JPH03195605A - ストッカ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ストッカ装置、特に、上位工程から送り出さ
れた板状物を搬入して一時的に収納し、収納した板状物
を下位工程へ一枚宛払い出しするストッカ装置に関し、
例えば、半導体装置の組立ラインにおいて、ワイヤボン
ディング工程とモールド工程とを継ぐ装置として利用し
てを効なストッカ装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体装置の組立ラインにおいて、ワイヤボンデ
ィング工程とモールド工程を継なぐ手段としでは、ワイ
ヤボンディングされたリードフレームをそのまま次工程
へ搬送するコンベア、あるいは、ラインバランス用の専
用ランクマガジンを１．２個程度、−時的に収納するよ
うに構成されているスト７カ装置が用いられている。

また、ワイヤボンディング工程とモールド工程が継なか
っていない場合には、専用のラックマガジンに１０ット
分のリードフレームを収納するように構成されているラ
ンクマガジンをセットし、このランクマガジンにリード
フレームを収納する方法が採用されている。

なお、半導体装置の組立ラインシステムを述べである例
としては、株式会社工業調査会発行「電子材料１９８８
年１２月号別冊」昭和６３年１２月１３日発行、Ｐ１０
０〜Ｐ１０４、がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、専用のラックマガジンに１０ット分のリードフ
レームを収納しておく方法においては、次工程のモール
ド装置が止まった場合、ワイヤボンディングされたリー
ドフレームを多量に止めておくことができないため、モ
ールド装置が止まった場合にはワイヤボンディング装置
も止めなければならないという問題点がある。

本発明の目的は、多量のリードフレームを一時的収納す
ることができるとともに、リードフレームを一枚宛払い
出すことができるストッカ装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、上位工程の製造装置から送出された板状物を
搬入して一時的に収納し、収納した板状物を下位工程の
製造装置へ一枚宛払い出しするストッカ装置において、
複数枚の板状物を複数段に分けて収納可能な複数のラッ
クマガジンと、このラックマガジンを搬入位置から搬出
位置まで往路と復路とで異なる径路により運ぶための循
環路が複数の区間に分けて形成されており、いずれかの
区間の循環路上にランクマガジンを収納するとともに、
指定のラックマガジンを指定の位置まで搬送する搬送機
構と、この搬送機構により搬入位置まで搬送されたラッ
クマガジンに複数枚の板状物を順次搬入する搬入機構と
、前記搬送機構により搬出位置まで搬送されたラックマ
ガジンから複数枚の板状物を一枚宛順次払い出す搬出機
構とを備えていることを特徴とする。

〔作用〕

前記した手段によれば、板状物を収納したラックマガジ
ンの搬送路が循環路として形成され、この１１２ｉｌｉ
路が複数の区間に分けられているため、いずれかの区間
に多数のランクマガジンを収納することができる。そし
て、必要に応じて、搬入位置のランクマガジンを搬出位
置まで搬送し、搬送位置にあるラックマガジンを搬送路
とは異なる径路で搬入位置まで戻すことが可能である。

また、循環路はサイズの相異するラックマガジンが収納
可能に構成されているため、板状物のサイズが変更され
でも、この形状に合ったラックマガジンを用いれば、板
状物のサイズに対応した各種の板状物を搬送することが
可能となる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるストッカ装置を示す平
面図、第２図は正面図、第３図は側面は第４図は搬送機
構の平面図、第５図は搬送機構の正面図、第６図はスト
フカ装置が用いられる半導体組立ラインシステムの全体
構成を示す側面図、第７図はリードフレームの平面図で
ある。第８図は本発明の他の実施例を示す平面図、第９
図は同じく正面図である。

本実施例において、本発明に係るストッカ装置１０は、
第６図に示されているように、ペレットボンダ１１、ベ
ーク炉１２、ワイヤボンダ１３、モールド装置１４を有
する半導体装置の組立ラインシステムに用いられ、ワイ
ヤボンダ１３とモールド装置１４との間に設置されてい
る。このストッカ装置１０には第７図に示されているよ
うに、ペレット１５にワイヤがボンディングされた板状
物としてのリードフレーム１６が上位工程の製造装置と
してのワイヤポンダ１３から供給されるようになってい
る。この板状物としてのリードフレーム１６はストッカ
装置１０に一時的に収納された後、モールド装置１４に
一枚宛供給されるようになっている。そして、モールド
装置Ｗ１４によりリードフレーム１６上のベレフト１５
が樹脂封止されるようになっている。

ストッカ装置１０は箱形の本体１７ｋにリードフレーム
搬入１！ｆ１１１８、リードフレームｓ送機ｔｓ１９、
および、リードフレーム搬出機構２０が設けられており
、本体１７の下面には支持具２１およびキャスク２２が
設けられている。

リードフレーム搬入機構１８は本体１７上部のリードフ
レーム搬入位置に配置されており、ワイヤボンダ１３に
連結されたベルトコンベア２３、ローダエレベータ２４
、受は板２５、押さえ２６、シリンダ２７、リードフレ
ーム収納ブツシャ２８を備えている。ローダエレベータ
２４は、受は板２５と押さえ２６で把持されたランクマ
ガジン２９を上下動させることができる。フレームブツ
シャ２８はシリンダ２７の駆動により水平方向に移動さ
れ、コンベア２３上のリードフレームＩ６をランクマガ
ジン２９内に押し出すように構成されている。このラッ
クマガジン２９は箱形に形成され、内部に複数枚のリー
ドフレーム１６を複数段に分けて収納するために、複数
の収納溝３０が形成されている。

リードフレーム搬送機構１９はラックマガジン２９をリ
ードフレーム搬入位置からリードフレーム搬出位置まで
往路と復路とで異なる径路で運ぶための循Ｗｉｎを４つ
の区間に分けて形成するようになっている。すなわち、
循環路は送りねじを用いた搬送部３１および３２、ラッ
クローダ部３３、および、ラックアンローダ部３４によ
って形成されている。

まず、う７クロ一ダ部３３は平板状のベルト受３５、こ
のベルト受３５を支持する支持棒３６、タイミングプー
リ３７、軸受３８．３本のタイミンクヘルド３９．２本
のラックマガジンストッパ４０を備えている。ベルト受
３５の前面側端辺には基準ガイド４１が垂直上向きに立
設されでいる。

３本のタイミングベルト３９は互いに平行、かつ、水平
にそれぞれ張設されており、タイミングプーリ３７０回
転に伴って矢印Ｘ方向に移動してタイミングベルト３９
上のラックマガジン２９をリードフレーム搬入位置側へ
搬送するように構成されている。タイミングベルト３９
は２本で小さいサイズのラックマガジン２９を搬送可能
になっており、３本で大きいサイズのラックマガジン２
９′を搬送可能になっている。

さらに、各タイミングベルト３９上には複数のラックマ
ガジン２９が長手方向に横並びに整列されで収納される
ようになっている。そして、各ラックマガジン２９を搬
送する際には、ランクマガジン２９はその端部を基準ガ
イド４１に揃えられてタイミングベルト３９上に載置さ
れており、上下動可能に形成されたラックマガジンスト
ッパ４０がタイミングベルト３９より下方へ押し込ま汰
１台のラックマガジン２９が移動された後、再び、ラン
クマガジンストッパ４０が突出されて、他のラックマガ
ジン２９の移動が阻止されるようになっている。これに
より、タイミングベルト３９上に多数台のラックマガジ
ン２９を整列させて収納することができるとともに、多
数台整列されたラックマガジン２９を１台宛、リードフ
レーム搬入位置に払い出すことができる。

一方、ラックアンローダ部３４もラックローダ部３３と
同様に、ベルト受３５、支持棒３６、タイミングプーリ
３７、軸受３８．３本のタイミングベルト３９．２本の
ラックマガジンストッパ４０を備えており、搬送部３１
からのラックマガジン２９をリードフレーム搬出位置ま
で搬送することができるように構成されている。

第１搬送部３１はラックローダ部３３からのラックマガ
ジン２９をラックアンローダ部３４へ搬送するように構
成されている。

また、第２搬送部３２はラックアンローダ部３４のラッ
クマガジン２９をラックローダ部３３へ搬送するように
構成されている。

リードフレーム搬出機構２０はアンローダエレベータ４
２、受は板４３、押さえ４４、シリンダ４５、リードフ
レーム排出ブツシャ４６、モールド装ｆ１４に連結され
たベルトコンベア４７を備えている。アンローダエレベ
ータ４２は受は板４３、押さえ４４で把持されたランク
マガジン２９を上下動させることができるように構成さ
れている。リードフレーム排出ブツシャ４６はシリンダ
４５の駆動により上下動され、さらに、駆動装置４８に
より往復動されるとともに、水平方向に移動されるよう
に構成されている。

すなわち、リードフレーム１６が収納されたランクマガ
ジン２９が受は板４３、押さえ４４で把持されると、ア
ンローダエレベータ４２の駆動により、ラックマガジン
２９の位置がベルトコンベア４７０位１に合わせられる
。そして、フレーム排出ブツシャ４６の作動により、ラ
ックマガジン２９内のリードフレーム１６がベルトコン
ベア４７上へ排出されるようになっている。

次に作用を説明する。

ワイヤボンダ１３からリードフレーム１６が排出される
と、このリードフレーム１６はベルトコンベア２３によ
りスト７力装置本体１７のリードフレーム搬入位置に搬
入される。このとき、ラックローダ部３３のストッパ４
０が下げられ、１台のラックマガジン２９がリードフレ
ーム搬出位置まで搬送される。そして、このラックマガ
ジン２９が受は板２５と押さえ２６で把持され、収納溝
３０の位置がベルトコンベア２３の位置に位置合わせさ
れる。

この状態で、リードフレーム収納ブツシャ２８が駆動さ
れると、ベルトコンベア２３上のリードフレーム１６は
ブツシャ２８によって押し出されるため、ラックマガジ
ン２９の収納溝３０内に収納される。

この後、ベルトコンベア２３によって次のリードフレー
ム１６が搬送されたときには、ローダエレベータ２４の
駆動により、収納溝３０のうち、リードフレーム１６が
収納されていない他の収納溝３０の位置と、ベルトコン
ベア２３の位置合わせが行われる。そして、ブツシャ２
８の押し出し駆動によってリードフレーム１６がランク
マガジン２９内に収納される。

このような動作が繰り返されることにより、ランクマガ
ジン２９内に複数枚のリードフレーム１６が複数段に分
けて収納される。

全ての収納溝３０内にリードフレーム１６がそれぞれ収
納されたランクマガジン２９（以下、実ラックマガジン
２９Ａということがある。）は、第１Ｆｆｉ送部３１に
よりラックアンローダ部３４側へ搬送される。

ラックアンローダ部３４に搬送された実う・７クマガジ
ン２９Ａはランクマガジンストツノ＜４０との当接によ
ってその移動が阻止され、タイミングベルト３９上に停
止される。この動作が繰り返されることにより、タイミ
ングベルト３９上には複数台の実ラックマガジン２９Ａ
が一列横隊に整列されて収納されることになる。

そして、これらの実ラックマガジン２９Ａ内のリードフ
レーム１６がリードフレーム搬出位ＩＥへ１台宛搬出さ
れる場合には、ラックマガジンストッパ４０が下げられ
、１台の実ラックマガジン２９Ａがリードフレーム搬出
位置まで移動される。

次いで、リードフレーム搬出位置まで移動された実−ｙ
ツクマガジン２９Ａは受は板４３と押さえ４４とによっ
て把持され、アンローダエレベータ４２の駆動によって
ベルトコンベア４７との位置合わせが行われる。

この後、シリンダ４５の駆動によってリードフレーム排
出ブツシャ４６が下降され、実ランクマガジン２９Ａの
背面側に配置される。続いて、アンローダエレベータ４
２の駆動によって排出すべきリードフレーム１６との位
置合わせが行われる。

次いで、駆動装置４８の駆動によってリードフレーム排
出ブツシャ４６が水平移動されると、実ランクマガジン
２９Ａ内のリードフレーム１６がベルトコンベア４７上
に排出される。そして、このリードフレーふ１６はベル
トコンベア４７によってモールド装置！１４まで搬送さ
れる。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１）　　タイミングベルト３９上に複数台のラックマ
ガジン２９を収納することができるため、モールド装置
１４が止まった場合でもワイヤボンダ１３を停止させる
必要はなく、ワイヤボンディング作業を継続して行うこ
とができる。

ｃ２）　　逆に、ワイヤポンダ１３が停止した場合でも
、タイミングベルト３９上に収納された複数のラックマ
ガジン２９からのリードフレーム１６を順次送出するこ
とかできるため、モールド装Ｗｔ、１４の作動を停止す
る必要がなくなる。

（３）　　リードフレーム１６のサイズが変わった場合
でも、ラックマガジン２９のサイズを変えるだけで、サ
イズの異なるリードフレーム１６を収納することができ
るとともに、−枚宛払い出すことができる。

（４）　ロフト処理が実施される場合、タイミングベル
ト３９上のいずれかのランクマガジン２９内に収納され
たリードフレーム１６を取り出して抜き取り検査をする
ことができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、第８図および第９図に示されているように、ｌ
ｌ′送１１１１９のうち、ラックローダ部３３とラック
アンローダ部３４とを階層構造とし、搬送部３１．３２
を昇降装置により構成することができる。

このように構成することにより、スト７カ装置の占有面
積を小さくすることが可能となる。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるワイヤボンディング
工程とモールド工程とを継ぐストッカ装置に適用した場
合について説明したが、それに限定されるものではなく
、ベレットポンディング工程とワイヤポンディング工程
とを継ぐストッカ装置等のように板状物を一時的に収納
して一枚宛払い出して行くストン力装置全般に適用する
ことができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

複数の板状物（リードフレーム）を収納可能なラックマ
ガジンを搬送機構に収納することができるため、上位工
程の製造装置および下位工程の製造装置のうちいずれか
一方の製造装置が停止した場合であっても、正常な製造
装置の作動を継続させることができ、生産性の向上に寄
与することができる。また、板状物（リードフレーム）
のサイズが異なった場合でも、ラックマガジンのサイズ
を変えることによってサイズの異なる板状物（リードフ
レーム）を収納することができるとともに搬送し、かつ
、−枚宛払い出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるスト７カ装置を示す平
面図、 第２図は正面図、 第３図は側面図、 第４図は搬送機構の平面図、 第５図は搬送＠構の正面図、 第６図はストッカ装置が用いられる半導体組立ラインシ
ステムの全体構成を示す側面図、第７図はリードフレー
ムの平面図である。 第８図は本発明の他の実施例であるストッカ装置を示す
平面図、 第９図は同じく正面図である。 １０−＝スト７カ装置、１１・−・ペレットポンダ、１
２・−・ベータ炉、１３・・・ワイヤボンダ、１４・・
・モールド装置、１５−・・ペレット、１６・・−リー
ドフレーム、１７−・ストッカ装置本体、ＩＢ・−・リ
ードフレーム搬入機構、１９・・・搬送機構、２０・・
・リードフレーム搬出機構、２１−・支持具、２２・・
・キャスタ、２３−・・ベルトコンベア、２４・−・ロ
ーダエレベータ、２５・・−受は板、２６・・・押さえ
、２７・・−シリンダ、２Ｂ−＝リードフレーム収納ブ
ツシャ、２９・・・ラックマガジン、３０・−・収納溝
、３１．３２・・・搬送部、３３・−ラックローダ部、
３４・・−ラックアンローダ部、３５・・・ベルト受、
３６・・・支持棒、３７・−・タイミングプーリ、３日
・・−軸受、３９−・タイミングベルト、４０・−ラン
クマガジンストッパ、４１・・・基準ガイド、４２・−
アンローダエレベータ、４３・−・受は板、４４・・・
押さえ、４５・−シリンダ、４６・・・フレーム排出ブ
ツシャ、４７・・−ベルトコンベア、４８・・・駆動装
置。 第８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、上位工程の製造装置から送出された板状物を搬入し
   て一時的に収納し、収納した板状物を下位工程の製造装
   置へ一枚宛払い出しするストッカ装置において、複数枚
   の板状物を複数段に分けて収納可能な複数のラックマガ
   ジンと、このラックマガジンを搬入位置から搬出位置ま
   で往路と復路とで異なる径路により運ぶための循環路が
   複数の区間に分けて形成されており、いずれかの区間の
   循環路上にラックマガジンを収納するとともに、指定の
   ラックマガジンを指定の位置まで搬送する搬送機構と、
   この搬送機構により搬入位置まで搬送されたラックマガ
   ジンに複数枚の板状物を順次搬入する搬入機構と、前記
   搬送機構により搬出位置まで搬送されたラックマガジン
   から複数枚の板状物を一枚宛順次払い出す搬出機構とを
   備えていることを特徴とするストッカ装置。 ２、前記搬送機構は、サイズの相異なるラックマガジン
   を収納可能な循環路を形成していることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のストッカ装置。 ３、前記搬送機構が、階層構造に構成されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のストッカ装置。