KR20170057847A - 물품 반송 설비 - Google Patents

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KR20170057847A
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Abstract

물품 반송 설비는, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하는 상태인 돌출 상태에 있어서, 제1 지지부의 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고 있다. 지지 부재는, 천정에 직접적으로 또는 간접적으로 지지되어 있다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 천정측에 형성된 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 반송 장치에 의한 물품의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상부를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 반송 설비로서, 일본 공개특허 제2009-12916호 공보(특허 문헌 1)에 기재된 설비가 알려져 있다. 특허 문헌 1의 물품 반송 설비에 구비되는 반송 장치는, 주행 경로 내를 주행 경로를 따라 주행하는 주행부[주행부(110)]와, 물품을 지지하는 제1 지지부[파지부(把持部)(150)]와, 제1 지지부를 현수(懸垂)하여 지지하는 제2 지지부[이동부(140)]를 구비하고 있다. 이 반송 장치는, 특허 문헌 1의 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 경로 내의 퇴피 위치와, 주행 경로에 대하여 측방에 위치하는 돌출 위치와의 사이에서, 제2 지지부를 주행부에 대하여 경로 폭 방향(주행 경로의 폭 방향)으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 제2 지지부의 퇴피 위치로부터 돌출 위치로의 이동에 따른 중심(重心) 이동에 의해 반송 장치가 경사지는 것을 방지하기 위해서, 특허 문헌 1의 반송 장치에는, 주행 레일[궤도부(300)]에 대하여 하측으로부터 접함으로써 반송 장치의 경사를 방지하는 경사 방지 기구(機構)[아우트리거부(200)]가 설치되어 있다.
일본 공개특허 제2009-12916호 공보
그런데, 제조 비용의 저감의 관점에서, 반송 장치의 구성의 복잡화를 억제할 수 있는 것이 바람직하고, 에너지 소비량의 저감의 관점에서, 주행 경로를 따라 주행하는 반송 장치의 중량의 증대를 억제할 수 있는 것이 바람직하다. 이 점에 관한 것으로서, 특허 문헌 1의 기술에서는, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하는 상태인 돌출 상태에서의 반송 장치의 경사를, 반송 장치에 설치되는 경사 방지 기구만에 의해 방지하는 구성이다. 그러므로, 경사 방지 기구의 구성이 복합해지기 쉽고, 경사 방지 기구의 중량도 증대하기 쉽다. 이 결과, 특허 문헌 1의 기술에서는, 경사 방지 기구가 구비되는 반송 장치에 대하여, 구성의 복잡화나 중량의 증대를 억제하는 것이 용이하지 않다.
그래서, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제하면서, 돌출 상태에서의 반송 장치의 경사를 제한할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비는, 다음과 같이 구성된다. 즉, 천정측에 형성된 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 반송 대상부를 구비하고, 상기 반송 대상부가, 상기 주행 경로보다도 하측으로서, 상기 주행 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서 상기 주행 경로의 외측에 배치되고, 상기 반송 장치가, 상기 주행 경로 내를 상기 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 현수하여 지지하는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 제2 지지부에 대하여 승강시키는 제1 구동부와, 상기 주행 경로 내의 퇴피 위치와 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 대상부와 중첩되는 돌출 위치와의 사이에서 상기 제2 지지부를 상기 주행부에 대하여 상기 경로 폭 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 구비한 물품 반송 설비로서, 그 특징적 구성은, 상기 제2 지지부가 상기 돌출 위치에 위치하는 상태인 돌출 상태에 있어서, 상기 제1 지지부의 상기 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 상기 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 지지 부재가, 상기 천정에 직접적으로 또는 간접적으로 지지되어 있는 점에 있다.
즉, 돌출 상태에 있어서 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재가, 물품 반송 설비에 구비된다. 따라서, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하므로, 반송 장치 내에 큰 모멘트 하중이 발생하기 쉬운 돌출 상태에 있어서, 제1 지지부를 현수하여 지지하는 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 받을 수 있고, 그만큼, 반송 장치에 의해 부담하는 모멘트 하중을 저감할 수 있다. 이 결과, 돌출 상태에 있어서, 반송 장치에 의해 부담하는 모멘트 하중의 크기를 적절한 범위 내로 억제하여 반송 장치의 경사를 제한하는 것이 가능해진다.
그리고, 지지 부재는, 반송 장치에 설치되는 부재는 아니다. 반송 장치에는, 지지 부재에 하중을 전달시키기 위한 구조를 설치하는 것만으로 된다. 그러므로, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제하면서, 지지 부재에 의해 제2 지지부의 하중을 받는 구성을 실현할 수 있다. 또한, 반송 장치에, 지지 부재와는 별도로 경사 방지 기구를 설치하는 경우에는, 지지 부재가 부담하는 하중의 분만큼, 상기 경사 방지 기구에 필요한 내하중 성능을 저감할 수 있다. 즉, 경사 방지 기구로서 간소한 구성의 것을 채용할 수 있다. 따라서, 반송 장치에 지지 부재와는 별도로 경사 방지 기구를 설치하는 경우라도, 지지 부재가 설치되지 않는 경우와 비교하여, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제할 수 있다.
이상과 같이, 상기한 특징적 구성에 의하면, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제하면서, 돌출 상태에서의 반송 장치의 경사를 제한할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있다. 그리고, 지지 부재는, 천정에 직접적 또는 간접적으로 지지되므로, 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 안정적으로 받을 수 있다. 또한, 지지 부재는, 제1 지지부의 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 설치되므로, 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 받으면서, 반송 장치와 반송 대상부와의 사이에서 물품을 이송탑재(transfer)할 수 있다.
도 1은, 실시형태에 관한 물품 반송 설비의 일부의 사시도이며,
도 2는, 제2 지지부가 퇴피 위치에 위치하고 또한 제1 지지부가 제1 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 3은, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하고 또한 제1 지지부가 제1 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 4는, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하고 또한 제1 지지부가 제1 높이와 제2 높이와의 사이의 높이에 위치하는 상태를 나타낸 도면이며,
도 5는, 실시형태에 관한 물품 반송 설비의 일부의 정면도이며,
도 6은, 실시형태에 관한 물품 반송 설비의 일부의 측면도이며,
도 7은, 실시형태에 관한 제어 블록도이며,
도 8은, 그 외의 실시형태에 관한 물품 반송 설비의 일부의 정면도이다.
물품 반송 설비의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)를 구비하고 있다. 반송 장치(10)는, 천정측[천정(3)의 측]에 형성된 주행 경로를 따라 주행하여 물품(1)을 반송한다. 여기서, 주행 경로는, 반송 장치(10)가 주행할 때, 반송 장치(10) 및 그에 지지된 물품(1)이 이동하는 공간이다. 본 실시형태에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(10)가 주행할 때는, 물품(1)은, 반송 장치(10)에 구비되는 본체부(17)의 내부에 위치한다. 따라서, 본 실시형태에서는, 반송 장치(10)가 주행할 때 물품(1)이 이동하는 공간은, 반송 장치(10)가 주행할 때 반송 장치(10)가 이동하는 공간에 포함된다.
주행 경로에 대하여 "천정측에 형성되는"이란, 천정(3)과 바닥(70)과의 사이의 높이를 기준 높이로 하여, 주행 경로 중 적어도 일부가 기준 높이보다 높은 위치에 형성되는 것을 의미한다. 기준 높이는, 예를 들면, 천정(3)과 바닥(70)과의 사이의 중앙의 높이, 즉 천정(3) 및 바닥(70)의 각각으로부터 상하 방향 Z[연직(沿直) 방향]과 등거리인 높이로 하거나, 또는 물품 반송 설비로 작업을 행하는 작업자의 신장(평균 신장)에 상당하는 높이 등으로 할 수 있다. 본 실시형태에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 기준 높이를 천정(3)과 바닥(70)과의 사이의 중앙의 높이로 하여, 주행 경로의 전체가, 기준 높이보다 높은 위치에 형성되어 있다. 그리고, 천정(3)은, 물품 반송 설비의 설치 공간의 상한을 정하는 면을 구성한다. 바닥(70)은, 물품 반송 설비의 설치 공간의 하한을 정하는 면을 구성한다. 즉, 천정(3)은, 물품 반송 설비의 설치 공간의 상측을 구획하고, 바닥(70)은, 물품 반송 설비의 설치 공간의 하측을 구획한다. 이하에서는, 주행 경로를 따른 방향(주행 경로의 길이 방향)을 경로 길이 방향 Y라고 하고, 주행 경로의 폭 방향을 경로 폭 방향 X이라고 한다. 경로 폭 방향 X는, 경로 길이 방향 Y 및 상하 방향 Z의 양쪽에 대하여 직교하는 방향이다.
반송 대상부(90)는, 반송 장치(10)에 의한 물품(1)의 반송원 또는 반송처로 된다. 즉, 반송 장치(10)는, 반송 대상부(90)로부터 다른 개소(箇所)[다른 반송 대상부(90)이나 보관 장치 등]에 물품(1)을 반송한다. 또한, 반송 장치(10)는, 다른 개소로부터 반송 대상부(90)에 물품(1)을 반송한다. 반송 대상부(90)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 주행 경로보다도 하측으로서, 경로 폭 방향 X와 주행 경로의 외측에 배치된다. 구체적으로는, 반송 대상부(90)에서의, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재할 때 물품(1)을 지지하는 부분[도 5에 나타낸 예에서는, 2점 쇄선으로 나타내는 물품(1)을 탑재 지지하고 있는 부분]을 물품 지지 부분으로 하면, 반송 대상부(90)에서의 적어도 물품 지지 부분이, 주행 경로보다도 하측으로서, 경로 폭 방향 X와 주행 경로의 외측에 배치된다. 물품 반송 설비는, 복수의 반송 대상부(90)를 구비하고, 반송 대상부(90)의 각각에 대응하는 물품 이송탑재 위치를 경유하도록, 주행 경로가 형성되어 있다. 여기서, 물품 이송탑재 위치는, 반송 대상부(90)에 대하여 경로 폭 방향 X로 어긋난 위치이며, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와 사이에서의 물품(1)의 이송탑재는, 반송 장치(10)의 후술하는 주행부(13)가, 상기 반송 대상부(90)에 대응하는 물품 이송탑재 위치에 정지한 상태에서 행해진다.
본 실시형태에서는, 물품(1)은, 반도체 기판 등의 기판을 수용하는 용기이며, 구체적으로는, FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 물품(1)에 수용된 기판에 대하여 처리를 행하는 처리 장치(2)를 구비하고 있고, 반송 대상부(90)는, 처리 장치(2)에 인접하는 상태로 바닥(70)에 설치되는 지지대[로드 포트(load port)]에 의해 구성되어 있다. 자세한 것은 생략하지만, 처리 장치(2)는, 반송 대상부(90)와 처리 장치(2)의 내부와의 사이에서 물품(1) 또는 물품(1)에 수용된 기판을 반송하는 장치를 구비하고 있다. 반송 대상부(90)가, 물품(1)을 반송하는 컨베이어 등을 구비하고 있어도 된다.
반송 장치(10)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 주행 경로 내를 주행 경로를 따라 주행하는 주행부(13)와, 물품(1)을 지지하는 제1 지지부(11)와, 제1 지지부(11)를 현수하여 지지하는 제2 지지부(12)와, 제1 구동부(41)와, 제2 구동부(42)를 구비하고 있다. 제1 구동부(41)는, 제1 지지부(11)를 제2 지지부(12)에 대하여 승강시키는(즉, 상하 방향 Z로 이동시키는) 구동부이며, 제2 구동부(42)는, 제2 지지부(12)를 주행부(13)에 대하여 경로 폭 방향 X로 이동시키는 구동부이다. 본 실시형태에서는, 반송 장치(10)는, 주행부(13)에 현수 지지되는 본체부(17)를 구비하고 있고, 제2 지지부(12)는, 본체부(17)를 통하여 주행부(13)에 지지되어 있다. 그리고, 제2 구동부(42)는, 제2 지지부(12)를 본체부(17)에 대하여 경로 폭 방향 X로 이동시킴으로써, 제2 지지부(12)를 주행부(13)에 대하여 경로 폭 방향 X로 이동시킨다. 그리고, 본체부(17)는, 주행부(13)에 대한 상하 방향 Z의 위치가 고정되고, 제2 지지부(12)는, 본체부(17)에 대한 상하 방향 Z의 위치가 고정되어 있다. 이로써, 제2 지지부(12)는, 주행부(13)에 대한 상하 방향 Z의 위치가 고정되어 있다.
본 실시형태에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(13)는, 천정(3)으로부터 현수된 주행 레일(4)에 지지된 상태로, 주행 경로를 따라 주행하도록 구성되어 있다. 본체부(17)는, 주행 레일(4)보다도 아래쪽에 위치하도록, 주행부(13)에 현수 지지되어 있다. 주행 레일(4)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 경로 길이 방향 Y를 따라 연장되도록 설치된다. 본 실시형태에서는, 주행 레일(4)은, 경로 길이 방향 Y의 복수의 위치에 있어서, 레일 지지 부재(4a)에 의해 천정(3)에 고정되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행부(13)는, 주행 레일(4)의 상면을 전동(轉動)하는 주행륜(14)을 구비하고 있고, 주행부(13)는, 주행륜(14)이 주행 레일(4)에 대하여 상측으로부터 접촉된 상태로, 주행 레일(4)에 의해 지지된다. 본 실시형태에서는, 주행 경로를 따라 한 쌍의 주행 레일(4)이 설치되어 있다. 한 쌍의 주행 레일(4)은, 경로 폭 방향 X으로 서로 이격되어 설치되고, 주행부(13)는, 한 쌍의 주행 레일(4)의 한쪽의 상면을 전동하는 주행륜(14)과, 한 쌍의 주행 레일(4)의 다른 쪽의 상면을 전동하는 주행륜(14)을 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 주행부(13)는, 상기 주행부(13)에 구비된 주행용 모터(83)(도 7 참조)의 구동력에 의해 주행한다. 구체적으로는, 주행륜(14)이 주행용 모터(83)에 의해 회전 구동됨으로써, 주행부(13)가 주행 경로를 따라 주행한다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 주행부(13)를 주행 경로를 따라 주행시키는 구동부인 제3 구동부(43)가, 주행용 모터(83) 및 주행륜(14)을 구비하고 있다.
주행부(13)는, 주행부(13)의 경로 폭 방향 X의 이동을 규제하여 주행부(13)의 주행을 안내하는 안내륜(15)을 구비하고 있다. 안내륜(15)은, 연직축 주위에 아이들링 회전하도록 구성되며, 안내륜(15)이 주행 레일(4)의 측면에 접촉 안내된 상태로, 주행부(13)가 주행 레일(4)의 연장 방향을 따라(즉, 주행 경로를 따라) 주행한다. 본 실시형태에서는, 주행부(13)는, 한 쌍의 주행 레일(4)의 한쪽에 대하여 경로 폭 방향 X의 내측으로부터 접촉하는 안내륜(15)과, 한 쌍의 주행 레일(4)의 다른 쪽에 대하여 경로 폭 방향 X의 내측으로부터 접촉하는 안내륜(15)을 구비하고 있다. 한 쌍의 안내륜(15)의 각각이 주행 레일(4)에 대하여 경로 폭 방향 X의 내측으로부터 접촉함으로써, 주행부(13)의 경로 폭 방향 X의 이동이 규제된다. 그리고, 경로 폭 방향 X의 내측은, 경로 폭 방향 X와 주행부(13)의 중앙부를 향하는 측이며, 경로 폭 방향 X의 외측은, 그 반대측이다. 본 실시형태에서는, 경로 폭 방향 X의 내측은, 한 쌍의 주행 레일(4)의 각각으로부터 경로 폭 방향 X와 등거리점을 향하는 측으로 된다.
제2 지지부(12)는, 제2 구동부(42)에 의해, 주행 경로 내의 퇴피 위치와, 상하 방향 Z에서 볼 때 반송 대상부(90)와 중첩되는 돌출 위치와의 사이에서 이동된다. 돌출 위치는, 주행 경로 밖의 위치이다. 도 2는, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태의 반송 장치(10)를 나타내고 있다. 또한, 도 3∼도 5는, 제2 지지부(12)가 돌출 위치에 위치하는 상태의 반송 장치(10)를 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 퇴피 위치는, 본체부(17)에 구비된 커버부(18)에 의해 경로 길이 방향 Y의 양측을 구획된 공간(이하, 「수용 공간」이라고 함)의 내부의 위치이다. 커버부(18)는, 제1 지지부(11)가 후술하는 제1 높이에 위치하고 또한 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태(도 2에 나타낸 상태)와, 제1 지지부(11)에 지지된 물품(1)의 경로 길이 방향 Y의 양측을 덮도록 설치되어 있다. 이 수용 공간은, 경로 폭 방향 X 중 적어도 한쪽 측(본 실시형태에서는 양측)에 형성된 개구부에 있어서, 수용 공간의 외부의 공간(주행 경로의 외부의 공간)과 연통되어 있다(도 6 참조). 그리고, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동될 때는, 제2 지지부(12), 제2 지지부(12)에 현수 지지된 제1 지지부(11), 및 제1 지지부(11)에 지지된 물품(1)은, 커버부(18)와 접촉하지 않고, 상기 개구부를 통하여 수용 공간의 내부와 외부와의 사이에서 이동된다.
본 실시형태에서는, 제2 구동부(42)는, 출퇴용(出退用) 모터(82)(도 7 참조)의 구동력에 의해, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동시킨다. 구체적으로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 구동부(42)는, 출퇴용 모터(82)에 더하여, 제1 이동부(42a), 제2 이동부(42b), 및 제3 이동부(42c)를 구비하고 있다. 제1 이동부(42a)는, 본체부(17)에 대하여 경로 폭 방향 X로 상대(相對) 이동 가능하게 연결되고, 제2 이동부(42b)는, 제1 이동부(42a)에 대하여 경로 폭 방향 X로 상대 이동 가능하게 연결되고, 제3 이동부(42c)는, 제2 이동부(42b)에 대하여 경로 폭 방향 X로 상대 이동 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 제2 지지부(12)는, 제3 이동부(42c)에 고정되어 있고, 제3 이동부(42c)와 일체로 경로 폭 방향 X로 이동한다.
제2 구동부(42)는, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태(도 2에 나타낸 상태)로부터, 출퇴용 모터(82)의 구동력에 의해, 제1 이동부(42a)를 본체부(17)에 대하여 경로 폭 방향 X의 외측(이하, 「돌출 위치 측」이라고 함)으로 슬라이딩 이동시키고, 제2 이동부(42b)를 제1 이동부(42a)에 대하여 돌출 위치 측으로 슬라이딩 이동시키고, 또한 제3 이동부(42c)를 제2 이동부(42b)에 대하여 돌출 위치 측으로 슬라이딩 이동시킴으로써, 제2 지지부(12)를 돌출 위치로 이동시킨다. 또한, 제2 구동부(42)는, 제2 지지부(12)가 돌출 위치에 위치하는 상태(도 3에 나타낸 상태)로부터, 출퇴용 모터(82)의 구동력에 의해, 제1 이동부(42a)를 본체부(17)에 대하여 경로 폭 방향 X의 내측(이하, 「퇴피 위치 측」이라고 함)으로 슬라이딩 이동시켜, 제2 이동부(42b)를 제1 이동부(42a)에 대하여 퇴피 위치 측으로 슬라이딩 이동시키고, 또한 제3 이동부(42c)를 제2 이동부(42b)에 대하여 퇴피 위치 측으로 슬라이딩 이동시킴으로써, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로 이동시킨다. 자세한 것은 생략하지만, 본 실시형태에서는, 제2 구동부(42)는, 제1 이동부(42a), 제2 이동부(42b), 및 제3 이동부(42c)의 각각의 경로 폭 방향 X의 이동을 서로 연동시키는 연동 기구를 구비하고 있고, 제2 구동부(42)는, 1개의 출퇴용 모터(82)의 구동력에 의해 제2 지지부(12)를 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동시키도록 구성되어 있다. 그리고, 제2 구동부(42)가, 2개 이상의 출퇴용 모터(82)의 구동력에 의해 제2 지지부(12)를 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동시키는 구성으로 해도 된다.
제1 지지부(11)는, 제1 구동부(41)에 의해, 제1 높이와 제2 높이와의 사이에서 승강된다. 여기서, 제1 높이는, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태에서 제1 지지부(11)가 주행 경로 내에 위치하는 높이이다. 본 실시형태에서는, 제1 높이는, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태에서, 제1 지지부(11)가 전술한 수용 공간의 내부에 위치하는 높이이다. 도 2 및 도 3에서의 제1 지지부(11)의 높이가, 제1 높이이다. 또한, 제2 높이는, 제1 높이보다 낮은 높이로서, 반송 대상부(90)와 제1 지지부(11)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하는 높이이다. 도 5에 있어서 2점 쇄선으로 나타내는 제1 지지부(11)의 높이가, 제2 높이이다.
본 실시형태에서는, 제1 구동부(41)는, 승강용 모터(81)(도 3 및 도 7 참조)의 구동력에 의해, 제1 지지부(11)를 제1 높이와 제2 높이와의 사이에서 승강시킨다. 구체적으로는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 구동부(41)는, 승강용 모터(81)에 더하여, 벨트(41a) 및 권취체(41b)를 구비하고 있다. 그리고, 벨트(41a)는 삭상체(索狀體)의 일례이며, 와이어 등의 다른 삭상체를 벨트(41a) 대신에 사용하는 것도 가능하다. 벨트(41a)는, 권취체(41b)에 권취되어 있고, 벨트(41a)의 선단부에는 제1 지지부(11)가 연결되어 있다. 또한, 권취체(41b)는, 제2 지지부(12)에 대하여 고정되어 있다. 이로써, 제2 지지부(12)는, 벨트(41a)에 의해 제1 지지부(11)를 현수 지지하고 있다. 제1 구동부(41)는, 승강용 모터(81)의 구동력에 의해 권취체(41b)를 플러스 방향 또는 역방향으로 회전시킴으로써, 벨트(41a)를 권취 또는 송출하여, 제1 지지부(11)를 상승 또는 하강시킨다. 그리고, 예를 들면, 3개 또는 4개의 벨트(41a)가 제1 구동부(41)에 구비된다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 물품(1)의 상부에 플랜지부가 형성되어 있고, 제1 지지부(11)는, 상기 플랜지부를 파지(把持)하는 한 쌍의 파지부(11a)를 구비하고 있다. 그리고, 도 6에서는, 번거롭게 되는 것을 피할 수 있도록, 주행부(13)의 도시를 생략하고 있다. 플랜지부는, 물품(1)의 본체부에 대하여 위쪽에 위치하도록 상기 본체부에 연결되어 있고, 본체부와 플랜지부와의 사이에는 삽입용 공간이 형성되어 있다. 한 쌍의 파지부(11a)는, 상기 한 쌍의 파지부(11a)의 각각의 지지 부분이 삽입용 공간에 삽입된 상태(도 6에 나타낸 상태)로, 상기 플랜지부의 하면을 하측으로부터 지지한다. 제1 지지부(11)는, 파지용 모터(84)(도 7 참조)를 구비하고, 상기 파지용 모터(84)의 구동력에 의해, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세가, 물품(1)을 파지하는 파지 자세(도 6 참조)와, 물품(1)의 파지를 해제하는 해제 자세와의 사이에서 전환된다. 즉, 파지 자세의 한 쌍의 파지부(11a)의 각각의 지지 부분을 서로 이격시킴으로써, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세가 해제 자세로 전환되고, 해제 자세의 한 쌍의 파지부(11a)의 각각의 지지 부분을 서로 근접시킴으로써, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세가 파지 자세로 전환된다.
물품 반송 설비는, 반송 장치(10)의 작동을 제어하는 제어 장치(80)를 구비하고 있다. 제어 장치(80)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 승강용 모터(81)(제1 구동부(41), 출퇴용 모터(82)[제2 구동부(42)], 주행용 모터(83)[제3 구동부(43)], 및 파지용 모터(84)의 각각의 구동을 제어 가능하게 구성되어 있다. 제어 장치(80)는, 승강용 모터(81)의 구동을 제어함으로써 제1 지지부(11)를 승강시키고, 출퇴용 모터(82)의 구동을 제어함으로써 제2 지지부(12)를 경로 폭 방향 X로 이동시키고, 파지용 모터(84)의 구동을 제어함으로써 한 쌍의 파지부(11a)의 자세를 전환한다. 또한, 제어 장치(80)는, 주행용 모터(83)의 구동을 제어함으로써 주행부(13)를 주행시킨다. 본 실시형태에서는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 제어 장치(80)는, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동시키도록 구성되어 있다. 그리고, 제어 장치(80)는, 마이크로 컴퓨터 등의 프로세서, 메모리 등의 주변 회로 등을 구비하고, 이들 하드웨어와, 프로세서 등의 하드웨어 상에서 실행되는 프로그램과의 협동에 의해, 제어 장치(80)의 각 기능이 실현된다.
제어 장치(80)는, 상위의 컨트롤러(도시하지 않음)로부터의 지령에 기초하여, 반송 장치(10)의 작동을 제어한다. 제어 장치(80)에 의해 실행되는 제어에는, 제1 지지부(11)가 물품을 지지하고 있지 않은 상태(이하, 「공하 상태(empty load state)」라고 함)의 반송 장치(10)에, 반송원의 반송 대상부(90)로부터 물품(1)을 수취하게 하는 제1 제어와, 제1 지지부(11)가 물품(1)을 지지하고 있는 상태(이하, 「실하 상태(loaded state)」라고 함)의 반송 장치(10)에, 반송처의 반송 대상부(90)에 물품을 공급시키는 제2 제어에 포함된다. 이하의 설명으로부터 명백한 바와 같이, 제1 제어 및 제2 제어 중 어디에도, 반송 장치(10)를 주행 경로에서의 반송 대상부(90)에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 제2 지지부(12)를, 가속시킨 후에 감속시켜, 퇴피 위치로부터 돌출 위치까지 이동시키는 제어가 포함된다. 그리고, 제2 지지부(12)가 가속되는 가속 기간의 종료 시점(時点)과, 제2 지지부(12)가 감속되는 감속 기간의 개시 시점과의 사이에, 제2 지지부(12)가 등속으로 이동되는 기간이 포함되어도 된다.
제1 제어에서는, 제1 주행 제어 및 제1 이송탑재 제어가 순차로 실행된다. 제1 주행 제어는, 반송원의 반송 대상부(90)에 대응하는 물품 이송탑재 위치까지, 공하 상태의 반송 장치(10)[(주행부(13)]를 주행시키는 제어이다. 그리고, 반송 장치(10)의 주행 중은, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하고 또한 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태가 유지된다. 제1 이송탑재 제어는, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 이동시키는 제어, 제1 지지부(11)를 제1 높이로부터 제2 높이까지 하강시키는 제어, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세를 해제 자세로부터 파지 자세로 전환하는 제어, 제1 지지부(11)를 제2 높이로부터 제1 높이까지 상승시키는 제어, 및 제2 지지부(12)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키는 제어를, 반송 장치(10)를 물품 이송탑재 위치에 정지시킨 상태에서 순차로 실행하는 제어이다. 그리고, 제2 높이는, 한 쌍의 파지부(11a)를 해제 자세로부터 파지 자세로 전환함으로써, 물품(1)이 반송 대상부(90)에 지지된 상태를 유지하면서, 한 쌍의 파지부(11a)의 각각의 지지 부분이 전술한 삽입용 공간에 삽입 가능한 높이로 설정되어 있다. 그러므로, 제1 지지부(11)를 제2 높이로부터 제1 높이까지 상승시키는 제어의 실행 중, 제1 지지부(11)가 제2 높이로부터 약간 상승한 시점에서, 물품(1)이 반송 대상부(90)에 지지된 상태로부터 물품(1)이 제1 지지부(11)[본 실시형태에서는 한 쌍의 파지부(11a)]에 지지된 상태로 이행한다.
제2 제어에서는, 제2 주행 제어 및 제2 이송탑재 제어가 순차로 실행된다. 제2 주행 제어는, 반송처의 반송 대상부(90)에 대응하는 물품 이송탑재 위치까지, 실하 상태의 반송 장치(10)[주행부(13)]를 주행시키는 제어이다. 제2 이송탑재 제어는, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 이동시키는 제어, 제1 지지부(11)를 제1 높이로부터 제2 높이까지 하강시키는 제어, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세를 파지 자세로부터 해제 자세로 전환하는 제어, 제1 지지부(11)를 제2 높이로부터 제1 높이까지 상승시키는 제어, 및 제2 지지부(12)를 돌출 위치로부터 퇴피 위치로 이동시키는 제어를, 반송 장치(10)를 물품 이송탑재 위치에 정지시킨 상태에서 순차로 실행하는 제어이다. 그리고, 제1 지지부(11)를 제1 높이로부터 제2 높이까지 하강시키는 제어의 실행 중, 제1 지지부(11)가 제2 높이까지 하강하기 직전에, 물품(1)이 제1 지지부(11)[본 실시형태에서는 한 쌍의 파지부(11a)]에 지지된 상태로부터 물품(1)이 반송 대상부(90)에 지지된 상태로 이행한다. 그리고, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세를 파지 자세로부터 해제 자세로 전환하는 제어의 실행에 의해, 물품(1)이 반송 대상부(90)에 지지된 상태로, 한 쌍의 파지부(11a)의 각각의 지지 부분이 전술한 삽입용 공간으로부터 빠져 나오게 된다.
그런데, 반송 장치(10)의 전체 하중은, 주행부(13)의 주행륜(14)이 상측으로부터 접촉하는 한 쌍의 주행 레일(4)을 통하여, 천정(3)에 지지된다. 즉, 주행부(13)에 현수 지지되는 본체부(17)의 하중이나, 본체부(17)에 지지되는 제1 지지부(11) 및 제2 지지부(12)의 각각의 하중은, 주행부(13)를 통하여 천정(3)에 지지된다. 그리고, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태에서는, 도 2로부터 명백한 바와 같이, 본체부(17), 제1 지지부(11), 및 제2 지지부(12)의 각각의 중심은, 경로 폭 방향 X와, 주행부(13)의 중심 위치를 포함하는 비교적 좁은 범위 내에 위치한다. 따라서, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태에서는, 주행부(13)에는, 큰 모멘트 하중은 작용하지 않는다. 즉, 반송 장치(10)와 큰 모멘트 하중을 부담할 필요는 없다.
한편, 제2 지지부(12)가 돌출 위치에 위치하는 상태에서는, 도 3으로부터 명백한 바와 같이, 제1 지지부(11) 및 제2 지지부(12)의 각각의 중심은, 경로 폭 방향 X와, 주행부(13)의 중심으로부터 비교적 크게 이격된 위치에 위치한다. 구체적으로는, 주행부(13)의 중심이 경로 폭 방향 X에서 한 쌍의 주행 레일(4)의 사이에 위치하는 것에 대하여, 제1 지지부(11)나 제2 지지부(12)의 중심은, 경로 폭 방향 X와, 한 쌍의 주행 레일(4)의 사이가 아니고 그 외측에 위치한다. 따라서, 제2 지지부(12)가 돌출 위치에 위치하는 상태에서는, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치에 위치하는 상태와 비교하여, 주행부(13)에 대하여 큰 모멘트 하중이 작용한다. 즉, 반송 장치(10)와 부담하는 모멘트 하중이 커지게 된다. 그리고, 상기 모멘트 하중이 커지게 됨에 따라, 반송 장치(10)에 별도 설치하는 기구에 의해 반송 장치(10)의 경사[주행부(13)의 경사나 본체부(17)의 경사 등]를 제한할 필요성이나, 반송 장치(10)에 포함되는 각 부재에 허용되는 모멘트 하중을 높이기 위한 특별한 보강 구조를 설치할 필요성이 증가된다. 이들 필요성이 증가되면, 반송 장치(10)의 구성의 복잡화 등에 따라 반송 장치(10)의 비용이나 중량이 증가하므로, 주행부(13)에 대하여 작용하는 모멘트 하중의 크기는, 즉 반송 장치(10)에 의해 부담하는 모멘트 하중의 크기는, 적절한 범위 내로 억제되는 것이 바람직하다.
이 점을 감안하여, 물품 반송 설비는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(5)를 구비하고 있다. 지지 부재(5)는, 제2 지지부(12)가 돌출 위치에 위치하는 상태(이하, 「돌출 상태」라고 함)에 있어서, 제1 지지부(11)의 제2 지지부(12)에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 제2 지지부(12)를 하측으로부터 지지하도록 설치된다. 따라서, 주행부(13)에 대하여 큰 모멘트 하중이 작용하기 쉬운 돌출 상태에 있어서, 제1 지지부(11)를 현수하여 지지하는 제2 지지부(12)의 하중을, 지지 부재(5)에 의해 받는 것이 가능하게 되어 있다. 즉, 반송 장치(10) 내에서 발생하는 모멘트 하중을, 지지 부재(5)에 의해 받을 수 있고, 그만큼, 주행부(13)에 대하여 작용하는 모멘트 하중을 저감할 수 있다. 그리고, 지지 부재(5)는, 천정(3)에 직접적으로 또는 간접적으로 지지된다. 따라서, 제2 지지부(12)의 하중 중 적어도 일부는, 지지 부재(5)를 통하여 천정(3)에 지지된다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(5)는, 반송 장치(10)의 주행 경로에 대하여 반송 대상부(90)와 경로 폭 방향 X의 같은 측으로서, 반송 대상부(90)보다도 높은 위치에 배치되어 있다. 지지 부재(5)는, 주행 경로의 외부에 배치되어 있다. 지지 부재(5)는, 반송 대상부(90)의 각각에 대하여 설치되고, 지지 부재(5)는, 대응하는 반송 대상부(90)와 경로 길이 방향 Y의 같은 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 지지 부재(5)는, 반송 대상부(90)에 대하여 상하 방향 Z에서 볼 때 위쪽으로 중첩되는 위치에 배치되어 있다.
본 실시형태에서는, 지지 부재(5)에 작용하는 하중 중 적어도 일부가 주행 레일(4)을 통하여 천정(3)에 지지되도록, 지지 부재(5)가 주행 레일(4)에 대하여 장착되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(5)는, 한 쌍의 주행 레일(4) 중, 경로 폭 방향 X와 상기 지지 부재(5)에 가까운 측의 주행 레일(4)에 대하여 장착되어 있다. 구체적으로는, 지지 부재(5)와 주행 레일(4)은, 연결 부재[제2 연결 부재(7), 제3 연결 부재(8), 및 제4 연결 부재(9)]에 의해 서로 연결되어 있다. 따라서, 지지 부재(5)의 하중은, 상기 연결 부재를 통하여 주행 레일(4)에 지지된다. 그리고, 제2 연결 부재(7)는, 상기 제2 연결 부재(7)와 주행 레일(4)과의 연결부로부터 위쪽으로 연장되는 기둥형으로 형성되어 있다. 제3 연결 부재(8)는, 경로 폭 방향 X로 연장되어 제2 연결 부재(7)와 지지 부재(5)의 상부를 연결하는 판형으로 형성되어 있다. 그리고, 판형으로는, 경량화 등을 목적으로 하는 구멍부가 형성된 판형상도 포함한다. 본 실시형태에서는, 2개의 제2 연결 부재(7)가, 경로 길이 방향 Y에서 지지 부재(5)의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 설치되어 있는 동시에, 2개의 제3 연결 부재(8)가, 경로 길이 방향 Y에서 지지 부재(5)의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 설치되어 있다. 그리고, 제4 연결 부재(9)는, 경로 길이 방향 Y로 연장되어, 경로 길이 방향 Y의 한쪽 측의 제2 연결 부재(7)와 제3 연결 부재(8)와의 연결부와, 경로 길이 방향 Y의 다른 쪽의 제2 연결 부재(7)와 제3 연결 부재(8)와의 연결부를 연결하는 판형으로 형성되어 있다. 이하에서는, 경로 길이 방향 Y에서 지지 부재(5)의 중앙부를 향하는 측을, 경로 길이 방향 Y의 내측으로 하고, 그 반대측을, 경로 길이 방향 Y의 외측으로 한다.
본 실시형태에서는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(5)는, 제1 연결 부재(6)에 의해, 주행 레일(4)을 통하지 않고 천정(3)에 연결되어 있다. 구체적으로는, 지지 부재(5)의 상부와, 천정(3)에 고정된 고정 부재(3a)가, 제1 연결 부재(6)에 의해 서로 연결되어 있고, 지지 부재(5)는, 제1 연결 부재(6)를 통하여 천정(3)에 현수 지지되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 지지 부재(5)에 작용하는 하중의 일부는 주행 레일(4)을 통하지 않고 천정(3)에 지지된다. 즉, 본 실시형태에서는, 지지 부재(5)에 작용하는 하중의 일부만이 주행 레일(4)을 통하여 천정(3)에 지지되도록, 지지 부재(5)가 주행 레일(4)에 대하여 장착되어 있다. 본 실시형태에서는, 2개의 제1 연결 부재(6)가, 경로 길이 방향 Y에서 지지 부재(5)의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 설치되어 있다.
이하, 지지 부재(5)의 구체적 구성에 대하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(5)는, 지지 부분(30)을 구비하고 있다. 지지 부분(30)은, 도 3, 도 4, 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 돌출 상태에 있어서, 제2 지지부(12)에 설치된 피(被)지지부(20)에 대하여 상하 방향 Z에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치된다. 그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 제2 지지부(12)는, 피지지부(20)와 지지 부분(30)이 접촉된 상태로, 지지 부재(5)에 의해 하측으로부터 지지된다. 피지지부(20)는, 제2 지지부(12)와 일체로 경로 폭 방향 X로 이동하도록 제2 지지부(12)에 설치된다. 본 실시형태에서는, 피지지부(20)는, 연결 부재(23)를 통하여, 제2 지지부(12)가 고정된 제3 이동부(42c)에 연결되어 있다.
본 실시형태에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 지지부(12)는, 제1 피지지부(21)와 제2 피지지부(22)를 구비하고 있다. 이들 제1 피지지부(21)와 제2 피지지부(22)는, 경로 길이 방향 Y과 상기 제2 지지부(12)의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 배치되는 2개의 피지지부(20)인, 본 실시형태에서는, 제1 피지지부(21) 및 제2 피지지부(22)의 각각이 1개씩 설치되어 있다. 그리고, 제1 피지지부(21) 및 제2 피지지부(22)의 각각은, 제1 지지부(11)[제1 높이에 위치하는 제1 지지부(11)] 및 제2 지지부(12)가 차지하는 공간의 경로 폭 방향 X의 외측의 단부(端部)에 위치하도록 설치되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 피지지부(21)와 제2 피지지부(22)와의 경로 길이 방향 Y의 간격은, 구체적으로는, 제1 피지지부(21) 및 제2 피지지부(22)의 각각의 서로 대향하는 측(경로 길이 방향 Y의 내측)의 단부끼리의 경로 길이 방향 Y의 이격 거리는, 제1 지지부(11)의 경로 길이 방향 Y의 폭보다 크게 설정되어 있다. 그리고, 제1 피지지부(21) 및 제2 피지지부(22)는, 제1 높이에 위치하는 제1 지지부(11)를 제1 피지지부(21)와 제2 피지지부(22)에 의해 경로 길이 방향 Y의 양측으로부터 협지하는 높이에 배치되어 있다. 즉, 피지지부(20)의 상하 방향 Z의 배치 영역의 일부 또는 전체가, 제1 높이에 위치하는 제1 지지부(11)의 상하 방향 Z의 배치 영역과 중복되어 있다.
제2 지지부(12)가 제1 피지지부(21)와 제2 피지지부(22)를 구비하는 것에 대응하여, 지지 부재(5)는, 도 1 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 지지 부분(31)과 제2 지지 부분(32)을 구비하고 있다. 제1 지지 부분(31)은, 제1 피지지부(21)에 대하여 돌출 상태에 있어서 상하 방향 Z에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분(30)이다. 제2 지지 부분(32)은, 제2 피지지부(22)에 대하여 돌출 상태에 있어서 상하 방향 Z에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분(30)이다. 그리고, 제2 지지부(12)는, 제1 피지지부(21)와 제1 지지 부분(31)이 접촉하고 또한 제2 피지지부(22)와 제2 지지 부분(32)이 접촉된 상태로, 지지 부재(5)에 의해 하측으로부터 지지된다. 그리고, 제1 지지부(11)의 제2 지지부(12)에 대한 승강 이동을 허용하도록, 제1 지지 부분(31)과 제2 지지 부분(32)과의 경로 길이 방향 Y의 간격은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 지지부(11)의 경로 길이 방향 Y의 폭보다 크게 설정되어 있다. 설명을 추가하면, 제1 지지 부분(31) 및 제2 지지 부분(32)의 각각의 서로 대향하는 측(경로 길이 방향 Y의 내측)의 단부끼리의 경로 길이 방향 Y의 이격 거리는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 지지부(11)의 경로 길이 방향 Y의 폭보다 크게 설정되어 있다.
도 1 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 지지 부분(30)은, 상하 방향 Z로 연장되는 제1 연장부(34)의 하부에 연결되어 있다. 지지 부분(30)은, 제1 연장부(34)의 하부로부터 경로 길이 방향 Y의 내측으로 돌출하도록, 제1 연장부(34)에 연결되어 있다. 그리고, 제1 지지 부분(31)이 연결된 제1 연장부(34)와 제2 지지 부분(32)이 연결된 제1 연장부(34)가[즉, 2개의 제1 연장부(34)가], 경로 길이 방향 Y로 연장되는 제2 연장부(35)에 의해 서로 연결되어 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 2개의 제1 연장부(34)의 각각은, 상하 방향 Z 및 경로 폭 방향 X로 연장되는 판형으로 형성되어 있다. 그리고, 2개의 제2 연장부(35)가, 경로 폭 방향 X에서 지지 부재(5)의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 설치되어 있다. 즉, 2개의 제1 연장부(34)는, 경로 폭 방향 X의 상이한 2개의 위치의 각각에 의해, 제2 연장부(35)에 의해 서로 연결되어 있다. 그리고, 2개의 제2 연장부(35) 중 경로 폭 방향 X의 외측에 배치되는 제2 연장부(35)의 상부에, 전술한 제1 연결 부재(6)가 연결되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 2개의 제1 연장부(34)의 경로 길이 방향 Y의 간격은, 제1 지지부(11)[제1 높이에 위치하는 제1 지지부(11)] 및 제2 지지부(12)가 차지하는 공간의 경로 길이 방향 Y의 최대 폭보다 크게 설정되어 있다. 설명을 추가하면, 2개의 제1 연장부(34)의 각각의 서로 대향하는 측(경로 길이 방향 Y의 내측)의 단부끼리의 경로 길이 방향 Y의 이격 거리는, 제1 지지부(11)[제1 높이에 위치하는 제1 지지부(11)] 및 제2 지지부(12)가 차지하는 공간의 경로 길이 방향 Y의 최대 폭보다 크게 설정되어 있다. 이로써, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 이동시킬 때, 제2 지지부(12) 및 그에 지지된 제1 지지부(11)를, 2개의 제1 연장부(34)의 사이에 형성되는 공간에 대하여 경로 폭 방향 X으로 삽입하는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 2개의 피지지부(20)의 각각의 경로 길이 방향 Y의 외측의 단부끼리의 경로 길이 방향 Y의 이격 거리가, 제1 지지부(11) 및 제2 지지부(12)가 차지하는 공간의 경로 길이 방향 Y의 최대 폭으로 되어 있다.
그런데, 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 제2 지지부(12)를 이동시킬 때는, 제2 지지부(12)에 구비되는 피지지부(20)와 지지 부재(5)에 구비되는 지지 부분(30)과의 접촉에 의한 충격을 완화할 수 있는 것이 바람직하고, 바람직하게는, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉을 회피할 수 있는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉 충격이 클 경우에는, 제2 지지부(12)에 현수 지지된 제1 지지부(11)의 진동(가로 요동)이, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와의 사이에서 물품(1)을 적절히 이송탑재하기 위해 허용되는 범위 내에 들어갈 때까지의 대기 시간이 길어져, 그만큼 반송 효율이 저하되기 때문이다. 또한, 제1 지지부(11)가 물품(1)을 지지하고 있는 경우에는, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉 충격에 의해 물품(1) 또는 물품(1)에 수용된 내용물(contents)이 손상될 염려도 있다. 또한, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉에 의해 먼지가 발생할 염려도 있어, 물품 반송 설비의 설치 공간이 반도체 제조 공장 등에 있어서의 청정 환경인 경우, 먼지의 발생은 문제로 될 수 있다.
이 점을 감안하여, 본 실시형태에서는, 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 돌출 상태에서의 지지 부분(30)과 피지지부(20)와의 상하 방향 Z의 간격 D이, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제로보다 큰 값으로 되도록 설정되어 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제2 지지부(12)가 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동된다. 그러므로, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서의 간격 D을 제로보다 큰 값으로 함으로써, 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 제2 지지부(12)를 이동시킬 때의, 제2 지지부(12)에 구비된 피지지부(20)와 지지 부재(5)에 구비된 지지 부분(30)과의 접촉은, 기본적으로(즉, 설계상) 회피할 수 있다. 그리고, 공하 상태와 비교하여 실하 상태의 쪽이, 모멘트 하중에 의한 휨의 영향으로 제2 지지부(12)가 아래쪽에 위치할 수 있는(즉, 간격 D가 작아질 수 있는) 점을 고려하여, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태 또한 실하 상태에서의 간격 D가 제로보다 큰 값으로 되는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 그리고, 여기서의 실하 상태는, 예를 들면, 반송 장치(10)에 의해 반송되는 물품(1)으로서 상정(想定)되는 최대의 중량의 물품(1)을, 제1 지지부(11)가 지지하고 있는 상태로 할 수 있다. 본 실시형태에서는, 물품(1)은, 기판을 수용하는 용기이므로, 용기 내에 기판을 최대 개수 수용한 상태의 물품(1)이, 상정되는 최대의 중량의 물품(1)으로 된다.
본 실시형태에서는, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서의 간격 D의 크기를, 주행부(13)에 대하여 작용하는 모멘트 하중이 허용값을 초과하기 전에 간격 D가 제로로 되는[즉, 피지지부(20)와 지지 부분(30)이 접촉되는] 크기로 설정하고 있다. 이로써, 반송 장치(10) 내에서 발생하는 모멘트 하중이 증가하는 상황에 있어서, 주행부(13)에 대하여 작용하는 모멘트 하중이 허용값에 도달하기 전에, 지지 부분(30)을 피지지부(20)에 접촉시켜, 반송 장치(10) 내에서 발생하는 모멘트 하중을 지지 부재(5)에 의해 받는 것이 가능하게 되어 있다. 예를 들면, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서의 간격 D는, 1[㎜] 정도의 값으로 설정된다. 그리고, 주행부(13)에 대하여 작용하는 모멘트 하중의 허용값[반송 장치(10)가 부담하는 모멘트 하중의 허용값]은, 반송 장치(10)[주행부(13)나 본체부(17) 등]에 허용되는 경사의 정도나, 반송 장치(10)에 포함되는 각 부재에 허용되는 모멘트 하중의 크기 등에 따라 정해진다.
본 실시형태에서는, 도 3 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 피지지부(20)로서, 주행 경로를 따른 축심(軸心) 주위로(바꾸어 말하면, 경로 길이 방향 Y를 따르는 축심 주위로) 회전 가능한 회전 롤러를 채용하고 있다. 그리고, 도 1, 도 2, 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 지지 부분(30)을, 경로 폭 방향 X로 연장되는 평탄한 지지면을 위쪽에 가지도록 형성하고 있다. 이로써, 예를 들면, 각 부재에 대한, 치수의 오차, 장착 위치의 오차, 시간 경과에 따른 변화에 의한 변형 등에 의해, 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 제2 지지부(12)를 이동시킬 때 피지지부(20)와 지지 부분(30)이 접촉하는 경우라도, 지지면 상을 회전 롤러가 전동함으로써, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉에 의한 충격을 완화하여 제2 지지부(12)를 원활하게 경로 폭 방향 X로 이동시킬 수 있는 동시에, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉에 의한 먼지의 발생을 억제하는 것이 가능해진다.
본 실시형태에서는, 지지 부분(30)의 상면에 형성되는 지지면은, 경로 길이 방향 Y의 폭이 경로 폭 방향 X을 따라 균일해지도록 형성되어 있다. 또한, 이 지지면은, 수평면을 따르도록 형성되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 지지 부분(30)의 경로 폭 방향 X의 내측의 단부에, 경사부(33)가 연결되어 있다. 경사부(33)는, 경로 폭 방향 X의 내측을 향함에 따라 아래쪽을 향하는 평탄한 경사면을 상면에 가지고, 경사부(33)의 경사면은, 지지 부분(30)의 지지면의 경로 폭 방향 X의 내측의 단부로부터 연속하여 경로 폭 방향 X의 내측으로 연장되도록 형성되어 있다. 이 경사부(33)를 설치함으로써, 피지지부(20)와 지지 부분(30)과의 접촉에 의한 충격을 더욱 확실하게 완화하는 것이 가능하게 되어 있다.
[그 외의 실시형태]
물품 반송 설비의, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하의 각각의 실시형태에서 개시되는 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시되는 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다.
(1) 상기한 실시형태에서는, 제어 장치(80)에 의해 실행되는 반송 장치(10)의 작동 제어로서, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하기 위한 제1 제어 및 제2 제어를 예로 들어 설명하였다. 그러나, 제어 장치(80)에 의해 실행되는 제어는, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하기 위한 제어에 한정되지 않고, 반송 대상부(90)[이하, 「제1 반송 대상부(91)라고 함]와는 상이한 제2 반송 대상부(92)와 반송 장치(10)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하기 위한 제어가, 제어 장치(80)에 의해 실행되는 제어에 포함되어도 된다. 제2 반송 대상부(92)도, 제1 반송 대상부(91)와 마찬가지로, 반송 장치(10)에 의한 물품(1)의 반송원 또는 반송처로 된다. 도 8에 나타낸 예에서는, 제2 반송 대상부(92)는, 제1 반송 대상부(91)(도 5 참조)보다도 높은 위치로서 경로 폭 방향 X에서 주행 경로의 외측에 배치되어 있다. 이 제2 반송 대상부(92)는, 제1 반송 대상부(91)와는 상이하고, 주행 경로보다도 하측이 아니고, 경로 폭 방향 X에서 볼 때 주행 경로와 중복되는 높이에 배치되어 있다. 도 8에서는, 일례로서, 천정(3)에 현수 지지되어 물품(1)을 일시 보관하는 보관 선반(storage rack)에 의해 구성된 제2 반송 대상부(92)를 나타내고 있다.
상기한 실시형태에서 설명한 바와 같이, 제어 장치(80)는, 제1 반송 대상부(91)[반송 대상부(90)]가 반송 장치(10)에 의한 물품(1)의 반송원 또는 반송처인 경우에, 반송 장치(10)를 주행 경로에서의 제1 반송 대상부(91)에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 제2 지지부(12)를, 제1 가속도로 가속시킨 후에 제1 감속도로 감속시켜, 퇴피 위치로부터 돌출 위치(이하, 「제1 돌출 위치」라고 함)까지 이동시키는 제어를 행한다. 마찬가지로, 제어 장치(80)는, 제2 반송 대상부(92)가 반송 장치(10)에 의한 물품의 반송원 또는 반송처인 경우에, 반송 장치(10)를 주행 경로에서의 제2 반송 대상부(92)에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 제2 지지부(12)를, 제2 가속도로 가속시킨 후에 제2 감속도로 감속시키고, 퇴피 위치로부터, 상하 방향 Z에서 볼 때 제2 반송 대상부(92)와 중첩되는 위치[도 8에 나타낸 제2 지지부(12)의 위치, 이하, 「제2 돌출 위치」라고 함]까지 이동시키는 제어를 행한다. 자세한 것은 생략하지만, 제2 지지부(12)가 제2 돌출 위치에 위치하고 있는 상태에서, 한 쌍의 파지부(11a)의 자세 전환 제어 등이 행해지고, 제1 지지부(11)와 제2 반송 대상부(92)와의 사이에서 물품(1)이 이송탑재된다. 그리고, 제2 돌출 위치의 퇴피 위치로부터의 경로 폭 방향 X의 돌출량은, 제1 돌출 위치의 퇴피 위치로부터의 경로 폭 방향 X의 돌출량과 같다.
전술한 바와 같이, 제2 지지부(12)에 현수 지지되는 제1 지지부(11)의 진동이, 반송 장치(10)와 반송 대상부(90)와의 사이에서 물품(1)을 적절히 이송탑재하기 위해 허용되는 범위 내에 들어갈 때까지의 대기 시간이 길어지면, 그만큼 반송 효율이 저하된다. 그리고, 물품(1)을 적절히 이송탑재하기 위해 허용되는 제1 지지부(11)의 진동의 정도[예를 들면, 제2 지지부(12)를 지점(支点)으로 하는 가로 요동의 허용 각도]는, 일반적으로, 반송 장치(10)와 제2 반송 대상부(92)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하는 경우보다, 제2 반송 대상부(92)보다도 낮은 위치에 배치되는 제1 반송 대상부(91)와 반송 장치(10)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재하는 경우의 쪽이 낮아진다. 이 점을 감안하여, 상기한 제1 가속도, 제1 감속도, 제2 가속도, 및 제2 감속도[이하, 이들을 모아서 「각각의 가감속도(加減速度)」라고 함]를, 제1 가속도의 절대값이 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 제1 감속도의 절대값이 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것 중 적어도 한쪽이 만족되도록 설정하는 것이 바람직하다. 이와 같은 설정을 행함으로써, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로부터 제1 돌출 위치로 이동시킨 시점에서의 제1 지지부(11)의 진동을, 제2 지지부(12)를 퇴피 위치로부터 제2 돌출 위치로 이동시킨 시점에서의 제1 지지부(11)의 진동보다도 낮은 정도로 억제할 수 있다. 이 결과, 반송 효율을 적절히 확보하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 제1 가속도의 절대값이 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 제1 감속도의 절대값이 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것의, 양쪽이 만족되도록, 각각의 가감속도를 설정할 수 있다. 또한, 예를 들면, 실하 상태에 있어서만, 제1 가속도의 절대값이 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 제1 감속도의 절대값이 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것 중 적어도 한쪽이 만족되도록, 각각의 가감속도를 설정할 수도 있다.
도 8에 나타낸 예에서는, 반송 장치(10)는, 주행부(13)의 경사를 방지하기 위한 한 쌍의 접촉체(16)를 구비하고 있다. 한 쌍의 접촉체(16)는, 한 쌍의 주행 레일(4)의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 반송 장치(10)와 제2 반송 대상부(92)와의 사이에서 물품(1)을 이송탑재할 때는, 한 쌍의 접촉체(16)의 각각을 주행 레일(4)에 대하여 경로 폭 방향 X의 내측으로부터 접촉시킴으로써, 제2 지지부(12)가 제2 돌출 위치에 위치하는 상태에서의 주행부(13)의 경사를 방지하는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 접촉체(16)의 각각에는, 경로 폭 방향 X의 외측을 향함에 따라 아래쪽을 향하는 상방향의 경사면이 형성되고, 이 경사면이, 주행 레일(4)에 형성된, 경로 폭 방향 X의 외측을 향함에 따라 아래쪽을 향하는 하방향의 경사면에 접촉함으로써, 주행부(13)의 경사가 방지된다. 이와 같이, 주행부(13)의 경사를 방지하는 경사 방지 기구[본 예에서는, 한 쌍의 접촉체(16)]가 설치되는 경우에, 반송 장치(10)와 제1 반송 대상부(91)[반송 대상부(90)]와의 사이에서 물품을 이송탑재할 때도, 경사 방지 기구를 작동시켜 제2 지지부(12)가 제2 돌출 위치에 위치하는 상태에서의 주행부(13)의 경사를 방지하는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 지지 부재(5)와 경사 방지 기구가 협동하여, 반송 장치(10) 내에서 발생하는 모멘트 하중을 받을 수 있으므로, 예를 들면, 지지 부재(5)에 필요로 하는 내하중 성능을 저감하여 지지 부재(5)의 구성의 간소화를 도모하는 것이 가능해진다.
그리고, 여기서는, 제2 반송 대상부(92)가, 경로 폭 방향 X에서 볼 때 주행 경로와 중복되는 높이에 배치되는 경우를 예로서 설명하였으나, 제2 반송 대상부(92)가, 주행 경로보다도 하측으로서 제1 반송 대상부(91)보다도 높은 위치에 배치되는 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 제1 반송 대상부(91)와 마찬가지로, 제2 반송 대상부(92)에 대해서도 지지 부재(5)를 설치하고, 제1 반송 대상부(91) 및 제2 반송 대상부(92)의 양쪽이, 반송 대상부(90)에 상당하는 구성으로 할 수도 있다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 지지 부재(5)에 작용하는 하중의 일부만이 주행 레일(4)을 통하여 천정(3)에 지지되도록, 지지 부재(5)가 주행 레일(4)에 대하여 장착되는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 지지 부재(5)에 작용하는 하중의 모두가 주행 레일(4)을 통하여 천정(3)에 지지되도록, 지지 부재(5)가 주행 레일(4)에 대하여 장착되는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 지지 부재(5)에 작용하는 하중의 모두가 주행 레일(4)을 통하지 않고 천정(3)에 지지되도록, 지지 부재(5)가 천정(3)에 직접적으로 지지되는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 피지지부(20)가, 주행 경로를 따른 축심 주위로 회전 가능한 회전 롤러인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 피지지부(20)가, 제2 지지부(12)에 대하여 상대 회전 불가능하게 장착되는 부재에 의해 구성되어도 된다. 피지지부(20)가, 제2 지지부(12)와 별개의 부재가 아니고, 제2 지지부(12)를 구성하는 부재의 일부라도 된다. 또한, 상기한 실시형태에서는, 지지 부분(30)이, 경로 폭 방향 X로 연장되는 평탄한 지지면을 위쪽에 가지는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 지지 부분(30)이, 지지면으로서, 경로 폭 방향 X로 연장되는 오목면(경로 길이 방향 Y의 중앙부가 경로 길이 방향 Y의 양측의 부분보다 아래쪽으로 오목한 면)을 위쪽에 가지는 구성으로 하는 것도 가능하다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 제2 지지부(12)가 2개의 피지지부(20)를 구비하고, 지지 부재(5)가 2개의 지지 부분(30)을 구비하는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제2 지지부(12)가, 1개 또는 3개 이상의 피지지부(20)를 구비하는 구성으로 할 수도 있다. 제2 지지부(12)가 3개 이상의 피지지부(20)를 구비하는 경우, 피지지부(20)의 각각에 대하여 별개로 지지 부분(30)을 설치하거나, 또는 복수의 피지지부(20)에 대하여 공통으로 지지 부분(30)을 설치해도 된다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 돌출 상태에서의 지지 부분(30)과 피지지부(20)와의 상하 방향 Z의 간격 D이, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제로보다 큰 값으로 되도록 설정되는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태에서의 간격 D가, 제로로 되도록 설정되는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태 또한 공하 상태에서의 간격 D가 제로보다 큰 값으로 되고, 제1 지지부(11)가 제1 높이에 위치하는 상태 또한 실하 상태에서의 간격 D가 제로로 되는 구성으로 할 수도 있다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 지지 부분(30)의 상면, 즉 지지 부분(30)에 형성되는 지지면이, 수평면을 따르도록 형성되는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 지지 부분(30)의 지지면이, 경로 폭 방향 X의 내측을 향함에 따라 아래쪽을 향하는 경사형으로 형성되는 구성으로 할 수도 있다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 본체부(17)가 주행부(13)에 현수 지지되는 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 본체부(17)가 주행부(13)의 위쪽에 위치하도록 주행부(13)에 지지되는 구성으로 할 수도 있다.
(8) 상기한 실시형태에서는, 물품(1)이 반도체 기판 등의 기판을 수용하는 용기인 구성을 예로서 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 물품(1)이, 공업 제품, 식품, 의약품 등의 기판 이외의 물건을 수용하는 용기인 구성으로 해도 된다. 또한, 물품(1)이, 용기 이외의 물품이라도 된다.
(9) 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는 것으로 이해될 것이다. 따라서, 당업자는, 본 개시된 취지를 벗어나지 않는 범위에서, 적절히, 각종 개변(改變)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 반도체 용기 보관 설비의 개요에 대하여 설명한다.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비는, 다음과 같이 구성된다. 즉, 천정측에 형성된 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치와, 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 반송 대상부를 구비하고, 상기 반송 대상부가, 상기 주행 경로보다도 하측으로서, 상기 주행 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서 상기 주행 경로의 외측에 배치되고, 상기 반송 장치가, 상기 주행 경로 내를 상기 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 현수하여 지지하는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 제2 지지부에 대하여 승강시키는 제1 구동부와, 상기 주행 경로 내의 퇴피 위치와 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 대상부와 중첩되는 돌출 위치와의 사이에서 상기 제2 지지부를 상기 주행부에 대하여 상기 경로 폭 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 구비한 물품 반송 설비로서, 그 특징적 구성은, 상기 제2 지지부가 상기 돌출 위치에 위치하는 상태인 돌출 상태에 있어서, 상기 제1 지지부의 상기 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 상기 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 지지 부재가, 상기 천정에 직접적으로 또는 간접적으로 지지되어 있는 점에 있다.
즉, 돌출 상태에 있어서 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재가, 물품 반송 설비에 구비된다. 따라서, 제2 지지부가 돌출 위치에 위치하므로, 반송 장치 내에 큰 모멘트 하중이 발생하기 쉬운 돌출 상태에 있어서, 제1 지지부를 현수하여 지지하는 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 받을 수 있고, 그만큼, 반송 장치에 의해 부담하는 모멘트 하중을 저감할 수 있다. 이 결과, 돌출 상태에 있어서, 반송 장치에 의해 부담하는 모멘트 하중의 크기를 적절한 범위 내로 억제하여 반송 장치의 경사를 제한하는 것이 가능해진다.
그리고, 지지 부재는, 반송 장치에 설치되는 부재가 아니고, 반송 장치에는, 지지 부재에 하중을 전달시키기 위한 구조를 설치하는 것만으로 된다. 그러므로, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제하면서, 지지 부재에 의해 제2 지지부의 하중을 받는 구성을 실현할 수 있다. 또한, 반송 장치에, 지지 부재와는 별도로 경사 방지 기구를 설치하는 경우에는, 지지 부재가 부담하는 하중의 분만큼, 상기 경사 방지 기구에 필요한 내하중 성능을 저감할 수 있다. 즉, 경사 방지 기구로서 간소한 구성의 것을 채용할 수 있다. 따라서, 반송 장치에 지지 부재와는 별도로 경사 방지 기구를 설치하는 경우라도, 지지 부재가 설치되지 않을 경우와 비교하여, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제할 수 있다.
이상과 같이, 상기한 특징적 구성에 의하면, 반송 장치의 구성의 복잡화나 반송 장치의 중량의 증대를 억제하면서, 돌출 상태에서의 반송 장치의 경사를 제한할 수 있는 물품 반송 설비를 실현할 수 있다. 그리고, 지지 부재는, 천정에 직접적 또는 간접적으로 지지되므로, 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 안정적으로 받을 수 있다. 또한, 지지 부재는, 제1 지지부의 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 설치되므로, 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 받으면서, 반송 장치와 반송 대상부와의 사이에서 물품을 이송탑재할 수 있다.
여기서, 상기 주행부는, 상기 천정으로부터 현수된 주행 레일에 지지된 상태로, 상기 주행 경로를 따라 주행하고, 상기 지지 부재에 작용하는 하중 중 적어도 일부가 상기 주행 레일을 통하여 상기 천정에 지지되도록, 상기 지지 부재가 상기 주행 레일에 대하여 장착되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 지지 부재가 주행 레일에 대하여 장착되어 있지 않은 경우와 비교하여, 지지 부재와 천정을 직접적으로 연결하기 위한 부재의 수를 적게 억제할 수 있거나, 또는 지지 부재와 천정을 직접적으로 연결하기 위한 부재를 필요로 하지 않는 구성으로 할 수 있다. 따라서, 조명 장치나 소화 장치 등이 장착되는 천정에 대하여 지지 부재를 설치하는 경우라도, 지지 부재가 주행 레일에 대하여 장착되어 있지 않은 경우와 비교하여, 지지 부재의 배치 위치에 대한 제약을 완화할 수 있다. 즉, 천정에 장착되는 다른 부재에게 주는 영향[레이아웃(layout)의 변경 등]을 억제하면서, 천정에 직접적 또는 간접적으로 지지되도록 지지 부재를 설치할 수 있다.
또한, 상기 지지 부재는, 상기 제2 지지부에 설치된 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분을 구비하고, 상기 제1 구동부는, 상기 제2 지지부가 상기 퇴피 위치에 위치하는 상태에서 상기 제1 지지부가 상기 주행 경로 내에 위치하는 제1 높이와, 상기 제1 높이보다 낮은 높이로서, 상기 반송 대상부와 상기 제1 지지부와의 사이에서 물품을 이송탑재하는 높이인 제2 높이와의 사이에서, 상기 제1 지지부를 승강시키도록 구성되며, 상기 돌출 상태에서의 상기 지지 부분과 상기 피지지부와의 상하 방향의 간격이, 상기 제1 지지부가 상기 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제로보다 큰 값으로 되도록 설정되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 제2 지지부를 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 이동시킬 때 제1 지지부를 제1 높이에 위치시킴으로써, 제2 지지부에 구비된 피지지부와 지지 부재에 구비된 지지 부분과의 접촉을 기본적으로 회피할 수 있다. 이 결과, 물품의 반송 효율의 저하, 물품 또는 물품에 수용된 내용물의 손상, 먼지의 발생 등의, 피지지부와 지지 부분과의 접촉에 의해 발생할 수 있는 문제를 회피하는 것이 가능해진다. 그리고, 물품의 반송 효율의 저하는, 피지지부와 지지 부분과의 접촉 충격에 의해, 제2 지지부에 현수 지지된 제1 지지부의 진동(가로 요동)이, 반송 장치와 반송 대상부와의 사이에서 물품을 적절히 이송탑재하기 위해 허용되는 범위 내에 들어갈 때까지의 대기 시간이 길어지는 것에 의해 생길 수 있다.
또한, 상기 지지 부재는, 상기 제2 지지부에 설치된 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분을 구비하고, 상기 제2 지지부는, 상기 피지지부와 상기 지지 부분이 접촉된 상태로, 상기 지지 부재에 의해 하측으로부터 지지되고, 상기 피지지부는, 상기 주행 경로를 따른 축심 주위로 회전 가능한 회전 롤러이며, 상기 지지 부분은, 상기 경로 폭 방향으로 연장되는 평탄한 지지면을 위쪽에 가지고 있는 것이 바람직하다.
즉, 피지지부와 지지 부분이 접촉된 상태에서, 지지 부재에 의해 제2 지지부의 하중을 적절히 받을 수 있다. 또한, 상기한 구성에 의하면, 피지지부가 회전 롤러이며, 지지 부분이 평탄한 지지면을 위쪽에 가지고 있으므로, 퇴피 위치와 돌출 위치와의 사이에서 제2 지지부를 이동시킬 때 피지지부와 지지 부분이 접촉하는 경우라도, 지지면 상을 회전 롤러가 전동함으로써, 피지지부와 지지 부분과의 접촉에 의한 충격을 완화하여 제2 지지부를 원활하게 경로 폭 방향으로 이동시킬 수 있는 동시에, 피지지부와 지지 부분과의 접촉에 의한 먼지의 발생을 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 제2 지지부는, 상기 주행 경로를 따른 방향에서 상기 제2 지지부의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 배치되는 2개의 피지지부인 제1 피지지부와 제2 피지지부를 구비하고, 상기 지지 부재는, 상기 제1 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분인 제1 지지 부분과, 상기 제2 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분인 제2 지지 부분을 구비하고, 상기 제2 지지부는, 상기 제1 피지지부와 상기 제1 지지 부분이 접촉하고 또한 상기 제2 피지지부와 상기 제2 지지 부분이 접촉된 상태로, 상기 지지 부재에 의해 하측으로부터 지지되는 것이 바람직하다.
즉, 제1 피지지부와 제1 지지 부분이 접촉하고 또한 제2 피지지부와 제2 지지 부분이 접촉된 상태에서, 지지 부재에 의해 제2 지지부의 하중을 적절히 받을 수 있다. 이 때, 제2 지지부의 하중을, 주행 경로를 따른 방향에서 상기 제2 지지부의 중앙부에 대하여 양측의 각각에 의해 지지 부재에 의해 받을 수 있으므로, 제2 지지부의 하중을 지지 부재에 의해 받을 때의 제2 지지부의 자세를 안정시킬 수 있다.
또한, 상기 반송 대상부를 제1 반송 대상부로 하고, 상기 제1 반송 대상부와는 별도로, 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 제2 반송 대상부를 구비하는 동시에, 상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 상기 제2 반송 대상부는, 상기 제1 반송 대상부보다도 높은 위치로서 상기 경로 폭 방향에서 상기 주행 경로의 외측에 배치되고, 상기 제어 장치는, 상기 제1 반송 대상부가 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처인 경우에는, 상기 반송 장치를 상기 주행 경로에서의 상기 제1 반송 대상부에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 상기 제2 지지부를, 제1 가속도로 가속시킨 후에 제1 감속도로 감속시켜, 상기 퇴피 위치로부터 상기 돌출 위치까지 이동시키는 제어를 행하고, 상기 제어 장치는, 상기 제2 반송 대상부가 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처인 경우에는, 상기 반송 장치를 상기 주행 경로에서의 상기 제2 반송 대상부에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 상기 제2 지지부를, 제2 가속도로 가속시킨 후에 제2 감속도로 감속시켜, 상기 퇴피 위치로부터, 상하 방향에서 볼 때 상기 제2 반송 대상부와 중첩되는 위치까지 이동시키는 제어를 행하고, 상기 제1 가속도의 절대값이 상기 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 상기 제1 감속도의 절대값이 상기 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것 중 적어도 한쪽이 만족되도록, 상기 제1 가속도, 상기 제1 감속도, 상기 제2 가속도, 및 상기 제2 감속도가 설정되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 제1 반송 대상부는 제2 반송 대상부보다도 낮은 위치에 배치되므로, 일반적으로, 제1 반송 대상부에 대하여 물품을 이송탑재하는 경우에 허용되는 제1 지지부의 진동의 정도(예를 들면, 제2 지지부를 지점으로 하는 가로 요동의 허용 각도)는, 제2 반송 대상부에 대하여 물품을 이송탑재하는 경우에 허용되는 제1 지지부의 진동의 정도보다도 낮아진다. 이 점에 관한 것으로서, 상기한 구성에 의하면, 제1 가속도의 절대값이 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 제1 감속도의 절대값이 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것 중 적어도 한쪽이 만족되도록, 제1 가속도, 제1 감속도, 제2 가속도, 및 제2 감속도가 설정된다. 그러므로, 제1 반송 대상부에 대하여 물품을 이송탑재하는 경우에서의, 제2 지지부를 퇴피 위치로부터 돌출 위치로 이동시킨 시점에서의 제1 지지부의 진동을, 제2 반송 대상부에 대하여 물품을 이송탑재하는 경우에서의, 제2 지지부를 퇴피 위치로부터 상하 방향에서 볼 때 제2 반송 대상부와 중첩되는 위치로 이동시킨 시점에서의 제1 지지부의 진동보다도 낮은 정도로 억제할 수 있다. 따라서, 제1 반송 대상부와 반송 장치 간에서의 물품의 이송탑재에 필요로 하는 시간이 길어지는 것을 억제하여, 설비 전체의 물품의 반송 효율을 적절히 확보하는 것이 가능해진다.
1: 물품
3: 천정
4: 주행 레일
5: 지지 부재
10: 반송 장치
11: 제1 지지부
12: 제2 지지부
13: 주행부
20: 피지지부
21: 제1 피지지부
22: 제2 피지지부
30: 지지 부분
31: 제1 지지 부분
32: 제2 지지 부분
41: 제1 구동부
42: 제2 구동부
80: 제어 장치
90: 반송 대상부
91: 제1 반송 대상부
92: 제2 반송 대상부
D: 간격
X: 경로 폭 방향
Z: 상하 방향

Claims (6)

  1. 천정측에 형성된 주행 경로를 따라 주행하여 물품을 반송하는 반송 장치;
    상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원(搬送元) 또는 반송처(搬送處)로 되는 반송 대상부;
    상기 반송 대상부가, 상기 주행 경로보다도 하측으로서, 상기 주행 경로의 폭 방향인 경로 폭 방향에서 상기 주행 경로의 외측에 배치되고,
    상기 반송 장치가, 상기 주행 경로 내를 상기 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 물품을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부를 현수(懸垂)하여 지지하는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부를 상기 제2 지지부에 대하여 승강시키는 제1 구동부와, 상기 주행 경로 내의 퇴피 위치와 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 대상부와 중첩되는 돌출 위치 사이에서 상기 제2 지지부를 상기 주행부에 대하여 상기 경로 폭 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 구비하고 있고,
    상기 제2 지지부가 상기 돌출 위치에 위치하는 상태인 돌출 상태에 있어서, 상기 제1 지지부의 상기 제2 지지부에 대한 승강 이동을 허용하는 상태에서 상기 제2 지지부를 하측으로부터 지지하는 지지 부재를 구비하고,
    상기 지지 부재가, 상기 천정에 직접적으로 또는 간접적으로 지지되어 있는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 주행부는, 상기 천정으로부터 현수된 주행 레일에 지지된 상태로, 상기 주행 경로를 따라 주행하고,
    상기 지지 부재에 작용하는 하중 중 적어도 일부가 상기 주행 레일을 통하여 상기 천정에 지지되도록, 상기 지지 부재가 상기 주행 레일에 대하여 장착되어 있는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 상기 제2 지지부에 설치된 피(被)지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분을 구비하고,
    상기 제1 구동부는, 상기 제2 지지부가 상기 퇴피 위치에 위치하는 상태에서 상기 제1 지지부가 상기 주행 경로 내에 위치하는 제1 높이와, 상기 제1 높이보다 낮은 높이로서, 상기 반송 대상부와 상기 제1 지지부 사이에서 물품을 이송탑재(transfer)하는 높이인 제2 높이 사이에서, 상기 제1 지지부를 승강시키도록 구성되며,
    상기 돌출 상태에서의 상기 지지 부분과 상기 피지지부와의 상하 방향의 간격이, 상기 제1 지지부가 상기 제1 높이에 위치하는 상태에서, 제로보다 큰 값으로 되도록 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 지지 부재는, 상기 제2 지지부에 설치된 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분을 구비하고,
    상기 제2 지지부는, 상기 피지지부와 상기 지지 부분이 접촉된 상태로, 상기 지지 부재에 의해 하측으로부터 지지되고,
    상기 피지지부는, 상기 주행 경로를 따른 축심(軸心) 주위로 회전 가능한 회전 롤러이며,
    상기 지지 부분은, 상기 경로 폭 방향으로 연장되는 평탄한 지지면을 위쪽에 가지고 있는, 물품 반송 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 지지부는, 상기 주행 경로를 따른 방향에서 상기 제2 지지부의 중앙부에 대하여 양측으로 나누어 배치되는 2개의 피지지부인 제1 피지지부와 제2 피지지부를 구비하고,
    상기 지지 부재는, 상기 제1 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분인 제1 지지 부분과, 상기 제2 피지지부에 대하여 상기 돌출 상태에 있어서 상하 방향에서 볼 때 아래쪽으로 중첩되는 위치에 배치되는 지지 부분인 제2 지지 부분을 구비하고,
    상기 제2 지지부는, 상기 제1 피지지부와 상기 제1 지지 부분이 접촉하고 또한 상기 제2 피지지부와 상기 제2 지지 부분이 접촉된 상태로, 상기 지지 부재에 의해 하측으로부터 지지되는, 물품 반송 설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 반송 대상부를 제1 반송 대상부로 하고, 상기 제1 반송 대상부와는 별개로, 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처로 되는 제2 반송 대상부를 구비하는 동시에, 상기 반송 장치의 작동을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
    상기 제2 반송 대상부는, 상기 제1 반송 대상부보다도 높은 위치로서 상기 경로 폭 방향에서 상기 주행 경로의 외측에 배치되고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 반송 대상부가 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처인 경우에는, 상기 반송 장치를 상기 주행 경로에서의 상기 제1 반송 대상부에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 상기 제2 지지부를, 제1 가속도로 가속시킨 후에 제1 감속도로 감속시켜, 상기 퇴피 위치로부터 상기 돌출 위치까지 이동시키는 제어를 행하고,
    상기 제어 장치는, 상기 제2 반송 대상부가 상기 반송 장치에 의한 물품의 반송원 또는 반송처인 경우에는, 상기 반송 장치를 상기 주행 경로에서의 상기 제2 반송 대상부에 대응하는 위치까지 주행시킨 후, 상기 제2 지지부를, 제2 가속도로 가속시킨 후에 제2 감속도로 감속시켜, 상기 퇴피 위치로부터, 상하 방향에서 볼 때 상기 제2 반송 대상부와 중첩되는 위치까지 이동시키는 제어를 행하고,
    상기 제1 가속도의 절대값이 상기 제2 가속도의 절대값보다도 작은 것과, 상기 제1 감속도의 절대값이 상기 제2 감속도의 절대값보다도 작은 것 중 적어도 한쪽이 만족되도록, 상기 제1 가속도, 상기 제1 감속도, 상기 제2 가속도, 및 상기 제2 감속도가 설정되어 있는, 물품 반송 설비.
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