JP2005246547A - ロボット制御システム - Google Patents
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Abstract
しかし、このような処理は、アームの慣性があるので、実際にはロボットの動作速度を遅くして制御する必要があるため、作業効率の低下等の問題があった。
【解決手段】 制御部93は、A軸11aと直線L1との乖離距離Rが0でない場合(乖離距離R≠0の場合)においては、該乖離距離R=0とすべくZX平面内において2軸パンタリンク2の状態を変化させる。即ち、2軸パンタリンク2の部位2bの座標が直線L1上に存在するように変化させる。
【選択図】図5
Description
具体的には、水平方向に被搬送物を移動するための駆動軸を中心に回動自在に連結された複数のアーム(以下、「水平スカラ型アーム」と称する)と、該水平スカラ型アームを上下方向及び水平方向に移動するための駆動機構(以下、「パンタリンク」と称する)と、を具備する搬送用のロボットのロボットの制御システムに関するものである。
このような搬送用の多関節ロボットの具体例としては、水平方向に被搬送物を移動するためにアームが駆動軸を中心に回動自在に連結され、且つ3つの軸を要する水平スカラ型アーム(以下、単に「3軸水平スカラ型アーム」と称する)と、該3軸水平スカラ型アームを上下方向及び水平方向に移動するための駆動機構を備えた2軸の独立パンタリンク(以下、単に「2軸パンタリンク」と称する)と、を具備する搬送用のロボットの制御システムがあり、例えば、下記特許文献1に示されるようなものがある。
下記特許文献1には、次のようなロボット制御システムが記載されている。
3軸水平スカラ型アームは、ロボット本体の取り付け用の支持ベースに近い順に、肩に相当する駆動軸(以下、「A軸」と称する)、ひじに相当する駆動軸(以下、「B軸」と称する)、手首に相当する駆動軸(以下、「W軸」と称する)の3つの回動軸を有するものである。
また、上記支持ベースに近いアームから順に第1アーム(以下、「A軸回転アーム」と称する)と、第2アーム(以下、「B軸回転アーム」と称する)とが設けられ、該第2アームの先端には、上記W軸を介して被搬送物を載置するためにコの字型のハンド部材が設けられている。
また、A軸回転アーム及びB軸回転アームの長さは互いに等しい。
このように構成されているので、A軸回転アームはA軸により回転され、B軸回転アームはB軸により回転され、ハンド部材はW軸により回転される。
このような構成により、上記各軸を回転駆動させてツールポイント(例えば、ハンド部材の駆動軸(W軸))を空間内で移動させることによって、ロボット本体の可動範囲内で被搬送物を所望の位置へ搬送することが可能となる。
また、上述の場合、A軸は、3軸水平スカラ型アームの伸縮の基点(基部)となる。
この場合に、ツールポイントの位置は、予め設計上定まる各アームの長さと、エンコーダ等を用いて計測される各軸の回転角度とに基づいて、制御部(モーションコントローラ)等が演算することによって算出される。
したがって、ハンド部材に載置される被搬送物を、ロボット本体の可動範囲内であって、直線上など空間上の任意の軌道を通過させる場合など所望の位置に搬送することが可能となる。
この場合の代表例としては、例えば、A軸の近傍をW軸が通過するときである。
具体的には、図2に示すような場合である。
尚、図2は、3軸水平スカラ型アームの動作例を模式的にコマ送りで示したものであり((a)〜(f))、A軸11a、B軸21a、W軸31a、A軸回転アーム10、B軸回転アーム20、及びハンド部材30として符号を割り振っている。
また、A軸11a、B軸21a、W軸31aの各々はモータによって回転駆動することが可能な構造となっているので、A軸回転アーム10、B軸回転アーム20、及びハンド部材30を回転させることが可能な構成となっている。
ここでは、W軸31aを直線L1上に沿って移動させる場合について説明し、前提条件としては、図2(a)に示すように、A軸11aは直線L1より外れている状態とする。
この図2(a)に示す状態から、各軸を回転駆動することによってハンド部材30を手前側(図2の紙面に向かって下側)へ直線L1に沿って移動させる際の3軸水平スカラ型アームの変化は、順に図2(b)〜図2(f)に示すように変化する。
この場合に、図2(d)に示すようにハンド部材30がA軸11aの近傍にある状態において、更に手前側に進めようとする場合に、図2(a)〜図2(d)までの変化同様に
A軸11aが反時計回りの回転を続けるとアームの長さの関係上、W軸31aが直線L1から離脱してしまう。
そこで、A軸11aの回転方向を反転(時計回りに回転)させることによって、W軸31aを直線L1上で移動させながら、ハンド部材30を更に手前側に移動することが可能となる。即ち、図2(d)から図2(f)に示すような変化が可能となる。
この場合、図2(d)〜図2(f)に示すように、A軸11aの回転方向を時計回りに反転するとともに、瞬時に約180度近く回転させなければならない。
更に、上述の図2(d)から図2(f)に示す状態において、B軸21aの回転方向も反転(時計回りから反時計回り)する必要がある。
また、A軸11a及びB軸21aの回転方向の反転処理は、瞬時に行わなければスムーズにW軸31aを直線L1上で移動させることはできない。
しかしながら、各アームや各軸のモータ等の慣性のために瞬時に反転させることは不可能であり、制御点数が多いため(2つの軸の反転タイミングや2つの軸反転速度等)制御精度が粗くなる。
そのため、制御精度を良くするためには、ロボットの動作速度を遅くすることによって対応することも考えられるが、ロボットの動作速度を遅くすると、被搬送物の搬送効率が低下する等の問題がある。
また、W軸31aがA軸11aと重なった場合、即ち、A軸回転アーム10がB軸回転アーム20に重なった場合においては、A軸11aのみを回転させてもW軸31aは移動しない特殊な状況となる。
このような特殊な状態となるため、A軸11aの位置を別称「特異点」とも称されている。
即ち、上述の図2の場合は、換言するならば、特異点近傍においてW軸31aやツールポイントを移動させる場合においては、各軸の回転速度を遅くする必要があるため、ハンド部材に載置される被搬送物の搬送効率を下げる原因となってしまう。
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ツールポイントや該ツールポイントに相当するような基準点が、特異点近傍を通過する際における動作速度低下等の不具合を解消することができるロボット制御システムを提供することである。
該アームの他端側の駆動軸で回動自在に連結され、該ハンドを上下方向及び水平方向に移動するための駆動機構と、
を具備するロボットのロボット制御システムにおいて、
上記移動における上記アームと上記駆動機構とを連結する駆動軸が、上記ハンドと上記アームとを連結する駆動軸が移動する直線上となるように、上記駆動機構を制御することを特徴とするロボット制御システムとして構成されている。
図1は本発明のロボット制御システムを実施に係るロボット本体1の概略構成図、図2は従来の3軸水平スカラ型アームの動作説明図、図3は本発明のロボット制御システムの概略構成を示したブロック図、図4は本発明のロボット制御システムを実行した場合における動作説明図、図5は本発明のロボット制御システムを実行した場合における動作説明図(図4(b)の詳細説明図)である。
ロボット本体1の概略は、フロア等に固定されるベース部材80と、2軸パンタリンク2と、3軸水平スカラ型アーム3と、を具備して構成されている。
以下、各部を詳しく説明する。
ベース部材80は、上述のようにロボット本体1を設置する箇所のフロア等に固設されるものである。
このベース部材80の上面にはブラケット81・81が設けられており、該ブラケット81・81の間に、2軸パンタリンク2のアーム40・40aの基部(部位2c)と平行リンク72を設け、それぞれ部位2cに設けられるY方向の軸により回動可能に枢支されている。
2軸パンタリンク2は、主にアーム40・40aとアーム50とより概略構成されるものである。
詳しくは、アーム40・40aの下端部は上記部位2cにおいて枢支され、アーム40・40aの上端部はアーム50の下端部と部位2aにおいてY方向に配置される軸により互いに回動可能に連結されている。
更に、アーム50の上端部(部位2aとは異なる他端側の部位2b)には、3軸水平スカラ型アーム3を支持するための支持ベース65がY方向に配置される軸により回動可能に枢支されている。
3軸水平スカラ型アーム3は、A軸回転アーム10、B軸回転アーム20、及びハンド部材30より概略構成されるものである。
A軸回転アーム10の一端(A軸11a)は、支持ベース65に固設される支持部材60に対してZ方向に配置されるA軸11aを中心に回動可能に枢支されている。
B軸回転アーム20の一端(B軸21a)は、A軸回転アーム10におけるA軸11aとは異なる端部側にて回動可能に連結されている。
コの字形状を有するハンド部材30は、コの字形状の基部側中央のW軸31aが、B軸回転アーム20におけるB軸21aとは異なる端部側にて回動可能に設けられる。
このように構成されているので、A軸11aは、3軸水平スカラ型アーム3の伸縮の基点(基部)とみなせる。
また、2軸パンタリンク2のアーム40及びアーム50に対しては、平行リンク71、72が設けられている。
即ち、平行リンク71の下端側及び平行リンク72の上端側は、部位2aに回動可能に設けられるリンクベース70上の突起73b、74aに枢支されている。
更に、平行リンク71の上端側は上記支持ベース65の突起部73aに、他方、平行リンク72の下端側はベース部材80上の突起74bに、各々枢支されている。
このようにアーム40及びアーム50に対して、平行リンク71及び平行リンク72が設けられているので、3軸水平スカラ型アーム3を水平の姿勢を保ったまま、上下方向及び水平方向に2軸パンタリンクの可動範囲内で移動させることが可能となる。
上記2軸パンタリンク2を動作させるために、部位2cにはアーム40を回動するためのモータ、部位2aにはアーム50を回動するためのモータが各々設けられている。
また、3軸水平スカラ型アーム3を動作させるためにも、A軸11aにはA軸回転アーム10を回動するためのモータ、B軸21aにはB軸回転アーム20を回動するためのモータ、W軸31aにはハンド部材30を回動するためのモータが各々設けられている。
更に、上述の各モータの回転軸等には、回転角度を検出するためのエンコーダが設けられている。
したがって、後述するように、制御部93は、エンコーダが検出するモータの回転角度等の情報を取得することによって、該情報に基づいて各種処理を実行することを可能としている。
また、ロボット本体1が、上述のように構成されているので、2軸パンタリンク2を作動させることによって3軸水平スカラ型アーム3全体を略水平に保った状態で上下方向(Z方向)及び水平(X方向)に動かすことが可能になるとともに、被搬送物を搬送するハンド部材30を各アームの可動範囲内においてX方向、Y方向、Z方向の各々の方向に移動することが可能となる。
尚、図1においては、A軸11aを回動することによって、3軸水平スカラ型アーム3を回転させた場合の一例を点線で示している。
勿論、図1に示す点線及び実線で示す状態以外にも可動範囲内であれば様々な状態となることは可能である。
また、図1におけるX方向、Y方向、Z方向の方向とロボット本体1の状態(実線部分)との関係は、図2、図4、及び図5に示す模式図に対応している。
次に、ロボット本体1を制御するためのシステムであるロボット制御システム100の概略構成について図3を用いて説明する。
ロボット制御システム100は、主に、ロボット本体1、モータドライバ91、ティーチングボックス92、及び制御部93を具備して概略構成されるものである。
モータドライバ91は、ロボット本体1の各軸に設けられるモータを直接駆動するために電力等を供給するための駆動装置の一例である。
ティーチングボックス92は、ロボット本体1の動作を入力操作するための入力操作手段の一例であって、キースイッチ、タッチパネル、レバー等が設けられるものであっても良い。
制御部93は、ティーチングボックス92によって入力された内容を記憶する記憶機能や、各軸に設けられるモータの回転軸の回転角度の情報をエンコーダより取得して演算する演算機能や、該演算の結果に基づいてモータドライバ91に対して制御信号等を発することによってロボット本体1の各軸のモータを制御するモーションコントローラの機能等を具備するものの一例である。
即ち、制御部93は、モータドライバ91やティーチングボックス92と接続され、互いに通信することによって、ロボット制御システム100全体を制御するものである。
また、制御部93は、更に外部に設けられ、ロボット制御システムのユーザが用いるパーソナルコンピュータ等の情報処理装置である上位コントローラ94等に接続され、通信可能であっても良い。
上述のようにロボット制御システム100が構成されているので、2軸パンタリンク2及び3軸水平スカラ型アーム3は、制御部93が発する信号によって各軸に設けられるモータが動作することによって、その形状を変形させることが可能となる。
したがって、ハンド部材30に載置した被搬送物を、上記2軸パンタリンク2と3軸水平スカラ型アーム3の可動範囲内において、所望の場所に搬送することが可能となる。
そこで、本発明のロボット制御システム100は、以下に示すような処理を実行する。
以上においては、ハンド部材30は水平状態で所定高さを維持したままY方向に一直線状に移動させ、2軸パンタリンク2のアーム40及びアーム50の部位2a・2b・2cの軸心はY方向に配置される場合について説明する。
尚、図4は、3軸水平スカラ型アーム3のハンド部材30に被搬送物を載置して直線L1に沿って搬送する場合の動作状況を模式的にコマ送りで示したものである。
また、図4における(a)、(b)に示す3軸水平スカラ型アーム3の模式図に対応して、2軸パンタリンク2の動作状況を模式的に下段側に示している。
先ず、図4(a)は、例えば、あるステーションから被搬送物を取り出す場合(3軸水平スカラ型アーム3が伸張した状態)を示している。
この場合に、制御部93は、各アームや軸に設けられるエンコーダ等より各軸の回転角度等の情報や、予め記憶されている3軸水平スカラ型アーム3と2軸パンタリンク2の各部の長さ等の情報に基づいて演算を行うことで、ロボット本体1の状態を空間の座標形式で認識する処理(状態認識処理)を実行する。
このような状態認識処理は、基本的にロボット本体1が動作している状態であれば常時又は一定間隔で行っているものである。
したがって、この図4(a)に示す状態においては、制御部93は、ハンド部材30の回動軸であるW軸31aを直線L1に沿って移動させる場合において、A軸11aが該直線L1上にないことを認識している。
この図4(a)に示す状態では、A軸11a(特異点)近傍をW軸31aが通過するときに、ロボット本体1の動作速度を遅くしなければならない問題が発生する。
そこで、制御部93は、A軸11aを該直線L1に存在するようにするべく、以下に示す処理を実行する。
先ず、制御部93は、A軸11aが直線L1に存在するように、ロボット本体1を作動する。
この場合、制御部93は、2軸パンタリンク2の部位2a、2cに設けられるモータを作動させることによって、3軸水平スカラ型アーム3の伸縮の基点(基部)となるA軸11aを直線L1上に移動する(図4(b))。
即ち、図4(b)下段に示すように、2軸パンタリンク2を点線の状態(図4(a)の状態)から実線の状態に変化させる。
つまり、3軸水平スカラ型アーム3の伸縮の基点であるA軸11aの位置に対応する部位2bを、直線L1上に存在するように、2軸パンタリンク2の状態を変化させる。
この2軸パンタリンク2の変化に応じて、3軸水平スカラ型アーム3も点線の状態(図4(a)の状態)から実線の状態に変化する。
この場合に、被搬送物をステーションから取り出すハンド部材30の空間上の位置は、ハンド部材30が直線L1上を移動することには変わりがない。
続いて、上述の処理によってA軸11aが直線L1上に存在する状態において、制御部93は、3軸水平スカラ型アーム3におけるA軸11aのモータを反時計回りに回動させるとともに、B軸21aのモータを時計回りに回動させることによって、A軸回転アーム10及びB軸回転アーム20を各々回転させる(図4(c)〜(e))。
このように制御することによって、W軸31aはA軸11a上(即ち、上述した特異点上)を通過することになる。
このように、W軸31aがA軸11a上を通過する場合は、A軸11aの近傍を通過する場合とは異なって、A軸回転アーム10及びB軸回転アーム20の動作方向をその動作途中において反転させることなく通過させることが可能となる。
つまり、従来のように、3軸水平スカラ型アーム3の動作速度を極端に落とすことなく制御することが可能となる。
したがって、被搬送物の搬送をスムーズに行うことが可能となり、搬送作業の高速化を図ることが可能となる。
更に、従来のように、3軸水平スカラ型アーム3を構成する各アームの回転方向を動作途中で反転させる必要もないので、制御自体が容易となり、制御の目標値(W軸31aを直線L1上で移動させること)に対する応答性や追従性を向上させることが可能となる。
また、図4(a)〜(e)の動作の際に、W軸31aも反時計回りに回動させることによって、ハンド部材30の方向を、図4(a)〜(e)に示すように、一定に保って(即ち、図4(a)の状態を保って)被搬送物を搬送することが可能となる。
ここでは、上記図4(a)〜(e)の状態における処理に関し、制御部93等が行う具体的な演算処理の一例について説明する。
勿論、演算手法としては、以下で示す手法に限られることなく、同様の効果を奏するものであれば如何なる手法やアルゴリズムで演算処理されるものであってもかまわない。
尚、以下説明する各座標や計測値は、既に上述した状態認識処理にて常時又は一定間隔で制御部93によって認識されている。
先ず、例えば、図4(a)に示すような状態における、A軸11aの角度をAs、B軸21aの角度をBs、W軸31aの角度をWsとし、この状態における「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」の位置を開始点と称する。
他方、図4(e)に示すような状態における、A軸11aの角度をAd、B軸21aの角度をBd、W軸31aの角度をWdとし、この状態における「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」の位置を目標点と称する。
この開始点と目標点を結ぶ直線が、上述した図4における直線L1であり、制御部93は、上記2つの点の座標位置に基づいて直線L1の数式(直線軌道式)を算出する。
尚、上記各座標位置及び各角度は、基準となる「ロボット原点」とエンコーダ等より計測された情報とに基づいて定まるものであり、該「ロボット原点」はティーチング作業時の初期設定等において予め定められるものであっても良い。
勿論、従来同様に、ロボット制御システムの起動時等における初期状態、又は、工場出荷時等の状態を初期値とし、該初期値等からの変化量(変位量)に基づいて上記各座標位置を認識するものであっても良い。
続けて、制御部93は、ハンド部材30のW軸31aを直線L1上で上記開始点から上記目標点まで移動させる場合において、予め指定された時間(補間時間)毎におけるロボット本体1の各部の位置姿勢を算出し、その算出された値に基づいてロボット本体1を実際に動作させる(直線補間動作)。
即ち、ここで算出されるのは、3軸水平スカラ型アーム3の各軸の回転角度や、2軸パンタリンクの各軸の回転角度等である。
尚、図5は、図4(b)の状態を拡大して、更に詳細に示した図である。
図5に示す場合において、「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」のXY平面上(水平面上)における角度は、開始点に関しては「As+Bs+Ws」と表現でき、他方、目標点に関しては「Ad+Bd+Wd」と表現できる。
また、「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」の開始点におけるXY成分表示は(Xs、Ys)、他方「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」の目標点におけるXY成分表示は(Xd、Yd)となる。
更に、W軸31aからツールポイント(「被搬送物を載置するハンド部材30の中心部分」)までの長さをHとする場合において、制御部93は、上記開始点に対するW軸31aの位置(Xws、Yws)、及び上記目標点に対するW軸31aの位置(Xwd、Ywd)を算出する。
具体的には、以下に示すような簡単な数式(1)〜(4)に基づいて算出される。
Xws=Xs−H×cos(As+Bs+Ws)・・・・(1)
Yws=Ys−H×sin(As+Bs+Ws)・・・・(2)
Xwd=Xd−H×cos(Ad+Bd+Wd)・・・・(3)
Ywd=Yd−H×sin(Ad+Bd+Wd)・・・・(4)
このようにして、制御部93は、W軸31aの開始点及び目標点の位置を正確に算出できるので、直線L1も正確に算出することができる。
更に、制御部93は、別途エンコーダ等によって計測されるA軸11aの座標位置を用いて、A軸11aと直線L1との乖離を定量的に算出することが可能となる。
ここでは、例えば図5に示すように、A軸11aと直線L1との乖離距離が「R」と算出されたとする。
この場合に、制御部93は、該乖離距離R≠0ならば該乖離距離R=0とするべく、ロボット本体1の状態を変化させる。
具体的には、以下のような処理を実行する。
具体的には、図5に示すように、制御部93は、元々の状態(点線の状態:図4(a)の状態)から実線で示した状態となるように、部位2a及び部位2cに設けられるモータを作動させる。
このように2軸パンタリンク2の状態を変位させることにより、部位2bを直線L1上に位置させることが可能となるので、部位2bに対して支持ベース65等を介して回動可能に設けられるA軸11aを直線L1に位置させることが可能となる。
この場合に、3軸水平スカラ型アーム3における各部の位置も、図5に示すように、点線の状態から実線の状態に変化するので、A軸11a、B軸21a、及びW軸31aの角度が若干変化する。
この変化に応じて、新しい開始点に対応するA軸11a、B軸21a、及びW軸31aの回転角度は、例えば順にAs1、Bs1、及びWs1と定まり、他方、新しい目標点に対応するA軸11a、B軸21a、及びW軸31aの回転角度は、例えば順にAd1、Bd1、及びWd1と定まる。
(1) ロボット本体に複数(2台)の3軸水平スカラ型アームを備え、そのロボット本体自体が水平方向に移動可能なスライド機構を有するような場合にも、本発明のロボット制御システムを採用することが可能である。
(2) 3軸水平スカラ型アームを上下方向及び水平方向に移動可能とする3軸垂直スカラ型アームを具備するロボットに対しても、本発明のロボット制御システムを採用することが可能である。
(3) 既に説明した3軸水平スカラ型アーム3に対して、例えば、A軸11aの支持部材60又は支持ベース65を水平面内で旋回させる旋回軸を有し、B軸21aの回転量がA軸11aの回転量に対して一定の比率で拘束する場合に、更に、第3の駆動軸を設けることによって、4軸水平スカラ型アームとする構成の場合にも適用できる。
(4) 更に、上記(2)と上記(3)の場合の組み合わせである、3軸垂直スカラ型アームと4軸水平スカラ型アームとを具備するロボットを制御する場合にも適用できる。
また、このような変形例又は応用例は、既に説明した本発明のロボット制御システムにおいて用いられる動作プログラム等のソフトウェアに追加修正を加えることで、容易に同様の効果を奏することが可能となる。
2 2軸パンタリンク
3 3軸水平スカラ型アーム
10 A軸回転アーム
11a A軸
20 B軸回転アーム
21a B軸
30 ハンド部材
31a W軸
40、50 軸
91
92 ティーチングボックスU
93 制御部(モーションコントローラ)
100 ロボット制御システム
Claims (2)
- 水平方向に被搬送物を移動するためのハンドを、一端の駆動軸で回動自在に連結するアームと、
該アームの他端側の駆動軸で回動自在に連結され、該ハンドを上下方向及び水平方向に移動するための駆動機構と、
を具備するロボットのロボット制御システムにおいて、
上記移動における上記アームと上記駆動機構とを連結する駆動軸が、上記ハンドと上記アームとを連結する駆動軸が移動する直線上となるように、上記駆動機構を制御することを特徴とするロボット制御システム。 - 前記アームは、前記ハンドと当該アームとを連結する駆動軸を含めて3つの軸よりなる請求項1記載のロボット制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004060344A JP2005246547A (ja) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | ロボット制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004060344A JP2005246547A (ja) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | ロボット制御システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005246547A true JP2005246547A (ja) | 2005-09-15 |
Family
ID=35027521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004060344A Pending JP2005246547A (ja) | 2004-03-04 | 2004-03-04 | ロボット制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005246547A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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