JP2010098048A - ウェーハ移載装置及び縦型熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ支持部との間でウェーハを移載するウェーハ移載装置であって、把持板が、熱処理ボートのウェーハ支持部間に挿入されて、把持部材のウェーハの着脱により、突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、突き上げ部の支持ピン上のウェーハを把持するものであって、突き上げ部が、熱処理ボートのウェーハ支持部間に挿入されて、ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動することにより、支持ピン上のウェーハをウェーハ支持部に載置、又は、ウェーハ支持部上のウェーハを支持ピンにより突き上げて支持するものであるウェーハ移載装置。
【選択図】図1
Description
この縦型熱処理装置では、通常、複数のウェーハを保持するための熱処理用ボートが用いられている。このような複数のウェーハに同時に熱処理を行う熱処理装置は、バッチ式の熱処理炉と言われている。
以上より、本発明のウェーハ移載装置であれば、切欠き部が無く、熱処理でスリップの発生が抑制されるとともに、ピッチが狭いウェーハ支持部を有する積載能力の高い熱処理ボートを用いることができ、しかも、ウェーハ移載時間の短い、効率的な移載を行うことができるため、これを用いることで、生産性の高いスリップフリーの熱処理を行うことができる。
このように、複数の突き上げ部を複数のウェーハ支持部と対応する間隔で有するものであれば、同時に複数のウェーハを支持することができ、さらにウェーハ支持部と同数であれば、一度の動作で全てのウェーハをウェーハ支持部上に載置したり、ウェーハ支持部上から突き上げて支持することができるため、より移載時間を短縮することができる。
このような支持柱を有する支持手段であれば、支持柱の回転によって突き上げ部を水平旋回させて、ウェーハ支持部間に挿入でき、垂直方向への相対移動は熱処理ボートの昇降のみで調節できるため、より簡易な設備で効率の良いウェーハ移載装置とすることができる。
このように、複数の把持部をウェーハ支持部と対応する間隔で有するものであれば、同時に複数のウェーハを移載できるため、より移載時間を短縮することができる。
このような移載手段であれば、簡易な構造により、ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ支持部との間で、より効率良く確実にウェーハを移載することができる。
このように、本発明のウェーハ移載装置を有する縦型熱処理装置であれば、熱処理時の切欠き部に起因したスリップ発生を防止できるとともに、熱処理ボートのウェーハ積載能力を向上させることができ、ウェーハの移載時間も短縮できるため、熱処理工程の所要時間を大幅に短縮することが可能となる。
また、このようなウェーハ移載装置では一度に1枚のウェーハしか移載することができないため、移載に時間がかかってしまうという問題があった。
図1は、本発明のウェーハ移載装置を具備した縦型熱処理装置の一例を示した概略図である。
以上より、本発明のウェーハ移載装置であれば、切欠き部が無く、ピッチが狭いウェーハ支持部を有する積載能力の高い熱処理ボートを用いた場合でも、ウェーハ移載時間の短い、効率的な移載を行うことができるため、これを用いることで、生産性の高いスリップフリーの熱処理を行うことができる。
本発明の支持手段としては、例えば図2に示すような、突き上げ部16が側面に取り付けられ、回転可能な支持柱15を有するものであることが好ましい。
この支持柱15は、例えば、先端にウェーハを支持する支持ピン27を備えた突き上げ部16が、熱処理ボート24のウェーハ支持部17のピッチと同じ間隔で板状部材の側面に取り付けられ、その板状部材が支持柱15に取り付けられる構造となっている。なお、板状部材を省いて、突き上げ部16を直接支持柱15に取り付ける構造としてもよい。
このように、複数の突き上げ部をウェーハ支持部と対応する間隔で有するものであれば、同時に複数のウェーハを支持することができ、さらにウェーハ支持部と同数であれば、一度の動作で全てのウェーハをウェーハ支持部上に載置したり、ウェーハ支持部上から突き上げて支持することができるため、より移載時間を短縮することができる。
なお、図3では支持柱15が熱処理ボート24の両側に2本設置された場合を示したが、1枚のウェーハに対して少なくとも3本の支持ピン27で支持できればよく、支持柱15の数は特に限定されず1本以上であればよい。また、支持ピン27の数も特に限定されず、例えば、3本の支持柱15がそれぞれ1本の支持ピン27を有する構造でもよいし、2本の支持柱15が各2本の支持ピン27を有するようにしてもよいし、片方のみ1本の支持ピンを有するようにしてもよい。また、1本の支持柱15が3本の支持ピン27を有する構造としてもよい。
このような移載手段であれば、簡単な構造により、ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ支持部との間で効率良く確実にウェーハを移載することができる。
複数の把持部をウェーハ支持部と対応する間隔で有するものであれば、同時に複数のウェーハを把持、解放して効率の良い移載ができるため、移載時間をより短縮することができる。
なお、把持板11は、複数の把持板11間のピッチが自由に調節できるよう垂直方向移動可能に把持板支持体12に装着されていれば、より確実にウェーハを把持、解放でき、さらには、多様な熱処理ボートに対応することができる。
また、把持板11の把持板支持体12側には、ウェーハを把持するための溝を備え、把持板支持体12に設けたエアシリンダ等の駆動機構により水平方向に進退可能な樹脂製の可動把持部材が装着されている。図4(b)に可動把持部材側の拡大断面図を示す。この可動把持部材を水平方向に進退移動させることでウェーハを着脱させることができるようになっており、この固定把持部材と可動把持部材により、本発明の把持部材19を構成している。
その後、熱処理ボート24を載せたエレベータ25を下降させて、支持ピン27によって、全てのウェーハを突き上げてリング状ウェーハ支持部17から離脱させた状態で支持する。このとき、後で挿入する移載手段10の把持板11でウェーハを把持する際に、把持部材19がリング状ウェーハ支持部17に接触しない程度にわずかに上昇させればよい。
その後、基台13を回転させるとともに把持板支持体12を水平方向に移動させることで、各把持板11をウェーハ上方に挿入する。その後、昇降アーム14を下降させて把持部材の溝位置とウェーハ外縁の位置を合わせる。その後、エアシリンダを作動させて可動把持部材をウェーハ方向に移動させて、ウェーハと溝を係合させることでウェーハを把持する。その後、昇降アーム14を上昇させてウェーハを支持ピン27から離脱させ、把持板支持体12を水平方向に移動させることで、把持板11を熱処理ボート24から退避させる。その後、基台13を旋回させるとともに昇降アーム14を作動させて、ウェーハ収納容器20の前に移動させ、把持板支持体12を水平方向に移動させることで把持板11に把持されたウェーハをウェーハ収納容器20内に挿入し、エアシリンダを作動させて可動把持部材を移動させ、ウェーハを把持板11から離脱させる。こうして5枚のウェーハがウェーハ収納容器20に収納される。
また、本発明におけるウェーハ収納容器とは、熱処理前のウェーハを運ぶものや、保管するもの全てを指し、特に限定されない。
(実施例)
以下、本発明の実施例を、図6を参照しながら詳細に説明する。図6は、本発明のウェーハ移載装置によって熱処理ボートのウェーハ支持部にウェーハを載置する一連の動作を説明するための説明図である。
さらに、長さ6mmの突き上げピンを2本1組で100組装備し、水平方向に動作するウェーハ突き上げ装置(支持手段の支持柱)を2つ準備し、熱処理ボートの3本の支柱のうち対面する2つの支柱のすぐ横に設置した。
この状態で、上掴み方式の5枚用移載機を用いて、ウェーハ収納容器からウェーハを支持ピン上に5枚移動して(図6(a))、その後ウェーハを解放して支持ピン上に載置する(図6(b))。この動作を繰り返して合計100枚のウェーハを支持ピン上に載置した。ボートエレベータを6mm上昇させ、ウェーハ裏面の全周縁部がウェーハ支持部に接触するようにウェーハを載置し(図6(c))、その上でウェーハ突き上げ装置を水平に動作させて、突き上げ部をウェーハ支持部の間から抜き出した。
以下、比較例を、図7を参照しながら詳細に説明する。図7は、従来のウェーハ移載装置によって熱処理ボートのウェーハ支持部にウェーハを載置する一連の動作を説明するための説明図である。
さらに、ウェーハ移載用フォーク1枚と、長さ10mmの突き上げピンを持つウェーハ突き上げ用フォーク1枚を装着した移載機を設置した。
このように、実施例では熱処理ボートのピッチ長さを比較例に比べて25%短縮でき、移載時間も1/5にできた。
13…基台、 14…昇降アーム、 15…支持柱、
16…突き上げ部、 17…ウェーハ支持部、
18…支持手段、 19…把持部材、 20…ウェーハ収納容器、
21…反応管、 22…ヒータ、 23…ベースプレート、
24…熱処理ボート、 25…ボートエレベータ、 26…筺体、
27…支持ピン。
Claims (7)
- ウェーハ収納容器と熱処理ボートのウェーハ支持部との間でウェーハを移載するウェーハ移載装置であって、少なくとも、
ウェーハを着脱可能に把持する把持部材を下面に備えた把持板を有し、前記ウェーハ収納容器と前記熱処理ボートの間に配置され、前記ウェーハ収納容器内及び前記熱処理ボートのウェーハ支持部間に前記把持板を挿入して、ウェーハを上方から把持又は解放する移載手段と、
前記ウェーハ支持部の厚さより長い支持ピンを備えた、前記ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動可能な突き上げ部を有し、前記熱処理ボートのウェーハ支持部間に前記突き上げ部を挿入し、該挿入された状態で前記突き上げ部の垂直方向の相対移動によって上方の前記ウェーハ支持部より上に前記支持ピンを突き出す支持手段とからなり、
前記把持板が、前記熱処理ボートのウェーハ支持部間に挿入されて、前記把持部材の前記ウェーハの着脱により、前記突き上げ部の支持ピン上にウェーハを支持させる、又は、前記突き上げ部の支持ピン上のウェーハを把持するものであって、前記突き上げ部が、前記熱処理ボートのウェーハ支持部間に挿入されて、前記ウェーハ支持部と垂直方向に相対移動することにより、前記支持ピン上のウェーハを前記ウェーハ支持部に載置、又は、前記ウェーハ支持部上のウェーハを前記支持ピンにより突き上げて支持するものであることを特徴とするウェーハ移載装置。 - 前記支持手段が、前記熱処理ボートの複数のウェーハ支持部と対応する間隔で複数の前記突き上げ部を有するものであることを特徴とする請求項1に記載のウェーハ移載装置。
- 前記支持手段が、前記熱処理ボートのウェーハ支持部と対応する間隔で同数の前記突き上げ部を有するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェーハ移載装置。
- 前記支持手段が、前記突き上げ部が側面に取り付けられ、回転可能な支持柱を有するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のウェーハ移載装置。
- 前記移載手段が、前記熱処理ボートの複数のウェーハ支持部と対応する間隔で複数の前記把持板を有するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のウェーハ移載装置。
- 前記移載手段が、前記把持板が取り付けられた把持板支持体と、該把持板支持体が水平移動可能に取り付けられた基台と、該基台が回転可能に取り付けられ、昇降可能な昇降アームとを有するものであることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のウェーハ移載装置。
- 縦型熱処理装置であって、少なくとも、請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のウェーハ移載装置と、該ウェーハ移載装置によりウェーハが移載される熱処理ボートと、該ウェーハが移載された熱処理ボートが挿入される反応管と、該反応管の周囲に配置されたヒータとを有することを特徴とする縦型熱処理装置。
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