TW201817666A - 移載機 - Google Patents

Abstract

一種移載機10，包括：行走部20，沿著設於天花板90側的軌道91行走；以及升降部30，升降自如地支持匣盒80，升降部30包括：升降部本體31；升降籠34，支持匣盒80；供電裝置50，設於升降部本體31，對升降籠34供給電力；以及受電裝置60，設於升降籠34，從供電裝置50無接觸地接收電力，供電裝置50的供電面52與受電裝置60的受電面62是配置為，在升降籠34相對於升降部本體31上升時，朝向相對於升降籠34的升降方向而交叉的方向彼此相對。

Description

移載機

本發明是有關於一種移載機，其具備：行走部，沿著設於天花板側的軌道（rail）行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物。

作為習知的移載機，已知有如下所述者：在設於天花板側的軌道上，設置於該軌道上行走的行走台車（行走部），從行走台車經由升降裝置（升降部）來保持懸吊被搬送物。此種移載機中的升降裝置中，設有升降部本體及相對於升降部本體升降自如且用於支持被搬送物的升降籠（cage），藉由使該升降籠中所設的馬達（motor）驅動，從而進行抓持被搬送物的抓持機構的開閉動作。而且，於所述升降籠中，設有用於控制所述馬達的控制電路等。並且，對於所述馬達及所述馬達的控制電路等的供電，即，所述升降部本體與所述升降籠之間的供電，是經由內置於升降帶（belt）（懸吊材）內部的導電線來進行，所述升降帶是用於使升降籠相對於升降部本體而升降（例如專利文獻1）。 然而，此種經由內置於升降帶內部的導電線來進行所述升降部本體與所述升降籠之間的供電的方式中，存在因升降帶的撓曲、磨損、變形等導致發生導電線的接觸不良等的問題。 因此，近年的移載機中，採用不經由導電線而無接觸地進行所述升降部本體與所述升降籠之間的供電的方式。該方式中，將用於對所述升降籠供給電力的供電裝置設於所述升降部本體，將用於從該供電裝置無接觸地接收電力的受電裝置設於升降籠。藉此，藉由所述供電裝置的供電線圈（coil）所產生的磁場，使該受電裝置的受電線圈產生升降籠側的所需電力，從而以無接觸狀態進行供電。 現有技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2000-281278號公報

[發明所欲解決之問題] 然而，所述移載機中存在下述問題：當所述升降籠相對於所述升降部本體上升而在所述升降部本體與所述升降籠之間進行供電時，所述升降部本體中所設的供電裝置與所述升降籠中所設的受電裝置有時會發生接觸（碰撞），並因該接觸而發生起塵。尤其，在對於起塵嚴格的無塵室（clean room）等中使用的移載機中會造成問題。

因此，本發明的目的在於提供一種移載機，當在升降部的升降部本體與升降籠之間進行供電時，可防止該升降部本體中所設的供電裝置與該升降籠中所設的受電裝置的接觸（碰撞）。 [解決問題之手段]

本發明所欲解決之問題如上，接下來，對用於解決該問題的手段進行說明。

即，本發明的移載機包括：行走部，沿著設於天花板側的軌道行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物，其中，所述升降部包括：升降部本體；升降籠，相對於所述升降部本體而升降自如且支持被搬送物；供電裝置，設於所述升降部本體，對所述升降籠供給電力；受電裝置，設於所述升降籠，從所述供電裝置無接觸地接收電力，所述供電裝置的供電面與所述受電裝置的受電面被配置為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，朝向相對於所述升降籠的升降方向而交叉的方向彼此相對。 所述結構中，當升降籠上升至升降部本體為止時，供電裝置的供電面與受電裝置的受電面在相對於升降籠的升降方向而交叉的方向上，以彼此隔開規定的間隔而相對的狀態接近。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述升降部本體包括距離檢測部，所述距離檢測部檢測所述升降籠相對於所述升降部本體的距離，所述受電裝置是設置為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，處於所述距離檢測部附近。 所述結構中，能以與距離檢測部所檢測的值（距離）無偏離的值，來控制供電裝置的供電面與受電裝置的受電面的位置關係。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述升降部包括對位部件，所述對位部件進行所述升降部本體與所述升降籠的對位，所述對位部件是構成為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，所述升降部本體與所述升降籠能夠以所述升降部本體導入所述升降籠的方式來卡合。 所述結構中，當升降籠上升至升降部本體為止時，升降部本體以導入升降籠的方式來與升降籠卡合。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述升降部包括至少一對懸吊材，所述至少一對懸吊材相對於所述升降部本體可升降地懸吊所述升降籠，所述供電裝置及所述受電裝置被設於配置所述一對懸吊材的位置之間。 所述結構中，在配置一對懸吊材的位置之間，供電裝置與受電裝置接近。

本發明的移載機是在所述移載機中，所述升降部包括至少一對懸吊材，所述至少一對懸吊材相對於所述升降部本體可升降地懸吊所述升降籠，所述對位部件被設於配置所述一對懸吊材的位置之間。 所述結構中，在配置一對懸吊材的位置之間，升降部本體與升降籠卡合。 [發明的效果]

根據本發明的移載機，當升降籠上升至升降部本體為止時，供電裝置的供電面與受電裝置的受電面不會發生接觸（碰撞）。因此，無因該接觸（碰撞）造成的起塵之虞。

對本發明的移載機10進行說明。另外，以下，將移載機10的車體行走方向（移載機10的長邊方向）設為前後方向，將相對於移載機10的車體行走方向而在水平方向上正交的方向（移載機10的寬度方向）設為左右方向，將相對於移載機10的車體行走方向而在鉛垂方向上正交的方向（移載機10的高度方向）設為上下方向來進行說明。

如圖1至圖3所示，移載機10例如是設在半導體基板的製造工場內，在沿著設於該製造工場內的行走軌道而行走的高架搬送車（未圖示）、與對半導體基板進行規定處理的處理裝置（未圖示）之間，移載收納有半導體基板的匣盒（cassette）80（「被搬送部」的一例）。

移載機10是沿著設於天花板90的軌道91而行走。軌道91是以從天花板90側藉由懸吊螺栓（bolt）92等而懸吊的狀態受到支持，在移載機10從所述高架搬送車收取匣盒80的收取位置與移載機10使匣盒80升降而移載至所述處理裝置的升降位置之間，軌道91呈直線狀地延伸設置。在軌道91上，設有用於對移載機10供給電力的供電線（未圖示）。

移載機10主要包含沿著軌道91行走的行走部20及升降自如地支持匣盒80的升降部30。 行走部20以一體地旋轉的方式具備用於在軌道91上行走的左右兩側的行走車輪21，該左右兩側的行走車輪21是在前後設有一對。行走部20具備對前後其中一側的行走車輪21進行驅動的驅動馬達（未圖示）。行走部20是以下述方式而構成：將前後其中一側的行走車輪21作為驅動輪，將前後另一側的行走車輪21作為從動輪，藉由所述驅動馬達的驅動來使前後其中一側的行走車輪21旋轉，從而沿著軌道91行走。

升降部30設於行走部20的下方，且主要包含升降部本體31與升降籠34。 升降部本體31是升降部30的本體部分，以相對於行走部20而懸吊的狀態受到支持。升降部本體31藉由升降帶32（「懸吊材」的一例）以懸吊的狀態來支持升降籠34。 如圖3所示，升降帶32以一體地捲繞及放出的方式具備移載機10左右兩側（移載機10的寬度方向的兩側）的升降帶32，移載機10左右兩側的升降帶32在移載機10的前後（移載機10的長邊方向）設有一對。 升降部本體31具備用於使升降籠34升降的升降馬達33，藉由升降馬達33的驅動來使升降帶32相對於升降部本體31而捲繞及放出，從而使升降籠34升降。

如圖1至圖3所示，升降籠34是相對於升降部本體31而升降自如地設置，且支持匣盒80的部分。升降籠34具備與匣盒80的凸緣部81卡合的卡合部35。卡合部35藉由使與凸緣部81卡合的卡合部分轉動，從而將與凸緣部81的卡合狀態切換為與凸緣部81卡合的卡合狀態以及解除與凸緣部81的卡合的卡合解除狀態。

移載機10具備用於對升降籠34相對於升降部本體31的距離進行檢測的雷射（laser）距離計40（「距離檢測部」的一例）。具體而言，雷射距離計40設於升降部本體31，對從雷射距離計40照射的雷射光進行反射的反射板41設於升降籠34。雷射距離計40藉由對直至設於升降籠34的反射板41為止的距離進行檢測，從而檢測升降籠34相對於升降部本體31的距離。雷射距離計40分別設於移載機10的前後兩側。雷射距離計40是設於捲繞或放出升降帶32的位置附近。

移載機10具備對位部件45，該對位部件45進行升降部本體31與升降籠34的對位。對位部件45是如下所述的對位機構：當升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，用於將升降籠34相對於升降部本體31而保持於規定位置。對位部件45包含：設於升降籠34側的突出部46以及設於升降部本體31側的接納部47。對位部件45在升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，使升降籠34側的突出部46與升降部本體31側的接納部47卡合，藉此來進行升降籠34相對於升降部本體31的對位。 突出部46是從升降籠34的上部朝向上方突出的凸狀部分。突出部46包含在與接納部47卡合而接觸時不會起塵的材料。 接納部47是接納突出部46的凸狀部分的凹狀部分。接納部47包含在與突出部46卡合而接觸時不會起塵的材料。接納部47構成為，其凹狀部分的凹陷朝向水平方向配置，在與突出部46卡合時從突出部46的凸狀部分的兩側進行抓持。而且，接納部47構成為，在與突出部46卡合時，即使突出部46的凸狀部分位於稍許偏離接納部47的凹狀部分的位置，亦可將突出部46的凸狀部分導入至接納部47的凹狀部分。具體而言，藉由在接納部47的凹狀部分的下方設置多個輥48，使輥48抵接至突出部46的凸狀部分的側面，從而在突出部46與接納部47卡合之前，將突出部46的凸狀部分的上升方向限制在接納部47的凹狀部分側，從而將突出部46的凸狀部分導入至接納部47的凹狀部分。 藉由如此般構成對位部件45，從而在升降籠34相對於升降部本體31上升時，升降部本體31將矯正升降籠34相對於升降部本體31的位置，以使升降部本體31與升降籠34始終在規定的位置處卡合。即，可使升降籠34相對於升降部本體31無偏離地上升。

如圖3所示，對位部件45分別設於移載機10的中央部的左右兩側。對位部件45是設於配置在移載機10前後兩側的一對升降帶32之間。具體而言，對位部件45是設於配置在移載機10左右兩側的升降帶32中的單側（例如左側）的升降帶32且配置在移載機10前側的升降帶32與配置在移載機10左右兩側的升降帶32中的單側（例如左側）的升降帶32且配置在移載機10後側的升降帶32之間的中央位置。即，對位部件45是設於從前側的升降帶32直至對位部件45為止的距離與從後側的升降帶32直至對位部件45為止的距離為大致相同距離的位置。藉由如此般配置對位部件45，從而可在前後的升降帶32所配置的位置之間使升降部本體31與升降籠34卡合。即，可在升降籠34相對於升降部本體31的傾斜少的位置，使升降部本體31與升降籠34卡合。因此，可使升降籠34相對於升降部本體31無偏離地上升。

移載機10藉由從升降部本體31供給至升降籠34的電力，來進行升降籠34的卡合部35的與凸緣部81的卡合狀態的切換動作。並且，在移載機10中，以不經由導電線的無接觸方式，來進行從升降部本體31對升降籠34的電力供給。 移載機10為了無接觸地進行升降部本體31與升降籠34之間的供電，在升降部本體31中設有供電裝置50，在升降籠34中設有受電裝置60。

供電裝置50是對升降籠34供給電力者，經由設於軌道91中的供電線來接收電力，並將所接收的電力供給至升降籠34的受電裝置60。供電裝置50具備用於對受電裝置60供給電力的供電部51。供電部51包含供電線圈。 受電裝置60是無接觸地接收從供電裝置50供給的電力者。受電裝置60接收從供電裝置50的供電部51供給的電力。受電裝置60具備用於接收從供電部51供給的電力的受電部61。受電部61包含受電線圈。受電裝置60具備蓄積從受電部61接收的電力的電容器（capacitor）（未圖示）。在受電裝置60中，當升降籠34相對於升降部本體31上升而接近升降部本體31時，將從供電部51供給的電力充電至所述電容器。並且，充電至電容器中的電力主要被用於在升降籠34相對於升降部本體31下降而離開升降部本體31時所進行的、卡合部35的卡合狀態的切換動作。即，在升降籠34相對於升降部本體31而下降時，藉由蓄積在所述電容器中的電力來進行卡合部35的卡合狀態的切換動作。

供電裝置50藉由供電部51的供電線圈所產生的磁場，使受電部61的受電線圈產生升降籠34側的所需電力，從而以無接觸狀態進行供電。 如圖1及圖4所示，供電裝置50是配置為，該供電部51的供電面52（用於對受電裝置60供給電力的面）朝向相對於升降籠34的升降方向而交叉的方向。具體而言，供電部51是以該供電面52朝向移載機10的中央部側而與升降籠34相向的方式來配置。即，在將供電部51設於升降部本體31後方的情況下，以供電面52朝向升降部本體31前方的方式來配置供電部51。供電部51在升降部本體31的前後其中一側（移載機10的車體行走方向其中一側）以從升降部本體31懸吊的狀態受到支持。 受電裝置60是配置為，該受電部61的受電面62（用於接收從供電裝置50供給的電力的面）朝向相對於升降籠34的升降方向而交叉的方向。具體而言，受電部61是以該受電面62朝向移載機10的前後方向的外側而與供電部51的供電面52相向的方式來配置。即，在將受電部61設於升降籠34後方的情況下，以受電面62朝向升降籠34後方的方式來配置受電部61。受電部61在升降籠34的前後其中一個端部（移載機10的車體行走方向其中一端部）以從升降籠34突出的狀態受到支持。

如圖4所示，供電裝置50的供電部51及受電裝置60的受電部61是設置為，當升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，供電部51的供電面52與受電部61的受電面62隔開規定的間隔且彼此相向。此處，所謂規定的間隔，是指可從供電部51向受電部61無接觸地供給電力的間隔。具體而言是配置為：供電部51的供電面52及受電部61的受電面62包含鉛垂面，且當升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，受電部61的受電面62在從供電部51的供電面52的位置朝移載機10的中央部側偏離的位置，與供電部51的供電面52相向。 藉由如上所述般配置供電裝置50及受電裝置60，從而供電部51的供電面52與受電部61的受電面62在升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，朝向相對於升降籠34的升降方向（上下方向）而交叉的方向（前後方向），不彼此接觸而隔開規定間隔地平行相對。因此，當升降部本體31與升降籠34接近時，供電部51與受電部61不發生接觸（碰撞），不會因接觸（碰撞）而起塵。

如圖4所示，供電裝置50及受電裝置60是設置為，當升降籠34相對於升降部本體31上升而升降部本體31與升降籠34接近時，處於雷射距離計40附近。具體而言，供電裝置50及受電裝置60被配置為，供電裝置50設於反射板41附近，且在反射板41附近，供電部51的供電面52與受電部61的受電面62相向。 藉由如此般將供電裝置50及受電裝置60設於雷射距離計40（反射板41）附近，從而可基於與雷射距離計40所檢測的值（距離）無偏離的值，來控制受電部61的受電面62相對於供電部51的供電面52的位置，因此當升降籠34上升至升降部本體31為止時，可使供電部51的供電面52與受電部61的受電面62精度良好地接近，從而可效率良好地進行從供電裝置50對受電裝置60的電力供給。

進而，如圖3所示，供電裝置50及受電裝置60配置於一對升降帶32之間。具體而言，將供電裝置50及受電裝置60設置在設於移載機10左側的升降帶32與設於移載機10右側的升降帶32之間。即，供電裝置50以及受電裝置60較捲繞及放出移載機10左右兩側的升降帶32的位置而設於內側（移載機10的中央側）。 藉由如此般設置供電裝置50及受電裝置60，從而在配置一對升降帶32的位置之間，供電部51的供電面52與受電部61的受電面62相向。即，可在升降籠34相對於升降部本體31的傾斜少的位置處，使供電部51的供電面52與受電部61的受電面62相向。因此，當升降籠34上升至升降部本體31為止時，可使供電部51的供電面52與受電部61的受電面62在規定的位置處精度良好地接近，藉此，可效率良好地進行從升降部本體31對升降籠34的電力供給。

如上所述，在移載機10中，當升降籠34上升至升降部本體31為止時，供電裝置50的供電部51的供電面52與受電裝置60的受電部61的受電面62以在相對於升降籠34的升降方向而交叉的方向上彼此隔開規定間隔地相對的狀態而接近，因此當升降籠34上升至升降部本體31為止時，供電部51的供電面52與受電部61的受電面62不會發生接觸（碰撞）。因此，無因該接觸（碰撞）造成的起塵之虞。 在移載機10中，將雷射距離計40設於捲繞或放出升降帶32的位置附近，藉此，可精度更好地檢測升降籠34相對於升降部本體31的距離。並且，藉由在此種雷射距離計40的附近設置供電裝置50及受電裝置60，從而可基於與雷射距離計40所檢測的值（距離）無偏離的值，來控制受電部61的受電面62相對於供電部51的供電面52的位置。而且，藉由對位部件45來矯正升降籠34相對於升降部本體31的位置，以使升降部本體31與升降籠34可始終在規定的位置處卡合，因此當升降籠34上升至升降部本體31為止時，可使供電部51的供電面52與受電部61的受電面62始終在規定的位置處相向。由此，當升降籠34上升至升降部本體31為止時，可使供電部51的供電面52與受電部61的受電面62精度良好地接近，從而可效率良好地進行從供電裝置50對受電裝置60的電力供給。

另外，本實施形態中，是使供電部51的供電面52及受電部61的受電面62朝向移載機10的前後方向（移載機10的車體行走方向）而配置，但並不限定於此，只要是朝向相對於升降籠34的升降方向而交叉的方向的鉛垂面即可，例如亦可朝向移載機10的左右方向（移載機10的寬度方向）而配置。 本實施形態中，將供電裝置50及受電裝置60僅設於移載機10的前後方向（移載機10的車體行走方向）的其中一側，但並不限定於此，例如亦可設於移載機10的前後方向的兩側、或者移載機10的左右方向（移載機10的寬度方向）的其中一側或兩側。

10‧‧‧移載機

20‧‧‧行走部

21‧‧‧行走車輪

30‧‧‧升降部

31‧‧‧升降部本體

32‧‧‧升降帶

33‧‧‧升降馬達

34‧‧‧升降籠

35‧‧‧卡合部

40‧‧‧雷射距離計

41‧‧‧反射板

45‧‧‧對位部件

46‧‧‧突出部

47‧‧‧接納部

48‧‧‧輥

50‧‧‧供電裝置

51‧‧‧供電部

52‧‧‧供電面

60‧‧‧受電裝置

61‧‧‧受電部

62‧‧‧受電面

80‧‧‧匣盒（被搬送物）

81‧‧‧凸緣部

90‧‧‧天花板

91‧‧‧軌道

92‧‧‧懸吊螺栓

圖1是本發明的移載機的側面圖。 圖2是本發明的移載機的正面圖。 圖3是本發明的移載機的平面圖。 圖4是本發明的移載機的行走部及升降部的放大側面圖。

Claims (5)

1. 一種移載機，包括：行走部，沿著設於天花板側的軌道行走；以及升降部，設於所述行走部，升降自如地支持被搬送物，所述移載機的特徵在於： 所述升降部包括： 升降部本體； 升降籠，相對於所述升降部本體而升降自如且支持所述被搬送物； 供電裝置，設於所述升降部本體，對所述升降籠供給電力； 受電裝置，設於所述升降籠，從所述供電裝置無接觸地接收電力， 所述供電裝置的供電面與所述受電裝置的受電面被配置為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，朝向相對於所述升降籠的升降方向而交叉的方向彼此相對。
2. 如申請專利範圍第1項所述的移載機，其中 所述升降部本體包括距離檢測部，所述距離檢測部檢測所述升降籠相對於所述升降部本體的距離， 所述受電裝置是設置為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，處於所述距離檢測部附近。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的移載機，其中 所述升降部包括對位部件，所述對位部件進行所述升降部本體與所述升降籠的對位， 所述對位部件是構成為，在所述升降籠相對於所述升降部本體上升時，所述升降部本體與所述升降籠能夠以所述升降部本體導入所述升降籠的方式來卡合。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的移載機，其中 所述升降部包括至少一對懸吊材，所述至少一對懸吊材相對於所述升降部本體可升降地懸吊所述升降籠， 所述供電裝置及所述受電裝置被設於配置所述一對懸吊材的位置之間。
5. 如申請專利範圍第3項或第4項所述的移載機，其中 所述升降部包括至少一對懸吊材，所述至少一對懸吊材相對於所述升降部本體可升降地懸吊所述升降籠， 所述對位部件被設於配置所述一對懸吊材的位置之間。