CN108016953B - 移载机 - Google Patents

Abstract

本发明所涉及的移载机(10)具备：行进部(20)，其沿着设置于顶棚(90)侧的轨道(91)而行进；以及升降部(30)，其以升降自如的方式对收纳箱(80)进行支承，升降部(30)具备：升降部主体(31)；升降厢(34)，其对收纳箱(80)进行支承；供电装置(50)，其设置于升降部主体(31)，且对升降厢(34)供给电力；以及受电装置(60)，其设置于升降厢(34)，且以无接触的方式从供电装置(50)接受电力，供电装置(50)的供电面(52)和受电装置(60)的受电面(62)配置为：当升降厢(34)相对于升降部主体(31)上升时，供电装置的供电面和受电装置的受电面朝向相对于升降厢(34)的升降方向交叉的方向、且彼此对置。

Description

移载机

技术领域

本发明涉及一种移载机，该移载机具备：行进部，该行进部沿着设置于顶棚侧的轨道而行进；以及升降部，该升降部设置于所述行进部、且以升降自如的方式对被输送物进行支承。

背景技术

作为以往的移载机，已知如下移栽机，该移栽机在设置于顶棚侧的轨道设置有在该轨道上行进的行进台车(行进部)，由行进台车借助升降装置(升降部)而对被输送物进行保持、悬吊。在这种移载机的升降装置设置有：升降部主体；以及升降厢(cage)，其相对于升降部主体而升降自如、且用于对被输送物进行支承，通过使设置于该升降厢的马达进行驱动而使得对被输送物进行把持的把持机构进行开闭动作。另外，在上述升降厢设置有用于对上述马达进行控制的控制电路等。并且，经由在用于使升降厢相对于升降部主体升降的升降带(悬吊件)的内部内置的导线而进行向上述马达以及上述马达的控制电路等的供电、即向上述升降部主体与上述升降厢之间的供电(例如专利文献1)。

但是，在这种经由在升降带的内部内置的导线而进行向上述升降部主体与上述升降厢之间的供电的方式中，存在以下问题：因升降带的挠曲、磨损、变形等而产生导线接触不良等。

因此，在近年来的移载机中，采用不经由导线而无接触地进行向上述升降部主体与上述升降厢之间的供电的方式。在该方式中，将用于对上述升降厢供给电力的供电装置设置于上述升降部主体，并将用于以无接触的方式从该供电装置接受电力的受电装置设置于升降厢。由此，利用由上述供电装置的供电线圈产生的磁场而使该受电装置的受电线圈产生升降厢侧所需的电力，由此以无接触的状态而进行供电。

专利文献

专利文献1：日本特开2000－281278号公报

发明内容

但是，在上述移载机中，存在以下问题：当上述升降厢相对于上述升降部主体上升而在上述升降部主体与上述升降厢之间进行供电时，设置于上述升降部主体的供电装置有时会与设置于上述升降厢的受电装置接触(碰撞)，并因该接触而产生灰尘。特别是对于在针对灰尘的要求严格的无尘室等处使用的移载机而言成为问题。

因此，本发明的目的在于提供一种移载机，当在升降部的升降部主体与升降厢之间进行供电时，该移栽机能够防止设置于该升降部主体的供电装置与设置于该升降厢的受电装置接触(碰撞)。

本发明所要解决的课题如上，接下来，对用于解决该课题的方法进行说明。

即，本发明的移载机具备：行进部，该行进部沿着设置于顶棚侧的轨道而行进；以及升降部，该升降部设置于所述行进部，且以升降自如的方式对被输送物进行支承，其中，所述升降部具备：升降部主体；升降厢，该升降厢相对于所述升降部主体而升降自如、且对被输送物进行支承；供电装置，该供电装置设置于所述升降部主体，且对所述升降厢供给电力；以及受电装置，该受电装置设置于所述升降厢，且以无接触的方式从所述供电装置接受电力，所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面配置为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面朝向相对于所述升降厢的升降方向交叉的方向、且彼此对置。

在上述结构中，当升降厢上升至升降部主体时，供电装置的供电面和受电装置的受电面在相对于升降厢的升降方向交叉的方向上以彼此隔开规定的间隔而对置的状态接近。

本发明的移载机在上述移载机的基础上，所述升降部主体具备距离检测部，该距离检测部对所述升降厢相对于所述升降部主体的距离进行检测，所述受电装置设置为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，所述受电装置处于所述距离检测部的附近。

在上述结构中，能够以相对于距离检测部检测出的值(距离)无偏差的值而对供电装置的供电面与受电装置的受电面的位置关系进行控制。

本发明的移载机在上述移载机的基础上，所述升降部具备对位单元，该对位单元对所述升降部主体和所述升降厢进行对位，所述对位单元构成为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，能够以所述升降部主体对所述升降厢进行引导的方式使得所述升降部主体和所述升降厢卡合。

在上述结构中，当升降厢上升至升降部主体时，升降部主体以对升降厢进行引导的方式而与升降厢卡合。

本发明的移载机在上述移载机的基础上，所述升降部具备至少一对悬吊件，该至少一对悬吊件以使得所述升降厢相对于所述升降部主体能够升降的方式而对所述升降厢进行悬吊，所述供电装置以及所述受电装置设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

在上述结构中，供电装置和受电装置在一对悬吊件所配置的位置之间接近。

本发明的移载机在上述移载机的基础上，所述升降部具备至少一对悬吊件，该至少一对悬吊件以使得所述升降厢相对于所述升降部主体能够升降的方式而对所述升降厢进行悬吊，所述对位单元设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

在上述结构中，升降部主体和升降厢在一对悬吊件所配置的位置之间卡合。

根据本发明的移载机，当升降厢上升至升降部主体时，供电装置的供电面和受电装置的受电面不会接触(碰撞)。因此，无需担心因该接触(碰撞)而产生灰尘。

附图说明

图1是本发明所涉及的移载机的侧视图。

图2是本发明所涉及的移载机的主视图。

图3是本发明所涉及的移载机的俯视图。

图4是本发明所涉及的移载机的行进部以及升降部的放大侧视图。

附图标记的说明：

10…移载机；20…行进部；30…升降部；31…升降部主体；34…升降厢；50…供电装置；52…供电面；60…受电装置；62…受电面；80…收纳箱(被输送物)；90…顶棚；91…轨道。

具体实施方式

对本发明所涉及的移载机10进行说明。另外，以下，将移载机10的车身行进方向(移载机10的长度方向)作为前后方向、将在水平方向上相对于移载机10的车身行进方向正交的方向(移载机10的宽度方向)作为左右方向、且将在铅直方向上相对于移载机10的车身行进方向正交的方向(移载机10的高度方向)作为上下方向而进行说明。

如图1至图3所示，移载机10例如设置于半导体基板的制造工厂内，在沿着设置于该制造工厂内的行进轨道行进的顶棚输送车(未图示)与对半导体基板进行规定的处理的处理装置(未图示)之间，对收纳有半导体基板的收纳箱(cassette)80(“被输送部”的一个例子)进行移载。

移载机10沿设置于顶棚90的轨道91而行进。利用悬吊螺栓92等以从顶棚90侧悬吊的状态对轨道91进行支承，该轨道91在移载机10从上述顶棚输送车接收收纳箱80的接收位置、与移载机10使收纳箱80升降而移载至上述处理装置的升降位置之间以直线状延伸设置。在轨道91设置有用于对移载机10供给电力的供电线(未图示)。

移载机10构成为主要包括：行进部20，其沿着轨道91而行进；以及升降部30，其以升降自如的方式对收纳箱80进行支承。

行进部20具备用于沿轨道91行进的左右两侧的行进车轮21、且使得该行进车轮21一体地旋转，该左右两侧的行进车轮21在前后方向上设置有一对。行进部20具备对前后方向一侧的行进车轮21进行驱动的驱动马达(未图示)。行进部20构成为：将前后方向一侧的行进车轮21作为驱动轮、且将前后方向另一侧的行进车轮21作为从动轮，通过上述驱动马达的驱动而使前后方向一侧的行进车轮21旋转，由此使得该行进部20沿轨道91行进。

升降部30设置于行进部20的下方，且构成为主要包括升降部主体31、以及升降厢34。

升降部主体31为升降部30的主体部分，并被支承为相对于行进部20悬吊的状态。升降部主体31利用升降带32(“悬吊件”的一个例子)以悬吊的状态对升降厢34进行支承。

如图3所示，升降带32配置为一体地对移载机10的左右两侧(移载机10的宽度方向的两侧)的升降带32进行卷绕以及开卷，移载机10的左右两侧的升降带32在移载机10的前后方向(移载机10的长度方向)上设置有一对。

升降部主体31具备用于使升降厢34升降的升降马达33，通过升降马达33的驱动而相对于升降部主体31对升降带32进行卷绕以及开卷，由此使得升降厢34上升或下降。

如图1至图3所示，升降厢34是设置为相对于升降部主体31而升降自如、且对收纳箱80进行支承的部分。升降厢34具备与收纳箱80的凸缘部81卡合的卡合部35。使与凸缘部81卡合的卡合部分旋转，由此在与凸缘部81卡合的卡合状态、和解除了与凸缘部81的卡合的卡合解除状态之间对卡合部35与凸缘部81的卡合状态进行切换。

移载机10具备激光测距仪40(“距离检测部”的一个例子)，该激光测距仪40用于检测升降厢34相对于升降部主体31的距离。具体而言，激光测距仪40设置于升降部主体31，对从激光测距仪40照射的激光进行反射的反射板41设置于升降厢34。激光测距仪40对距设置于升降厢34的反射板41的距离进行检测，由此检测升降厢34相对于升降部主体31的距离。激光测距仪40分别设置于移载机10的前后方向的两侧。激光测距仪40设置于对升降带32进行卷绕或者开卷的位置附近。

移载机10具备对位单元45，该对位单元45对升降部主体31和升降厢34进行对位。对位单元45为如下对位机构：当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，该对位单元45用于相对于升降部主体31而将升降厢34保持于规定位置。对位单元45构成为包括：突出部46，其设置于升降厢34侧；以及支承部47，其设置于升降部主体31侧。当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，对位单元45使升降厢34侧的突出部46与升降部主体31侧的支承部47卡合，由此使得升降厢34相对于升降部主体31的位置对准。

突出部46为从升降厢34的上部朝向上方突出的凸状部分。突出部46由与支承部47卡合接触时不会产生灰尘的材料构成。

支承部47为对突出部46的凸状部分进行支承的凹状部分。支承部47由与突出部46卡合接触时不会产生灰尘的材料构成。支承部47构成为：其凹状部分的凹部配置成朝向水平方向，当与突出部46卡合时，从突出部46的凸状部分的两侧进行把持。另外，支承部47构成为：当与突出部46卡合时，即使突出部46的凸状部分处于从支承部47的凹状部分略微偏离的位置，也能将突出部46的凸状部分引导至支承部47的凹状部分。具体而言，在支承部47的凹状部分的下方设置多个滚子48，使滚子48与突出部46的凸状部分的侧面抵接，由此，在突出部46与支承部47卡合之前，将突出部46的凸状部分的上升方向限制为支承部47的凹状部分侧而将突出部46的凸状部分引导至支承部47的凹状部分。

通过以该方式构成对位单元45，当升降厢34相对于升降部主体31上升时，升降部主体31对升降厢34相对于升降部主体31的位置进行矫正，由此使得升降部主体31和升降厢34始终在规定的位置卡合。即，能够使升降厢34相对于升降部主体31无偏离地上升。

如图3所示，对位单元45分别设置于移载机10的中央部的左右两侧。对位单元45设置于在移载机10的前后两侧配置的1对升降带32之间。具体而言，对位单元45设置于作为在移载机10的左右两侧配置的升降带32中的单侧(例如左侧)的升降带32的、配置于移载机10的前侧的升降带32、与作为在移载机10的左右两侧配置的升降带32中的单侧(例如左侧)的升降带32的、配置于移载机10的后侧的升降带32之间的中央位置。即，对位单元45设置于如下位置，该位置使得前侧的升降带32至对位单元45的距离、与后侧的升降带32至对位单元45的距离成为大致相同的距离。通过以该方式配置对位单元45，能够使升降部主体31和升降厢34在前后的升降带32所配置的位置之间卡合。即，能够使升降部主体31和升降厢34在升降厢34相对于升降部主体31的斜度较小的位置卡合。因此，能够使升降厢34相对于升降部主体31无偏离地上升。

移载机10利用从升降部主体31对升降厢34供给的电力而进行升降厢34的卡合部35与凸缘部81的卡合状态的切换动作。并且，在移载机10中，以不经由导线的无接触的方式而从升降部主体31向升降厢34供给电力。

对于移载机10而言，为了无接触地进行升降部主体31与升降厢34之间的供电，将供电装置50设置于升降部主体31，并将受电装置60设置于升降厢34。

供电装置50对升降厢34供给电力，经由设置于轨道91的供电线而接受电力，并将接受到的电力向升降厢34的受电装置60供给。供电装置50具备供电部51，该供电部51用于对受电装置60供给电力。供电部51由供电线圈构成。

受电装置60以无接触的方式接受从供电装置50供给的电力。受电装置60接受从供电装置50的供电部51供给的电力。受电装置60具备受电部61，该受电部61用于接受从供电部51供给的电力。受电部61由受电线圈构成。受电装置60具备电容器(未图示)，该电容器供从受电部61接受到的电力蓄积。在受电装置60中，当升降厢34相对于升降部主体31上升而与升降部主体31接近时，利用从供电部51供给的电力而对上述电容器进行充电。并且，对电容器补充的电力主要用于升降厢34相对于升降部主体31下降而从升降部主体31离开时所进行的卡合部35的卡合状态的切换动作。即，当升降厢34相对于升降部主体31下降时，利用上述电容器中蓄积的电力而进行卡合部35的卡合状态的切换动作。

供电装置50利用由供电部51的供电线圈产生的磁场而使得受电部61的受电线圈产生升降厢34侧所需的电力，由此以无接触的状态而进行供电。

如图1及图4所示，供电装置50配置为：其供电部51的供电面52(用于对受电装置60供给电力的面)朝向与升降厢34的升降方向交叉的方向。具体而言，供电部51配置为：其供电面52朝向移载机10的中央部侧、且与升降厢34对置。即，在将供电部51设置于升降部主体31的后方的情况下，以使得供电面52朝向升降部主体31的前方的方式配置供电部51。在升降部主体31的前后方向一侧(移载机10的车身行进方向的一侧)以从升降部主体31悬吊的状态对供电部51进行支承。

受电装置60配置为：其受电部61的受电面62(用于接受从供电装置50供给的电力的面)朝向与升降厢34的升降方向交叉的方向。具体而言，受电部61配置为：其受电面62朝向移载机10的前后方向的外侧、且与供电部51的供电面52对置。即，在将受电部61设置于升降厢34的后方的情况下，以使得受电面62朝向升降厢34的后方的方式配置受电部61。在升降厢34的前后方向一侧的端部(移载机10的车身行进方向的一侧的端部)以从升降厢34突出的状态对受电部61进行支承。

如图4所示，供电装置50的供电部51以及受电装置60的受电部61设置为：当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，供电部51的供电面52和受电部61的受电面62隔开规定的间隔、且彼此对置。此处，规定的间隔是指：能够以无接触的方式从供电部51向受电部61供给电力的间隔。具体而言，由铅直面构成供电部51的供电面52以及受电部61的受电面62，且配置为：当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，受电部61的受电面62在与供电部51的供电面52的位置相比向移载机10的中央部侧偏离的位置处与供电部51的供电面52对置。

通过以上述方式配置供电装置50以及受电装置60，当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，供电部51的供电面52和受电部61的受电面62朝向与升降厢34的升降方向(上下方向)交叉的方向(前后方向)、且互不接触地隔开规定的间隔而平行地对置。因此，当升降部主体31和升降厢34接近时，供电部51和受电部61不会接触(碰撞)，从而不会因接触(碰撞)而产生灰尘。

如图4所示，供电装置50以及受电装置60设置为：当升降厢34相对于升降部主体31上升而使得升降部主体31和升降厢34接近时，二者均处于激光测距仪40的附近。具体而言，供电装置50设置于反射板41的附近，并且，供电装置50以及受电装置60配置为：供电部51的供电面52和受电部61的受电面62在反射板41的附近对置。

这样，通过将供电装置50以及受电装置60设置于激光测距仪40(反射板41)的附近，能够基于相对于激光测距仪40检测出的值(距离)无偏差的值而对受电部61的受电面62相对于供电部51的供电面52的位置进行控制，因此，当升降厢34上升至升降部主体31时，能够使供电部51的供电面52和受电部61的受电面62高精度地接近，从而能够高效地进行从供电装置50向受电装置60的电力供给。

此外，如图3所示，供电装置50以及受电装置60配置于一对升降带32之间。具体而言，供电装置50以及受电装置60设置于在移载机10的左侧设置的升降带32、与在移载机10的右侧设置的升降带32之间。即，供电装置50以及受电装置60设置为比对移载机10的左右两侧的升降带32进行卷绕以及开卷的位置更靠内侧(移载机10的中央侧)。

通过以该方式设置供电装置50以及受电装置60，使得供电部51的供电面52和受电部61的受电面62在一对升降带32所配置的位置之间对置。即，能够使供电部51的供电面52和受电部61的受电面62在升降厢34相对于升降部主体31的斜度较小的位置处对置。因此，当升降厢34上升至升降部主体31时，通过使供电部51的供电面52和受电部61的受电面62在规定的位置处高精度地接近，能够高效地进行从升降部主体31向升降厢34的电力供给。

综上所述，在移载机10中，当升降厢34上升至升降部主体31时，供电装置50的供电部51的供电面52和受电装置60的受电部61的受电面62以在相对于升降厢34的升降方向交叉的方向上彼此隔开规定的间隔而对置的状态接近，因此，当升降厢34上升至升降部主体31时，供电部51的供电面52和受电部61的受电面62不会接触(碰撞)。因此，无需担心因该接触(碰撞)而产生灰尘。

在移载机10中，将激光测距仪40设置于对升降带32进行卷绕或者开卷的位置附近，由此能够以更高的精度检测出升降厢34相对于升降部主体31的距离。并且，通过将供电装置50以及受电装置60设置于这种激光测距仪40的附近，能够基于相对于激光测距仪40检测出的值(距离)无偏差的值而对受电部61的受电面62相对于供电部51的供电面52的位置进行控制。另外，能够利用对位单元45对升降厢34相对于升降部主体31的位置进行矫正，从而能够使升降部主体31和升降厢34始终在规定的位置卡合，因此，当升降厢34上升至升降部主体31时，能够使供电部51的供电面52和受电部61的受电面62始终在规定的位置对置。因此，当升降厢34上升至升降部主体31时，能够使供电部51的供电面52和受电部61的受电面62高精度地接近，从而能够高效地进行从供电装置50向受电装置60的电力供给。

另外，在本实施方式中，将供电部51的供电面52以及受电部61的受电面62配置为朝向移载机10的前后方向(移载机10的车身行进方向)，但并不限定于此，只要是朝向相对于升降厢34的升降方向交叉的方向的铅直面即可，例如可以配置为朝向移载机10的左右方向(移载机10的宽度方向)。

在本实施方式中，将供电装置50以及受电装置60仅设置于移载机10的前后方向(移载机10的车身行进方向)的一侧，但并不限定于此，例如也可以设置于移载机10的前后方向的两侧、或者移载机10的左右方向(移载机10的宽度方向)的一侧或两侧。

Claims (7)

1.一种移载机，其具备：

行进部，该行进部沿着设置于顶棚侧的轨道而行进；以及

升降部，该升降部设置于所述行进部，且以升降自如的方式对被输送物进行支承，

所述移载机的特征在于，

所述升降部具备：

支承于所述行进部的升降部主体；

升降厢，该升降厢相对于所述升降部主体而升降自如，且对被输送物进行支承；

供电装置，该供电装置设置于所述升降部主体，且对所述升降厢供给电力；以及

受电装置，该受电装置设置于所述升降厢，且以无接触的方式从所述供电装置接受电力，

所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面配置为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面朝向相对于所述升降厢的升降方向交叉的方向、且彼此对置，

所述升降部主体具备距离检测部，该距离检测部对所述升降厢相对于所述升降部主体的距离进行检测，

所述受电装置设置为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，所述受电装置处于所述距离检测部的附近。

2.根据权利要求1所述的移载机，其特征在于，

所述升降部具备对位单元，该对位单元对所述升降部主体和所述升降厢进行对位，

所述对位单元构成为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，能够以所述升降部主体对所述升降厢进行引导的方式使得所述升降部主体和所述升降厢卡合。

3.根据权利要求2所述的移载机，其特征在于，

所述升降部具备至少一对悬吊件，该至少一对悬吊件以使得所述升降厢相对于所述升降部主体能够升降的方式而对所述升降厢进行悬吊，

所述对位单元设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

4.根据权利要求1或2所述的移载机，其特征在于，

所述升降部具备至少一对悬吊件，该至少一对悬吊件以使得所述升降厢相对于所述升降部主体能够升降的方式而对所述升降厢进行悬吊，

所述供电装置以及所述受电装置设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

5.根据权利要求3所述的移载机，其特征在于，

所述供电装置以及所述受电装置设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

6.一种移载机，其具备：

行进部，该行进部沿着设置于顶棚侧的轨道而行进；以及

升降部，该升降部设置于所述行进部，且以升降自如的方式对被输送物进行支承，

所述移载机的特征在于，

所述升降部具备：

升降部主体；

升降厢，该升降厢相对于所述升降部主体而升降自如，且对被输送物进行支承；

供电装置，该供电装置设置于所述升降部主体，且对所述升降厢供给电力；

受电装置，该受电装置设置于所述升降厢，且以无接触的方式从所述供电装置接受电力，

对位单元，该对位单元对所述升降部主体和所述升降厢进行对位，以及

至少一对悬吊件，该至少一对悬吊件以使得所述升降厢相对于所述升降部主体能够升降的方式而对所述升降厢进行悬吊，

所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面配置为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，所述供电装置的供电面和所述受电装置的受电面朝向相对于所述升降厢的升降方向交叉的方向、且彼此对置，

所述对位单元设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间，

所述对位单元构成为：当所述升降厢相对于所述升降部主体上升时，能够以所述升降部主体对所述升降厢进行引导的方式使得所述升降部主体和所述升降厢卡合。

7.根据权利要求6所述的移载机，其特征在于，

所述供电装置以及所述受电装置设置于所述一对悬吊件所配置的位置之间。

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