KR101103551B1 - 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치 - Google Patents

버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101103551B1
KR101103551B1 KR1020090046252A KR20090046252A KR101103551B1 KR 101103551 B1 KR101103551 B1 KR 101103551B1 KR 1020090046252 A KR1020090046252 A KR 1020090046252A KR 20090046252 A KR20090046252 A KR 20090046252A KR 101103551 B1 KR101103551 B1 KR 101103551B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
substrate support
slots
support
disposed
Prior art date
Application number
KR1020090046252A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20100127915A (ko
Inventor
황환걸
이충걸
박준희
김두환
Original Assignee
로체 시스템즈(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로체 시스템즈(주) filed Critical 로체 시스템즈(주)
Priority to KR1020090046252A priority Critical patent/KR101103551B1/ko
Publication of KR20100127915A publication Critical patent/KR20100127915A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101103551B1 publication Critical patent/KR101103551B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치가 개시된다. 버퍼시스템은 기판 저장부 및 기판 입출부를 포함한다. 상기 기판 저장부는 지면을 기준으로 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯들을 포함한다. 상기 기판 입출부는 상기 기판 저장부의 슬롯들에 기판을 로딩하거나, 상기 기판 저장부의 슬롯들로부터 기판을 언로딩한다. 다양한 각도로 형성된 상기 슬롯들은, 상기 슬롯들 상부의 가상의 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 형성될 수 있다. 따라서, 각 슬롯들에 랜덤 엑세스가 가능하며, 공간활용도를 향상시키고, 제조상 비용을 감소시킬 수 있다.
기판, 이송, 버퍼,

Description

버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치{Buffer System and Substrate Transferring Apparatus having the Same}
본 발명은 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것으로, 보다 상세히 인라인 슬라이드(In-line Slide) 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치 또는 평판 디스플레이 장치들은 수많은 공정을 통해서 제조된다. 이러한 일련의 공정에 있어서, 각각 공정을 수행하는 시간이 다르거나 어는 한 공정이 임시로 멈추는 경우가 발생될 수 있다. 이때, 타 공정에서 수행된 기판이 임시로 머물 수 있는 공간이 형성되면 전체 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.
따라서, 타 공정에서 수행된 기판이 임시로 머물 수 있는 버퍼시스템이 요구되고 있다.
이에 따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 제1 과제는 이러한 버퍼시스템을 제공하는 것이다.
또한 본 발명이 해결하고자 하는 제2 과제는 이러한 버퍼시스템을 포함한 기판처리장치를 제공하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 버퍼시스템은 기판 저장부 및 기판 입출부를 포함한다. 상기 기판 저장부는 지면을 기준으로 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯들을 포함한다. 상기 기판 입출부는 상기 슬롯들의 입구 측에 위치하도록 상기 기판의 이송루트에 배치되는 기판 지지대와, 상기 기판 지지대를 지지하도록 프레임 상에 설치되어 상기 기판 지지대를 기판 저장부 측으로 하향 경사지도록 틸트시켜 상기 기판 지지대 위에 배치된 기판이 중력에 의해 상기 기판 지지대를 따라 슬라이딩 이동되도록 하여 상기 다수의 슬롯들 중 원하는 슬롯에 유입되도록 함으로써 기판을 로딩시킬 수 있는 틸팅장치를 포함할 수 있다.
예컨대, 다양한 각도로 형성된 상기 슬롯들은, 상기 슬롯들 상부의 가상의 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 형성될 수 있다.
상기 기판 입출부는, 기판 지지대 위에 배치된 기판을 슬롯들에 로딩시키거나 슬롯 내부에 배치되어 있는 기판을 슬롯의 외부로 견인하여 언로딩시키는 이송장치를 더 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 이송장치는, 기판 지지대에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되어 기판 지지대 위에 배치된 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 기판 지지대와 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 다수의 슬롯들 중 어느 하나의 슬롯 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯들에 로딩시킬 수 있거나, 상기 다수의 슬롯들 중 어느 하나의 슬롯 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 슬롯 내부에 배치되어 있는 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 슬롯과 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 슬롯 외부로 슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯의 외부로 견인하여 언로딩시킬 수 있다.
상기 이송장치는 한 쌍의 레일, 한 쌍의 기판지지 관, 제1 구동부, 기판지지 샤프트 및 제2 구동부를 포함할 수 있다. 상기 기판지지 관은 상기 한 쌍의 레일에 슬라이딩 이동 가능하도록 설차되어 기판을 지지한다. 상기 제1 구동부는 상기 기판지지 관과 연결되도록 상기 한 쌍의 레일 상에 설치되어 상기 레일을 따라 상기 기판지지 관을 슬라이딩 이동시킬 수 있다. 상기 기판지지 샤프트는 상기 기판지지 관의 양측 끝단부 외부로 양측 끝단부가 돌출되도록 상기 기판지지 관 내부에 회전 가능하게 설치되는 주축 및 상기 주축의 일단으로부터 연장 형성되어 기판지지 관의 상부 방향으로 절곡되어 기판지지 관 위에 배치된 기판의 하단부를 지지하는 돌출부를 포함할 수 있다. 상기 제2 구동부는 상기 주축과 연결되도록 상기 기판지지 관에 설치되어 상기 기판지지 샤프트를 회전시킬 수 있다.
예컨대, 상기 이송장치는 상기 한 쌍의 레일을 지지하도록 기판 지지대에 설치되어 상기 기판지지 관이 기판 지지대 또는 슬롯의 상부면 위로 돌출되도록 한 쌍의 레일을 상승시키거나 상기 기판지지 관이 기판 지지대 또는 슬롯의 상부면 아래로 위치하도록 한 쌍의 레일을 하강시키는 이송장치 트랜스퍼를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 다수의 슬롯들 각각은 한 쌍의 지지대 및 다수의 샤프트를 포함할 수 있다. 상기 한 쌍의 지지대는 기판의 이송방향을 따라 기판의 양 측부 방향으로 연장되며, 상기 다수의 샤프트는 상기 한 쌍의 지지대 사이에 배치된다.
이때, 상기 샤프트에는 기판 하부를 지지하며 회전하는 롤러들이 형성될 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 기판처리장치는 기판 처리부, 기판 컨베이어 및 버퍼시스템을 포함한다. 상기 기판 처리부는 기판에 각종 공정을 수행한다. 또한 기판 컨베이어는, 상기 기판 처리부로, 또는 상기 기판 처리부로부터, 기판 이송루트를 따라 기판을 이송한다. 상기 버퍼시스템은 상기 기판 이송루트상에 배치되어 기판을 버퍼링한다. 또한, 상기 버퍼시스템은, 가상의 상부 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯들을 포함하는 기판 저장부 및 상기 슬롯들의 입구 측에 위치하도록 상기 기판의 이송루트에 배치되는 기판 지지대; 상기 기판 지지대를 지지하도록 프레임 상에 설치되어 상기 기판 지지대를 기판 저장부 측으로 하향 경사지도록 틸트(tilt)시켜 상기 기판 지지대 위에 배치된 기판이 중력에 의해 상기 기판 지지대를 따라 슬라이딩 이동되도록 하여 상기 다수의 슬롯들 중 원하는 슬롯에 유입되도록 함으로써 기판을 로딩시킬 수 있는 틸팅장치;를 포함하여 구성된 기판 입출부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 버퍼 시스템은, 상기 기판 저장 저장부가 상기 기판 이송루트 상에 배치되도록 형성되거나, 기판 이송루트 측부에 배치되도록 형성될 수 있다.
이러한 본 발명에 의한 버퍼시스템에 의하면, 적은 공간에 다량의 기판을 적재할 수 있으며 또한 램덤 엑세스(random access)가 가능하다. 또한, 버퍼시스템의 제조비용을 감소시킬 수 있다.
또한, 이러한 버퍼시스템의 기판 저장부에 형성된 슬롯들은 상기 슬롯들 위에 배치되는 기판들의 가상의 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 형성되고, 기판 입출부의 틸팅장치는 기판 지지대 상부에 배치된 기판의 연장면이, 상기 하나의 직선을 축으로 회전하도록 상기 기판 지지대를 틸트시킴으로써, 기판이 용이하게 상기 슬롯에 슬라이드될 수 있다.
또한, 이러한 버퍼시스템의 이송장치는 틸트된 상기 슬롯들에 기판을 로딩하거나 슬롯들로부터 기판을 언로딩할때, 틸트된 기판의 하단부를 지지한다. 따라서, 대형 평판텔레비젼의 제조를 위한 대형 글래스 기판의 경우에도 용이하게 로딩 또는 언로딩이 가능하다.
또한, 본 발명에 의한 기판처리장치에 의하면, 버퍼시스템이 기판 컨베이어의 기판 이송방향 또는 이송방향과 교차하는 방향 등 다양하게 배치될 수 있어, 공 간활용도를 최대화할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 상술한 본 발명의 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이며, 그에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명은 하기의 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구현될 수도 있다. 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 보다 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 기술적 사상과 특징이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공된다. 도면들에 있어서, 각 장치의 크기는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 과장되게 도시될 수 있으며, 또한 각 장치는 본 명세서에서 설명되지 아니한 다양한 부가 장치들을 구비할 수 있으며, 각 장치의 연결부는 추가적인 장치가 개재될 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 버퍼시스템의 사시도이고, 도 2는 도 1에서 도시된 버퍼시스템의 기판 지지대가 틸팅된 모습을 도시한 사시도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 버퍼시스템(100)은 기판 저장부(110) 및 기판 입출부(120)를 포함한다. 상기 기판 저장부(110)는 기판(S)을 저장하고, 기판 입출부(120)는 상기 기판 저장부(110)에 기판(S)을 로딩하거나, 상기 기판 저장부(110)로부터 기판(S)을 언로딩한다. 즉, 기판(S)의 이송루트에 배치된 후술되는 기판 입출부(120)의 기판 지지대(121)를 틸팅장치(122)를 사용하여 기판 저장부(110) 측으로 하향 경사지도록 틸트시키게 되면 기판 지지대(121) 위에 배치된 기판이 중력에 의해 기판 지지대(121)를 따라 슬라이딩 이동되어 상기 기판 저장부(110)의 슬롯들(111)에 유입됨으로써 상기 기판 저장부(110)에 기판(S)을 로딩하거나, 후술되는 이송장치(124)를 작동시켜 슬롯(111) 내부에 배치되어 있는 기판(S)의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판(S)이 슬롯(111)과 이격되도록 상기 기판(S)의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 슬롯(111) 외부로 상기 이송장치(124)를 슬라이딩 이동시켜 상기 기판(S)을 상기 슬롯(111)의 외부로 견인하여 언로딩한다.
상기 기판 저장부(110)는 지면을 기준으로 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯(111)들을 포함한다. 환언하면, 상기 슬롯(111)들은 지면을 기준으로 다양한 각도로 틸트(tilt)되어 있다.
상기 슬롯(111)들 각각은 예컨대, 한 쌍의 지지대(1111), 샤프트(1112) 및 롤러(1113)를 포함한다.
상기 한 쌍의 지지대(1111)는 평행하도록 일정거리 서로 이격되어 형성되며, 지면을 기준으로 틸트되어 배치된다. 도시되지는 않았으나, 상기 한 쌍의 지지대(1111) 단부에는 돌출부(도시안됨)가 상부로 돌출되어 형성될 수 있다. 이러한 돌출부(도시안됨)는 기판(S)을 지지함으로써, 미끄러져 내려오는 기판(S)의 이탈을 방지한다. 또한 돌출부(도시안됨)에 탄성체를 부착하여 기판(S)이 미끄러져 내려올때의 충격을 완화시킬 수 있다.
상기 샤프트(1112)는 상기 한 쌍의 지지대(1111) 사이에 배치되어 상기 한 쌍의 지지대(1111)를 이격시킨다. 상기 샤프트(1112)의 축방향은 상기 한 쌍의 지지대(1111)의 축방향과 실질적으로 수직하다.
상기 롤러(1113)는 상기 샤프트(1112)에 끼워져 있으며, 상기 롤러(1113)는 샤프트(1112) 표면 위를 마찰하며 회전할 수 있으며, 이때, 도시되진 않았으나, 롤러(1113)와 샤프트(1112) 사이에 베어링(도시안됨)이 형성될 수도 있다.
이와 다르게, 상기 롤러(1113)는 상기 샤프트(1112)에 고정되고, 상기 샤프트(1112)가 상기 한 쌍의 지지대(1111)를 기준으로 회전할 수도 있다. 이때, 상기 샤프트(1112)는 상기 한 쌍의 지지대(1111)를 관통하여 피니언 기어(도시안됨)를 부착하고, 이러한 피니언 기어(도시안됨)를 랙 기어(도시안됨)로 구동하거나, 또는 벨트구동하여 샤프트(1112)를 전체적으로 회전시켜 슬롯(111) 위의 기판(S)을 이동시킬 수 있다.
또한, 롤러(1113)의 표면은 탄성체로 형성되어 롤러(1113) 상부에 배치되는 기판(S)의 표면에 가해지는 데미지(damage)를 최소화한다.
이하, 기판 입출부(120) 및 기판 저장부(110)의 슬롯들의 배치에 관하여 도 3 내지 4를 참조로 보다 상세히 설명한다.
도 3은 도 2의 측면도이고, 도 4는 도 3에서 도시된 슬롯들의 배치관계를 설명하기 위한 개념도이다.
도 2, 3 및 4를 참조하면, 상기 기판 입출부(120)는 기판 지지대(121), 틸팅장치(122) 및 프레임(123)을 포함한다.
상기 기판 지지대(121)는 기판의 이송루트에 배치되어, 이송 중인 기판을 상기 슬롯(111)들에 배치할 수 있다. 즉 상기 기판 지지대(121)는 프레임(123) 상에 설치된 틸팅장치(122)에 의해 지지되며 상기 슬롯들(111)의 입구 측에 위치하도록 기판의 이송루트에 배치되어 상기 틸팅장치(122)에 의해 기판 저장부(110) 측으로 하향 경사지도록 틸트됨으로써 기판 지지대(121) 위에 배치된 기판이 중력에 의해 상기 기판 지지대(121)를 따라 기판 저장부(110) 측으로 슬라이딩 이동되어 원하는 슬롯(111)에 기판이 로딩될 수 있도록 한다. 상기 기판 지지대(121)는 앞서 설명한 슬롯과 유사한 구조를 가질 수 있다. 보다 상세히, 상기 기판 지지대(121)는 롤러(1213)가 형성된 샤프트(1212)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 기판 지지대(121)에 형성된 샤프트(1212)는 상기 슬롯(111)에 형성된 샤프트(1112)와 실질적으로 평행하다. 이 경우, 기판은 도 1에서 화살표로 도시된 방향(A) 또는 그 반대 방향을 따라서 이송되며, 기판 저장부(110) 상부로 기판 컨베이어가 형성될 수 있다. 이와 다르게, 기판 지지대(121)에 형성된 샤프트(1212)는 상기 슬롯(111)에 형성된 샤프트(1112)와 실질적으로 수직하게 형성될 수 있다. 이렇게 기판 지지대(121)에 형성된 샤프트(1212)는 상기 슬롯(111)에 형성된 샤프트(1112)와 실질적으로 수직하게 형성되는 경우는 다른 실시예인 도 7을 참조로 설명할 것이다.
상기 틸팅장치(122)는 상기 기판 지지대(121)를 틸트(tilt)시킨다. 틸팅장치가 상기 기판 지지대(121)를 틸트시키면, 상기 기판 지지대(121) 상부의 기판이 미끄러져 상기 기판 저장부(110)의 슬롯(111)들 중의 어느 하나로 유입되어 상기 슬롯(111)에 저장된다. 이러한 틸팅장치(122)는 프레임(123)에 고정되어, 상기 프레임(123) 상기 틸팅장치(122)를 지지한다. 즉, 상기 틸팅장치(122)는 상기 기판 지지대(121)를 지지하도록 프레임(123) 상에 설치되어 상기 기판 지지대(121)를 기판 저장부(110) 측으로 하향 경사지도록 틸트시켜 상기 기판 지지대(121)의 롤러(1213)를 따라 중력에 의해 상기 기판을 슬라이딩 이동시켜 다수의 슬롯들 중 원하는 슬롯(111)에 유입되도록 하며, 상기 슬롯(111)에 유입된 기판은 상기 슬롯(111)의 롤러(1113)을 따라 슬롯(111) 내부로 슬라이딩 이동되어 슬롯(111)에 로딩되는 것이다.
또한, 상기 기판 입출부(120)는 이송장치(124)를 더 포함할 수 있다. 상기 이송장치(124)는 기판 저장부(110)으로부터 기판(S)을 언로딩하거나, 또는 기판 저장부(110)로 기판(S)을 로딩한다. 즉, 상기 이송장치(124)는 상기 기판 지지대(121)에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되어 기판 지지대(121) 위에 배치된 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 기판 지지대(121)와 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 다수의 슬롯들(111) 중 어느 하나의 슬롯(111) 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯들(111)에 로딩시키거나, 상기 다수의 슬롯들(111) 중 어느 하나의 슬롯(111) 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 슬롯(111) 내부에 배치되어 있는 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 슬롯(111)과 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 슬롯(111) 외부로슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯의 외부로 견인하여 언로딩시킬 수 있도록 한다. 상기 이송장치(124)는 도 5를 참조로 보다 상세히 설명될 것이다.
상기 기판 입출부(120) 즉, 이송장치(124)는 상기 이송장치(124)를 푸시(push) 또는 풀(pull)하는 이송장치 트랜스퍼(125)를 더 포함할 수 있다. 상기 이송장치 트랜스퍼(125)가 상기 이송장치(124)를 푸시하면 도 5의 이송장치(124)의 기판지지 관(1242)이 상기 기판 지지대(121) 표면, 즉 상부면 위로 올라오며, 상기 이송장치 트랜스퍼(125)가 상기 이송장치(124)를 풀하면 이송장치(124)의 기판지지 관(1242)이 상기 기판 지지대(121) 표면, 즉 상부면 아래로 내려온다.
기판 지지대(121)로부터 기판 저장부(110)의 슬롯(111)으로 기판(S)을 로딩하기 위해서, 상기 이송장치 트랜스터(125)는 이송장치(124)를 푸시하여 이송장치(124)의 기판지지 관(1242)이 기판(S)을 들어올린 후, 상기 이송장치(124)가 동작하여 기판(S)을 상기 슬롯(111)에 로딩한다. 즉 이송장치 트랜스퍼(125)에 의해 이송장치(124)가 푸시되면 이송장치(124)의 기판지지 관(1242)이 기판(S)의 양측 끝단부를 들어올려 상기 기판(S)이 기판 지지대(121)로부터 이격되도록 하며 이때 상기 기판(S)의 하단부는 후술되는 기판지지 샤프트(1244)의 돌출부(1244b)에 의해 지지됨으로써 중력에 의해 슬롯(111) 방향으로 슬라이딩 이동되지 않도록 한 후 상기 이송장치(124)의 제1 구동부(1243)가 작동하여 기판지지 관(1242)이 레일(1241)을 따라 슬롯(111) 내부로 슬라이딩 이동되도록 함으로써 기판(S)을 상기 슬롯(111)에 로딩하는 것이다. 기판(S)의 언로딩 시에는 로딩동작의 역순으로 진행된다. 즉, 언로딩 시에는 상기 이송장치 트랜스퍼(125)에 의해 이송장치(124)가 푸시되면 이송장치(124)의 기판지지 관(1242)이 기판(S)의 양측 끝단부를 들어올려 상기 기판(S)이 슬롯(111)으로부터 이격되도록 한 후 상기 이송장치(124)의 제1 구동부(1243)를 작동시켜 기판지지 관(1242)이 레일(1241)을 따라 슬롯(111) 외부로 슬라이딩 이동되도록 함으로써 기판(S)을 상기 슬롯(111)으로부터 언로딩 시킬 수 있도록 한다. 이와 다르게, 상기 이송장치(124)는 슬롯(111)으로부터 기판(S)을 언로딩시에만 동작하고, 슬롯(111)에 기판(S)을 로딩시에는 동작하지 아니할 수도 있다. 즉, 기판(S)은 중력에 의해 로딩될 수도 있다.
한편, 기판 저장부(110)의 다양한 각도로 형성된 상기 슬롯(111)들은, 상기 슬롯(111)들 상부의 가상의 연장면(I)들이 하나의 직선(L) 위에서 만나도록 형성될 수 있다. 또한, 상기 틸팅장치(122)는 상기 기판 지지대(121) 상부의 연장면이, 상기 하나의 직선(L)을 축으로 회전하도록, 상기 기판 지지대(121)를 틸트시킬 수 있다. 따라서, 기판 지지대(121)와 슬롯(111)의 표면이 동일 평면을 정의하므로, 기판(S)의 용이한 이송이 가능하다.
도 5는 도 1 내지 3에서 도시된 이송장치를 도시한 사시도이고, 도 6은 도 5의 A부분의 확대도이다.
도 5 및 6을 참조하면, 이송장치(124)는 한 쌍의 레일(1241), 한 쌍의 기판지지 관(1242), 제1 구동부(1243), 기판지지 샤프트(1244) 및 제2 구동부(1245)를 포함한다.
상기 한 쌍의 기판지지 관(1242)은 기판(S)을 지지한다. 즉 상기 한 쌍의 기판지지 관(1242)은 상기 이송장치 트랜스퍼(125)에 의해 지지된 한 쌍의 레일(1241)에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되어 기판(S)을 지지한다. 상기 기판 지지관(1242)은 외면은 예컨대 사각기둥 형상이고, 내부는 상기 기판 지지관(1242)의 길이 방향으로 원통형상의 홀이 형성되어 있으며, 상기 기판지지 샤프트(1244)는 상기 홀 내부에 배치된다.
상기 기판지지 샤프트(1244)는 예컨대 주축(1244a), 상기 주축(1244a)의 일단부에 형성된 제1 풀리(1244c) 및 상기 주축(1244a)의 타단부에 형성된 돌출부(1244b)를 포함한다. 즉 상기 기판지지 샤프트(1244)는 기판지지 관(1242)의 양측 끝단부 외부로 양측 끝단부가 돌출되도록 상기 기판지지 관(1242) 내부에 회전 가능하게 설치되는 주축(1244a)과, 상기 주축(1244a)의 일단부에 형성된 제1 풀리(1244c) 및 상기 주축(1244a)의 타단부에 연장 형성되어 기판지지 관(1242)의 상부 방향으로 절곡되어 기판지지 관(1242) 위에 배치된 기판의 하단부를 지지하는 돌출부(1244b)를 포함한다.
상기 기판지지 샤프트(1244)의 제1 풀리(1244c)는 상기 제2 구동부(1245)에 연결되어, 상기 기판지지 샤프트(1244)는 상기 제2 구동부(1245)에 의해 회전할 수 있다. 상기 제2 구동부(1245)는 예컨대, 모터(1245a), 상기 모터(1245a)에 연결된 제2 풀리(1245b) 및 벨트(1245c)를 포함하여 상기 샤프트(1244)의 상기 일 단부에 연결된 제1 풀리(1244c)를 회전시킨다. 상기 모터(1245a)는 상기 기판지지관(1242)에 고정된다. 이와같이, 상기 제2 구동부(1245)에 의해 상기 샤프트(1244)의 돌출부(1244b)를 회전시켜 이송되는 기판(S)을 지지할 수 있다. 즉 상기 제2 구동부(1245)의 모터(1245a)에 연결된 제2 풀리(1245b)는 벨트(1245c)를 통해 기판지지 샤프트(1244)의 제1 풀리(1244c)와 연결되어 상기 기판지지 샤프트(1244)를 회전시킴으로써 돌출부(1244b)에 의해 기판(S)의 하단부가 지지되도록 함으로써 중력에 의해 상기 기판(S)이 슬라이딩 이동되지 않도록 한다.
상기 기판지지 관(1242)은 상기 한 쌍의 레일(1241)을 따라서 이송될 수 있다. 보다 상세히, 상기 기판지지 관(1242)은 상기 제1 구동부(1243)에 의해 상기 레일(1241)을 따라서 움직인다.
상기 제1 구동부(1243)는 모터(1243a), 샤프트(1243b) 및 벨트(1243c)를 포함하여 모터(1243a)가 회전함에 따라 벨트(1243c)를 구동시켜 상기 기판지지 관(1242)을 왕복운동시킨다.
이러한 본 발명에 의한 버퍼시스템에 의하면, 적은 공간에 다량의 기판을 적 재할 수 있으며 또한 램덤 엑세스(random access)가 가능하다.
또한, 이러한 버퍼시스템의 기판 저장부에 형성된 슬롯들은 상기 슬롯들 위에 배치되는 기판들의 가상의 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 형성되고, 기판 입출부의 틸팅장치는 기판 지지대 상부에 배치된 기판의 연장면이, 상기 하나의 직선을 축으로 회전하도록 상기 기판 지지대를 틸트시킴으로써, 기판이 용이하게 상기 슬롯에 슬라이드될 수 있다.
또한, 이러한 버퍼시스템의 이송장치는 틸트된 상기 슬롯들에 기판을 로딩하거나 슬롯들로부터 기판을 언로딩할때, 틸트된 기판의 하단부를 지지한다. 따라서, 대형 평판텔레비젼의 제조를 위한 대형 글래스 기판의 경우에도 용이하게 로딩 또는 언로딩이 가능하다.
도 7은 본 발명의 예시적인 다른 실시예에 의한 버퍼시스템의 사시도이다. 도 7에서 도시된 버퍼시스템은 기판 저장부 및 기판 입출부의 배치관계를 제외하면 도 1 내지 6에서 도시된 버퍼시스템과 실질적으로 동일하다. 따라서, 동일 또는 유사한 구성요소는 동일한 참조부호를 병기하고, 중복되는 설명은 생략한다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 예시적인 다른 실시예에 의한 버퍼시스템(100) 저장부(110) 및 기판 입출부(120)를 포함한다. 도 1 내지 6에서 도시된 버퍼시스템에서는 기판 저장부(110)이 기판의 이송방향을 따라서 배치된 반면, 본 실시예에 따른 버퍼시스템(100)은 기판 저장부(110)이 기판 입출부(120)의 측부에 배치된다.
한편, 도시되진 않았으나, 기판 저장부(110)는 기판 입출부(120)의 4개의 측 면의 적어도 2면에 배치시킬 수도 있다. 이 때, 프레임(123)의 4개의 측부 중에서 기판 저장부(110)와 대향하는 측부에 틸팅장치(122)를 형성하고, 상기 틸팅장치(122)와 기판 지지대(121)를 선택적으로 결합함으로써 기판을 상기 기판 저장부(110)의 슬롯(111)에 저장할 수 있다.
도 8은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 기판처리장치의 사시도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 기판처리장치(500)는 기판 처리부(200), 기판 컨베이어(300) 및 버퍼시스템(100)을 포함한다.
상기 기판 처리부(200)는 기판에 각종 공정을 수행한다. 또한 기판 컨베이어(300)는, 상기 기판 처리부(200)로, 또는 상기 기판 처리부(200)로부터, 기판 이송루트를 따라 기판을 이송한다. 상기 버퍼시스템(100)은 상기 기판 이송루트상에 배치되어 기판을 버퍼링한다. 이러한 버퍼시스템(100)은 도 1 내지 7에서 설명된 버퍼시스템(100)이 채택될 수 있다.
이때, 상기 버퍼 시스템(100)은, 상기 기판 저장 저장부(110)가 상기 기판 이송루트 상에 배치되도록 형성되거나, 기판 이송루트 측부에 배치되도록 형성될 수 있다.
본 발명에 의한 기판처리장치에 의하면, 버퍼시스템이 기판 컨베이어의 기판 이송방향 또는 이송방향과 교차하는 방향 등 다양하게 배치될 수 있어, 공간활용도를 최대화할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 버퍼시스템의 사시도이다.
도 2는 도 1에서 도시된 버퍼시스템의 기판 지지대가 틸팅된 모습을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 측면도이다.
도 4는 도 3에서 도시된 슬롯들의 배치관계를 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 1 내지 3에서 도시된 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 5의 A부분의 확대도이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 다른 실시예에 의한 버퍼시스템의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 기판처리장치의 사시도이다.
<주요 도면부호에 대한 간단한 설명>
100: 버퍼시스템 110: 기판 저장부
111: 슬롯 1111: 지지대
1112: 샤프트 1113: 롤러
120: 기판 입출부 121: 기판 지지대
122: 틸팅장치 123: 프레임
124: 이송장치 1241: 레일
1242: 기판 지지관 1243: 제1 구동부
1244: 기판지지 샤프트 1244a: 주축
1244b: 돌출부 1245: 제2 구동부
125: 이송장치 트랜스퍼 200: 기판 처리부
300: 기판 컨베이어 500: 기판처리장치

Claims (10)

  1. 지면을 기준으로 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯들을 포함하는 기판 저장부; 및
    상기 슬롯들의 입구 측에 위치하도록 상기 기판의 이송루트에 배치되는 기판 지지대; 상기 기판 지지대를 지지하도록 프레임 상에 설치되어 상기 기판 지지대를 기판 저장부 측으로 하향 경사지도록 틸트(tilt)시켜 상기 기판 지지대 위에 배치된 기판이 중력에 의해 상기 기판 지지대를 따라 슬라이딩 이동되도록 하여 상기 다수의 슬롯들 중 원하는 슬롯에 유입되도록 함으로써 기판을 로딩시킬 수 있는 틸팅장치;를 포함하여 구성된 기판 출입부;
    를 포함하는 버퍼시스템.
  2. 제1 항에 있어서, 다양한 각도로 형성된 상기 슬롯들은,
    상기 슬롯들 상부의 가상의 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 형성된 것을 특징으로 하는 버퍼시스템.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 입출부는,
    상기 기판 지지대에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되어 기판 지지대 위에 배치된 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 기판 지지대와 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 다수의 슬롯들 중 어느 하나의 슬롯 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯들에 로딩시키거나,
    상기 다수의 슬롯들 중 어느 하나의 슬롯 내부로 슬라이딩 이동되어 상기 슬롯 내부에 배치되어 있는 기판의 하단부를 지지한 상태로 상기 기판이 슬롯과 이격되도록 상기 기판의 양측 끝단부를 들어올려 상승시킨 후 상기 슬롯 외부로 슬라이딩 이동되어 상기 기판을 상기 슬롯의 외부로 견인하여 언로딩시키는 이송장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼시스템.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 이송장치는,
    한 쌍의 레일;
    상기 한 쌍의 레일에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되어 기판을 지지하는 한 쌍의 기판지지 관;
    상기 기판지지 관과 연결되도록 상기 한 쌍의 레일 상에 설치되어 상기 레일을 따라 상기 기판지지 관을 슬라이딩 이동시키는 제1 구동부;
    상기 기판지지 관의 양측 끝단부 외부로 양측 끝단부가 돌출되도록 상기 기판지지 관 내부에 회전 가능하게 설치되는 주축 및 상기 주축의 일단으로부터 연장 형성되어 기판지지 관의 상부 방향으로 절곡되어 기판지지 관 위에 배치된 기판의 하단부를 지지하는 돌출부를 포함하는 기판지지 샤프트;
    상기 주축과 연결되도록 상기 기판지지 관에 설치되어 상기 기판지지 샤프트를 회전시키는 제2 구동부; 및
    상기 한 쌍의 레일을 지지하도록 기판 지지대에 설치되어 상기 기판지지 관이 기판 지지대 또는 슬롯의 상부면 위로 돌출되도록 한 쌍의 레일을 상승시키거나 상기 기판지지 관이 기판 지지대 또는 슬롯의 상부면 아래로 위치하도록 상기 한 쌍의 레일을 하강시키는 이송장치 트랜스퍼;를 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼시스템.
  6. 삭제
  7. 제1 항에 있어서, 상기 다수의 슬롯들 각각은,
    기판의 이송방향을 따라 기판의 양 측부 방향으로 연장된 한 쌍의 지지대; 및
    상기 한 쌍의 지지대 사이에 배치된 다수의 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 버퍼시스템.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 샤프트에는 기판 하부를 지지하며 회전하는 롤러들이 형성된 것을 특징으로 하는 버퍼시스템.
  9. 기판을 처리하는 기판 처리부;
    상기 기판 처리부로, 또는 상기 기판 처리부로부터, 기판 이송루트를 따라 기판을 이송하는 기판 컨베이어; 및
    상기 기판 이송루트상에 배치되어 기판을 버퍼링하는 버퍼시스템을 포함하며,
    상기 버퍼시스템은,
    가상의 상부 연장면들이 하나의 직선 위에서 만나도록 다양한 각도로 형성된 다수의 슬롯들을 포함하는 기판 저장부; 및
    상기 슬롯들의 입구 측에 위치하도록 상기 기판의 이송루트에 배치되는 기판 지지대; 상기 기판 지지대를 지지하도록 프레임 상에 설치되어 상기 기판 지지대를 기판 저장부 측으로 하향 경사지도록 틸트(tilt)시켜 상기 기판 지지대 위에 배치된 기판이 중력에 의해 상기 기판 지지대를 따라 슬라이딩 이동되도록 하여 상기 다수의 슬롯들 중 원하는 슬롯에 유입되도록 함으로써 기판을 로딩시킬 수 있는 틸팅장치;를 포함하여 구성된 기판 입출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 버퍼 시스템은, 상기 기판 저장 저장부가 상기 기판 이송루트 상에 배치되도록 형성되거나, 기판 이송루트 측부에 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
KR1020090046252A 2009-05-27 2009-05-27 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치 KR101103551B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090046252A KR101103551B1 (ko) 2009-05-27 2009-05-27 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090046252A KR101103551B1 (ko) 2009-05-27 2009-05-27 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100127915A KR20100127915A (ko) 2010-12-07
KR101103551B1 true KR101103551B1 (ko) 2012-01-06

Family

ID=43504933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090046252A KR101103551B1 (ko) 2009-05-27 2009-05-27 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101103551B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101294969B1 (ko) * 2011-10-21 2013-08-09 고대운 글래스 기판 로딩/언로딩 장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070034889A (ko) * 2005-09-26 2007-03-29 세메스 주식회사 기판 이송장치
KR20080104515A (ko) * 2007-05-28 2008-12-03 삼성전자주식회사 기판 적재장치
KR20080114019A (ko) * 2007-06-26 2008-12-31 삼성전자주식회사 기판 적재장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070034889A (ko) * 2005-09-26 2007-03-29 세메스 주식회사 기판 이송장치
KR20080104515A (ko) * 2007-05-28 2008-12-03 삼성전자주식회사 기판 적재장치
KR20080114019A (ko) * 2007-06-26 2008-12-31 삼성전자주식회사 기판 적재장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100127915A (ko) 2010-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6039260B2 (ja) 基板搬送システム
JP4249155B2 (ja) 基板移送装置
KR101528716B1 (ko) 반송 로봇, 그의 기판 반송 방법 및 기판 반송 중계 장치
US20080003091A1 (en) Method and apparatus for transporting, queuing, and loading of large area substrates in multi-tool processing operations
KR20140061242A (ko) 물품 반송 장치 및 이것을 구비한 물품 수납 설비
JP2002255338A (ja) 板状体搬送装置
JP5006411B2 (ja) 基板搬送装置
JP2005138944A (ja) 基板搬入出装置
KR101103551B1 (ko) 버퍼시스템 및 이를 포함하는 기판처리장치
JP4941627B2 (ja) ワーク収納装置
JP2006248680A (ja) 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造
KR100816391B1 (ko) 기판 이송장치
KR100832472B1 (ko) 기판이송장치
CN114655614A (zh) 自动装卸料设备
JP4517740B2 (ja) 基板バッファ装置、及び基板の収容方法
JP4715088B2 (ja) 基板搬送装置及び基板保管搬送装置
KR101069154B1 (ko) 기판 처리장치
JP2007134734A (ja) 液晶基板の搬送装置
JP5348478B2 (ja) 保管設備
KR20080114019A (ko) 기판 적재장치
KR200469263Y1 (ko) 유리 기판 운송 장치
KR100909988B1 (ko) 캐리어 이송 장치 및 이를 갖는 기판 세정 시스템
KR100596335B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR20100128484A (ko) 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법
CN207158319U (zh) 基板装载及卸载系统和装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee