KR101404552B1 - 기판 적재장치 - Google Patents

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Abstract

특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시킬 수 있고, 슬롯의 유지 보수를 위해 슬롯을 외부로 이동시킬 수 있는 기판 적재장치를 개시한다. 이러한 기판 적재장치는 프레임과, 기판이 적재되는 다수의 슬롯이 마련된 카세트와, 이 카세트를 승강시키는 승강유닛과, 상기 카세트에 적재된 상기 기판의 반출 시 상기 카세트의 슬롯 측으로 수평 이동되는 구동유닛이 구비되는데, 카세트의 각 슬롯에는 기판을 이송시키기 위한 다수의 이송롤러가 구비된 회전축과 이 회전축 일단에 배치된 회전롤러가 구비되고, 구동유닛에는 회전롤러를 구동시켜 기판을 반출입시키기 위한 구동부와, 구동부를 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 형성된 회전롤러 측으로 이동시키는 수평이동부를 구비한다. 이에 따라 개시된 기판 적재장치에서는 구동유닛이 특정 슬롯에 수평이동될 수 있으므로 용이하게 특정 슬롯에 적재된 기판을 반출시킬 수 있고, 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯들을 외부로 이동시킬 수 있으므로 슬롯의 유지 보수가 용이할 수 있다

Description

기판 적재장치{Apparatus for storing substrate}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트의 슬롯을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 카세트의 슬롯을 도시한 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 구동유닛을 도시한 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 구동유닛과 카세트를 도시한 측면도이다.
도 6 및 도 7은 도 1에 도시된 슬롯이탈방지부재 및 이의 동작을 설명하기 위해 도시한 도면이다.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
10 : 프레임 15 : 회동플레이트
20 : 승강유닛 30 : 카세트
31 : 슬롯 32 : 회전축
33 : 이송롤러 34 : 회전롤러
35 : 지지돌기 36 : 가이드돌기
37 : 가이드홀 41,42 : 제1,2슬롯이탈부재
50 : 구동유닛 51 : 구동부
52 : 구동롤러 53 : 구동축
54 : 구동모듈 56 : 수평이동부
57 : 고정플레이트 58 : 이동모듈
본 발명은 기판 적재장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 다단으로 적재할 수 있는 다수의 슬롯이 마련된 카세트가 구비하는 기판 적재장치에 관한 것이다.
최근 현대사회가 정보화사회화 되어감에 따라 정보표시장치의 하나인 액정표시장치는 그 중요성이 점차 증가되고 있으며, 특히 그것이 갖고 있는 소형화, 경량화, 저전력소비화 등의 장점 때문에 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로써 점차 그 사용 영역이 확대되는 추세에 있다.
이러한 액정표시장치는 기판 상에 애싱, 포토리소그래피, 식각, 증착 등의 공정을 선택적으로 반복 수행함으로써 이루어지며, 이 액정표시장치를 제조하기 위한 제조설비에는 어느 하나의 공정에서 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 적재한 후 다음 공정을 수행하기 위한 위치로 기판을 이송시키는 기판 적재장치가 마련된다.
이러한 액정표시장치를 제조하는 공정에서는 어느 하나의 공정에서 소정의 공정 처리가 이루어진 기판을 카세트에 다수개 적재한 후, 이 카세트를 다음 공정 장비에 로딩한 후 이송라인을 이용하여 각 기판을 공정 작업위치로 차례로 이송하여 소정의 작업을 수행하게 된다.
이를 위해 기판 적재장치에는 다수의 기판이 다단으로 적재되는 카세트와, 이 카세트에 적재된 기판의 이송을 위해 카세트를 승강시키는 승강부와, 카세트에 적재된 기판을 이송라인 측으로 이송시키는 컨베이어부가 마련된다.
여기서, 카세트에는 상술한 바와 같이 다수의 기판이 다단으로 적재될 수 있도록 다수의 슬롯에 형성되며, 각 슬롯에는 기판을 지지하기 위한 핀 또는 와이어가 형성되어 있다.
한편, 상기와 같은 기판 적재장치는 최초 카세트의 최상단 슬롯으로부터 차례로 기판을 반입해 적재하며, 적재된 기판의 반출은 카세트의 최하단으로부터 차례로 반출하게 된다.
즉, 종래의 기판 적재장치에서는 상술한 바와 같이 카세트의 최하단으로부터 순차적으로 기판을 반출하게 되는데, 특정 슬롯에 적재된 기판이 손상되거나 오염되었을 경우 그 슬롯에 적재된 기판만을 반출시키는 것이 용이하지 않다.
이와 같이 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시키는 것이 용이하지 않는 이유는 컨베이어부가 승강부에 의한 카세트의 승강 시 기판의 하측에 배치되는데, 이 컨베이어부가 카세트의 최하단에 적재된 기판부터 순차적으로 반출시키게 되므로 특정 슬롯의 하측에 배치된 슬롯들에 적재된 기판을 반출시키지 않고서는 특정 슬롯의 기판을 반출시킬 수 없다. 이에 따라 손상되거나 오염된 기판의 하측에 적재된 기판에 의해 이 기판 하측에 적재되는 기판이 손상 및 오염되는 문제점이 있다.
또한, 종래의 기판 적재장치에서는 다수의 기판이 다단으로 적재되는 카세트가 한 세트로 이루어져 어느 하나의 슬롯만 이탈시켜 유지 보수 할 수 없는 문제점이 있다. 즉, 종래에서는 특정 슬롯을 유지 보수 하기 위해서는 이 기판 적재장치의 구동을 정지시킨 후 카세트 전체를 외부로 배출시킨 후 수리를 해야함으로 유지 보수를 위한 시간 및 절차가 많이 요구된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시킬 수 있고, 슬롯의 유지 보수를 위해 슬롯을 외부로 이동시킬 수 있는 기판 적재장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 기판 적재장치는 프레임과, 기판이 적재되는 다수의 슬롯이 마련된 카세트와, 이 카세트를 승강시키는 승강유닛과, 상기 카세트에 적재된 상기 기판의 반출 시 상기 카세트의 슬롯 측으로 수평 이동되는 구동유닛을 포함한다.
상기 각 슬롯에는 상기 기판을 이송 및 적재시키기 위한 다수의 이송롤러가 구비된 다수의 회전축이 마련되며, 상기 각 회전축의 일단에는 회전롤러가 배치된 다.
상기 구동유닛은 상기 회전롤러를 구동시켜 상기 기판을 반출입시키기 위한 구동부와, 상기 구동부를 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 형성된 상기 회전롤러 측으로 이동시키는 수평이동부를 포함한다.
상기 구동부는 상기 수평이동부에 의한 수평 이동 시 상기 각 회전롤러의 대응되는 위치에 배치되어 상기 각 회전롤러를 회전시키는 다수의 구동롤러가 구비된 구동축과, 상기 구동축을 지지하는 지지브라켓을 포함한다.
상기 수평이동부는 상기 지지브라켓이 고정되는 고정플레이트와, 상기 고정플레이트를 수평 이동시키는 이동모듈을 포함한다.
상기 종동롤러와 구동롤러는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 한다.
상기 각 슬롯의 상면 일측에는 각 슬롯이 고정 결합될 수 있도록 가이드돌기가 형성되며, 상기 각 슬롯의 하면에는 상기 각 슬롯의 하측에 배치된 슬롯의 가이드돌기가 끼워지는 가이드홀이 형성된다.
상기 프레임에는 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯을 이탈시키기 위한 슬롯이탈부재가 마련된다.
상기 슬롯이탈부재는 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯을 들어 올리는 제1슬롯이탈부재와, 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯의 상측에 배치된 슬롯들을 들어 올리는 제2슬롯이탈부재를 포함한다.
상기 프레임의 일측에는 상기 슬롯이탈부재에 의해 이탈된 슬롯을 상기 프레임의 외부로 이동시키도록 회동 가능하게 장착된 회동플레이트가 마련된다.
이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이 기판 적재장치는 사각형상의 외관을 형성하는 프레임(10)과, 기판이 적재되는 다수의 슬롯이 마련된 카세트(30)와, 이 카세트(30)를 승강시키는 승강유닛(20)과, 카세트(30)에 적재된 기판의 반출 시 슬롯(31) 측으로 수평 이동되는 구동유닛(50)을 포함한다.
먼저, 프레임(10)은 상술한 바와 같이 사각형상으로 이루어지며, 그 내부에 카세트(30)가 탈착 가능하게 마련된다. 그리고, 프레임(10)의 일측에는 후술할 슬롯이탈방지부재(41,42)에 의한 외부로 슬롯(31)을 이탈시키기 과정에서 용이하게 할 수 있도록 프레임(10)의 외측방향으로 회동되는 회동플레이트(15)가 마련되며, 회동플레이트(15)에는 이 회동플레이트(15)의 회동 시 지지하기 위한 지지바(16)가 연결되어 있다.
카세트(30)에는 상술한 바와 같이 기판이 적재되는 다수의 슬롯(31)이 마련된다. 이때, 각 슬롯(31)은 도 2에 도시된 바와 같이 플레이트 형상으로 이루어진다. 그리고, 슬롯(31)의 상면에는 이 슬롯(31)에 적재된 기판을 반출입시킬 수 있도록 다수의 이송롤러(33)가 장착되는 회전축(32)이 다수개 마련된다. 또, 이 회전축(32)의 일측단에는 이송롤러(33)를 회전시켜 기판을 반출입하기 위하여 이 회전축(32)을 회전시키는 회전롤러(34)가 장착된다.
또한, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 카세트(30)는 다수의 슬롯(31)이 고정 결합되어 형성된다. 이때, 슬롯(31)의 상면 일측에는 다수의 슬롯(31)이 고정 결합될 수 있도록 각 슬롯(31)의 상측에 배치되는 슬롯(31)을 지지하기 위한 지지돌기(35)가 형성되며, 이 지지돌기(35)는 이송롤러(33)에 의해 기판이 이송될 수 있도록 이송롤러(33)에 안착되는 기판의 높이 보다 높게 형성되는 것이 바람직하다. 또, 지지돌기(35)의 상측에는 가이드돌기(36)가 형성되며, 이 가이드돌기(36)에 대응되는 위치의 슬롯 하면에는 가이드돌기(36)가 끼워지는 가이드홀(37)이 형성된다. 즉, 각 슬롯(31)은 지지돌기(35)가 의해 적층된 상태에서 가이드홀(37)에 가이드돌기(36)가 끼워져 하나의 세트를 이룬다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 구동유닛(50)은 각 슬롯(31)의 회전롤러(34)를 구동시켜 기판을 반출입시키기 위한 구동부(51)와, 이 구동부(51)를 각 슬롯(31) 측으로 수평 이동시키기 위한 수평이동부(56)를 포함한다.
이때, 구동부(51)는 수평이동부(56)에 의해 수평 이동되어 회전롤러(34)를 회전시키게 되는데, 수평이동부(56)에 의한 수평 이동 시 각 회전롤러(34)의 대응되는 위치에 배치되어 각 회전롤러(34)를 회전시키는 구동롤러(52)가 마련되며, 이때의 구동롤러(52)는 구동축(53)에 장착되어 있다. 또, 구동부(51)에는 이 구동축(53)을 회전시키기 위한 구동모듈(54) 즉, 구동모터(54a) 및 이 구동모터(54a)의 구동력을 구동축(53)으로 전달하기 위한 구동벨트(54b)가 마련되며, 이때의 구동축(53) 및 구동모듈(54)은 지지브라켓(55)에 지지되어 있다. 여기서, 구동롤러(52) 및 회전롤러(34)는 마그네틱롤러로써 수평이동부(56)에 의한 수평 이동 시 구동롤러(52)가 비접촉식으로 회전롤러(34)를 회전시키게 된다.
수평이동부(56)는 상술한 지지브라켓(55)이 고정되는 고정플레이트(57)와, 이 고정플레이트(57)를 수평 이동시키는 이동모듈(58)을 포함한다. 이때, 이동모듈(58)은 도시된 바와 같이 고정플레이트(57)의 일측 끝단에 형성된 랙기어(58a)와 이 랙기어(58a)와 기어결합되는 피니언기어(58b) 일 수 있다. 또, 도시되지는 않았지만 이동모듈(58)은 실린더유닛 등 고정플레이트(57)를 수평 이동시키기 위한 다양한 모듈이 마련될 수 있다.
승강유닛(20)는 상술한 바와 같이 카세트(30)의 하측에 배치되어 기판의 반출입을 위하여 카세트(30)를 승강시키게 되는데, 이를 위해 볼스크류 등 다양한 모듈이 적용될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
또한, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 프레임(10)의 일측에는 카세트(30)의 각 슬롯(31) 중 특정 슬롯을 카세트(30)로부터 이탈시키기 위한 슬롯이탈부재(41,42)가 마련된다. 이때의 슬롯이탈부재(41,42)는 각 슬롯(31) 중 특정 슬롯을 들어 올리는 제1슬롯이탈부재(41)와, 특정 슬롯의 상측에 배치된 슬롯(31)을 들어 올리는 제2슬롯이탈부재(42)를 포함하며, 각 슬롯이탈부재(41,42)는 전후진이 가능하도록 마련된다.
즉, 각 슬롯이탈부재(41,42)는 슬롯(31)을 이탈시키기 위하여 슬롯(31)을 들어 올려 가이드홀(37)로부터 가이드돌기(36)를 이탈시키게 된다. 이때, 슬롯이탈부재(41,42)로 하여금 슬롯(31)을 용이하게 이탈시키기 위하여 각 슬롯(31)에는 이 슬롯이탈부재(41,42)가 걸리는 걸림턱(38)이 형성되어 있다.
이하 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 적재장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명의 기판 적재장치에서는 최초 카세트의 최상단 슬롯으로부터 차례로 기판을 반입해 적재하며, 적재된 기판의 반출은 카세트(30)의 최하단으로부터 차례로 반출하게 된다.
상기의 과정에서 기판의 반출하다 보면 특정 슬롯에 손상되거나 오염된 기판이 안착될 수 있다. 이때, 손상되거나 오염된 기판은 특정 슬롯의 하측에 배치된 기판 역시 오염 및 손상시킬 수 있는데, 본 발명의 실시예에서는 종래와는 달리 그 특정 슬롯에 배치된 기판만을 반출시킬 수 있다.
구체적으로, 가장 먼저 손상되거나 오염된 기판이 안착된 특정 슬롯이 구동유닛(50)에 근접하도록 승강유닛(20)에 의해 카세트(30)를 승강시킨다.
이 후, 수평이동부(56)에 의해 구동부(51) 즉, 구동롤러(52)를 특정 슬롯의 회전롤러(34) 측으로 이동시키고, 구동롤러(52)를 회전시켜 회전롤러(34)를 회전시키게 된다. 이때, 본 발명의 실시예에서는 구동롤러(52) 및 회전롤러(34)가 마그네틱롤러로써 구동롤러(52)가 회전롤러(34)의 하측에서 비접촉식으로 회전시키게 된다.
다음으로 회전롤러(34)가 회전되면 이 회전롤러(34)가 장착되어 있는 회전축(32)이 회전되어 이 회전축(32) 상의 이송롤러(33)에 의해 손상되거나 오염된 기판을 외측으로 이송시킬 수 있는 것이다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 손상되거나 오염된 기판이 안착된 특정 슬롯을 카세트(30)로부터 이동시키게 된다.
구체적으로, 이를 위해서는 특정 슬롯에 형성되어 있는 걸림턱(38)의 하측에 제1슬롯이탈부재(41)를 걸리게 하여 특정 슬롯과 이 슬롯의 상측에 배치된 슬롯들을 포함하여 들어 올린다. 이때, 슬롯을 들어 올리면 특정 슬롯의 하측에 배치된 슬롯(31)에 형성된 가이드돌기(36)가 특정 슬롯의 가이드홀(37)로부터 이탈되게 된다.
이 후 특정 슬롯의 상측에 배치된 슬롯들을 제2슬롯이탈부재(42)를 이용하여 들어 올려 특정 슬롯만을 제2슬롯이탈부재(42)에 걸리게 한다. 그리고, 프레임(10)의 일측에 장착되어 있는 회동플레이트(15)를 회동시켜 이 회동플레이트(15)를 이용하여 특정 슬롯을 외부로 이동시키게 된다.
따라서, 본 발명의 실시예에서는 하나의 세트로 이루어진 종래와는 달리 각 슬롯을 선택하여 카세트의 외부로 이동시킬 수 있으므로 용이하게 슬롯을 유지 보수 할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 적재장치는 기판이 적재된 다수의 슬롯이 마련된 카세트에서 특정 슬롯에 적재된 기판만을 반출시킬 수 있으므로 어느 하나의 슬롯에 안착되어 있는 기판에 의해 다른 기판들이 오염 및 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 적재장치는 기판이 적재된 다수의 슬롯 중 어느 하나의 슬롯만을 외부로 이탈시킬 수 있으므로 용이하게 슬롯을 유지 보수 할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 프레임과,
    기판이 적재되는 다수의 슬롯이 마련된 카세트와,
    상기 카세트를 승강시키는 승강유닛, 및
    상기 카세트에 적재된 상기 기판의 반출 시 상기 카세트의 슬롯 측으로 수평 이동되어 상기 기판을 반출시키는 구동유닛을 포함하되,
    상기 각 슬롯의 상면 일측에는 각 슬롯이 고정 결합될 수 있도록 가이드돌기가 형성되며, 상기 각 슬롯의 하면에는 상기 각 슬롯의 하측에 배치된 슬롯의 가이드돌기가 끼워지는 가이드홀이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 각 슬롯에는 상기 기판을 반출입시키기 위한 다수의 이송롤러가 구비된 다수의 회전축이 마련되며,
    상기 각 회전축의 일단에는 회전롤러가 배치된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 구동유닛은 상기 회전롤러를 구동시켜 상기 기판을 반출입시키기 위한 구동부와, 상기 구동부를 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯에 형성된 상기 회전롤러 측으로 이동시키는 수평이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 수평이동부에 의한 수평 이동 시 상기 각 회전롤러의 대응되는 위치에 배치되어 상기 각 회전롤러를 회전시키는 다수의 구동롤러가 구비된 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 구동모듈과, 상기 구동축을 지지하는 지지브라켓을 포함하며,
    상기 수평이동부는 상기 지지브라켓이 고정되는 고정플레이트와, 상기 고정플레이트를 수평 이동시키는 이동모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 구동롤러는 마그네틱롤러인 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 프레임에는 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯을 이탈시키기 위한 슬롯이탈부재가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 슬롯이탈부재는 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯을 들어 올리는 제1슬롯이탈부재와, 상기 각 슬롯 중 어느 하나의 슬롯의 상측에 배치된 슬롯들을 들어 올리는 제2슬롯이탈부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 프레임의 일측에는 상기 슬롯이탈부재에 의해 이탈된 슬롯을 상기 프레임의 외부로 이동시키도록 회동 가능하게 장착된 회동플레이트가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 적재장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101103551B1 (ko) * 2009-05-27 2012-01-06 로체 시스템즈(주) 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치
KR101289703B1 (ko) * 2011-04-27 2013-07-26 주식회사 에스에프에이 기판 적재장치
KR101432701B1 (ko) * 2013-01-23 2014-08-25 태백하이텍 주식회사 기판 로딩 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002289678A (ja) * 2001-03-28 2002-10-04 Sanki Sangyo Setsubi Kk 基板ストック装置
KR20050030799A (ko) * 2003-09-26 2005-03-31 주식회사 디엠에스 기판반송장치
JP2005142443A (ja) 2003-11-07 2005-06-02 Yaskawa Electric Corp カセット装置および薄型基板移載システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002289678A (ja) * 2001-03-28 2002-10-04 Sanki Sangyo Setsubi Kk 基板ストック装置
KR20050030799A (ko) * 2003-09-26 2005-03-31 주식회사 디엠에스 기판반송장치
JP2005142443A (ja) 2003-11-07 2005-06-02 Yaskawa Electric Corp カセット装置および薄型基板移載システム

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