JP5921901B2 - ロボット制御装置 - Google Patents
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Description
また、被搬送物中心位置が現在位置から経由位置を経由して目標位置まで移動することで、搬送物中心位置が現在位置から目標位置まで移動する際に、回動中心位置と搬送物中心位置との間の距離が第二ハンド部材のハンド長よりも長くなるような位置を回避して移動することができるため、第二ハンド部材が必ず目標位置まで移動することができ、確実に退避動作を行うことができる。目標位置が退避線からずれた位置に教示されている場合において、第二ハンド部材を目標位置へ到達させる最も単純な制御としては、退避線からずれた位置に教示された目標位置と現在位置との間を単純に補間することが考えられる。しかしながら、目標位置が退避線から第二ハンド部材の回動中心位置側にずれて教示されている場合は、目標位置への軌道として、退避線からカセット側に向かって大きく弧を描く軌道が生成される場合があり、この場合は、干渉が発生する恐れがある。そこで、退避線よりも回動中心位置側に経由位置を設け、この経由位置を通過させることにより、干渉を抑制している。
まず、本発明の一実施形態にかかるロボット制御システム10について図1を用いて説明する。
そして、カセット24へ第一ハンド部材28から半導体ウェハ23を搬入し終える図2(c)で示した位置まで到達すると、第一ハンド部材28及び第二ハンド部材30とは同時に停止する。
開始時被搬送物中心位置Ps、開始時回動中心位置Wsの情報はデカルト座標系により定義される情報として取得される。
また、制御部14は、退避線Lを設定する(ステップS40)。具体的には、予め定められた退避線L(図2参照)と同一のベクトルを有し、目標被搬送物中心位置Peを含む新たな退避線L1を設定する。以後は、第二ハンド部材30は、新たな退避線L1を越えてカセット24側へ移動しないように軌道が算出される。
次に、制御部14は、第一回動中心位置Wmを算出する(ステップS60)。第一回動中心位置Wmは、中点Pmから退避線L1と平行な方向に直線をひき、第二ハンド部材30の開始時回動中心位置Wsを通る進行方向と平行な直線との交点である。
詳細には、開始時回動中心位置Wsに対して、第一回動中心位置Wmのほうが目標回動中心位置Weよりも近い位置にあるか否かについて判断する。
経由位置Pm2は、中点Pmと第一回動中心位置Wmとを結ぶ直線上にあって、回動中心位置Wmから第二ハンド部材30のハンド長rだけ離れた位置に設定される。
回動角度θとは、回動開始時における第二ハンド部材の位置から回動中心を中心として反時計回りに回動する角度である(図6参照)。
以上より求める二つの交点は、以下の式で表される。
図6に示すように、第二ハンド部材30の回動角度θは、以下の式で表される。
また、Φは、第二ハンド軸29を通るX軸と第二ハンド部材30とがなす角の内角とし、本実施形態においては、平面視反時計周り方向(図6のΦの矢印方向)を正とする。
また、θ1は、第一軸18を通るX軸と下部アーム部材19とがなす角の内角とし、本実施形態においては、平面視反時計周り方向(図6のθ1の矢印方向)を正とする。
また、θ2は、下部アーム部材19と上部アーム部材21とがなす角の外角とし、本実施形態においては、平面視時計周り方向(図6のθ2の矢印方向)を正とする。
このように構成することにより、被搬送物中心位置Pが開始時被搬送物中心位置Psから経由位置Pm2を経由して目標被搬送物中心位置Peまで移動することで、被搬送物中心位置Pが開始時被搬送物中心位置Psから目標被搬送物中心位置Peまで移動する際に、移動することが物理的に不可能な位置を回避して移動することができるため、第二ハンド部材30が必ず目標被搬送物中心位置Peまで移動することができ、確実に退避動作を行うことができる。
このように構成することにより、被搬送物中心位置Pが開始時被搬送物中心位置Psから経由位置Pm2を経由して目標被搬送物中心位置Peまで移動することで、被搬送物中心位置Pが開始時被搬送物中心位置Psから目標被搬送物中心位置Peまで移動する際に、回動中心位置Wと搬送物中心位置Pとの間の距離が第二ハンド部材30のハンド長rよりも長くなるような位置を回避して移動することができるため、第二ハンド部材30が必ず目標位置まで移動することができ、確実に退避動作を行うことができる。
12 ロボット制御装置
16 ベース部材
17 アーム機構
18 第一軸(アーム駆動軸)
19 下部アーム部材
20 第二軸
21 上部アーム部材
23 半導体ウェハ(被搬送物)
24 カセット(収納体)
27 第一ハンド軸
28 第一ハンド部材
29 第二ハンド軸
30 第二ハンド部材
P 被搬送物中心位置
Ps 開始時被搬送物中心位置
Pe 目標被搬送物中心位置
Pm 中点
Pm2 経由位置
W 回動中心位置
Ws 開始時回動中心位置
We 目標回動中心位置
Claims (1)
- 収納体から被搬送物を搬出入するロボットを制御するロボット制御装置であって、
前記ロボットは、一方端がアーム駆動軸を介してベース部材に回動可能に支持されるアーム機構と、
前記アーム機構の他方端に第一ハンド軸を介して支持されるとともに第一の被搬送物を保持することができる第一ハンド部材と、前記アーム機構の他方端に、前記第一ハンド軸と同軸に配置された第二ハンド軸を介して支持されるとともに第二の被搬送物を保持することができる第二ハンド部材とを備え、
前記ロボット制御装置は、前記第一ハンド部材を前進または後退させるように直線移動させる場合において、
前記第二ハンド部材の被搬送物中心位置の現在位置及び目標位置並びに回動中心位置の現在位置及び目標位置を取得する処理と、
前記第二ハンド部材の被搬送物中心位置の現在位置及び目標位置並びに回動中心位置の現在位置及び目標位置に基づいて、前記第二ハンド部材の被搬送物中心位置の現在位置と目標位置との間に経由位置を設定する処理と、を行い、
前記ロボット制御装置は、前記第二ハンド部材の被搬送物中心位置の現在位置及び目標位置に基づいて中点を算出し、前記中点から、回動中心位置の現在位置及び目標位置を結ぶ直線に対して垂線を引き、前記直線と垂線との交点から前記第二ハンド部材のハンド長だけ垂線方向へ離れた点を経由位置として設定する処理を行う
ことを特徴とするロボット制御装置。
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