KR100577622B1 - 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 - Google Patents
용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100577622B1 KR100577622B1 KR1020047007615A KR20047007615A KR100577622B1 KR 100577622 B1 KR100577622 B1 KR 100577622B1 KR 1020047007615 A KR1020047007615 A KR 1020047007615A KR 20047007615 A KR20047007615 A KR 20047007615A KR 100577622 B1 KR100577622 B1 KR 100577622B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- container
- carrying
- attracting
- temporarily loading
- pair
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
- Y10S414/14—Wafer cassette transporting
Abstract
Description
또, 후면측의 지주의 각각에 대해서, 상기 반송기의 지지보의 상하이동과 연동해서 상하이동되는 밸런스용 하중체를 부착하고, 이것에 의해 지지보가 밸런스좋게 원활한 상하이동작용이 행해지도록 한다.
Claims (10)
- 좌우 양측에 각각 2개의 지주를 사용한 하우징을 제작하고, 상기 하우징의 전면측 지주사이에는 지지보를 수평방향의 상하이동 가능하게 되도록 부착함과 아울러, 상기 지지보에는 좌우 한쌍의 돌출된 유지용 핑거를 구비한 반송기를 좌우이동 가능하게 되도록 부착하고, 한편, 상기 반송기의 핑거 돌출면측에서 용기의 세로길이치수보다 조금 크게 한 부분에 대해서 후면측 지주를 배치하고, 상기 후면측 지주 사이에는 높이방향으로 용기를 탑재시키기 위한 선반판을 용기의 높이치수보다 큰 간격으로 수평 및 수직방향으로 복수개 설치함과 아울러, 각 선반판상에는 일정 높이치수의 위치결정 핀을 돌출시키고, 이것에 의해 용기가 선반판 상방으로 조금 이간된 상태로 탑재되는 것으로 이루어지며, 또 한편, 상기 반송기의 돌출된 좌우 한쌍의 유지용 핑거의 대향간 거리를 확대 및 축소시키는 것으로 이루어지고, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거를 상기 선반판상으로 탑재된 용기 저면의 좌우 양측으로부터 삽입하여, 상기 용기 저면의 좌우측 가장자리부분에 접촉시키거나, 또는 용기의 좌우 양측면 벽에 형성된 플랜지체의 하면부에 접촉시켜, 이것에 의해 용기를 들어올려 선반판상으로 탑재시키거나 취출하거나 하는 것으로 이루어진 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거는, 일측이 요동가능하게 고정된 실린더와, 실린더에 의해 핀을 지점으로 요동가능하게 이루어지는 레버막대와, 상기 핀을 등거리 사이에 두고 상하부분에 부착되는 작동막대와, 이들 작동막대의 선단에 부착되는 L자형상부와, 상기 L자형상부의 선단에 구비되는 핑거로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 좌우 한쌍의 유지용 핑거의 돌출길이는 용기의 세로길이치수 이하이고, 그 절반이상의 길이치수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 전면측의 지주의 적어도 한쪽에서, 반송기의 지지보는 접힘형 변형흡수부재를 통해 부착되는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 후면측의 지주의 각각에 대해서, 반송기의 지지보의 상하이동과 연동해서 상하이동하는 밸런스용 하중체를 부착하는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 지지보의 상하이동은 한쌍의 모터와 활차 및 벨트를 사용해서 행해지는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 복수열의 인접하는 간격은 적어도 용기의 횡폭치수보다 큰 간격으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 지주나 지지보 및 반송기 등을 알루미늄계 재료를 이용해서 제조한 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
- 제1항에 있어서, 용기가 정밀전자부품용 평판형상물을 수납하는 용기인 것을 특징으로 하는 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001402451 | 2001-12-04 | ||
JPJP-P-2001-00402451 | 2001-12-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050044531A KR20050044531A (ko) | 2005-05-12 |
KR100577622B1 true KR100577622B1 (ko) | 2006-05-10 |
Family
ID=19190226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020047007615A KR100577622B1 (ko) | 2001-12-04 | 2002-12-04 | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7695234B2 (ko) |
JP (1) | JP4182521B2 (ko) |
KR (1) | KR100577622B1 (ko) |
CN (1) | CN1291473C (ko) |
WO (1) | WO2003049181A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101088050B1 (ko) * | 2009-02-25 | 2011-11-30 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070092359A1 (en) * | 2002-10-11 | 2007-04-26 | Brooks Automation, Inc. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
AU2003304270A1 (en) * | 2003-07-04 | 2005-01-21 | Rorze Corporation | Transfer device, thin plate-like article transfer method, and thin plate-like article production system |
US7720557B2 (en) * | 2003-11-06 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for enhanced operation of substrate carrier handlers |
US7218983B2 (en) * | 2003-11-06 | 2007-05-15 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for integrating large and small lot electronic device fabrication facilities |
US7177716B2 (en) | 2004-02-28 | 2007-02-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for material control system interface |
US20060216137A1 (en) * | 2004-07-02 | 2006-09-28 | Katsunori Sakata | Carrying apparatus and carrying control method for sheet-like substrate |
US9834378B2 (en) * | 2006-12-22 | 2017-12-05 | Brooks Automation, Inc. | Loader and buffer for reduced lot size |
US8757955B2 (en) * | 2007-09-06 | 2014-06-24 | Murata Machinery, Ltd. | Storage, transporting system and storage set |
JP5369419B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2013-12-18 | 村田機械株式会社 | 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム |
KR101015225B1 (ko) * | 2008-07-07 | 2011-02-18 | 세메스 주식회사 | 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 |
JP5284808B2 (ja) | 2009-01-26 | 2013-09-11 | 株式会社Sokudo | ストッカー装置及び基板処理装置 |
JP4720932B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2011-07-13 | ムラテックオートメーション株式会社 | 移載装置 |
JP2010184760A (ja) | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Muratec Automation Co Ltd | 移載システム |
US8851820B2 (en) * | 2009-05-18 | 2014-10-07 | Brooks Automation, Inc. | Substrate container storage system |
TWI496732B (zh) * | 2009-07-31 | 2015-08-21 | Murata Machinery Ltd | 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置 |
US9744676B2 (en) * | 2009-10-20 | 2017-08-29 | Illinois Tool Works Inc. | Dual side acting hydraulic grips synchronization |
CN102893385B (zh) * | 2010-05-13 | 2016-01-20 | 村田机械株式会社 | 移载装置 |
CN102933472A (zh) * | 2010-06-10 | 2013-02-13 | 村田机械株式会社 | 搬运系统及搬运系统内的通信方法 |
JP2012054392A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
US9090411B2 (en) | 2010-10-15 | 2015-07-28 | Sanofi-Aventis U.S. Llc | Apparatus and method for loading and unloading containers |
CA2814666A1 (en) | 2010-10-15 | 2012-04-19 | Sanofi-Aventis U.S. Llc | Apparatus and method for loading and unloading containers |
KR101788646B1 (ko) * | 2015-05-12 | 2017-10-23 | 서지석 | 냉장고 |
US10515834B2 (en) | 2015-10-12 | 2019-12-24 | Lam Research Corporation | Multi-station tool with wafer transfer microclimate systems |
KR101947551B1 (ko) * | 2016-12-09 | 2019-02-14 | 서지석 | 냉장고 |
JP6991243B2 (ja) * | 2017-04-20 | 2022-01-12 | ダイフク アメリカ コーポレイション | 高密度ストッカ |
CN110562734A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 湖南英格斯坦智能科技有限公司 | 手机膜抓取储存系统 |
US10919747B2 (en) * | 2019-01-22 | 2021-02-16 | Amazon Technologies, Inc. | Inventory conveyance system that transfers storage containers to and from a vertically arranged array of storage containers |
CN114981947A (zh) | 2020-01-14 | 2022-08-30 | 日商乐华股份有限公司 | Foup移载装置 |
CN111646083B (zh) * | 2020-06-24 | 2021-01-22 | 广州市穗佳物流有限公司 | 一种仓库管理用自动化上货卸货架 |
KR20220063853A (ko) * | 2020-11-10 | 2022-05-18 | 삼성전자주식회사 | 반송물 보관 장치 |
CN117227854B (zh) * | 2023-11-16 | 2024-02-02 | 沈阳微控新能源技术有限公司 | 运输平台和运输车 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2586464A (en) * | 1949-10-04 | 1952-02-19 | Rotary Lift Company | Single rail elevator guide equalizer |
US3032377A (en) * | 1958-10-07 | 1962-05-01 | Acla Werke Ag | Rail engaging slide guide for elevator cars |
DE7728040U1 (de) * | 1977-09-10 | 1978-03-09 | Acla-Werke Ag, 5000 Koeln | Fuehrungsschuh fuer aufzuege |
AT382135B (de) * | 1984-01-31 | 1987-01-12 | Otis Elevator Co | Gleitschuhanordnung fuer einen fahrkorb |
US4716991A (en) * | 1986-07-21 | 1988-01-05 | Carl Riechers | Elevator guide shoe |
US4696503A (en) * | 1986-10-27 | 1987-09-29 | The Singer Company | Pneumatic actuated cam driven parallel gripper |
US4735452A (en) * | 1986-12-19 | 1988-04-05 | Texas Instruments Incorporated | Article gripper assembly |
JPH0620925B2 (ja) | 1987-10-02 | 1994-03-23 | 株式会社ダイフク | クレーンの昇降キャレッジ駆動装置 |
JPH0193733A (ja) | 1987-10-06 | 1989-04-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 超硬調ネガ型ハロゲン化銀写真感光材料 |
JPH0613787Y2 (ja) * | 1987-12-10 | 1994-04-13 | 日産自動車株式会社 | ワーク位置決め装置 |
US4865375A (en) * | 1988-05-31 | 1989-09-12 | Amp Incorporated | Gripper head |
US4968077A (en) * | 1989-06-09 | 1990-11-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration | Portable hand hold device |
US5162047A (en) * | 1989-08-28 | 1992-11-10 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat treatment apparatus having wafer transfer mechanism and method for transferring wafers |
JPH061257A (ja) | 1992-06-17 | 1994-01-11 | Kayaba Ind Co Ltd | 後輪転舵構造 |
US5570990A (en) * | 1993-11-05 | 1996-11-05 | Asyst Technologies, Inc. | Human guided mobile loader stocker |
JP3331746B2 (ja) * | 1994-05-17 | 2002-10-07 | 神鋼電機株式会社 | 搬送システム |
KR970023964A (ko) | 1995-10-13 | 1997-05-30 | 김광호 | 반도체 제조용 스톡커의 트랜스퍼 이송장치 |
JPH09221203A (ja) | 1996-02-19 | 1997-08-26 | Hitachi Ltd | 自動搬送システム |
US5980183A (en) * | 1997-04-14 | 1999-11-09 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system |
US6579052B1 (en) * | 1997-07-11 | 2003-06-17 | Asyst Technologies, Inc. | SMIF pod storage, delivery and retrieval system |
JP2000012644A (ja) | 1998-06-25 | 2000-01-14 | Kokusai Electric Co Ltd | カセット移載システム |
JP2000044015A (ja) | 1998-07-30 | 2000-02-15 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体ウェーハの保管設備およびこれを用いた半導体ウェーハの保管管理方法 |
US6604624B2 (en) * | 1998-09-22 | 2003-08-12 | Hirata Corporation | Work conveying system |
US6283692B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP2000003894A (ja) | 1999-05-10 | 2000-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 洗浄装置及びその方法 |
US6506009B1 (en) | 2000-03-16 | 2003-01-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
US6592324B2 (en) * | 2001-02-26 | 2003-07-15 | Irm, Llc | Gripper mechanism |
-
2002
- 2002-12-04 JP JP2003550277A patent/JP4182521B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-04 WO PCT/JP2002/012731 patent/WO2003049181A1/ja active Application Filing
- 2002-12-04 US US10/496,650 patent/US7695234B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-04 KR KR1020047007615A patent/KR100577622B1/ko active IP Right Grant
- 2002-12-04 CN CNB028242033A patent/CN1291473C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101088050B1 (ko) * | 2009-02-25 | 2011-11-30 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003049181A1 (fr) | 2003-06-12 |
US7695234B2 (en) | 2010-04-13 |
CN1291473C (zh) | 2006-12-20 |
KR20050044531A (ko) | 2005-05-12 |
JP4182521B2 (ja) | 2008-11-19 |
US20050036856A1 (en) | 2005-02-17 |
JPWO2003049181A1 (ja) | 2005-04-21 |
CN1599954A (zh) | 2005-03-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100577622B1 (ko) | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 | |
JP5068738B2 (ja) | 基板処理装置およびその方法 | |
JP4711770B2 (ja) | 搬送装置、真空処理装置および搬送方法 | |
TW201524717A (zh) | 具有可變機械手的四臂搬運機器人 | |
JPS58212527A (ja) | ロボツト処理転換器に使用する物品移送方法及びマガジン装置 | |
KR100188453B1 (ko) | 피처리체의 반송 및 실어서 이송하는 장치 | |
KR20090060321A (ko) | 기판 반송 장치 | |
JP2006347752A (ja) | 搬送システム | |
KR101854045B1 (ko) | 스토커 | |
JPWO2003000472A1 (ja) | 半導体または液晶ウエハー枚葉搬送及び移載システム | |
JP2017183665A (ja) | 基板搬送装置、基板処理装置及び基板処理方法 | |
CN1868837B (zh) | 基板运送装置 | |
US6688840B2 (en) | Transport apparatus and method | |
CN216736416U (zh) | 暂存与回流框架基板系统 | |
JPS62219509A (ja) | 真空装置内の基板搬送機構 | |
JP2013165177A (ja) | ストッカー装置 | |
CN219362555U (zh) | 一种塑料瓶码垛装置 | |
CN220578151U (zh) | 电池外壳输送装置 | |
KR200159654Y1 (ko) | 반도체 이송장치 | |
JP4467374B2 (ja) | ウエハ立替機、ウエハ処理システム | |
JPH03195645A (ja) | 昇降機構 | |
JPH01316147A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP2004172438A (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH04233729A (ja) | 洗浄装置における被洗浄体移載機 | |
CN117393477A (zh) | 晶粒载体及其内部晶舟输送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130304 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140324 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160404 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170310 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180330 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190219 Year of fee payment: 14 |