JPH09221203A - 自動搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 サイズが異なる複数規格のウエハキャリアボ
ックスを搬送する。 【解決手段】 サイズが異なる複数規格のボックス１を
搬送する自動搬送システムのスタッカクレーン３０は台
車３２、エレベータ３３で移動されるボックス保持装置
３４を備え、この保持装置３４はリニアモータ３６で左
右対称に開閉される一対のハンド３７と、両ハンドの現
在の位置を検出する一対の位置センサ３８と、両位置セ
ンサからの検出信号とリニアモータ３６の負荷との関係
を照合する照合装置３９とを備えている。保持装置がボ
ックスを保持するに際し両ハンドはボックスの左右両脇
から同時に閉じて行き、両ハンドとボックスとの左右対
称の関係が一致した時に保持を自動的に完了する。 【効果】 ボックス保持装置は大きさが異なるボックス
を取り扱えるため、保管庫、自動搬送システムは大きさ
の規格が異なるボックスの混流を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、自動搬送システ
ム、特に、物品を保管庫に対して自動的に出し入れする
自動搬送システムに関し、例えば、半導体装置の製造工
程において、半導体ウエハを複数枚保持したキャリアが
収納されているキャリアボックスを搬送するのに利用し
て有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体装置の製造工場においては
ＦＡ化が進み、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）
の各工程への搬送についても自動搬送システムが導入さ
れている。半導体装置の製造工場におけるウエハの自動
搬送システムにおいては、ウエハは複数枚がウエハキャ
リア（ウエハカセットとも呼ばれている。）に保持され
てキャリアボックス（以下、ボックスという。）に収納
された状態で搬送され、また、保管庫に保管されるの
が、一般的である。そして、この自動搬送システムにお
ける被搬送物としてのボックスは、自動搬送システムの
天井走行形軌道式搬送台車または床上走行形無軌道台車
等に装備されている被搬送物保持装置の左右一対のハン
ドに左右両脇から挟まれて保持された状態で、搬送され
る。

【０００３】なお、半導体装置の製造工場における自動
搬送システムを述べてある例としては、株式会社工業調
査会１９９４年１１月２５日発行「電子材料１９９４年
１１月号別冊」Ｐ１４１〜Ｐ１４５、がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体装置
の製造分野においては、生産効率の向上のためウエハの
大口径化が段階的に進展している。したがって、半導体
装置の製造工場においては、複数サイズのウエハが混流
する可能性が考えられる。しかし、従来の自動搬送シス
テムは、同一サイズのボックスを自動的に搬送するよう
に構築されているため、異なるサイズのウエハの混流生
産に対処することができない。

【０００５】本発明の目的は、サイズが異なる複数規格
の被搬送物を搬送することができる自動搬送システムを
提供することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、サイズが異なる複数規格の被搬
送物を自動的に搬送する自動搬送システムには、互いに
左右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の
位置を検出する一対の位置センサと、両位置センサから
の検出信号とハンド駆動モータの負荷との関係を照合す
る照合装置とを備えている被搬送物保持装置が配備され
ている。

【０００９】前記した被搬送物保持装置が被搬送物を保
持するに際して、一対のハンドは被搬送物の左右両脇か
ら同時に閉じて行き、両ハンドと被搬送物との左右対称
の関係が一致した時に被搬送物の保持を自動的に完了し
た状態になる。すなわち、例えば、左側のハンドが被搬
送物に先に当接しても、左側のハンドは位置センサによ
って所定のハンド位置が検出されない限り閉じ作動を継
続する。そして、両方のハンドの所定の位置が位置セン
サによってそれぞれ検出され、かつ、両ハンドが被搬送
物を両脇から押さえた状態がハンド駆動用モータの負荷
によって検出されると、両ハンドは被搬送物の保持を完
了した状態になる。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
自動搬送システムの被搬送物保持装置を示しており、
（ａ）は一部省略斜視図、（ｂ）は模式図である。図２
はそれが使用されているウエハ加工ラインを示す概略斜
視図である。図３はジョブショップを示す概略斜視図で
ある。図４は保管庫を示す概略斜視図である。図５は保
管棚を示す一部省略斜視図であり、（ａ）はボックスの
保管前を、（ｂ）は保管後をそれぞれ示している。図６
は保管庫の出し入れ口を示す概略斜視図である。図７は
制御系統を示す各ブロック図であり、（ａ）は保管庫の
制御系統、（ｂ）は全体の制御系統をそれぞれ示してい
る。

【００１１】本実施形態において、本発明に係る自動搬
送システムは、半導体装置の製造工場においてウエハキ
ャリアを収納したボックスを自動的に搬送する自動搬送
システムとして構築されている。この自動搬送システム
における被搬送物であるボックス１は、複数枚のウエハ
８を保持したウエハキャリア９を収納するように構成さ
れているとともに、サイズが異なる複数の規格品が用意
されている。例えば、大中小の規格サイズのボックス１
は、直径が６インチのウエハを保持したウエハキャリア
を収容し得るように、直径が８インチのウエハを保持し
たウエハキャリアを収容し得るように、直径が１２イン
チのウエハを保持したウエハキャリアを収納し得るよう
にそれぞれ構成されている。そして、サイズが異なる各
規格のボックス１の左右、前後および高さの寸法値は予
め求められて、自動搬送システムの各コントローラに記
録されている。

【００１２】ボックス１は密閉可能な箱体に形成されて
おり、互いに略上下対称形の本体２と蓋体３とを備えて
いる。本体２および蓋体３は大径側端面が開口した台形
四角錐形状の箱体にそれぞれ形成されて、互いに開口面
同士を最中合わせにされた状態で一辺をヒンジ４によっ
て回動自在に連結されている。したがって、ボックス１
は蓋体３がヒンジ４を中心に上下方向に回動することに
よって本体２に対して開閉されるように構成されてい
る。本体２の側面上端部には把手部５が水平に突設され
ており、本体２の下面における四隅には脚部６がそれぞ
れ突設されている。ボックス１は全体的に左右および前
後対称形に構成されている。そして、ボックス１の上面
にはコントロールカード７が適宜添付されるようになっ
ている。

【００１３】半導体装置の製造工場の前工程であるウエ
ハの加工ラインは無人化を図るため、全自動化が推進さ
れており、それを実現するために自動搬送システムが採
用されている。すなわち、図２に示されているように、
ウエハの加工ライン１０は、酸化・拡散、リソグラフィ
ー、イオン注入、ＣＶＤ、エッチング等の複数の工程を
備えており、原則として、各工程毎にジョブショップ化
されている。図３に示されているように、各ジョブショ
ップ１１にはボックス１の受け渡しおよび一時的なバッ
ファ機能を持つ保管庫（後記する。）が設備されてい
る。

【００１４】各ジョブショップ１１間は自動搬送システ
ムの工程間搬送装置１２によって接続されている。すな
わち、各ジョブショップ１１間には工程間搬送装置１２
の天井走行形台車用レール１３が敷設されており、天井
走行形台車用レール１３には天井走行形軌道式搬送台車
（以下、天井走行形台車という。）１４が設備されてい
る。この天井走行形台車１４は天井走行形台車用レール
１３を自動的に走行して、ボックス１を各ジョブショッ
プ１１間に搬送するとともに、ボックス１を各ジョブシ
ョップ１１の保管庫に自動的に搬入搬出するように構成
されている。

【００１５】図３に示されているように、ジョブショッ
プ１１内には、酸化・拡散装置、露光装置、イオン注入
装置、ＣＶＤ装置およびエッチング装置等の半導体製造
装置１５、並びに、膜圧測定装置や外観検査装置等の検
査装置１６が設備されており、それらの半導体製造装置
１５および検査装置１６間に対してウエハキャリア９を
自動的に搬送するための工程内搬送装置としての床上走
行形無軌道台車（以下、床上走行形台車という。）１７
が設備されている。また、床上走行形台車１７は保管庫
からウエハ８を収容したウエハキャリア９を受け取って
半導体製造装置１５に搬送するとともに、半導体製造装
置１５または検査装置１６からウエハキャリア９を受け
取って保管庫へ受け渡すようになっている。

【００１６】図４に示されているように、保管庫２０は
フイルタユニット（図示せず）によって室内の清浄度を
維持されるクリーンチャンバ２１を備えている。クリー
ンチャンバ２１の室内には複数段の保管棚２２が架設さ
れており、各保管棚２２は複数個のボックス１を載置し
て保管するように構成されている。図５に示されている
ように、各保管棚２２の各ボックス載置箇所には大中小
の正方形枠形状をなす大型用位置決め部２３ａ、中型用
位置決め部２３ｂおよび小型用位置決め部２３ｃが同心
的に配されてそれぞれ突設されている。大中小用の各位
置決め部は３個で一組のアングル形状の突起が大中小の
正方形の３か所のコーナーに配されることによって構成
されている。そして、大中小用の各位置決め部は保管対
象物品であるボックス１の各規格の大きさにそれぞれ対
応されている。

【００１７】また、クリーンチャンバ２１の側壁におけ
る各所定位置には、天井走行形台車１４に対してボック
ス１を授受するための工程間出し入れ口２４と、床上走
行形台車１７に対してボックスを授受するための工程内
出し入れ口２５とがそれぞれ開設されている。図６に示
されているように、工程間出し入れ口２４には出し入れ
対象物品であるボックス１の大きさを検出するサイズセ
ンサ２６が配設されている。図６に示されているサイズ
センサ２６は複数個の光学センサが上中下段に配置され
て構成されており、ボックス１の各規格の高さの違いを
検出することによって、工程間出し入れ口２４に載置さ
れたボックス１のサイズを検出するように構成されてい
る。サイズセンサ２６の検出結果は後記する保管庫コン
トローラに送信されるようになっている。図示および詳
細な説明は省略するが、工程内出し入れ口２５にもサイ
ズセンサ２６が同様に設備されている。

【００１８】さらに、クリーンチャンバ２１の室内には
ボックス１に付されたコントロールカード７内の情報を
読み取るコントロールカード読取装置２７と、後記する
保管庫内ボックス搬送装置３０とが設備されている。本
実施形態において、コントロールカード７は例えばバー
コード（図示せず）が印刷されたカードにより構成され
ており、コントロールカード読取装置２７はこのコント
ロールカード７に印刷されたバーコードを読み取るバー
コードリーダにより構成されている。

【００１９】保管庫内ボックス搬送装置（以下、スタッ
カクレーンという。）３０は、工程間出し入れ口２４お
よび工程内出し入れ口２５と保管棚２２との間でボック
ス１を授受して搬送するように構成されている。すなわ
ち、図１に示されているように、スタッカクレーン３０
はクリーンチャンバ２１内の床上に敷設されたレール３
１を往復移動する台車３２を備えており、台車３２の上
には被搬送物としてのボックス１を左右両脇から挟んで
保持する被搬送物保持装置（以下、ボックス保持装置と
いう。）３４を昇降させるためのエレベータ３３が垂直
に立設されている。

【００２０】ボックス保持装置３４はエレベータ３３に
よって昇降される支持台３５を備えており、支持台３５
には左右方向に移動する左右で一対のリニアモータ３
６、３６がそれぞれ設備されており、左右のリニアモー
タ３６、３６には左右で一対のハンド３７、３７がそれ
ぞれ固定されている。左右のハンド３７、３７は支持台
３５の前面から前方に直角かつ水平に突出されており、
ボックス１の左右の把手部５に下からそれぞれ係合する
ことによりボックス１を下から持ち上げるようになって
いる。

【００２１】さらに、支持台３５にはハンドの位置を検
出する左右で一対の位置センサ３８、３８が図１（ｂ）
に示されているようにそれぞれ配設されている。図１
（ｂ）に示されている位置センサ３８、３８は複数個の
光学センサが外側中央および内側の３か所にそれぞれに
配置されて構成されており、ハンド３７の現在の位置を
検出するように構成されている。位置センサ３８の検出
結果は照合装置３９に送信されるようになっている。照
合装置３９は左右の位置センサ３８、３８からの検出信
号と左右のリニアモータ３６、３６の負荷との関係を照
合することにより左右のハンド３７、３７によるボック
ス１の保持状態を判定するように構成されている。図示
および詳細な説明は省略するが、ボックス保持装置３４
は天井走行形台車１４および床上走行形台車１７にも設
備されている。

【００２２】図７（ａ）に示されているように、保管庫
２０の各構成部分は保管庫コントローラ４０に通信回路
４１によってそれぞれ接続されており、保管庫２０にお
ける作業は保管庫コントローラ４０によって統括して制
御されるようになっている。

【００２３】また、図７（ｂ）に示されているように、
工程間搬送装置１２、床上走行形台車１７、保管庫２０
のコントローラは自動搬送システムのホストコントロー
ラ４２に通信回路４３によりそれぞれ接続されており、
ホストコントローラ４２の指令により所定の作業を実行
するようになっている。さらに、この通信回路４３には
進度管理システムのコントローラ４４が接続されてい
る。

【００２４】次に、前記構成に係る自動搬送システムに
よる搬送作業について保管庫の搬入搬出作業を主体にし
て説明する。

【００２５】まず、ボックス１が保管庫２０に搬入され
る場合について説明する。ジョブショップ１１において
所定の工程を終了したウエハ８はロット毎に元のウエハ
キャリア９に戻され、そのウエハキャリア９はボックス
１に収納される。処理済のウエハキャリア９を収納され
たボックス１は進度管理システムのコントローラ４４お
よび自動搬送システムのホストコントローラ４２の指定
に従って、工程間搬送装置１２により次の工程を処理す
るジョブショップ１１へ搬送され、その工程のジョブシ
ョップ１１に設置された保管庫２０の工程間出し入れ口
２４へ搬入されて載置される。

【００２６】工程間出し入れ口２４に載置されたボック
ス１はサイズセンサ２６によって大きさを検出される。
サイズセンサ２６によって検出されたボックス１の大き
さは、図７（ａ）に示されている通信回路４１を通じて
保管庫コントローラ４０に送信される。保管庫コントロ
ーラ４０はサイズセンサ２６からのボックス１の大きさ
についての情報に基づいて、そのボックス１に対応した
制御信号をスタッカクレーン３０のコントローラ（図示
せず）に指令する。

【００２７】スタッカクレーン３０は保管庫コントロー
ラ４０からの制御信号によって工程間出し入れ口２４の
ボックス１を保持する。スタッカクレーン３０が被搬送
物であるボックス１を保持するに際して、左右のリニア
モータ３６、３６は保管庫コントローラ４０からの制御
信号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動さ
れるため、左右のハンド３７、３７はボックス１の左右
両脇から均等に閉じて行き、左右のハンド３７、３７と
ボックス１との左右対称の関係が一致した時にボックス
１の保持を自動的に完了した状態になる。

【００２８】すなわち、例えば、左側のハンド３７がボ
ックス１の左側に先に当接しても、左側のハンド３７は
保管庫コントローラ４０が指定した左側の位置センサ３
８によってその位置を検出されない限り閉じ作動を継続
する。そして、保管庫コントローラ４０が指定した左右
の位置センサ３８、３８は、互いに左右対称に閉じて来
た左右のハンド３７、３７を検出すると、検出信号を照
合装置３９に送信する。他方、互いに左右対称に閉じて
来た左右のハンド３７、３７がボックス１の左右に当接
すると、互いに押し合う状態になるため、左右のハンド
３７、３７を駆動するリニアモータ３６、３６の負荷状
態は変化する。このリニアモータ３６、３６の負荷状態
の変化は照合装置３９に送信される。照合装置３９は左
右の位置センサ３８、３８からの検出信号と両リニアモ
ータ３６、３６からの信号とを照合することにより、左
右のハンド３７、３７がボックス１の保持を完了したこ
とを判定し、エレベータ３３に持ち上げ作動を指令す
る。

【００２９】以上のようにして左右のハンド３７、３７
が左右対称に閉じ作動してボックス１を保持するため、
ボックス保持装置３４は大きさの規格が異なるボックス
１のいずれをも取り扱うことができる。したがって、保
管庫２０しいては自動搬送システムは大きさの規格が異
なるボックス１の混流を実現することができる。

【００３０】ボックス１を保持したスタッカクレーン３
０はそのボックス１をコントロールカード読取装置２７
に搬送する。コントロールカード読取装置２７はボック
ス１の上面に添付されたコントロールカード７のデータ
を読み取って保管庫コントローラ４０に送信する。保管
庫コントローラ４０はそのデータによってそのボックス
１を保管すべき保管棚２２の場所を指定し、スタッカク
レーン３０に搬送指令を与える。なお、スタッカクレー
ン３０のボックス保持装置３４はボックス１を左右対称
形に保持しているため、コントロールカード読取装置２
７の読取ステージとして使用することもできる。すなわ
ち、スタッカクレーン３０はボックス１の中心位置をコ
ントロールカード読取装置２７の読取位置に位置合わせ
することができる。

【００３１】次いで、スタッカクレーン３０は保持した
ボックス１を指定された保管棚２２の保管場所に搬送し
て移載させる。ボックス１の保管棚２２への移載に際し
て、スタッカクレーン３０のボックス保持装置３４はボ
ックス１を左右対称形に保持しているため、ボックス１
の中心位置を大中小用の位置決め部２３ａ、２３ｂ、２
３ｃのいずれの中心にも位置合わせすることができる。
したがって、スタッカクレーン３０はボックス１と位置
決め部とを位置合わせした後にエレベータ３３を下降作
動させることより、ボックス１をその規格サイズに対応
した大中小用の位置決め部２３ａ、２３ｂ、２３ｃのい
ずれか位置合わせさせることができる。そして、ボック
ス保持装置３４の左右のハンド３７、３７が各リニアモ
ータ３６、３６によって左右対称形に開き作動される
と、ボックス１は保管棚２２の指定された場所に移載さ
れた状態になる。

【００３２】なお、このボックス１の保管棚２２におけ
る保管状態において、ボックス１の脚部６は大中小用の
位置決め部２３ａ、２３ｂ、２３ｃのいずれかに係合し
た状態になるため、ボックス１は保管棚２２の指定され
た場所に位置座標を特定された状態で保管されることに
なる。この位置座標はボックス１のコードと共に保管庫
コントローラ４０、自動搬送システムのホストコントロ
ーラ４２および進度管理システムのコントローラ４４に
記憶される。また、ボックス１の下面には脚部６が突設
されているため、ボックス１の下面に内側に位置する中
型用位置決め部２３ｂまたは小型用位置決め部２３ｃが
干渉することはない。

【００３３】次に、保管庫２０に保管されたボックス１
がジョブショップ１１内に投入されるべく、保管庫２０
から搬出される場合について説明する。この場合、進度
管理システムのコントローラ４４は自動搬送システムの
ホストコントローラ４２に、搬出すべきボックス１をコ
ントロールカード７のコードによって指定して指令す
る。自動搬送システムのホストコントローラ４２は保管
庫コントローラ４０に搬出すべきボックス１のコードを
送信する。送信されたコードを受信した保管庫コントロ
ーラ４０は、搬出すべきボックス１が保管された保管棚
２２の場所を保管棚２２の位置座標によってスタッカク
レーン３０に指定する。

【００３４】スタッカクレーン３０は保管庫コントロー
ラ４０からの制御信号によって指定された保管場所のボ
ックス１を保持する。スタッカクレーン３０がボックス
１を保持するに際して、前述と同様に、左右のリニアモ
ータ３６、３６は保管庫コントローラ４０からの制御信
号によって左右対称に互いに内向きにそれぞれ作動され
るため、左右のハンド３７、３７はボックス１の左右両
脇から均等に閉じて行き、左右のハンド３７、３７とボ
ックス１との左右対称の関係が一致した時にボックス１
の保持を自動的に完了した状態になる。そして、この場
合にも左右のハンド３７、３７が左右対称に閉じ作動し
てボックス１を保持するため、ボックス保持装置３４は
大きさの規格が異なるボックス１のいずれをも取り扱う
ことができる。したがって、保管庫２０しいては自動搬
送システムは大きさの規格が異なるボックス１の混流を
実現することができる。

【００３５】ボックス１を保持したスタッカクレーン３
０はそのボックス１をコントロールカード読取装置２７
に搬送する。コントロールカード読取装置２７はボック
ス１の上面に添付されたコントロールカード７のデータ
を読み取って保管庫コントローラ４０に送信する。保管
庫コントローラ４０は読み取られたコードと指定された
コードとを照合し、一致している場合には、スタッカク
レーン３０に工程内出し入れ口２５への搬送指令を与え
る。なお、不一致の場合には、保管庫コントローラ４０
はスタッカクレーン３０にやり直しを命令する。

【００３６】次いで、スタッカクレーン３０は保持した
ボックス１を工程内出し入れ口２５に搬送して移載す
る。ボックス１の工程内出し入れ口２５への移載に際し
て、スタッカクレーン３０のボックス保持装置３４はボ
ックス１を左右対称形に保持しているため、ボックス１
の中心位置を工程内出し入れ口２５の中心に位置合わせ
することができる。したがって、スタッカクレーン３０
によって工程内出し入れ口２５に移載されたボックス１
は常に一定の位置を維持することができる。

【００３７】工程内出し入れ口２５に載置されたボック
ス１はサイズセンサ２６によって大きさを検出される。
サイズセンサ２６によって検出されたボックス１の大き
さは、保管庫コントローラ４０を通じて自動搬送システ
ムのホストコントローラ４２に送信される。自動搬送シ
ステムのホストコントローラ４２はサイズセンサ２６か
らのボックス１の大きさについての情報に基づいて、そ
のボックス１に対応した制御信号を工程内搬送装置であ
る床上走行形台車１７のコントローラ（図示せず）に指
令する。

【００３８】床上走行形台車１７は自動搬送システムの
ホストコントローラ４２からの制御信号によって、ボッ
クス１の蓋体３を開いてボックス１内からウエハキャリ
ア９を取り出して保持する。床上走行形台車１７は保持
したウエハキャリア９をジョブショップ１１内の指定さ
れた半導体製造装置１５または検査装置１６に搬送す
る。そして、半導体製造装置１５または検査装置１６に
搬送されたウエハキャリア９のウエハ８は所定の処理を
実行される。

【００３９】他方、工程内出し入れ口２５においてウエ
ハキャリア９を取り出された空のボックス１は、スタッ
カクレーン３０によって再び保持されてコントロールカ
ード読取装置２７に搬送されコントロールカード７を読
み取られた後に、元の保管棚２２の指定場所に戻され
る。

【００４０】その後、ウエハ８に対するジョブショップ
１１内における所定の工程が最終段階まで終了すると、
ウエハ８を収納したウエハキャリア９はスタッカクレー
ン３０によって工程内出し入れ口２５に再び搬送された
元の空ボックス１に戻される。以降、前述した作業が繰
り返されることにより、ボックス１が各工程のジョブシ
ョップ１１を流れて行く。

【００４１】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 （１） ボックス保持装置の左右のハンドが左右対称に
閉じ作動してボックスを保持することにより、ボックス
保持装置は大きさの規格が異なるボックスのいずれをも
取り扱うことができるため、保管庫しいては自動搬送シ
ステムは大きさの規格が異なるボックスの混流を実現す
ることができる。

【００４２】（２） 保管庫の工程間出し入れ口や工程
内出し入れ口にボックスのサイズを検出するサイズセン
サを配備することにより、取り扱うボックスのサイズを
予め認識することができるため、ボックス保持装置は大
きさの規格が異なるボックスのいずれをも、より一層正
確かつ確実に保持することができる。

【００４３】（３） ボックス保持装置に位置センサお
よび照合装置を装備することにより、左右のハンドによ
る異なるサイズのボックスの保持作動を確実かつ安全に
実行させることができる。

【００４４】（４） 大きさの規格が異なるボックスの
自動搬送を実現することにより、半導体装置の製造工場
におけるサイズの異なるウエハの混流生産を実現するこ
とができるため、半導体装置の製造工場におけるＦＡ化
および多品種少量生産を促進することができる。

【００４５】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００４６】例えば、ウエハ加工ラインはワンフロアー
に構築するに限らず、複数階に構築してもよい。ウエハ
加工ラインが複数階に構築されている場合には、工程間
搬送装置としてはフロアー間搬送装置（リフター）も併
用されることになる。

【００４７】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるウエハ
キャリアを収納したボックスの自動搬送システムに適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、サイズの異なるウエハキャリア等のサイズが異
なる複数規格の物品が混流する場合の自動搬送システム
全般に適用することができる。また、製造工場に限ら
ず、倉庫業や商品の販売業、運送業等の自動搬送システ
ムにも適用することができる。

【００４８】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４９】被搬送物保持装置の左右のハンドが左右対
称に閉じ作動して被搬送物を保持することにより、被搬
送物保持装置は大きさの規格が異なる被搬送物のいずれ
をも取り扱うことができるため、自動搬送システムは大
きさの規格が異なる被搬送物の混流を実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である自動搬送システムの
被搬送物保持装置を示しており、（ａ）は一部省略斜視
図、（ｂ）は模式図である。

【図２】それが使用されているウエハ加工ラインを示す
概略斜視図である。

【図３】ジョブショップを示す概略斜視図である。

【図４】保管庫を示す概略斜視図である。

【図５】保管棚を示す各一部省略斜視図であり、（ａ）
はボックスの保管前を、（ｂ）は保管後をそれぞれ示し
ている。

【図６】保管庫の出し入れ口を示す概略斜視図である。

【図７】制御系統を示す各ブロック図であり、（ａ）は
保管庫の制御系統、（ｂ）は全体の制御系統をそれぞれ
示している。

【符号の説明】

１…ボックス、２…本体、３…蓋体、４…ヒンジ、５…
把手部、６…脚部、７…コントロールカード、８…ウエ
ハ、９…ウエハキャリア、１０…ウエハ加工ライン、１
１…ジョブショップ、１２…工程間搬送装置、１３…天
井走行形台車用レール、１４…天井走行形軌道式搬送台
車（天井走行形台車）、１５…半導体製造装置、１６…
検査装置、１７…床上走行形無軌道台車（床上走行形台
車、工程内搬送装置）、２０…保管庫、２１…クリーン
チャンバ、２２…保管棚、２３ａ…大型用位置決め部、
２３ｂ…中型用位置決め部、２３ｃ…小型用位置決め
部、２４…工程間出し入れ口、２５…工程内出し入れ
口、２６…サイズセンサ、２７…コントロールカード読
取装置、３０…保管庫内ボックス搬送装置（スタッカク
レーン）、３１…レール、３２…台車、３３…エレベー
タ、３４…被搬送物保持装置（ボックス保持装置）、３
５…支持台、３６…リニアモータ、３７…ハンド、３８
…位置センサ、３９…照合装置、４０…保管庫コントロ
ーラ、４１…通信回路、４２…自動搬送システムのホス
トコントローラ、４３…通信回路、４４…進度管理シス
テムのコントローラ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 サイズが異なる複数規格の被搬送物を自
   動的に搬送する自動搬送システムであって、 前記被搬送物を保持する被搬送物保持装置は、互いに左
   右対称に開閉する一対のハンドと、両ハンドの現在の位
   置を検出する一対の位置センサと、両位置センサからの
   検出信号とハンド駆動用モータの負荷との関係を照合す
   る照合装置とを備えていることを特徴とする自動搬送シ
   ステム。
2. 【請求項２】 前記被搬送物が載置される場所に被搬送
   物のサイズを検出するサイズセンサが設置されているこ
   とを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム。
3. 【請求項３】 前記被搬送物を保管する保管庫の出し入
   れ口に前記サイズセンサが設置されており、前記被搬送
   物保持装置がこの出し入れ口と保管庫の各保管棚との間
   を往復するように構成されていることを特徴とする請求
   項２に記載の自動搬送システム。