TWI531514B - Conveyance systems and transport systems - Google Patents

Conveyance systems and transport systems Download PDF

Info

Publication number
TWI531514B
TWI531514B TW102120082A TW102120082A TWI531514B TW I531514 B TWI531514 B TW I531514B TW 102120082 A TW102120082 A TW 102120082A TW 102120082 A TW102120082 A TW 102120082A TW I531514 B TWI531514 B TW I531514B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
track
temporary storage
storage area
trolley
regional
Prior art date
Application number
TW102120082A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201412617A (zh
Inventor
Tatsuji Ota
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of TW201412617A publication Critical patent/TW201412617A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI531514B publication Critical patent/TWI531514B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Description

搬送系統及搬送系統中之物品之臨時保管方法
本發明係關於一種搬送系統及搬送系統中之物品之臨時保管方法，特別是關於具備高架移行車、區域台車、暫存區、及負載埠之搬送系統中之物品之臨時保管。
發明者曾提出如下之搬送系統：於高架移行車之移行軌條(Rail)之正下方且於負載埠之正上方，配置區域台車之軌道，並且在除負載埠之正上方部以外的區域台車之軌道之正下方配置暫存區(專利文獻1：EP2450297A)。該系統由於區域台車係對負載埠搬出搬入物品，因此可不等待高架移行車到達就自負載埠搬出搬入物品。而且，例如高架移行車係在與暫存區之間搬出搬入物品，區域台車係於暫存區與負載埠之間搬出搬入物品。專利文獻2(JP2011-207621A)亦提出有類似之系統。
關於物品之臨時保管，對其他習知技術進行說明。專利文獻3(US2011/31091A)係揭示有如下之暫存區：上下地排列料架之橫寬，使搭載於升降機之滾輪台車自橫寬進出。以可使高架移行車搬出搬入物品之方式，將該暫存區配置於負載埠之附近，而保管數個物品。如此一來，則可預先將需要處理裝置之物品搬入至暫存區。專利文獻4(JP2009-62153A)係揭示有如下之內容：於暫存區內設置升降自如之軌條，使具備叉桿之台車沿軌道移行。該暫存區係上下地排列料架之橫 寬，可藉由軌道之升降與台車之移行而對料架搬出搬入物品。專利文獻4亦揭示有如下之內容：將該暫存區連接於高架移行車系統，並配置於負載埠之附近。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]EP2450297A
[專利文獻2]JP2011-207621A
[專利文獻3]US2011/31091A
[專利文獻4]JP2009-62153A
然而，若於專利文獻1之系統中，增大暫存區之容量，則區域台車之軌道就會變長。因此，暫存區之容量有其極限。對於該方面，專利文獻2係提出如下之內容：設置使物品自高架移行車橫向移動而進行搬出搬入之暫存區。然而，為了使區域台車可對該暫存區進行存取，於區域台車中必須有使物品橫向移動之機構。另一方面，專利文獻3、4之暫存區係並非以與區域台車連接之方式構成。
本發明之課題在於，於在高架移行車之軌道之正下方設置有區域台車之軌道之搬送系統中，增大暫存區之容量。
本發明之追加之課題在於，不使高架移行車之物品對暫存區之搬出搬入、與利用區域台車的負載埠與暫存區間之物品之搬送互相競爭。
本發明之搬送系統係高架移行車及區域台車均在與相 同之移載目的地之間移載物品者，且設置有：高架移行車之軌道；區域台車之軌道，其位於高架移行車之軌道之正下方；移載目的地，其位於高架移行車之軌道與區域台車之軌道雙方的正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；及暫存區，其設於區域台車之軌道之正下方以外處，與上述區域台車之軌道連接，而在與上述區域台車之間自如地交接物品；上述暫存區具備有：複數個槽室，其收容物品；搬出搬入用槽室，其設於上述高架移行車之軌道之下方，用以使高架移行車搬出搬入物品；及搬送手段，其用以於槽室間搬送物品。
本發明之搬送系統中之物品之臨時保管方法，該搬送系統具備有：高架移行車之軌道；區域台車之軌道，其位於高架移行車之軌道之正下方；移載目的地，其位於高架移行車之軌道與區域台車之軌道雙方的正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；及 區域台車，其於區域台車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；且為了使高架移行車與區域台車均在與相同之移載目的地之間移載物品，於區域台車之軌道之正下方以外之位置設有暫存區，該暫存區係與上述區域台車之軌道連接而在與上述區域台車之間自如地交接物品，且具有複數個槽室(cell)、及在暫存區內之物品之搬送手段，高架移行車係在與暫存區之物品搬出搬入用槽室之間搬出搬入物品，暫存區內之搬送手段係於暫存區之槽室間搬送物品，區域台車係於暫存區之槽室與上述移載目的地之間搬送物品。
本發明係於區域台車之軌道之正下方以外處設置暫存區，而增加暫存區之容量。該暫存區係與區域台車之軌道連接而在與區域台車之間自如地交接物品，且於高架移行車之軌道之下方具有搬出搬入用槽室而使得即便在與高架移行車之間亦可自如地交接物品。因此，可使物品於高架移行車-暫存區-區域台車之路徑上移動，從而成為高架移行車與區域台車間之暫存區。再者，於本說明書中，關於搬送系統之記載亦可直接適用於搬送系統中之物品之臨時保管方法。
較佳為，上述移載目的地係對物品進行處理之處理裝置之負載埠，且上述區域台車之軌道係進入至暫存區內。處理裝置例如為半導體之加工裝置、檢查裝置。如此一來，則高架移行車與區域台車係均在與負載埠之間移載物品，且可將多個物品收容於暫存區。而且，區域台車係進入至暫存區內，使物品於暫存區與負載埠之間移動。
較佳為，上述複數個槽室係沿著上下方向與水平方向排 列於上述暫存區內，且具備有可使區域台車移行自如之軌條，而且上述區域台車之軌道係進入至任一槽室內，暫存區具有具備可使區域台車移行自如之軌道之升降機，且區域台車係經由升降機而於槽室間移動自如，上述搬送手段係由槽室之軌道、升降機、及區域台車所構成。如此一來，則區域台車係經由升降機進入至暫存區內之各槽室，而可搬出搬入物品。而且，由於可將槽室例如上下左右地配置，因此可獲得大容量之暫存區。
又，較佳為，上述複數個槽室係沿著上下方向與水平方向排列於上述暫存區內，而且上述區域台車之軌道係進入至任一槽室內，暫存區具備有沿鉛垂方向之導件升降之水平導件、及沿上述水平導件移動之叉桿，上述搬送手段係由上述水平導件與上述叉桿所構成。藉由在上下方向與水平方向上移動之叉桿，可實現在槽室間之物品之搬送，並藉由使區域台車之軌道進入至任一槽室，可於區域台車與各槽室之間移動物品。
更佳為，進入有上述區域台車之軌道之槽室係較上述搬出搬入用槽室更下方之槽室。如此一來，可使利用高架移行車之物品之搬出搬入、與利用區域台車對負載埠之物品之搬出搬入變得不會互相競爭。
又，較佳為，將上述區域台車之軌道設為第1軌道，上述暫存區具備與上述第1軌道平行地配置之區域台車之第2軌道、及設於上述第2軌道正下方之槽室，且進一步具備使區域台車於上述第1軌道與上述第2軌道之間移動之移位裝置。如此一來，可獲得具備與第2軌道之長度對應之容量之暫存區的系統。
2‧‧‧高架移行車
4‧‧‧區域台車
6‧‧‧高架移行車之軌道
8‧‧‧區域台車之軌道
9‧‧‧軌條
10‧‧‧暫存區
12‧‧‧處理裝置
14‧‧‧負載埠
16‧‧‧天花板
18、22‧‧‧升降台
20‧‧‧物品
24‧‧‧吊持材
26‧‧‧軌條
28‧‧‧間隙
30‧‧‧軌道
34‧‧‧升降機
35‧‧‧暫存區
36‧‧‧料架支承
37‧‧‧槽室
38‧‧‧軌條
40‧‧‧搬入槽室
42‧‧‧搬出槽室
44‧‧‧容器
45~47‧‧‧支柱
50‧‧‧暫存區
52‧‧‧轉盤
54‧‧‧搬出搬入槽室
60‧‧‧暫存區
60'‧‧‧暫存區
62‧‧‧料架支承
64‧‧‧升降導件
65‧‧‧升降體
66‧‧‧水平導件
68‧‧‧移動部
70‧‧‧叉桿
80‧‧‧暫存區
82‧‧‧橋
84‧‧‧移位裝置
圖1係實施例之搬送系統之側視圖，且剖切地表示暫存區之容器。
圖2係實施例之搬送系統之俯視圖，且剖切高架移行車之軌道，並去除區域台車之軌道上之暫存區而表示。
圖3係變形例之搬送系統之側視圖。
圖4係變形例之搬送系統之俯視圖，且剖切地表示高架移行車之軌道。
圖5係第2實施例之搬送系統之附有局部剖切部之側視圖，且剖切地表示暫存區之容器。
圖6係第2變形例之搬送系統之俯視圖，且剖切地表示高架移行車之軌道。
圖7係第3實施例之搬送系統之俯視圖，且剖切地表示高架移行車之軌道。
以下表示用以實施本發明之最佳實施例。本發明之範圍應根據申請專利範圍之記載，參酌說明書之記載與該領域內之周知技術，而依據業者之理解來決定。
[實施例]
於圖1~圖7中，表示搬送系統之實施例與變形例，於圖1、圖2中，表示最初之實施例。於各圖中，高架移行車2例如於半導體工廠內搬送前開式晶圓盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)等之物品20，區域台車4係相對於1個或者複數個處理裝置12，進行物品20之供給與搬出。元件符號6為高架移行車之軌道，且由移行軌條與供電軌條所構成，元件符號8為區域台車4之軌道，且由圖2等所示 之一對軌條26、26所構成。又，處理裝置12具備1個~複數個負載埠14。元件符號16為無塵室等之天花板，且藉由支柱45~47而支撐軌道6、8及暫存區10。高架移行車之軌道6係位於最高之位置，於其正下方具有區域台車之軌道8，負載埠14係位於軌道6、8之正下方。
此處，處理裝置12係設為除加工裝置外亦包含檢查裝置者，於處理裝置12之前面設置有負載埠14，在與負載埠14之間由高架移行車2、區域台車4、及於地面上移動之人交接物品20。於處理裝置12之前面，除負載埠14外，設置有未圖示之顯示器與操作面板等，而可監視處理裝置12之運轉狀況，且藉由手動控制處理裝置12。又，高架移行車2、區域台車4係使藉由吊持材24夾持物品20之頭部之升降台18、22升降，從而移載物品20。
雖然區域台車之軌道8亦可為單軌，但較佳為由一對軌條26、26所構成，軌條26、26間之間隙28之寬度係大於物品20之深度，物品20係可與高架移行車2之升降台18一起朝鉛垂方向通過軌條26、26間之間隙28。藉此，即便以於鉛垂方向上重疊之方式配置軌道6、8與負載埠14，高架移行車2亦可相對於負載埠14及暫存區10進行物品之交接。
暫存區10具備升降機34及料架支承36，元件符號38係用以使區域台車4於暫存區10內移動之軌條，且設置於升降機34與料架支承36。區域台車4係藉由升降機34而於暫存區10內升降，且沿軌條38移行而進出料架支承36與升降機34間。區域台車4係使升降台22升降，而在與料架支承36之間移載物品20。而且，區域台車4係於負載埠14之正上方部與暫存區10內部之料架支承36之間移行。高架移行車2係對搬入槽室40搬入物品20，且自搬出槽室42搬 出物品20。圖1之粗箭頭係表示升降機34之升降方向，細箭頭係表示在與高架移行車2之間之物品20之搬出搬入方向。又，元件符號44係暫存區10之容器。暫存區10由於可上下左右地排列料架支承36，因此為大容量。
軌道8係延伸至暫存區10之例如上方第2段之槽室37，更一般而言，軌道8係延伸至除最上段之槽室以外之槽室。藉由將軌道8連接至除搬入槽室40與搬出槽室42以外之槽室，可使利用高架移行車2之物品20之搬出搬入、與利用區域台車4對負載埠之物品20之搬出搬入變得不會互相競爭。如此一來，由於在軌道8之上部會產生例如1段之物品20之空閒空間，因此由高架移行車2將該空間作為暫存區35使用。再者，於在複數個處理裝置間共有暫存區10之情形時，設置圖1之鏈線之軌道30。又，於欲增大負載埠14與軌道8間高度之差之情形時，將軌道8連接於搬入槽室40。若將軌道8連接於搬出槽室42，則於區域台車4向負載埠14之上部移行之情形時，先自搬出槽室42搬出為搬出用所準備之物品，接著使區域台車4向負載埠14之上部移行。相對於此，若將軌道8連接於搬入槽室40，則不會產生此種工時。
於圖1、圖2之實施例中，暫存區10內之區域台車4之移行方向、與軌道8之方向(暫存區10之長度方向)平行。相對於此，於圖3、圖4表示使該等方向正交之變形例之暫存區50，暫存區50係適合設置於處理裝置間之間隙等。除特別指出之內容以外，變形例之暫存區50係與圖1、圖2之暫存區10相同。區域台車4之移行方向係於暫存區50之內外改變90°。因此，在連接於軌道8之上方第2段之槽室37設置轉盤52，而支撐軌條38，可使槽室37內之軌條38旋轉 90°。又，由於與高架移行車2之軌道6上下地重疊之槽室為1個，因此高架移行車2係從搬出搬入槽室54進行物品之搬入與搬出。
圖5係表示第2實施例，元件符號60為嶄新之暫存區，例如於上下方向與左右方向上排列料架支承62，而支撐物品20。於暫存區60內具有無料架支承62之空閒空間，於該空間內設置有升降導件64，用以升降安裝有水平導件66之升降體65。沿水平導件66，移動具備叉桿70之移動部68。移動部68係整體向上下左右移動，使叉桿70連同移動部68一起升降，藉此可在與任意之料架支承62之間移載物品20。
沿垂直於圖5之紙面之方向，升降導件64、水平導件66等係配置於裏側，料架支承62係配置於近前側。而且，若使移動部68向升降體65側返回，則叉桿70就可不與料架支承62上之物品20發生干涉而升降。又，若使叉桿70之上表面低於料架支承62之底面，而使叉桿70水平移動，則可將叉桿70配置於所期望之料架支承62之下部。然後，藉由使叉桿70上升，而將物品20自料架支承62裝載至叉桿70上。接著，使叉桿70返回至升降導件64之附近，而使升降體65升降，藉此可使叉桿70移動至所期望之高度。於使物品卸載至料架支承62之情形時，若使叉桿70之底面高於料架支承62之上表面，而使叉桿移動至料架支承62上接著使其下降，則可使物品20卸載至料架支承62上。自此之返回係與裝載之情形時相同。移動部68由於無法兼作為區域台車使用，因此例如使軌道8延伸至上方第2段之槽室37內，可經由槽室37而於移動部68與區域台車4之間轉載物品20。
圖6係表示第2變形例，除特別指出之內容以外係與圖5之實施例相同。暫存區60'係配置於處理裝置12、12間之間隙。而且， 暫存區60'係與圖3、圖4之變形例不同，不需要轉盤。料架支承62係於鉛垂方向與處理裝置12、12間之深度方向(圖6之左右方向)上，分別配置複數個。
圖7係表示第3實施例，除特別指出之內容以外係與圖1、圖2之實施例相同。於無塵室之通路內之天花板附近，在與軌道8平行且相同之高度處，設置有暫存區80。於暫存區80之上段設置有軌條26，而供區域台車4移行，具備料架支承之未圖示之槽室係於下段設置有複數個，而支撐物品20。為了連接處理裝置12之前面之軌道8與暫存區80，設置有橋82，且具備軌條26之移位裝置84係於軌道8側與暫存區80側之間，在橋82內移動。該實施例由於可利用軌道8正下方之暫存區與暫存區80，因此可增大暫存區之容量。尤其，由於暫存區80並不存在因負載埠14而無法設置暫存區之位置，因此為大容量。
於實施例中，可獲得以下之效果。
1)可增大暫存區之容量。
2)若將軌道8連接於除與高架移行車2之搬出搬入用的槽室40、42、54以外之槽室37等，則可使利用高架移行車2之物品之搬出搬入、與利用區域台車4之對負載埠之搬出搬入不會互相競爭。
3)再者，即便將軌道8連接於來自高架移行車之物品之搬入用的槽室40，亦可減少高架移行車2與區域台車4之互相競爭。
物品之搬出搬入已藉由如下之例子進行說明：僅由區域台車對負載埠搬出搬入物品，並由區域台車4與高架移行車2經由暫存區而移動物品。然而，亦可設為無論是高架移行車2或區域台車4，均對暫存區與負載埠搬出搬入物品。於該情形時，負載埠14之正上方 部係設為不在軌道8之上部設置暫存區35。
4‧‧‧區域台車
6‧‧‧高架移行車之軌道
8‧‧‧區域台車之軌道
12‧‧‧處理裝置
14‧‧‧負載埠
26‧‧‧軌條
28‧‧‧間隙
45~47‧‧‧支柱
80‧‧‧暫存區
82‧‧‧橋
84‧‧‧移位裝置

Claims (8)

  1. 一種搬送系統，其係高架移行車及區域台車均在與相同之移載目的地之間移載物品者，其具備有：高架移行車之軌道；區域台車之軌道，其位於高架移行車之軌道之正下方；移載目的地，其位於高架移行車之軌道與區域台車之軌道雙方的正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；區域台車，其於區域台車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；及暫存區，其設於區域台車之軌道之正下方以外處，且與上述區域台車之軌道連接，而在與上述區域台車之間自如地交接物品；上述暫存區具備有：搬出搬入用槽室，其設於上述高架移行車之軌道之下方，用以使高架移行車搬出搬入物品，且位於暫存區之最上段；複數個槽室，其位於上述搬出搬入用槽室之鉛垂下方(於俯視時重疊之位置)，用以收容物品；及搬送手段，其用以於槽室間搬送物品；區域台車之軌道係延伸而進入至暫存區之任一槽室內，區域台車係於該槽室與移載目的地之間搬送物品。
  2. 如申請專利範圍第1項之搬送系統，其中，上述移載目的地係對物品進行處理之處理裝置之負載埠，上述區域台車之軌道係進入至暫存區內。
  3. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，上述複數個槽室係沿著上下方向與水平方向排列於上述暫存區內，且具備有可使區域台車移行自如之軌道，而且上述區域台車之軌道係進入至任一槽室內，暫存區具有具備可使區域台車移行自如之軌道之升降機，區域台車係經由升降機而於槽室間移動自如，上述搬送手段係由槽室之軌道、升降機及區域台車所構成。
  4. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，上述複數個槽室係沿著上下方向與水平方向排列於上述暫存區內，而且上述區域台車之軌道係進入至任一槽室內，暫存區具備有沿鉛垂方向之導件升降之水平導件、及沿上述水平導件移動之叉桿，上述搬送手段係由上述水平導件及上述叉桿所構成。
  5. 如申請專利範圍第3項之搬送系統，其中，進入有上述區域台車之軌道之槽室係較上述搬出搬入用槽室更下方之槽室。
  6. 如申請專利範圍第4項之搬送系統，其中，進入有上述區域台車之軌道之槽室係較上述搬出搬入用槽室更下方之槽室。
  7. 如申請專利範圍第2項之搬送系統，其中，將上述區域台車之軌道設為第1軌道，上述暫存區具備與上述第1軌道平行地配置之區域台車之第2軌道、及設於上述第2軌道正下方之槽室，且進一步具備使區域台車於上述第1軌道與上述第2軌道之間移動之移位裝置。
  8. 一種搬送系統中之物品之臨時保管方法，該搬送系統具備有：高架移行車之軌道；區域台車之軌道，其位於高架移行車之軌道之正下方；移載目的地，其位於高架移行車之軌道與區域台車之軌道雙方的正下方；高架移行車，其於高架移行車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；及區域台車，其於區域台車之軌道上移行，並且具有一面支撐物品一面使該物品升降之升降台；且為了使高架移行車及區域台車均在與相同之移載目的地之間移載物品：於區域台車之軌道之正下方以外之位置設有暫存區，該暫存區係與上述區域台車之軌道連接而在與上述區域台車之間自如地交接物品，並具有複數個槽室及在暫存區內之物品之搬送手段，上述暫存區於最上段具備有搬出搬入用之槽室，上述複數個槽室係收容物品，且位於上述搬出搬入用槽室之鉛垂下方(於俯視時重疊之位置)，高架移行車係在與暫存區之物品搬出搬入用槽室之間搬出搬入物品，暫存區內之搬送手段係於暫存區之槽室之間搬送物品，區域台車之軌道係延伸而進入至暫存區之任一槽室內，區域台車係於暫存區之槽室與上述移載目的地之間搬送物品。
TW102120082A 2012-06-08 2013-06-06 Conveyance systems and transport systems TWI531514B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012130513 2012-06-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201412617A TW201412617A (zh) 2014-04-01
TWI531514B true TWI531514B (zh) 2016-05-01

Family

ID=49711777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102120082A TWI531514B (zh) 2012-06-08 2013-06-06 Conveyance systems and transport systems

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9520313B2 (zh)
EP (1) EP2860136B1 (zh)
JP (1) JP5880991B2 (zh)
KR (1) KR101664238B1 (zh)
CN (1) CN104302562B (zh)
SG (1) SG11201407386YA (zh)
TW (1) TWI531514B (zh)
WO (1) WO2013183376A1 (zh)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014205230A1 (de) * 2014-02-28 2015-09-03 Siemens Aktiengesellschaft Lagereinrichtung
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
JP6252676B2 (ja) * 2014-06-19 2017-12-27 村田機械株式会社 キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
CN106470919B (zh) * 2014-08-26 2019-08-20 村田机械株式会社 分拣系统及分拣方法
WO2016039023A1 (ja) * 2014-09-10 2016-03-17 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
WO2016152276A1 (ja) * 2015-03-26 2016-09-29 村田機械株式会社 物品の支持装置及び支持方法
US9698036B2 (en) * 2015-11-05 2017-07-04 Lam Research Corporation Stacked wafer cassette loading system
CN108349650B (zh) * 2015-12-08 2019-12-20 村田机械株式会社 输送系统
EP3389084B1 (en) * 2015-12-08 2022-03-16 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system and conveyance method
JP6520797B2 (ja) * 2016-04-11 2019-05-29 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6766584B2 (ja) 2016-10-19 2020-10-14 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10672639B2 (en) * 2016-12-07 2020-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for automatic sending cassette pod
CN111212797B (zh) * 2017-11-02 2021-07-20 村田机械株式会社 空中输送车系统以及其中的物品的暂时保管方法
EP3738906B1 (en) * 2018-01-10 2023-09-13 Murata Machinery, Ltd. Method for controlling conveyance system, conveyance system, and management apparatus
WO2019181241A1 (ja) * 2018-03-22 2019-09-26 村田機械株式会社 ストッカシステム
US11952026B2 (en) * 2018-09-04 2024-04-09 Murata Machinery, Ltd. Conveyance vehicle system
JP7349240B2 (ja) * 2018-10-05 2023-09-22 東京エレクトロン株式会社 基板倉庫及び基板検査方法
EP3858763B1 (en) * 2018-11-06 2023-06-07 Murata Machinery, Ltd. Ceiling-hung shelf
KR102141197B1 (ko) * 2018-11-28 2020-08-04 세메스 주식회사 캐리어 버퍼 장치
KR102530860B1 (ko) * 2018-12-26 2023-05-10 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 시스템
SG11202108086TA (en) * 2019-01-25 2021-08-30 Murata Machinery Ltd Storage system
WO2020153039A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
WO2020195240A1 (ja) * 2019-03-22 2020-10-01 村田機械株式会社 搬送車システム
JP7224728B2 (ja) 2019-04-23 2023-02-20 株式会社ディスコ 搬送システム
CN113727918B (zh) * 2019-05-13 2023-04-07 村田机械株式会社 高架输送车
KR102259283B1 (ko) * 2019-07-24 2021-06-01 세메스 주식회사 대상물 이송 장치
KR20220069713A (ko) 2020-11-20 2022-05-27 주식회사 정수이앤씨 물품 임시 보관장치 이를 이용한 물품 이송 시스템
JP7294309B2 (ja) * 2020-12-18 2023-06-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR20230023301A (ko) * 2021-08-10 2023-02-17 삼성전자주식회사 선반 이동 모듈을 갖는 스토리지 시스템

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1136819B (it) * 1981-03-13 1986-09-03 Finsider Costr Metall Cmf Dispositivo trasportatore per un impianto di magazzinaggio
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
US7165927B2 (en) * 2002-06-19 2007-01-23 Brooks Automation, Inc. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
JP2005150129A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP2009062153A (ja) 2007-09-06 2009-03-26 Asyst Technologies Japan Inc 保管庫
TW200911654A (en) 2007-09-06 2009-03-16 Asyst Technologies Japan Inc Storage, transporting system and storage set
JP5228504B2 (ja) * 2008-01-24 2013-07-03 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
JP5217416B2 (ja) 2007-12-25 2013-06-19 村田機械株式会社 保管庫及び入出庫方法
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
JP5463758B2 (ja) * 2009-06-26 2014-04-09 村田機械株式会社 保管庫
TWI496732B (zh) 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
JP5445015B2 (ja) * 2009-10-14 2014-03-19 シンフォニアテクノロジー株式会社 キャリア移載促進装置
JP5429570B2 (ja) 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5477651B2 (ja) * 2010-08-04 2014-04-23 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
US9187260B2 (en) * 2010-11-04 2015-11-17 Murata Machinery, Ltd. Conveying system and conveying method
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20150110585A1 (en) 2015-04-23
KR101664238B1 (ko) 2016-10-10
EP2860136A4 (en) 2016-01-06
WO2013183376A1 (ja) 2013-12-12
SG11201407386YA (en) 2015-03-30
US9520313B2 (en) 2016-12-13
JP5880991B2 (ja) 2016-03-09
EP2860136A1 (en) 2015-04-15
JPWO2013183376A1 (ja) 2016-01-28
KR20150010962A (ko) 2015-01-29
CN104302562A (zh) 2015-01-21
TW201412617A (zh) 2014-04-01
EP2860136B1 (en) 2020-08-05
CN104302562B (zh) 2016-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI531514B (zh) Conveyance systems and transport systems
KR101638838B1 (ko) 반송 시스템 및 반송 방법
TWI546238B (zh) 物品搬運設備
TWI513641B (zh) Handling system and handling method
KR100683497B1 (ko) 무인반송차 시스템
KR100868247B1 (ko) 천정주행차 시스템
JP6048686B2 (ja) 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
KR101414530B1 (ko) 반송차 시스템
TW201233611A (en) System and method for transporting an article between processing devices
TW201619027A (zh) 暫時保管系統、使用其之搬送系統及暫時保管方法
JP2008019017A (ja) 物品収納装置
JP4200387B2 (ja) 搬送システム
JP2017030944A (ja) 搬送システム
JPWO2013183384A1 (ja) 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
KR101398929B1 (ko) 반송차 시스템
JP2009067524A (ja) 自動倉庫
JP2007217116A (ja) 倉庫システム
JP2008162795A (ja) 自動倉庫システム
JP4378640B2 (ja) 搬送設備
JP2017030943A (ja) 搬送システム
JP2024008578A (ja) 自動倉庫
TW202210391A (zh) 自動倉庫系統