KR101294969B1 - 글래스 기판 로딩/언로딩 장치 - Google Patents

글래스 기판 로딩/언로딩 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글래스 기판의 출입을 위한 출입구가 개폐 가능하도록 마련되고, 프로세스 챔버가 연결되는 측에 프로세스 챔버의 출입을 위한 개구가 개폐 가능하도록 형성되는 챔버 바디; 챔버 바디의 출입구 측에 힌지 결합되고, 구동부에 의해 힌지 결합 부분을 중심으로 회전함으로써 기울기 조절이 가능하며, 상면에 놓여지는 글래스 기판을 출입구 측으로 또는 그 반대측으로 이동시키는 컨베이어가 마련되는 기판지지대; 챔버 바디의 내측에 설치되고, 출입구를 통해서 기판지지대로부터 글래스 기판을 전달받아 내측에 로딩시키거나, 기판지지대로 언로딩시키는 컨베이어이송부; 및 컨베이어이송부 사이로 포크를 승강시킴과 아울러 개구를 통해 포크를 돌출 및 삽입시킴으로써, 글래스 기판을 프로세스 챔버로 로딩시키거나 언로딩시키는 기판승강이송부를 포함하도록 한 글래스 기판 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 대면적화된 글래스 기판을 프로세스 챔버 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있도록 하고, 진공 차단에 대한 신뢰성을 높일 수 있도록 하며, 이로 인해 글래스 기판에 대한 제조 공정의 생산성 및 수율 증대를 가져올 수 있고 나아가서, 글래스 기판을 수작업에 의해 프로세스 챔버로 용이하게 로딩 및 언로딩할 수 있도록 한다.

Description

글래스 기판 로딩/언로딩 장치{APPARATUS FOR LOADING AND UNLOADING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 글래스 기판 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적화된 글래스 기판을 프로세스 챔버 안정적으로 로딩 및 언로딩하도록 할 수 있고, 진공 차단에 대한 신뢰성을 높일 수 있도록 하며, 나아가서, 글래스 기판을 수작업에 의해 프로세스 챔버로 용이하게 로딩 및 언로딩할 수 있도록 구성된 글래스 기판 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이패널 등을 제조하기 위해서는 글래스 기판 상에 패턴 형성을 위한 다양한 단위 공정, 예를 들면, 식각, 세정, 건조 공정 등이 실행된다. 이와 같은 단위 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 다수의 처리 유닛, 예컨대 프로세스 챔버(process chamber)에서 이루어지는데, 이러한 프로세스 챔버로 글래스 기판을 이송시키기 위하여 컨베이어 등과 같은 이송 장치가 설치된다.
한편, LCD, OLED 등의 평판 디스플레이 패널뿐만 아니라, 솔라셀, 진공유리 등의 제작에 사용되는 글래스 기판이 대면적화되어 감에 따라 최적화된 제조 공정을 진행하기 위하여 다양한 베큠 로봇(vacuum robot), 글래스 기판 이송장치, 진공 물류 시스템 등을 필요로 한다.
그러나, 종래의 기존 시스템에 의한 진공, 이송 기술로는 대면적화된 글래스 기판의 제조를 위한 공정을 수행하는데 어려움이 따르고, 대면적화된 글래스 기판으로 인한 공정에 필요한 진공의 차단 어려움과 안정적인 이송을 어렵게 하는 문제점을 해결할 필요성을 가지고 있었다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 대면적화된 글래스 기판을 프로세스 챔버 안정적으로 로딩 및 언로딩하도록 하고, 진공 차단에 대한 신뢰성을 높이도록 하며, 이로 인해 글래스 기판에 대한 제조 공정의 생산성 및 수율 증대를 가져오도록 하고, 나아가서, 글래스 기판을 수작업에 의해 프로세스 챔버로 용이하게 로딩 및 언로딩할 수 있도록 하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 따르면, 글래스 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 장치에 있어서, 글래스 기판의 출입을 위한 출입구가 개폐 가능하도록 마련되고, 프로세스 챔버가 연결되는 측에 상기 프로세스 챔버의 출입을 위한 개구가 개폐 가능하도록 형성되는 챔버 바디; 상기 챔버 바디의 출입구 측에 힌지 결합되고, 구동부에 의해 힌지 결합 부분을 중심으로 회전함으로써 기울기 조절이 가능하며, 상면에 놓여지는 글래스 기판을 상기 출입구 측으로 또는 그 반대측으로 이동시키는 컨베이어가 마련되는 기판지지대; 상기 챔버 바디의 내측에 설치되고, 상기 출입구를 통해서 상기 기판지지대로부터 글래스 기판을 전달받아 내측에 로딩시키거나, 상기 기판지지대로 언로딩시키는 컨베이어이송부; 및 상기 컨베이어이송부 사이로 포크를 승강시킴과 아울러 상기 개구를 통해 상기 포크를 돌출 및 삽입시킴으로써, 상기 글래스 기판을 상기 프로세스 챔버로 로딩시키거나 언로딩시키는 기판승강이송부를 포함하는 글래스 기판 로딩/언로딩 장치가 제공된다.
상기 기판지지대는, 상측면의 끝단에 글래스 기판의 이탈을 억제하기 위한 스토퍼가 마련되고, 상기 구동부가 하측면과 상기 챔버 바디에 양단이 힌지 결합되는 실린더로 이루어질 수 있다.
상기 기판승강이송부는, 상기 챔버 바디의 하측에 설치되고, 상기 챔버 바디에 형성된 제 1 관통홀을 통해서 피스톤로드가 수직되게 삽입되는 승강실린더; 상기 피스톤로드의 끝단에 고정되어 상기 승강실린더의 동작에 의해 승강되고, 상기 프로세스 챔버에 글래스 기판을 로딩 및 언로딩시키는 방향을 따라 설치되는 LM 가이드; 상기 피스톤로드의 끝단을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 상기 제 1 관통홀의 내측에 설치되고, 상단과 하단이 상기 LM 가이드와 상기 챔버 바디에 고정되는 제 1 자바라부재; 상기 LM 가이드에 직선 운동 가능하게 설치되고, 글래스 기판을 지지하는 상기 포크가 다수로 나란하게 고정되는 포크베이스; 상기 LM 가이드에 나란하도록 설치되기 위하여 양단이 벨트풀리에 의해 지지되고, 상기 포크베이스가 고정되는 이송벨트; 및 상기 LM 가이드에 설치되고, 상기 이송벨트를 회전시킴으로써 상기 포크베이스를 직선 왕복 운동시키는 벨트회전부를 더 포함할 수 있다.
상기 벨트회전부는, 상기 챔버 바디의 하측에 설치되는 이송모터; 상기 이송모터의 회전력을 감속시키도록 설치되는 감속기; 상기 감속기로부터 회전력을 전달받아 회전하도록, 상기 챔버 바디에 형성된 제 2 관통홀에 수직되게 관통하도록 설치되는 회전축; 상기 회전축으로부터 회전력전달부재를 통해 회전력을 전달받아 상기 이송벨트를 회전시키도록 연결되고, 상기 LM 가이드에 고정되는 설치부재에 회전 가능하게 설치되는 연결풀리; 상기 회전축에 설치되어 상기 설치부재에 고정되는 마그네트실; 및 상기 회전축을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 상기 제 2 관통홀의 내측에 설치되되, 상단과 하단이 상기 설치부재와 상기 챔버 바디에 고정되는 제 2 자바라부재를 포함할 수 있다.
상기 챔버 바디는, 상기 기판지지대와 상기 프로세스 챔버가 직각으로 교차하도록 연결되고, 상기 컨베이어이송부는, 글래스 기판의 이송을 위하여 나란하게 설치되는 다수의 컨베이어롤러를 포함하고, 상기 기판승강이송부는, 상기 컨베이어롤러 사이에 상기 포크가 위치함으로써 상기 컨베이어이송부에 의한 글래스 기판의 이동방향에 직교하도록 상기 포크가 글래스 기판을 이동시킬 수 있다.
본 발명에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치에 의하면, 대면적화된 글래스 기판을 프로세스 챔버 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있도록 하고, 진공 차단에 대한 신뢰성을 높일 수 있도록 하며, 이로 인해 글래스 기판에 대한 제조 공정의 생산성 및 수율 증대를 가져올 수 있고 나아가서, 글래스 기판을 수작업에 의해 프로세스 챔버로 용이하게 로딩 및 언로딩할 수 있도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치를 도시한 측면도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치를 도시한 평면도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치의 내부를 도시한 측면도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치의 요부를 도시한 측면도이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해 되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치를 도시한 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치를 도시한 평면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치(100)는 글래스 기판(1)을 프로세스 챔버(200; 도 5에 도시)에 로딩 및 언로딩시키기 위한 장치로서, 챔버 바디(110)와, 기판지지대(120)와, 컨베이어이송부(130)와, 기판승강이송부(140)를 포함할 수 있다.
챔버 바디(110)는 글래스 기판(1)의 출입을 위한 출입구(111)가 일측부에 개폐 가능하도록 마련되고, 프로세스 챔버가 연결되는 측에 프로세스 챔버의 출입을 위한 개구(113)가 개폐 가능하도록 형성된다. 여기서, 프로세스 챔버는 글래스 기판(1)을 이용하여 평면 디스플레이 패널, 솔라셀, 진공유리 등을 제조하기 위한 공정을 수행하기 위한 다양한 챔버가 사용될 수 있고, 제조 과정을 수행하도록 공정에 필요한 진공이 공급되어 유지되도록 한다.
챔버 바디(110)는 출입구(111)와 개구(113)를 각각 개폐시키도록 도어가 설치될 수 있는데, 본 실시예에서는 도어로서 사용되기 위하여 출입구(111)와 개구(113)를 각각 개폐시키기 위한 게이트밸브(112,114)가 각각 설치될 수 있다.
기판지지대(120)는 챔버 바디(110)의 외측에서 출입구(111) 측에 힌지결합부(121)에 의해 힌지 결합되고, 구동부(122)에 의해 힌지 결합 부분, 즉 힌지결합부(121)를 중심으로 회전함으로써 기울기 조절이 가능하며, 상면에 놓여지는 글래스 기판(1)을 출입구(111) 측으로 또는 그 반대측으로 이동시키는 컨베이어(123)가 마련된다. 여기서, 컨베이어(123)는 모터의 구동에 의해 동작하는 컨베이어벨트로 이루어지거나, 컨베이어롤러로 이루어질 수 있고, 컨베이어롤러로 구성될 경우 후술하게 될 컨베이어이송부(130)와 동일하게 구성할 수 있으므로 그 설명을 생략하기로 한다.
기판지지대(120)는 상측면의 끝단에 글래스 기판(1)의 이탈을 억제하기 위한 스토퍼(124)가 마련될 수 있고, 이로 인해 끝단이 하방을 향하도록 기울어질 경우 스토퍼(124)에 의해 글래스 기판(1)이 하방으로 낙하하는 것을 방지하게 된다. 또한, 기판지지대(120)는 구동부(122)가 하측면과 챔버 바디(110)에 양단이 힌지 결합되는 실린더로 이루어질 수 있고, 구동부(122)인 실린더의 압축이나 팽창에 의해서, 외부로부터 글래스 기판(1)을 기판지지대(120)에 용이하게 안착시키거나 외부로 글래스 기판(1)을 용이하게 배출시키기 위하여 경사진 상태를 유지할 수 있고, 이와 반대로 상면에 안착된 글래스 기판(1)을 출입구(111)를 통해서 챔버 바디(110) 내측으로 로딩시키거나, 출입구(111)를 통해서 챔버 바디(110) 외측으로 언로딩되는 글래스 기판(1)이 안정적으로 이루어지도록 수평 상태를 유지할 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어이송부(130)는 챔버 바디(110)의 내측에 설치되고, 출입구(111)를 통해서 기판지지대(120)로부터 글래스 기판(1)을 전달받아 내측에 로딩시키거나, 기판지지대(120)로 챔버 바디(110) 외측으로 언로딩시키도록 하는데, 일례로 기판지지대(120)에 의한 글래스 기판(1)의 이송방향을 따라서 다수로 배열되되, 서로 나란하도록 회전 가능하게 설치되는 다수의 컨베이어롤러(131)와, 컨베이어롤러(131) 마다 일측에 마련되는 롤러풀리(132)와, 롤러풀리(132)를 서로 연결시키도록 다수의 벨트풀리(134)에 의해 회전 가능하게 설치되는 벨트(133)와, 벨트(133)에 연결되어 벨트(133)를 회전시키도록 설치되는 연결풀리(135)와, 감속기(137)에 의해 연결풀리(135)에 회전력을 제공하는 컨베이어모터(136)를 포함할 수 있다.
벨트(133)는 일례로 타이밍벨트로 이루어질 수 있고, 롤러풀리(132) 및 연결풀리(135)는 타이밍풀리로 이루어져서 컨베이어롤러(131)가 회전 가능하게 설치되는 지지대(138)에 회전 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 연결풀리(135)는 본 실시예에서처럼 지그재그로 배열되도록 다수로 이루어져서 벨트(133)가 지그재그로 연결됨으로써 벨트(133)에 회전력을 안정적으로 전달하도록 하고, 어느 하나가 컨베이어모터(136)로부터 감속기(137)를 통해서 일례로 베벨기어들에 의해 회전력을 전달받을 수 있다.
기판승강이송부(140)는 컨베이어이송부(130), 예컨대 컨베이어롤러(131) 사이로 포크(141)를 승강시킴과 아울러 개구(113)를 통해 포크(141)를 돌출 및 삽입시킴으로써, 글래스 기판(1)을 프로세스 챔버로 로딩시키거나 프로세스 챔버로부터 언로딩시키도록 한다.
기판승강이송부(140)는 일례로, 포크(141)와, 승강실린더(142)와, LM 가이드(linear motion guide; 143)와, 제 1 자바라부재(144)와, 포크베이스(145)와, 이송벨트(146)와, 벨트회전부(147)를 포함할 수 있다.
포크(141)는 상면에 글래스 기판(1)이 안착되도록 수평되게 설치되는 다수의 바(bar) 형태로 이루어질 수 있고, 포크베이스(145)에 의해 어셈블리를 이룰 수 있다.
승강실린더(142)는 단일 또는 다수로 이루어질 수 있고, 외부로부터 공급되는 유압 또는 공압에 의해 동작하는 실린더로서, 챔버 바디(110)의 하측에 고정된 실린더지지부(117)에 설치되고, 챔버 바디(110)에 형성된 제 1 관통홀(115)을 통해서 피스톤로드(142a)가 수직되게 상방으로 삽입된다.
LM 가이드(143)는 피스톤로드(142a)의 끝단에 고정되어 승강실린더(142)의 동작에 의해 승강하게 되고, 프로세스 챔버에 글래스 기판(1)을 로딩 및 언로딩시키는 방향을 따라 다수로 설치될 수 있다.
제 1 자바라부재(144)는 주름 구조 및 휨이나 변형이 가능한 재질로 이루어져서 신축이 가능하고, 피스톤로드(142a)의 끝단을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 제 1 관통홀(115)의 내측에 설치되고, 상단과 하단이 LM 가이드(143)와 챔버 바디(110)에 각각 고정된다. 따라서, 제 1 자바라부재(144)는 상단이 LM 가이드(143)의 하측면에 기밀을 유지하도록 고정되고, 하단이 챔버 바디(110)의 하면, 구체적으로는 챔버 바디(110)의 하면에 마련되어 승강실린더(142)를 고정시키는 실린더지지부(117)에 기밀을 유지하도록 고정되며, 이로 인해 제 1 관통홀(115)에 의해 노출되는 영역에 대한 진공 차단이 가능해지도록 한다.
포크베이스(145)는 LM 가이드(143)에 직선 운동 가능하게 설치됨으로써 LM 가이드(143)에 의해 직선 왕복 운동하도록 가이드되고, 글래스 기판(1)을 지지하기 위한 포크(141)가 일측에 다수로 나란하게 고정된다.
이송벨트(146)는 다수로 이루어질 수 있고, LM 가이드(143)에 나란하도록 설치되기 위하여 양단이 벨트풀리(146a)에 의해 지지되고, 포크베이스(145)의 일측이 고정됨으로써 회전에 따라 포크베이스(145)를 직선 왕복 운동시킨다. 여기서, 벨트풀리(146a)는 LM 가이드(143)에 회전 가능하게 설치됨으로써 LM 가이드(143)와 함께 이송벨트(146)가 승강하도록 한다.
벨트회전부(147)는 LM 가이드(143)에 설치됨으로써 승강실린더(142)에 의해 LM 가이드(143)와 함께 승강하고, 이송벨트(146)를 각각 회전시킴으로써 포크베이스(145)를 직선 왕복 운동시킨다.
벨트회전부(147)는 챔버 바디(110)의 하측에 설치되는 이송모터(147a)와, 이송모터(147a)의 회전력을 감속시키도록 설치되는 감속기(147b)와, 감속기(147b)로부터 회전력을 전달받아 회전하도록 챔버 바디(110)에 형성된 제 2 관통홀(116)에 수직되게 관통하도록 설치되는 회전축(147c)와, 회전축(147c)으로부터 회전력전달부재(147e)를 통해 회전력을 전달받아 이송벨트(146)를 회전시키도록 연결되고, LM 가이드(143)에 고정되는 설치부재(147f)에 회전 가능하게 설치되는 연결풀리(147d)와, 회전축(147c)에 설치되어 설치부재(147f)에 고정되는 마그네트실(magnet seal; 147g)과, 회전축(147c)을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 제 2 관통홀(116)의 내측에 설치되되, 상단과 하단이 설치부재(147f)와 챔버 바디(110)에 고정되는 제 2 자바라부재(147h)를 포함할 수 있다.
이송모터(147a)는 챔버 바디(110)의 하부에 고정되는 모터지지부(118)에 의해 설치된다. 또한, 감속기(147b)는 이송모터(147a)의 일측에 고정되다.
회전축(147c)은 감속기(147b)에 연결되도록 결합됨으로써 이송모터(147a)의 회전력을 감속기(147b)를 통해서 전달받도록 설치되고, 마그네트실(147g)에 의해 설치부재(147f)에 기밀을 유지하면서 회전 가능하도록 설치된다.
연결풀리(147d)는 일례로 컨베이어이송부(130)의 연결풀리(135)와 마찬가지로, 다수로 이루어져서 설치부재(147f)에 지그재그로 배열되도록 설치되어 이송벨트(146)가 연결됨으로써 회전에 의해 이송벨트(146)를 회전시키도록 하고, 어느 하나가 베벨기어들로 이루어지는 회전력전달부재(147e)에 의해 회전축(147c)으로부터 회전력을 전달받아 회전하게 된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 챔버 바디(110)는 기판지지대(120)와 프로세스 챔버(200)가 직각으로 교차하도록 연결된다. 또한, 컨베이어이송부(130)는 글래스 기판(1)의 이송을 위하여 나란하게 설치되는 다수의 컨베이어롤러(131)를 포함하는데, 기판승강이송부(140)는 컨베이어롤러(131) 사이에 포크(141)가 위치함으로써 컨베이어이송부(130)에 의한 글래스 기판(1)의 이동방향에 직교하도록 포크(141)가 글래스 기판(1)을 이동시키도록 한다.
한편, 본 발명에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치(100)는 글래스 기판(1)의 위치 제어를 위하여 글래스 기판(1)의 이동 경로 상에 글래스 기판(1) 또는 이와 함께 이동하는 구성요소를 감지하기 위한 감지센서가 마련됨으로써, 감지센서의 감지신호를 수신받아 글래스 기판(1)을 이송시키기 위한 컨베이어(123), 컨베이어모터(136), 승강실린더(142), 이송모터(147a) 등을 제어할 수 있으며, 이와 달리, 제어부가 스텝모터 또는 서보모터 등으로 이루어지는 컨베이어모터(136) 및 이송모터(147a) 등의 회전각 제어를 통해 글래스 기판(1)의 이송 위치를 제어할 수도 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 글래스 기판 로딩/언로딩 장치의 작용을 설명하기로 한다.
경사진 상태의 기판지지대(120) 상에 글래스 기판(1)을 안착시킨 다음, 구동부(122)의 구동에 의해 기판지지대(120)가 수평을 이루도록 한 후, 게이트밸브(112)에 의해 출입구(111)를 개방시키고, 컨베이어(123)를 동작시켜서 글래스 기판(1)을 출입구(111)를 통해서 챔버 바디(110) 내측으로 이송시킴으로써 컨베이어롤러(131) 상에 위치하도록 한다. 그리고, 컨베이어모터(136)의 구동에 의해 컨베이어롤러(131)를 회전시킴으로써 글래스 기판(1)이 챔버 바디(110)의 내측으로 완전히 삽입되도록 한다.
챔버 바디(110)의 내측으로 글래스 기판(1)이 로딩되면, 게이트밸브(112)에 의해 출입구(111)를 차단시키고, 이로 인해 챔버 바디(110) 내부를 진공공급부(미도시)로부터 공급되는 진공에 의해 진공 상태가 되도록 한다.
그런 다음, 승강실린더(142)의 구동에 의해 벨트회전부(147)와 포크베이스(145)를 상승시킴으로써 컨베이어롤러(131) 하측에 위치하던 포크(141)가 컨베이어롤러(131)의 상측에 위치하도록 상승시키고, 이로 인해 포크(141)가 컨베이어롤러(131)에 놓여진 글래스 기판(1)을 상승시키고, 이송모터(147a)의 구동에 의해 이송벨트(146)를 회전시킴으로써 포크베이스(145)가 LM 가이드(143)를 따라 직선 운동하도록 하고, 게이트밸브(114)에 의해 개방되는 개구(113)를 통해서 포크(141)가 글래스 기판(1)을 지지한 상태에서 프로세스 챔버(200) 내측으로 이동하도록 한다.
그리고, 프로세스 챔버(200) 내에 마련된 기판지지부(미도시)가 포크(141)에 지지된 글래스 기판(1)을 대신 지지하도록 한다. 그런 다음, 이송모터(147a)의 역회전에 의해 이송벨트(146)가 포크(141)와 포크베이스(145)를 챔버 바디(110) 내측으로 복귀하도록 하고, 개구(113)의 폐쇄에 의해 프로세스 챔버(200) 내에서 글래스 기판(1)에 대하여 정해진 공정을 수행하도록 한다.
또한, 공정을 마친 프로세스 챔버(200)로부터 글래스 기판(1)을 언로딩하기 위해서, 게이트밸브(114)에 의해 개구(113)를 개방시킨 다음, 이송모터(147a)의 구동 및 이송벨트(146)의 회전에 의해 포크(141)가 개구(113)를 통해 프로세스 챔버(200)로 삽입되고, 포크(141)의 상측에 글래스 기판(1)이 놓여지면, 이송모터(147a)의 역회전에 의해 포크(141)가 글래스 기판(1)과 함께 챔버 바디(110) 내측으로 복귀하고, 승강실린더(142)의 구동에 의해 포크(141)를 하강시키면, 포크(141)의 글래스 기판(1)이 컨베이어롤러(131) 상에 안착된다.
그리고, 게이트밸브(112)에 의해 출입구(111)를 개방시키고, 컨베이어모터(136)를 구동시킴으로써 글래스 기판(1)이 출입구(111)를 통해서 기판지지대(120)로 이송되도록 하고, 컨베이어(123) 구동에 의해 글래스 기판(1)이 챔버 바디(110)로부터 언로딩되어 기판지지대(120) 상에 위치하도록 한다. 기판지지대(120) 상에 위치한 글래스 기판(1)은 후속 공정을 위해 베큠 척 등을 이용하여 이송된다.
이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1 : 글래스 기판 110 : 챔버 바디
111 : 출입구 112 : 게이트밸브
113 : 개구 114 : 게이트밸브
115 : 제 1 관통홀 116 : 제 2 관통홀
117 : 실린더지지부 118 : 모터지지부
120 : 기판지지대 121 : 힌지결합부
122 : 구동부 123 : 컨베이어
124 : 스토퍼 130 : 컨베이어이송부
131 : 컨베이어롤러 132 : 롤러풀리
133 : 벨트 134 : 벨트풀리
135 : 연결풀리 136 : 컨베이어모터
137 : 감속기 138 : 지지대
140 : 기판승강이송부 141 : 포크
142 : 승강실린더 142a : 피스톤로드
143 : LM 가이드 144 : 제 1 자바라부재
145 : 포크베이스 146 : 이송벨트
146a : 벨트풀리 147 : 벨트회전부
147a : 이송모터 147b : 감속기
147c : 회전축 147d : 연결풀리
147e : 회전력전달부재 147f : 설치부재
147g : 마그네트실 147h : 제 2 자바라부재
200 : 프로세스 챔버

Claims (5)

  1. 글래스 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 장치에 있어서,
    글래스 기판의 출입을 위한 출입구가 개폐 가능하도록 마련되고, 프로세스 챔버가 연결되는 측에 상기 프로세스 챔버의 출입을 위한 개구가 개폐 가능하도록 형성되는 챔버 바디;
    상기 챔버 바디의 출입구 측에 힌지 결합되고, 구동부에 의해 힌지 결합 부분을 중심으로 회전함으로써 기울기 조절이 가능하며, 상면에 놓여지는 글래스 기판을 상기 출입구 측으로 또는 그 반대측으로 이동시키는 컨베이어가 마련되는 기판지지대;
    상기 챔버 바디의 내측에 설치되고, 상기 출입구를 통해서 상기 기판지지대로부터 글래스 기판을 전달받아 내측에 로딩시키거나, 상기 기판지지대로 언로딩시키는 컨베이어이송부; 및
    상기 컨베이어이송부 사이로 포크를 승강시킴과 아울러 상기 개구를 통해 상기 포크를 돌출 및 삽입시킴으로써, 상기 글래스 기판을 상기 프로세스 챔버로 로딩시키거나 언로딩시키는 기판승강이송부;를 포함하고,
    상기 기판승강이송부는,
    상기 챔버 바디의 하측에 설치되고, 상기 챔버 바디에 형성된 제 1 관통홀을 통해서 피스톤로드가 수직되게 삽입되는 승강실린더;
    상기 피스톤로드의 끝단에 고정되어 상기 승강실린더의 동작에 의해 승강되고, 상기 프로세스 챔버에 글래스 기판을 로딩 및 언로딩시키는 방향을 따라 설치되는 LM 가이드;
    상기 피스톤로드의 끝단을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 상기 제 1 관통홀의 내측에 설치되고, 상단과 하단이 상기 LM 가이드와 상기 챔버 바디에 고정되는 제 1 자바라부재;
    상기 LM 가이드에 직선 운동 가능하게 설치되고, 글래스 기판을 지지하는 상기 포크가 다수로 나란하게 고정되는 포크베이스;
    상기 LM 가이드에 나란하도록 설치되기 위하여 양단이 벨트풀리에 의해 지지되고, 상기 포크베이스가 고정되는 이송벨트; 및
    상기 LM 가이드에 설치되고, 상기 이송벨트를 회전시킴으로써 상기 포크베이스를 직선 왕복 운동시키는 벨트회전부;를 더 포함하고,
    상기 벨트회전부는,
    상기 챔버 바디의 하측에 설치되는 이송모터;
    상기 이송모터의 회전력을 감속시키도록 설치되는 감속기;
    상기 감속기로부터 회전력을 전달받아 회전하도록, 상기 챔버 바디에 형성된 제 2 관통홀에 수직되게 관통하도록 설치되는 회전축;
    상기 회전축으로부터 회전력전달부재를 통해 회전력을 전달받아 상기 이송벨트를 회전시키도록 연결되고, 상기 LM 가이드에 고정되는 설치부재에 회전 가능하게 설치되는 연결풀리;
    상기 회전축에 설치되어 상기 설치부재에 고정되는 마그네트실; 및
    상기 회전축을 감싸서 진공을 차단하기 위하여, 상기 제 2 관통홀의 내측에 설치되되, 상단과 하단이 상기 설치부재와 상기 챔버 바디에 고정되는 제 2 자바라부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 로딩/언로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기판지지대는,
    상측면의 끝단에 글래스 기판의 이탈을 억제하기 위한 스토퍼가 마련되고, 상기 구동부가 하측면과 상기 챔버 바디에 양단이 힌지 결합되는 실린더로 이루어지는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 로딩/언로딩 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버 바디는,
    상기 기판지지대와 상기 프로세스 챔버가 직각으로 교차하도록 연결되고,
    상기 컨베이어이송부는,
    글래스 기판의 이송을 위하여 나란하게 설치되는 다수의 컨베이어롤러를 포함하고,
    상기 기판승강이송부는,
    상기 컨베이어롤러 사이에 상기 포크가 위치함으로써 상기 컨베이어이송부에 의한 글래스 기판의 이동방향에 직교하도록 상기 포크가 글래스 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 글래스 기판 로딩/언로딩 장치.
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