JPH01316147A - ワーク搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばウェハ等の板状のワークを成る箇所か
ら他の箇所へ順次送るワーク搬送装置に関し、特にワー
クを水平送りのみにより搬送できると共にワーク搬送経
路の途中に設けられた処理部に対してワークを渡す際に
その位置決めができるワーク搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のワーク搬送装置は、ウェハ等のワークが
積層されたロータカセットから例えばベルト方式または
エアベアリング方式によってワークを一枚ずつ取り出し
、所定長さの二本のバーを平行に張設してなる搬送アー
ムを適宜の駆動源及びリンク機構により上昇、水平送り
、下降、水平戻りのように矩形運動をさせ、この搬送ア
ームの矩形運動により上記ワークを二本のバーの上面に
載せて次工程の処理部へ順次搬送するようになっていた
。このとき、上記搬送アームの二本のバーの上面にてワ
ークを載せる部分には、例えば円板状のワークがあまり
位置ずれを起こさないようにするための載置用凹段部が
形成さ九でいた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このような従来のワーク搬送装置においては、
搬送アームが矩形運動をしてその二本のバーの上面に形
成された載置用凹段部にワークを載せると共に次工程の
処理部へ順次搬送していたので、例えば上記ワークの上
面に現像液または各種の塗布液等を塗布した状態では、
上記搬送アームの矩形運動による搬送中に現像液または
塗布液等がこぼれることがあった。従って、それぞれの
ワークに対する各処理部における処理が均一に行なわれ
ず、製品としての歩留りが低下するものであった。さら
に、上記のようにこぼれた現像液または塗布液等が乾燥
して塵埃が発生することがあった。また、搬送アームの
二本のバーの上面に形成されたワークの載置用凹段部は
、ウェハ等のワークの大きさにバラツキがあるため、そ
の内径が上記ワークの外径よりも大きく形成されており
、その載置用凹段部に載せられたワークを一定の位置に
保持することができないものであった。従って、ワーク
の処理部に対してワークを渡す際に、順次送られてくる
ワークを一定の位置に位置決めして渡すことができない
ものであった。このことから、上記処理部におけるワー
クの処理がスムーズにできないことがあった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決することが
できるワーク搬送装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、所定長さで平行に張設された二本のバー
を有し、これらのバーの間にはその長手方向にて一定間
隔で設けられワークを搬送して処理部へ渡す際の位置決
めをする位置決め部を複数箇所有する搬送アームと、こ
の搬送アームの二本のバーの間隔を開閉することにより
上記位置決め部を開閉する開閉機構と、上記搬送アーム
の全体を一定のピッチで水平方向に往復移動させる水平
送り機構と、ワークの処理部に対応する位置に設けられ
ワークを上昇及び下降させるワーク上下機構とを備えて
成り、上記搬送アームの基端部の位置決め部にてロータ
部側からのワークを受けて処理部へ順次搬送すると共に
、先端部の位置決め部にてアンロータ部側へワークを渡
すようにしたワーク搬送装置によって達成される。

〔作　用〕

このように構成されたワーク搬送装置は、搬送アームの
基端部の位置決め部にてロータ部側からのワークを受け
、開閉機構によって上記搬送アームの二本のバーの間隔
を開閉することにより上記位置決め部を開閉してワーク
の位置決めを行ない、水平送り機構で上記搬送アームの
全体を一定のピッチで水平方向に往復移動させてワーク
を処理部へ順次搬送し、ワーク上下機構によって上記ワ
ークの処理部に対してワークを上昇または下降して受は
渡し、処理後のワークを搬送アームの先端部の位置決め
部にてアンロータ部側へ渡すものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるワーク搬送装置の実施例を示す正
面図であり、第２図はその概略平面図である。図におい
て、搬送アーム１は、例えばウェハ等の板状のワークを
成る箇所から他の箇所へ送るもので、第２図に示すよう
に所定長さで平行に張設された二本のバー２，２を有し
、これらのバー２，２の間にはその長手方向にて一定間
隔Ｑをおいて設けられワーク３を搬送して処理部４（第
１図参照）へ渡す際の位置決めをする位置決め部５が複
数箇所設けられている。この位置決め部５は、ワーク３
の中心を一定のところに位置させることによりそのワー
ク３の位置決めを正しく行なうもので、第２図に示すよ
うに、二本のバー２゜２の長手方向にて一定間隔Ｑをお
いて位置決め部材５ａ、５ｂがそれぞれ対向して配置さ
れ、これらの位置決め部材５ａ、５ｂの上面には１例え
ば円板状のワーク３の外周形状と合致する円弧状側壁を
有する載置用凹段部６ａ、６ｂが形成されている。

上記搬送アーム１の基端部側の下方には、第１図に示す
ように、開閉機構７が設けられている。

この開閉機構７は、上記搬送アーム１の二本のバー２，
２の間隔を第２図に示す矢印Ａ、Ｂ；Ｃ。

Ｄ方向に開閉することにより上記位置決め部５を開閉す
るもので、坊区動源としての搬送アーム開閉モータ８と
、この搬送アーム開閉モータ８から駆動力を供給され適
宜開閉する従来公知のリンク機構９とからなる。

また、上記搬送アーム１の下方には、第１図に示すよう
に、水平送り機構１０が設けられている。

この水平送り機構１０は、上記搬送アーム１の全体を一
定のピッチ、例えば第２図に示す一定間隔Ｑのピッチで
水平方向に矢印Ｅ、Ｆのように往復移動させるもので、
駆動源としての搬送アーム水平送りモータ１１と、この
搬送アーム水平送りモータ１１によって回転される例え
ばネジ棒１２と。

このネジ捧１２に螺合して矢印Ｅ、Ｆ方向に往復移動す
る例えばスライダ１３と、上記ネジ捧１２に平行に張設
されたガイドバー１４と、上記スライダ１３の上面に立
設され左右二本のバー２，２をそれぞれ指示する支柱１
５とからなる。

さらに、ワーク３に対する各処理部４，４に対応する位
置には、第１図に示すように、ワーク上下機構１Ｇが設
けられている。このワーク上下機構１６は、上記搬送ア
ーム１により位置決めして搬送されたワーク３を上昇さ
せて各処理部４へ渡すと共に、処理後のワーク３を上記
処理部４から受けて下降させるもので、駆動源としての
例えば作動シリンダ１７と、そのロッドの上端に設けた
突き上げ板１８の上面に立設された複数本、例えば四本
の突き上げピン１９，１９．・・・（第２図参照）とか
らなる。なお、第１図においては、右側の第二の処理部
４の下方にのみワーク上下機構１６を図示したが、左側
の第一の処理部４の下方にも同様にワーク上下機構１６
が設けられている。

そして、第１図に示すように、上記搬送アーム１の基端
部の後方側には、内部にワーク３を積層したロータカセ
ット２０が設けられると共に、このロータカセット２０
から一枚ずつワーク３を取り出して上記搬送アーム１の
基端部の位置決め部５に上記ワーク３を受は渡す第一の
吸着ヘッド装置２１が設けられている。また、上記搬送
アーム１の先端部の前方側には、各処理部４で処理後の
ワーク３を内部に順次積層するアンロータカセット２２
が設けられると共に、上記搬送アーム１の先端部の位置
決め部５からワーク３を受は上記アンロータカセッ１−
２２内へ受は渡す第二の吸着ヘッド装置２３が設けられ
ている。ここで、上記第−及び第二の吸着ヘッド装置２
１．２３は、真空吸着によりワーク３を保持するもので
、それぞれの吸着ヘッド２４．２５が作動シリンダ２６
，２７により上昇及び下降すると共に、これらの装置部
がガイドレール２８．２９に沿って水平方向に往復移動
するようになっている。従って、上記それぞれの吸着ヘ
ッド２４．２５は、搬送アーム１の端部とロータカセッ
ト２０またはアンロータカセット２２との間で矩形運動
をすることとなる。

次に、このように構成されたワーク搬送装置の動作につ
いて説明する。まず、第１図において。

第一の吸着ヘッド装置２１の吸着ヘッド２４を上昇させ
、ロータカセット２ｏ内に積層された一番下のワーク３
の下面に当接させる。この状態で。

図示外の真空源で真空吸引して上記ワーク３を吸着ヘッ
ド２４に吸着する。次に、第一の吸着ヘッドＶ２ｆｉ２
１を水平方向に矢印Ｇのように移動させて、搬送アーム
１の基端部の位置決め部５のところで停止する。これに
より、上記吸着保持されたワーク３は、ロータカセット
２０内から取り出され、搬送アーム１の基端部の位置決
め部５の上方に位置する。このとき、搬送アーム１は、
第２図において矢印Ａ、Ｃ方向に二本のバー２，２の間
隔が開いた状態で待機している。次に、上記吸着ヘッド
２４を下降させると共にワーク３に対する真空吸着を解
除して、第２図に示すように、基端部の位置決め部５に
上記ワーク３を載せて受は渡す。次に、開閉機構７を動
作させて、第２図において矢印Ｂ、Ｄ方向に二本のバー
２，２の間隔を閉じる。すると、対向配置された位置決
め部材５ａ、５ｂが互いに接近して、該位置決め部材５
ａ。

５ｂに形成された載置用凹段部６ａ、６ｂによす上記ワ
ーク３の外周形状を押さえ付ける。これにより、上記ワ
ーク３は、その中心が一定のところに位置することとな
り、一定の状態に位置決めされる。この間に、上記第一
の吸着ヘッド装置２１は、矢印Ｈのように水平方向に移
動して元の位置に戻る。

次に、水平送り機構１０を動作させて、上記のようにワ
ーク３を位置決めした状態で搬送アーム１を第２図に示
す一定間隔Ｑのピッチで水平方向に矢印Ｅのように移動
させる。すると、上記搬送アーム１のノ、（端部の位置
決め部５が第１図において左側の第一の処理部４の下方
に位置する。次に、ワーク上下機構１６を動作させて、
第２図に示す四本の突き上げピン１９，１９．・・・を
上昇し、これらの突き上げピン１９，１９．・・・で上
記位置決め部５に載置されたワーク３を突き上げ、その
上方に位置する処理部４へ渡す。このとき、開閉機構７
の動作により、上記搬送アーム１は、第２図において矢
印Ａ、Ｃで示すように二本のバー２゜２の間隔が開かれ
る。その後、水平送り機構１０の動作により、上記搬送
アーム１は、第２図において矢印Ｆのように一定間隔Ｑ
のピッチで水平方向に移動し、最初の位置に戻される。

これにより、ワーク３の搬送の１サイクル動作が終了す
る。なお、上記処理部４においては、ワーク３に対して
塗布、スピン、ベータ等の所定の処理が行なわれる。

このようにして、上記処理部４におけるワーク３に対す
る処理が行なわれている間に、ロータカセット２０から
は第一の吸着ヘッド装置２１により二枚口のワーク３が
取り出され、搬送アーム１の基端部の位置決め部５に載
置される。そして、上記処理部４におけるワーク３に対
する処理が終了すると、再びワーク上下機構１６を動作
させて、四本の突き上げピン１９，１９．・・・が上下
して処理後のワーク３を受は取り、その下方に位置する
中間の位置決め部５に載置する。その後、開閉機構７が
動作して搬送アーム１の二本のバー２，２の間隔を矢印
Ｂ、Ｄ方向に閉じるが、このときは上記基端部の位置決
め部５に載置された二枚口のワーク３と、中間の位置決
め部５に載置された一枚目のワーク３の両方を同時に位
置決めする。

以下同様にして、ロータカセット２０から取り出したワ
ーク３を第１図に示す左側の第一の処理部４及び右側の
第二の処理部４に順次搬送して行く。そして、第２図に
二点鎖線で示す矢印Ｅ方向に移動した搬送アーム１の先
端部の位置決め部５にて、第二の吸着ヘッド装置２３の
吸着ヘッド２５の矩形運動により、処理後のワーク３を
アンロータカセット２２へ渡し、その内部に上の方から
順次積層して収納する。これにより、一連の搬送動作が
終了する。

なお、第１図においては、処理部４は二個設けたものと
して示したが、本発明はこれに限らず、ワーク３に施す
処理工程数に応じていくつ設けてもよい。この場合は、
上記処理部４の数に応じて搬送アーム１の位置決め部５
の数も増減する。また、ロータカセット２０から搬送ア
ーム１へワーク３を受は渡す手段及び上記搬送アーム１
からアンロータカセット２２へ処理後のワーク３を受は
渡す手段は、第−及び第二の吸着ヘッド装置２１゜２３
に限らず、板状のワーク３を確実に受は渡すことができ
るならばどのような装置であってもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、搬送アーム１の
基端部の位置決め部５にてロータ部側がらのワーク３を
受け、開閉機構７によって上記搬送アーム１の二本のバ
ー２，２の間隔を開閉することにより上記位置決め部５
を開閉してワーク３の位置決めを行ない、水平送り機構
１０で上記搬送アーム１の全体を一定のピッチで水平方
向に往復移動させてワーク３を各処理部４へ順次搬送し
、ワーク上下機構１６によって上記ワーク３の処理部４
に対してワーク３を上昇または下降して受は渡し、処理
後のワーク３を搬送アーム１の先端部の位置決め部５に
てアンロータ部側へ渡すことができる。従って、搬送ア
ーム１によるワーク３の搬送は、水平送りのみにより行
なうことができ、例えば上記ワーク３の上面に現像液ま
たは各種の塗布液等を塗布した状態でも、それらの液を
こぼすことなく搬送できる。このことから、それぞれの
ワーク３に対する各処理部４における処理が均一に行な
われ、製品としての歩留りを向上することができる。ま
た、上記こぼれた液等による塵埃の発生を予防すること
ができる。さらに、各処理部４に対してワーク３を渡す
際にその位置決めが正しくできるので、上記処理部４に
おけるワーク３の処理がスムーズに行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるワーク搬送装置の実施例を示す正
面図、第２図はその概略平面図である。 １・・・搬送アーム、　　２・・・バー、　　３・・・
ワーク、４・・・処理部、　５・・・位置決め部、　６
ａ、６ｂ・・・載置用凹段部、　７・・・開閉機構、　
１０・・・水平送り機構、　　１６・・・ワーク上下機
構、　　２０・・・ロータカセット（ロータ部）、　２
２・・・アンロータカセット（アンロータ部）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　所定長さで平行に張設された二本のバーを有し、これ
   らのバーの間にはその長手方向にて一定間隔で設けられ
   ワークを搬送して処理部へ渡す際の位置決めをする位置
   決め部を複数箇所有する搬送アームと、この搬送アーム
   の二本のバーの間隔を開閉することにより上記位置決め
   部を開閉する開閉機構と、上記搬送アームの全体を一定
   のピッチで水平方向に往復移動させる水平送り機構と、
   ワークの処理部に対応する位置に設けられワークを上昇
   及び下降させるワーク上下機構とを備えて成り、上記搬
   送アームの基端部の位置決め部にてロータ部側からのワ
   ークを受けて処理部へ順次搬送すると共に、先端部の位
   置決め部にてアンロータ部側へワークを渡すようにした
   ことを特徴とするワーク搬送装置。