JP5541299B2 - 搬送システム - Google Patents

Description

開示の実施形態は、搬送システムに関する。

従来、半導体ウェハや液晶パネルといった薄板状ワーク（以下、「ウェハ」と記載する）を搬送する搬送ロボットが知られている。また、ウェハの収納容器と、ウェハの処理室との間に設けられた局所クリーンルーム（以下、「搬送室」と記載する）内にかかる搬送ロボットを設置する搬送システムも知られている。

ここで、上記した収納容器や処理室等の領域（以下、「受渡位置」と記載する）は、受渡位置へアクセスするハンドの軌跡の延長線上に搬送ロボットの旋回中心がない位置、すなわち、オフセットした位置に設けられることが一般的である（たとえば、特許文献１参照）。

特開２００８−２８１３４号公報

しかしながら、従来の搬送システムには、ウェハの搬送処理のスループットの向上を図る上でさらなる改善の余地がある。具体的には、上記したようにすべての受渡位置をオフセットした位置に設けると、搬送ロボットのアームの姿勢変化が大きくなる傾向があり、結果的に搬送処理のスループットが低下してしまう。

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、スループットの向上を図ることができる搬送システムを提供することを目的とする。

実施形態の一態様に係る搬送システムは、ロボットと、ロボットの動作制御を行うコントローラとを備える。また、コントローラは、切替部を備える。ロボットは、相互に旋回可能に連結されたハンドおよび複数のアームからなるアーム部と、基部とを含み、基部には末端側のアームが旋回中心まわりに旋回可能に連結され、先端側のアームにはハンドが旋回可能に連結される。切替部は、アーム部の次の待機姿勢が複数ある場合に、ハンドの軌跡を生成する座標系を直交座標系から円筒座標系へ切り替える。

実施形態の一態様によれば、スループットの向上を図ることができる。

図１は、本実施形態に係る搬送室の上面図である。 図２は、本実施形態に係る搬送ロボットの模式斜視図である。 図３は、搬送ロボットの基準姿勢の説明図である。 図４Ａは、搬送ロボットの軌跡の説明図その１である。 図４Ｂは、搬送ロボットの軌跡の説明図その２である。 図４Ｃは、搬送ロボットの軌跡の説明図その３である。 図４Ｄは、搬送ロボットの軌跡の説明図その４である。 図５は、搬送ロボットのオフセット位置の説明図である。 図６Ａは、搬送ロボットの軌跡の説明図その５である。 図６Ｂは、搬送ロボットの軌跡の説明図その６である。 図６Ｃは、搬送ロボットの軌跡の説明図その７である。 図７Ａは、搬送ロボットの軌跡の説明図その８である。 図７Ｂは、搬送ロボットの軌跡の説明図その９である。 図７Ｃは、搬送ロボットの軌跡の説明図その１０である。 図８は、姿勢選択処理の処理手順を示すフローチャートである。 図９は、受渡位置の説明図である。 図１０は、変形例に係る搬送室の上面図である。

以下、添付図面を参照して、本願の開示する搬送システムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

まず、本実施形態に係る搬送システムについて図１を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る搬送室２の上面図である。なお、同図では説明を容易にするために一部の形状を単純化して示す。

図１に示すように、搬送室２には、半導体ウェハや液晶パネルといった薄板状ワーク（以下、「ウェハ４」と記載する）が搬入出される受渡位置として開閉装置５が並設され、搬送室２内には、搬送ロボット１０が配設される。

搬送室２は、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれるクリーンルームのことである。かかる搬送室２は、気体を浄化するフィルタ（図示せず）を上部に備え、このフィルタにより浄化されてダウンフローされる清浄気流によって筺体内が局所クリーン化される。

開閉装置５は、収納容器３に設けられる蓋体を開閉するための装置であり、搬送室２の側壁に設けられる開口部に設置される。たとえば、開閉装置５は、ロードポートまたはフープオープナと呼ばれ、一般的にＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格に準拠した装置である。

収納容器３は、複数のウェハ４を高さ方向に多段に収納することができる箱状の容器であり、たとえば、ＳＥＭＩ規格に既定されているＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる装置である。

収納容器３は、収納容器３の蓋体が搬送室２側へ向くように開閉装置５に載置され、開閉装置５が有する可動体が蓋体を保持しながら、可動体が搬送室２内でスライドするように下降することで蓋体を開放する。なお、各収納容器３内の破線で示す円は、ウェハ４の収納場所を示す。

搬送ロボット１０は、被搬送物であるウェハ４を保持可能なロボットである。具体的には、搬送ロボット１０は、基部１１と、アーム部２０とを備える。

アーム部２０は、被搬送物であるウェハ４を保持可能なロボットハンド（以下、「ハンド２３」と記載する）を有する。アーム部２０は、昇降機構を備える基部１１の上部で水平方向に回転可能に支持される。

具体的には、基部１１の上部には、第１アーム部２１の基端部が回転可能に連結され、第１アーム部２１の先端部の上部には、第２アーム部２２の基端部が回転可能に連結される。そして、第２アーム部２２の先端部には、ハンド２３が回転可能に連結される。これらは互いに回転自在である。

かかる構成により、搬送ロボット１０は、アーム部２０を昇降させたり、回転させたりしながら、収納容器３からウェハ４を取り出してハンド２３に載置したり、所定の処理室（図示せず）へ移載したり、ウェハ４を目的の位置へと搬送することができる。なお、アーム部２０の詳細については、図２を用いて後述する。

搬送ロボット１０は、収納容器３や処理室等の受渡位置へ搬送ロボット１０のハンド２３を侵入させる場合には、受渡位置の外部に設けられた所定の位置（以下、「待機位置」と記載する）から直線的な軌跡でハンド２３を移動させる。なお、ここでは、受渡位置が収納容器３の場合について説明するが、処理室やアライナ装置であってもよい。

たとえば、搬送ロボット１０は、ハンド２３を待機位置６ｂ（図１の×印参照）から直線的な軌跡（以下、「受渡軌跡」と記載する）でウェハ４の受渡位置７ｂ（図１の○印参照）まで移動させ、ウェハ４を収納容器３へ移載する。なお、ここでは、基準点として×印で示した待機位置６ｂおよび○印で示した受渡位置７ｂは、ハンド２３に載置されるウェハ４の中心位置とするが、かかる基準点は、ハンド２３のいずれに設けてもよい。

３つの収納容器３のうち、真中に位置する収納容器３は、受渡軌跡（６ｂ−７ｂ）の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置するように設けられる。なお、ここでは、搬送ロボット１０の旋回中心θは、基部１１の上部に第１アーム部２１の基端部が回転可能に連結される回転軸とする。

さらに、搬送室２は、上面視した場合に矩形であり、搬送ロボット１０は、かかる搬送室２における長辺の中点同士を結んだ線α上に旋回中心θが存在するように配置される。また、かかる長辺の外部に沿って配置される収納容器３は、中点同士を結んだ線αについて線対称となるようにそれぞれ配置される。

このような場合、搬送ロボット１０は、真中に位置する収納容器３に対応する待機位置６ｂでのアーム部２０の姿勢（以下、「待機姿勢」と記載する）を、受渡軌跡（６ｂ−７ｂ）に対して左右対称となる２通りの姿勢を取らせることができる。具体的には、待機姿勢は、実線で示したアーム部２０の待機姿勢と破線に示した待機姿勢との２通り存在する。

一方、真中以外の２つの収納容器３は、搬送ロボット１０の旋回中心θが各受渡軌跡（６ａ−７ａ、６ｃ−７ｃ）の延長線上にない位置、すなわち、オフセットした位置に設けられる。

ここで、従来の搬送システムでは、収納容器や処理室等の受渡位置は、搬送ロボットの旋回中心からオフセットした位置に設けられていた。オフセットした位置に設けられる受渡位置へハンドを侵入させるべく搬送ロボットに待機姿勢を取らせる場合には、搬送ロボットのアーム部の姿勢は１つに限られる。このため、複数の受渡位置へ次々とアクセスする場合には、アーム部の姿勢変化が大きくなる傾向があり、結果的にスループットが低下してしまう。

そこで、本実施形態に係る搬送システムは、受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置する収納容器３へハンド２３を侵入させる場合には、複数の待機姿勢からアーム部２０の姿勢変化が少ない待機姿勢を選択することとした。

具体的には、搬送ロボット１０は、ロボット制御装置によって搬送ロボット１０の動作が制御される。また、ロボット制御装置は、所定の動作をさせる命令を予め搬送ロボット１０へ教示する教示データに基づいて搬送ロボット１０の動作を制御する。

そこで、搬送システムは、教示データに基づいて受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置する収納容器３へハンド２３を侵入させようとしているか否かを判定する。

すなわち、搬送システムは、教示データに基づいて次に動作させる待機姿勢が複数存在するか否かを判定し、次の待機姿勢が複数存在する場合には、アーム部２０の姿勢変化が最も少ない過程によって取ることができる待機姿勢を選択する。そして、搬送システムは、選択した待機姿勢へ搬送ロボット１０を動作させる。なお、本実施形態において、次の受渡位置におけるアーム部２０の姿勢の候補となる複数の待機姿勢は、候補姿勢に対応する。

さらに、搬送システムは、次の待機姿勢が複数存在する場合に、直交座標系から円筒座標系へ切り替えて搬送ロボット１０を動作させる軌跡を生成する。これにより、受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置する収納容器３へハンド２３を侵入させる場合に、軌跡を生成する時間を短縮することができる。

このようにすることによって、本実施形態に係る搬送システムでは、スループットの向上を図ることができる。

なお、図１に示した搬送室２の形状は矩形としたが、これに限定されるものではなく、たとえば、搬送室２の形状は多角形や円状であってもよい。また、ここでは、搬送ロボット１０のアーム部２０が水平方向へ動作する点について着目して説明するが、搬送システムでは、搬送ロボット１０を水平方向だけでなく鉛直方向へも同時に動作させる。

次に、本実施形態に係る搬送ロボット１０の詳細について図２を用いて説明する。図２は、本実施形態に係る搬送ロボット１０の模式斜視図である。図２に示すように、搬送ロボット１０には、ロボット制御装置３０が接続されており、相互に通信可能である。

搬送ロボット１０は、鉛直な軸を中心として水平方向に旋回する２つのアームを備える水平多関節ロボットである。具体的には、搬送ロボット１０は、基部１１と、アーム部２０とを備える。

アーム部２０は、第１アーム部２１と、第２アーム部２２と、被搬送物であるウェハ４を保持可能なハンド２３とを備える。また、アーム部２０は、昇降機構を備える基部１１の上部で水平方向に回転可能に支持される。

具体的には、基部１１の上部には、第１アーム部２１の基端部が回転可能に連結され、第１アーム部２１の先端部の上部には、第２アーム部２２の基端部が回転可能に連結される。そして、第２アーム部２２の先端部には、ハンド２３が回転可能に連結される。これらは互いに回転自在であり、モータや減速機等からなる機構を用いて回転する。なお、モータや減速機等からなる機構は、基部１１に備えることとしてもよいし、アーム部２０に収納されてもよい。

搬送ロボット１０は、第１アーム部２１、第２アーム部２２およびハンド２３を回転動作させることによって、ハンド２３を目的の位置へと移動させる。また、搬送ロボット１０は、第１アーム部２１と第２アーム部２２とを同期的に動作させることで、ハンド２３を直線的に移動させることができる。

基部１１に備える昇降機構は、直動ガイド、ボールネジおよびモータを含んで構成され、モータの回転運動を直線運動へ変換することによってアーム部２０を鉛直方向に沿って昇降させる。なお、昇降機構は、ボールネジによってアーム部２０を昇降させることとしたが、鉛直方向に沿って設けられるベルトによってアーム部２０を昇降させてもよい。

かかる構成により、搬送ロボット１０は、アーム部２０を昇降させたり、回転させたりしながら、収納容器３からウェハ４を取り出してハンド２３に載置したり、所定の処理室（図示せず）へ移載したり、ウェハ４を目的の位置へと搬送することができる。

処理室とは、搬送室２に併設され、たとえば、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、露光、エッチング、アッシングといった所定の処理をウェハ４に対して行う装置が設置される部屋である。

なお、本実施形態に係る搬送ロボット１０は、第１アーム部２１、第２アーム部２２およびハンド２３で構成される３軸水平多関節ロボットについて説明する。しかし、これに限定されるものではなく、動作軸数が４軸以上である水平多関節ロボットでもよい。

受渡軌跡の延長線上に４軸以上の水平多関節ロボットの旋回中心θが位置する収納容器３へハンド２３を侵入させようとする場合、搬送システムでは、２通り若しくはそれ以上のパターンの待機姿勢から選択することとする。

また、アーム部２０が２本である双腕ロボットでもよいし、アーム部２０が３本以上設けられる構成としてもよい。双腕ロボットの場合、一方のアーム部２０を用いて所定の搬送位置からウェハ４を取り出しつつ、他方のアーム部２０を用いてかかる搬送位置へ新たなウェハ４を搬入する等、２つの作業を同時平行で行うことができる。また、搬送ロボット１０は、１本の第２アーム部２２に、２本またはそれ以上のハンド２３が設けられる構成であってもよい。この場合、２本以上のハンド２３は同軸で互いに自由に回転可能に設けられる。

ロボット制御装置３０は、搬送ロボット１０の動作制御を行うコントローラであり、選択部３０ａと、切替部３０ｂとを備える。搬送ロボット１０は、ロボット制御装置３０からの命令に従い、アーム部２０を昇降させたり、回転させたりしながら、収納容器３からウェハ４を取り出してハンド２３へ載置したり、ウェハ４を目的の位置へと搬送する。

選択部３０ａは、教示データ等に基づいて次に動作させる待機姿勢が複数存在するか否かを判定し、次の待機姿勢が複数存在する場合には、アーム部２０の姿勢変化が最も少ない過程によって取ることができる待機姿勢を選択する処理を行う。

たとえば、選択部３０ａは、アーム部２０の各関節軸の回転量を算出し、かかる回転量が最小となる待機姿勢を選択する。また、選択部３０ａでは、モータや減速機等からなる機構の所要動力を加味して待機姿勢を選択することとしてもよい。

切替部３０ｂは、次の待機姿勢が複数存在する場合に、直交座標系から円筒座標系へ切り替える処理を行う。そして、ロボット制御装置３０では、円筒座標系によってアーム部２０の姿勢変化が最も少ない待機姿勢へ搬送ロボット１０を動作させる軌跡を生成し、生成した軌跡に基づいて搬送ロボット１０へ動作命令を送信する処理を併せて行う。

一方、搬送ロボット１０は、ロボット制御装置３０からの命令に従って、アーム部２０の姿勢変化が最も少ない待機姿勢へアーム部２０を動作させることとなる。

なお、ロボット制御装置３０は、搬送ロボット１０が基準姿勢へ姿勢変化した時点で、姿勢選択処理を実行する。しかし、これに限定されるものではなく、選択部３０ａは、搬送ロボット１０が収納容器３の受渡位置へハンド２３を侵入させた時点で、かかる姿勢選択処理を実行してもよい。

ここで、搬送ロボット１０の基準姿勢の詳細について図３を用いて説明しておく。図３は、搬送ロボット１０の基準姿勢の説明図である。

図３に示すように、搬送ロボット１０の基準姿勢とは、第１アーム部２１上に第２アーム部２２とハンド２３とが重畳され、アーム部２０全体が最も短くなるように折り畳まれた状態である。さらに、搬送ロボット１０の基準姿勢とは、アーム部２０の各軸が搬送室２の短手方向（図３の矢印ｅ）と平行となる状態を示す。ロボット制御装置３０は、一旦基準姿勢へ戻してから所定の姿勢へ搬送ロボット１０を動作させる。

次に、搬送ロボット１０が基準姿勢（図３参照）から姿勢の変化をする場合についての詳細について図４Ａ〜図４Ｄを用いて説明する。図４Ａ〜図４Ｄは、搬送ロボット１０の軌跡の説明図その１〜その４である。

ここで、基準姿勢から収納容器３ｂへハンド２３を侵入させる場合（図４Ｄ参照）について説明する。なお、収納容器３ｂは受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが存在する。したがって、収納容器３ｂに対応する待機位置でのアーム部２０の待機姿勢は、図４Ｃに示すように受渡軌跡に対して左右対称となる２通り存在する。

また、搬送ロボット１０の軌跡の始点となる基準姿勢も、収納容器３ｂに対応する受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０のアーム部２０が位置し、受渡軌跡に対して左右対称である。したがって、搬送ロボット１０の軌跡は、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、受渡軌跡に対して左右対称となる２通り存在し、アーム部２０の姿勢変化はどちらも同じとなる。

この場合、選択部３０ａは、次に動作させる複数存在する待機姿勢のうち、アーム部２０の姿勢変化が最も少ない過程によって取ることができる待機姿勢を選択する場合に、いずれを選択してもよい。

次に、搬送ロボット１０がオフセット位置から姿勢の変化をする場合についての詳細について図５、図６Ａ〜図６Ｃおよび図７Ａ〜図７Ｃを用いて説明する。図５は、搬送ロボット１０のオフセット位置の説明図であり、図６Ａ〜図６Ｃおよび図７Ａ〜図７Ｃは、搬送ロボット１０の軌跡の説明図である。

図５に示すように、搬送室２では、収納容器３や処理室９ａ〜９ｃの他に、たとえば、ウェハ４の方向性を検知して整える（アライメントする）アライナ装置８等のような他の装置が設けられることがある。

搬送ロボット１０は、搬送室２内において、まず、収納容器３内のウェハ４を取り出し、アライナ装置８へと搬送する。アライナ装置８でウェハ４をアライメントさせた後は、アライメントが終了したウェハ４を処理室９ａ〜９ｃへ搬送する。そして、処理室９ａ〜９ｃで処理が終わったウェハ４を、再び収納容器３に収納する。なお、各処理室９ａ〜９ｃ内の破線で示す円は、ウェハ４の受渡位置を示す。

ここで、搬送ロボット１０の旋回中心θからオフセットした位置に設けられているアライナ装置８から処理室９ｂへハンド２３を侵入させる場合（図６Ｃおよび図７Ｃ参照）について説明する。なお、処理室９ｂは受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが存在する。

まず、第１パターンの搬送ロボット１０の軌跡について図６Ａ〜図６Ｃを用いて説明する。図６Ａに示すように、姿勢の変化をする場合、搬送ロボット１０は、第１アーム部２１上に第２アーム部２２が重畳されるよう折り畳む。

つづいて、搬送ロボット１０は、折り畳まれた第１アーム部２１と第２アーム部２２とを矢印１００の方向へ回転させ、さらに、ウェハ４を移載するハンド２３を矢印１０１の方向へ回転させる。

これにより、図６Ｂに示すように、アーム部２０は、処理室９ｂに対応する待機位置での待機姿勢となる。その後、搬送ロボット１０は、かかる待機姿勢から、処理室９ｂへハンド２３を侵入させる（図６Ｃ参照）。

次に、第２パターンの搬送ロボット１０の軌跡について図７Ａ〜図７Ｃを用いて説明する。図７Ａに示すように、姿勢の変化をする場合、第１パターンと同様に搬送ロボット１０は、第１アーム部２１上に第２アーム部２２が重畳されるよう折り畳む。

つづいて、搬送ロボット１０は、折り畳まれた第１アーム部２１と第２アーム部２２とを矢印１０２の方向へ回転させ、さらに、ウェハ４を移載するハンド２３を矢印１０３の方向へ回転させる。

これにより、図７Ｂに示すように、アーム部２０は、処理室９ｂに対応する待機位置での待機姿勢となる。その後、搬送ロボット１０は、かかる待機姿勢から、処理室９ｂへハンド２３を侵入させる（図７Ｃ参照）。

第１パターンと第２パターンの２通りの待機姿勢を取る場合の姿勢変化を、図６Ａと図７Ａとに基づいて比較すると、ハンド２３の姿勢変化（矢印１０１および矢印１０３）は、いずれも同じである。しかし、第１アーム部２１と第２アーム部２２の姿勢変化（矢印１００および矢印１０２）は、第２パターンよりも第１パターンの方が小さい。

この場合、選択部３０ａは、次に動作させる２つの待機姿勢のうち、アーム部２０の姿勢変化が少ない第１パターンの待機姿勢を選択する。

なお、ここでは、選択部３０ａは、次に動作させる待機姿勢のうち、アーム部２０の姿勢変化が少ない過程によって取ることができる待機姿勢を選択することとした。しかし、これに限定されるものではなく、たとえば、選択部３０ａは、２つまたはそれ以上先の待機姿勢への搬送ロボット１０の姿勢変化に基づいて次の待機姿勢を決定してもよい。

具体的には、搬送システムは、教示データ等によって所定の受渡位置へハンド２３を侵入させた後、さらに搬送ロボット１０を動作させる位置も取得することができる。たとえば、教示データには、アライナ装置８から処理室９ｂへウェハ４を搬送させた後、処理室９ａのウェハ４を取りにいく動作が教示されていたとする。

この場合、アライナ装置８から処理室９ｂまでは、第１パターンの方がアーム部２０の姿勢変化が少ない。しかし、処理室９ｂから処理室９ａまでのアーム部２０の姿勢変化は、第２パターンの方が少ない。したがって、選択部３０ａは、２つ先の待機姿勢への姿勢変化を考慮して第２パターンの待機姿勢を選択してもよい。

次に、ロボット制御装置３０が実行する姿勢選択処理の詳細について、図８を用いて説明する。図８は、姿勢選択処理の処理手順を示すフローチャートである。

なお、ロボット制御装置３０は、所定のタイミングで図８に示す姿勢選択処理を実行する。たとえば、搬送ロボット１０が基準姿勢へ姿勢変化した際でもよいし、搬送ロボット１０が収納容器３の受渡位置へハンド２３を侵入させる際でもよい。

図８に示すように、選択部３０ａは、次に動作させる待機姿勢が複数存在するか否かを判定し（ステップＳ１０１）、次の待機姿勢が複数存在する場合に（ステップＳ１０１，Ｙｅｓ）、切替部３０ｂでは以下の処理を行う。

切替部３０ｂは、まず、搬送ロボット１０の軌跡を生成する際、現在、直交座標系によって生成されているか否かを判定し（ステップＳ１０２）、直交座標系の場合（ステップＳ１０２，Ｙｅｓ）、円筒座標系へ切り替える（ステップＳ１０３）。

一方、切替部３０ｂは、現在、直交座標系によって軌跡が生成されていない場合には（ステップＳ１０２，Ｎｏ）、ステップＳ１０４へ処理を移行する。

つづいて、選択部３０ａは、複数存在する待機姿勢のうち、アーム部２０の姿勢変化が最も少ない過程によって取ることができる待機姿勢を選択する（ステップＳ１０４）。

そして、ロボット制御装置３０は、円筒座標系によってステップＳ１０４で選択された待機姿勢へ搬送ロボット１０を動作させる軌跡を生成し、生成した軌跡に基づいて搬送ロボット１０を動作させる（ステップＳ１０５）。

また、ロボット制御装置３０は、待機姿勢が取られた待機位置から受渡位置までハンド２３を侵入させて、ハンド２３によるウェハ４の受け渡し処理の動作をさせ（ステップＳ１０６）、一連の処理を終了する。

ステップＳ１０１において、次の待機姿勢が複数存在しない場合（ステップＳ１０１，Ｎｏ）、切替部３０ｂは、搬送ロボット１０の軌跡を生成する際、現在、円筒座標系によって生成されているか否かを判定する（ステップＳ１０７）。

切替部３０ｂは、円筒座標系によって軌跡が生成されている場合（ステップＳ１０７，Ｙｅｓ）、直交座標系へ切り替える（ステップＳ１０８）。一方、切替部３０ｂは、現在、円筒座標系によって軌跡が生成されていない場合には（ステップＳ１０７，Ｎｏ）、ステップＳ１０９へ処理を移行する。

そして、ロボット制御装置３０は、直交座標系によって待機姿勢へ搬送ロボット１０を動作させる軌跡を生成し、生成した軌跡に基づいて搬送ロボット１０を動作させる（ステップＳ１０９）。

また、ロボット制御装置３０は、待機姿勢が取られた待機位置から受渡位置までハンド２３を侵入させて、ハンド２３によるウェハ４の受け渡し処理の動作をさせ（ステップＳ１１０）、一連の処理を終了する。

次に、受渡位置について図９および図１０を用いて説明する。図９は、受渡位置の説明図であり、図１０は、変形例に係る搬送室２の上面図である。

これまで、本実施形態に係る搬送システムでは、搬送室２の側壁に沿って配置される収納容器３や処理室９ａ〜９ｃが受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置するように設けられる受渡位置として説明したが、これに限定されるものではない。

たとえば、図９に示すように、搬送室２内に設けられるアライナ装置８が待機位置６から受渡位置７まで、すなわち受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置するように設けられる場合についても、本実施形態を適用させてもよい。

また、搬送室２の側壁に沿って配置される３つの収納容器３または３つの処理室９ａ〜９ｃについて説明したが、これに限定されるものではなく、４つまたはそれ以上の受渡位置が配置される場合であってもよい。

たとえば、図１０に示すように、搬送室２の側壁に沿って４つの収納容器３が配置され、そのうちの、収納容器３ｄが待機位置６から受渡位置７まで、すなわち受渡軌跡の延長線上に搬送ロボット１０の旋回中心θが位置するように設けられる場合についても、本実施形態を適用させてもよい。

上記したように、本実施形態に係る搬送システムは、受渡軌跡の延長線上に搬送ロボットの旋回中心が位置する受渡位置へハンドを侵入させる場合には、複数の待機姿勢からアーム部の姿勢変化が少ない待機姿勢を選択することとした。また、搬送システムは、次の待機姿勢が複数存在する場合に、直交座標系から円筒座標系へ切り替えて搬送ロボットを動作させる軌跡を生成する。このようにすることによって、本実施形態に係る搬送システムでは、スループットの向上を図ることができる。

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

２ 搬送室
３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ 収納容器
４ ウェハ
５ 開閉装置
６、６ａ、６ｂ、６ｃ 待機位置
７、７ａ、７ｂ、７ｃ 受渡位置
８ アライナ装置
９ａ、９ｂ、９ｃ 処理室
１０ 搬送ロボット
１１ 基部
２０ アーム部
２１ 第１アーム部
２２ 第２アーム部
２３ ハンド
３０ ロボット制御装置

Claims (7)

1. 相互に旋回可能に連結されたハンドおよび複数のアームからなるアーム部と、基部とを含み、前記基部には末端側のアームが旋回中心まわりに旋回可能に連結され、先端側のアームには前記ハンドが旋回可能に連結されるロボットと、
   前記ロボットの動作制御を行うコントローラと
   を備え、
   前記コントローラは、
   前記アーム部の次の待機姿勢が複数ある場合に、前記ハンドの軌跡を生成する座標系を直交座標系から円筒座標系へ切り替える切替部
   を備えることを特徴とする搬送システム。
2. 前記軌跡の延長線上に前記旋回中心が存在する第１の受渡位置と、
   前記軌跡の延長線上に前記旋回中心が存在しない第２の受渡位置と
   を備え、
   前記切替部は、
   前記第１の受渡位置と前記第２の受渡位置との間で前記ハンドを動作させる場合に、前記第１の受渡位置および前記第２の受渡位置以外の位置に前記ハンドが位置するタイミングにおいて前記円筒座標系と前記直交座標系とを切り替えること
   を特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記切替部は、
   前記第１の受渡位置と前記第２の受渡位置との間で前記ハンドを動作させる場合に、各受渡位置にそれぞれ対応する待機位置に前記ハンドが位置するタイミングにおいて前記円筒座標系と前記直交座標系とを切り替えること
   を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
4. 前記切替部は、
   前記第１の受渡位置と前記第２の受渡位置との間で前記ハンドを動作させる場合に、前記アーム部が基準姿勢をとったタイミングにおいて前記円筒座標系と前記直交座標系とを切り替えること
   を特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
5. 前記アーム部は、
   前記ハンドと、
   末端部に前記基部が連結される第２アームと、
   先端部に前記ハンドが連結される第１アームと
   からなり、
   前記コントローラは、
   前記第１の受渡位置と前記第２の受渡位置との間で前記ハンドを動作させる場合に、次の受渡位置における前記アーム部の姿勢の候補となる候補姿勢を複数算出し、現在の受渡位置における前記アーム部の姿勢からの変化量が最も小さい前記候補姿勢を前記次の受渡位置における前記アーム部の姿勢として選択する選択部
   を備えることを特徴とする請求項２、３または４に記載の搬送システム。
6. 前記選択部は、
   前記第１アームと前記第２アームとのなす角度が異なる２つの前記候補姿勢を算出し、前記現在の受渡位置における前記第１アームと前記第２アームとのなす角度からの変化量が小さい方の前記候補姿勢を前記次の受渡位置における前記アーム部の姿勢として選択すること
   を特徴とする請求項５に記載の搬送システム。
7. 前記ロボットが内部に設置され、前記ロボットによるワークの搬送領域を清浄な雰囲気に保つ搬送室
   を備え、
   前記搬送室には、
   前記第１の受渡位置に配置される１つのロードポートと、前記第２の受渡位置に配置される複数のロードポートとが平面状の壁に並列して設けられること
   を特徴とする請求項２〜６のいずれか一つに記載の搬送システム。

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