JP2019084652A - 水平多関節型ロボット及びその原点復帰方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの搬送などに用いられる水平多関節型ロボットの原点復帰を行なうときに、できるだけ人の手を介することなく安全に原点復帰を実行できるようにする。【解決手段】原点復帰の指示が入力したときのロボットの姿勢が搬送を停止したときから変化していないと判断できる場合には、そのまま搬送経路を逆行して原点復帰を行なう。また、搬送を停止してからロボットの姿勢が変化しているが、過去のティーチングデータから算出される搬送経路の中に現在のロボットの姿勢に近いものが見つかる場合には、見つかった搬送経路に移動し、その後、その搬送経路を逆行する。一方、現在の姿勢（とくにハンド部の先端）が旋回安全領域の外側にあるときは、旋回安全領域の内側となるようにハンド部を引き戻した上で指定経由点を経由して原点復帰させる。【選択図】図５

Description

本発明は、ワークの搬送などに用いられる水平多関節型ロボットと、その原点復帰方法とに関する。

例えば、半導体製造工程では、半導体ウエハなどのワークを、ワークを収納するカセットとワークに対して所定の処理を実行するワーク処理装置との間で搬送する必要がある。このとき複数のカセットに対してワークをロード／アンロードできることが必要とされており、そのために、複数のアームを互いに回転可能に連結するとともに、モータなどの回転力をアームに伝達して伸縮等の動作をさせるようにした多関節型ロボットが用いられている。ワークが収納される複数のカセットとワーク処理装置と多関節型ロボットとによって１つのワーク搬送システムが構成される。各カセットは、ワークを棚状に積載載置するものであり、これによって１つのカセットに複数のワークを収納できる。カセットの一例としては、ＳＥＭＩ(Semiconductor Equipment and Materials International)スタンダードＥ４７．１に規定される正面開口式カセット一体型搬送、保管箱であるＦＯＵＰ(Front-Opening Unified Pod)などがある。ワーク搬送システムの構成の一例が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されたワーク搬送システムでは、複数のカセットを水平面内で１列に配置し、この複数のカセットの並びと対向する位置にワーク処理装置を配置し、カセットの並びとワーク処理装置とによって挟まれた細長い空間に水平多関節型ロボットを設置している。

ところで多関節型ロボットでは、動作中に何らかの理由で原点復帰を行なわなければならなくなることがある。この原点復帰動作においてもロボットのアームやハンドが周囲の平面や機器に衝突しないことが求められる。そこで特許文献２は、ロボットの移動位置ごとに原点復帰用移動情報を予め用意しておき、原点復帰が要求されたときにその時点でロボットが到達している移動位置に対応した原点復帰用移動情報に基づいて原点まで移動し、原点復帰することを開示している。しかしながらこの方法は、ロボットの自由度が高い場合には用意しなければならない原点復帰用位置情報の量が膨大となるので、多リンクの多関節型ロボットに適用するのは現実的でない。特許文献３は、始点及び終点の組み合わせとその間に通過する位置情報とを含んでロボットのアーム先端の動きを示す軌道情報について、始点と終点とを入れ替えた関連軌道情報も含めることを開示している。特許文献３に記載された方法は、予め設定された軌道上にロボットがあることを前提とする方法であるので、軌道情報に基づいてロボットが移動したのち、例えばジョグ(JOG)動作によって軌道から外れた位置にロボットが移動したのちは、この方法では原点復帰を実現することができない。特許文献４は、現在位置の座標がわからなくなった状態で停止してるロボットについて、ロボットの現在の状態を作業者が確認して仮の現在位置を設定し、その後、ロボットを所定位置まで動作させ、所定位置から原点に復帰させることを開示している。この方法は、作業者がロボットの状態を目視して仮の現在位置を設定するので、人間の介在が必要となる方法である。

特許第５１９９１１７号公報 特開平４−１６７１０２号公報 特開２０１６−１２０８５１号公報 特開２０１４−３４１０７号公報

特許文献１などに記載される多リンクの多関節型ロボットは、多関節であるがゆえの動きの自由度を有しており、狭い作業空間への設置が求められる半導体製造工程など広く用いられている。しかしながら、動きの自由度が高い分、正しい動作経路及び正しい姿勢で原点復帰動作を行なわないと、原点復帰動作中に周囲の壁面や機器に衝突する恐れがある。特に最近では、半導体装置製造工程で使用されるロボットでは、製造に使用される装置の小型化などに伴ってロボットがアームなどを動かすことができる動作範囲も狭くなってきており、より安全かつ確実に原点復帰を行えることが望まれている。また、半導体装置製造工程では、その環境や使用する装置の構造などにより、アーム姿勢を修正するために作業者がロボット付近まで立ち入ることが困難になっている。ロボットの外観を目視できないため任意のジョグ動作を行うことができない状況も存在するため、できるだけ人の手を介さずにロボットが自力で原点復帰を行える能力が求められてきている。

本発明の目的は、ワークの搬送などに用いられる水平多関節型ロボットであってできるだけ人の手を介することなく安全に原点復帰を実行できる水平多関節型ロボットと、その原点復帰方法とを提供することにある。

本発明の水平多関節型ロボットは、ワークの搬送に用いられる水平多関節型ロボットであって、基台と、前記基台に回転可能に接続する基台側リンクと、前記基台側リンクに連結するアーム部側リンクと、前記アーム部側リンクに回転自在に接続するアーム部と、前記アーム部に回転自在に接続して前記ワークを保持するハンド部と、少なくともティーチングデータを格納する記憶手段と、前記ティーチングデータに基づいて搬送経路を計算して前記基台側リンクと前記アーム部と前記ハンド部の駆動を制御する制御手段と、を備え、前記基台側リンクと前記アーム部側リンクとは、前記アーム部側リンクと前記アーム部との連結軸の中心点の移動軌跡が所定の直線となるように規制するリンク機構を構成する。この水平多関節型ロボットにおいて前記制御手段は、搬送の動作中及び原点復帰の動作中に前記水平多関節型ロボットの座標の記録を継続して実行し、原点復帰の要求が入力したときに、前記制御手段は前記要求が入力したときの前記水平型多関節ロボットの座標が前記記録された最新の座標から所定の範囲内にあるかを判定し、前記所定の範囲内にあるときは、前記制御手段は原点復帰の軌跡を計算して前記搬送の方向から戻る方向に前記水平多関節型ロボットを原点復帰位置まで移動させ、前記所定の範囲内にないときは、前記制御手段は、前記記憶手段に格納された過去のティーチングデータに基づく搬送経路を計算し、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがあるかを判定し、前記現在の座標に近い搬送経路がある場合には前記水平多関節型ロボットを当該搬送経路に移動し、そののち前記原点復帰位置まで移動させ、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがない場合には、前記制御手段は、前記ハンド部が旋回安全領域の外側に位置しているかどうかを判定し、外側に位置しているときは、前記ハンド部を前記旋回安全領域の内側まで引き込んでから指定経由点を経由して前記水平多関節型ロボットを前記原点復帰位置まで移動させる。

本発明の原点復帰方法は、基台と、前記基台に回転可能に接続する基台側リンクと、前記基台側リンクに連結するアーム部側リンクと、前記アーム部側リンクに回転自在に接続するアーム部と、前記アーム部に回転自在に接続してワークを保持するハンド部と、ティーチングデータを格納する記憶手段と、前記ティーチングデータに基づいて前記基台側リンクと前記アーム部と前記ハンド部の駆動を制御する制御手段と、を少なくとも備え、前記ワークの搬送に用いられ、前記基台側リンクと前記アーム部側リンクとは、前記アーム部側リンクと前記アーム部との連結軸の中心点の移動軌跡が所定の直線となるように規制するリンク機構を構成する水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、搬送の動作中及び原点復帰の動作中に前記水平多関節型ロボットの座標の記録を継続して実行し、原点復帰の要求が入力したときに、前記制御手段は、前記要求が入力したときの前記水平型多関節ロボットの座標が前記記録された最新の座標から所定の範囲内にあるかを判定し、前記所定の範囲内にあるときは、前記制御手段は、原点復帰の軌跡を計算して前記搬送の方向から戻る方向に前記水平多関節型ロボットを原点復帰位置まで移動させ、前記所定の範囲内にないときは、前記制御手段は、前記記憶手段に格納された過去のティーチングデータに基づく搬送経路を計算し、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがあるかを判定し、前記現在の座標に近い搬送経路がある場合には前記水平多関節型ロボットを当該搬送経路に移動し、そののち前記原点復帰位置まで移動させ、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがない場合には、前記制御手段は、前記ハンド部が旋回安全領域の外側に位置しているかどうかを判定し、外側に位置しているときは、前記ハンド部を前記旋回安全領域の内側まで引き込んでから指定経由点を経由して前記水平多関節型ロボットを前記原点復帰位置まで移動させる。

このような本発明では、原点復帰の指示が入力したときのロボットの姿勢が搬送を停止したときから変化していないと判断できる場合には、そのまま搬送経路を逆行して原点復帰を行なう。また、搬送を停止してからロボットの姿勢が変化しているが、過去のティーチングデータから算出される搬送経路の中に現在のロボットの姿勢に近いものが見つかる場合には、見つかった搬送経路に移動し、その後、その搬送経路を逆行する。したがって、これらの２つの場合には安全に原点復帰できることになる。一方、現在の姿勢（とくにハンド部の先端）が旋回安全領域の外側にあるときは、旋回安全領域の内側となるようにハンド部を引き戻した上で指定経由点を経由して原点復帰させる。このときは、指定経由点を経由する構成であるので、引戻したときの姿勢と指定経由点との間での干渉、指定経由点と原点復帰位置との間での干渉を考えればよくなり、安全確認が容易になる。

本発明では、基台に対する基台側リンクの回転中心を原点として、所定の直線に平行な相対する２方向の一方をＸ軸正方向とするＸＹ直交座標系の各象限ごとに指定経由点が定められるようにすることが好ましい。このように構成すれば、ロボットの位置や姿勢がどのようなものであって、安全な原点復帰を実現できるようになる。

本発明において、指定経由点は、象限ごとに、例えば、
（１）指定経由点と原点復帰位置との間でのＰＴＰ（Point To Point；ポイント・ツー・ポイント）動作による移動において水平多関節型ロボットに干渉が生じない、
（２）ワークのロード／アンロードの対象であるその象限内の任意のステージに対する待機／退避位置とその象限の指定経由点との間でのＰＴＰ動作による移動において水平多関節型ロボットに干渉が生じない、
の２条件を満たすように設定することが好ましいが、ワーク搬送システムを構成する各部の構造やレイアウト、事情によっては、１つの条件しか満たさなくてもある程度の効果は期待できる。ステージとは、ワークのロード／アンロードの対象のことであってカセットやワーク処理装置などを含めて総称するものであり、言い換えればワークの搬送元あるいは搬送先となる機器類のことである。条件（１）を満たす場合には、指定経由点と原点復帰位置との間において、経由点の数が最小であってかつ干渉が生じない安全なＰＴＰ動作を保障でき、これによって原点復帰動作時における安全確認が容易になり、条件（２）を満たす場合には、旋回安全領域の内側にハンド部を引き戻したときの姿勢を仮想的なステージに対する待機／退避位置とみなすことができて、この姿勢と指定経由点との間において経由点の数が最小であってかつ干渉が生じない安全なＰＴＰ動作を保障でき、これによって原点復帰動作時における安全確認が容易になる。さらに指摘経由点は、
（３）異なる象限の指定経由点間でのＰＴＰ動作による移動において水平多関節型ロボットに干渉が生じない、
の条件を満たしてもよい。条件（３）を満たすときは、指定経由点間において、経由点の数が最小であってかつ干渉が生じない安全なＰＴＰ動作を保障でき、通常の搬送動作における安全確認作業を大幅に省略できる。

本発明において、指定経由点が水平多関節型ロボットに固有のものとして、水平多関節型ロボットに予め、例えば出荷時に記憶されているようにすることが好ましい。このように構成すれば、個別に指定経由点を設定する必要がなくなり、その分、原点復帰のための処理を簡素化できる。

本発明によれば、ワークの搬送などに用いられる水平多関節型ロボットにおいて、できるだけ人の手を介することなく安全に原点復帰を実行できるようになる。

本発明の実施の一形態の多関節型ロボットを説明する平面図である。 水平多関節型ロボットの機構を説明する図である。 ロボットコントローラの構成を示すブロック図である。 本発明の実施の一形態の原点復帰方法を説明するフローチャートである。 本発明の実施の一形態の原点復帰方法を説明するフローチャートである。 場合Ａでの多関節型ロボットの動きを説明する図である。 場合Ｂでの多関節型ロボットの動きを説明する図である。 各指定経由点とその指定経由点での姿勢とを説明する平面図である。 場合Ｃでの多関節型ロボットの動きを説明する図である。

次に、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の一形態の多関節型ロボット１を示している。この多関節型ロボット１は、それぞれがワーク２１を収納する複数のカセット２０と、ワーク２１に対する処理を実行するワーク処理装置３０とともに、ワーク搬送システムを構成する。複数のカセット２０は１方向に並んで配置しており、ワーク処理装置３０は、カセット２０の並びに対向するように配置している。図１では４個のカセット２０が示されている。複数のカセット２０の並びとワーク処理装置３０との間の細長い長方形の領域は、多関節型ロボット１がハンドやアームなどを動かすことができる作業領域４０である。多関節型ロボット１は、作業領域４０内に設置され、そのリンクやアーム、ハンドを動かすことによって、カセット２０の相互間やカセット２０とワーク処理装置３０とに間でワーク２１を搬送することができる。ここで示す例では、特許文献１に記載された３リンク型の水平多関節型ロボットを多関節型ロボット１として使用する。多関節型ロボット１は、カセット２０の相互間やカセット２０とワーク処理装置３０との間でワーク２１を搬送するものである。搬送に伴っては、ワーク２１をカセット２０やワーク処理装置３０に対して搬入／搬出する、すなわちロード／アンロードする必要がある。ここではカセット２０として例えばＦＯＵＰなどの正面開口式のものを用いるので、多関節型ロボット１がワーク２１のロード／アンロードを行なう方向は、カセット２０の並び方向に対して直交する方向となる。

多関節型ロボット１は、ワーク２１を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側におけるアーム関節部Ｊ１を回転可能に保持するとともに、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡がカセット２０の並び方向とほぼ平行の直線となるように動作するリンク機構３と、リンク機構３の基端側が回転可能に支持された基台２と、を有している。リンク機構３は、基台２側に位置し、基台２に回転可能に保持された基台側リンク４と、アーム部６側に位置するアーム部側リンク５とを備え、両方のリンク４，５はリンク関節部Ｊ２によって互いに回転可能に連結されている。

図２は、水平多関節型ロボットである多関節型ロボット１をさらに詳しく示す図であり、基台２、リンク機構３、アーム部６及びハンド部７については垂直断面図と描かれている。基台２は、昇降モータ（図示せず）によって駆動されて上下方向に昇降する昇降筒８を備えている。基台側リンク４は、昇降筒８に連結され、昇降筒８に内蔵されたリンク機構モータ８ａによって回転可能に保持されており、昇降筒８の昇降に伴って基台２に対して昇降可能となっている。基台側リンク４には、基台側プーリ４ａ、アーム部側プーリ４ｂ及びベルト４ｃが内蔵されており、ベルト４ｃは基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂの間で架けわたされている。基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂとの径の比は２：１となっている。アーム部側プーリ４ｂはアーム部側リンク５に連結されており、基台側リンク４が基台側プーリ４ａの回転中心を中心として回転したとき、基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂとの回転角度比、すなわち基台側リンク４とアーム部側リンク５との回転角度比は１：２となる。さらに、基台側リンク４とアーム部側リンク５の長さは等しい。その結果、リンク機構３は、アーム部側リンク５とアーム部６とを回転可能に連結する連結軸の中心点（アーム関節部Ｊ１）の移動軌跡が、所定の直線上に規制されることになる。図では、この所定の直線を直線Ｑで示している。アーム部６は、アーム部側リンク５の先端に連結されており、アーム部側リンク５に内蔵されたアーム部モータ５１によって回転可能に保持されている。なお、図２では、説明の便宜上、アーム部モータ５１をアーム部側リンク５に内蔵させているが、アーム部モータ５１の設置場所はこれに限られず、例えば、アーム部６にアーム部モータ５１を内蔵してもよい。ハンド部７は、アーム部６の先端に連結され、アーム部６に内蔵されたフレームモータ６ａによって回転可能に保持されている。ハンド部７のアーム部６に対する連結中心、すなわちハンド部７の回転中心をＪ３とする。

多関節型ロボット１には、多関節型ロボット１を駆動してその動作を制御するためにロボットコントローラ１０が設けられており、ロボットコントローラ１０にはケーブル１６を介してティーチングペンダント１５が接続している。ティーチングペンダント１５は、多関節型ロボット１のティーチングに際して作業者によって使用されるものであり、例えば、ジョグ動作指令が入力される。原点復帰指令もティーチングペンダント１５を介して多関節型ロボット１に与えられる。図３は、ロボットコントローラ１０の構成を示している。ロボットコントローラ１０は、多関節型ロボット１内のアーム部モータ５１、フレームモータ６ａ、リンク機構モータ８ａなどのモータに対するサーボ制御回路であるロボット駆動部１１と、多関節型ロボット１に対する指令入力などに基づいてサーボ指令を生成してロボット駆動部１１に出力するとともに必要な演算等を実行する演算部１２と、演算部１２での処理等に必要となるデータなどを格納する補助記憶部１３と、ティーチングペンダント１５との通信インタフェースとなる通信部１４と、を備えている。特に演算部１２は、制御手段に対応し、ティーチングデータに基づいて搬送経路を計算して、それに基づきアーム部モータ５１、フレームモータ６ａ、リンク機構モータ８ａなどのモータの駆動を制御する。サーボ制御を行うので、ロボット駆動部１１は、多関節型ロボット１内の各モータに接続し、かつ、各モータに付属するエンコーダから位置情報が入力される。したがって演算部１２は、エンコーダから入力する位置情報に基づいて、多関節型ロボット１の各部の座標を認知でき、かつ、その認知した座標を補助記憶部１３に格納する機能を有する。さらに演算部１２は、この多関節型ロボット１に対してティーチングが行われるたびに、そのティーチングデータを記憶手段である補助記憶部１３に格納する機能を有する。

本実施形態において、多関節型ロボット１のリンク機構３の基台２の位置、すなわち基台２に回転可能に保持された基台側リンク４の回転中心Ｊ０と、リンク機構３における回転中心位置であるアーム関節部Ｊ１は、ワーク処理装置３０と４個のカセット２０との中間位置よりもカセット２０の並びの側に長さＰだけ偏った位置にある。ワーク処理装置３０と４個のカセット２０との中間位置は、作業領域４０の長手方向の中心線Ｌであるとも言える。そして、リンク機構３の駆動に伴って、この偏った位置とは反対側に、リンク関節部Ｊ２が屈折して突出するようになっている。したがって、作業領域４０の一方の長辺に沿って配置されるカセット２０の数を多くした場合において、アーム部６やリンク機構３の各部の長さを長くしたときであっても、リンク機構３のリンク関節部Ｊ２がワーク処理装置３０やカセット２０と接触するのを防ぐことができる。その結果、ワーク搬送システム全体として大型化してしまうのを防ぐことができ、ひいては省スペース化を図ることができる。ここでは、基台側リンク４の回転中心Ｊ０とアーム関節部Ｊ１とが中間位置（作業領域４０の中心線Ｌ）よりもカセット２０の並びの側に偏った位置にあることとしたが、反対に、回転中心Ｊ０及びアーム関節部Ｊ１が中間位置よりもワーク処理装置３０の側に偏った位置にあることとしてもよい。その場合、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡は、ワーク処理装置３０の側に偏った位置となり、リンク関節部Ｊ２は、中間位置よりもカセット２０の側に屈折して突出するようになる。

多関節型ロボット１が例えばカセット２０やワーク処理装置３０に対してワーク２１をロード／アンロードする際の動作は、基本的には特許文献１に記載されたものと同じである。以下の説明において、ワーク２１のロード／アンロードの対象であるカセット２０やワーク処理装置３０などのことをステージと呼ぶ。ワーク２１をステージにロードする際には、作業領域４０においてステージの正面となる位置（待機／退避位置）に、ハンド部７に載置した状態でワーク２１を搬送する。待機／退避位置に搬送した状態においてハンド部７が、ステージにワーク２１をロードする方向に対して平行に延びるようにする。そしてロードする方向にハンド部７が動くようにして、ワーク２１をロードする。その後、ロードする方向とは逆向きの方向となるようにハンド部７を動かす。ステージからワーク２１をアンロードするときの処理も、ロードするときの処理と同様に行なわれる。

以上の説明では、ワーク処理装置３０は複数のカセット２０の並びと対向する位置に配置されているとしたが、ワーク処理装置３０の位置はこれに限られるものではなく、作業領域４０を取り囲む任意の場所にワーク処理装置３０を配置することができる。例えば、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡を延長した直線上にワーク処理装置３０を配置することができる。また、複数のカセット２０を並んで配置すると説明したが、ロード／アンロードに際しての待機／退避位置が定義されるのであれば、カセット２０以外に、例えばワーク２１を加工する加工装置などを配置することができる。これらの加工装置などもステージに該当する。

次に、多関節型ロボット１における原点復帰動作について説明する。以下の説明では、多関節型ロボット１の基台側リンク４の回転中心Ｊ０を原点とし、作業領域４０の長辺に平行な方向をＸ軸正方向とする、ＸＹ直交座標系を考える。このとき、原点からＸ軸の両端側に向かう２方向のうちのどちらをＸ軸正方向としても構わない。回転中心Ｊ０やアーム関節部Ｊ１の移動軌跡が作業領域４０の長手方向の中心線Ｌよりもカセット２０の並びに偏って配置しているものとして、回転中心Ｊ０からカセット２０の並びに向かう方向をＹ軸の正方向と規定することができる。回転中心Ｊ０やアーム関節部Ｊ１の移動軌跡が作業領域４０の長手方向の中心線Ｌよりもカセット２０の並びから遠ざかる方向に偏っている場合には、そのカセット２０の並びから遠ざかる方向のＹ軸の正方向と定めればよい。そして、多関節型ロボット１が原点復帰位置にあるとは、基台側リンク４、アーム部側リンク５、アーム部６及びハンド部７が相互に重なり合い、この重なり合ったものが基台側リンク４の回転中心Ｊ０から−Ｙ方向に向くように整列した姿勢を有することである（図８の符号６０を参照）。このように原点復帰位置とは、単に位置を示すだけでなく、多関節型ロボット１の姿勢を含めて表現したものである。また、原点復帰動作は、任意の位置・姿勢にあるロボットを原点復帰位置に移動させる動作である。多関節型ロボット１を原点復帰位置に移動させることを単に「原点に移動させる」ということもある。本実施形態において多関節型ロボット１では、アーム関節部Ｊ１の移動軌跡が作業領域４０の長手方向に平行になるように規制されているので、基台側リンク４及びアーム部側リンク５が周囲の機器や壁面と干渉することはない。したがって原点復帰動作では、アーム部６やハンド部７が周囲の機器や壁面に衝突しないようにすることが必要である。

原点復帰の要求は、例えばティーチングペンダント１５に対する作業者の操作によって入力される。原点復帰が要求されるときのロボットの状況としては、
（１）通常のワーク搬送の動作中に、多関節型ロボット１が自然停止あるいは緊急停止し、停止時の位置や姿勢をそのまま保っている場合、
（２）多関節型ロボット１のサーボ制御がオフにされた状態で手動動作がなされるか、あるいはサーボ制御はオンのままであるがジョグ動作が行われ、その結果、本来の搬送経路から外れており、姿勢も本来のものから変化しているが、現在の姿勢は、過去のティーチングによる搬送経路での姿勢に近い場合、
（３）多関節型ロボット１のサーボ制御がオフにされた状態で手動動作がなされるか、あるいはサーボ制御はオンのままであるがジョグ動作が行われ、その結果、本来の搬送経路から外れており、姿勢も本来のものから変化しており、現在の位置・姿勢は、過去のティーチングによるいずれの搬送経路での位置・姿勢の近くにない場合、
の３通りが考えられる。

本実施形態における原点復帰方法では、（１）〜（３）の状況ごとにそれぞれに対応した処理を行うことで、原点復帰指示をエラーで拒むことなく、より多くの場面において、周囲の機器や壁面に衝突したり干渉したりすることなく安全に原点復帰を行えるようにする。そのためには、まず、原点復帰の要求が入力したときにその時点でのロボットの状況が（１）〜（３）のいずれかを判別できる必要があり、そのために、通常の搬送中あるいは通常の原点復帰の動作中において、多関節型ロボット１はその各部分の位置の座標を常にロボットコントローラ１０内のメモリすなわち補助記憶部１３に記録し続ける。図４は、座標を記録するために演算部１２が、多関節型ロボット１の動作中に常時実行する処理を示している。まず、ステップ１０１において、現在、サーボ制御によって各モータを駆動しているかどうかを判断する。サーボ制御を実行していなければそのまま処理を終了し、サーボ制御を実行しているときは、次にステップ１０２において、多関節型ロボット１は現在、通常の搬送動作中であるか原点復帰の動作中であるかを判断する。通常の搬送動作中でも原点復帰の動作中でもなければ、そのまま処理を終了し、通常の搬送動作中あるいは原点復帰動作中であれば、ステッ１０３において、現在の座標をメモリ（補助記憶部１３）に記録して、ステップ１０１に戻る。このようにして、サーボ制御が実行中であって、かつ、通常の搬送動作あるいは原点復帰動作を行なっているときであれば、多関節型ロボット１の位置の座標が時々刻々と補助記憶部１３に書き込まれることになる。

図５は、ティーチングペンダント１５などから原点復帰指令が入力したときの演算部１２の処理を示している。原点復帰指令の入力を受けて原点復帰の動作を開始すると、演算部１２は、まず、ステップ１１１において、その時点でエンコーダなど入力する位置情報によって表される多関節型ロボット１の現在の座標が、メモリ（補助記憶部１２）に最新に記録された座標とほぼ一致するかどうか、具体的には現在の座標がメモリに記録された座標から所定の範囲内にあるかを判断する。所定の範囲内にあるときは、上記の（１）の状況、すなわち通常のワーク搬送の動作中にロボットが停止し、そのままの位置と姿勢を保っている状況であると判断できる。そこで、停止した搬送の経路をその搬送についてのティーチングデータに基づいて逆行すれば原点復帰位置にまで戻れるので、ステップ１１２において、逆行して原点復帰位置となる経路を計算し、ステップ１１３において、その計算された経路に基づいて搬送方向から戻る方向にサーボ制御によって多関節型ロボット１を駆動し、最終的に原点まで移動させ、原点復帰動作の処理を終了する。（１）の状況に対応する処理、すなわちステップ１１２，１１３を実行する処理を「場合Ａ」とする。

図６は、場合Ａにおける多関節型ロボット１の姿勢の変化を説明する図である。ここでは、原点復帰位置にある状態から、作業領域４０に接して設けられたあるカセット２０に対してワーク２１をロード／アンロードする搬送動作の途中で搬送が停止した場合を考える。図６の（ａ）〜（ｄ）は、図において下向きの矢印により搬送動作として示すように、原点復帰位置からワーク２１をカセット２０にロード／アンロードするまでの多関節型ロボット１の姿勢の変化を順に示している。場合Ａでは、搬送動作の途中で搬送が停止し、その後、多関節型ロボット１は停止時の姿勢を保っている。停止時の姿勢を保っているときに原点復帰が要求されたときは、図において上向きの矢印により原点復帰動作として示すように、先の搬送動作での経路を逆向きにたどることにより、原点に復帰することができる。

ステップ１１１において多関節型ロボット１の現在の座標がメモリに最新に記録された座標から所定の範囲内にはないときは、上記の（２）または（３）の状況であるといえる。このときは、まず（２）の状況か（３）の状況かを判別するために、演算部１２は、ステップ１１６において、補助記憶部１３に格納されている既存のティーチングデータに基づいて、それらのティーチングデータによる全ての搬送経路を計算する。そしてステップ１１７において演算部１２は、多関節型ロボット１の現在の姿勢が、計算された搬送経路（すなわち既存のティーチングデータに基づく搬送経路）のいずれかの近くにあるかを判断する。現在の姿勢に近い搬送経路が見つかれば、（２）の状況であり、その見つかった搬送経路まで安全に移動できれば、その後は、見つかった搬送経路を逆行することによって原点復帰できることになる。そこでステップ１１７では、現在の姿勢と搬送経路との差によって衝突などが起こらないようなマージンを見込んで、現在の姿勢に近い搬送経路の探索を行う。そして、ステップ１１７において、現在の姿勢に近い搬送経路が見つかったら、演算部１２は、ステップ１１８において、その見つかった搬送経路まで多関節型ロボット１を移動させ、その後、ステップ１１９において、サーボ制御によって、移動先の搬送経路（ステップ１１７で見つかった搬送経路）を逆向きに多関節型ロボット１を駆動し、最終的に原点まで移動させ、原点復帰動作の処理を終了する。（２）の状況に対応する処理、すなわちステップ１１８，１１９を実行する処理を「場合Ｂ」とする。

図７は、場合Ｂにおける原点復帰動作を説明する図である。（ａ）は、ワーク２１の搬送動作が停止した状態を示している。ここでは、停止後にジョグ動作などが行われた結果、多関節型ロボット１の姿勢は本来の搬送経路からずれているものとする（図５のステップ１１１で「いいえ」となった状態）。演算部１２は、補助記憶部１３に格納されている過去のティーチングデータに基づいて搬送経路を計算する。図７（ｂ）において太破線で示すものは、計算した搬送経路４５である。場合Ｂでは、多関節型ロボット１の現在の姿勢に近い搬送経路が計算された搬送経路の中から見つかるので、図７（ｃ）に示すように、見つかった搬送経路に対して多関節型ロボット１の姿勢を移動させる。その後は、見つかった搬送経路を逆向きにたどることによって、多関節型ロボット１を原点復帰させることができる。

ステップ１１７において、既存のティーチングデータに基づく搬送経路の中に現在の姿勢に近いものが見つからなかった場合は、上記の（３）の状況である。このときは、演算部１２は、ステップ１２１において、現在の姿勢は旋回安全領域の外側かどうかを判定する。旋回安全領域とは、ハンド部７をアーム部６に対して単独で旋回させて、衝突を起こすことなくアーム部６に重ねることができる領域のことである。ハンド部７の先端が作業領域４０内にあれば、作業領域４０内で衝突を起こすことなくアーム部６に重なるようにハンド部７を回転させることができるから、旋回安全領域の内側にあるといえる。これに対し、ワーク２１のカセット２０へのロード／アンロードを行なっているときのように、ハンド部７の先端が作業領域４０の境界を越えて外側に突出しているときは、その状態でハンド部７を回転させればハンド部７はカセット２０の内壁に衝突するので、多関節型ロボット１の姿勢は旋回安全領域の外側にあることになる。ワーク２１のロード／アンロードを行う機器などの形状によっては作業領域４０の外側であっても旋回安全領域の内側となる場合が稀に起こりうるが、一般には旋回安全領域は作業領域４０と同じであると考えてよい。したがって演算部１２は作業領域４０が旋回安全領域であるとしてハンド部７の先端が旋回安全領域の外側かどうかを判定すればよい。また、作業領域４０が長方形でない場合もあるが、そのような場合、作業領域４０の境界を示すパラメータを補助記憶部１３に格納し、このパラメータに基づいてハンド部７の先端が旋回安全領域の外側かどうかを判定すればよい。

現在の姿勢が旋回安全領域の外側にあるときは、そのままではハンド部７を回転させられないので、ステップ１２２において、旋回安全領域の境界のうち、ハンド部７がはみ出している境界とは反対側となる境界に向けて、ロード／アンロード方向とは反対向きにハンド部７を移動させる。そして、ステップ１２３において、移動後の現在の姿勢にふさわしい指定経由点まで多関節型ロボット１を移動させ、次いで、ステップ１２４において、多関節型ロボット１を原点復帰位置まで移動させ、原点復帰処理の動作を終了する。指定経由点については後述するが、指定経由点から原点復帰位置までは、最小限の経由点でのＰＴＰ（ポイント・ツー・ポイント）操作で多関節型ロボット１を移動させることができる。ステップ１２２〜１２４を実行する処理を「場合Ｃ」とする。

ステップ１２１において現在の姿勢が旋回安全領域の内側にあるときは、ステップ１２６において、例えば、ハンド部７がアーム部６に重なるようにハンド部７を回転させ、その後、アーム部６がリンク機構３が重なるよう多関節型ロボット１を制御することにより、多関節型ロボット１を原点に復帰させ、原点復帰処理の動作を終了させる。この場合、現在の姿勢からそれにふさわしい指定経由点にまず移動し、その後、原点復帰位置に移動するようにしてもよい。

次に、指定経由点について説明する。多関節型ロボット１をワーク２１の搬送とワーク２１のロード／アンロードに使用する場合、ワーク２１の搬出元や搬入先の機器すなわちステージがなんであれ、そのステージにワーク２１をロード／アンロードする際の待機／退避位置は定義されている。ステージとそのステージの待機／退避位置との間の動作軌跡と、ステージの待機／退避位置の相互間での多関節型ロボット１の動作軌跡を定めればよいことになる。搬送時間を短くするためにはその間の経由点の数を少なくすることが必要である。また本実施形態での多関節型ロボット１は、アーム関節部１の移動軌跡が直線に規制されているので、この直線に平行な方向を長手方向とする細長い領域、例えば長方形の領域を作業領域４０とすることになる。なお、作業領域４０の形状は必ずしも長方形でなくてもよく、長方形の一部が変形したような形状の作業領域４０であってもよい。特に、作業領域４０の長手方向の端部は、例えば円弧のような形状であってもよい。

上述のように多関節型ロボット１の基台側リンク４の回転中心Ｊ０を原点とし、作業領域４０の長辺に平行な方向の一方をＸ軸正方向とするＸＹ直交座標系において、このＸＹ直交座標系における各象限に着目する。そして、象限ごとに指定経由点と、その指定経由点における多関節型ロボット１の姿勢とを定める。図８は、指定経由点を説明する図である。図８において符号６０は多関節型ロボット１の原点復帰位置を示している。指定経由点は、搬送経路のティーチングの際に経由点の数をできる少なくすることを目的として導入されるものである。この象限ごとに設定される指定経由点は、
（１）多関節型ロボット１が周囲と干渉することなく、異なる象限の指定経由点の間での搬送をＰＴＰ動作で行うことができる、
（２）多関節型ロボット１が周囲と干渉することなく、その指定経由点と原点復帰位置との間の搬送もＰＴＰ動作で行うことができる、
（３）多関節型ロボット１が周囲と干渉することなく、対応する象限内の任意のステージの待機／退避位置とその指定経由点との間の搬送もＰＴＰ動作で行うことができる、
という条件の少なくとも１つを満たすように定められる。図８では、白抜きの双方向矢印により、指定経由点の相互間、あるいは指定経由点と原点復帰位置との間でＰＴＰ動作を行なえることを示している。

本実施形態で用いるような、リンク先端（ここではアーム関節部Ｊ１）が所定の直線に対して平行にしか動かないように規制され、そのリンク先端の先にアーム部６とハンド部７とがこの順でそれぞれ回転可能に取り付けられている水平多関節型ロボットでは、上記の条件（１）〜（３）を同時に満たす指定経由点が象限ごとに必ず存在する。上記の条件（１）〜（３）は、その条件が満たされればＰＴＰ動作が可能であるというものであるから、搬送経路のティーチングに際し、その条件に対応する区間はＰＴＰ動作が可能ということになる。したがって、少なくともその区間については経由点の数を最小にすることができる。また、象限を定める座標系は基台側リンク４の回転中心Ｊ０と上述した所定の直線とによって定まることから、多関節型ロボット１のリンク機構３やアーム部６、ハンド部７の長さのみに応じて指定経由点を定めることができることになる。このことは、多関節型ロボット１の出荷時に指定経由点を設定できることになり、多関節型ロボット１の据付場所での調整作業を容易にする。以下の説明では、指定経由点は、上記の条件（１）〜（３）を同時に満たすものとする。

以下、各象限の指定経由点について詳しく説明する。符号６１は、第１象限の指定経由点を説明するものであり、この第１象限の指定経由点は、図示する角度範囲θ１の中にあるステージの待機／退避位置を対象とするものである。角度範囲θ１は、基台側リンク４の回転中心Ｊ０から見てＸ軸正方向から少し時計回り方向に回転した位置からＹ軸正方向までの範囲である。第１の象限の指定経由点の姿勢では、ハンド部７は、Ｙ軸正方向を向き、Ｙ軸と平行であるかＹ軸から反時計回り方向に若干傾いている。符号６２は、第２象限の指定経由点を示している。第２象限の指定経由点は、角度範囲θ２の中にあるステージの待機／退避位置を対象とするものであって、Ｙ軸に対し、第１象限の指定経由点と基本的には対称となっている。ただし、レイアウトやステージの配置が左右対称ではない装置の場合、あるいは、Ｘ軸に沿う方向での作業領域４０の中心が原点位置とは一致しないような場合には、必ずしもＹ軸対称である必要はなく、第１象限と第２象限の指定経由点はそれぞれ独自の姿勢をとってもよい。

符号６３は、第３象限の指定経由点を示している。第３象限の指定経由点は、角度範囲θ３の中にあるステージの待機／退避位置を対象とするものである。角度範囲θ３は、基台側リンク４の回転中心Ｊ０から見て、Ｘ軸負方向から少し時計回りに回転した位置からＹ軸負方向までの範囲である。第３象限の指定経由点では、第１象限の場合に比べ、基台側リンク４とアーム部側リンク５との間の開き角が少し大きくなっている。ハンド部７をアーム部６に重ねるようにした場合、いずれかのステージに移動する際にハンド部７を開くように回転させる必要があるが、アーム部６がＸ軸となす角が第１象限の場合よりも小さいので、ハンド部７の回転に要する時間が長くなる。そこで第３象限の指定経由点では、ハンド部７の回転中心Ｊ３を挟んでアーム部６とハンド部７との間に開き角が形成されるようにする。ハンド部７は、アーム部６とハンド部７がなす角が鋭角であって、かつ、Ｙ軸に対して例えば２０〜３０°程度傾くようにする。符号６４は、第４象限の指定経由点を示している。第４象限の指定経由点は、角度範囲θ４の中にあるステージの待機／退避位置を対象とするものであって、Ｙ軸に対し、第３象限の指定経由点と基本的には対称となっている。ただし、レイアウトやステージの配置が左右対称ではない装置の場合、あるいは、Ｘ軸に沿う方向での作業領域４０の中心が原点位置とは一致しないような場合には、必ずしもＹ軸対称である必要はなく、第３象限と第４象限の指定経由点はそれぞれ独自の姿勢をとってもよい。

ここで第１象限の指定経由点が対象とする角度範囲θ１と第４象限の指定経由点が対象とする角度範囲θ４に着目すると、作業領域４０の長手方向の端部となる位置で重なり合っている。この重なり合っている位置に待機／退避位置を有するステージからのあるいはそのようなステージへの搬送経路を考える場合、例えば、前後にどのような搬送を行なう予定であるかに応じて、対象範囲が重複する指定経由点のうち多関節型ロボット１の動きに無駄が生じない方の指定経由点を選択すればよい。多関節型ロボット１においてハンド部７はアーム部６に対する回転中心Ｊ３の周りを無制限に回転できるのではなく、アーム部６に重なった状態から例えば±２７０°といった範囲でしか回転できないことが多い。したがって、この回転角度の制限に伴って、２つの指定経由点のうちの一方とすべきことが自動的に決まる場合もある。同様の角度範囲の重複は、第２象限の指定経由点が対象とする角度範囲θ２と第３象限の指定経由点が対象とする角度範囲θ３の間にもある。この場合も、第１象限と第４象限との間で角度範囲が重複したときの処理と同様の処理を行なえばよい。

以上、指定経由点について説明したが、図５に示す場合Ｃにおいて、ステップ１２２により、ロード／アンロード方向とは反対向きにハンド部７を移動させた状態を考える。この状態は、仮想的には何らかのステージに対する待機／退避位置に多関節型ロボット１を移動させた状態であると考えることができる。したがって、ステップ１２２を実行した後の状態から、その姿勢にふさわしい指定経由点、すなわち現在の多関節型ロボット１が属する象限の指定経由点までの移動（ステップ１２３）は、ＰＴＰ動作を実行することができる。さらにステップ１２４での指定経由点から原点までの移動もＰＴＰ動作を実行することができる。

図９は、このような場合Ｃにおける多関節型ロボット１の姿勢の変化を示したものである。（ａ）は、ワーク２１の搬送動作が停止した状態を示している。ここでは、停止後にジョグ動作などが行われた結果、多関節型ロボット１の姿勢は、本来の搬送経路からずれており、しかも既存のティーチングデータから計算された搬送経路４５のいずれからも離れ、かつ旋回安全領域の外側となっている（図５のステップ１２１で「はい」となった状態）。そこでステップ１２２において、旋回安全領域の境界のうち、ハンド部７がはみ出している境界とは反対側となる境界に向けて、ロード／アンロード方向とは反対向きにハンド部７を移動させるが、この動きは図９（ａ）において矢印ａで示され、移動後の姿勢が図９（ｂ）に示されている。その後、ステップ１２３において、移動後の現在の姿勢にふさわしい指定経由点まで多関節型ロボット１を移動させるが、その際の多関節型ロボット１の動きは図９（ｂ）において矢印ｂで示されている。図９（ｃ）は、指定経由点に移動した後の多関節型ロボット１の姿勢を示している。

以上では、水平多関節型ロボットが３リンクのものであるとして本発明の原点復帰方法を説明したが、本発明の方法は、４リンク以上の機構を有する水平多関節型ロボットにも適用可能であり、その場合も、通常の搬送や原点復帰動作のためにロボットをサーボ駆動しているときにロボットの位置をメモリに常時記録し、原点復帰の要求があったときの現在位置とメモリに記録された最新の位置とを比較することによって、原点復帰の要求があったときのロボットの状態が、通常の搬送経路上にあるのか、あるいはジョグ動作あるいは手動操作によって移動させた後の状態であるのかを知ることができる。水平多関節型ロボットには、最先端のアーム（本実施形態の多関節型ロボット１で言えばアーム部６）に対して２つのハンドが設けられることがある。このようなロボットをダブルハンドロボットという。ダブルハンドロボットにも本発明に基づく原点復帰方法を適用することができる。上述のステップ１２２は、ハンドがはみ出している境界とは反対側となる境界に向けてハンドを移動させることで旋回安全領域内にハンドを引き戻す処理であるが、ダブルハンドロボットの場合には、両方のハンドが反対側の旋回安全領域境界に衝突しないように、ハンドの引き戻し処理において配慮する必要がある。

［本実施形態の効果］
以上説明したように本実施形態では、３リンクの水平多関節型ロボットがアームを伸ばした状態からそのロボットを安全に原点復帰させることができる。また、原点復帰が指示されたときのロボットの姿勢に基づいて場合分けし、その各々ごとに原点復帰のための処理を規定することによって、人の手を介在させずに自動で原点復帰を行なうことができる。さらに、既に設定された搬送経路を逆行する、あるいは指定経由点を経由することにより、無駄な動きなく原点に復帰することを可能にする。

１…多関節型ロボット、２…基台、３…リンク機構、４…基台側リンク、５…アーム部側リンク、６…アーム部、７…ハンド部、１０…ロボットコントローラ、１２…演算部、１３…補助記憶部、１５…ティーチングペンダント、２１…ワーク、４０…作業領域。

Claims (12)

1. ワークの搬送に用いられる水平多関節型ロボットであって、
   基台と、
   前記基台に回転可能に接続する基台側リンクと、
   前記基台側リンクに連結するアーム部側リンクと、
   前記アーム部側リンクに回転自在に接続するアーム部と、
   前記アーム部に回転自在に接続して前記ワークを保持するハンド部と、
   少なくともティーチングデータを格納する記憶手段と、
   前記ティーチングデータに基づいて搬送経路を計算して前記基台側リンクと前記アーム部と前記ハンド部の駆動を制御する制御手段と、
   を備え、
   前記基台側リンクと前記アーム部側リンクとは、前記アーム部側リンクと前記アーム部との連結軸の中心点の移動軌跡が所定の直線となるように規制するリンク機構を構成し、
   前記制御手段は、
   搬送の動作中及び原点復帰の動作中に前記水平多関節型ロボットの座標の記録を継続して実行し、
   原点復帰の要求が入力したときに、前記制御手段は前記要求が入力したときの前記水平型多関節ロボットの座標が前記記録された最新の座標から所定の範囲内にあるかを判定し、
   前記所定の範囲内にあるときは、前記制御手段は原点復帰の軌跡を計算して前記搬送の方向から戻る方向に前記水平多関節型ロボットを原点復帰位置まで移動させ、
   前記所定の範囲内にないときは、前記制御手段は、前記記憶手段に格納された過去のティーチングデータに基づく搬送経路を計算し、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがあるかを判定し、前記現在の座標に近い搬送経路がある場合には前記水平多関節型ロボットを当該搬送経路に移動し、そののち前記原点復帰位置まで移動させ、
   計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがない場合には、前記制御手段は、前記ハンド部が旋回安全領域の外側に位置しているかどうかを判定し、外側に位置しているときは、前記ハンド部を前記旋回安全領域の内側まで引き込んでから指定経由点を経由して前記水平多関節型ロボットを前記原点復帰位置まで移動させる、水平多関節型ロボット。
2. 前記基台に対する前記基台側リンクの回転中心を原点として、前記所定の直線に平行な相対する２方向の一方をＸ軸正方向とするＸＹ直交座標系の各象限ごとに指定経由点が定められる、請求項１に記載の水平多関節型ロボット。
3. 前記指定経由点は、当該指定経由点と前記水平多関節型ロボットの原点復帰位置との間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように、象限ごとに定められる、請求項２に記載の水平関節型ロボット。
4. 前記指定経由点は、象限ごとに、前記ワークのロード／アンロードの対象であるその象限内の任意のステージに対する待機／退避位置とその象限の指定経由点との間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように定められる、請求項２または３に記載の水平多関節型ロボット。
5. 前記指定経由点は、異なる象限の指定経由点間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように、象限ごとに定められる、請求項４に記載の水平多関節型ロボット。
6. 前記指定経由点が前記水平多関節型ロボットに固有のものとして、前記水平多関節型ロボットに予め記憶されている、請求項１に記載の水平多関節型ロボット。
7. 基台と、前記基台に回転可能に接続する基台側リンクと、前記基台側リンクに連結するアーム部側リンクと、前記アーム部側リンクに回転自在に接続するアーム部と、前記アーム部に回転自在に接続してワークを保持するハンド部と、ティーチングデータを格納する記憶手段と、前記ティーチングデータに基づいて前記基台側リンクと前記アーム部と前記ハンド部の駆動を制御する制御手段と、を少なくとも備え、前記ワークの搬送に用いられ、前記基台側リンクと前記アーム部側リンクとは、前記アーム部側リンクと前記アーム部との連結軸の中心点の移動軌跡が所定の直線となるように規制するリンク機構を構成する水平多関節型ロボットの原点復帰方法であって、
   搬送の動作中及び原点復帰の動作中に前記水平多関節型ロボットの座標の記録を継続して実行し、
   原点復帰の要求が入力したときに、前記制御手段は、前記要求が入力したときの前記水平型多関節ロボットの座標が前記記録された最新の座標から所定の範囲内にあるかを判定し、
   前記所定の範囲内にあるときは、前記制御手段は、原点復帰の軌跡を計算して前記搬送の方向から戻る方向に前記水平多関節型ロボットを原点復帰位置まで移動させ、
   前記所定の範囲内にないときは、前記制御手段は、前記記憶手段に格納された過去のティーチングデータに基づく搬送経路を計算し、計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがあるかを判定し、前記現在の座標に近い搬送経路がある場合には前記水平多関節型ロボットを当該搬送経路に移動し、そののち前記原点復帰位置まで移動させ、
   計算された搬送経路の中に前記現在の座標に近いものがない場合には、前記制御手段は、前記ハンド部が旋回安全領域の外側に位置しているかどうかを判定し、外側に位置しているときは、前記ハンド部を前記旋回安全領域の内側まで引き込んでから指定経由点を経由して前記水平多関節型ロボットを前記原点復帰位置まで移動させる、原点復帰方法。
8. 前記基台に対する前記基台側リンクの回転中心を原点として、前記所定の直線に平行な相対する２方向の一方をＸ軸正方向とするＸＹ直交座標系の各象限ごとに指定経由点が定められる、請求項７に記載の原点復帰方法。
9. 前記指定経由点は、当該指定経由点と前記水平多関節型ロボットの原点復帰位置との間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように、象限ごとに定められる、請求項８に記載の原点復帰方法。
10. 前記指定経由点は、象限ごとに、前記ワークのロード／アンロードの対象であるその象限内の任意のステージに対する待機／退避位置とその象限の指定経由点との間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように定められる、請求項８または９に記載の原点復帰方法。
11. 前記指定経由点は、異なる象限の指定経由点間でのポイント・ツー・ポイント動作による移動において前記水平多関節型ロボットに干渉が生じないように、象限ごとに定められる、請求項１０に記載の原点復帰方法。
12. 前記指定経由点が前記水平多関節型ロボットに固有のものとして、前記水平多関節型ロボットに予め記憶されている、請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の原点復帰方法。

Images