JP6492271B2 - 搬送システムおよびロボット - Google Patents
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Description
10 ロボット
10a 本体部
10b 昇降軸
11 第1アーム
12 第2アーム
13 ハンド
13a 基部
13b フォーク部
13C 基準位置
13CL 中心線
20 コントローラ
21 制御部
21a 登録部
21b 動作制御部
21ba 選択部
21bb 切替部
22 記憶部
22a リンク長差
22b 教示データ
50 搬送室
51 第1側壁
52 第2側壁
53 床壁
60 基準板
60a 基準面
70 補助部材
100 基板
200 カセット
200C 搬送位置
210 載置台
300 処理室
300C 搬送位置
310 アライナ
310C 搬送位置
A1 第1軸
A2 第2軸
A3 第3軸
C 円
D 奥行き
D1 第1距離
D2 第2距離
L1 第1リンク長
L2 第2リンク長
P1 制限位置
P2 基準位置
R 半径
S1 第1余裕距離
S2 第2余裕距離
Claims (11)
- 基板を収納するカセットが配置される第1側壁および前記第1側壁に対向する第2側壁を有する搬送室と、
前記搬送室に配置され、本体部、前記本体部に基端側が回転可能に連結される第1アーム、前記第1アームの先端側に基端側が回転可能に連結される第2アーム、および前記第2アームの先端側に基端側が回転可能に連結され前記基板を保持するハンドを有するロボットと
を備え、
前記搬送室は、
前記第1側壁の室内側から前記第2側壁へ向かって第1距離に前記ロボットの侵入を制限する制限位置が、さらに、前記制限位置から第2距離に前記本体部における前記第1側壁側の側面の位置を示す基準位置が、それぞれ定められており、
前記ロボットは、
前記基準位置の前記第2側壁側に前記本体部が配置されるとともに、前記第2アームの軸間距離が前記第1アームの軸間距離よりも大きく、前記第1アームと前記第2アームとが互いに重なるように折り畳まれていずれも前記第1側壁に対して垂直とする基準姿勢において前記第2アームの先端が前記制限位置と前記基準位置との間にあること
を特徴とする搬送システム。 - 前記第2距離は、
前記第1距離よりも小さいこと
を特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 前記第1アームは、
前記基準姿勢において基端が前記制限位置と前記基準位置との間にあること
を特徴とする請求項1または2に記載の搬送システム。 - 前記第2距離に前記ロボットを取り付ける基準面を有する基準板
をさらに備え、
前記ロボットは、
前記本体部の側面が前記基準面に沿うように前記基準板に壁掛けされること
を特徴とする請求項1、2または3に記載の搬送システム。 - 前記本体部は、
前記第1アームを昇降させる昇降機構を有し、
前記基準板は、
最も下降した前記第1アームの下面の高さよりも上面の高さが低いこと
を特徴とする請求項4に記載の搬送システム。 - 前記カセットは、
前記第1側壁に並べて4つ配置され、
前記ロボットは、
4つの前記カセットの各搬送位置に前記ハンドが保持する前記基板をそれぞれ到達させること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の搬送システム。 - 前記第2アームは、
先端側からみて側面をなす曲面間を平面でつないだ形状であり、
前記ハンドは、
前記基準姿勢において基端と前記第2アームの前記平面とが上面視で重なること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の搬送システム。 - 前記第2アームの軸間距離と前記第1アームの軸間距離との差分をリンク長差とした場合に、前記第1アームの回転軸を中心とし、前記リンク長差を半径とする円の接線上に前記基板の搬送先を少なくとも1つ配置すること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の搬送システム。 - 前記ロボットの動作を制御するコントローラをさらに備え、
前記コントローラは、
前記接線に沿って前記基板を搬送する動作を前記ロボットに行わせる動作制御部を備えること
を特徴とする請求項8に記載の搬送システム。 - 前記動作制御部は、
前記接線に沿った一方向に前記基板を搬送する動作を前記ロボットに行わせる際に、前記第1アームの回転向きを一定にすること
を特徴とする請求項9に記載の搬送システム。 - 本体部と、
前記本体部に基端側が回転可能に連結される第1アームと、
前記第1アームの先端側に基端側が回転可能に連結される第2アームと、
前記第2アームの先端側に基端側が回転可能に連結され基板を保持するハンドと
を備え、
前記基板を収納するカセットが配置される第1側壁および前記第1側壁に対向する第2側壁を有する搬送室に配置され、当該搬送室には、前記第1側壁の室内側から前記第2側壁へ向かって第1距離にロボットの侵入を制限する制限位置が、さらに、前記制限位置から第2距離に前記本体部における前記第1側壁側の側面の位置を示す基準位置が、それぞれ定められており、前記基準位置の前記第2側壁側に前記本体部が配置されるとともに、前記第2アームの軸間距離が前記第1アームの軸間距離よりも大きく、前記第1アームと前記第2アームとが互いに重なるように折り畳まれていずれも前記第1側壁に対して垂直とする基準姿勢において前記第2アームの先端が前記制限位置と前記基準位置との間にあること
を特徴とするロボット。
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