JP5228504B2 - 保管庫及び入出庫方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばビークル等の搬送車との間で、半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷の入出庫が連続して行われる保管庫、及び該保管庫の入出庫方法の技術分野に関する。

この種の保管庫として、例えば搬入／搬出ポート等の入出庫用のポートの上方であって、搬送車の軌道の下方に、２つの荷を一時保管可能な少なくとも１枚のスライド板と、該少なくとも１枚のスライド板を進退可能なスライド機構とを備えるものがある。このような保管庫において、スライド板の進退機能と、搬送車における荷の昇降機能とを利用して、搬送車との間で荷の授受が行われる。該授受の動作について、具体的には、先ず、搬送車が把持している入庫すべき荷がスライド板に載置され、続いて、ポートに載置されている出庫すべき荷がスライド板に載置される。この後、スライド板上の入庫すべき荷がポートに移載（即ち、入庫）され、続いて、スライド板上の出庫すべき荷が搬送車へ移載（即ち、出庫）される。このように、保管庫におけるポートと、１台の搬送車との間で、入出庫が連続して行われる（特許文献１及び２参照）。

特開２００７−０９６１４０号公報 特開２００７−０９６１４５号公報

しかしながら、上述した特許文献１及び２記載の保管庫によれば、入庫すべき荷及び出庫すべき荷を一時的にスライド板に取り置きするので、直接に搬送車から又は搬送車へ移載する場合よりも入出庫動作に時間がかかってしまう。仮に、このような取り置きにかかる動作時間を短縮するために、スライド板を高速で進退させたり、昇降機能を高速で駆動させることが可能であるが、入庫すべき荷及び出庫すべき荷にかかる振動が増大してしまうという技術的問題点がある。また、連続する入出庫のために利用されるスライド板及びスライド機構の設置は、搬送システム全体の高コスト化を招く。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、簡単な構成により効率良く荷を出入庫することを可能ならしめる保管庫、及びこのような保管庫の入出庫方法を提供することを課題とする。

本発明の第１保管庫は上記課題を解決するために、一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能であると共に横移載可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム内に配置され且つ前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で前記一の荷が載置された状態で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車から前記一の荷が縦載置により載置される入庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記他の荷が前記搬送車へ横移載により取り出される出庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分と、前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段とを備える。

本発明の第１保管庫によれば、先ず入庫時には、例えばＦＯＵＰ等の入庫すべき一の荷は、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行する搬送車により、入庫ポートまで搬送される。ここに「搬送車」は、例えば天井走行型のビークルであり、荷を保持するグリッパ機構、荷をグリッパ機構ごと昇降させるホイスト機構、並びに荷をグリッパ機構及びホイスト機構ごと収容すると共に走行機能を持つ本体部を有する。更に、搬送車は、出庫用に横移載可能に構成されており、例えば本体部からホイスト機構及びグリッパを横方向にせり出させるスライダ機構を更に有する。

このような搬送車の搬送と相前後して又は並行して、入庫ポートとして機能する一の棚部分は、例えばスライダ機構、コンベア機構等を有する外内移動手段によって、筐体の外壁又はフレームの外枠に設けられた一の出入口を介して、筐体又はフレームの外側に移動される。即ち、一の棚部分は、筐体又はフレームの外にせり出された状態とされる。この状態で、一の荷は、停止した搬送車から、筐体又はフレームの外側へと移動された一の棚部分である入庫ポートへ、典型的には、縦移載或いは縦載置される。具体的には例えば、一の荷は、搬送車におけるグリッパ機構等により保持されたままホイスト機構等の昇降動作によって、入庫ポートの上方位置から入庫ポートまで下降される。更に、グリッパ機構等の解放動作によって、入庫ポートに移載される。

このように入庫ポートへの移載が完了すると、今度は、この入庫ポートとして機能する一の棚部分が、外内移動手段により筐体又はフレームの内側へと移動される。続いて、一の荷は、一の棚部分から、例えば鉛直駆動部及び水平駆動部を備える駆動手段によって、複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分へと移動される。即ち、入庫動作に続いて保管庫内搬送される。尚、このような保管庫内搬送は、次に説明する出庫に係る動作と相前後して又は並行して行われてよい。

他方、出庫時には、上述の入庫に係る動作と相前後して又は並行して、出庫すべき他の荷が、複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分から、駆動手段によって当該保管庫における出庫ポートまで保管庫内搬送される。続いて、他の荷は、出庫ポートから、停止した状態にある入庫を終えた搬送車へと、筐体又はフレームに設けられた他の出入口を介して横移載される。具体的には、他の荷は、入庫ポートへの移載を完了した横移載機能を有する搬送車によって、例えば出庫ポート上まで、スライド機構により横方向にせり出されたホイスト機構及びグリッパ機構によって、出庫ポートから搬送車へと横移載される。その後、例えば、出庫された荷は、搬送車において、グリッパ機構、ホイスト機構及びスライダ機構と共に本体部に収容され、搬送される。

尚、入庫ポート及び一の棚部分、並びに出庫ポート及び他の棚部分の組み合わせについて、ポートと棚部分とを別扱いせずに、入庫ポート及び棚部分の一つ、並びに出庫ポート及び棚部分の一つは、夫々兼用させてもよい。

以上の結果、入庫ポート上に停止した搬送車による一連の移載動作によって、入庫及び出庫を連続的に実行することが可能となる。また、保管庫側でも、入庫に係る動作及び出庫に係る動作を少なくとも部分的に並列に、しかも搬送車の到着前に予め実行できる。この際、前述した背景技術の如く入庫すべき或いは出庫すべき荷を一時的に取り置きする必要は無く、直接に搬送車から入庫ポートへ移載できると共に引き続いて出庫ポートから搬送車へ移載できる。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

本発明の第１保管庫の一態様では、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御し、前記一の荷が前記一の棚部分に載置された後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、一の荷を入庫すべき場合に、例えばコントローラ、プロセッサ、メモリ等を有する制御手段による制御下で、外内移動手段によって、一の棚部分は、筐体又はフレームの外側へ水平移動させられて、即時に載置可能な入庫ポートとして機能し得る。即ち、筐体又はフレームから外側にせり出した入庫ポートを介して、一の荷を当該保管庫へ入庫できる。更に、制御手段による制御下で、外内移動手段によって、一の荷が移載された一の棚部分は、筐体又はフレームの内側へ水平移動させられる。よって、入庫された一の荷の保管庫内搬送を、入庫ポートへの移載から遅延なく実行可能となる。

このように、一の棚部分を筐体又はフレームの内側並びに外側へ水平移動させるという比較的簡単な構成により、迅速化且つ効率良く入庫すること及び入庫に続く保管庫内搬送を行うことができる。

この態様では、前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段とを更に備え、前記制御手段は、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分が前記内側へ水平移動された後に、前記載置部により前記一の荷を前記一の棚部分から前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分以外の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御し、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記載置部により前記他の荷を前記複数の棚部分のうち前記他の棚部分以外の棚部分から前記他の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御してもよい。

このように構成すれば、第１載置面で一の荷及び他の荷を夫々その底側から支持する載置部は、例えばアクチュエータ、スライダ、モータ、ロボットアーム等を有する駆動手段によって、複数の棚部分の相互間で移動される。この移動により、上述された入庫時及び出庫時の保管庫内搬送が可能となる。

この際特に、制御手段は、一の棚部分が筐体又はフレームの内側へ水平移動された後に、載置部により一の棚部分に載置されている一の荷を、一の棚部分以外の棚部分へ移動させるように駆動手段を制御する。ここで「一の棚部分以外の棚部分」は、例えば保管用棚部分や、出庫ポートとして機能する他の棚部分であり、保管用棚部分に移動された場合に、入庫された一の荷が当該保管庫内に少なくとも一時的に収容される。また、制御手段は、他の荷を出庫すべき場合に、載置部により他の荷を複数の棚部分のうち他の棚部分以外の棚部分から他の棚部分へ移動させるように駆動手段を制御する。ここで「他の棚部分以外の棚部分」は、例えば保管用棚部分や、入庫ポートとして機能する一の棚部分である。

このような出庫準備が入庫よりも前に行われた場合に、入庫を終えた直後に、搬送車により他の荷が出庫可能である。これにより、出庫動作をより効率化することができる。

この態様では、前記駆動手段は、前記載置部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部とを更に備え、前記複数の棚部分は、前記鉛直方向に複数段に渡って段毎に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は複数設けられると共に、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有し、前記複数の棚部分のうち最上段にある一つは、前記出庫ポートとして機能し、前記複数の棚部分のうち前記出庫ポートの下段に位置する棚部分の前記第２載置面は、前記入庫ポートとして機能してもよい。

このように構成すれば、保管庫内搬送の際には、複数段に渡って段毎に一又は複数設けられる複数の棚部分のうち“搬送元”の棚部分に向かって、例えば水平アクチュエータ、水平スライダ、ロボットアームの水平移動機構等の水平駆動部によって、載置部は、水平一方向に往復移動される。この水平一方向の移動と相前後して、かかる搬送元の棚部分に向かって、例えば鉛直エレベータ、鉛直アクチュエータ、ロボットアームの鉛直移動機構等の鉛直駆動部によって、載置部は、鉛直方向に往復移動される。その後、搬送元の棚部分における第２載置面から第１載置面への荷の移載が行われる。更に、複数の棚部分のうち“搬送先”の棚部分に向かって、水平駆動部によって、載置部は、水平一方向に往復移動される。この水平一方向の移動と相前後して、かかる搬送先の棚部分に向かって、鉛直駆動部によって、載置部は、鉛直方向に往復移動される。その後、搬送先の棚部分における第２載置面へと第１載置面からの荷の移載が行われる。ここでの載置面間での荷の受け渡しは、次のように行われる。

即ち、複数の棚部分は、鉛直方向に一列又は複数列配列された複数の載置面（即ち、第２載置面）を有する。例えば、鉛直方向にｍ（但し、ｍは２以上の自然数）段、水平一方向にｎ（但し、ｎは１以上の自然数）列、且つこれに垂直である残る水平一方向（以下、単に「厚み方向」と称する）には１列のみといった具合に、薄く且つ縦に細長い平板形状となるように、棚全体の骨格は、構成される。載置部は、例えばその第１載置面上に荷を載せた状態で、このような保管庫内を、鉛直駆動部及び水平駆動部によって、鉛直方向及び水平一方向という２方向或いは２軸方向に移動可能に構成されている。

第１及び第２載置面は、一の荷及び他の荷を夫々、相互に移載可能である。入庫時に、例えば、入庫ポートとして機能する一の棚部分が筐体又はフレームの外側へ移動され、搬送車から該一の棚部分の第２載置面に一の荷が縦移載される。この縦移載により、当該保管庫に一の荷が入庫される。続いて、該一の棚部分が筐体又はフレームの内側へ移動されると、一の荷が保管庫内搬送可能な状態となる。続いて、該一の棚部分の第２載置面上の一の荷は、２軸方向に移動可能な載置部の第１載置面に移載される。例えば、第１及び第２載置面は、荷（一の荷又は他の荷）の底面における相異なる部分（典型的には、中央寄り部分と周辺寄り部分）を支持するように構成されており、どちらか一方で荷（一の荷又は他の荷）を支持することが可能である。具体的には、載置部が、第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際に、第２載置面に代わって、第１載置面で一の荷を支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、一の荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が開始される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、棚部分におけるいずれの第２載置面にも迅速に保管庫内搬送が可能である。

続いて、載置部が、保管に使用しようとする第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動された際には、第１載置面に代わって、第２載置面で一の荷を支持することで、第１載置面から第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、一の荷は、第２載置面によって支持されることとなる。これにより、入庫時における保管庫内搬送が終了され、棚部分での保管が開始される。

他方、出庫時には、載置部が、出庫しようとする他の荷が載置されている第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動される。続いて、第２載置面に代わって、第１載置面で支持することで、第２載置面から第１載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より高くなるまで移動されることで、他の荷は、第１載置面によって支持されることとなる。これにより、出庫時における保管庫内搬送が開始される。続いて、載置部が、出庫ポートとして機能する第２載置面が存在する鉛直位置且つ水平位置に移動される。ここでは、鉛直駆動部及び水平駆動部による簡単な２軸動作によって、いずれの第２載置面からでも迅速に保管庫内搬送が可能である。

続いて、第１載置面に代わって出庫ポートとして機能する第２載置面で支持することで、第１載置面から出庫ポートとして機能する第２載置面への移載が行われる。典型的には、鉛直駆動部により第１載置面が第２載置面より低くなるまで移動されることで、荷は、第２載置面によって支持されることとなる。これにより出庫時における保管庫内搬送が終了され、出庫ポートから搬送車への移載が可能な状態となる。

その後、当該保管庫への入庫を終え、軌道上の同一位置に待機していた搬送車によって、出庫ポートから該搬送車へ他の荷が横移載される。この横移載により、当該保管庫から他の荷が出庫される。

本態様では特に、複数の棚部分のうち入庫ポートとして機能する棚部分（言い換えれば、該棚部分の第２載置面）は、出庫ポートの下段に位置する。具体的には、出庫ポートとして、最上段にある１つの棚部分が設定される場合に、入庫ポートとして、上から２番目の段にあって出庫ポートの下段にある棚部分が設定される。但し、該棚部分を入庫ポートとして機能させるには、該棚部分を筐体又はフレームの外側に移動させる。この設定では、搬送車が当該保管庫に対する停止位置に停止された場合に、例えば、搬送車の下方に入庫ポートが配置され、該搬送車の側方に出庫ポートが配置される。この配置では、搬送車の停止位置（即ち、保管庫との間で移載を行う移載位置）が変更されることがなく、搬送車による縦移載時の昇降移動距離、及び横移載時の水平移動距離が最短となる。これにより、搬送車による荷（一の荷及び他の荷）の移載時間を短縮することができるので、搬送車との間で連続して行われる出入庫動作をより効率化することができる。尚、外内移動手段と水平駆動部とは、少なくとも部分的に、機構又は機能が共有或いは共用であってもよい。

本発明の第１保管庫の他の態様では、前記出庫ポートは、前記他の荷を出庫するための停止位置における前記搬送車が前記出庫ポートから移載する時間が相対的に短時間であるものとして設定されている。

この態様によれば、出庫ポートから搬送車へ他の荷が短時間で移動されるので、出庫動作をより迅速化且つ効率化することができる。例えば、出庫ポートは、入庫ポートとして設定される一の棚部分と同一の鉛直上にあればよい。

本発明の第２保管庫は上記課題を解決するために、一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能であると共に横移載可能な搬送車との間で、連続して行われる保管庫であって、筐体又はフレームと、該筐体又はフレーム内に配置され且つ前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で前記他の荷が載置された状態で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車へ前記他の荷が縦載置により取り上げられる出庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記一の荷が前記搬送車から横移載により入れ置かれる入庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分と、前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段とを備える。

本発明の第２保管庫によれば、先ず入庫時には、入庫すべき一の荷は、搬送車により、入庫ポートまで搬送される。搬送車は、入庫用に横移載可能に構成されている。一の荷は、停止した搬送車から、筐体又はフレームに設けられた他の出入口を介して、入庫ポートへ横移載或いは横載置される。

このように入庫ポートへの移載が完了すると、一の荷は、入庫ポートから、駆動手段により複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分へと保管庫内搬送される。尚、このような保管庫内搬送は、次に説明する出庫に係る動作と相前後して又は並行して行われてよい。

他方、出庫時には、上述の入庫に係る動作と相前後して又は並行して、例えば、出庫ポートとして機能する一の棚部分が、外内移動手段によって筐体の外壁又はフレームの外枠に設けられた一の出入口を介して、筐体又はフレームの内側へと移動される。続いて、出庫すべき他の荷が、複数或いは多数の棚部分のうち所望の棚部分から、駆動手段により一の棚部分まで保管庫内搬送され、一の棚部分に載置される。続いて、一の棚部分は、外内移動手段により一の出入口を介して筐体又はフレームの外側に移動され、筐体又はフレームの外にせり出された状態とされる。この状態で、他の荷は、筐体又はフレームの外側へと移動された一の棚部分である出庫ポートから、停止した状態にある入庫を終えた搬送車へと、典型的には、縦移載される。その後、例えば、出庫された荷は、搬送車の本体部に収容され、搬送される。

尚、入庫ポート及び他の棚部分、並びに出庫ポート及び一の棚部分の組み合わせについて、ポートと棚部分とを別扱いせずに、入庫ポート及び棚部分の一つ、並びに出庫ポート及び棚部分の一つは、夫々兼用させてもよい。

以上の結果、出庫ポート上に停止した搬送車による一連の移載動作によって、入庫及び出庫を連続的に実行することが可能となる。また、保管庫側でも、入庫に係る動作及び出庫に係る動作を少なくとも部分的に並列に、しかも搬送車の到着前に予め実行できる。この際、前述した背景技術の如く入庫すべき或いは出庫すべき荷を一時的に取り置きする必要は無く、直接に搬送車から入庫ポートへ移載できると共に引き続いて出庫ポートから搬送車へ移載できる。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

本発明の第２保管庫の一態様では、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記他の荷が載置された状態で前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御し、前記他の荷が取り上げられた後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備える。

この態様によれば、他の荷を出庫すべき場合に、制御手段による制御下で、外内移動手段によって、一の棚部分は、筐体又はフレームの外側へ水平移動させられて、即時に取り上げ可能な出庫ポートとして機能し得る。即ち、筐体又はフレームから外側にせり出した出庫ポートを介して、他の荷を当該保管庫から出庫できる。更に、制御手段による制御下で、外内移動手段によって、他の荷が取り上げられた一の棚部分は、筐体又はフレームの内側へ水平移動させられる。よって、次回出庫すべき他の荷の保管庫内搬送を、出庫ポートからの取り上げ後に実行可能となる。

このように、一の棚部分を筐体又はフレームの内側並びに外側へ水平移動させるという比較的簡単な構成により、迅速化且つ効率良く出庫すること及び次回出庫すべき他の荷の保管庫内搬送を行うことができる。

本発明の第１入出庫方向は上記課題を解決するために、（I）筐体又はフレーム、（II
）該筐体又はフレーム内に配置され且つ一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で前記一の荷が載置された状態で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車から前記一の荷が縦載置により載置される入庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記他の荷が前記搬送車へ横移載により取り出される出庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分、並びに（III）前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段を備える保管庫と、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能であると共に横移載可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御する第１制御工程と、該第１制御工程に続いて前記一の荷が前記一の棚部分に載置された後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する第２制御工程とを備える。

本発明の第１入出庫方法によれば、上述した本発明の第１保管庫と同様に、入庫すべき一の荷及び出庫すべき他の荷を一時的に取り置きすることなく、直接に搬送車から入庫ポートへ又は出庫ポートから搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

尚、本発明の第１入出庫方法においても、上述した本発明の第１保管庫における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。

本発明の第１入出庫方法の一態様では、前記保管庫は、前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段とを更に備え、前記一の荷を入庫すべき場合に、前記第２制御工程によって前記一の棚部分が前記内側へ水平移動された後に、前記載置部により前記一の荷を前記一の棚部分から前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分以外の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御する第３制御工程と、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記第１から第３制御工程と相前後して、前記載置部により前記他の荷を前記複数の棚部分のうち前記他の棚部分以外の棚部分から前記他の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御する第４制御工程とを更に備える。

この態様によれば、第３制御工程により、駆動手段を用いて、第１載置面を有する載置部を複数の棚部分の相互間で移動させることで、入庫時及び出庫時の保管庫内搬送が可能である。該保管庫内搬送において、具体的には、一の棚部分が筐体又はフレームの内側へ水平移動された後に、一の棚部分に載置されている一の荷が、一の棚部分以外の棚部分へ移動される。一の棚部分以外の棚部分が、例えば保管用棚部分である場合に、入庫された一の荷が当該保管庫内に少なくとも一時的に収容される。また、出庫の際に、他の荷が複数の棚部分のうち他の棚部分以外の棚部分から他の棚部分へ移動される。他の棚部分以外の棚部分が、例えば保管用棚部分である場合に、当該保管庫内に収容されていた他の荷が出庫ポートに載置される。このような出庫準備が入庫よりも前に行われた場合に、入庫を終えた直後に、搬送車により他の荷が出庫可能である。これにより、出庫動作をより効率化することができる。

本発明の第２入出庫方向は上記課題を解決するために、（I）筐体又はフレーム、（II
）該筐体又はフレーム内に配置され且つ一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で前記他の荷が載置された状態で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車へ前記他の荷が縦載置により取り上げられる出庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記一の荷が搬送車から横移載により入れ置かれる入庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分、並びに（III）前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段を備える保管庫と、前記一の荷の入庫及び他の荷の出庫が、前記一の荷及び前記他の荷を夫々昇降可能であると共に横移載可能な前記搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、前記他の荷を出庫すべき場合に、前記他の荷が載置された状態で前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御する第１制御工程と、該第１制御工程に続いて前記他の荷が取り上げられた後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する第２制御工程とを備える。

本発明の第２入出庫方法によれば、上述した本発明の第２保管庫と同様に、入庫すべき一の荷及び出庫すべき他の荷を一時的に取り置きすることなく、直接に搬送車から入庫ポートへ又は出庫ポートから搬送車へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

尚、本発明の第２入出庫方法においても、上述した本発明の第２保管庫における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞

第１実施形態に係る保管庫の構成について図１から図５を参照して説明する。

先ず、保管庫を有する搬送システムの概要について図１を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す。

図１において、搬送システム１００は、レール１、ビークル２、ストッカ１０、及びコントローラ２０を備える。搬送システム１００は、ビークル２を駆動して、レール１上でＦＯＵＰ３の搬送を行う。レール１は、ビークル２が走行するための軌道の役割を果たす。

ビークル２は、本発明に係る「搬送車」の一例として、例えばリニアモータにより駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）（天井走行車）であり、ストッカ１０や図示しない製造装置、ＯＨＴバッファ、大型ストッカ等に、ＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル２は、本体部２ａと、上下移動部５と、水平移動部６とを備えており、入庫すべきＦＯＵＰ３の縦移載、及び出庫すべきＦＯＵＰ３の横移載を可能とする。

本体部２ａは、内部に、上下移動部５と、水平移動部６とを配置している。上下移動部５は、水平移動部６の下部に、水平移動可能に取り付けられている。本体部２ａにおいて、上下移動部５の下方には、ＦＯＵＰ３を収容可能な空間が設けられている。本体部２ａは、該空間の下方の底面、及び該空間の一側方の側面（即ち、図１におけるビークル２の左側面）を夫々開放しており、収容しているＦＯＵＰ３の上下移動及び水平移動が可能である。

次に図２及び図３を参照して、図１に示した保管庫の内部構成について説明する。ここに図２は、図１の保管庫の内部構造を、搬送車による縦移載の動作状態と共に模式的に示し、図３は、この内部構造を、搬送車による横移載の動作状態と共に模式的に示す。

図２及び図３において、上下移動部５は、ホイスト５ａと、ベルト５ｂと、グリッパ５ｃとを備える。ホイスト５ａは、図示しないモータを備え、このモータの制御により、ベルト５ｂを繰り出す又は巻き上げる動作を行う。ベルト５ｂにおいて、一端がホイスト５ａの図示しない巻き軸に固着されており、他端がグリッパ５ｃの上面に固定されている。グリッパ５ｃは、ＦＯＵＰ３の上部に取り付けられたフランジ４を把持可能に、両端部が内側に向けて屈曲されている。グリッパ５ｃは、フランジ４を把持する把持状態と、フランジ４を解放する解放状態との間で変位可能である。ホイスト５ａは、ベルト５ｂの繰り出し又は巻き上げ動作により、グリッパ５ｃを上下移動させる。ビークル２は、グリッパ５ｃの入庫又は出庫ポートに対する位置（例えば、水平二方向及び回転方向についての位置）を微調整する調整機構を更に備えていてもよい。

水平移動部６は、本体部６ａと、レール６ｂと、図示しないモータ或いはアクチュエータとを備える。本体部６ａの底面には、図示しない凹部が形成されており、該凹部にレール６ｂが嵌合されている。レール６ｂは、長手方向がレール１と直交する水平方向と平行になるように配置されており、本体部６ａにより該水平方向へ移動される。該レール６ｂの下部には、上下移動部５の上部が嵌合されており、上下移動部５がレール６ｂに沿って移動される。

ビークル２は、ストッカ１０との間で、入庫すべきＦＯＵＰ３の入庫及び／又は出庫すべきＦＯＵＰ３の出庫を行う際に、ストッカ１０における入庫ポートＰ１の上方であって出庫ポートＰ４の側方に停止される。この場合、入庫の際に、図２に示すように、上下移動部５は、把持状態のグリッパ５ｃを下降させ、グリッパ５ｃにより、把持状態にあるＦＯＵＰ３を、その底面が入庫ポートＰ１に接触された位置で解放させることで、入庫すべきＦＯＵＰ３を入庫ポートＰ１に載置（即ち、縦移載）する。また、出庫の際に、図３に示すように、水平移動部６は、レール６ｂの水平移動、及びレール６ｂに沿った上下移動部５の移動により、ホイスト５ａを出庫ポートＰ４の上方に水平移動させる。更に、上下移動部５は、該移動された位置から、解放状態のグリッパ５ｃを下降させ、グリッパ５ｃにより出庫ポートＰ４に載置されているＦＯＵＰ３を把持させることで、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫ポートＰ４から取り出す（即ち、横移載する）。本実施形態では、ビークル２は、このような入庫動作及び出庫動作を連続して行う。

ＦＯＵＰ３は、本発明に係る「一の荷」及び「他の荷」の一例として、ストッカ１０内で、ビークル２との間の入庫及び出庫、並びに保管位置の調整等のために搬送（即ち保管内搬送）される。

次に、図４及び図５を参照して、ＦＯＵＰを載置部間で受け渡しする構造及び動作について説明する。ここに図４は、第１実施形態に係る第１及び第２載置面の、荷に対する係合状態を示し、図５は、実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す。

図４及び図５に示すように、ＦＯＵＰ３は、底面に、凹部５及び凹部６を有している。凹部５は、後述の棚部分１５に設けられた凸部１６に対応するサイズに形成されている。一方、凹部６は、後述の載置部１１に設けられた凸部１２に対応するサイズに形成されている。

再び図１において、コントローラ２０は、例えば半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１０に対して、ＦＯＵＰ３の出入庫（保管庫内搬送）を指示する。この指示に応答して、ストッカ１０が駆動され、ビークル２により搬送されるＦＯＵＰ３に各種処理が施されることで、半導体素子が製造される。
（保管庫単体）

次に図２から図４を参照して保管庫単体の構造及び動作について、説明を加える。ストッカ１０は、本発明に係る「保管庫」の一例として、レール１に隣接して敷設され、ＦＯＵＰ３を複数保管する。本実施形態では、ストッカ１０は、ビークル２との間で、入庫すべき荷の入庫動作、及び出庫すべき荷の出庫動作を連続して行う。

図２において、ストッカ１０は、本体部１０ａと、保管庫内搬送装置１９と、複数の棚部分１５と、スライド部２１とを備える。保管庫内搬送装置１９は、載置部１１と、水平駆動部１３と、鉛直駆動部１４とを有し、コントローラ２０の制御により、複数の棚部分１５の間でＦＯＵＰ３を移載する。

本体部１０ａは、本発明に係る「筐体又はフレーム」の一例として、ＦＯＵＰ３が入出庫可能に開放されている。具体的には、本体部１０ａには、入庫すべきＦＯＵＰ３を本体部１０ａ内へ取り込むための開口Ｈ１、及び出庫すべきＦＯＵＰ３を本体部１０ａ外へ取り出すための開口Ｈ２が形成されている。開口Ｈ１は、本発明に係る「一の出入口」の一例として、レール１側の側壁に設けられ、開口Ｈ２は、本発明に係る「他の出入口」の一例として、レール１側の側壁及び該側壁に続く天壁の一部に設けられている。尚、開口Ｈ２は、出庫ポートの周囲が大きく切りかかれているが、ビークル２が横移載により荷を取り上げ可能である限りにおいて、出庫ポートの周囲が壁で囲まれていてもかまわない。

載置部１１は、複数の棚部分１５の間でＦＯＵＰ３を移載するために、水平駆動部１３により水平一方向に、且つ鉛直駆動部１４により鉛直方向に移動される。載置部１１は、上面に第１載置面１１ａを有している。第１載置面１１ａは、移載時に、ＦＯＵＰ３の底面に接触し、ＦＯＵＰ３をその底側から支持する。第１載置面１１ａには、支持部材として、凸部１２が形成されている。図４（ｂ）に示すように、凸部１２は、ＦＯＵＰ３の凹部６に対応するサイズに形成されており、移載時に、この凹部６に係合される。

再び図２において、水平駆動部１３は、本発明に係る「駆動手段」の一例として、例えば図示しないモータにより、水平一方向に延びる水平ガイド１７上で、駆動される。水平駆動部１３は、載置部１１と連結されており、載置部１１を水平ガイド１７に沿って、水平一方向Ｄ１に往復移動させる。

鉛直駆動部１４は、本発明に係る「駆動手段」の一例として、例えば図示しないモータにより、鉛直方向に延びる鉛直ガイド１８上で、駆動される。鉛直駆動部１４には、水平ガイド１７の中央部が固定されている。鉛直駆動部１４は、この水平ガイド１７を鉛直ガイド１８に沿って、鉛直方向Ｄ２に往復移動させる。この往復移動時に、載置部１１は、水平ガイド１７の中央部に位置する。このように、載置部１１は、水平駆動部１３及び鉛直駆動部１４により、鉛直方向及び水平一方向の２軸方向に移動される。

複数の棚部分１５は、鉛直方向に７段、各段における水平一方向に２列、且つ各段における厚み方向に１列として、合計１４個の棚部分から構成されている。各棚部分１５は、上面に第２載置面１５ａを有しており、この第２載置面１５ａに、ＦＯＵＰ３が載置される。第２載置面１５ａには、支持部材として、凸部１６が形成されている。図４（ａ）に示すように、凸部１６は、ＦＯＵＰ３の凹部５に対応するサイズに形成されており、載置（保管）時に、この凹部５に係合される。

再び図２において、１４個の棚部分１５のうち１つの棚部分（言い換えれば、これが有する第２載置面１５ａ）は、本体部１０ａの外側及び内側へ水平移動可能に構成されている。該１つの棚部分は、本体部１０ａの外側に位置する時に、ビークル２からＦＯＵＰ３を受け取るための入庫ポートＰ１として機能する入庫用棚部分Ｉ１５である。入庫用棚部分Ｉ１５は、上から２段目にある２つの棚部分１５のうち、開口Ｈ１に近接する棚部分(即ち、図２における二点鎖線Ｐ１内)である。

入庫用棚部分Ｉ１５を除いた１３個の棚部分１５のうち１つの棚部分は、ビークル２へＦＯＵＰ３を受け渡すための出庫ポートＰ４として機能する出庫用棚部分Ｏ１５である。出庫用棚部分Ｏ１５は、最上段にある２つの棚部分のうち、開口Ｈ２に近接する棚部分（即ち、図２における二点鎖線Ｐ４内）である。

スライド部２１は、本発明に係る「外内移動手段」の一例として、入庫用棚部分１５を、本体部１０ａの外側に配置する入庫位置（即ち、図２において実線で示される）、及び本体部１０ａの内側に配置する搬送位置（即ち、図２において点線で示される）との間で水平移動させる。スライド部２１は、本体部２１ａと、支持部２１ｂとを備える。本体部２１ａは、不図示のアクチュエータを備えており、支持部２１ｂを、レール１と直交する水平方向に移動させる。支持部２１ｂの上面は、入庫用棚部分Ｉ１５の底面に固着されており、入庫用棚部分Ｉ１５をその底側から支持する。スライド部２１は、入庫の際に、支持部２１ｂを本体部１０ａの外側へ移動させることで、入庫用棚部分Ｉ１５を入庫位置に変位させ、入庫ポートＰ１を設定する。スライド部２１は、入庫すべきＦＯＵＰ３が入庫位置にある入庫用棚部分Ｉ１５に載置された（言い換えれば、入庫ポートＰ１に入庫された）後に、支持部２１ｂを本体部１０ａの内側へ移動させることで、入庫用棚部分Ｉ１５を搬送位置に変位させ、入庫されたＦＯＵＰ３を保管庫内搬送可能な状態とする。

コントローラ２０は、本発明に係る「制御手段」の一例として、入庫しようとする際に、入庫用棚部分Ｉ１５が搬送位置にある場合に、スライド部２１を制御して、入庫用棚部分Ｉ１５を入庫位置に移動させる。これにより、入庫すべきＦＯＵＰ３が、ビークル２から入庫用棚部分Ｉ１５（言い換えれば、入庫ポートＰ１）に移載可能な状態となる。また、コントローラ２０は、入庫（即ち、入庫すべきＦＯＵＰ３が入庫用棚部分Ｉ１５上に載置された）の後に、スライド部２１を制御して、入庫用棚部分Ｉ１５を搬送位置に移動させる。これにより、入庫されたＦＯＵＰ３が、入庫用棚部分Ｉ１５を含む全ての棚部分１５間で相互に保管庫内搬送可能な状態となる。

入庫用棚部分Ｉ１５及び出庫用棚部分Ｏ１５を除いた他の１２個の棚部分１５は、ＦＯＵＰ３を保管するための保管用棚部分１５（即ち、図２における、例えば二点鎖線Ｐ５内）である。コントローラ２０は、入庫用棚部分Ｉ１５を搬送位置に移動させた後に、入庫用棚部分Ｉ１５に載置されているＦＯＵＰ３を、保管用棚部分１５のいずれかに移載し、ストッカ１０内に収容する。

コントローラ２０は、入庫に続いて出庫しようとする際に、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から入庫用棚部分Ｉ１５に移載されるまでに、保管庫内搬送装置１９を制御して、載置部１１を所望の保管用棚部分１５から出庫ポートＰ４に移動させ、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫用棚部分Ｏ１５に載置する。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫用棚部分Ｏ１５（言い換えれば、出庫ポートＰ４）からビークル２へ移載可能な状態となる。この後、コントローラ２０は、ビークル２を制御して、出庫すべきＦＯＵＰ３を出庫ポートＰ４からビークル２へ移載させる。この際に、出庫すべきＦＯＵＰ３が、入庫用棚部分Ｉ１５よりも上方に位置する保管用棚部分１５のどれよりも短時間で、出庫ポートＰ４からビークル２の本体部２ａ内に移動される。このように、出庫ポートＰ４は、ストッカ１０に対応する停止位置に停止されたビークル２に近い方が、迅速な出庫作業を行う上で有利である。

ストッカ１０の配置について、入庫ポートＰ１がレール１の下方に、且つ出庫ポートＰ４がレール１と入庫ポートＰ１との間の空間よりも側方に配置される。より詳細には、載置部１１が移動される水平一方向の方位が、レール１の方位に対して直角に交わる。

次に、本実施形態に係る第１及び第２載置面の形体について図５（ａ）を参照して説明する。図５（ａ）は、具体的には、図２におけるＡ１−Ａ１断面に相当しており、ストッカ１０の上から２段目に設置される、２列の棚部分１５（第２載置面１５ａ）を示している。該２列の棚部分１５のうち１列の棚部分１５は、入庫用棚部分Ｉ１５である。

図５（ａ）に示すように、ストッカ１０の上面側から視て、第２載置面１５ａは、馬蹄のようにＵ字形に形成され、第１載置面１１ａは、そのＵ字形の中央を埋める島のように形成されている。従って、第１及び第２載置面１１ａ，１５ａは、相互に相補の平面形状を有している。このような第１及び第２載置面１１ａ，１５ａの間で、ＦＯＵＰ３の移載が行われる。

尚、図４及び図５（ａ）に示した例では、平面的に見て、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの内側に位置しており、外径が小さい。しかしながら、逆に、第１載置面１１ａの方が、第２載置面１５ａの外側に位置しており、外径が大きくなるように両者は、構成されてもよい。この場合、図５（ａ）に示される第１及び第２載置面の形体の変形例として、図５（ｂ）に示すように、例えばストッカ３０の上面側から視て、第１載置面３１ａが馬蹄のようにＵ字形に形成され、第２載置面３５ａが、そのＵ字形の中央を埋める島のような形状に形成されている。このように、上下左右に移動される第１載置面３１ａを大きくした方が、ＦＯＵＰ３を載置部３１に載せての保管庫内搬送の際における安定性が増し、ＦＯＵＰ３の落下防止やガタツキ防止に役立つ。
（保管庫内搬送動作）

次に、本実施形態に係る保管庫内の荷の移載、即ち保管庫内搬送の動作について、引き続き図２から図５を参照して説明する。

図２及び図５において、ビークル２により、本体部１０ａの外側（即ち、入庫位置）にある入庫用棚部分１５の第２載置面１５ａに載置されたＦＯＵＰ３を、同段のもう１つの第２載置面１５ａ（即ち、図２における二点鎖線で示すエリアＰ５内）に移載する。この場合に、先ず、スライド部２１により、入庫位置にある入庫用棚部分Ｉ１５（即ち、図５（ａ）において二点鎖線で示される）が内側に移動され、保管庫内搬送可能な状態（即ち、図５（ａ）において実線で示される）となる。続いて、エリアＰ２（即ち、図２において二点鎖線で示される）内の第２載置面１５ａへのＦＯＵＰ３の移載を終えた載置部１１（即ち、図２において破線で示される）が、入庫用棚部分Ｉ１５の第２載置面１５ａの直下に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７の略中央に移動された後、鉛直駆動部１４により鉛直ガイド１８に沿って所定の鉛直位置に移動される。この所定の鉛直位置は、本体部１０ａの内側（即ち、搬送位置）にある入庫用棚部分Ｉ１５の第２載置面１５ａよりも下方である。この後、所定の鉛直位置にある載置部１１が、水平駆動部１３により水平ガイド１７に沿って所定の水平位置（即ち、図２において実線で示される）に移動される。図４（ａ）に示すように、この所定の水平位置は、ＦＯＵＰ３の凹部６の鉛直下方向に、載置部１１の凸部１２が存在する位置である。

所定の鉛直位置且つ水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により上昇される。この上昇により、第１載置面１１ａが第２載置部１５ａの中央を通過して、図４（ｂ）に示すように、第２載置面１５ａよりも高くなる。この時、入庫ポートＰ１における凹部５及び凸部１６の係合が外れ、第２載置面１５ａに代わって、第１載置面１１ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、載置部１１の凸部１２及びＦＯＵＰ３の凹部６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第２載置面１５ａから第１載置面１１ａへ移載される。

ＦＯＵＰ３が移載された載置部１１は、エリアＰ５内の第２載置面１５ａの直上に移動される。この際、載置部１１が、水平駆動部１３により水平一方向の所定の水平位置に移動される。この所定の水平位置は、エリアＰ５内の第２載置面１５ａの凸部１６の鉛直上方向に、ＦＯＵＰ３の凹部５が存在する位置である。所定の水平位置に移動された載置部１１は、鉛直駆動部１４により下降される。この下降により、第１載置面１１ａがエリアＰ２の第２載置部１５ａの中央を通過して、図４（ａ）に示すように、第２載置面１５ａよりも低くなる。この時、エリアＰ５における凸部１２及び凹部６の係合が外れ、第１載置面１１ａに代わって、第２載置面１５ａでＦＯＵＰ３が支持されると共に、ＦＯＵＰ３の凹部５及び第２載置面１５ａの凸部１６が相互に係合されることで、ＦＯＵＰ３が第１載置面１１ａから、エリアＰ５の第２載置面１５ａへ移載される。これにより、入庫ポートＰ１（即ち、入庫位置にある入庫用棚部分Ｉ１５）からエリアＰ５（即ち、保管用棚部分１５）へのＦＯＵＰ３の移載動作が完了される。尚、この移載工程を逆の順序で行えば、エリアＰ５から入庫ポートＰ１への移載動作となる。
（第１実施形態の入出庫動作処理）

次に、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作について図６を参照して説明する。ここに図６は、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作処理を示すフローチャートである。尚、入庫用棚部分は、初期設定として、本体部１０ａの外側の入庫位置にあることとする。

図６において、先ず、コントローラ２０により、半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１０から、出庫の要求が有るか否かが判定される（ステップＳ３１）。ここで要求が無いと判定された場合に（ステップＳ３１：ＮＯ）、ステップＳ３２及びＳ３３による出庫準備が省かれ、ステップＳ３４の処理が実行される。

一方、ステップＳ３１の判定の結果、出庫の要求が有ると判定された場合に（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、エリアＰ２の保管用棚部分１５に保管されている出庫すべきＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、保管用棚部分１５から取り出される）（ステップＳ３２）。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、出庫ポートＰ４へ移動されると、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置部１１から出庫ポートＰ４（即ち、出庫用棚部分Ｏ１５）に移載される（ステップＳ３３）。

次に、ストッカ１０に対応する停止位置にビークル２が到着したか否かが判定されると共に、到着したビークル２が入庫可能であるか又は出庫可能であるかが判定される（ステップＳ３４）。ここでビークル２が到着しないと判定された場合に（ステップＳ３４：未着）、再びステップＳ３１の処理が実行される。

一方、ステップＳ３４の判定の結果、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しておらず、出庫可能であると判定された場合に（ステップＳ３４：出庫ビークル）、ステップＳ３８の処理が実行される。他方、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しており、入庫可能であると判定された場合に（ステップＳ３４：入庫ビークル）、ビークル２による縦移載により、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から入庫ポートＰ１（即ち、入庫位置にある入庫用棚部分Ｉ１５）に移載される（ステップＳ３５）。続いて、スライド部２１により、入庫用棚部分Ｉ１５が本体部１０ａの内側の搬送位置に移動されると、入庫されたＦＯＵＰ３が保管庫内搬送可能な位置に水平移動される（ステップＳ３６）。

次に、出庫すべきＦＯＵＰ３が出庫ポートＰ４にあるか否かが判定される（ステップＳ３７）。ここで出庫すべきＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ３７：ＮＯ）、ステップＳ４０の処理が実行される。一方、出庫すべきＦＯＵＰ３が在る場合に（ステップＳ３７：ＹＥＳ）、ビークル２による横移載により、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫ポートＰ４からビークル２へ移載される（ステップＳ３８）。

次に、入庫されたＦＯＵＰ３が、搬送位置にある入庫用棚部分Ｉ１５にあるか否かが判定される（ステップＳ３９）。ここで入庫されたＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ３９：ＮＯ）、一連の入出庫動作処理が終了され、再びステップＳ３１の処理が実行される。一方、入庫されたＦＯＵＰ３が未だ在る場合に（ステップＳ３９：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、搬送位置にある入庫用棚部分Ｉ１５に載置されている、入庫されたＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、入庫用棚部分Ｉ１５から取り出される)（ステップＳ４０）。続いて、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、エリアＰ２へ移動されると、入庫されたＦＯＵＰ３が載置部１１から保管用棚部分１５に移載（収容）される（ステップＳ４１）。これにより、一連の入出庫動作処理が終了される。

このように、第１実施形態のストッカ１０によれば、開口Ｈ１及び開口Ｈ２が設けられた本体部１０ａと、入庫用棚部分Ｉ１５及び該入庫用棚部分Ｉ１５よりも上方に位置する出庫用棚部分Ｏ１５を含む複数の棚部分１５と、入庫用棚部分Ｉ１５を本体部１０ａの外側及び内側へ移動させるスライド部２１とを備える。このようなストッカ１０では、入庫の際に、無載置の入庫用棚部分Ｉ１５を、本体部１０ａの内側から開口Ｈ１を介して該外側へ移動させ或いは移動させたままとすることで、ビークル２による縦移載により、入庫すべきＦＯＵＰ３を、ビークル２から入庫用棚部分Ｉ１５に載置するのが可能である。また、出庫の際に、ビークル２による横移載により、出庫すべきＦＯＵＰ３を、出庫用棚部分Ｏ１５から開口Ｈ２を介してビークル２へ取り出すのが可能である。このような縦移載及び横移載可能なビークル２との間で連続して行われる入出庫動作において、入庫すべきＦＯＵＰ３及び出庫すべきＦＯＵＰ３を一時的に取り置きすることなく、直接にビークル２から入庫ポートＰ１（即ち、入庫位置にある入庫用棚部分Ｉ１５）へ又は出庫ポートＰ４（即ち、出庫用棚部分Ｏ１５）からビークル２へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

尚、本実施形態によれば、入庫ポートＰ１をレール１の下方に、出庫ポートＰ４をレール１と入庫ポートＰ１との間の空間よりも側方に配置するが、入庫ポートＰ１の代わりに、出庫ポートＰ４をレール１の下方に、出庫ポートＰ４の代わりに、入庫ポートＰ１を該空間よりも側方に配置してもよい。
＜第２実施形態＞

次に、第２実施形態に係る保管庫の構成について図７を参照して説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る保管庫の内部構造を模式的に示す、図２と同趣旨の断面図である。具体的に、第２実施形態では、図２に示される入庫ポートＰ１を、出庫ポートに設定すると共に、図２に示される出庫ポートＰ４を、入庫ポートに設定する点が第１実施形態と異なる。尚、図７に示される保管庫において、図２に示される保管庫と同等に構成される要素について、同一の番号を付し、その説明を省略する。

図７において、搬送システム２００は、レール１、ビークル２、ストッカ１１０、及びコントローラ１２０を備える。ストッカ１１０は、本体部１１０ａと、保管庫内搬送装置１９と、複数の棚部分１１５と、スライド部１２１を備える。保管庫内搬送装置１９は、載置部１１と、水平駆動部１３と、鉛直駆動部１４とを有し、コントローラ１２０の制御により、複数の棚部分１１５の間でＦＯＵＰ３を移載する。

本体部１１０ａは、図２に示されるストッカ１０と同様に、ＦＯＵＰ３が入出庫可能に開放されている。具体的には、本体部１０ａには、出庫すべきＦＯＵＰ３を本体部１０ａ外へ送り出すための開口Ｈ１１、及び入庫すべきＦＯＵＰ３を本体部１０ａ内へ入れ置くための開口Ｈ１２が形成されている。

複数の棚部分１１５は、図２に示されるストッカ１０と同様に、１４個の棚部分１５から構成されている。

１４個の棚部分１５のうち１つの棚部分は、本体部１０ａの外側及び内側へ水平移動可能に構成されている。該１つの棚部分は、本体部１０ａの外側に位置する時に、ビークル２へＦＯＵＰ３を受け渡すための出庫ポートＰ１４として機能する出庫用棚部分Ｏ１１５である。出庫用棚部分Ｏ１１５は、上から２段目にある２つの棚部分１５のうち、開口Ｈ１に近接する棚部分(即ち、図７における二点鎖線Ｐ１４内)である。

出庫用棚部分Ｏ１１５を除いた１３個の棚部分１５のうち１つの棚部分は、ビークル２からＦＯＵＰ３を受け取るための入庫ポートＰ１１として機能する入庫用棚部分Ｉ１１５である。入庫用棚部分Ｉ１１５は、最上段にある２つの棚部分のうち、開口Ｈ２に近接する棚部分（即ち、図７における二点鎖線Ｐ１１内）である。

スライド部１２１は、出庫用棚部分Ｏ１１５を、本体部１１０ａの外側に配置する出庫位置（即ち、図７において実線で示される）、及び本体部１１０ａの内側に配置する搬送位置（即ち、図７において点線で示される）との間で水平移動させる。

コントローラ１２０は、出庫しようとする際に、出庫用棚部分Ｏ１１５が未だ無載置の状態で搬送位置にある場合に、保管庫内搬送装置１９を制御して、出庫すべきＦＯＵＰ３を搬送位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５に載置させる。すると、スライド部１２１を制御して、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置された出庫用棚部分Ｉ１５を出庫位置に移動させる。これにより、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫用棚部分Ｏ１１５（言い換えれば、出庫ポートＰ１４）からビークル２へ移載可能な状態となる。また、コントローラ１２０は、出庫（即ち、出庫すべきＦＯＵＰ３が出庫用棚部分Ｏ１１５から取り上げられた）の後に、スライド部１２１を制御して、出庫用棚部分Ｏ１１５を搬送位置に移動させる。これにより、次回に出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫用棚部分Ｉ１５に載置可能な状態となる。

コントローラ１２０は特に、入庫に続いて出庫しようとする際に、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から入庫用棚部分Ｉ１１５に移載されるまでに、保管庫内搬送装置１９を制御して、載置部１１を、所望の保管用棚部分１５から搬送位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５に移動させ、出庫すべきＦＯＵＰ３を該出庫用棚部分Ｏ１１５に載置させる。更には、スライド部１２１を制御して、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置された出庫用棚部分Ｉ１５を搬送位置から出庫位置に移動させる。
（第２実施形態の入出庫動作処理）

次に、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作について図８を参照して説明する。ここに図８は、本実施形態に係る保管庫の入出庫の動作処理を示すフローチャートである。

図８において、先ず、図６に示されるステップＳ３１と同様に、コントローラ１２０により、半導体素子製造の工程スケジュールに基づいて、ストッカ１１０から、出庫の要求が有るか否かが判定される（ステップＳ５１）。ここで要求が無いと判定された場合に（ステップＳ５１：ＮＯ）、ステップＳ５２〜Ｓ５４による出庫準備が省かれ、ステップＳ５５の処理が実行される。

一方、ステップＳ５１の判定の結果、出庫の要求が有ると判定された場合に（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、エリアＰ２の保管用棚部分１１５に保管されている出庫すべきＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、保管用棚部分１５から取り出される）（ステップＳ５２）。続いて、出庫すべきＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、本体部１１０ａの内側の搬送位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５に移動されると、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置部１１から出庫用棚部分Ｏ１１５に移載される（ステップＳ５３）。続いて、スライド部１２１により、出庫用棚部分Ｏ１１５が本体部１１０ａの外側の出庫位置に水平移動されると、（ステップＳ５４）。

次に、ストッカ１１０に対応する停止位置にビークル２が到着したか否かが判定されると共に、到着したビークル２が入庫可能であるか又は出庫可能であるかが判定される（ステップＳ５５）。ここでビークル２が到着しないと判定された場合に（ステップＳ５５：未着）、再びステップＳ５１の処理が実行される。

一方、ステップＳ５５の判定の結果、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しておらず、出庫可能であると判定された場合に（ステップＳ５５：出庫ビークル）、ステップＳ５８の処理が実行される。他方、ビークル２が入庫すべきＦＯＵＰ３を把持しており、入庫可能であると判定された場合に（ステップＳ５５：入庫ビークル）、ビークル２による横移載により、入庫すべきＦＯＵＰ３がビークル２から入庫ポートＰ１１（即ち、入庫用棚部分Ｉ１１５）に移載される（ステップＳ５６）。

次に、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５にあるか否かが判定される（ステップＳ５７）。ここで出庫すべきＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ５７：ＮＯ）、ステップＳ６１の処理が実行される。一方、出庫すべきＦＯＵＰ３が在る場合に（ステップＳ５７：ＹＥＳ）、ビークル２による縦移載により、出庫すべきＦＯＵＰ３が、出庫ポートＰ１４（即ち、出庫位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５）からビークル２へ移載される（ステップＳ５８）。続いて、スライド部２１により、出庫用棚部分Ｏ１１５が搬送位置に水平移動される（ステップＳ５９）。

次に、入庫されたＦＯＵＰ３が、入庫ポートＰ１１（即ち、入庫用棚部分Ｉ１１５）にあるか否かが判定される（ステップＳ６０）。ここで入庫されたＦＯＵＰ３が無い場合に(ステップＳ６０：ＮＯ）、一連の入出庫動作処理が終了され、再びステップＳ５１の処理が実行される。一方、入庫されたＦＯＵＰ３が未だ在る場合に（ステップＳ６０：ＹＥＳ）、保管庫内搬送装置１９により、入庫ポートＰ１１に載置されている、入庫されたＦＯＵＰ３が、載置部１１に移載される（即ち、入庫用棚部分Ｉ１１５から取り出される)（ステップＳ６１）。続いて、入庫されたＦＯＵＰ３を載置した状態にある載置部１１が、エリアＰ２へ移動されると、入庫されたＦＯＵＰ３が載置部１１から保管用棚部分１５に移載（収容）される（ステップＳ６２）。これにより、一連の入出庫動作処理が終了される。

このように、第２実施形態のストッカ１１０によれば、開口Ｈ１及び開口Ｈ２が設けられた本体部１０ａと、出庫用棚部分Ｏ１１５及び該出庫用棚部分Ｏ１１５よりも上方に位置する入庫用棚部分Ｉ１１５を含む複数の棚部分１１５と、出庫用棚部分Ｏ１１５を本体部１１０ａの外側及び内側へ移動させるスライド部１２１とを備える。このようなストッカ１１０では、入庫の際に、ビークル２による横移載により、入庫すべきＦＯＵＰ３を、ビークル２から開口Ｈ２を介して入庫用棚部分Ｉ１１５に入れ置くのが可能である。また、出庫の際に、出庫すべきＦＯＵＰ３が載置された状態の出庫用棚部分Ｏ１１５を、本体部１１０ａの内側から開口Ｈ１を介して該外側へ移動させ或いは移動させたままとすることで、ビークル２による縦移載により、出庫すべきＦＯＵＰ３を、出庫ポートからビークル２へ取り上げるのが可能である。このような縦移載及び横移載可能なビークル２との間で連続して行われる入出庫動作において、入庫すべきＦＯＵＰ３及び出庫すべきＦＯＵＰ３を一時的に取り置きすることなく、直接にビークル２から入庫ポートＰ１１（即ち、入庫用棚部分Ｉ１１５）へ又は出庫ポートＰ１４（即ち、出庫位置にある出庫用棚部分Ｏ１１５）からビークル２へ移載する。故に、比較的簡単な構成により、効率良く入出庫することができる。

尚、上述した第１実施形態と第２実施形態とを同一の保管庫において、選択的に実行することも可能である。例えば、現在要求される入出庫の内容、保管庫内における載置部１１の空き若しくは載置の状況、出庫ポート又は入庫ポートの空き若しくは載置の状況などに応じて、複数の棚部分のうち上から２段目において開口Ｈ１に面する水平移動される棚部分を適宜に入庫ポートとして又は出庫ポートとして利用してもよい。更に、このような状況等に応じて、最上段において開口Ｈ２に面する棚部分を適宜に入庫ポートとして又は出庫ポートとして利用してもよい。特に、多数の保管庫及び多数の搬送車を含んでなる搬送システムにおいては、このような入庫又は出庫ポートの使い分けによって、搬送効率の一層の向上が可能である。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う入出庫方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

第１実施形態に係る保管庫を備える搬送システムの外観を示す斜視図である。 第１実施形態に係る保管庫の内部構造を、搬送車による縦移載の動作状態と共に模式的に示す断面図である。 第１実施形態に係る保管庫の内部構造を、搬送車による縦移載の動作状態と共に模式的に示す断面図である。 第１実施形態に係る第１及び第２載置面の係合状態を示す断面図である。 実施形態に係る載置部の水平一方向への動作状態を示す平面図である。 第１実施形態に係る保管庫の出入庫の動作処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る保管庫の内部構造を、搬送車による縦移載の動作状態と共に模式的に示す断面図である。 第２実施形態に係る保管庫の出入庫の動作処理を示すフローチャートである。

符号の説明

１…レール、２…ビークル（天井走行車）、３…ＦＯＵＰ（荷）、１０…ストッカ（保管庫）、２０…コントローラ、２１…スライド部、１１…載置部、１３…水平駆動部、１４…鉛直駆動部、１５…棚部分、１００…搬送システム

Claims (9)

1. 一の荷及び他の荷を夫々昇降可能な上下移動部、及び前記一の荷及び前記他の荷を夫々水平移動可能な水平移動部を含んでおり、前記上下移動部の昇降動作による縦移載が可能であると共に前記上下移動部の昇降動作及び前記水平移動部の水平移動動作による横移載が可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫が連続して行われる保管庫であって、
   筐体又はフレームと、
   該筐体又はフレーム内に配置され且つ前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記一の荷が載置された状態で、前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車から前記一の荷が前記縦移載により載置される入庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記他の荷が前記搬送車へ前記横移載により取り出される出庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分と、
   前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段と
   を備え、
   前記入庫ポート及び前記出庫ポートは、上下方向及び水平方向が相互に異なるように設定されている
   ことを特徴とする保管庫。
2. 前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御し、前記一の荷が前記一の棚部分に載置された後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
3. 前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、
   該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段と
   を更に備え、
   前記制御手段は、
   前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分が前記内側へ水平移動された後に、前記載置部により前記一の荷を前記一の棚部分から前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分以外の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御し、
   前記他の荷を出庫すべき場合に、前記載置部により前記他の荷を前記複数の棚部分のうち前記他の棚部分以外の棚部分から前記他の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御する
   ことを特徴とする請求項２に記載の保管庫。
4. 前記駆動手段は、
   前記載置部を水平一方向に往復移動可能な水平駆動部と、
   前記載置部を鉛直方向に往復移動可能な鉛直駆動部と
   を更に備え、
   前記複数の棚部分は、前記鉛直方向に複数段に渡って段毎に、前記水平駆動部により到達可能な水平位置に一又は複数設けられると共に、前記第１載置面との間で前記荷を相互に移載可能に構成されている第２載置面を夫々有し、
   前記複数の棚部分のうち最上段にある一つは、前記出庫ポートとして機能し、
   前記複数の棚部分のうち前記出庫ポートの下段に位置する棚部分の前記第２載置面は、前記入庫ポートとして機能する
   ことを特徴とする請求項３に記載の保管庫。
5. 一の荷及び他の荷を夫々昇降可能な上下移動部、及び前記一の荷及び前記他の荷を夫々水平移動可能な水平移動部を含んでおり、前記上下移動部の昇降動作による縦移載が可能であると共に前記上下移動部の昇降動作及び前記水平移動部の水平移動動作による横移載が可能な搬送車との間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫が連続して行われる保管庫であって、
   筐体又はフレームと、
   該筐体又はフレーム内に配置され且つ前記一の荷及び前記他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記他の荷が載置された状態で、前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車へ前記他の荷が前記縦移載により取り上げられる出庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記一の荷が前記搬送車から前記横移載により入れ置かれる入庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分と、
   前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段と
   を備え、
   前記入庫ポート及び前記出庫ポートは、上下方向及び水平方向が相互に異なるように設定されている
   ことを特徴とする保管庫。
6. 前記他の荷を出庫すべき場合に、前記他の荷が載置された状態で前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御し、前記他の荷が取り上げられた後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する制御手段を更に備えることを特徴とする請求項５に記載の保管庫。
7. 一の荷及び他の荷を夫々昇降可能な上下移動部、及び前記一の荷及び前記他の荷を夫々水平移動可能な水平移動部を含んでおり、前記上下移動部の昇降動作による縦移載が可能であると共に前記上下移動部の昇降動作及び前記水平移動部の水平移動動作による横移載が可能な搬送車と、
   （Ｉ）筐体又はフレーム、（ＩＩ）該筐体又はフレーム内に配置され且つ一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記一の荷が載置された状態で、前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車から前記一の荷が前記縦移載により載置される入庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記他の荷が前記搬送車へ前記横移載により取り出される出庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分、並びに（ＩＩＩ）前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段を備える保管庫と
   の間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、
   前記一の荷を入庫すべき場合に、前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御する第１制御工程と、
   該第１制御工程に続いて前記一の荷が前記一の棚部分に載置された後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する第２制御工程と
   を備え、
   前記入庫ポート及び前記出庫ポートは、上下方向及び水平方向が相互に異なるように設定されている
   ことを特徴とする入出庫方法。
8. 前記保管庫は、前記一の荷及び前記他の荷を夫々その底側から支持可能な第１載置面を有する載置部と、該載置部を、前記複数の棚部分の相互間で移動可能である駆動手段とを更に備え、
   前記一の荷を入庫すべき場合に、前記第２制御工程によって前記一の棚部分が前記内側へ水平移動された後に、前記載置部により前記一の荷を前記一の棚部分から前記複数の棚部分のうち前記一の棚部分以外の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御する第３制御工程と、
   前記他の荷を出庫すべき場合に、前記第１から第３制御工程と相前後して、前記載置部により前記他の荷を前記複数の棚部分のうち前記他の棚部分以外の棚部分から前記他の棚部分へ移動させるように前記駆動手段を制御する第４制御工程と
   を更に備えることを特徴とする請求項７に記載の入出庫方法。
9. 一の荷及び他の荷を夫々昇降可能な上下移動部、及び前記一の荷及び前記他の荷を夫々水平移動可能な水平移動部を含んでおり、前記上下移動部の昇降動作による縦移載が可能であると共に前記上下移動部の昇降動作及び前記水平移動部の水平移動動作による横移載が可能な搬送車と、
   （Ｉ）筐体又はフレーム、（ＩＩ）該筐体又はフレーム内に配置され且つ一の荷及び他の荷を収容若しくは載置可能であり、（ｉ）前記他の荷が載置された状態で、前記筐体の外壁又は前記フレームの外枠に設けられた一の出入口を介して前記筐体又は前記フレームの内側並びに外側間で水平移動可能に構成されており、前記外側へ移動された際に前記搬送車へ前記他の荷が前記縦移載により取り上げられる出庫ポートとして機能する一の棚部分及び（ｉｉ）該一の棚部分よりも上方に位置しており、前記外壁又は前記外枠に設けられた他の出入口を介して、前記一の荷が搬送車から前記横移載により入れ置かれる入庫ポートとして機能する他の棚部分を含む、上下方向に配列された複数の棚部分、並びに（ＩＩＩ）前記一の棚部分を前記外側及び前記内側へ選択的に水平移動させる外内移動手段を備える保管庫と
   の間で、前記一の荷の入庫及び前記他の荷の出庫を連続して行う入出庫方法であって、
   前記他の荷を出庫すべき場合に、前記他の荷が載置された状態で前記一の棚部分を前記外側へ水平移動させるように、前記外内移動手段を制御する第１制御工程と、
   該第１制御工程に続いて前記他の荷が取り上げられた後に、前記一の棚部分を前記内側へ水平移動させるように前記外内移動手段を制御する第２制御工程と
   を備え、
   前記入庫ポート及び前記出庫ポートは、上下方向及び水平方向が相互に異なるように設定されている
   ことを特徴とする入出庫方法。

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