JP2000012644A

JP2000012644A - カセット移載システム

Info

Publication number: JP2000012644A
Application number: JP17870498A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Yamamoto; 哲夫山本; Takeshi Ito; 伊藤　　剛; Seiji Watanabe; 誠治渡辺; Toshimitsu Miyata; 敏光宮田; Tetsuya Kosugi; 哲也小杉; Shigeo Fukuda; 重夫福田; Tsutomu Takeuchi; 努武内
Original assignee: Kokusai Electric Corp
Current assignee: Kokusai Electric Corp
Priority date: 1998-06-25
Filing date: 1998-06-25
Publication date: 2000-01-14

Abstract

(57)【要約】【課題】ＳＭＩＦ装置のカセット把持に際し、カセッ
トに変形を与えることのないグリップハンドを用いるカ
セット移載システムを提供する。【解決手段】ＳＭＩＦ装置に装着され水平アームおよ
び垂直アームによって自在に移動されるＳＭＩＦ装置の
グリップハンド４２は、水平方向および垂直方向に移動
可能なフォーク４３と、巻ばね６１，６２によってフォ
ークの間に垂下された押圧板６３を有する。グリップハ
ンドは、２つのフォーク４３を下降させた状態で、それ
らを矢印Ｈの方向に近付け、フォークをカセットの係合
用フック２３に係合させる。次に、グリップハンドは、
フォークを上昇させ、カセットを中継カセットステージ
３０から引き上げるとともに、カセットの係合用フック
の上面を押圧板に当接させ、さらに、巻ばねの反撥力に
抗して若干上昇させ、２つのフォークと巻ばねに付勢さ
れた押圧板とでカセットを把持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
において、ＳＭＩＦポッド等に収納されたカセットをカ
セット収納棚に移載するカセット移載システムに関し、
特に、カセットを把持するグリップハンドを備えるＳＭ
ＩＦ装置とアクチュエータにカセットを載せて移動させ
ることができるカセットローダとがカセットの受け渡し
を行うカセット移載システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２は、この種の従来の半導体製造装
置に用いられているカセット移載システムを示す構成図
である。図１２においては、半導体製造装置におけるカ
セット収納棚１２１とカセットの授受を行うカセット移
載システム１００の部分のみを示している。したがっ
て、図１２の左側にはウェーハに成膜処理などを行う反
応炉およびその反応炉とカセット収納棚との間のウェー
ハの授受を行う反応炉用ウェーハ移載機等が配置されて
いるのである。このカセット移載システム１００におい
て、ＳＭＩＦ装置１１０（ＳＭＩＦ＝Standard Mechani
cal Interface ）は、ＳＭＩＦポッド１１１の中に収容
されているウェーハカセット１２（図３参照；以降、カ
セット１２と記す）の係合用フック２３をＳＭＩＦアー
ム１１４の一端に取り付けられた回転アーム１１５の先
端のグリップハンド１４２（図１３（ａ））により把持
する。

【０００３】カセット１２を把持したＳＭＩＦ装置１１
０は、ＳＭＩＦ昇降機構１１３を駆動して、把持したカ
セット１２をＳＭＩＦボッド１１１から降下させるとと
もに、ＳＭＩＦアーム１１４を駆動して把持したカセッ
ト１２を反応炉側（図１２において左側）に移動させ、
回転アーム１１５を回転させ、カセットローダ１２０の
アクチュエータの上にカセット１２を載置しカセットロ
ーダ１２０に引き渡す。カセット１２を受け取ったカセ
ットローダ１２０は、上昇あるいは下降を行って、反応
炉側に縦方向に複数積み上げるような状態に配置された
カセット収納棚１２１に受け取ったカセット１２を適宜
に収納する。この場合、ファン・フィルタ・ユニット１
２５，１２６や排気ファン１２７は、内部を清浄に保つ
ように働いている。

【０００４】ＳＭＩＦアーム１１４のグリップハンド１
４２は、図１３（ａ）に示されるように、カセット１２
の係合用フック２３を把持するためのフォーク１４３
と、把持の際にカセット１２を押圧する２本の押圧ピン
１６３と、押圧ピン１６３を上下動可能にグリップハン
ド１４２に連結させている巻ばね１６１とを有する。グ
リップハンド１４２は、２つのフォーク１４３の間隔を
広げた状態で支持部材１３０の上に載るカセット１２の
上に降下され、押圧ピン１６３の先端が２つの係合用フ
ック２３の間のカセット１２の上面に当接する。その
後、グリップハンド１４２は、フォーク１４３がカセッ
ト１２の係合用フック２３に係合できるように、巻ばね
１６１の反撥力に抗して押圧ピン１６３が矢印Ｖの方向
にスライドするように、さらに若干降下させられる（図
１３（ｂ））。この押圧ピン１６３による押圧は、カセ
ット１２を確実に把持するためのものである。グリップ
ハンド１４２は、フォーク１４３を矢印Ｈ方向に移動さ
せて、カセット１２の係合用フック２３に近付け、係合
用フック２３に係合させる（図１３（ｃ））ことによ
り、カセット１２を把持する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
製造装置に用いられるカセット移載システム１００にお
いては、ＳＭＩＦポッド１１１からのカセット１２をカ
セットローダ１２０に引き渡すために、ＳＭＩＦ装置１
１０のＳＭＩＦ昇降機構１１３がカセット１２を把持し
たＳＭＩＦアーム１１４を直下に降下させるとともに、
比較的に長い回転アーム１１５を回転させなければなら
ず、機構が複雑になるとともに、余計なスペースを必要
とし、ティーチング機能を付帯させた場合には、その調
節が容易でない。また、ＳＭＩＦ装置１１０とカセット
ローダ１２０とがカセット１２を挟んで、ＳＭＩＦ装置
１１０からカセットローダ１２０に直接カセット１２を
引き渡すので、ＳＭＩＦ装置１１０がカセットローダ１
２０に負荷をかけてしまうこととなり、カセットローダ
１２０がベルト駆動であることもあって、カセットロー
ダ１２０の位置が正規の位置からずれてしまうという問
題がある。さらに、グリップハンド１４２がカセット１
２を把持する場合に、カセット１２の係合フック２３よ
り強度の低い係合フック２３の間の上面を押圧ピンによ
り点で押圧することによりカセット１２やカセット１２
の支持部材に変形を与えるという問題もある。

【０００６】この発明は、上記問題に鑑み、ＳＭＩＦ装
置の構造が簡単、かつ、スペースを多くとらず、ＳＭＩ
Ｆ装置とカセットローダとの間のカセットの授受によっ
てカセットローダに位置ずれが発生せず、ティーチング
機能の調節も容易であり、カセット把持に際し、カセッ
トやカセットの支持部材に変形を与えることのなく、オ
リフラ合わせも可能な半導体製造装置に用いるカセット
移載システムを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、第１の発明は、カセットを把持するグリップハ
ンドを備えるＳＭＩＦ装置とアクチュエータにカセット
を載せて移動させることができるカセットローダとがカ
セットの受け渡しを行うカセット移載システムにおい
て、前記グリップハンドは、互いに接近または離隔する
ように水平に移動可能であって、最大に離隔させたとき
には、前記カセットの２つの係合用フック間の最大寸法
より大きく開くことができる２つのフォークと、前記２
つのフォークの間において巻ばねによって垂下され、前
記カセットの２つの係合用フック間の最小寸法より長く
された押圧板とを有するとともに、前記グリップハンド
は、前記カセットを把持するために前記２つのフォーク
を最下端に下げるとともに最大に離隔させて支持部材上
の前記カセットの上に降下して停止し、前記２つのフォ
ークを接近させて前記カセットの前記２つの係合用フッ
クに係合させ、さらに、前記２つのフォークを引き上
げ、前記２つの係合用フックが前記押圧板に当接した後
に、前記巻ばねの反撥力に抗してさらに若干引き上げ
て、前記カセットを把持できるようにされている。

【０００８】また、第２の発明は、前記ＳＭＩＦ装置と
前記カセットローダとの間に水平な中継カセットステー
ジを設け、前記ＳＭＩＦ装置と前記カセットローダとの
間において渡すべきカセットは、前記中継カセットステ
ージに載置し、受け取るべきカセットは、前記中継カセ
ットステージを介して受け取るのであるが、この場合、
前記ＳＭＩＦ装置は、前記グリップハンドを水平方向に
移動させる水平アームと、垂直方向に移動させる垂直ア
ームと、前記グリップハンドを９０度回転するグリップ
ハンド回転機構とを有し、前記中継カセットステージ
は、通常では水平にされている第１のカセットステージ
と、前記第１のカセットステージに直角になるように連
結された第２のカセットステージと、必要に応じて前記
第１，第２のカセットステージを９０度回転されるカセ
ットステージ回転機構とを有するとともに、前記中継カ
セットステージの下方にはオリフラ合わせ機構と前記オ
リフラ合わせ機構を上下させるオリフラ合わせ昇降機構
とを有し、前記ＳＭＩＦ装置が前記グリップハンドによ
ってカセットを把持し、カセット内のウェーハが直立す
るようにグリップハンド回転機構によってカセットを９
０度回転させて前記第１のカセットステージに載置する
と、前記オリフラ合わせ昇降機構は、前記オリフラ合わ
せ機構を上昇させ、前記ウェーハのオリフラ合わせを行
わせた後に、前記オリフラ合わせ機構を元の位置に降下
させ、前記中継カセットステージは、カセットステージ
回転機構によって前記カセット内のウェーハが水平にな
るように前記第１，第２のカセットステージを９０度回
転させることにより、前記カセットを前記第２のカセッ
トステージに載せ換えて前記カセットローダに引き渡
す。

【０００９】さらに、第３の発明は、前記ＳＭＩＦ装置
が前記グリップハンドによって前記カセットを把持し、
把持した位置から前記カセットを垂直に降下させると、
前記カセットローダは、前記降下されたカセットを前記
カセットローダのアクチュエータの上に直接受け取るこ
とができるように、前記カセットローダは、前記ＳＭＩ
Ｆ装置に直接隣接して配置されている。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わる半導体製造装置に用いられるカセット移載システ
ムの第１の実施の形態を示す構成図、図２は、図１のＳ
ＭＩＦ装置のＳＭＩＦアーム１４の構成を詳しく示す
図、図３は、ウェーハを収納したウェーハカセットを示
す図、図４は、図２のグリップハンド４２を詳しく説明
する図、図５は、図４のグリップハンドの動作を説明す
る図、図６は、図２で示されるグリップハンドの組み付
けられている実際の状況を示す図である。なお、図１に
おいては、外部およびカセット収納棚とカセットの授受
を行うカセット移載システムの部分のみを示しているの
であって、図１の左側にはカセットに収納されたウェー
ハに成膜処理などを行う反応炉およびその反応炉とカセ
ット収納棚との間のウェーハの授受を行う反応炉用ウェ
ーハ移載機等が配置されているのである。

【００１１】図１の半導体製造装置のカセット移載シス
テム１は、外部とカセット収納棚２１との間でウェーハ
ＣＷの収納されたカセットの授受を行う。カセット移載
システム１に含まれるＳＭＩＦ装置１０（ＳＭＩＦ＝St
andard Mechanical Interface ）は、図２に示すように
ボールねじ４６を内蔵するＬＭガイドから構成される水
平アーム４５を駆動してＳＭＩＦポッド１１の下に位置
付けたグリップハンド４２に対して、垂直アーム４１を
駆動し、グリップハンド４２をＳＭＩＦポッド１１の中
まで上昇させる。ＳＭＩＦ装置１０は、グリップハンド
４２のフォーク４３によりＳＭＩＦポッド１１の中のカ
セット１２の係合用フック２３（図３参照）を把持し、
垂直アーム４１を下降させる。次に、ＳＭＩＦ装置１０
は、水平アーム４５のボールねじ４６をアーム駆動用モ
ータ（不図示）によって回転駆動し、グリップハンド４
２に把持されたカセット１２を中継カセットステージ３
０に載置する。ＳＭＩＦ装置１０は、カセット１２を中
継カセットステージ３０に載置した後に、カセット１２
の係合用フック２３からフォーク４３を外し、カセット
１２の次の操作の妨害にならないようにグリップハンド
４２を適宜な位置に後退させる。図２中４４はグリップ
ハンド回転用モータである。

【００１２】カセットローダ２０は、ＳＭＩＦ装置１０
がカセット１２を中継カセットステージ３０に載置する
と、このカセット１２を中継カセットステージ３０から
アクチュエータの上に受け取り、上昇あるいは下降し、
反応炉側に縦方向に複数積み上げるような状態に配置さ
れたカセット収納棚２１の適宜なものの前に移動させ、
さらにアクチュエータの往復運動を行って、このカセッ
ト１２をそのカセット収納棚に載置する。このように、
ＳＭＩＦ装置１０は、図１２に示される従来の比較的に
長い回転アーム１１５を回転させる必要もなく、垂直ア
ーム４１の昇降方向の移動および水平アーム４５による
水平方向の移動により、カセット１２を自在に移動でき
る。これらのアームによる移動は、直線運動なので機構
的に複雑でなく、位置決めのティーチング調節も容易で
ある。また、カセット１２の受け取りの際に、ＳＭＩＦ
装置１０から直接受け取らずに、中継カセットステージ
３０を介して受け取るので、カセットローダ２０がＳＭ
ＩＦ装置１０から負荷を加えられることが無く、カセッ
トローダ２０の位置が正規の位置からずれてしまうとい
うことも無い。これらのことは、カセットローダ２０か
ら中継カセットステージ３０を介して、カセットをＳＭ
ＩＦ装置１０に引き渡す場合にも同様である。この場
合、ファン・フィルタ・ユニット２５，２６や排気ファ
ン２７は、内部を清浄に保つように働いている。

【００１３】この例において、グリップハンド４２には
図４および図５に示されるような構造的および動作的な
工夫がなされている。すなわち、構造的には巻ばね６
１，６２によってグリップハンド４２の下に垂下された
押圧板６３を有する。この押圧板６３は、グリップハン
ド４２の下面に対して平行に、また、上下方向に所定の
間隔をあけるように配置されており、その長さは、カセ
ット１２の２つの係合用フック２３の間隔より長く、２
つの係合用フック２３の上に載ることができる長さにさ
れている。したがって、グリップハンド４２がカセット
１２をフォーク４３によって把持する際に、強度の大き
いカセット１２の係合用フック２３を押圧板６３によっ
て上方から平面的に押圧するものの、従来のように係合
用フック２３の間のカセット１２の上面をピンにより点
で押圧しないので、カセット１２の上面やカセット１２
を支える支持部材を変形させることがない。

【００１４】また、グリップハンド４２は、図５に示さ
れるように示されるように動作するので、カセット１２
にもたらす変形力は小さくなる。すなわち、支持部材で
ある中継カセットステージ３０に載せられたカセット１
２に対して、グリップハンド４２は、２つのフォーク４
３を下降させた状態で、それらを矢印Ｈの方向に近付け
（図５（ａ））、フォーク４３をカセット１２の係合用
フック２３に係合させる（図５（ｂ））。次に、グリッ
プハンド４２は、２つのフォーク４３を上昇させ、カセ
ット１２を中継カセットステージ３０から引き上げると
ともに、カセット１２の係合用フック２３の上面を押圧
板６３に当接させ、さらに、巻ばね６１，６２の反撥力
に抗して若干上昇させ、２つのフォーク４３と巻ばね６
１，６２に付勢された押圧板６３とでカセット１２を把
持する。ＳＭＩＦ装置１０は、このようにカセット１２
を把持したグリップハンド４２を、垂直アーム４１およ
び水平アーム４５を駆動して次の位置に移動させる。す
なわち、グリップハンド４２は、中継カセットステージ
３０の上のカセット１２を把持する際に、カセット１２
を中継カセットステージ側に押圧することなく引き上げ
るので、中継カセットステージ３０に変形を与えること
がない。これらの装置は、実際には図６に示すように２
組組み込まれるのが好ましい。

【００１５】次に、この発明に係わるカセット移載シス
テムの第２の実施の形態について図７および図８を参照
して説明する。図７および図８で示されるカセット移載
システムは、図１のものに比較して、中継カセットステ
ージ３０に直交するように結合され、中継カセットステ
ージ３０と一緒に回転可能にされた中継カセットステー
ジ３１と、上下移動可能に組み込まれたオリフラ合わせ
機構４０が追加されている。ＳＭＩＦ装置１０は、カセ
ット１２を把持したグリップハンド４２を図７の矢印Ｒ
Ｐに示されるように９０度回転させ、矢印ＲＱに示され
るように微調整して中継カセットステージ３０の上に載
置する。次に、オリフラ合わせ昇降機構（不図示）によ
ってオリフラ合わせ機構４０を矢印ＤＤで示されるよう
に上昇させ、ウェーハ駆動用ローラ（不図示）をカセッ
ト１２に収納されたウェーハＣＷの周縁に当接させる。
ウェーハ駆動用ローラがウェーハＣＷの周縁に当接する
と、オリフラ合わせ機構４０は、ウェーハ駆動用ローラ
を回転駆動して、カセット１２に収納されたウェーハＣ
Ｗをウェーハ駆動用ローラの接触摩擦力によって回転さ
せる。

【００１６】回転するウェーハＣＷのオリフラがウェー
ハ駆動用ローラのところに到達すると、ウェーハ駆動用
ローラは、それ以上ウェーハＣＷを回転させることがで
きなくなり、空転をする。このことは、時間の前後はあ
っても、カセット１２の中の全てのウェーハＣＷについ
て共通に発生するので、ウェーハＣＷのオリフラは、一
定の向きに整列することとなる。オリフラ合わせ終了
後、オリフラ合わせ昇降機構は、オリフラ合わせ機構４
０を元の位置に降下させる。中継カセットステージ３
０，３１は、図８において、矢印ＲＲに示されるように
９０度回転させられ、カセット１２が中継カセットステ
ージ３１の上に載せられ、ウェーハが水平になるように
させられる。このように、オリフラ合わせ機構４０は、
中継カセットステージ３０，３１の配置にともなって、
ＳＭＩＦ装置１０とカセットローダ２０との間に配置す
ることが可能となり、スペースを有効に利用できること
となる。カセット１２に収納されたウェーハＣＷがオリ
フラ付きでなくノッチ付きの場合には、オリフラ合わせ
機構４０の代わりにノッチ合わせ機構を配置するればよ
いことはいうまでもない。

【００１７】図１ないし図８によって説明した第１，第
２の実施の形態においては、中継カセットステージをＳ
ＭＩＦ装置とカセットローダ２０との間に配置したが、
場合によっては、カセット１２の受け渡しの精度より
も、両者の間のスペースを無くしてしまいたいというこ
とがある。図９は、この要望に応えるためのカセット移
載システムの第３の実施の形態を示す構成図である。こ
の例においては、図１ないし図８のＳＭＩＦ装置１０の
代わりにグリップハンド４２を垂直方向にのみ移動でき
るＳＭＩＦ装置７０を配置し、カセットローダ２０は、
このＳＭＩＦ装置７０のグリップハンド４２の直下にア
クチュエータを移動できるように、ＳＭＩＦ装置７０に
隣接して配置する。したがって、カセットローダ２０
は、ＳＭＩＦ装置７０のグリップハンド４２がＳＭＩＦ
ポッド１１のカセット１２の係合用フック２３を把持し
て、垂直に降下させるカセット１２を平行移動せずに、
アクチュエータの上に受け取る。カセットローダ２０
は、受け取ったカセット１２をカセット収納棚２１の適
宜なものの前に移動させ、さらに往復運動を行って、カ
セット１２をそのカセット収納棚２１に載置する。

【００１８】さらに簡素化した第４の実施の形態を図１
０および図１１に示す。図１０のカセット移載システム
においては、図９のＳＭＩＦ装置７０の代わりにＳＭＩ
Ｆ装置８０を配置している。ＳＭＩＦ装置８０は、モー
タＭを駆動してボールねじ１９を回転させ、ＳＭＩＦ昇
降機構１３の受け台１８を降下させることによって、ポ
ッド１１からカセット１２を降下させる（図１１
（ａ））。降下させたカセット１２をグリップハンド４
２およびそのフォーク４３のようなロック機構８３によ
ってロックし、ＳＭＩＦ昇降機構１３の受け台１８をさ
らに降下させる（図１１（ｂ））。そこで、受け台１８
とカセット１２との空間にカセットローダ２０のアクチ
ュエータを移動し、カセット１２をそのアクチュエータ
の上に受け取る。したがって、図１ないし図８の例にお
いて中継カセットステージ３０，３１やオリフラ合わせ
機構４０に占められていた空間を省略することができて
いる。

【００１９】

【発明の効果】以上に詳述したように、第１の発明に係
わるカセット移載システムは、カセットを把持するグリ
ップハンドを備えるＳＭＩＦ装置とアクチュエータにカ
セットを載せて移動させることができるカセットローダ
とがカセットの受け渡しを行うカセット移載システムに
おいて、前記グリップハンドは、互いに接近または離隔
するように水平に移動可能であって、最大に離隔させた
ときには、前記カセットの２つの係合用フック間の最大
寸法より大きく開くことができる２つのフォークと、前
記２つのフォークの間において巻ばねによって垂下さ
れ、前記カセットの２つの係合用フック間の最小寸法よ
り長くされた押圧板とを有するとともに、前記グリップ
ハンドは、前記カセットを把持するために前記２つのフ
ォークを最下端に下げるとともに最大に離隔させて支持
部材上の前記カセットの上に降下して停止し、前記２つ
のフォークを接近させて前記カセットの前記２つの係合
用フックに係合させ、さらに、前記２つのフォークを引
き上げ、前記２つの係合用フックが前記押圧板に当接し
た後に、前記巻ばねの反撥力に抗してさらに若干引き上
げて、前記カセットを把持できるようにされていること
により、前記グリップハンドが２つの係合用フックの間
のあまり強くないカセット上面に不都合な負荷をかけて
変形させることがないという効果がある。

【００２０】また、第２の発明は、前記グリップハンド
と、前記グリップハンドを水平および垂直方向に自在に
移動させる水平アームおよび垂直アームと、第１，第２
のカセットステージを備える中継カセットステージと、
オリフラ合わせ機構と、オリフラ合わせ昇降機構とが協
働して、カセットに収納されたウェーハのオリフラ合わ
せを行い、カセットの受け渡しは、中継カセットステー
ジを介して行うことにより、グリップハンドの移動の機
構および操作が簡潔で容易であり、オリフラのずれのな
い、カセットローダのアクチュエータに不都合な負荷を
かけないカセットの受け渡しが実行できるという効果が
ある。

【００２１】また、第３の発明は、前記カセットローダ
を前記ＳＭＩＦ装置に直接隣接して配置するので、前記
カセットローダは、前記ＳＭＩＦ装置が垂直に降下させ
る前記カセットを直接そのアクチュエータの上に受け取
ることができることにより、前記カセットローダと前記
ＳＭＩＦ装置との間に従来存在した空間が不要となる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係わる半導体製造装置に用いられる
カセット移載システムの第１の実施の形態を示す構成図
である。

【図２】図１のＳＭＩＦ装置のＳＭＩＦアームの構成を
詳しく示す図である。

【図３】ウェーハを収納したウェーハカセットを示す図
である。

【図４】（ａ）は図２のグリップハンドを詳しく説明す
る正面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。

【図５】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、図４のグリップハ
ンドの動作を説明する図である。

【図６】図２で示されるグリップハンドの組み付けられ
ている実際の状況を示す図である。

【図７】この発明に係わる半導体製造装置に用いられる
カセット移載システムの第２の実施の形態を示す構成図
である。

【図８】図７の中継カセットステージによってカセット
が回転されるのを示す図である。

【図９】この発明に係わる半導体製造装置に用いられる
カセット移載システムの第３の実施の形態を示す構成図
である。

【図１０】この発明に係わる半導体製造装置に用いられ
るカセット移載システムの第４の実施の形態を示す構成
図である。

【図１１】（ａ），（ｂ）は、図１０のロック機構とＳ
ＭＩＦ昇降機構との動作を説明する図である。

【図１２】カセット移載システムの従来例を示す構成図
である。

【図１３】（ａ）は図１２の従来例に用いられているグ
リップハンドを示す図、（ｂ）は（ａ）の動作を説明す
る図、（ｃ）は（ａ）の動作を説明する図である。

【符号の説明】

１半導体製造装置のカセット移載システム１０，７０，８０ＳＭＩＦ装置１１ＳＭＩＦポッド１２ウェーハカセット１３ＳＭＩＦ昇降機構１４ＳＭＩＦアーム１８受け台１９，４６ボールねじ２０カセットローダ２１カセット収納棚２３係合用フック３０，３１中継カセットステージ４０オリフラ合わせ機構４２グリップハンド４３フォーク４４グリップハンド用モータ４５水平アーム６１，６２巻ばね６３押圧板８３ロック機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者渡辺誠治東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内 (72)発明者宮田敏光東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内 (72)発明者小杉哲也東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内 (72)発明者福田重夫東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内 (72)発明者武内努東京都中野区東中野三丁目14番20号国際電気株式会社内Ｆターム(参考） 5F031 BB01 CC12 CC32 HH05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カセットを把持するグリップハンドを備
えるＳＭＩＦ装置とアクチュエータにカセットを載せて
移動させることができるカセットローダとがカセットの
受け渡しを行うカセット移載システムにおいて、前記グリップハンドは、互いに接近または離隔するよう
に水平に移動可能であって、最大に離隔させたときに
は、前記カセットの２つの係合用フック間の最大寸法よ
り大きく開くことができる２つのフォークと、前記２つ
のフォークの間において巻ばねによって垂下され、前記
カセットの２つの係合用フック間の最小寸法より長くさ
れた押圧板とを有するとともに、前記グリップハンド
は、前記カセットを把持するために前記２つのフォーク
を最下端に下げるとともに最大に離隔させて支持部材上
の前記カセットの上に降下して停止し、前記２つのフォ
ークを接近させて前記カセットの前記２つの係合用フッ
クに係合させ、さらに、前記２つのフォークを引き上
げ、前記２つの係合用フックが前記押圧板に当接した後
に、前記巻ばねの反撥力に抗してさらに若干引き上げ
て、前記カセットを把持できるようにされていることを
特徴とするカセット移載システム。
【請求項２】前記ＳＭＩＦ装置と前記カセットローダ
との間に水平な中継カセットステージを設け、前記ＳＭ
ＩＦ装置と前記カセットローダとの間において渡すべき
カセットは、前記中継カセットステージに載置し、受け
取るべきカセットは、前記中継カセットステージを介し
て受け取るのであるが、この場合、前記ＳＭＩＦ装置
は、前記グリップハンドを水平方向に移動させる水平ア
ームと、垂直方向に移動させる垂直アームと、前記グリ
ップハンドを９０度回転するグリップハンド回転機構と
を有し、前記中継カセットステージは、通常では水平に
されている第１のカセットステージと、前記第１のカセ
ットステージに直角になるように連結された第２のカセ
ットステージと、必要に応じて前記第１，第２のカセッ
トステージを９０度回転されるカセットステージ回転機
構とを有するとともに、前記中継カセットステージの下
方にはオリフラ合わせ機構と前記オリフラ合わせ機構を
上下させるオリフラ合わせ昇降機構とを有し、前記ＳＭ
ＩＦ装置が前記グリップハンドによってカセットを把持
し、カセット内のウェーハが直立するようにグリップハ
ンド回転機構によってカセットを９０度回転させて前記
第１のカセットステージに載置すると、前記オリフラ合
わせ昇降機構は、前記オリフラ合わせ機構を上昇させ、
前記ウェーハのオリフラ合わせを行わせた後に、前記オ
リフラ合わせ機構を元の位置に降下させ、前記中継カセ
ットステージは、カセットステージ回転機構によって前
記カセット内のウェーハが水平になるように前記第１，
第２のカセットステージを９０度回転させることによ
り、前記カセットを前記第２のカセットステージに載せ
換えて前記カセットローダに引き渡す請求項１記載のカ
セット移載システム。
【請求項３】前記ＳＭＩＦ装置が前記グリップハンド
によって前記カセットを把持し、把持した位置から前記
カセットを垂直に降下させると、前記カセットローダ
は、前記降下されたカセットを前記カセットローダのア
クチュエータの上に直接受け取ることができるように、
前記カセットローダは、前記ＳＭＩＦ装置に直接隣接し
て配置されている請求項１記載のカセット移載システ
ム。