TW202337794A - 高架搬運車系統 - Google Patents

Abstract

[課題]提供一種高架搬運車系統，可以容易地設置沿著軌道設置之物品的載置部。 [技術內容]高架搬運車系統(1)，是包含：上層軌道(4A)、及在鉛垂方向被設於上層軌道(4A)的下方的下層軌道(4B)、及沿著上層軌道(4A)及下層軌道(4B)行走的搬運車(6)。高架搬運車系統(1)，更具備載置部(9)，載置部(9)是被設於下層軌道(4B)的上面，並且可從停止在上層軌道(4A)的搬運車(6)移載物品(F)。

Description

高架搬運車系統

本發明的一態樣，是有關於高架搬運車系統。

已知的高架搬運車系統，具備：高架搬運車，是具有：行走於被鋪設在頂棚等的軌道的行走部、及設有朝暫存區或是裝載埠等的載置部移載物品用的把持部的昇降部；及高架搬運車所行走的軌道；及沿著軌道設置的載置部。被設於這種高架搬運車系統中的載置部，是為了例如，因為在成為目的地的交付埠中被載置了其他的物品等的理由，而使搬運車無法將搬運中的物品移載至該交付埠的情況時，讓該物品暫置或暫時保管該物品的部位。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第5339167號公報

[發明所欲解決之問題]

例如，在專利文獻1中所揭示高架搬運車系統，具備：高架搬運車可行走的上層軌道、及被配置於比上層軌道更下方並且高架搬運車可行走的下層軌道、及藉由將支撐板掛架在用於將下層軌道吊下的一對的吊下構件連結的連結構件上而形成的載置部。但是，在這種習知的高架搬運車系統中，因為有必要藉由在高處中將不同構件也就是支撐板掛架在吊下構件來安裝載置部，所以不容易安裝載置部。

在此，本發明的目的是提供一種高架搬運車系統，可以容易安裝沿著軌道設置之物品的載置部。 [用以解決問題之技術手段]

本發明的一態樣的高架搬運車系統，是包含：上層軌道、及在鉛垂方向被設於上層軌道的下方的下層軌道、及沿著上層軌道及下層軌道行走的高架搬運車，更具備載置部，載置部是被設於下層軌道的上面，並且可從停止在上層軌道的高架搬運車移載物品。

在此結構的高架搬運車系統中，在預先設好的下層軌道的上面安裝有載置部。如此，在軌道的上面直接安裝載置部的情況時，與使用從頂棚吊下的吊下構件等來安裝載置部的情況相比，安裝時的作業性優異。因此，可以容易安裝沿著軌道設置之物品的載置部。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，下層軌道，是從鉛垂方向觀看的俯視看被配置於不會與上層軌道重疊的位置也可以。在此結構中，只需要透過一個載置部，就可以在：行走於上層軌道的高架搬運車、及行走於下層軌道的高架搬運車之間，移載物品。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，下層軌道，是具有：在與軌道的延伸方向及鉛垂方向雙方直交的寬度方向隔有間隔地配置的一對的底板部、及從一對的底板部的各個立設的一對的側板部、及將一對的側板部在寬度方向連接並且構成上面的上板部，高架搬運車的行走部，是行走於藉由一對的底板部及一對的側板部及上板部而被包圍的空間也可以。在此結構中，因為載置部是設在軌道之中其尺寸為可將高架搬運車的行走部內包的上板部上，所以成為可以確保有足夠的空間將物品載置，且可在穩定的狀態下將物品載置。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，在下層軌道的上面，設有將物品的載置位置定位用的凸部。由此，可以在穩定的狀態下將物品載置在下層軌道的上面的預先決定的位置。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，凸部，是被安裝於下層軌道的上面之中沿著下層軌道的延伸方向延伸的溝部也可以。在此結構中，只需要將凸部安裝在溝部的簡易的作業，就可以形成將物品定位在載置位置用的凸部。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，下層軌道，是透過傾斜調整具被安裝在將下層軌道吊下支撐的吊下構件也可以。在此結構中，可以容易調整下層軌道對於水平面的傾斜，進而容易調整被載置於下層軌道的上面的物品對於水平面的傾斜。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，下層軌道，是透過彈性體安裝在將下層軌道吊下支撐的吊下構件也可以。在此結構中，可以抑制因為搬運車行走於下層軌道而在下層軌道發生的振動。

在本發明的一態樣的高架搬運車系統中，進一步具備防止落下柵欄，是沿著被載置在下層軌道的上面之物品的側方延伸且沿著下層軌道的延伸方向延伸，且是被安裝於下層軌道也可以。在此結構中，防止落下柵欄，因為不是透過吊下構件等被安裝於頂棚等，而是被安裝於下層軌道，所以可以容易安裝。 [發明的效果]

依據本發明的話，可以容易安裝沿著軌道設置之物品的載置部。

以下，參照圖面說明一實施方式的高架搬運車系統1。在圖面的說明中，對於同一要素是附加同一符號，並省略重複的說明。

如圖1及圖2所示，高架搬運車系統1，是使用可沿著軌道4移動的高架搬運車6(以下稱為「搬運車6」)，例如將物品F在處理裝置等的載置部之間搬運用的系統。物品F，包含例如，存儲如複數半導體晶圓的FOUP(前開口式通用容器、Front Opening Unified Pod)、及存儲玻璃基板的光柵容器等的容器、以及一般零件等。高架搬運車系統1，主要是包含：複數搬運車6、及軌道4、及載置部9、及控制複數搬運車6的搬運用的搬運車控制器(無圖示)。

搬運車6，是沿著軌道4行走，將物品F搬運。搬運車6，是可移載物品F。高架搬運車系統1所具備的搬運車6的台數，並無特別限定，可為複數。搬運車6，是具有：行走部10、及本體部20、及本體控制器35。

行走部10，是將搬運車6沿著軌道4行走。行走部10，主要具有：行走滾子11、及側滾子12、及行走驅動部13、及受電裝置15。行走滾子11，是將軌道4的底板部40a轉動。行走滾子11，是被配置於行走部10的前後的左右兩端。側滾子12，是被設置成與軌道4的側板部40b可接觸。行走驅動部13，是LDM(線性直流電機、Linear DC Motor)，被設置在行走部10的前部及後部。在行走驅動部13中，設有電磁鐵，用於在與被配置於軌道4的上板部40c的內面的磁性托板42之間發生將搬運車6加速或是制動用的磁力。受電裝置15，被配置成從搬運車6的鉛垂方向上方觀看的俯視看位於行走部10的前部及後部，且位於行走驅動部13的左右方向的兩側。受電裝置15，是在與後述的供電線(無圖示)之間由非接觸進行供電。

本體部20，是具有：本體框架22、及橫送部24、及θ驅動裝置26、及昇降驅動部28、及昇降台30、及外罩33。本體框架22，是與行走部10連接，將橫送部24、及θ驅動裝置26、及昇降驅動部28、及昇降台30、及外罩33支撐。橫送部24，是將θ驅動裝置26、昇降驅動部28及昇降台30，集體地朝與軌道4的延伸方向直角的方向(寬度方向)橫送。θ驅動裝置26，是將昇降驅動部28及昇降台30的至少其中任一在水平面內在規定的角度範圍內轉動。昇降驅動部28，是藉由金屬線、纜線及皮帶等的吊持材的捲取或吐出而將昇降台30昇降。

在昇降台30中，設有挾盤，可自由把持或是解放物品F。外罩33，是例如在搬運車6的行走方向的前後被設置一對。在外罩33中，是形成有無圖示的爪等，防止物品F在搬運中落下。本體控制器35，是被設置在本體部20。本體控制器35，是控制搬運車6的各種動作。

軌道4，是例如被鋪設在作業者的頭上空間也就是頂棚附近。軌道4，是從頂棚C直接或是間接地吊下。在本實施方式中，軌道4，是具有：被安裝於頂棚C的上層軌道4A、及從由頂棚C吊下的樑構件62吊下並且在鉛垂方向被設於上層軌道4A的下方的下層軌道4B。即，行走於上層軌道4A的搬運車6，是行走於比行走於下層軌道4B的搬運車6更高的位置。下層軌道4B，是從鉛垂方向觀看的俯視看被配置於不會與上層軌道4A重疊的位置。即，行走於上層軌道4A的搬運車6是在寬度方向，行走於從行走於下層軌道4B的搬運車6偏離的位置。又，對於軌道4的吊下構造，是如後詳述。

軌道4，是讓搬運車6行走的預先決定的行走路。軌道4，是具有：由一對的底板部40a、40a及一對的側板部40b、40b及上板部40c所構成的筒狀的軌道本體部40、及供電線支撐部41、及磁性托板42。軌道本體部40，是收容搬運車6的行走部10。

底板部40a，是朝搬運車6的行走方向延伸，並構成軌道本體部40的下面。一對的底板部40a、40a，是在與軌道4的延伸方向及鉛垂方向雙方直交的寬度方向隔有間隔地配置。底板部40a，是搬運車6的行走滾子11轉動行走用的板狀構件。側板部40b，是朝搬運車6的行走方向延伸，並構成軌道本體部40的側面。側板部40b，是從一對的底板部40a、40a的各個立設。

上板部40c，是將一對的側板部40b、40b在寬度方向連接並且朝搬運車6的行走方向延伸，且構成軌道本體部40的上面。如圖3所示，在軌道本體部40的上面，即在上板部40c的外面，形成有沿著軌道4的延伸方向(搬運車6的行走方向)延伸的安裝溝(溝部)43。安裝溝43，是在寬度方向配列二條。安裝溝43，是為了將如後詳述的上層支撐構件52、下層支撐構件66、凸部75、安裝構件72等，安裝在軌道本體部40的上面(上板部40c的外面)而形成。

供電線支撐部41，是用於支撐朝搬運車6供給電力的供電線。供電線支撐部41，是各別被固定於一對的側板部40b、40b，且沿著軌道本體部40的延伸方向延伸也可以，隔有間隔地配置也可以。磁性托板42，是使在搬運車6的行走驅動部13發生供行走或是停止用的磁力(推力)。磁性托板42，是被固定於上板部40c，且沿著行走方向延伸。

接著，說明上層軌道4A及下層軌道4B的吊下結構。如圖2、圖3及圖4(A)所示，上層軌道4A，是藉由一對的上層吊下構件51、51、及上層支撐構件52，而使軌道本體部40從頂棚C被吊下。一對的上層吊下構件51、51的上端，是被固定於頂棚C。上層支撐構件52，是將上層吊下構件51、51的下端彼此連接的構件。上層支撐構件52，是透過螺帽等的結合構件53、53被安裝於一對的上層吊下構件51、51。在結合構件53、53及上層支撐構件52之間，配置例如防振橡膠、藉由彈簧等的構件而形成的彈性體53A也可以。

一對的上層吊下構件51、51及上層支撐構件52，是沿著軌道4的延伸方向，隔有規定間隔地配置。軌道本體部40，是透過螺栓及螺帽等的結合構件54被安裝於上層支撐構件52。在軌道本體部40的上板部40c的外面，如上述形成有安裝溝43。結合構件54，是被設置在安裝溝43。

如圖2、圖3及圖4(B)所示，下層軌道4B的軌道本體部40，是藉由從頂棚C吊下的吊下構件61、61所吊下的樑構件62被吊下。吊下構件61、61的上端，是被固定於頂棚C。樑構件62，是透過螺栓及螺帽等的結合構件63、63而被安裝於吊下構件61、61。進一步詳細的話，軌道本體部40，是藉由一對的下層吊下構件(吊下構件)65、65、及下層支撐構件66，而使軌道本體部40從樑構件62被吊下。

一對的下層吊下構件65、65的上端，是被固定於樑構件62。下層支撐構件66，是將一對的下層吊下構件65、65的下端彼此連接的構件。下層支撐構件66，是透過螺帽等的結合構件67、67被安裝於一對的下層吊下構件65、65。一對的下層吊下構件65、65的至少一部分，是形成可與結合構件67、67螺合的螺旋溝。即，結合構件67、67，是沿著下層吊下構件65的延伸方向可移動地設置。由此，可以將下層支撐構件66固定在下層吊下構件65的延伸方向中的任意的位置。即，一對的下層吊下構件65、65及結合構件67、67，是具有調整下層支撐構件66的傾斜，進而調整下層軌道4B的傾斜用的傾斜調整具的功能。在結合構件67、67及下層支撐構件66之間，配置例如，防振橡膠、藉由彈簧等的構件而形成的彈性體67A也可以。且，不設置彈性體67A也可以。

一對的下層吊下構件65、65及下層支撐構件66，是沿著軌道4的延伸方向，隔有規定間隔地配置。軌道本體部40，是透過螺栓及螺帽等被安裝於下層支撐構件66。軌道本體部40，是透過螺栓及螺帽等的結合構件64被安裝於下層支撐構件66。在軌道本體部40的上板部40c的外面，如上述形成有安裝溝43。結合構件64，是被設置在安裝溝43。

如圖4(B)及圖5所示，這種結構的下層軌道4B的吊下結構，是在下層軌道4B的上面(上板部40c的外面)，設有可從停止在上層軌道4A的搬運車6移載物品F的載置部9。搬運車6，是藉由橫送部24而將昇降台30朝寬度方向送出，接著將昇降台30下降而將物品F載置在載置部9。

在下層軌道4B的上面也就是載置部9中，設有將物品F定位在載置位置用的凸部75。凸部75，是透過防振橡膠、藉由彈簧等的構件而形成的彈性體而被固定於安裝溝43也可以。凸部75，是可嵌合於FOUP(前開口式通用容器)等的底面中的凹部。凸部75的數量，是對應FOUP(前開口式通用容器)等的物品F的底面中的凹部的數量而設置。在本實施方式中，對於一個物品F設置三個凸部75。如圖3所示，以在等間隔配置的下層支撐構件66及下層支撐構件66之間可配置二個物品F的方式設置凸部75。

在下層軌道4B的上面，設有防止物品F從載置部9落下的防止落下柵欄71。防止落下柵欄71，是沿著被載置在下層軌道4B的上面的物品F的側方延伸且沿著下層軌道4B的延伸方向延伸的板狀的構件。防止落下柵欄71，是透過被安裝於下層軌道4B的上面的安裝構件72而被安裝在下層軌道4B的上面。在本實施方式中，安裝構件72，是藉由使凸部75被固定於形成於下層軌道4B的上面的安裝溝43內而被組裝成一體。詳細的話，安裝構件72，是藉由被挾在凸部75及將凸部75安裝在安裝溝43用的結合構件64之間而被固定於下層軌道4B的上面。

說明上述實施方式的高架搬運車系統1中的作用效果。在上述實施方式的高架搬運車系統1中，載置部9是被安裝在預先設好的下層軌道4B的上面。如此，在軌道4的上面直接安裝載置部9的情況時，與使用從頂棚C吊下的吊下構件等安裝載置部的情況相比，作業性優異。因此，可以容易安裝沿著軌道4設置的物品F的載置部9。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，下層軌道4B，是被配置於從鉛垂方向觀看的俯視看位於不會與上層軌道4A重疊的位置。由此，成為可在行走於上層軌道4A的搬運車6、及行走於下層軌道4B的搬運車6之間移載物品F。例如，如圖2所示，在上層軌道4A的下方及從鉛垂方向觀看的俯視看位於與上層軌道4A重疊的位置安裝載置部90的話，就可在載置部90及行走於下層軌道4B的搬運車6之間移載物品F。具體而言，行走於上層軌道4A的搬運車6，若停止在載置部90的上方，且將昇降台30下降的話，就可以將物品F載置在載置部90。行走於下層軌道4B的搬運車6，若停止在載置部90的上方，只要將昇降台30橫送之後再將昇降台30下降的話，就可以將被載置於載置部90的物品F把持。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，下層軌道4B，是具有：在寬度方向隔有間隔地配置的一對的底板部40a、40a、及從一對的底板部40a、40a的各個立設的一對的側板部40b、40b、及將一對的側板部40b、40b在寬度方向連接並且構成上面的上板部40c。且，搬運車6的行走部10，是行走於藉由一對的底板部40a、40a及一對的側板部40b、40b及上板部40c而被包圍的空間S。本實施方式的載置部9，是因為被設於軌道4之中其尺寸為可將搬運車6的行走部10內包的上板部40c上，所以可以確保有足夠的空間將物品F載置，且成為可在穩定的狀態下將物品F載置。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，因為在下層軌道4B的上面，設有將物品F定位在載置位置用的凸部75，所以可以在穩定的狀態下將物品F載置在下層軌道4B的上面的預先決定的位置。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，凸部75，是被安裝於下層軌道4B的上面之中沿著下層軌道4B的延伸方向延伸的安裝溝43。由此，只需要將凸部75安裝在安裝溝43，就可以容易形成將物品F的載置位置定位用的凸部75。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，下層軌道4B，是透過傾斜調整具(一對的下層吊下構件65、65及結合構件67、67)而被安裝在將下層軌道4B吊下支撐的下層吊下構件65。由此，可以容易調整下層軌道4B對於水平面的傾斜，進而容易調整被載置在下層軌道4B的上面的物品F對於水平面的傾斜。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，下層軌道4B，是被固定於下層支撐構件66，下層支撐構件66是透過彈性體67A被安裝在將下層軌道4B吊下支撐的下層吊下構件65。由此，可以抑制因為搬運車6行走於下層軌道4B而在下層軌道4B發生的振動。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中，沿著被載置在下層軌道4B的上面的物品F的側方延伸且沿著下層軌道4B的延伸方向延伸的防止落下柵欄71是被安裝於下層軌道4B。防止落下柵欄71，因為不是透過吊下構件等被安裝於頂棚C等，而是被安裝於下層軌道4B，所以設置成為容易。

以上，雖說明了一實施方式，但是本發明，不限於上述實施方式。在不脫離發明宗旨的範圍內可進行各種變更。

在上述實施方式的高架搬運車系統1中雖舉例說明了，下層軌道4B，是被配置於從鉛垂方向觀看的俯視看位於不與上層軌道4A重疊的位置的例，但是不限定於此結構。例如，如圖6所示，下層軌道4B，是被配置於從鉛垂方向觀看的俯視看位於與上層軌道4A重疊的位置也可以。

在上述實施方式及變形例中雖舉例說明了，藉由被安裝於安裝溝43而形成凸部75的例，但是例如在下層軌道4B的上面直接形成將物品F定位用的凸部也可以。

在上述實施方式及變形例中雖舉例說明了，在行走於上層軌道4A的搬運車6、及行走於下層軌道4B的搬運車6之間可暫置物品F的載置部90，是被設置在建築物的地面G的例，但是被設置在從頂棚C被吊下的結構也可以。

在上述實施方式及變形例中雖舉例說明了，上層吊下構件51、51的上端及吊下構件61、61的上端是被固定於頂棚C的例，但是不限定於此。例如，上層吊下構件51、51的上端及吊下構件61、61的上端，不是固定不動，而是可滑動地固定於滑軌等上也可以。

1:高架搬運車系統 4:軌道 4A:上層軌道 4B:下層軌道 6:高架搬運車(搬運車) 9:載置部 10:行走部 11:行走滾子 12:側滾子 13:行走驅動部 15:受電裝置 20:本體部 22:本體框架 24:橫送部 26:θ驅動裝置 28:昇降驅動部 30:昇降台 33:外罩 35:本體控制器 40:軌道本體部 40a:底板部 40b:側板部 40c:上板部 41:供電線支撐部 42:磁性托板 43:安裝溝 51:上層吊下構件 52:上層支撐構件 53:結合構件 53A:彈性體 54:結合構件 61:吊下構件 62:樑構件 63:結合構件 64:結合構件 65:下層吊下構件(吊下構件、傾斜調整具) 66:下層支撐構件 67:結合構件(傾斜調整具) 67A:彈性體 71:防止落下柵欄 72:安裝構件 75:凸部 90:載置部 C:頂棚 F:物品 G:地面 S:空間

[圖1]顯示一實施方式的高架搬運車系統中的高架搬運車的概略結構及軌道的剖面結構的圖。 [圖2]顯示一實施方式的高架搬運車系統中的上層軌道及下層軌道的結構的前視圖。 [圖3]將圖2的上層軌道及下層軌道的結構從俯視看的俯視圖。 [圖4](A)，是顯示上層軌道的安裝結構的前視圖。(B)，是顯示下層軌道的安裝結構的前視圖。 [圖5]將圖3的俯視圖放大顯示的擴大俯視圖。 [圖6]顯示變形例的高架搬運車系統中的高架搬運車的概略結構及軌道的剖面結構的圖。

1:高架搬運車系統

4:軌道

4A:上層軌道

4B:下層軌道

6:高架搬運車(搬運車)

9:載置部

10:行走部

20:本體部

40:軌道本體部

51:上層吊下構件

52:上層支撐構件

61:吊下構件

62:樑構件

63:結合構件

65:下層吊下構件(吊下構件、傾斜調整具)

66:下層支撐構件

71:防止落下柵欄

90:載置部

C:頂棚

F:物品

G:地面

Claims (8)

1. 一種高架搬運車系統，包含：上層軌道、及在鉛垂方向被設於前述上層軌道的下方的下層軌道、及沿著前述上層軌道及前述下層軌道行走的高架搬運車， 前述高架搬運車系統，更具備載置部，前述載置部是被設於前述下層軌道的上面，並且可從停止在前述上層軌道的前述高架搬運車移載物品。
2. 如請求項1的高架搬運車系統，其中， 前述下層軌道，是從鉛垂方向觀看的俯視看被配置於不會與前述上層軌道重疊的位置。
3. 如請求項1或2的高架搬運車系統，其中， 前述下層軌道，是具有： 在與前述軌道的延伸方向及鉛垂方向雙方直交的寬度方向隔有間隔地配置的一對的底板部、及 從前述一對的底板部的各個立設的一對的側板部、及 在前述寬度方向將前述一對的側板部連接並且構成前述上面的上板部， 前述高架搬運車的行走部，是行走於藉由前述一對的底板部及前述一對的側板部及前述上板部而被包圍的空間。
4. 如請求項1或2的高架搬運車系統，其中， 在前述下層軌道的前述上面，設有將前述物品定位在載置位置用的凸部。
5. 請求項4記載的高架搬運車系統，其中， 前述凸部，是被安裝於前述下層軌道的前述上面之中沿著前述下層軌道的延伸方向延伸的溝部。
6. 如請求項1或2的高架搬運車系統，其中， 前述下層軌道，是透過傾斜調整具被安裝在將前述下層軌道吊下支撐的吊下構件。
7. 如請求項1或2的高架搬運車系統，其中， 前述下層軌道，是透過彈性體被安裝在將前述下層軌道吊下支撐的吊下構件。
8. 如請求項1或2的高架搬運車系統，其中， 進一步具備防止落下柵欄，是沿著被載置在前述下層軌道的前述上面的前述物品的側方延伸且沿著前述下層軌道的延伸方向延伸，且是被安裝於前述下層軌道。

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