．行走軌道本體
33．．．供電軌道
34．．．基座
35．．．行走驅動部
35．．．行走驅動部
36．．．受電部
37．．．蓋子
39．．．橫向移動機構(第1移動部)
40．．．升降驅動部(第2移動部)
41．．．升降台
61．．．罐本體
62．．．蓋子
63．．．上部突緣
64．．．手柄
65．．．下部突緣
251．．．前面板
252．．．後面板
290．．．限制構件
291．．．限制部
292．．．物品接受部
293．．．鏈部
295．．．旋轉軸
296．．．彈簧(附加勢能部)
297．．．錘(附加勢能部)
圖1是立體圖，用來表示本發明一實施形態之FOUP之外觀。
圖2是正視圖，用來表示本發明一實施形態之搬送車系統之概要。
圖3是圖2之搬送車系統所含之側向緩衝區之俯視圖。
圖4是側向緩衝區之正視圖。
圖5是從側向緩衝區拆卸FOUP之狀態中側向緩衝區之A-A箭視剖視圖。
圖6是FOUP被載置在側向緩衝區狀態中側向緩衝區之A-A箭視剖視圖。
圖7之圖面表示FOUP被載置在側向緩衝區時之FOUP之動作。
圖8係表示FOUP傾斜時利用限制構件防止FOUP之翻倒之圖面。
圖9表示本發明另一實施形態之防止翻倒機構之剖視圖。
6．．．FOUP
21．．．樑
23．．．底部(載置部)
29．．．防止翻倒機構
61．．．罐本體
63．．．上部突緣
64．．．手柄
65．．．下部突緣
251．．．前面板
252．．．後面板
290．．．限制構件
291．．．限制部
292．．．物品接受部
293．．．鏈部
295．．．旋轉軸
296．．．彈簧(附加勢能部)

Claims (12)

  1. 一種側向緩衝區，係設在具備有高架移行式搬送車之搬送車系統，具備有：載置部，係載置有物品；吊下構件，係將上述載置部從高架吊下；限制部，係可以移動到限制位置和退避位置且被配置於上述搬送車行進方向上之上述物品的兩側，上述限制位置係用以限制上述載置部之物品之傾斜，上述退避位置係容許上述物品在上述載置部和上述載置部之正上方且在限制部之上方位置和下方位置之間移動；物品接受部，係當上述物品被載置在上述載置部時，以水平且與上述行進方向垂直之方向上之上述物品的兩端部附近被載置在該物品接受部上之方式配置，藉此被配置成自上述物品接受力；以及鏈部，係藉由上述力而使上述限制部從上述退避位置移動到上述限制位置。
  2. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，更具備有附加勢能部，用來將上述限制部朝向上述退避位置附加勢能。
  3. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，具備有：作為上述限制部之第1板；與上述第1板面對之作為上述物品接受部之第2板；以及用來連接上述第1板和第2板之作 為上述鏈部之第3板。
  4. 如申請專利範圍第3項之側向緩衝區，其中，上述第1板、上述第2板和上述第3板係構成為U字形狀。
  5. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，上述限制部、上述物品接受部和上述鏈部係形成為一體。
  6. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，更具備有旋轉軸；上述限制部設置成可以上述旋轉軸作為中心進行旋轉。
  7. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，上述物品在表面具備有突起；上述限制部被配置成在上述限制位置限制上述突起之移動範圍，藉以限制上述物品之傾斜。
  8. 如申請專利範圍第1項之側向緩衝區，其中，具備有上述限制部、物品接受部及鏈部，作為第1組；更具備有限制部、物品接受部及鏈部，作為第2組；上述第1組被配置在上述載置部之一側，上述第2組被配置在上述第1組所配置之側之相反側。
  9. 如申請專利範圍第5項之側向緩衝區，其中，更具備有附加勢能部，用來將上述限制部朝向上述退避位置附加勢能。
  10. 如申請專利範圍第5項之側向緩衝區，其中，更具備有旋轉軸；上述限制部被配置成可以上述旋轉軸作為中心進行旋轉。
  11. 如申請專利範圍第9項之側向緩衝區，其中，更具備有旋轉軸；上述限制部被配置成可以上述旋轉軸作為中心進行旋轉。
  12. 一種搬送車系統，具備有：申請專利範圍第1項之側向緩衝區；和搬送車，係高架移行，在上述載置部和上述載置部正上方且高於上述限制部之位置之間，使上述物品移動。
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