JP6627699B2 - 物品搬送設備及び落下防止装置 - Google Patents
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Description
上記構成では、落下防止装置の係止部が収納容器のハンドル部を係止することで、収納容器の移動(揺れ)を規制する。
上記構成では、落下防止装置の係止部が天井保管棚における収納容器の水平方向においてハンドル部と当接することで、収納容器の移動(揺れ)を規制する。
上記構成では、落下防止装置の係止部が容器本体とハンドル部によって形成される孔を貫通することで、収納容器の移動(揺れ)を規制する。
上記構成では、落下防止装置の係止部がハンドル部に嵌合することで、収納容器の移動(揺れ)を規制する。
上記構成では、落下防止装置の係止部が容器本体とハンドル部によって形成される孔を貫通することで、収納容器の移動(揺れ)を規制する。
収納容器に予め設けられているハンドル部を利用して収納容器の移動(揺れ)を容易に規制することができる。そのため、容易な装置構成で、天井保管棚からの収納容器の落下を確実に防止できる。
物品搬送設備10は、半導体基板(「物品」の一例)の製造工場内のクリーンルーム等に設けられ、半導体基板を収納したフープ90(「収納容器」の一例)を、半導体基板に対して所定の処理を行う複数の処理装置間において加工処理の工程順に従って搬送するための設備である。図1に示すように、物品搬送設備10は、搬送路である走行レール12と、走行レール12に沿って走行する天井搬送車20と、走行レール12に沿って設けられる第1及び第2天井保管棚30A、30Bと、を主に備えている。
天井搬送車20は、半導体基板を収納したフープ90を走行レール12に沿って搬送するものである。天井搬送車20は、走行レール12に対して吊下げられた状態で取り付けられ、走行レール12に沿って移動可能に構成されている。天井搬送車20は、移動車21と、横送り駆動装置22と、昇降駆動装置23と、チャッキング装置24と、落下防止体25と、から主に構成されている。天井搬送車20は、天井11側から移動車21、横送り駆動装置22、昇降駆動装置23、チャッキング装置24の順で設けられる。
移動車21は、横送り駆動装置22、昇降駆動装置23、及びチャッキング装置24を走行レール12に沿って移動させるものであり、走行レール12に沿って走行可能に構成されている。移動車21は、走行レール12に沿って走行するための走行推力を発生するリニアモータ式の走行車体と、当該走行車体に対して連結されて横送り駆動装置22を支持する支持部と、から主に構成されている。なお、上記走行車体は、リニアモータ式の走行車体に限定されるものではなく、クリーンルーム等のクリーン度が要求される空間で走行可能な方式の走行車体であれば構わない。
横送り駆動装置22は、昇降駆動装置23及びチャッキング装置24を走行レール12の側方(移動車21の走行方向に対して左右方向)に移動させるものであり、移動車21の下端部に取り付けられている。横送り駆動装置22は、昇降駆動装置23を支持して走行レール12の左右方向に案内するガイド支持レールと、ガイド支持レールを走行レール12の左右方向に移動させるとともにガイド支持レールに案内される昇降駆動装置23を走行レール12の左右方向に移動させる横移動装置と、を備える。横送り駆動装置22においては、ガイド支持レールが横移動装置の駆動により走行レール12の左右どちらか一方にスライド移動される。そして、昇降駆動装置23が横移動装置の駆動によりスライド移動されたガイド支持レール上を移動する。
昇降駆動装置23は、チャッキング装置24を吊り下げた状態で昇降させるものであり、横送り駆動装置22に取り付けられている。昇降駆動装置23は、複数本の昇降ベルトを有し、当該複数本の昇降ベルトを同時に巻き取り及び巻き出し可能に構成されている。上記複数本の昇降ベルトの巻き取り及び巻き出しを行うことで、上記昇降ベルトにより吊り下げ支持されたチャッキング装置24が略水平姿勢を維持しながら昇降操作される。
チャッキング装置24は、フープ90を着脱可能に支持するものであり、昇降駆動装置23に取り付けられている。チャッキング装置24は、フープ90の上面から突出するフランジ93等を掴むことによりフープ90を支持する。
落下防止体25は、天井搬送車20からのフープ90の落下を防止するものであり、天井搬送車20の走行方向に対して前後側及び下側を覆う箱体である。
ハンドル94は、フープ本体91の側面からアーチ状(コ字状)に突出する矩形の部材により形成される。
フープ90には、アーチ状のハンドル94をフープ本体91の側面から突出させることで、作業者等がフープ90を持ち上げる際に作業者の手等を挿入するための孔96が、フープ本体91とハンドル94との間に形成される。孔96は、フープ本体91とハンドル94により囲まれる領域であり、通常の作業者の手を挿入させることができる程度の空間である。
図2に示すように、第1及び第2天井保管棚30A、30Bは、底板31と、底板31の両側から垂直に立設される側面枠32、32と、側面枠32、32が立設される側と異なる側の底板31から垂直に立設される落下防止枠33と、から主に構成されている。なお、以下の説明においては、側面枠32、32が設けられている側を「第1及び第2天井保管棚30A、30Bの右側或いは左側」とし、落下防止枠33が設けられている側を「第1及び第2天井保管棚30A、30Bの後側」とし、落下防止枠33が設けられている側と反対側を「第1及び第2天井保管棚30A、30Bの前側」とする。
側面枠32、32は、第1及び第2天井保管棚30A、30Bの右側或いは左側からのフープ90の落下を防止するものである。側面枠32、32の上部には、第1及び第2天井保管棚30A、30Bを天井11から吊り下げるための吊り下げボルト13等が取り付けられる。
落下防止枠33は、第1及び第2天井保管棚30A、30Bの後側からのフープ90の落下を防止するものである。落下防止枠33は、側面枠32、32より低く、且つ底板31に着座するフープ90の高さより高く形成される。
第1及び第2天井保管棚30A、30Bは、前側にフープ90を出し入れするための搬出入口が設けられ、当該搬出入口を走行レール12側に向けて配置される。当該搬出入口から搬入されたフープ90は、底板31に着座させる。
第1落下防止装置40は、正面視略U字状に屈曲する板材により構成される。第1落下防止装置40は、その一方側に第1天井保管棚30Aの側面枠32、32に固定するための固定部41が設けられ、その他方側にハンドル94を係止するための係止部42が設けられる。
固定部41は、側面枠32、32と平行に設けられ、板材で側面枠32、32を挟み込んでボルト等の固定部材により側面枠32、32に固定される。
係止部42は、その先端部をフープ本体91とハンドル94により形成される孔96に貫通させることによってハンドル94を係止する。係止部42は、固定部41から正面視略L字状に突出して延設され、その先端部が上方に向くように設けられる。係止部42は、その側面の幅がフープ90の孔96の径より短く形成される。係止部42は、その先端部分が、フープ90が第1天井保管棚30Aに着座する際にフープ90の孔96を貫通可能な長さで固定部41から突出している。
第1落下防止装置40は、フープ90が第1天井保管棚30Aに着座する際に、係止部42がフープ90の孔96を貫通する。これにより、係止部42がハンドル94の孔96側の側面と当接可能な状態となり、ハンドル94の孔96側の側面が係止部42と当接することでハンドル94が係止部42に係止される。第1落下防止装置40は第1天井保管棚30Aの左右両側に設けられているため、係止部42がフープ90の孔96を貫通することでフープ90の左右両側のハンドル94が係止部42により係止され、フープ本体91の前後左右方向の移動(揺れ)が規制される。そのため、フープ90が傾いた場合であっても、フープ90が転倒する前に係止部42がハンドル94に当接してフープ90の転倒を止める。
このように、第1落下防止装置40は、係止部42がフープ本体91とハンドル94により形成される孔96を貫通する貫通部材により構成され、当該貫通部材が孔96を貫通することでフープ90の移動(揺れ)を規制し、第1天井保管棚30Aからのフープ90の落下を防止する。
第2落下防止装置50は、底板31から上方に向けて突出する角形の柱材により構成される。第2落下防止装置50は、その基端部が底板31に固定され、底板31から垂直に立設される。第2落下防止装置50は、その柱材の一方の側面にハンドル94を係止するための係止部51が設けられる。
係止部51は、上記柱材の後側の側面であり、フープ90が第2天井保管棚30Bに着座する際に、ハンドル94の前側と対向する側の側面である。係止部51は、その側面の幅が、ハンドル94がフープ本体91から突出する長さより長く、且つフープ90が第2天井保管棚30Bに着座する際にフープ本体91と側面枠32、32との間に生じる隙間より短くなるように形成される。
第2落下防止装置50は、フープ90が第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部51がハンドル94に当接或いは接近する。すなわち、係止部51が第2天井保管棚30Bにおけるフープ90の水平方向(前方向)においてハンドル94の外部からハンドル94と当接或いは接近する。これにより、係止部51がハンドル94の前側の側面(外部)と当接或いは当接可能な状態となり、ハンドル94の前側の側面が係止部51と当接することでハンドル94が係止部51に係止される。第2落下防止装置50は第2天井保管棚30Bの左右両側に設けられているため、係止部51がハンドル94の前側の側面(外部)に当接することでフープ90の左右両側のハンドル94が係止部51により係止され、フープ本体91の前方向の移動(揺れ)が規制される。そのため、フープ90が傾いた場合であっても、フープ90が転倒する前に係止部51がハンドル94に当接してフープ90の転倒を止める。
このように、第2落下防止装置50は、係止部51がハンドル94と当接してフープ90の移動を規制する移動規制部材により構成され、当該移動規制部材が第2天井保管棚30Bにおけるフープ90の水平方向においてハンドル94の外部からハンドル94と当接することでフープ90の移動を規制し、第2天井保管棚30Bからのフープ90の落下を防止する。
物品搬送設備10及び第1及び第2落下防止装置40、50においては、フープ90に予め設けられているハンドル94を利用してフープ90の移動(揺れ)を容易に規制することができる。そのため、容易な装置構成で、第1及び第2天井保管棚30A、30Bからのフープ90の落下を確実に防止できる。
本実施の形態においては、走行レール12の左右両側方に、第1及び第2天井保管棚30A、30Bを設けているが、これに限定されるものではなく、走行レール12の左右どちらか一方の側方のみに第1及び第2天井保管棚30A、30Bを設けても構わない。
この場合においては、第3落下防止装置65(第3実施例)により落下防止装置を構成する。図4(b)に示すように、第3落下防止装置65は、フープ90Bが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部66が板状のハンドル94Bの前後の側面と当接するように、第1及び第2天井保管棚30A、30Bの底板31に垂直に立設される。第3落下防止装置65は、フープ90Bが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部66を構成する一対の柱材が板状のハンドル94Bに当接或いは接近することで、板状のハンドル94Bを係止部66により係止し或いは係止可能な状態として、フープ本体91Bの前後方向の移動(揺れ)を規制する。
この場合においては、第3落下防止装置65(第3実施例)及び第4落下防止装置60(第4実施例)により落下防止装置を構成する。
図5(b)に示すように、第4落下防止装置60は、係止部61が逆L字状のハンドル94Cに嵌合する嵌合部材により構成される。具体的には、係止部61が、逆L字状のハンドル94Cにおいて下方に折れ曲がって形成される下方屈曲部99Cの形状に合わせた凹状部分を有する部材により構成される。
第4落下防止装置60は、フープ90Cが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、逆L字状のハンドル94Cの側面と対向するように、第1及び第2天井保管棚30A、30Bの側面枠32、32に設けられる。第4落下防止装置60は、フープ90Cが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部61の凹状部分が逆L字状のハンドル94Cの下方屈曲部99Cに嵌る。係止部61の凹状部分が下方屈曲部99Cに嵌ることで、逆L字状のハンドル94Cが係止部61に係止され、フープ本体91Cの前後方向の移動(揺れ)が規制される。
図5(c)に示すように、第3落下防止装置65は、係止部66が逆L字状のハンドル94Cと当接してフープ90Cの移動を規制する移動規制部材により構成される。具体的には、係止部66が、逆L字状のハンドル94Cの下方屈曲部99Cの前後の側面と当接する(下方屈曲部99Cの前後の側面を挟持する)一対の角形の柱材により構成される。
第3落下防止装置65は、フープ90Cが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部66が逆L字状のハンドル94Cの下方屈曲部99Cの前後の側面と当接するように、第1及び第2天井保管棚30A、30Bの底板31に垂直に立設される。第3落下防止装置65は、フープ90Cが第1及び第2天井保管棚30Bに着座する際に、係止部61を構成する一対の柱材が下方屈曲部99Cに当接或いは接近することで、逆L字状のハンドル94Cを係止部61により係止し或いは係止可能な状態として、フープ本体91Cの前後方向の移動(揺れ)を規制する。
12 走行レール(搬送路)
20 天井搬送車
30A 第1天井保管棚(天井保管棚)
30B 第2天井保管棚(天井保管棚)
40 第1落下防止装置(落下防止装置)
42 係止部
50 第2落下防止装置(落下防止装置)
51 係止部
60 第4落下防止装置(落下防止装置)
61 係止部
65 第3落下防止装置(落下防止装置)
66 係止部
90 フープ(収納容器)
90B フープ(収納容器)
90C フープ(収納容器)
94 ハンドル(ハンドル部)
94B 板状のハンドル(ハンドル部)
94C 逆L字状のハンドル(ハンドル部)
Claims (4)
- 物品を収納する収納容器を搬送路に沿って走行する天井搬送車により搬送する物品搬送設備であって、
前記搬送路に沿って設けられ、前記天井搬送車によって搬送される収納容器を保管する天井保管棚を備え、
前記天井保管棚は、前記天井保管棚からの前記収納容器の落下を防止する落下防止装置を備え、
前記落下防止装置は、前記収納容器を持ち上げるためのハンドル部を係止する係止部を備え、
前記係止部は、前記天井保管棚における前記収納容器の水平方向において、前記ハンドル部の外部から前記ハンドル部と当接して、前記収納容器を前記天井保管棚に対して出し入れする方向への前記収納容器の移動を規制する移動規制部材により構成されること
を特徴とする物品搬送設備。 - 前記係止部は、前記ハンドル部に嵌合する嵌合部材により構成されること
を特徴とする請求項1に記載の物品搬送設備。 - 物品を収納する収納容器を搬送路に沿って走行する天井搬送車により搬送する物品搬送設備であって、
前記搬送路に沿って設けられ、前記天井搬送車によって搬送される収納容器を保管する天井保管棚を備え、
前記天井保管棚は、前記天井保管棚からの前記収納容器の落下を防止する落下防止装置を備え、
前記落下防止装置は、前記収納容器を持ち上げるためのハンドル部を係止する係止部を備え、
前記係止部は、前記収納容器の容器本体と前記ハンドル部によって形成される孔を貫通する貫通部材により構成されること
を特徴とする物品搬送設備。 - 物品を収納する収納容器を搬送路に沿って走行する天井搬送車により搬送する物品搬送設備に設けられる天井保管棚において前記天井保管棚からの前記収納容器の落下を防止する落下防止装置であって、
前記収納容器を持ち上げるためのハンドル部を係止する係止部を備え、
前記係止部は、前記収納容器の容器本体と前記ハンドル部によって形成される孔を貫通する貫通部材により構成されること
を特徴とする落下防止装置。
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