KR100577622B1 - 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 - Google Patents

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Abstract

파지수단이 용기를 변형시키거나 해서 내용물에 영향을 주거나 하는 일이 없는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치를 제공하는 것으로서, 좌우 양측에 지주(3)를 사용한 하우징(2)을 제작하고, 하우징(2)의 전면측 지주사이에는 한쌍의 유지용 핑거(13,13)를 구비한 반송기(10)의 지지보(4)를 수평방향의 상하이동 가능하게 되도록 부착함과 아울러, 후면측 지주사이에는 높이방향으로 용기(19)의 높이치수(h)보다 큰 간격(H)으로 수평방향의 선반판(20)을 복수개 설치하고, 또한 상기 반송기(10)의 유지용 핑거(13,13)를 상기 선반판(20)을 향해서 돌출시킴과 아울러, 상기 한쌍의 유지용 핑거(13,13)사이의 대향간 거리(L)의 확대 및 축소를 가능하게 하는 구성으로 한다.

Description

용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치{DEVICE FOR TEMPORARILY LOADING, KEEPING AND UNLOADING A CONTAINER}
본 발명은 형상이 일정한 용기를 자동적으로 반입, 유치, 반출하는 장치에 관한 것이다. 상세하게는, 정밀전자부품용 평판형상물을 청정상태로 수납한 용기를 일시적으로 보관하기 위한 것으로, 그 보관용 하우징내에는 다수의 선반단을 형성한 것으로 이루어지며, 각 선반단에 대한 반입, 유치, 반출 등이 모두 자동제어로 행해진다.
반도체 웨이퍼나 액정표시판용 기판 등의 평판형상물인 정밀전자부품은 포토레지스트의 도포, 박막증착, 산화막이나 질화막의 제작, 에칭, 열처리 등의 여러 제조단계나, 검사단계가 행해진다. 이들 각 제조단계나 검사단계에서는 피처리 평판형상물은 청정용기에 수납되어 반송되지만, 각 단계에 있어서의 처리시간이 일정하지 않고 다르기 때문에, 어쩔 수 없이 체류되는 단계에서는 선반을 설치해서 상기 청정용기를 일시 보관시키거나, 처리속도가 느린 단계에서는 복수열로 나누어 병행처리시키거나 해서, 각 단계에서의 대기시간을 가능한 한 적게 하도록 연구가 이루어지고 있다. 그런데, 반도체 제조공정용 청정용기는 사람이 손으로 들 수 있는 크기로 설계되어, 오로지 사람 손에 의해 선반에 보관되는 것이지만, 정밀전자부품은 먼지 등의 이물을 꺼리기 때문에, 비록 반송, 일시 보관일지라도 사람 손에 의존하지 않고 자동화하는 것이 바람직하다.
반도체 디바이스용 기판을 반송하는 중·소형의 카세트 자동보관장치로서, 예를 들면 일본 특허공개 평성2001-298069호 공보에 제안된 것이 있다. 이것은, 장치 최하부에, 카세트로부터 반도체 웨이퍼를 이송하는 도킹 스테이션을 2식 구비하고, 이들 사이에 상하방향의 반송용 공간과, 그 공간의 좌우 양측이며 또한 도킹 스테이션의 상방에 복수개의 선반단을 배치한 구조를 이루며, 카세트 무버가 카세트를 파지해서 상기 공간을 반송하여, 도킹 스테이션에 탑재하는 것이다. 그러나, 이 일본 특허공개 평성2001-298069호 공보에 기재된 상하 좌우방향 구동용 카세트 무버는 1개의 좌우방향으로 가동인 수직 지주로 이루어지며, 청정용기의 상부 파지부를 파지하여, 장치의 하방에서 외팔보 지지되는 1개의 엔드 이펙터를 엘리베이터로서 구비한 구조로 되어 있다. 따라서 1개의 지주로는, 무거운 카세트(용기)를 파지한 상태로 이동을 개시 또는 정지시키는 경우, 큰 관성모멘트가 작용하여 요동이나 진동을 발생시키고, 또 이들을 용이하게 정지시킬 수 없으므로, 반송스피드를 올릴 수 없었거나, 또 이송스테이지에 정확하게 탑재할 수 없는 등의 문제가 있다. 또한, 카세트 무버는 카세트 상부측의 돌기를 파지하는 구조로 되어 있으므로, 돌기를 파지했을 때에 카세트 상면이 불룩해지는 방향으로 변형되어, 카세트의 용적이 증가하고, 카세트내의 내압이 저하해서 덮개를 열 때에 외기가 유입되어, 이것에 의해 먼지가 유입되거나 하여 영향을 받는 문제가 있었다.
본 발명은 용기 운반시에, 그 파지수단이 용기를 변형시키거나 해서 내용물에 영향을 주거나 하는 일이 없는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출의 자동화장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 복수개의 용기를, 일시적으로 반입, 유치, 반출하는 장치에 있어서, 좌우 양측에 각각 2개의 지주를 사용한 일정 크기의 하우징을 제작하고, 상기 하우징의 전면측 지주사이에 대해서 지지보를 걸쳐지게 설치해서 상하이동 가능하게 함과 아울러, 상기 지지보의 수평방향으로 좌우 한쌍의 유지용 핑거를 구비한 반송기를 이동가능하게, 또 그 한쌍의 유지용 핑거의 대향간 거리가 적절하게 바뀌도록 부착하고, 또한 상기 반송기의 핑거 돌출면측에서 용기의 세로길이치수보다 조금 크게 한 부분에 대해서 후면측 지주를 배치하고, 그 후면측 지주사이에는 높이방향으로 용기의 높이치수보다 큰 간격으로 수평방향의 선반판이 복수개 설치되도록 이루어지는 것이다. 이 때, 상기 반송기의 유지용 핑거는 그 한쌍을 상기 선반판을 향해서 일정 길이 돌출시키고, 또한 상기 한쌍의 핑거사이에 있어서의 대향간 거리의 확대 및 축소가 행해지도록 이루어지는 것이며, 이것에 의해 용기의 좌우 양측 벽면의 저면측 또는 그 하부를 유지하도록 이루어지는 것이다.
본 발명 장치의 구체화에는, 다음과 같은 구성으로 해서 실시하는 것이 바람직하다.
즉, 한쌍의 유지용 핑거는, 일측이 요동가능하게 고정된 실린더와, 실린더에 의해 핀을 지점으로 요동가능하게 이루어지는 레버막대와, 상기 핀을 등거리 사이에 두고 상하부분에 수용되는 작동막대와, 이들 작동막대의 선단에 부착되는 L자형상부와, 상기 L자형상부의 선단에 구비되는 핑거로 형성되는 것으로 이루어지며, 이 한쌍의 핑거의 돌출길이를 용기의 세로길이치수의 절반이상 부근까지 도달하는 길이치수로 하거나 한다.
또, 후면측의 지주의 각각에 대해서, 상기 반송기의 지지보의 상하이동과 연동해서 상하이동되는 밸런스용 하중체를 부착하고, 이것에 의해 지지보가 밸런스좋게 원활한 상하이동작용이 행해지도록 한다.
또, 상기 상하이동은 지지보와 밸런스용 하중체 사이를 벨트로 연결하고, 이것을 활차 및 한쌍의 모터를 사용해서 행하도록 하는 것이며, 이것은 고속이며 효율좋은 운전을 가능하게 한다.
또, 상하이동하는 지지보를 안내하는 지주의 적어도 한쪽에서, 이것과 대향하는 지지보의 일단에 접힘형 변형흡수부재를 통해 부착되도록 한다. 이것에 의해, 지지보의 상하이동에 있어서의 변형응력의 다소가 가급적 흡수되게 된다.
또, 본 발명에 있어서의 하우징의 선반은 높이방향으로 일정 간격이고 수평방향으로 복수개의 선반판을 형성할 때, 1열에 한정되지 않고 복수열로 이루어지며, 그 때의 복수열의 인접하는 간격은 적어도 용기의 횡폭치수보다 큰 간격으로 이루어지는 것이다. 이것에 의해, 다수의 용기를 효율좋게 반입하고, 유치하고, 또한 그 반송을 신속하고 정확하게 행할 수 있다.
또, 상기에 있어서의 지주나 지지보 및 반송기 등을 알루미늄계 재료를 이용해서 제조함으로써, 장치전체의 경량화를 꾀함과 아울러, 방청성이 우수하고 또한 웨이퍼 등의 평판형상 정밀전자부품에의 오염방지효과가 발휘되는 것으로 된다.
도 1은 장치전체의 일부절단 정면도이다.
도 2는 도 1의 좌측을 절제한 상태의 일부절단 사시도이다.
도 3은 본 발명의 주요부를 도1의 배면측에서 본 상태의 설명도이다.
도 4는 반송기에 있어서의 용기파지의 구성을 나타내는 설명도로서, A는 유지용 핑거가 용기를 유지하고 있지 않은 상태를, B는 유지용 핑거가 용기를 유지한 상태를 나타낸다.
도 5는 본 발명에서 채용한 접힘형 변형흡수부재 부분의 부분상세 단면도이다.
이하에, 본 발명의 실시형태를 도면에 따라서 설명한다.
각 도에 있어서, 1은 본 발명에 따른 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치이다. 여기에서, 도면부호 2는 상기 장치(1)를 형성하는 하우징으로서 좌우 양측에 각각 대향상태로 2개의 지주(3,3,3,3)를 사용해서 일정 용적, 예를 들면 가로, 세로, 높이 치수 대략 1m×2m×3m의 것으로 제작된다. 4는 상기 하우징(2)의 전면측 지주(3,3)사이에 걸쳐지는 지지보이며, 상기 지지보(4)의 좌우 양측 단부에 있어서의 결합부재(5,5)가 상기 지주(3,3)의 대향하는 내면의 세로방향으로 형성된 가는 홈(3a,3a)내에 결합되어, 후술하는 구동수단으로 상하이동되도록 되어 있다.
즉, 6,6은 지주(3,3)의 대향하는 내면측 상부에 부착되어 이루어지는 한쌍의 모터로서, 각 모터의 풀리(6a,6a)와 대응하는 다른 지주(3,3)의 부분에는 활차(7,7)가 부착되어 있다.
8,8은 상기 지지보(4)의 상하이동을 안내하는 지주(3,3)와 대향하는 반대측 지주(3,3)에 대해서, 이것과 마찬가지로 각 지주(3,3)의 대향하는 내면의 세로방향으로 형성된 가는 홈(3a,3a)내에 결합되어 상하이동되는 밸런스용 하중체이며, 각각은 상기 지지보(4)와 후술하는 반송기를 포함하는 전체중량을 이분한 중량으로 밸런스되도록 이루어져 있음과 아울러, 양자간을 벨트(9,9)로 연결한 것으로 이루어져 있다. 그리고, 모터(6,6)의 비교적 작은 마력의 구동으로 반송기가 부착된 지 지보(4)의 상하이동작용이 행해지도록 이루어져 있다.
10은 상기의 상하이동하도록 구성한 지지보(4)의 수평방향을 적절히 왕복이동하도록 부착시킨 반송기로서, 상기 구성은 도 3에 도시된 바와 같이 지지보(4)의 길이방향 내부로 나사축(11)을 설치하고, 상기 나사축(11)을 그 일단에 부착된 모터(12)로 구동되도록 이루어지는 것이다.
즉, 반송기(10)는 나사축(11)에 부착된 모터(12)의 정전 또는 역전으로, 지지보(4)의 길이방향을 A, B방향으로 좌우이동시키는 것으로 된다.
여기에, 반송기(10)는 일정 크기(가로, 세로 치수 대략 30㎝×50㎝)로 이루어진 대판(bedplate)(10a)의 이면측에, 상기 나사축(11)과 나사결합하는 암나사체(도시생략)를 부착한 것으로 이루어지며, 또한 그 전면측에는 용기를 유지하도록 한쌍의 유지용 핑거(13,13)를 그 수평방향으로 대향간 거리(L)가 확대되거나, 축소되도록 부착시키는 것이며, 이것은 도 4에 도시된 바와 같은 구성에 의해 행해진다. 즉, 도 4에서 A는 도 3에 보여지는 반송기(10)의 전면 커버(10b)를 제거한 설명도이며, 도 4에서 14는 핀(15)을 지점으로 요동가능하게 이루어지는 레버막대, 16,16은 상기 레버막대(14)의 지점이 되는 핀(15)을 등거리 사이에 두고 상하부분에 부착되는 작동막대이며, 각 작동막대(16,16)의 선단은 핀(15)을 점대칭의 L형상부(16a,16a)로 형성한 것으로 이루어지며, 상기 L형상부(16a,16a)를 통과하는 선(도시의 일점쇄선(17'))은 전면커버(10b)에 형성된 슬릿(17)의 직선상과 일치하는 것으로 이루어지는 것이며, 또 L형상부(16a,16a)에는 각각 용기의 유지용 핑거(13,13)를 부착하고, 또한 각 유지용 핑거(13,13)는 전면커버(10b)의 슬릿(17)을 통과시킴과 아울러, 슬릿 상면으로부터 일정길이(대략 30㎝정도)의 돌출상태로 되도록 하는 것이다. 또, 18은 상기 레버막대(14)를, 핀(15)을 지점으로 해서 C, D방향으로 요동작동시키기 위한 에어실린더로서, 일단을 대판(10a)에 요동가능하게 고정시키고, 타단의 피스톤로드(18a)는 레버막대(14)의 하단부에 자유부착시키는 것이다. 도 4의 B는 에어실린더(18)를 작동시켜서, 즉 피스톤로드(18a)가 일정거리 돌출됨으로써, 레버막대(14)가 C방향으로 요동해서 좌우의 L형상부(16a,16a)의 대향간 거리(L)가 일점쇄선(17')상에서 좁혀지고, 이것에 의해 전면커버(10b)측에서 유지용 핑거(13,13)가 전면커버(10b)의 슬릿(17)내를 내향으로 슬라이딩해서 용기(19)를 유지하는 상태를 나타내는 것이다.
본 발명에 있어서, 상기 반송기(10)의 유지용 핑거(13,13)는 하우징(2) 안쪽을 향해서 돌출되도록 이루어져 지지보(4)에 부착되는 것이며, 상기 유지용 핑거(13,13)의 돌출측에는 즉, 상하이동하는 지지보(4)의 대향측의 하우징(2)내에는 다수의 용기(19)를 수용하고 또한 이들 용기(19)를 일시적으로 유치시켜 두기 위한 선반판(20)이 설치되는 것이며, 구체적으로는 후방측 지주(3,3)사이에 벽판(21)을 부착하고, 상기 벽판(21)에 대해서 선반판(20)의 다수를 병설하는 것이다. 상기 병설시에 각 선반판(20)은 하우징의 상하방향으로 용기의 높이치수(h)보다 조금 큰 간격치수(H)를 갖는 것으로 이루어지며, 또한 각 선반판(20)은 후술하는 이송 및 반출의 점에서, 높이방향으로 1열 설치할 뿐만 아니라, 오로지 가로방향으로 복수열로 병설시키는 것이다. 본 도의 실시예(도 1,도 2)에서는 2열로 병설한 것이며, 이러한 배열로 할 때 인접하는 열간의 거리(W)는 용기(19)의 횡폭치수(w)보다 약간 큰 치수로 이루어지는 것이다. 또, 도면에서 22는 선반판(20)상에 설치한 위치결정 핀으로서, 용기(19)의 저면부에 형성된 원추형상의 오목부(도시생략)와 서로 합쳐짐으로써, 선반판(20)상에 있어서의 용기(19)의 정확한 위치결정이 자동적으로 행해지는 것으로 된다. 또 이것에 의해 용기(19)는 선반판(20)상에 조금 들어올려진 상태로 탑재되는 것으로 되며, 이것은 후술하는 이송이나 반출시의 유지용 핑거(13,13)의 삽입에 의한 들어올림을 용이하게 하는 데에 우수하지만, 다른 수단으로 대체가능하므로 본 발명의 실시상에서 반드시 필요로 하는 것은 아니다.
상기 용기(19)로 시판의 일반 용기를 사용하고 또한 웨이퍼 등의 피처리물을 수납한 것에서는, 그 중량은 대략 10kg정도의 것이며, 이것을 반송기(10)의 유지용 핑거(13,13)상에 지지시켜서 지지보(4)의 길이방향으로, A, B방향으로 좌우이동시키면서 용기(19)의 반입, 유치, 반출 등을 행할 때, 지지보(4)는 동적 편하중에 의해 그 수평상태나 상하동작에 악영향이 미치는 것으로 되지만, 본 발명에서는 도 5에 도시된 바와 같이 지지보(4)의 끝가장자리부에 있어서의 결합부재(5)로서 금속부재를 다단으로 굴곡시킨 접힘형 변형흡수부재(23)를 부착하고, 상기 접힘형 변형흡수부재(23)를 통해 지주(3)에 형성된 가는 홈(3a)내와 결합시키는 것이며, 구체적으로는 상기 도면에 보여지는 바와 같이, 접힘형 변형흡수부재(23)에 대해서, 내주면에 볼베어링(24)을 갖는 활동체(25)를 볼트나사(26)로 부착하고, 상기 활동체(25)가 가는 홈(3a)에 지착되어 있는 레일부재(27)를 감싸도록 한 구성으로 한다.
상기 실시예에서는 지지보(4)의 일단에만 접힘형 변형흡수부재(23)를 부착한 것을 나타냈지만, 타단측의 결합부재(5)도 마찬가지로 실시하는 것도 상관없다. 상기 접힘형 변형흡수부재(23)는 지지보(4)와 지주(3)의 슬라이딩안내부분에서 고려되는 것이며, 밸런스용 하중체(8)가 지주(3)에 의해 안내되는 슬라이딩부분에 대해서는 고려될 필요는 없다. 즉, 도 3에서 도시된 바와 같이 밸런스용 하중체(8)의 결합부재(5)는 그 측단에 부착된 활동체(25')를 지주(3)의 레일부재(27)에 대해서 직접적인 끼워맞춤상태로 이루어지는 것이다.
또, 도면에서 28은 하우징(2)내의 하부에 배치된 로드 포트(도킹 스테이션)이며, 하우징(2)내로 수시로 반입되는 용기(19)는 상기 선반판(20)상에 적절히 탑재되어 일시적으로 저류되는 것으로 되지만, 적시에 상기 로드 포트(28)의 스테이지(28a)상에 이송시켜서 필요한 처리나 검사용으로 제공되는 것으로 이루어지는 것이다. 또, 29는 상기 구성에 따른 장치전체의 작동 및 용기(19)의 취급지령 등을 행하게 하기 위한 제어장치이다.
다음에, 상기한 본 발명 장치의 사용예 및 작동에 대해서 설명한다.
장치외부로부터 조하식 자동반송대(도시생략) 등으로, 하우징(2)내의 최상부의 선반판(20)의 1개로 피처리물이 수납된 용기(19)가 반입탑재된다. 그리고, 상기 용기(19)는 지지보(4)의 상하이동 및 상기 지지보(4)상의 반송기(10)의 작동에 의해, 로드 포트(28)의 스테이지(28a)상에 반송시키고, 상기 로드 포트(28)상에서 순차 내부의 피처리물을 취출하면서 필요한 처리가 행해지도록 이루어지며, 이들 처리전체가 완료되면 다시 지지보(4) 및 반송기(10)의 작동으로 최상부의 다른 선반 판(n)상으로 복귀시키고, 그곳에서 다른 곳으로 별도 조하식 자동반송대(도시생략) 등에 의한 반출이 행해지도록 대기시키는 것이다. 그런데, 로드 포트(28)의 스테이지(28a)상에 탑재된 용기(19)의 처리작업이 아직 종료되지 않은 시점에서는, 상기의 지지보(4) 및 반송기(10)는 최상단에서 용기가 반입되어 탑재되는 선반판(20)(도시예에서 m)상의 용기를 수시로 다른 빈 선반판상으로 옮기도록 하는 것이며, 이것에 의해 반입용 선반판(m)은 항상 다른 용기의 반입을 지장없이 행할 수 있는 상태로 해 둔다.
만약, 상기 작업에서 반입용 선반판(m)을 미리 정해진 일정시간내에 빈 상태로 하는 것이 곤란한 경우에는, 마찬가지로 최상단에서 인접하는 다른 선반판을 예비용으로서 사용하는 것이며, 이것은 상기한 반출용에 탑재시키는 선반판(n)에 대해서도 마찬가지이며, 선반단을 도시예 이외의 3열, 4열 등으로 설계하는 사용상태의 채용에서 대응하는 것으로 된다.
본 발명에 있어서, 반송기(10)가 그 유지용 핑거(13,13)상에 용기(19)를 유지하는 부분은 대략 용기(19)의 좌우 양측 벽면의 하단부 또는 용기저면부 부분으로 하는 것이며, 즉 도2에 보여지는 바와 같이 유지용 핑거(13,13)상면을 편평하게 한 것에서는, 용기(19)의 저면부에 있어서의 대략 양 끝가장자리 부분에 접촉시켜 들어올리도록 이루어지는 것이며, 이것에 대해서 도 3에 도시된 바와 같이 유지용 핑거(13,13)를 단면 L자형상으로 형성한 것에서는, 용기(19)에 있어서의 좌우 양측 벽면하방의 코너부를 유지용 핑거(13,13)의 단면 L자형상의 앵글과 일치시키도록 해서 유지하는 것이다. 또, 시판의 용기의 형태에 따라서는 좌우 양측 벽면에 대해서 손으로 드는 용도 등을 위해서 수평방향으로 조금 돌출시킨 플랜지체 등을 부착한 것이 있으며, 이것의 용기의 사용에서는 상기 플랜지체의 하방을 유지용 핑거(13,13)에 접촉시킴으로써 유지가 가능하게 된다.
한편, 각 선반판(20)상면이나 로드 포트(28)의 스테이지(28a)상면에는 각각 3개의 위치결정 핀(22)이 수직상방 대략 3㎝정도의 돌출상태로 형성되어 있고, 또 한편 각 용기(19)의 저면부에는 상기 위치결정 핀(22)과 대응되는 3부분을 원추형상의 오목부(도시생략)로 형성함으로써, 용기(19)를 유지해서 이루어지는 유지용 핑거(13,13)가 상기 위치결정 핀(22)상에서 그 유지를 해방할 때, 용기는 그 정해진 적정위치로 자동적으로 위치결정되어 탑재되는 것으로 된다.
상기의 탑재상태에서는 선반판(20)상면이나 로드 포트(28)의 스테이지(28a)상면과, 위치결정 핀(22)에 탑재되는 용기(19)의 저면부사이에는 대략 1㎝정도의 간극(s)(도1참조)이 생기는 것으로 되는 것이며, 따라서 다음에 이들 탑재상태에 있어서의 용기(19)의 취출에서는 상기 간극(s)을 이용해서, 반송기(10)의 유지용 핑거(13,13)를 삽입하여, 용기저부의 유지를 용이하게 행하도록 할 수 있고, 용기저부로부터의 들어올림에 아무런 지장이 없는 원활한 실시가 가능하게 된다.
상기 실시예에서는 위치결정 핀의 사용으로 위치결정과 동시에 간극(s)이 형성됨으로써, 용기저면부에 대한 유지용 핑거(13,13)의 삽입을 가능하게 한 것에 대해서 설명했지만, 용기의 좌우 양측 벽면의 저면부보다 조금 상방부분에 대해서 직사각형의 판형상의 플랜지체를 수평방향으로 돌출형성시킨 것으로 하여, 상기 플랜지체의 하부에 상기 유지용 핑거(13,13)를 접촉시켜서 유지하는 것으로 해도 상관 없다.
이상과 같이 구성하고, 또한 실시하는 본 발명에 의하면, 다른 스테이지에서 각각 다른 몇개의 처리를 순차 필요로 하는 피처리물이 수납된 각 용기를, 그 흐름작업 중에서 일시적으로 보관하면서 효율좋은 생산라인하에서 수행할 수 있게 되는 것이며, 즉 각 용기에 있어서의 피처리물의 처리작업에서 용기의 반입 및 그 일시적 유치, 그리고 로드 포트에 대한 이송이나, 이것으로부터의 반출 등을 다른 스테이지에 있어서의 처리나 반송시간 등과의 관계로 미리 정해진 일정시간내에서 행하는 것이 요구될 때, 본 발명 장치의 설치에 의해 임기응변에 대응해서 필요한 각종의 처리를 로스타임이 없도록 수행하면서, 다시 규정의 생산라인으로 복귀할 수 있는 것이며, 전체의 흐름작업의 적확하며 원활한 운전조작이 행해지는 데에 현저한 효과를 나타내는 것으로 된다.
또, 본 장치에서는 적은 로드 포트의 설치로 대응처리가 가능하게 되는 점에서도 우수하며, 또 이것은 전체적인 장치의 컴팩트화와 함께 장치비용의 저감화에도 기여하는 것으로 된다. 또, 용기를 파지하는 유지상태가 그 외형에 아무런 변화를 발생시키지 않는 것이므로, 용기내의 피처리물에 대해서도 처리전은 물론, 처리후에도 아무런 악영향을 미치는 일이 없어, 품질의 향상에 크게 기여하는 것으로 된다. 또, 알루미늄계 재료를 이용해서 제조한 것에서는, 장치전체의 경량화가 도모됨과 아울러, 방청성이 우수하고 또한 피처리물에의 오염방지효과의 점에서도 우수한 것으로 된다.

Claims (10)

  1. 좌우 양측에 각각 2개의 지주를 사용한 하우징을 제작하고, 상기 하우징의 전면측 지주사이에는 지지보를 수평방향의 상하이동 가능하게 되도록 부착함과 아울러, 상기 지지보에는 좌우 한쌍의 돌출된 유지용 핑거를 구비한 반송기를 좌우이동 가능하게 되도록 부착하고, 한편, 상기 반송기의 핑거 돌출면측에서 용기의 세로길이치수보다 조금 크게 한 부분에 대해서 후면측 지주를 배치하고, 상기 후면측 지주 사이에는 높이방향으로 용기를 탑재시키기 위한 선반판을 용기의 높이치수보다 큰 간격으로 수평 및 수직방향으로 복수개 설치함과 아울러, 각 선반판상에는 일정 높이치수의 위치결정 핀을 돌출시키고, 이것에 의해 용기가 선반판 상방으로 조금 이간된 상태로 탑재되는 것으로 이루어지며, 또 한편, 상기 반송기의 돌출된 좌우 한쌍의 유지용 핑거의 대향간 거리를 확대 및 축소시키는 것으로 이루어지고, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거를 상기 선반판상으로 탑재된 용기 저면의 좌우 양측으로부터 삽입하여, 상기 용기 저면의 좌우측 가장자리부분에 접촉시키거나, 또는 용기의 좌우 양측면 벽에 형성된 플랜지체의 하면부에 접촉시켜, 이것에 의해 용기를 들어올려 선반판상으로 탑재시키거나 취출하거나 하는 것으로 이루어진 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거는, 일측이 요동가능하게 고정된 실린더와, 실린더에 의해 핀을 지점으로 요동가능하게 이루어지는 레버막대와, 상기 핀을 등거리 사이에 두고 상하부분에 부착되는 작동막대와, 이들 작동막대의 선단에 부착되는 L자형상부와, 상기 L자형상부의 선단에 구비되는 핑거로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거의 돌출길이는 용기의 세로길이치수 이하이고, 그 절반이상의 길이치수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  4. 제1항에 있어서, 전면측의 지주의 적어도 한쪽에서, 반송기의 지지보는 접힘형 변형흡수부재를 통해 부착되는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  5. 제1항에 있어서, 후면측의 지주의 각각에 대해서, 반송기의 지지보의 상하이동과 연동해서 상하이동하는 밸런스용 하중체를 부착하는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  6. 제1항에 있어서, 지지보의 상하이동은 한쌍의 모터와 활차 및 벨트를 사용해서 행해지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서, 복수열의 인접하는 간격은 적어도 용기의 횡폭치수보다 큰 간격으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  9. 제1항에 있어서, 지주나 지지보 및 반송기 등을 알루미늄계 재료를 이용해서 제조한 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
  10. 제1항에 있어서, 용기가 정밀전자부품용 평판형상물을 수납하는 용기인 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101088050B1 (ko) * 2009-02-25 2011-11-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20070092359A1 (en) * 2002-10-11 2007-04-26 Brooks Automation, Inc. Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position
AU2003304270A1 (en) * 2003-07-04 2005-01-21 Rorze Corporation Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system
US7720557B2 (en) * 2003-11-06 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers
US7218983B2 (en) * 2003-11-06 2007-05-15 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities
US7177716B2 (en) 2004-02-28 2007-02-13 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for material control system interface
US20060216137A1 (en) * 2004-07-02 2006-09-28 Katsunori Sakata Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate
US9834378B2 (en) * 2006-12-22 2017-12-05 Brooks Automation, Inc. Loader and buffer for reduced lot size
US8757955B2 (en) * 2007-09-06 2014-06-24 Murata Machinery, Ltd. Storage, transporting system and storage set
JP5369419B2 (ja) * 2007-10-18 2013-12-18 村田機械株式会社 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
KR101015225B1 (ko) * 2008-07-07 2011-02-18 세메스 주식회사 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법
JP5284808B2 (ja) 2009-01-26 2013-09-11 株式会社Sokudo ストッカー装置及び基板処理装置
JP4720932B2 (ja) * 2009-02-10 2011-07-13 ムラテックオートメーション株式会社 移載装置
JP2010184760A (ja) 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
US8851820B2 (en) * 2009-05-18 2014-10-07 Brooks Automation, Inc. Substrate container storage system
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
US9744676B2 (en) * 2009-10-20 2017-08-29 Illinois Tool Works Inc. Dual side acting hydraulic grips synchronization
CN102893385B (zh) * 2010-05-13 2016-01-20 村田机械株式会社 移载装置
CN102933472A (zh) * 2010-06-10 2013-02-13 村田机械株式会社 搬运系统及搬运系统内的通信方法
JP2012054392A (ja) * 2010-09-01 2012-03-15 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び半導体装置の製造方法
US9090411B2 (en) 2010-10-15 2015-07-28 Sanofi-Aventis U.S. Llc Apparatus and method for loading and unloading containers
CA2814666A1 (en) 2010-10-15 2012-04-19 Sanofi-Aventis U.S. Llc Apparatus and method for loading and unloading containers
KR101788646B1 (ko) * 2015-05-12 2017-10-23 서지석 냉장고
US10515834B2 (en) 2015-10-12 2019-12-24 Lam Research Corporation Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems
KR101947551B1 (ko) * 2016-12-09 2019-02-14 서지석 냉장고
JP6991243B2 (ja) * 2017-04-20 2022-01-12 ダイフク アメリカ コーポレイション 高密度ストッカ
CN110562734A (zh) * 2018-06-05 2019-12-13 湖南英格斯坦智能科技有限公司 手机膜抓取储存系统
US10919747B2 (en) * 2019-01-22 2021-02-16 Amazon Technologies, Inc. Inventory conveyance system that transfers storage containers to and from a vertically arranged array of storage containers
CN114981947A (zh) 2020-01-14 2022-08-30 日商乐华股份有限公司 Foup移载装置
CN111646083B (zh) * 2020-06-24 2021-01-22 广州市穗佳物流有限公司 一种仓库管理用自动化上货卸货架
KR20220063853A (ko) * 2020-11-10 2022-05-18 삼성전자주식회사 반송물 보관 장치
CN117227854B (zh) * 2023-11-16 2024-02-02 沈阳微控新能源技术有限公司 运输平台和运输车

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2586464A (en) * 1949-10-04 1952-02-19 Rotary Lift Company Single rail elevator guide equalizer
US3032377A (en) * 1958-10-07 1962-05-01 Acla Werke Ag Rail engaging slide guide for elevator cars
DE7728040U1 (de) * 1977-09-10 1978-03-09 Acla-Werke Ag, 5000 Koeln Fuehrungsschuh fuer aufzuege
AT382135B (de) * 1984-01-31 1987-01-12 Otis Elevator Co Gleitschuhanordnung fuer einen fahrkorb
US4716991A (en) * 1986-07-21 1988-01-05 Carl Riechers Elevator guide shoe
US4696503A (en) * 1986-10-27 1987-09-29 The Singer Company Pneumatic actuated cam driven parallel gripper
US4735452A (en) * 1986-12-19 1988-04-05 Texas Instruments Incorporated Article gripper assembly
JPH0620925B2 (ja) 1987-10-02 1994-03-23 株式会社ダイフク クレーンの昇降キャレッジ駆動装置
JPH0193733A (ja) 1987-10-06 1989-04-12 Fuji Photo Film Co Ltd 超硬調ネガ型ハロゲン化銀写真感光材料
JPH0613787Y2 (ja) * 1987-12-10 1994-04-13 日産自動車株式会社 ワーク位置決め装置
US4865375A (en) * 1988-05-31 1989-09-12 Amp Incorporated Gripper head
US4968077A (en) * 1989-06-09 1990-11-06 The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration Portable hand hold device
US5162047A (en) * 1989-08-28 1992-11-10 Tokyo Electron Sagami Limited Vertical heat treatment apparatus having wafer transfer mechanism and method for transferring wafers
JPH061257A (ja) 1992-06-17 1994-01-11 Kayaba Ind Co Ltd 後輪転舵構造
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP3331746B2 (ja) * 1994-05-17 2002-10-07 神鋼電機株式会社 搬送システム
KR970023964A (ko) 1995-10-13 1997-05-30 김광호 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치
JPH09221203A (ja) 1996-02-19 1997-08-26 Hitachi Ltd 自動搬送システム
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6579052B1 (en) * 1997-07-11 2003-06-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF pod storage, delivery and retrieval system
JP2000012644A (ja) 1998-06-25 2000-01-14 Kokusai Electric Co Ltd カセット移載システム
JP2000044015A (ja) 1998-07-30 2000-02-15 Toshiba Ceramics Co Ltd 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法
US6604624B2 (en) * 1998-09-22 2003-08-12 Hirata Corporation Work conveying system
US6283692B1 (en) * 1998-12-01 2001-09-04 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
JP2000003894A (ja) 1999-05-10 2000-01-07 Tokyo Electron Ltd 洗浄装置及びその方法
US6506009B1 (en) 2000-03-16 2003-01-14 Applied Materials, Inc. Apparatus for storing and moving a cassette
US6592324B2 (en) * 2001-02-26 2003-07-15 Irm, Llc Gripper mechanism

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101088050B1 (ko) * 2009-02-25 2011-11-30 세메스 주식회사 기판 처리 장치

Also Published As

Publication number Publication date
WO2003049181A1 (fr) 2003-06-12
US7695234B2 (en) 2010-04-13
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KR20050044531A (ko) 2005-05-12
JP4182521B2 (ja) 2008-11-19
US20050036856A1 (en) 2005-02-17
JPWO2003049181A1 (ja) 2005-04-21
CN1599954A (zh) 2005-03-23

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