KR101453828B1 - 이송 시스템 - Google Patents

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KR101453828B1
KR101453828B1 KR1020100004335A KR20100004335A KR101453828B1 KR 101453828 B1 KR101453828 B1 KR 101453828B1 KR 1020100004335 A KR1020100004335 A KR 1020100004335A KR 20100004335 A KR20100004335 A KR 20100004335A KR 101453828 B1 KR101453828 B1 KR 101453828B1
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카즈토시 사와도
요시아키 후지와라
마사나오 무라타
타카시 야마지
나오후미 키리하타
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 시스템 본체를 소형으로 구성하면서 처리 장치에 대하여 용이하게 고정시키는 것을 과제로 한다.
이를 위해, 이송 시스템(30)은 반송차(10)가 피반송물(3)을 이송하는 이송 위치로부터 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 차단하도록 배치되어 있고, 반송차와의 사이에서 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반과, 피반송물을 탑재할 수 있는 제 2 선반과, 처리 장치(20)에 대하여 접근 및 이간하는 제 1 방향으로 제 1 선반 및 포트에 대하여 피반송물을 왕복 이동할 수 있으며, 제 1 선반 및 포트로부터 피반송물분만큼 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치에서 피반송물을 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단(32)과, 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호를 반송차로부터 수신함과 아울러, 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호를 반송차에 대하여 송신할 수 있으며, 또한 처리 장치에 대하여 제 1 시스템 신호를 송신함과 아울러 처리 장치로부터 제 2 시스템 신호를 수신할 수 있는 수단을 구비한다.

Description

이송 시스템{TRANSFER SYSTEM}
본 발명은 예를 들면, 반도체 제조 장치 등의 처리 장치와, 궤도를 따라 주행하는 비이클 등의 반송차 사이에서 반도체 제조용의 각종 기판이 수용된 용기 등의 피반송물을 이송하는 이송 시스템의 기술 분야에 관한 것이다.
이러한 종류의 이송 시스템으로서 처리 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스의 외부에 고정되어 상기 처리 장치와의 사이 및 반송차와의 사이에서 각각 FOUP(Front Openinｇ Unified Pod)라고 불리는 용기 등의 피반송물을 이송하는 것이 제품화되고 있다. 구체적으로는 이 이송 시스템은 최상부에 반송차와의 사이에서 FOUP를 이송하기 위한 포트 등의 선반을 2기 장착하고, 포트보다 하방에 FOUP를 일시적으로 탑재하기 위한 버퍼 스토리지 등의 선반을 6기 장착하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 웨이퍼 지지 포드 등의 피반송물을 각각 지지할 수 있는 복수의 선반과, 그 복수의 선반을 포함하고 있는 X-Z 평면 내의 모든 위치로 이동할 수 있는 그리퍼를 구비하는 시스템이 제안되어 있다. 구체적으로는 이 시스템에 의해 반도체 프로세스툴 및 계측툴 등의 처리 장치에 웨이퍼 지지 포드가 공급된다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
일본 특허 제 4182521호 공보 일본 특허공표 2001-509465호 공보
그러나, 상기 특허문헌 1 및 2에 기재된 이송 시스템은 처리 장치의 외부 프레임 또는 외부 케이스에 강고하게 고정된다. 즉, 상기 이송 시스템 본체를 한번 처리 장치에 고정해 버리면 그 고정을 해제하는 작업에 엄청난 시간을 요하게 된다. 또한, 이송 시스템 본체가 처리 장치에 고정되어 있을 때에는 처리 장치의 전방면(특히, 피반송물 출입용 포트가 존재하고 있는 벽면 부분)을 막은 상태가 된다. 이 때문에, 이송 시스템 본체가 고정된 상태에서 처리 장치의 개수, 고장 및 보수에 따른 작업을 행하는 것은 곤란하거나 또는 매우 불가능하다. 즉, 개수 등에 따른 작업을 행하기 위해서는 이송 시스템 본체를 처리 장치로부터 분리한다는 수고가 따르는 작업이 발생되어 버린다. 또한 그 후, 이송 시스템 본체를 처리 장치에 재차 고정시킬 때에는 어느 정도의 위치 결정 정밀도가 요구되는 양자 간의 고정 작업도 새롭게 발생되어 버린다. 또한, 이들 이송 시스템 본체는 공장 내에 있어서의 처리 장치 주위의 스페이스 절약화를 꾀할 때에 무시할 수 없는 정도로 외관 형상이 부피가 커지고, 또한 고정 장소도 한정되어 있으므로 상기 스페이스 절약화를 꾀할 때의 큰 장해가 된다는 기술적 문제점이 있다.
본 발명은 예를 들면, 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 시스템 본체를 소형으로 구성하면서 처리 장치에 대하여 용이하게 고정시킬 수 있는 이송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
[1]
본 발명의 이송 시스템은 상기 과제를 해결하기 위해서 궤도를 따라 주행함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 시스템으로서, 상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반과, 상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반과, 상기 처리 장치에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단과, 상기 반송차에 따른 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호를 상기 반송차로부터 수신 또는 상기 반송차에 대하여 송신함과 아울러, 상기 제 1 선반에 따른 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호를 상기 반송차에 대하여 송신 또는 상기 반송차로부터 수신할 수 있으며, 또한 상기 제 1 시스템 신호를 상기 처리 장치에 대하여 송신 또는 상기 처리 장치로부터 수신함과 아울러 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호를 상기 처리 장치로부터 수신 또는 상기 처리 장치에 대하여 송신할 수 있는 통신 수단과, 상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송되었거나 또는 상기 제 1 선반으로부터 제 2 선반으로 이송된 상기 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 상기 처리 장치와의 사이에서 상기 제 1 시스템 신호 및 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호의 송수신을 행하도록 상기 통신 수단을 제어함과 아울러, 상기 처리 장치로부터 수신 또는 상기 처리 장치에 대하여 송신된 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호에 따라 상기 포트로 이송하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한다.
본 발명에 있어서의 처리 장치는 예를 들면, 프로세스 장치, 검사 장치 등의 반도체 제조 장치이며, 예를 들면, FOUP 등의 피반송물, 실제로는 피반송물의 내부에 수용되어 있는 웨이퍼 등의 피처리물에 대하여 소정 처리(예를 들면, 노광 처리, 성막 처리, 열 처리 등)를 행한다. 상기 처리가 행해질 때에 전형적으로는 처리가 행해지는 피반송물이 예를 들면, 반도체 제조 공장 등의 시설에 있어서의 천정에 부설된 궤도를 따라 주행하는 예를 들면, OHT(Overhead Hoist Transport) 등의 반송차에 의해 처리 장치로 반송됨과 아울러 반송차로부터 또는 반송차로 이송할 수 있는 포트로 이송된다. 이 후, 예를 들면, 포트 상의 피반송물에 수용되어 있는 피처리물이 처리 장치에 있어서의 이동 수단에 의해 피반송물 내부로부터 인출되어 처리 장치 내부에 출입된다. 또한, 처리 대상으로서 처리 장치 내부에 출입되는 피처리물의 형태로서 예를 들면, 처리 장치가 버퍼를 구비하는 장치이면 상술한 바와 같이, 피처리물 단체가 아니더라도, 피반송물 자체(즉, 피처리물이 수납되어 있는 피반송물인 상태)이어도 좋다. 또한, 반송차 및 처리 장치 간의 이송에 따른 제어 및 동작은 전형적으로 E84 EPI/O(Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface)(SEMI 규격, 이하, 간단히 「E84」라고 칭함)로 규정되는 시퀸스에 의거하여 행해지지만 하등 이에 한정되지 않는다.
여기에서, 예를 들면 반도체 제조에 있어서 제조 설비를 확대시키지 않고, 보다 많은 생산량을 확보하기 위해서 처리 장치의 가동률을 향상시키는 것이 과제로 되고 있다. 예를 들면, 1의 반송차에 의해 처리가 완료된 피반송물이 포트로부터 운반되고 나서 2의 반송차에 의해 처리가 이제부터 행해지려고 하는 피반송물이 포트로 운반되기까지의 피반송물의 대기 시간(즉, 처리 장치의 비가동 시간)이 수분이라고 한다. 이에 대하여 1개의 피반송물에 있어서의 처리에 동일한 수분을 요하는 경우에 처리 장치의 가동률은 50%가 되어 버린다. 이렇게, 대기 시간에 따라 저하되어 버리는 가동률을 향상시키기 위해서는 처리 장치에 의해 처리가 완료된 피반송물을 포트로부터 재빨리 제거하고, 다음에 처리가 행해지는 피반송물을 재빨리 포트에 탑재(즉, 포트 상의 피반송물을 재빨리 교체함)함으로써 처리 장치의 비가동 시간을 단축하는 것이 요구된다.
본 발명의 이송 시스템에 의하면 상기 이송 시스템은 처리 장치에 의해 처리가 행해지거나 또는 행해진 피반송물을 일시적으로 탑재 또는 유지하는 예를 들면, 버퍼링 시스템 또는 장치 등의 일시 유지 시스템 또는 장치로서, 각 부에 접속되는 CPU, ROM 및 RAM 등을 구비하는 컨트롤러 등의 제어 수단에 의해 후술하는 이동 수단 및 통신 수단이 제어된다. 이러한 이송 시스템에 의하면 예를 들면, 그 동작시에는 우선, 상기 이송 시스템, 반송차 및 처리 장치(이하, 적당히 「3요소」라고 칭함)를 통괄적으로 제어하는, 예를 들면, 제조 시스템에 있어서의 제어 수단에 의해 예를 들면, 반도체 제조 스케줄에 의거하여 3요소에 대하여 1의 피반송물에 대한 반송 및 처리가 요구된다. 그러면, 1의 피반송물을 반송하는 반송차가 제 1 선반에 대응하는 위치에서 정지되어 반송차로부터 제 1 선반에 1의 피반송물이 이송된다. 여기에서, 「제 1 선반」이란, 예를 들면 「OHT 포트」라고 칭해지는 반송차로부터 또는 반송차로 이송되는 피반송물을 탑재할 수 있는 탑재면을 갖는 선반을 의미한다. 상기 1의 피반송물이 제 1 선반으로 이송되는 경우에 적외선 등의 광통신이 가능한 송수신기 또는 통신처와 상호 접속되는 통신 케이블 등의 통신 수단(즉, 통신처가 반송차인 경우에는 예를 들면, 송수신기)에 의해 반송차와의 사이에서 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호 및 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호가 송수신된다. 여기에서, 「반송차에 따른 제 1 시스템 신호」는 예를 들면, 제 1 선반에 대한 이송을 행하는 취지를 이송 시스템에 전달하기 위한 신호 또는 포트에 대한 이송을 행하는 취지를 처리 장치에 전달하기 위한 신호이다. 이에 대하여 「제 1 선반에 따른 제 2 시스템 신호」는 예를 들면, 제 1 선반에 대한 이송을 허가하는 취지를 반송차에 전달하기 위한 신호이다. 따라서, 1의 피반송물이 제 1 선반으로 이송되는 경우에는 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호가 반송차에 의해 수신되게 된다. 제 1 선반으로 이송된 1의 피반송물은 예를 들면, FOUP의 플랜지를 파지할 수 있는 로봇암 및 피반송물을 그 하방으로부터 지지할 수 있는 이송 기구 등의 이동 수단에 의해 제 1 선반으로부터 포트로 이송된다. 상기 1의 피반송물이 포트로 이송되는 경우에 통신 수단(즉, 통신처가 처리 장치인 경우에는 예를 들면, 통신 케이블)에 의해 처리 장치와의 사이에서 제 1 시스템 신호 및 제 2 시스템 신호가 송수신된다. 여기에서, 처리 장치에 따른 「제 1 시스템 신호」는 예를 들면, 포트에 대한 이송을 행하는 취지를 처리 장치에 전달하기 위한 신호이다. 이에 대하여 「포트에 따른 제 2 시스템 신호」는 예를 들면, 포트에 대한 이송을 허가하는 취지를 이송 시스템에 전달하기 위한 신호 또는 동 취지를 반송차에 전달하기 위한 신호이다. 따라서, 1의 피반송물이 포트로 이송되는 경우에는 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호가 이송 시스템에 의해 수신되게 된다.
1의 피반송물이 포트로 이송된 후, 처리 장치에 있어서의 예를 들면, 내외 이동 수단에 의해 1의 피반송물 내부에 수용되어 있는 피처리물이 포트 상의 1의 피반송물 내부로부터 처리 장치 내부로 이동된다. 그러면, 처리 장치 내부에서 피처리물에 대하여 처리가 행해진다. 이어서, 3요소에 대하여 다음에 처리해야 하는 2의 피반송물에 대한 반송 및 처리가 요구된다. 그러면, 2의 피반송물을 반송하는 반송차가 제 1 선반에 대응하는 위치에서 정지되어 반송차로부터 제 1 선반으로 2의 피반송물이 이송된다(즉, 운반됨). 그러면, 제 1 선반 상의 2의 피반송물이 이동 수단에 의해 제 1 선반으로부터 제 2 선반으로 이송된다. 여기에서, 「제 2 선반」이란, 예를 들면, 「버퍼」 또는 「버퍼 선반」이라고 칭해지는 포트 상의 피반송물을 처리가 완료된 1의 피반송물로부터 이 다음에 처리되는 제 1 선반 상의 2의 피반송물로 교체하기 위해서 1 또는 2 중 어느 하나의 피반송물을 일시적으로 탑재할 수 있는 탑재면을 갖는 선반을 의미한다. 이어서, 1의 피처리물(실제로는 1의 피반송물에 있어서의 피처리물)에 대한 처리가 완료되면 내외 이동 수단에 의해 피처리물이 처리 장치 내부로부터 포트 상의 1의 피반송물 내부로 이동된다. 그러면, 피반송물을 반송하고 있지 않은 물품이 적재되어 있지 않은 반송차 중 상기 이송 장치 또는 처리 장치에 가장 가까운 반송차에 대하여 처리가 완료된 1의 피반송물의 반송(즉, 운반)이 요구된다. 이 후에 이동 수단에 의해 포트 상의 1의 피반송물이 포트로부터 제 1 선반으로 이송되는(즉, 처리가 완료된 1의 피반송물이 포트로부터 멀어짐) 것에 병행해서 3요소에 대하여 2의 피반송물 다음에 처리해야 하는 3의 피반송물에 대한 반송 및 처리(즉, 호출)가 요구된다. 이어서, 제 2 선반 상의 2의 피반송물이 제 2 선반으로부터 포트로 이송되어 포트 상의 피반송물의 교체가 재빨리 행해진다. 이 후, 처리가 완료된 1의 피반송물의 반송이 요구된 반송차에 의해 제 1 선반 상의 1의 피반송물이 제 1 선반으로부터 반송차로 이송된다(즉, 운반됨). 한편, 포트 상의 2의 피반송물(실제로는 2의 피반송물에 있어서의 피처리물)에 대한 처리가 완료되면 물품이 적재되어 있지 않고, 상기 이송 장치 또는 처리 장치에 가장 가까운 반송차에 대하여 처리가 완료된 2의 피반송물의 반송(즉, 운반)이 요구된다. 이렇게, 처리가 이제부터 행해지는 피반송물이 순차적으로 1 선반으로 이송되어 상기 제 1 선반 상의 피반송물과, 포트 상의 처리가 완료된 피반송물을 제 2 선반을 사용해서 효율적으로 교체함으로써 처리 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다. 또한, 상술한 예에서는 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호는 반송차로부터 이송 시스템에, 이송 시스템으로부터 처리 장치에 각각 송신됨과 아울러, 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호는 이송 시스템으로부터 반송차에, 처리 장치로부터 이송 시스템에 각각 송신되지만 제 1 및 제 2 시스템 신호의 송수신은 이것과 반대 방향이어도 좋다. 이 경우, 제 1 시스템 신호는 이송 시스템으로부터 반송차에, 처리 장치로부터 이송 시스템에 각각 송신됨과 아울러, 제 2 시스템 신호는 반송차로부터 이송 시스템에, 이송 시스템으로부터 처리 장치에 각각 송신된다. 즉, 이송을 요구 및 허가하는 대상이 상술한 예와는 반대로 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 이송 시스템은 피반송물을 탑재 또는 이송할 수 있는 선반으로서 1개의 포트에 있어서의 피반송물의 교체를 행하기 위한 1개의 제 2 선반과, 반송차와의 사이에서 피반송물을 이송하기 위한 제 1 선반을 구비할 뿐이기 때문에 상기 이송 시스템 본체를 소형 또한 경량으로 구성할 수 있다. 또한, 이송 시스템 본체가 소형화된 상황에서는 이송 시스템 본체를 1개의 포트(또는 처리 장치)에 대하여 용이하게 고정시킬 수 있으며, 1개의 포트, 제 1 선반 및 제 2 선반 사이를 이동할 수 있는 이동 장치를 구비한다는 점에서도 그 접속을 애당초 불용으로 해도 좋다.
또한, 특히 본 발명의 이송 시스템에 있어서의 예를 들면, 적외선 등의 광통신에 의해 패럴렐 신호를 통신할 수 있는 통신 수단에 의해 반송차로부터 수신되는 신호와, 처리 장치에 송신되는 신호는 이송하는 취지를 나타내는 제 1 시스템 신호(예를 들면, E84에 있어서의 「TR_REQ」)이다. 한편, 반송차에 송신되는 신호와, 처리 장치로부터 수신되는 신호는 이송을 허가하는 취지를 나타내는 제 2 시스템 신호(예를 들면, E84에 있어서의 「READY」)이다. 이것은 이송 시스템을 통하지 않고 반송차와 처리 장치 사이에서 이송이 행해지는 경우에도 본 발명과 마찬가지로 해서 제 1 시스템 신호 및 제 2 시스템 신호에 의한 통신이 행해질 수 있는 것을 의미한다. 즉, 본 발명의 실시에 있어서 반송차 및 처리 장치에 있어서의 시스템 상의 변경을 행할 필요가 없다. 따라서, 단순히 이송 시스템을 제거해도 반송차 및 처리 장치 사이에 있어서의 제 1 및 제 2 시스템 신호의 교환은 거의 또는 전혀 변경할 필요는 없다. 반대로 이송 시스템을 처리 장치에 부착해도 반송차 및 처리 장치 사이에 있어서의 제 1 및 제 2 시스템 신호의 교환은 거의 또는 전혀 변경할 필요는 없다. 바꿔 말하면, 반송차의 입장에서 보면 이송 시스템에 대하여 신호의 송수신을 하고 있는지 또는 처리 장치에 대하여 신호의 송수신을 하고 있는지를(즉, 처리 장치 바로 앞에 이송 시스템이 개재되어 있는지의 여부를), 의식할 필요는 거의 또는 전혀 없다. 반대로 처리 장치의 입장에서 보면 이송 시스템에 대하여 신호의 송수신을 하고 있는지 또는 반송차에 대하여 신호의 송수신을 하고 있는지를(즉, 반송차 바로 앞에 이송 시스템이 개재되어 있는지의 여부를), 의식할 필요는 거의 또는 전혀 없다. 또한, 통신 수단에 의해 반송차에 대하여 상술한 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호보다 전에 이송을 요구하는 취지의 제 1 또는 제 2 시스템 신호(예를 들면, E84에 있어서의 「L_REQ」 등)가 송신되어도 좋다.
따라서, 시스템 상에 있어서도 이송 시스템 본체를 1개의 포트에 대하여 용이하게 고정시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 이송 시스템에 의하면 그 내부 배치 및 외부 배치에 대해서 우선, 제 1 선반은 반송차가 피반송물을 이송하는 이송 위치, 전형적으로는 연직 방향으로 세로 이송하는 이송 위치로부터 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 반송차측에서 보면 이송 시스템이 존재하고 있지 않은 경우에 있어서의 포트에 대한 이송 동작과, 이송 시스템이 존재하고 있는 경우에 있어서의 제 1 선반에 대한 이송 동작을 거의 동일한 요령에 의해 실행할 수 있게 된다.
즉, 물리적 배치에 대해서도 반송차에서 보면 이송 시스템에 설치된 제 1 선반과 포트는 높이의 차이는 있지만 양자 모두 동일한 원래의 이송 진로에 배치되어 있으므로 세로 이송 등의 이송을 행함에 있어서 거의 또는 전혀 구별해서 행할 필요가 없다. 반대로, 처리 장치에서 보면 반송차와, 이송 시스템이 갖는 이동 수단이란, 높이의 차이는 있지만 양자 모두 동일한 원래의 이송 진로에 의해 동일 포트 상에 피반송물을 이송하거나 또는 동일 포트로부터 피반송물을 이송하므로 어느 것과의 이송을 행하는지에 대해서는 거의 또는 전혀 구별해서 행할 필요가 없다.
따라서, 시스템상 뿐만 아니라 물리 배치상에 있어서도 이송 시스템 본체를 1개의 포트에 대하여 용이하게 고정시킬 수 있다.
또한, 이동 수단은 처리 장치에 대하여 보다 구체적으로는 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된 외부 프레임면 또는 외부 케이스면 또는 측면 또는 측벽에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향(예를 들면, 수평 일방향)으로 제 1 선반 및 포트에 대하여 피반송물을 왕복 이동할 수 있다. 또한, 이동 수단은 제 1 선반 및 포트로부터 적어도 피반송물분만큼 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치(예를 들면, 수평 방향 위치)에서 피반송물을 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 왕복 이동할 수 있다. 따라서, 이송 시스템 본체 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간을 매우 스페이스 절약화한 중에 수용할 수 있다. 특히 버퍼로서 기능하는 제 2 선반의 존재가 제 1 선반 및 포트 사이에서 피반송물을 직접 왕복 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 이라는 조건을 가미하면 이렇게 이송 시스템 본체 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다. 즉, 포트의 폭 이내에 이송 시스템 본체 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간의 폭을 작게 할 수 있다. 이 때문에, 복수의 포트를 구비하는 1개의 처리 장치에 대하여 포트와 동수의 이송 시스템 본체를 궤도를 따라 일렬로 배열되도록 배치하는 것도 가능하다. 즉, 이송 시스템 본체의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 폭을 포트의 피치와 동일하게 또는 동일 이하로 하는 것도 가능한 것이다. 이것에 의해 각 포트에 대하여 이송 시스템을 사용하는지의 여부를 적당히 선택하는 것도 가능하다.
[2]
본 발명의 이송 시스템의 일형태에서는 상기 제 2 선반은 상기 제 1 방향 위치 중 상기 이동 수단이 상기 피반송물을 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에서 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다.
이 형태에 의하면 제 2 선반은 제 1 방향 위치(예를 들면, 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된 외벽으로부터의 수평 방향의 거리가 고정된 위치) 중 피반송물을 제 1 선반 및 포트 사이에서 제 1 방향(예를 들면, 수평 방향) 및 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는 예를 들면, 제 1 선반의 하방에 배치되는 포트에 가까운 포트의 약간 하방에 위치하는 수평 방향 위치에 있어서의 이동 수단의 연직 방향의 가동 범위의 하한 부근에 제 2 선반은 배치된다. 또는 제 1 선반의 약간 상방에 위치하는 수평 방향 위치에 있어서의 이동 수단의 연직 방향의 가동 범위의 상한 부근에 제 2 선반은 배치된다. 따라서, 특히 버퍼로서 기능하는 제 2 선반의 존재가 제 1 선반 및 포트 사이에서 피반송물을 직접 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 하면서 이송 시스템 본체 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다. 따라서, 이송 시스템 본체의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 형상을 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다.
또는 본 발명의 이송 시스템의 다른 형태에서는 상기 제 2 선반은 상기 원래의 이송 진로에 있어서의 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에 배치되어 있다.
이 형태에 의하면 제 2 선반은 원래의 이송 진로에 있어서의 제 1 선반 및 포트 사이에 배치되어 있고, 이들 제 1 선반 및 제 2 선반 및 포트의 3자는 모두 원래의 이송 진로에 상호 간에 거리를 둔 형태로 겹쳐서 배치된다. 따라서, 제 2 방향 위치에 있어서 이들 3자 사이에서 피반송물을 이동시킬 때에 있어서의 통로 또는 공간을 방해하지 않도록 하면서 이송 시스템 본체 내에 있어서의 피반송물을 이동시키기 위한 통로 또는 공간은 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다. 따라서, 이송 시스템 본체의 외부 프레임 또는 외부 케이스 등의 외형 형상을 최소한에 가까운 것으로 할 수 있다.
[3]
본 발명의 이송 시스템의 다른 형태에서는 상기 처리 장치는 상기 포트를 복수개 갖고, 상기 이송 시스템 본체는 그 외형 치수에 있어서 상기 포트의 배열 피치 이하의 폭을 가짐과 아울러, 상기 포트가 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 상기 제 1 방향이 일치하도록 배치된다.
이 형태에 의하면 이송 시스템 본체는 그 외형 치수에 있어서 포트의 배열 피치 이하의 폭을 가짐과 아울러, 전형적으로는 궤도에 걸친 방향인 포트가 배열된 방향에 대하여 직교하는 방향으로 제 1 방향이 일치하므로 복수의 이송 시스템 본체를 포트에 1대 1 대응시켜서 배치하는 것도 가능하게 된다. 포트의 폭 방향에 대하여 이송 시스템 본체의 폭이 좁으므로 이렇게 이송 시스템 본체를 포트의 배열에 맞춰서 복수 배열하는 것도 가능하게 된다.
[4]
본 발명의 이송 시스템의 다른 형태에서는 상기 반송차는 상기 피반송물을 연직 방향으로 세로 이송하고, 상기 제 1 방향은 상기 연직 방향에 대하여 수직인 수평 일방향이며, 상기 제 2 방향은 상기 연직 방향이다.
이 형태에 의하면 반송차는 처리 장치에 이송 시스템이 배치되어 있지 않은 경우에는 연직 방향으로 연장되는 원래의 이송 진로를 따라 포트에 대하여 세로 이송할 수 있고, 처리 장치에 이송 시스템이 배치되어 있는 경우에도 동일한 요령에 의해 원래의 이송 진로를 따라 제 1 선반에 대하여 세로 이송할 수 있다. 또한, 이동 수단에 의해 제 1 선반에 탑재되어 있는 피반송물을 수평 일방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써 제 2 선반 또는 포트까지 이동시킬 수 있다. 또는 이동 수단에 의해 포트에 탑재되어 있는 피반송물을 수평 일방향 및 연직 방향으로 이동시킴으로써 제 2 선반 또는 제 1 선반까지 이동시킬 수 있다.
이 형태에서는 반송차는 예를 들면, 피반송물을 승강시킬 수 있는 호이스트 기구가 구비되어 있고, 반송시(즉, 반송에 있어서의 주행시를 포함함)에 피반송물을 반송차 내에 유지하고, 이송시에는 예를 들면, 처리 장치 등의 포트 또는 스토커 등의 이동용 선반과의 사이에서 피반송물을 연직 방향으로 내리거나 또는 끌어 올린다. 여기에서, 반송차에 있어서의 「세로 이송」이란, 연직 방향의 이동에 의해 피반송물을 이송하는 것을 의미한다. 궤도의 연직 방향에는 전형적으로 처리 장치에 있어서의 포트가 설치된다. 이 경우에 이 형태에 의하면 제 1 선반은 이송 위치에 정지되어 있는 반송차와 포트와의 사이에 배치되고, 제 2 선반은 이 제 1 선반의 하방에는 구체적으로 제 1 선반과 포트 사이 또는 포트보다 하방에 배치된다.
[5]
본 발명의 이송 시스템의 다른 형태에서는 상기 이동 수단은 상기 피반송물을 파지하는 파지 수단과, 상기 파지 수단을 상기 제 1 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 1 이동부와, 상기 파지 수단을 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 2 이동부를 갖는다.
이 형태에 의하면 이동 수단은 그 동작시에 예를 들면, 피반송물의 상부를 파지할 수 있는 그리퍼, 피반송물을 하방으로부터 지지할 수 있는 이송 기구 등의 파지 수단에 의해 피반송물을 파지한다. 이어서, 예를 들면 액추에이터, 모터 등의 동력에 의해 구동되는 예를 들면, 수평 이동부인 제 1 이동부와, 예를 들면 연직 이동부인 제 2 이동부에 의해 포트, 제 1 선반 및 제 2 선반 사이(즉, 3요소)에 있어서의 제 1 방향(예를 들면, 수평 일방향) 및 제 2 방향(예를 들면, 연직 방향)으로 피반송물을 파지하는 이동 수단이 이동된다. 이렇게, 두 방향의 이동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해 3요소에 있어서의 어느 탑재면에나 신속하게 피반송물을 이동시킬 수 있다.
본 발명의 작용 및 다른 이득은 이어서 설명하는 발명을 실시하기 위한 최선의 형태로부터 명백하게 된다.
도 1은 실시형태의 이송 시스템을 구비하는 제조 시스템의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 이송 장치의 일방향에 있어서의 단면도이다.
도 3은 도 1의 이송 장치의 타방향에 있어서의 단면도이다.
도 4는 실시형태의 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 5는 도 1의 제조 시스템의 시스템 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 6은 도 1의 제조 시스템에 있어서의 통신 방법을 설명하는 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
<실시형태>
<제조 시스템의 구성>
우선, 실시형태에 따른 이송 시스템을 구비하는 제조 시스템의 구성에 대해서 도 1~도 3을 참조해서 설명한다. 여기에 도 1은 실시형태에 따른 이송 시스템을 구비하는 제조 시스템의 외관을 모식적으로 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1의 이송 장치를 일방향(즉, 도 1에 있어서의 전후 방향)으로 절단한 경우의 단면을 개략적으로 나타내는 일방향 단면도이며, 도 3은 도 1의 이송 장치를 타방향(즉, 도 1에 있어서의 좌우 방향)으로 절단한 경우의 단면을 개략적으로 나타내는 타방향 단면도이다.
도 1에 있어서 제조 시스템(100)은 레일(1)과, 비이클(10)과, 제조 장치(20)와, 버퍼 장치(30)를 구비한다. 제조 시스템(100)은 레일(1)을 따라 비이클(10)을 주행시킴과 아울러, 복수의 웨이퍼를 수용할 수 있는 FOUP(즉, 본 발명에 따른 「피반송물」의 일례)(3)를 제조 장치(20)로 반송하는 반송 기능과, 제조 장치(20)에 의해 FOUP(3) 내의 웨이퍼에 각종 처리를 실시함으로써 반도체 소자를 제조하는 제조 기능을 갖는다.
레일(1)은 본 발명에 따른 「궤도」의 일례로서 비이클(10)이 주행하기 위한 궤도의 역할을 한다. 레일(1)은 제조 시스템(100)이 설치되는 시설의 천정에 부설되어 있다.
비이클(10)은 본 발명에 따른 「반송차」의 일례로서 리니어 모터를 동력으로 해서 구동되는 OHT(Overhead Hoist Transport)(천정 주행차)이며, 레일(1)에 매달리는 형태로 부착되어 있다. 비이클(10)은 레일(1)을 따라 주행함과 아울러, 제조 장치(20) 외에 도시하지 않은 스토커, OHT 버퍼 및 대형 스토커 등에 FOUP(3)를 반송한다. 비이클(10)에 있어서의 주행 및 반송 등의 동작은 후술하는 비이클 컨트롤러에 의해 제어된다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상 레일(1) 상에는 1대의 비이클(10)밖에 도시하지 않지만 전형적으로 보다 많은(예를 들면, 수십대 또는 수백대) 비이클(10)이 구비되어 있다.
비이클(10)은 내부에 도시하지 않은 권취축을 갖는 권취부(12)와, 권취 벨트(13)와, 그리퍼(14)로 이루어지는 호이스트 기구(11)를 구비한다. 권취 벨트(13)의 일단은 권취축에 고정되어 있고, 그 타단은 그리퍼(14)에 고정되어 있다. 권취부(12)는 도시하지 않은 모터를 동력으로 해서 권취축을 회전시켜 권취 벨트(13)를 일단으로부터 권취하거나 또는 권출 가능하게 구성되어 있다. 그리퍼(14)는 내측으로 굴곡된 양단부에 의해 FOUP(3)의 상부(즉, 플랜지)(3a)를 파지하는 파지 상태 또는 FOUP(3)의 플랜지(3a)를 해방하는 해방 상태로 변위 가능하게 구성되어 있다. 이러한 구성을 갖는 호이스트 기구(11)는 권취 벨트(13)가 권취되거나 또는 권출됨으로써 레일(1)의 하방에서 그리퍼(14)를 연직 방향으로 승강시킴과 아울러, 연직 위치에서 그리퍼(14)를 변위시킴으로써 FOUP(3)를 비이클(10)측으로부터 후술하는 버퍼 장치(30)측으로 이송하거나 또는 버퍼 장치(30)측으로부터 비이클(10)측으로 이송할 수 있다. 이렇게 본 실시형태에서는 비이클(10)에 의한 이송 진로가 비이클(10)의 이송 위치(즉, 도 1에 나타내어지는 정지 위치)로부터 연직 하방으로 연장되어 있고, FOUP(3)를 세로 이송하도록 구성되어 있다.
제조 장치(20)는 본 발명에 따른 「처리 장치」의 일례로서 FOUP(3), 실제로는 FOUP(3)에 수용되어 있는 웨이퍼에 대하여 소정 처리를 행한다. 제조 장치(20)는 내부에 웨이퍼에 대하여 소정 처리를 실시하는 도시하지 않은 처리부가 구비되어 있고, 그 처리부에 처리해야 하는 웨이퍼를 출입시킬 수 있는 2개의 개구(H1, H2)가 형성되어 있다. 제조 장치(20)는 2개의 개구(H1, H2)에 각각 인접하는 외부에 또한 레일(1)의 하방에 버퍼 장치(30)와의 사이에서 FOUP(3)를 이송하기 위한 포트로서 기능하는 2개의 로드 포트(LP1, LP2)를 구비한다. 제조 장치(20)는 2개의 로드 포트(LP1, LP2) 각각에 이송된 FOUP(3) 내부의 웨이퍼를 개구(H1 또는 H2)를 통해 처리부에 출입시키는 도시하지 않은 내외 이송 기구를 구비한다. 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리, 웨이퍼의 출입 등의 동작은 후술하는 제조 컨트롤러에 의해 제어된다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 레일(1)의 하방에는 1기의 제조 장치(20)밖에 도시하지 않지만 전형적으로 FOUP(3)에 대하여 상이한 처리를 행하는 보다 많은(예를 들면, 수대 또는 수백대) 제조 장치(20)가 구비된다. 또한, 개구 및 로드 포트의 개수에 대해서도 각각 2개에 한정되지 않고, 3개 이상이어도 좋고, 이들의 배치에 대해서도 각종 형태가 있을 수 있다.
버퍼 장치(30)는 본 발명에 따른 「이송 시스템」의 일례로서 비이클(10)과 제조 장치(20) 사이에서 FOUP(3)가 효율적으로 주고 받아지도록 비이클(10)과의 사이 및 제조 장치(20)와의 사이에서 각각 FOUP(3)를 이송한다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 2개의 로드 포트(LP1, LP2)를 구비하는 제조 장치(20)에는 한쪽의 로드 포트(LP1)에 대응하는 1기의 버퍼 장치(30)밖에 도시하지 않지만 다른 실시형태로서 양쪽의 로드 포트(LP1, LP2)에 각각 대응하는 2기의 버퍼 장치(30)가 구비되어도 좋다.
버퍼 장치(30)는 본체부(31)와, OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2)와, 이송 기구(32)를 구비한다. 도 2에 있어서 본체부(31)는 로드 포트(LP1)에 그 전방면측(즉, 도 2에 있어서의 좌측)으로부터 맞붙임 가능하게 역 L자형으로 구성되어 있는 케이스체이다. 본체부(31)는 그 맞붙임시에 길이 방향이 레일(1)의 방위에 직교하는 방향(즉, 본 발명에 따른 「수평 일방향」의 일례이며, 도 2에 있어서의 X 방향)에 걸치도록 배치된다. 본체부(31)는 X 방향에 적어도 2개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이{즉, 도 2에 있어서의 길이(Lx)}를 갖고 있고, 레일(1)의 방위에 적어도 1개의 FOUP(3)를 배치할 수 있는 길이{즉, 도 3에 있어서의 길이(Lw)}를 갖는다. 또한, 여기에서는 설명의 편의상, 본체부(31)가 로드 포트(LP1)에 맞붙여진 상태로 있는 버퍼 장치(30)의 구성에 대하여 설명한다.
본체부(31) 내부에는 OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2)와, 이송 기구(32)가 설치되어 있다. 본체부(31)는 레일(1)의 연직 방향{즉, 도 2 및 도 3에 있어서의 일점쇄선(G1)으로 나타내어짐}에 대응하는 상면에 OHT 포트(P1)와 비이클(10) 사이에서 FOUP(3)를 주고 받을 수 있는 개구(H11)가 형성되어 있다. 또한, 로드 포트(LP1) 상에 탑재되는 FOUP(3)에 인접하는 측면에 로드 포트(LP1){즉, 제조 장치(20)}와의 사이에서 FOUP(3)를 주고 받을 수 있는 개구(H12)가 형성되어 있다.
OHT 포트(P1)는 본 발명에 따른 「제 1 선반」의 일례로서 제조 장치(20)에 있어서 소정 처리가 행해지거나 또는 행해진 FOUP(3)를 개구(H11)를 통해 비이클(10)과의 사이에서 이송하기 위한 버퍼 장치(30)에 있어서의 포트로서 기능한다. OHT 포트(P1)는 비이클(10)이 세로 이송{즉, 이송시에 FOUP(3)가 연직 방향으로만 이동되는 이송}에 의해 단시간에 FOUP(3)를 이송할 수 있게 레일(1)의 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 상방에 설치되어 있다. 도 1~도 3으로부터 명백한 바와 같이, OHT 포트(P1)는 가령 버퍼 장치(30)를 제거한 경우에 비이클(10)이 제조 장치(20)의 로드 포트(LP1)에 대하여 FOUP(3)를 세로 이송할 때에 있어서의 이송 진로(즉, 본 발명에 따른 「원래의 이송 진로」)를 차단하는 위치에 존재하고 있다. 따라서, 비이클(10)에서 보면 버퍼 장치(30)의 존부에 관계없이 평면에서 봐서 동일 위치에 있는 즉, 이송 위치의 연직 하방에 있는 포트에 대하여 이송 동작을 행하면 충분하다. 즉, 비이클(10)에서 봐서 포트의 높이만 다른 차이이면 비이클(10)이 이송 동작을 행하는 것에 대한 제어는 버퍼 장치(30)의 존부에 관계없이 거의 동일하게 되므로 실천상 매우 유리하다.
버퍼(P2)는 본 발명에 따른 「제 2 선반」의 일례로서 제조 장치(20)에 있어서 소정 처리가 행해지거나 또는 행해진 FOUP(3)를 적어도 일시적으로 탑재하기 위한 일시 탑재 선반으로서 기능한다. 버퍼(P2)는 후술하는 이송 기구(32)에 의한 FOUP(3)의 이송을 방해하지 않도록 레일(1)의 연직 방향에 있어서의 로드 포트(LP1)보다 하방에, 또한 그 X 방향에 설치되어 있다.
이송 기구(32)는 본 발명에 따른 「이동 수단」의 일례로서 로드 포트(LP1)와, OHT 포트(P1)와, 버퍼(P2) 사이를 이동함과 아울러, 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송한다. 이송 기구(32)는 파지부(33)와, 수평 이동 기구(34)와, 승강 기구(35)가 구비되어 있고, 본체부(31)에 있어서의 가장 전방면측(즉, 도 2에 있어서의 좌측)에 설치되어 있다. 파지부(33)는 본 발명에 따른 「파지부」의 일례이며, 한쌍의 평판상의 부위를 갖고 있고, 이 부위가 플랜지(3a)의 하방에 X 방향으로부터 들어감과 아울러 플랜지(3a)의 양단부를 하방으로부터 지지함으로써 FOUP(3)를 파지한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 수평 이동 기구(34)는 본 발명에 따른 「수평 이동부」의 일례이며, 길이 방향이 X 방향과 평행하게 되도록 설치되어 있는 레일부(34a)와, 그 레일부를 따라 X 방향으로 슬라이딩할 수 있는 슬라이드부(34b)를 구비한다. 수평 이동 기구(34)의 선단부{즉, 슬라이드부(34b)에 있어서의 제조 장치(20)측의 단부}에는 파지부(33)가 고정되어 있다. 승강 기구(35)는 본 발명에 따른 「연직 이동부」의 일례이며, 도시하지 않은 모터를 동력원으로 해서 연직 방향으로 회전할 수 있는 회전대(35a)와, 그 회전대에 고정되어 있고, 회전대의 회전에 따라 연직 방향으로 이동하는 승강부(35b)를 구비한다. 승강부(35b)에는 레일부(34a)의 일단부가 고정되어 있다.
이송 기구(32)는 상술한 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의한 상호 동작에 의해 파지부(33)를 로드 포트(LP1), OHT 포트(P1) 및 버퍼(P2) 사이에서 X 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 1 방향」의 일례) 및 연직 방향(즉, 본 발명에 따른 「제 2 방향」의 일례)으로 이동시킴과 아울러, 파지부(33)에 의해 FOUP(3)를 파지하거나 또는 해방함으로써 이들 사이에서 FOUP(3)를 이송한다. 이송 기구(32)에 있어서의 이동, FOUP(3)의 이송 등의 동작은 후술하는 버퍼 컨트롤러에 의해 제어된다.
<제조 시스템의 시스템 구성>
이어서, 제조 시스템(100)의 시스템 구성에 대해서 도 5 및 도 6을 참조해서 설명한다. 여기에 도 5는 도 1의 제조 시스템(100)의 시스템 구성을 나타내는 블럭도이며, 도 6은 도 5에 있어서의 버퍼 장치(30), 비이클(10) 및 제조 장치(20)(본 실시형태에 따른 이송 시스템, 반송차 및 처리 장치) 사이의 통신 방법을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5에 있어서 제조 시스템(100)은 제어계로서 제조 지시부(101)와, 반송 지시부(102)와, 비이클(10)에 있어서의 각 부를 제어하는 비이클 컨트롤러(10a)와, 제조 장치(20)에 있어서의 각 부를 제어하는 제조 컨트롤러(20a)와, 버퍼 장치(30)에 있어서의 각 부를 제어하는 버퍼 컨트롤러(30a)를 구비한다.
제조 지시부(101)는 제조 시스템 관리자에 의해 입력되는 정보로부터 반도체 제조 스케줄을 생성하고, 생성된 반도체 제조 스케줄에 의거하여 유선에 의해 접속되어 있는 각 제조 컨트롤러(20a)에 대하여 소정 FOUP(3){실제로는 FOUP(3)에 수용되어 있는 웨이퍼}에 대한 처리를 지시함과 아울러, 유선에 의해 접속되어 있는 반송 지시부(102)에 대하여 처리가 실시되는 소정 FOUP(3)의 반송을 지시한다. 제조 지시부(101)는 제조 시스템(100)에 있어서의 호스트 컴퓨터로서 기능한다.
반송 지시부(102)는 OHVC(Overhead Hoist Vehicle Controller)를 포함해서 구성되어 있다. 반송 지시부(102)는 제조 지시부(101)로부터의 요구에 의거하여 반송 스케줄을 생성하고, 생성된 반송 스케줄에 의거하여 무선에 의해 접속되는 각 비이클 컨트롤러(10a)에 대하여 레일(1) 상에 있어서의 소정 FOUP(3)의 반송을 지시함과 아울러, 유선에 의해 접속되어 있는 각 버퍼 컨트롤러(30a)에 대하여 맞붙여지는 제조 장치(20)에 있어서의 처리가 실시되는 소정 FOUP(3)의 이송을 지시한다.
도 6에 있어서 비이클 컨트롤러(10a)는 E84 통신용 송수신부(10b)를 구비하고 있고, 송수신부(10b)를 통해 적외선에 의해 버퍼 컨트롤러(30a)와 접속된다. 비이클 컨트롤러(10a)는 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)로의 이송시에 「E84(A)」 신호(즉, 본 발명에 따른 「제 1 시스템 신호」의 일례)를 버퍼 컨트롤러(30a)에 송신한다. 여기에서, 비이클 컨트롤러(10a)에 있어서의 「E84(A)」는 예를 들면, OHT 포트(P1) 상에 FOUP(3)를 이송하는 취지(바꿔 말하면, 이송의 요구)를 나타내는 신호이다. 비이클 컨트롤러(10a)는 버퍼 컨트롤러(30a)로부터의 반신에 따라 OHT 포트(P1)에 FOUP(3)를 이송하도록 호이스트 기구(11)를 제어한다.
버퍼 컨트롤러(30a)는 본 발명에 따른 「제어 수단」의 일례 및 「통신 수단」의 일부이며, 비이클 컨트롤러(10a)와 동일한 송수신부(30b)(본 발명에 따른 「통신 수단」의 일부)가 구비되어 있고, 송수신부(30b)를 통해 비이클 컨트롤러(10a)와 접속된다. 버퍼 컨트롤러(30a)는 비이클 컨트롤러(10a)로부터의 「E84(A)」 신호에 응답하여 「E84(P)」 신호(즉, 본 발명에 따른 「제 2 시스템 신호」의 일례)를 비이클 컨트롤러(10a)에 송신한다. 여기에서, 버퍼 컨트롤러(30a)에 있어서의 「E84(P)」는 예를 들면, OHT 포트(P1) 상에 FOUP(3)가 탑재되어 있는지의 여부 및/또는 OHT 포트(P1) 상에 FOUP(3)를 이송할 수 있는지의 여부의 취지(바꿔 말하면, 이송의 허가)를 나타내는 신호이다.
한편, 버퍼 컨트롤러(30a)는 유선에 의해 제조 컨트롤러(20a)와 접속되어 있고, OHT 포트(P1) 또는 버퍼(P2)로부터 로드 포트(LP1)로의 이송시에 비이클 컨트롤러(10a)로부터 버퍼 컨트롤러(30a)에 송신되는 신호와 동계의 「E84(A)」 신호를 제조 컨트롤러(20a)에 송신한다. 여기에서, 버퍼 컨트롤러(30a)에 있어서의 「E84(A)」는 예를 들면, 로드 포트(LP1) 상에 FOUP(3)를 이송하는 취지(바꿔 말하면, 이송의 요구)를 나타내는 신호이다. 버퍼 컨트롤러(30a)는 제조 컨트롤러(20a)로부터의 반신에 따라 로드 포트(LP1)에 FOUP(3)를 이송하도록 이송 기구(32)를 제어한다.
제조 컨트롤러(20a)는 버퍼 컨트롤러(30a)로부터의 「E84(A)」 신호에 응답하여 버퍼 컨트롤러(30a)로부터 비이클 컨트롤러(10a)에 송신되는 신호와 동계의 「E84(P)」 신호를 버퍼 컨트롤러(30a)에 송신한다. 여기에서, 제조 컨트롤러(20a)에 있어서의 「E84(P)」는 예를 들면, 로드 포트(LP1) 상에 FOUP(3)가 탑재되어 있는지의 여부, 로드 포트(LP1) 상에 FOUP(3)를 이송할 수 있는지의 여부 및/또는 제조 장치(20) 내부에 있어서 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(3)에 있어서의 웨이퍼에 대한 처리가 행해져 있는지의 여부의 취지(바꿔 말하면, 이송의 허가)를 나타내는 신호이다.
상술한 바와 같이, 비이클 컨트롤러(10a)가 송신하는 신호와, 버퍼 컨트롤러(30a)가 제조 컨트롤러(20a)에 송신하는 신호는 동계임과 아울러, 제조 컨트롤러(20a)가 송신하는 신호와, 버퍼 컨트롤러(30a)가 비이클 컨트롤러(20a)에 송신하는 신호는 동계이다. 이것에 의해 버퍼 장치(30)를 경유하는 이송을 행해도 행하지 않더라도, 비이클 컨트롤러(10a) 및 제조 컨트롤러(20a) 각각에 있어서 교환되는 신호, 제어 커맨드, 프로세스 또는 프로그램 등을 변경할 필요가 없다. 이 때문에, 시스템 상에 있어서도 로드 포트(LP1)에 대하여 버퍼 장치(30)를 용이하게 맞붙일 수 있어 버퍼 장치(30)의 맞붙임의 자유도가 높아진다. 또한, 상술한 「E84(A)」 또는 「E84(P)」 신호의 교환을 총칭하여 이하, 「E84 통신」이라고 적당히 기재하는 것으로 한다.
<제조 시스템에 있어서의 이송 동작 처리>
이어서, 제조 시스템(100)에 있어서의 이송 장치를 통한 반송차 및 처리 장치 간의 이송 동작에 대해서 도 4를 참조해서 설명한다. 도 4는 본 실시형태의 이송 동작 처리를 나타내는 플로우챠트이다.
도 4에 있어서 우선, 제조 지시부(101)에 의한 반도체 제조 스케줄에 의거하여 제조 장치(20)에 대하여 소정의 FOUP(3)에 대한 처리가 지시된다. 또한, 상기 반도체 제조 스케줄에 의거하여 반송 지시부(102)에 의해 비이클(10)에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)의 반송이 지시됨과 아울러, 버퍼 장치(30)에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 처리가 실시되는 FOUP(3)의 이송이 지시된다. 여기에서, 최초의 반송의 대상이 되는 FOUP를 「FOUP0」으로 한다. 이 후, 비이클 컨트롤러(10a)의 제어하에서 비이클(10)(즉, 도 4에 있어서 「OHT」라고 기재됨)이 레일(1)을 따라 주행하고, 버퍼 장치(30)에 대응하는 소정 이송 위치(즉, 도 1~도 3으로 나타내어지는 정지 위치)에서 정지된다. 그러면, 비이클 컨트롤러(10a) 및 버퍼 컨트롤러(30a) 사이의 E84 통신에 의해 비이클(10)에 반송되어 있는 FOUP0을 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)로 이송할 수 있는 것이 확인된다. 그러면, 호이스트 기구(11)에 의해 FOUP0을 파지하는 그리퍼(14)가 비이클(10) 내부로부터 버퍼 장치(30)에 있어서의 개구(H11)를 통해 연직 방향으로 하강되어 FOUP0이 OHT 포트(P1) 상면에 접촉되는 연직 위치에서 그리퍼(14)로부터 FOUP0이 해방된다. 즉, 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 FOUP0이 이송된다(스텝 S51).
이어서, 버퍼 장치(30)에 있어서 버퍼 컨트롤러(30a)의 제어하에서 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의해 파지부(33)가 OHT 포트(P1) 상의 FOUP0의 플랜지(3a) 하방으로 이동된 후에 파지부(33)가 플랜지(3a) 하면에 접촉될 때까지 상승된다. 이렇게 해서 파지부(33)에 의해 FOUP0이 파지된다. 그러면, 버퍼 컨트롤러(30) 및 제조 컨트롤러(20a) 사이의 E84 통신에 의해 FOUP0을 OHT 포트(P1)로부터 로드 포트(LP1)로 이송할 수 있는 것이 확인된다. 그러면, FOUP0을 파지하는 파지부(33)가 개구(H12)를 통해 로드 포트(LP1)(즉, 도 6에 있어서 「L 포트」라고 기재됨) 상방으로 이동된 후에 FOUP0이 로드 포트(LP1)에 접촉될 때까지 하강된다. 이렇게 해서, OHT 포트(P1)로부터 로드 포트(LP1)로 FOUP0이 이송된다(스텝 S52). 이 후에 파지부(33)는 로드 포트(LP1) 상의 FOUP0의 측방으로 수평 이동되어 파지부(33)로부터 FOUP0이 해방된다. 로드 포트(LP1)로 이송된 FOUP0 내부의 웨이퍼는 제조 컨트롤러(20a)의 제어하에서 제조 장치(20) 내부에 일단 수용되어 그 내부에 있어서 소정 처리가 실시된 후에 재차 로드 포트(LP1) 상의 FOUP0 내부에 탑재된다.
이어서, 반송 지시부(102)로부터의 새로운 지시에 의거하여 스텝 S51의 동작과 마찬가지로 해서 비이클 컨트롤러(10a)의 제어하에서 버퍼 컨트롤러(30a)와의 사이의 E84 통신에 의해 OHT 포트(P1)에 FOUP(3)를 이송할 수 있는 것이 확인된 후에, 단, 전회와는 다른 새롭게 이송 위치에 도착한 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)에 제 2 반송의 대상이 되는 FOUPn{즉, 「n」은 FOUP(3)가 반송되는 순서를 나타내내는 변수}이 이송된다(스텝 S53). 그러면, 버퍼 컨트롤러(30a)의 제어하에서 수평 이동 기구(34) 및 승강 기구(35)에 의해 OHT 포트(P1)에 있어서의 FOUPn을 파지하는 파지부(33)가 버퍼(P2) 상방으로 이동된 후에 FOUPn이 버퍼(P2)에 접촉될 때까지 하강된다. 이렇게 해서 OHT 포트(P1)로부터 버퍼(P2)에 FOUPn이 이송된다(스텝 S54).
이어서, 버퍼 컨트롤러(30a) 및 제조 컨트롤러(20a) 사이의 E84 통신에 의해 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 제조 장치(20)에 있어서의 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S55). 이 판정의 결과, 소정 처리가 미완료라고 판정되는 경우에(스텝 S55: NO), 소정 처리가 완료될 때까지 대기 상태가 된다.
한편, 스텝 S55의 판정의 결과, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUP0)에 대하여 소정 처리가 완료되어 있다고 판정되는 경우에(스텝 S55: YES), 이송 기구(32)에 의해 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 FOUP가 이송된다(스텝 S56). 이 때, 처리가 완료된 FOUP는 버퍼(P2)에 탑재되어 있는 FOUPn의 상방을 빠져나가도록 해서 OHT 포트(P1)까지 이동된다. 이어서, 버퍼 컨트롤러(30a) 및 제조 컨트롤러(20a) 사이의 E84 통신에 의해 로드 포트(LP1)에 FOUP(3)를 이송할 수 있는 것이 확인된 후에 물품이 적재되어 있지 않게 된{즉, 이제는 FOUP(3)를 파지하고 있지 않은} 이송 기구(32)에 의해 버퍼(P2)로부터 로드 포트(LP1)로 FOUPn이 이송된다(스텝 S57).
이 후에 반송 지시부(102)로부터의 지시에 의거하여 물품이 적재되어 있지 않은{즉, FOUP(3)를 하고 있지 않은} 비이클(10)이 소정 이송 위치에서 정지된다. 그러면, 비이클 컨트롤러(10a)의 제어하에서 버퍼 컨트롤러(30a)와의 사이의 E84 통신에 의해 OHT 포트(P1)에 이송해야 하는 FOUP(3)가 탑재되어 있는 것이 확인된 후에 호이스트 기구(11)에 의해 물품이 적재되어 있지 않은 그리퍼(14)가 개구(H11)를 통해 연직 방향으로 하강되고, 그리퍼(14)에 의해 처리가 완료된 FOUP가 파지된다. 즉, OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 처리가 완료된 FOUP가 이송된다(스텝 S58). 이 후에 호이스트 기구(11)에 의해 처리가 완료된 FOUP를 유지하는 그리퍼(14)가 상승되어 비이클(10) 내부에 유지된다. 이렇게 해서 비이클(10)이 주행 가능한 상태가 된다.
이어서, 비이클(10) 및 버퍼 장치(30) 사이의 E84 통신에 의해 반송 지시부(102)에 의한 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S59). 이 판정의 결과, 그 지시가 있다고 판정되는 경우에(스텝 S59: YES), 제 3 반송의 대상이 되는 FOUP를 「FOUPn+1」로 한다(스텝 S60). 그러면, 스텝 S51의 동작과 마찬가지로 해서 재차 스텝 S53의 동작으로서, 단, 전회와는 다른 새롭게 이송 위치에 도착한 비이클(10)로부터 OHT 포트(P1)로 제 3 반송의 대상이 되는 FOUPn+1이 이송된다. 이 후에 스텝 S54~S59의 동작으로서 OHT 포트(P1)로부터 버퍼(P2)로 FOUPn+1이 이송된다. 이어서, 로드 포트(LP1) 상의 FOUP(여기에서는, FOUPn)에 대하여 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정되어 소정 처리가 완료되어 있다고 판정된 경우에 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료되어 있는 FOUP가 이송된다. 이어서, 버퍼(P2)로부터 로드 포트(LP1)에 FOUPn+1이 이송된 후에 OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 처리가 완료되어 있는 FOUP가 이송되면 처리를 실시해야 하는 FOUP(3)의 반송의 지시가 더 있는지의 여부가 판정된다.
한편, 스텝 S59의 판정의 결과, 지시가 더 없다고 판정되는 경우에(스텝 S59: NO), 스텝 S55, S56 및 S58의 동작으로서 로드 포트(LP1) 상의 FOUP[여기에서는, FOUPn+x{즉, 「n+x」는 마지막 반송의 대상이 되는 FOUP(3)로 나타내어짐}]에 대하여 소정 처리가 완료되어 있는지의 여부가 판정되어 소정 처리가 완료되어 있으면 로드 포트(LP1)로부터 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 마지막 FOUP가 이송되면 OHT 포트(P1)로부터 비이클(10)에 그 마지막 FOUP가 이송된다. 이것에 의해 제조 장치(20)에 의해 소정 처리가 실시된 모든 FOUP(3)가 버퍼 장치(30)를 통해 비이클(10)에 이송되어 일련의 이송 동작 처리가 종료된다.
이렇게, 본 실시형태의 이송 동작 처리에 의하면 로드 포트(LP1)에 있어서의 FOUP(3)의 교체를 행하기 위한 버퍼(P2)를 사용하여 처리가 이제부터 실시되는 FOUP(3)와, 처리가 완료된 FOUP(3)를 효율적으로 교체함으로써 제조 장치(20)의 가동률을 향상시킬 수 있다.
또한, 스텝 S58의 동작은 스텝 S56의 동작으로서 OHT 포트(P1)에 처리가 완료된 FOUP(3)가 이송된 후이면 스텝 S57과 잇따라 행해져도 좋다.
본 발명은 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 특허 청구 범위 및 명세서 전체로부터 판독되는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적당히 변경 가능하며, 그러한 변경을 수반하는 이송 장치도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다. 예를 들면, 2개의 포트에 대하여 2개의 제 2 선반을 구비하는{즉, 실시형태의 버퍼 장치(30)를 2개 나란히 배치함} 이송 시스템은 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
1: 궤도 3: FOUP
10: 비이클 20: 제조 장치
30: 버퍼 장치 32: 이송 기구
100: 제조 시스템

Claims (5)

  1. 궤도를 따라 주행함과 아울러 피반송물을 반송하는 반송차와의 사이 및 상기 피반송물에 수용되어 있는 피처리물에 대하여 처리를 행하는 처리 장치에 있어서의 상기 피반송물 또는 상기 피처리물을 출입시킬 수 있는 포트와의 사이에서 각각 상기 피반송물을 이송하는 이송 시스템으로서:
    상기 반송차가 상기 피반송물을 이송하는 이송 위치로부터 상기 포트에 이르는 원래의 이송 진로를 도중에 차단하도록 배치되어 있고, 상기 반송차와의 사이에서 상기 피반송물을 이송할 수 있는 제 1 선반;
    상기 피반송물을 적어도 일시적으로 탑재할 수 있는 제 2 선반;
    상기 처리 장치에 대하여 접근 및 이간하는 방향인 제 1 방향으로 상기 제 1 선반 및 상기 포트에 대하여 상기 피반송물을 왕복 이동할 수 있음과 아울러, 상기 제 1 선반 및 상기 포트로부터 적어도 상기 피반송물분만큼 상기 제 1 방향으로 이간된 제 1 방향 위치에서 상기 피반송물을 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 이동 수단;
    상기 반송차에 따른 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호를 상기 반송차로부터 수신 또는 상기 반송차에 대하여 송신함과 아울러, 상기 제 1 선반에 따른 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호를 상기 반송차에 대하여 송신 또는 상기 반송차로부터 수신할 수 있으며, 또한 상기 제 1 시스템 신호를 상기 처리 장치에 대하여 송신 또는 상기 처리 장치로부터 수신함과 아울러 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호를 상기 처리 장치로부터 수신 또는 상기 처리 장치에 대하여 송신할 수 있는 통신 수단; 및
    상기 반송차로부터 상기 제 1 선반으로 이송되었거나 또는 상기 제 1 선반으로부터 제 2 선반으로 이송된 상기 피반송물을 상기 포트로 이동시키는 경우에 상기 처리 장치와의 사이에서 상기 제 1 시스템 신호 및 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호의 송수신을 행하도록 상기 통신 수단을 제어함과 아울러, 상기 처리 장치로부터 수신 또는 상기 처리 장치에 대하여 송신된 상기 포트에 따른 상기 제 2 시스템 신호에 따라 상기 포트로 이송하도록 상기 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고,
    상기 제 1 선반으로 이송된 피반송물은 상기 포트 또는 상기 제 2 선반 중 어느 하나로 이송되고,
    상기 피반송물을 상기 제 1 선반으로부터 상기 포트로 이송하는 경우, 상기 제어 수단으로부터 이송을 요구하는 취지의 제 1 시스템 신호를 상기 처리 장치로 송신하고, 상기 처리 장치로부터 이송을 허가하는 취지의 제 2 시스템 신호를 상기 제어 수단이 수신한 후에, 상기 피반송물을 이송하는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 선반은 상기 제 1 방향 위치 중 상기 이동 수단이 상기 피반송물을 상기 제 1 선반 및 상기 포트 사이에서 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 이동시킬 때의 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 반송차는 상기 피반송물을 연직 방향으로 세로 이송하고,
    상기 제 1 방향은 상기 연직 방향에 대하여 수직인 수평 일방향이며,
    상기 제 2 방향은 상기 연직 방향인 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동 수단은 상기 피반송물을 파지하는 파지 수단;
    상기 파지 수단을 상기 제 1 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 1 이동부; 및
    상기 파지 수단을 상기 제 2 방향으로 왕복 이동할 수 있는 제 2 이동부를 갖는 것을 특징으로 하는 이송 시스템.
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5083278B2 (ja) * 2009-06-15 2012-11-28 村田機械株式会社 装置前自動倉庫
JP5429570B2 (ja) * 2010-03-08 2014-02-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
TWI447059B (zh) * 2012-01-10 2014-08-01 Inotera Memories Inc 晶圓倉儲系統
JP5713202B2 (ja) * 2012-01-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP2014093489A (ja) * 2012-11-06 2014-05-19 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置
JP6268921B2 (ja) 2013-10-28 2018-01-31 村田機械株式会社 通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法
CN105899444B (zh) * 2014-01-07 2017-11-10 村田机械株式会社 移载装置以及移载装置的控制方法
JP6211938B2 (ja) * 2014-01-27 2017-10-11 東京エレクトロン株式会社 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法
EP3159922B1 (en) * 2014-06-19 2019-04-17 Murata Machinery, Ltd. Carrier transport system and transport method
US10332770B2 (en) 2014-09-24 2019-06-25 Sandisk Technologies Llc Wafer transfer system
US9698036B2 (en) * 2015-11-05 2017-07-04 Lam Research Corporation Stacked wafer cassette loading system
US10672639B2 (en) * 2016-12-07 2020-06-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for automatic sending cassette pod
US10910249B2 (en) * 2017-11-13 2021-02-02 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Systems and methods for automated wafer handling
US10510573B2 (en) * 2017-11-14 2019-12-17 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Loading apparatus and operating method thereof
JP7184453B2 (ja) * 2018-05-17 2022-12-06 株式会社ディスコ 搬送システム
WO2019244466A1 (ja) * 2018-06-20 2019-12-26 村田機械株式会社 通信方法、搬送システム及び通信デバイス
JP7213056B2 (ja) * 2018-10-18 2023-01-26 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP7109863B2 (ja) * 2018-11-30 2022-08-01 株式会社ディスコ 搬送システム
JP7224728B2 (ja) * 2019-04-23 2023-02-20 株式会社ディスコ 搬送システム
CN111627834B (zh) * 2020-04-27 2024-02-06 南通通富微电子有限公司 Da设备实现联机的方法、系统、存储介质及移载机
KR102436163B1 (ko) * 2020-07-31 2022-08-25 주식회사 에스에프에이 이송 시스템 및 이송 시스템의 운영방법
CN113549720A (zh) * 2021-06-24 2021-10-26 北京中冶设备研究设计总院有限公司 高炉上料系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373451A (en) 1992-03-17 1994-12-13 Fujitsu Limited Rack transport control apparatus for a manufacturing line
US5443346A (en) 1992-07-03 1995-08-22 Shinko Electric Co., Ltd. Wafer conveying system in a clean room
US20060222479A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead traveling vehicle system
JP2009010287A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Tokyo Electron Ltd 基板の処理システム

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2673744B2 (ja) 1990-11-19 1997-11-05 昭和電工株式会社 排水溝の施工方法
US5746008A (en) * 1992-07-29 1998-05-05 Shinko Electric Co., Ltd. Electronic substrate processing system using portable closed containers
US6579052B1 (en) 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
JPH11121582A (ja) * 1997-10-15 1999-04-30 Mitsubishi Electric Corp 半導体ウェハ製造設備制御方法および半導体ウェハ製造設備
KR100538812B1 (ko) * 1999-06-22 2005-12-23 주식회사 하이닉스반도체 반도체 제조를 위한 확산공정에서 자동반송 로봇의 큐 생성시 문제점 해결방법 및 기록매체
US6580967B2 (en) * 2001-06-26 2003-06-17 Applied Materials, Inc. Method for providing distributed material management and flow control in an integrated circuit factory
KR100577622B1 (ko) 2001-12-04 2006-05-10 로제 가부시키가이샤 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치
US6715978B2 (en) * 2002-04-22 2004-04-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd Interbay transfer interface between an automated material handling system and a stocker
US6663340B1 (en) * 2002-08-30 2003-12-16 Motorola, Inc. Wafer carrier transport system for tool bays
JP2005150129A (ja) * 2003-11-11 2005-06-09 Asyst Shinko Inc 移載装置及び移載システム
JP4045451B2 (ja) * 2003-12-26 2008-02-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
JP4796024B2 (ja) * 2007-08-30 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 容器交換システム及び容器交換方法
JP5234328B2 (ja) * 2008-04-11 2013-07-10 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP4720932B2 (ja) * 2009-02-10 2011-07-13 ムラテックオートメーション株式会社 移載装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5373451A (en) 1992-03-17 1994-12-13 Fujitsu Limited Rack transport control apparatus for a manufacturing line
US5443346A (en) 1992-07-03 1995-08-22 Shinko Electric Co., Ltd. Wafer conveying system in a clean room
US20060222479A1 (en) 2005-03-31 2006-10-05 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Overhead traveling vehicle system
JP2009010287A (ja) * 2007-06-29 2009-01-15 Tokyo Electron Ltd 基板の処理システム

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