JP5921902B2 - ロボット制御装置 - Google Patents
ロボット制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5921902B2 JP5921902B2 JP2012026391A JP2012026391A JP5921902B2 JP 5921902 B2 JP5921902 B2 JP 5921902B2 JP 2012026391 A JP2012026391 A JP 2012026391A JP 2012026391 A JP2012026391 A JP 2012026391A JP 5921902 B2 JP5921902 B2 JP 5921902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand member
- hand
- robot
- line
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 33
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
まず、本発明の一実施形態にかかるロボット制御システム10について図1を用いて説明する。
そして、カセット24へ第一ハンド部材28から半導体ウェハ23を搬入し終える図2(c)で示した位置まで到達すると、第一ハンド部材28及び第二ハンド部材30とは同時に停止する。
本実施形態においては、図3に示すように、第一ハンド部材28の位置P1及び第二ハンド部材30の位置P2は、第一ハンド部材28及び第二ハンド部材30に半導体ウェハ23が保持された場合における半導体ウェハ23の中心の位置としている。
動作量dAは例えば回動角度で定義されており、ステップS10における第一ハンド部材28と第二ハンド部材30との間の角度Aに対して、第二ハンド部材30を反時計回り方向にdAだけ回動させることにより退避線L1上に沿って第二ハンド部材30が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視反時計回りに回動させたが、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視時計回りに回動させることにより退避線L1上に沿って第二ハンド部材30が移動する。動作量dAは第一ハンド部材28の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
動作量dAは例えば回動角度で定義されており、ステップS10における第一ハンド部材28と第二ハンド部材30との間の角度Aに対して時計回り方向にdAだけ回動させることにより退避線L2上に沿って第二ハンド部材30が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視時計回りに回動させたが、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視反時計回りに回動させることにより退避線L2上に沿って第二ハンド部材30が移動する。動作量dAは第一ハンド部材28の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
動作量dAは例えば回動角度で定義されており、ステップS10における第一ハンド部材28と第二ハンド部材30との間の角度Aに対して反時計回り方向にdAだけ回動させることにより退避線L2a上に沿って第二ハンド部材30が移動する。なお、本実施形態においては、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して反時計回りに回動した位置にあるため、平面視反時計回りに回動させたが、第二ハンド部材30が、第一ハンド部材28を直線運動させた時点で第一ハンド部材28に対して時計回りに回動した位置にあった場合には、平面視時計回りに回動させることにより退避線L2a上に沿って第二ハンド部材30が移動する。動作量dAは第一ハンド部材28の直線移動方向及び直線移動量に基づいて算出される。
このように構成することにより、ロボット11の手動動作において、第一ハンド部材28が直進動作を行っている場合に、第二ハンド部材30を常に退避線L1よりもベース部材16側へ移動させることにより、確実にカセット24及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、カセット24から半導体ウェハ23を搬出入する作業の教示を効率化することができる。
このように構成することにより、第一ハンド部材28を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、第二ハンド部材30が任意の退避線L1よりもカセット24側にあった場合であっても、確実にカセット24及び障害物と干渉する位置から回避することができる。これにより、カセット24から半導体ウェハ23を搬出入する作業の教示を効率化することができる。
12 ロボット制御装置
16 ベース部材
17 アーム機構
18 第一軸(アーム駆動軸)
19 下部アーム部材
20 第二軸
21 上部アーム部材
23 半導体ウェハ(被搬送物)
24 カセット(収納体)
27 第一ハンド軸
28 第一ハンド部材
29 第二ハンド軸
30 第二ハンド部材
Claims (2)
- 収納体から被搬送物を搬出入するロボットを制御するロボット制御装置であって、
前記ロボットは、一方端がアーム駆動軸を介してベース部材に回動可能に支持されるアーム機構と、
前記アーム機構の他方端に第一ハンド軸を介して支持されるとともに第一の被搬送物を保持することができる第一ハンド部材と、前記アーム機構の他方端に、前記第一ハンド軸と同軸に配置された第二ハンド軸を介して支持されるとともに第二の被搬送物を保持することができる第二ハンド部材とを備え、
前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させる場合において、
前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動させると同時に、
前記第二ハンド部材を任意の退避線よりもベース部材側へ移動させるように制御する
ことを特徴とするロボット制御装置。 - 前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を手動で前進または後退させるように直線移動を開始する時点において、前記第二ハンド部材が任意の退避線よりも収納体側にあるときは、任意の退避線に平行な直線であって、前記第二ハンド部材の位置を通過する直線を新たな退避線として定義するように制御する
ことを特徴とする請求項1に記載のロボット制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026391A JP5921902B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | ロボット制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026391A JP5921902B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | ロボット制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013163231A JP2013163231A (ja) | 2013-08-22 |
JP5921902B2 true JP5921902B2 (ja) | 2016-05-24 |
Family
ID=49174947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012026391A Active JP5921902B2 (ja) | 2012-02-09 | 2012-02-09 | ロボット制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5921902B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6384195B2 (ja) * | 2014-08-20 | 2018-09-05 | 株式会社安川電機 | ロボットシステムおよびロボット教示方法 |
WO2016189740A1 (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-01 | 株式会社安川電機 | ロボットシステム、教示治具及び教示方法 |
US10381257B2 (en) * | 2015-08-31 | 2019-08-13 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate conveying robot and substrate processing system with pair of blade members arranged in position out of vertical direction |
JP7269071B2 (ja) * | 2019-04-01 | 2023-05-08 | 株式会社ダイヘン | 搬送ロボット |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6142004A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-02-28 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 追従ロボツト装置 |
JP3183355B2 (ja) * | 1991-12-20 | 2001-07-09 | 株式会社ダイヘン | 産業用ロボットの制御装置 |
JP2003179119A (ja) * | 2002-08-20 | 2003-06-27 | Yaskawa Electric Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2008036762A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Aitec Corp | 基板搬送ロボット |
JP5055101B2 (ja) * | 2007-12-07 | 2012-10-24 | 株式会社ダイヘン | ロボット制御装置 |
-
2012
- 2012-02-09 JP JP2012026391A patent/JP5921902B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013163231A (ja) | 2013-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6273084B2 (ja) | ロボットシステムおよびワークの搬送方法 | |
JP2019084652A (ja) | 水平多関節型ロボット及びその原点復帰方法 | |
WO2012008321A1 (ja) | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 | |
JP5055101B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
JP5921902B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
JP6630727B2 (ja) | 水平多関節ロボット | |
JP2014034107A (ja) | 産業用ロボットの原点位置復帰方法および産業用ロボット | |
US11472023B2 (en) | Robotic apparatus | |
JP2006289555A (ja) | 多関節型ロボット | |
JP5803887B2 (ja) | ロボット | |
JP2010131682A (ja) | ロボット装置及びその制御方法 | |
JP2012020382A (ja) | 産業用ロボット | |
JP5011507B2 (ja) | ロボット教示システム及びロボット教示方法 | |
JP2018073942A (ja) | 基板把持ハンド及びそれを備える基板搬送装置 | |
EP2644334B1 (en) | Robot control device and control method | |
JP2014091209A (ja) | 教示情報修正装置、制御装置、及び教示情報修正方法 | |
JP2006281269A (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP6962784B2 (ja) | 水平多関節型ロボットの原点復帰方法 | |
JP5921901B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
TWI719782B (zh) | 機器人控制裝置、機器人系統及機器人控制方法 | |
JP4974859B2 (ja) | ロボット制御装置 | |
JP5665417B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP2010199478A (ja) | ウェーハの偏心補正方法及びウェーハ搬送装置 | |
JP7409800B2 (ja) | ロボット制御装置、ロボット、及びロボット制御方法 | |
JP2022057452A (ja) | 産業用ロボット及びその制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160413 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5921902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |