KR101502130B1 - 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는진공처리시스템 - Google Patents

반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는진공처리시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 등의 피반송물을 반송하는 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템에 관한 것이다.
특히 본 발명은 피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하는 제1반송모듈과; 상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하는 제2반송모듈을 포함하고; 상기 제1회전암부의 회전영역과 상기 제2회전암부의 회전영역이 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템을 개시함으로써, 반송장치의 설치공간의 크기를 최소화할 수 있고, 반송챔버의 크기를 최소화하여 반송챔버의 압력 강하, 압력 상승에 따른 시간을 줄일 수 있어 피반송물의 생산성이 향상될 수 있다.
반송장치, 반송로봇, 피반송물, 기판, 반송로봇, 회전암부, 핸드, 반송챔버, 진공처리시스템

Description

반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템{Transfer apparatus, Transfer chamber having the same and vacuum processing system including the same}
본 발명은 기판 등의 피반송물을 반송하는 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템에 관한 것이다.
진공처리시스템은 진공처리를 수행하는 공정챔버와, 공정챔버의 일측에 설치되어 외부에서 기판을 전달받고 대기압상태에서 진공상태로 압력강하 후 공정챔버로 기판을 반송하고 공정챔버로부터 기판을 인출하여 진공상태에서 대기압상태로 압력상승 후 외부로 반출하는 반송챔버를 포함하여 구성된다.
그리고 상기 반송챔버 내에는 한 쌍의 반송로봇들이 설치되고, 한 쌍의 반송로봇들은 번갈아 가면서 공정챔버 및 반송챔버에서 기판의 인출 및 인입, 즉 기판의 교환과정을 수행하게 된다.
한편 상기 반송챔버는 공정챔버와의 기판의 교환 및 외부와의 기판의 교환과정에서 대기압상태 및 진공상태를 번갈아 가면서 수행하게 되는데, 반송챔버 내부체적에 따라서 대기압상태 및 진공상태 간의 압력변환에 소요되는 시간(이하 '압력 변환시간'이라 한다)이 달라진다.
특히 대면적의 기판의 경우 그 체적이 상대적으로 커짐에 따라서 반송챔버의 내부체적에 현저한 차이가 발생하여 대기압 및 진공압 간의 압력변환시간이 크게 증가하게 되고 그 결과 기판에 대한 진공처리의 소요시간을 증가시켜 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.
따라서 상기 반송챔버의 내부체적을 줄이기 위한 방안이 무엇보다 절실히 요구되고 있는 실정이다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 한 쌍의 반송모듈들이 차지하는 공간을 줄일 수 있는 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 한 쌍의 반송모듈들로 구성된 반송장치가 차지하는 설치공간을 줄임으로써, 반송장치가 설치되는 반송챔버의 내부체적을 줄여 압력변환시간을 현저하게 저감시킬 수 있는 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템을 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하는 제1반송모듈과; 상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하는 제2반송모듈을 포함하고; 상기 제1회전암부의 회전영역과 상기 제2회전암부의 회전영역이 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 반송장치를 개시한다.
본 발명은 또한 피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부를 포함하는 제1반 송로봇과; 상기 제1반송로봇과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부를 포함하는 제2반송로봇을 포함하고; 상기 제1회전암부와 상기 제2회전암부는 상기 제1반송로봇과 상기 제2반송로봇 사이에서 회전되는 것을 특징으로 하는 반송장치를 개시한다.
상기 제1회전암부는 일측이 상기 제1구동축을 중심으로 회전 가능토록 설치되는 제1관절부와, 상기 제1관절부와 연동되어 회전 가능하게 상기 제1관절부의 타측에 결합되어 상기 제1핸드를 지지하는 제2관절부를 포함하며, 상기 제2회전암부는 일측이 상기 제2구동축을 중심으로 회전 가능토록 설치되는 제1관절부와, 상기 제1관절부와 연동되어 회전 가능하게 상기 제1관절부의 타측에 결합되어 상기 제2핸드를 지지하는 제2관절부를 포함할 수 있다.
상기 제1핸드와 상기 제2핸드는 각각 반송하는 피반송물과 간섭 회피될 수 있도록 설치될 수 있다.
상기 제1핸드는 상기 피반송물을 지지하는 지지부와, 상기 제1회전암부와 결합되는 결합부와, 상기 결합부와 상기 지지부를 연결하고 상기 제2핸드에 의해 반송되는 피반송물이 통과할 수 있도록 형성되는 연결부를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 제1핸드와 상기 제2핸드는 상기 제1구동축 방향으로 높이가 서로 다르게 설치될 수 있다.
상기 제1구동축 및 상기 제2구동축은 별도의 구동부에 의하여 독립적으로 구동되거나, 하나의 구동부에 의하여 회전구동될 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 구성을 가지는 반송장치가 설치된 반송챔버를 개시한다.
상기 반송챔버는 피반송물의 반송을 위해 상기 반송챔버의 내부를 대기압상태에서 진공상태로 압력강하시키거나, 진공상태에서 대기압상태로 압력상승시키도록 압력조절장치가 추가로 설치될 수 있다.
또한 상기 반송챔버는 상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 의하여 지지되는 피반송물을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과, 상기 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부를 포함하는 리프트장치를 포함할 수 있으며, 상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 안착된 피반송물의 안착상태를 교정하기 위한 얼라이너가 추가로 설치될 수 있다.
본 발명은 또한 피반송물인 웨이퍼 또는 기판이 진공처리되는 공정챔버와; 상기 공정챔버와 연결되고, 상기와 같은 구성을 가지는 반송챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 반송장치는 제1반송모듈의 제1회전암부와 제2반송모듈의 제2회전암부가 제1반송모듈과 상기 제2반송모듈 사이에서 회전되기 때문에, 반송장치의 설치공간을 최소화할 수 있고, 더 나아가 반송장치가 설치되는 반송챔버의 내부체적을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
특히 반송챔버의 내부체적을 최소화하는 경우 압력변환시간을 저감시켜 기판의 전체처리공정에 소요되는 시간을 줄임으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 반송장치가 설치된 반송챔버는 그 내부체적이 줄어듦으로써, 제조비용을 절감할 수 있고, 크기 증가에 따른 운반 상 어려움을 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는 진공처리시스템에 관하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 진공처리시스템은 진공상태에서 웨이퍼 또는 LCD 패널용 유리기판 등 기판(2)의 표면을 식각하거나 표면에 소정의 특성을 가지는 박막을 형성하는 등의 소정의 공정을 수행하기 위한 시스템이다.
이러한 진공처리시스템은 피반송물인 웨이퍼 또는 기판(2)이 진공처리되는 공정챔버(4)와, 공정챔버(4)의 일측과 연결되어 외부와 공정챔버(4) 간의 기판(2)을 반송하는 반송챔버(10)를 포함하여 구성된다.
상기 반송챔버(10)는 기판(2)의 원활한 반송을 위해 공정챔버(4)와 선형, 소위 인라인(in-line) 형태로 연결될 수 있다.
상기 반송챔버(10)는 기판(2)이 반송챔버(10)로 인입되거나 반송챔버(10)로부터 반출될 수 있도록 내부에는 기판(2)의 반송하는 반송장치가 설치되며, 공정챔버(4) 등 또는 외부와 연결되는 게이트밸브(미도시)에 의하여 개폐되는 복수 개의 게이트(12)(gate)가 형성된다.
그리고 상기 반송챔버(10)는 기판(2)을 공정챔버(4) 등으로 반송할 수 있도 록 대기압상태에서 진공상태로 압력강하되거나, 공정챔버(4) 등으로부터 기판(2)을 인출하여 외부로 반출할 수 있도록 진공상태에서 대기압상태로 압력이 상승될 수 있도록 구성될 수 있다.
한편 상기 반송챔버(10)는 기판(2)의 교환을 위하여, 챔버 내의 압력조절을 위한 압력조절장치(미도시), 기판(2)의 승하강을 위한 리프트장치(미도시), 기판(2)의 정렬을 위한 얼라이너(미도시) 등이 설치된다.
상기 압력조절장치는 기판(2)의 반송을 위해 반송챔버(10)의 내부를 대기압상태에서 진공상태로 압력강하시키거나, 진공상태에서 대기압상태로 압력상승시키도록 구성되며, 상기 압력조절장치는 반송챔버(10) 내부로 가스를 공급하기 위한 가스공급장치(미도시)와, 반송챔버(10) 내의 가스를 배기하기 위한 배기장치(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 리프트장치는 후술하는 제1핸드(32) 또는 상기 제2핸드(42)에 의하여 지지되는 기판(2)을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀(미도시)들과, 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 얼라이너는 제1핸드(32) 또는 제2핸드(42)에 안착된 기판(2)의 안착상태를 교정하기 위한 구성으로, 다양한 구성이 가능하다.
상기 반송장치는 기판(2)의 반송을 위한 구성으로서, 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판(2)을 반송하는 하나 이상의 반송모듈을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 반송장치는 하나의 반송모듈로만 구성(single type)될 수도 있지만, 공정챔버(4)와 기판(2)을 원활하게 교환하게 하거나, 기판(2)을 보다 신속하고 원활하게 반송할 수 있도록 한 쌍의 반송모듈들로 구성(dual type)되는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 반송장치는 반송챔버(10)의 일측에 설치되는 제1반송모듈(30)과, 반송챔버(10)의 타측에 제1반송모듈(30)과 설치되는 제2반송모듈(40)으로 구성된다.
특히 상기 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40)은 기판(2)을 반송할 수 있다면 어떻게 구성되든 무방하지만, 본 발명과 같이 반송챔버(10)의 크기를 가능한 최소화할 수 있도록 구성되는 것이 무엇보다 바람직하다.
이하, 상기 반송챔버(10)의 크기를 최소화할 수 있는 구성되는 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40)에 대하여 상세히 설명한다.
상기 제1반송모듈(30)은 기판(2)을 지지하는 제1핸드(32)와, 기판(2)이 반송될 수 있도록 제1구동부(36)의 제1구동축(37)의 회전에 의해 제1핸드(32)를 선형이동시키는 제1회전암부(34)를 포함할 수 있다.
상기 제1핸드(32)는 기판(2)을 일정한 방향으로 선형이동시키기 위한 구성으로, 제1회전암부(34)에 고정되어 설치되거나, 기판(2)의 원활한 반송을 위해 제1회전암부(34)에 회전 가능토록 결합되고, 제1회전암부(34)와 벨트&풀리, 기어세트 등의 동력전달부를 통해 연결될 수 있다.
상기 제1핸드(32)는 반송장치의 설치공간의 최소화를 위해 제1반송모듈(30) 과 제2반송모듈(40)이 근접되게 설치될지라도 제2반송모듈(40)에 의해 반송되는 기판(2)과 간섭이 회피될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제1핸드(32)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판(2)을 지지하는 지지부(32A)와, 지지부(32A)의 하측에 이격되고 제1회전암부(34)와 결합되는 결합부(32B)와, 결합부(32B)와 지지부(32A)를 연결하고 후술하는 제2반송모듈(40), 제2핸드(42)에 의해 반송되는 기판(2)이 통과할 수 있도록 형성되는 연결부(32C)를 포함하여 구성될 수 있다.
따라서, 상기 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)은 제1핸드(32)의 지지부(32A) 위쪽에서 선형이동되고, 제2반송모듈(40), 즉 제2핸드(42)에 의해 반송되는 기판(2)은 제1핸드(32)의 지지부(32A) 아래인 지지부(32A)와 결합부(32B) 사이에서 선형이동되기 때문에, 이와 같은 높이 차에 의해 제1반송모듈(30) 및 제2반송모듈(40), 그리고 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)과 제2반송모듈(40)에 의해 반송되는 기판(2)의 간섭이 방지될 수 있다.
한편 기판(2)의 반송의 간섭을 피하기 위한 구성으로서, 상기 제1핸드(32) 및 제2핸드(42)의 높이를 서로 다르게 구성하는 것으로서, 제1구동부(36) 및 제2구동부(46)의 높이를 서로 다르게 구성할 수 있다.
이러한 제1핸드(32)에 있어서, 상기 제1핸드(32)의 지지부(32A)는 기판(2)을 안정적으로 지지할 수 있도록 제1핸드(32)의 결합부(32B)에 비해 상대적으로 길게 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1핸드(32)의 결합부(32B)는 제2반송모듈(40), 즉 후술할 제2반송모듈(40)의 제2핸드(42)와의 간섭 회피를 위해 제1핸 드(32)의 지지부(32A)에 비해 상대적으로 짧게 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 제1핸드(32)는 제1핸드(32)의 지지부(32A)가 제1핸드(32)의 결합부(32B)에 비해 상대적으로 길고, 상기 제2반송모듈(40)을 향해 개방된 'ㄷ'자 단면형상으로 형성될 수 있다.
상기한 제1핸드(32)는 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)이 제1반송모듈(30) 및 제2반송모듈(40)과 간섭되지 않도록 제1회전암부(34), 보다 정확하게는 후술할 제1회전암부(34)의 제2관절부(34B)의 상측에 결합되는 것이 바람직하다.
상기 제1회전암부(34)는 기판(2)을 선형이동시킬 수 있다면 어떻게 구성되든 무방하며, 바람직한 일 예로써 다음과 같이 구성될 수 있다.
즉 상기 제1회전암부(34)는 제1구동축(37)을 중심으로 회전 가능토록 제1구동축(37)에 결합되는 제1관절부(34A)와, 제1관절부(34A)의 타측에 회전 가능하게 결합되어 제1관절부(34A)와 연동되고 제1핸드(32)를 지지하는 제2관절부(34B)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1회전암부(34)의 제1관절부(34A)는 제1구동부(36)에 직접 결합되거나, 제1구동부(36)와 구동력 전달부 등을 통해 연결될 수 있다.
상기 제1회전암부(34)는 반송챔버(10)의 크기가 최소화될 수 있도록, 제1반송모듈(30)과 상기 제2반송모듈(40) 사이에서 회전토록 구성되는 것이 더 바람직하다.
다시 말하면, 상기 제1회전암부(34)와 제2회전암부(44)는 제1회전암부(34)의 회전영역과 제2회전암부(44)의 회전영역이 서로 중첩되도록 설치된다.
상기 제1회전암부(34)의 제1관절부(34A)는 상술한 바와 같이 반송챔버(10)의 크기 최소화를 위해, 도 1의 'C1'으로 지시된 바와 같이 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40) 사이에서 회전될 수 있도록 구성된다. 이때 상기 제1회전암부(34)의 제2관절부(34B)는 상술한 바와 같이 상기 기판(2)의 선형이동을 위해, 도 1의 'C2'로 지시된 바와 같이 회전될 수 있도록 구성된다.
상기 제1회전암부(34)의 제2관절부(34B)는 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)이 제1반송모듈(30) 및 제2반송모듈(40)과 간섭되지 않도록 상기 제1회전암부(34)의 제1관절부(34A)의 상측에 결합될 수 있다.
한편, 상기 제1구동부(36)는 제1핸드(32) 및 제1회전암부(34)와 함께 반송챔버(10)의 내부에 설치되거나, 반송챔버(10)의 외부 하측에 설치되어 제1회전암부(34), 특히 제1회전암부(34)의 제1관절부(34A)와 연결될 수 있다.
상기 제2반송모듈(40)은 제1반송모듈(40)와 거의 동일한 구성을 가지며, 기판(2)을 지지하는 제2핸드(42)와, 기판(2)이 반송될 수 있도록 제2구동부(46)의 제2구동축(47)의 회전에 의해 제2핸드(42)를 선형이동시키는 제2회전암부(44)를 포함할 수 있다.
상기 제2핸드(42)는 기판(2)의 반송시 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)과 간섭되지 않도록 구성되는 것이 바람직하다. 즉 상기 제2핸드(42)는 제2핸드(42)에 의하여 반송되는 기판(2)이 제1반송모듈(30)에 의해 반송되는 기판(2)보다 아래쪽에서 반송되도록 설치될 수 있다.
상기 제2핸드(42)는 기판(2)을 안정적으로 지지할 수 있도록 길게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제2핸드(42)는 상술한 제1핸드(32)와 마찬가지로 제2회전암부(44)의 상측에 결합될 수 있다.
상기 제2회전암부(44)는 상술한 제1회전암부(34)와 마찬가지로, 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40) 사이에서 회전될 수 있도록, 도 1의 'C3'로 지시된 바와 같이 회전되는 제1관절부(44A) 및 도 1의 'C4'로 지시된 바와 같이 회전되는 제2관절부(44B)로 구성될 수 있다.
나아가 상기 제1반송모듈(30) 및 제2반송모듈(40)은 제1회전암부(34)와 제2회전암부(44)의 회전중심 사이 거리(L)는 회전에 의하여 상호 간섭되지 않도록 제1회전암부(34) 및 제2회전암부(44)의 회전 끝단이 닿지 않을 정도로 형성하는 것이 바람직하다.
즉, 상기 제1반송모듈(30)과 상기 제2반송모듈(40)이 서로 간섭되지 않으면서 최대한 가깝게 설치됨으로써, 상술한 바와 같이 상기 기판(2)을 원활하게 선형이동시키면서 상기 반송챔버(10)의 크기를 최소화할 수 있다.
이때, 상기 제1회전암부(34)와 상기 제2회전암부(44)의 회전중심은 기판(2)의 반송방향으로 서로 다른 위치에 위치될 수 있지만, 기판(2)의 반송방향과 수직방향의 동일 선 상에 위치될 수 있다.
한편 상기 제1반송모듈 및 제2반송모듈은 제1구동부(36) 및 제2구동부(46)로 각각 독립적으로 구동되는 것을 중심으로 설명하였으나, 상기 제1구동축(37) 및 제2구동축(47)은 하나의 구동부에 의하여 구동될 수 있다.
여기서 구동부가 하나로 구성되는 경우 구동부는 제1구동축(37) 및 제2구동축(47)을 선택적으로 구동할 수 있도록 클러치 등이 설치될 수 있다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 반송장치는 한 쌍의 반송모듈들이 최소의 설치공간을 가지도록 구성된 기판(2)의 반송을 위한 반송장치로서, 진공처리시스템은 물론 기판처리장치로서 기판의 반송이 필요한 기판처리장치 모두에 사용될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 반송장치에 의한 기판(10)의 반송과정을 살펴보면, 다음과 같다.
도 1은 외부로부터 기판(2)이 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40) 중 어느 하나(이하, 설명의 편의를 위해 제1반송모듈으로 한다)로 안착된 상태를 보여주는 도면이다. 여기서 기판(2)의 원활한 교환을 위하여 제1 및 제2핸드(32, 42)들 중 상측에 위치된 핸드에 안착된다.
외부와의 기판(2) 교환과정을 보다 구체적으로 설명하면, 먼저 외부로 통하는 게이트(12) 및 공정챔버(4)와 반송챔버(10) 사이의 게이트(12)를 게이트밸브에 의하여 모두 차단한 상태에서 진공상태에서 대기압상태로 전환한 후에 외부로 통하는 게이트(12)를 개방한다.
외부로 통하는 게이트(12)가 개방되면 진공처리를 마친 기판(2)은 별도의 반송모듈(미도시)에 의하여 인출되고 진공처리될 기판(2)이 제1 및 제2핸드(32, 42)들 중 상측에 위치된 핸드에 안착된다.
한편 반송챔버(10)와 외부와의 기판(2) 교환을 마치게 되면, 외부로 통하는 게이트(12)는 게이트밸브에 의하여 다시 차단되며, 도 1과 같은 상황에서 반송챔버(10)로 인입된 기판(2)을 공정챔버(4)로 반송하기 전에 우선 반송챔버(10)가 공정챔버(4) 및 외부와 차단된 상태에서 소정의 진공상태로 압력이 강하된다.
상기 반송챔버(10)가 소정의 진공상태(공정챔버(4)와 실질적으로 동일한 진공압)가 되면, 공정챔버(4)와 반송챔버(10) 사이의 게이트(12)가 개방되어 반송챔버(10)와 공정챔버(4)가 서로 연통된다.
그리고, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2반송모듈(40)에 의해 공정챔버(4)에서 진공처리된 기판(2)이 공정챔버(4)로부터 반송챔버(10)로 반출된다. 또한 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1반송모듈(30)에 지지된 진공처리될 기판(2)이 반송챔버(10)로부터 공정챔버(4)로 인입된다.
이때, 상기 제1반송모듈(30)과 제2반송모듈(40)은 동시에 구동될 수도 있고, 시간차를 두고 구동될 수 있고, 순서대로 차례차례 구동될 수도 있다.
상기 공정챔버(4)에서 진공처리된 기판(2)이 반출되고, 진공처리될 기판(2)이 공정챔버(4)로 반송되고 나면, 반송챔버(10)는 외부와의 기판(2) 교환을 위하여 앞서 설명한 바와 같 게이트밸브에 의하여 공정챔버(4) 및 외부와 차단된 상태에서 대기압상태로 압력 상승된 후, 외부와의 기판(2) 교환과정을 다시 수행하게 된다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되 어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 반송장치의 평단면도이다.
도 2 내지 도 5는 각각 도 1과 대응되는 도면으로서, 본 발명에 따른 반송장치에 의한 피반송물의 반송과정을 도식화한 도면이다.
도 6은 도 1의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 반송장치의 주요부 사시도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
2; 기판 4; 공정챔버
10; 반송챔버 30; 제1반송모듈
32; 제1핸드 32A; 지지부
32B; 결합부 32C; 연결부 34; 제1회전암부 34A; 제1관절부
34B; 제2관절부 40; 제2반송모듈
42; 제2핸드 44; 제2회전암부

Claims (14)

  1. 기판이 진공처리되는 공정챔버의 일측과 연결되어 외부와 상기 공정챔버 간의 기판을 반송하는 반송챔버로서,
    피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하는 제1반송모듈과;
    상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하는 제2반송모듈을 포함하고;
    상기 제1회전암부의 회전영역과 상기 제2회전암부의 회전영역이 일부가 서로 중첩되며,
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 의하여 지지되는 피반송물을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과, 상기 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부를 포함하는 리프트장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  2. 피반송물인 웨이퍼 또는 피반송물이 진공처리되는 공정챔버와;
    기판이 진공처리되는 공정챔버의 일측과 연결되어 외부와 상기 공정챔버 간의 기판을 반송하는 반송챔버로서,
    피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하는 제1반송모듈과;
    상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하는 제2반송모듈을 포함하고;
    상기 제1회전암부의 회전영역과 상기 제2회전암부의 회전영역이 일부가 서로 중첩되며,
    피반송물의 반송을 위해 상기 반송챔버의 내부를 대기압상태에서 진공상태로 압력강하시키거나, 진공상태에서 대기압상태로 압력상승시키도록 압력조절장치와;
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 의하여 지지되는 피반송물을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과, 상기 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부를 포함하는 리프트장치와,
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 안착된 피반송물의 안착상태를 교정하기 위한 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  3. 기판이 진공처리되는 공정챔버의 일측과 연결되어 외부와 상기 공정챔버 간의 기판을 반송하는 반송챔버로서,
    상기 반송챔버는, 제1반송모듈 및 제2반송모듈이 고정 설치되며,
    상기 제1반송모듈은, 피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하며,
    상기 제2반송모듈은, 상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하며,
    상기 제1회전암부 및 상기 제2회전암부는, 상기 공정챔버에 대한 기판의 도입 및 배출시 상하로 중첩되어 회전되며,
    상기 제1회전암부 및 상기 제2회전암부는, 상기 제1반송모듈 및 상기 제2반송모듈 사이에서만 회전되며,
    상기 제1구동축 및 상기 제2구동축은 수평방향으로 서로 이격되며,
    상기 제1핸드 및 상기 제2핸드의 선형이동방향은 상기 제1반송모듈 및 상기 제2반송모듈의 이격방향과 수직을 이루며,
    상기 제1회전암부는 일측이 상기 제1구동축을 중심으로 회전 가능토록 설치되는 제1관절부와, 상기 제1관절부와 연동되어 회전 가능하게 상기 제1관절부의 타측에 결합되어 상기 제1핸드를 지지하는 제2관절부를 포함하며,
    상기 제2회전암부는 일측이 상기 제2구동축을 중심으로 회전 가능토록 설치되는 제1관절부와, 상기 제1관절부와 연동되어 회전 가능하게 상기 제1관절부의 타측에 결합되어 상기 제2핸드를 지지하는 제2관절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1핸드와 상기 제2핸드는 각각 반송하는 피반송물과 간섭 회피될 수 있도록 설치되는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1핸드는 상기 피반송물을 지지하는 지지부와, 상기 제1회전암부와 결합되는 결합부와, 상기 결합부와 상기 지지부를 연결하고 상기 제2핸드에 의해 반송되는 피반송물이 통과할 수 있도록 형성되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 제1핸드와 상기 제2핸드는 상기 제1구동축 방향으로 높이가 서로 다르게 설치된 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1구동축 및 상기 제2구동축은 별도의 구동부에 의하여 독립적으로 구동되거나, 하나의 구동부에 의하여 회전구동되는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  8. 삭제
  9. 청구항 3 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    피반송물의 반송을 위해 상기 반송챔버의 내부를 대기압상태에서 진공상태로 압력강하시키거나, 진공상태에서 대기압상태로 압력상승시키도록 압력조절장치가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  10. 청구항 3 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 의하여 지지되는 피반송물을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과, 상기 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부를 포함하는 리프트장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  11. 청구항 3 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 안착된 피반송물의 안착상태를 교정하기 위한 얼라이너가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  12. 청구항 3 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
    피반송물의 반송을 위해 상기 반송챔버의 내부를 대기압상태에서 진공상태로 압력강하시키거나, 진공상태에서 대기압상태로 압력상승시키도록 압력조절장치와;
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 의하여 지지되는 피반송물을 승강시키기 위하여 승강가능하게 설치되는 다수개의 리프트핀들과, 상기 리프트핀들을 승강구동하기 위한 하나 이상의 승강구동부를 포함하는 리프트장치와,
    상기 제1핸드 또는 상기 제2핸드에 안착된 피반송물의 안착상태를 교정하기 위한 얼라이너를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송챔버.
  13. 피반송물인 웨이퍼 또는 피반송물이 진공처리되는 공정챔버와;
    상기 공정챔버와 연결되고, 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 따른 반송챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리시스템.
  14. 피반송물인 웨이퍼 또는 피반송물이 진공처리되는 공정챔버의 일측과 연결되어 외부와 상기 공정챔버 간의 기판을 반송하는 반송챔버로서,
    피반송물을 지지하는 제1핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제1핸드를 선형이동시키는 제1회전암부와, 상기 제1회전암부를 회전구동하는 제1구동축을 포함하는 제1반송모듈과;
    상기 제1반송모듈과 이격 설치되고, 상기 피반송물을 지지하는 제2핸드와, 상기 피반송물이 반송될 수 있도록 회전에 의해 상기 제2핸드를 선형이동시키는 제2회전암부와, 상기 제2회전암부를 회전구동하는 제2구동축을 포함하는 제2반송모듈을 포함하고;
    상기 제1회전암부의 회전영역과 상기 제2회전암부의 회전영역이 일부가 서로 중첩되며,
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