TWI386353B - 搬運設備、具有該搬運設備之搬運室及包含該搬運設備之真空處理系統 - Google Patents

Description

搬運設備、具有該搬運設備之搬運室及包含該搬運設備之真空處理系統

本發明係關於一種用於搬運例如基板之類物體的搬運設備、具有該搬運設備之搬運室以及包含該搬運設備之真空處理系統。

通常，真空處理系統包含用以進行真空處理之處理室，以及安裝於處理室之一側的搬運室，此搬運室用以接收外部之基板，將搬運室之壓力從大氣壓狀態減少至真空狀態並於隨後將基板搬運至處理室中，並且用於將基板從處理室中取出，將搬運室之壓力從真空狀態增加至大氣壓狀態並於隨後將基板搬運至外部。

搬運室中安裝有一對搬運機器人，且這兩個搬運機器人可交替地執行基板交換製程，即：對處理室與搬運室中基板的取出及引入製程。

當與處理室交換基板及與外部交換基板時，此搬運室可交替地實現大氣壓狀態與真空狀態。這裡，用以將搬運室中的壓力從大氣壓狀態轉換至真空狀態或從真空狀態轉換至大氣壓狀態的時間(在下文中將被稱為〞壓力轉換時間〞)將依據搬運室之內部容積的大小而變化。

在基板較大的情況下，由於較大基板之搬運室具有相對較大的容積，因此會導致大氣壓狀態與真空狀態之間的壓力轉換時間增加。並且，會導致基板真空處理之時間增加，進而降低生產率。

因此，需要一種能夠縮小搬運室之內部容積的方法。

因此，鑒於以上的問題，本發明之一目的在於提供一種能夠縮小一對搬運模組所占空間之搬運設備、具有該搬運設備之搬運室以及包含該搬運設備之真空處理系統。

本發明之另一目的在於提供一種能夠於搬運設備安裝時藉由縮小具有一對搬運模組之搬運設備的安裝空間藉以透過縮小搬運室之內部容積進而大大減少壓力轉換時間之搬運設備、具有該搬運設備之搬運室以及包含該搬運設備之真空處理系統。

為了實現本發明的這些及其它優點且依照本發明之目的，現對本發明作具體化和概括性地描述，本發明所提供之一種搬運設備，係包含：第一搬運模組，此第一搬運模組包含：用以支撐待搬運之物體的第一手柄，用以透過旋轉而線性移動第一手柄藉以搬運待搬運之物體的第一旋轉臂單元，及用以旋轉驅動第一旋轉臂單元之第一驅動軸；以及與第一搬運模組間隔設置的第二搬運模組，此第二搬運模組包含：用以支撐待搬運之物體的第二手柄，用以透過旋轉而線性移動第二手柄藉以搬運待搬運之物體的第二旋轉臂單元，及用以旋轉驅動第二旋轉臂單元之第二驅動軸，其中第一旋轉臂單元之轉動區域與第二旋轉臂單元之轉動區域相互重疊。

本發明之另一方面還提供了一種搬運設備，係包含：第一搬運機器人，此第一搬運機器人包含：用以支撐待搬運之物體的第一手柄，以及用以透過旋轉而線性移動第一手柄藉以搬運待搬運之物體的第一旋轉臂單元；以及與第一搬運機器人間隔設置的第二搬運機器人，此第二搬運機器人包含：用以支撐待搬運之物體的第二手柄，以及用以透過旋轉而線性移動第二手柄藉以搬運待搬運之物體的第二旋轉臂單元，其中第一旋轉臂單元與第二旋轉臂單元係於第一搬運機器人與第二搬運機器人之間轉動。

第一旋轉臂單元可包含：第一連接部分，係安裝成以使得其一側可旋轉定心第一驅動軸；以及第二連接部分，係與第一連接部分之另一側連接藉以透過與第一連接部分相互配合而旋轉，此第二連接部分用以支撐第一手柄，並且第二旋轉臂單元可包含：第一連接部分，係安裝成以使得其一側可旋轉定心第二驅動軸；以及第二連接部分，係與第一連接部分之另一側連接藉以透過與第一連接部分相互配合而旋轉，此第二連接部分用以支撐第二手柄。

第一手柄與第二手柄可分別被安裝成用以防止與待搬運之物體相干擾。

第一手柄可包含：用以支撐待搬運之物體的支撐部分；與第一旋轉臂單元相連接的接合部分；以及用以將接合部分與支撐部分相互連接並可通過由第二手柄所搬運之物體的連接部分。

第一手柄與第二手柄可沿著第一驅動軸之方向被安裝成彼此具有不同的高度。

第一驅動軸與第二驅動軸可由單獨的驅動單元獨立地加以驅動，也可由一個驅動單元旋轉驅動。

為了實現本發明的這些及其它優點且依照本發明之目的，在此對本發明作具體化和概括性地描述，本發明還提供了一種具有上述搬運設備之搬運室。

此搬運室可進一步包含壓力控制器，用以將搬運室內的壓力從大氣壓狀態降低至真空狀態，或者將搬運室內的壓力從真空狀態增高至大氣壓狀態，藉以搬運待搬運之物體。

搬運室可包含：升降裝置，此升降裝置包含複數個安裝成可上下移動的升降插腳藉以上下移動由第一或第二手柄支撐的待搬運之物體；以及一個或多個上下驅動單元，係用以上下驅動升降插腳。並且，搬運室還可包含校準器用以調整安裝於第一或第二手柄之上的待搬運之物體的安裝位置。

為了實現本發明的這些及其它優點且依照本發明之目的，在此對本發明作具體化和概括性地描述，本發明還提供了一種真空處理系統，係包含：用於對待搬運之晶圓或基板進行真空處理之處理室；以及連接至處理室之搬運室。

本發明之搬運設備具有如下優點：第一，由於第一與第二搬運模組之第一與第二旋轉臂單元可於第一與第二搬運模組之間轉動，因此可使搬運設備之安裝空間最小化。並且，安裝有搬運設備之搬運室將具有最小的內部容積。

在使搬運室內的容積最小化的情況下，壓力轉換時間將被縮短，進而縮短整個基板處理所需的時間。因此，可使生產率提高。

此外，由於安裝有搬運設備的搬運室具有縮小的內部容積，因而可降低其製造成本。如此便可解決當透過具有較大的內部容積之搬運室搬運基板時所產生之習知的困難。

本發明之前述及其他的目的、特徵、形態及優點將結合圖示部分在如下的本發明之詳細說明中更清楚地加以闡述。

現在，將結合附圖對本發明進行詳細描述。

以下，將結合附圖所示之實例對本發明之較佳實施例進行詳細地說明。

在下文中，本發明之搬運設備、具有該搬運設備之搬運室以及包含該搬運設備之真空處理系統將被更加詳細地加以說明。

本發明之真空處理系統係用以在真空狀態執行預定的處理製程，例如對晶圓或基板2，如液晶顯示器(LCD)面板之玻璃基板之表面所進行的蝕刻製程，或者於晶圓或基板2之表面上沈積具有預定之特性的錫膜之製程。

真空處理系統包含：用以對晶圓或基板2進行真空處理的處理室4，以及連接至處理室4之一側的用以在處理室4與外界之間搬運基板2之搬運室10。

搬運室10可以沿一條直線的形式連接至處理室4藉以順暢地搬運基板2。

在搬運室10之中，安裝有用於搬運基板2之搬運設備藉以將基板2引入搬運室10或從搬運室10中取出。並且，搬運室10配置有複數個閘門12，閘門12可由連接至處理室4或外界的閘門閥(附圖中未示出)開啟或關閉。

並且，搬運室可以配置成將壓力從大氣壓狀態降低至真空狀態藉以於真空狀態下將基板2搬運至處理室4等處，或者可配置成將壓力從真空狀態升高至大氣壓狀態藉以於大氣壓狀態下將基板2從處理室4中取出至外界。

搬運室10可包含有：用於控制搬運室10之內的壓力以用於交換基板2之壓力控制器(附圖中未示出)，用以上下移動基板2之升降裝置(附圖中未示出)，以及用於矯正基板2之校準器(附圖中未示出)。

為了搬運基板2，壓力控制器可配置成將搬運室10之內部壓力從大氣壓狀態減小至真空狀態，或者可配置成將搬運室10之內部壓力從真空狀態增高至大氣壓狀態。並且，此壓力控制器可包含有用於供應氣體至搬運室10中的氣體供應裝置(附圖中未示出)，以及用於將搬運室10之內的氣體排出的排氣裝置(附圖中未示出)。

升降裝置可包含有：複數個安裝成可上下移動之升降插腳(附圖中未示出)藉以上下移動由第一手柄32或第二手柄42所支撐的基板2，此升降插腳稍後再作說明；以及一個或多個用以上下驅動升降插腳之上下驅動單元(附圖中未示出)。

校準器係用以調整安裝於第一手柄32或第二手柄42之上的基板2之安裝位置，且此校準器可具有不同的結構。

搬運設備係用以搬運基板2，並可根據設計具有不同的結構。此搬運設備可包含一個或多個用於搬運基板2之搬運模組。

此搬運設備可實施為由一個搬運模組所組成的單個形式。但此搬運設備係較佳地實施為由一對搬運模組所組成的成對形式藉以順暢地將基板2與處理室4內的基板進行交換，或更加迅速地將基板2搬運至處理室4。

更具體而言，此搬運設備包含：安裝於搬運室10之一側的第一搬運模組30，及安裝於搬運室10之另一側的第二搬運模組40。

第一搬運模組30與第二搬運模組40可具有任意之結構以便搬運基板2。然而，其更優選為可使搬運室10之尺寸最小化之結構。

在下文中，將對使搬運室10之尺寸最小化的第一搬運模組30與第二搬運模組40進行更加詳細的說明。

第一搬運模組30可包含：用以支撐基板2之第一手柄32，及用以透過第一驅動單元36之第一驅動軸37之旋轉而線性移動第一手柄32藉以搬運基板2之第一旋轉臂單元34。

第一手柄32係用以沿不變的方向線性移動基板2。並且第一手柄32可固定地安裝於第一旋轉臂單元34上或可旋轉地連接至第一旋轉臂單元34藉以順暢地搬運基板2。而且，第一手柄32可透過動力傳輸部分，例如皮帶＆皮帶輪以及齒輪組而連接至第一旋轉臂單元34。

即使所安裝的第一搬運模組30與第二搬運模組40彼此接近，藉以使搬運設備之安裝空間最小化，但第一手柄32係較佳地配置成可避免與第二搬運模組40所搬運之基板2相干擾。

請參考「第6圖」及「第7圖」，第一手柄32可包含：用以支撐基板2的支撐部分32A；設置於支撐部分32A之下方並與之間隔一定距離且連接至第一旋轉臂單元34的接合部分32B；以及用以使接合部分32B與支撐部分32A相互連接並且通過藉由第二搬運模組40之第二手柄42所搬運之基板2的連接部分32C。

基於上述這些構造，由第一搬運模組30之第一手柄32所搬運之基板2係於第一手柄32之支撐部分32A之上線性移動，而由第二搬運模組40之第二手柄42所搬運之基板2係在支撐部分32A與設置於第一手柄32之支撐部分32A之下方的接合部分32B之間線性移動。由於高度不同，第一及第二搬運模組30、40以及由第一及第二搬運模組30、40所搬運之基板2可避免相互干擾。

當構造為相異地設置第一及第二手柄32、42之高度藉以防止基板2相互干擾時，第一驅動單元36可配置成具有不同於第二驅動單元46之高度。

為了穩定地支撐基板2，第一手柄32之支撐部分32A係較佳地成形為長於接合部分32B。並且，為了防止稍後將加以說明的與第二搬運模組40之第二手柄42相干擾，第一手柄32之接合部分32B係較佳地成形為短於第一手柄32之支撐部分32A。也就是說，第一手柄32可成形為具有‘U’形且開口朝向第二搬運模組40之截面形狀。並且，第一手柄32之支撐部分32A可成形為長於第一手柄32之接合部分32B。

為了防止由第一搬運模組30所搬運之基板2與第一及第二搬運模組30、40相互干擾，第一手柄32可較佳地連接至第一旋轉臂單元34，也就是稍後將加以說明的第一旋轉臂單元34之第二連接部分34B之上側。

第一旋轉臂單元34可具有任意之構造以便線性移動基板2，並且將對其較佳實例作如下說明。

第一旋轉臂單元34可包含：連接至第一驅動軸37藉以旋轉定心第一驅動軸37之第一連接部分34A；以及連接至第一連接部分34A之另一側藉以透過與第一連接部分34A相互配合而可轉動並用以支撐第一手柄32之第二連接部分34B。

第一旋轉臂單元34之第一連接部分34A可直接連接至第一驅動單元36，也可藉由驅動力傳送器等部件連接至第一驅動單元36。

為了使搬運室10之尺寸最小化，第一旋轉臂單元34係較佳地配置成可在第一及第二搬運模組30、40之間轉動。

更具體而言，第一旋轉臂單元34之轉動區域與第二旋轉臂單元44之轉動區域可被配置成相互重疊。

如上所述，為了使搬運室10之尺寸最小化，第一旋轉臂單元34之第一連接部分34A係配置成可在第一及第二搬運模組30、40之間的區域轉動，此區域在「第1圖」中用‘C1’表示。這裡，如上所述，為了線性移動基板2，第一旋轉臂單元34之第二連接部分34B係配置成可於「第1圖」中用‘C2’表示的區域中轉動。

第一旋轉臂單元34之第二連接部分34B可連接至第一旋轉臂單元34之第一連接部分34A的上側，藉以防止由第一搬運模組30所搬運之基板2與第一及第二搬運模組30、40相干擾。

第一驅動單元36可與第一手柄32及第一旋轉臂單元34一同安裝於搬運室10之內部，也可安裝於搬運室10之外部下側，藉以連接至第一旋轉臂單元34之第一連接部分34A。

第二搬運模組40具有與第一搬運模組30近乎相同的構造。並且第二搬運模組40可包含：用以支撐基板2之第二手柄42，以及可透過第二驅動單元46之第二驅動軸47之旋轉而線性移動第二手柄42藉以搬運基板2之第二旋轉臂單元44。

較佳地而言，此第二手柄42係配置成不與第一搬運模組30所搬運之基板2相干擾。即，第二手柄42可安裝成使得第二手柄42所搬運之基板2能夠被搬運至第一搬運模組30所搬運之基板2的下側。

較佳地而言，第二手柄42係形成有較長的長度藉以穩固地支撐基板2。

與第一手柄32之方式相同，第二手柄42可連接至第二旋轉臂單元44之上側。

與第一旋轉臂單元34之方式相同，第二旋轉臂單元44可包含第一連接部分44A與第二連接部分44B藉以於第一及第二搬運模組30、40之間轉動。第一連接部分44A係配置成可於「第1圖」中用‘C3’表示的區域中轉動，且第二連接部分44B係配置成可於「第1圖」中用‘C4’表示的區域中轉動。

為了避免第一及第二旋轉臂單元34、44相互干擾，第一及第二搬運模組30、40之第一及第二旋轉臂單元34、44之中心之間的距離(L)可形成有足夠的長度藉以防止第一及第二旋轉臂單元34、44之端部相互接觸。

當第一及第二搬運模組30、40被安裝成彼此盡最大可能地接近而不相互干擾時，基板2可順暢地被線性移動，並且搬運室10可具有最小的尺寸。

這裡，第一及第二旋轉臂單元34、44之旋轉中心可沿基板2之搬運方向被設置於不同的位置，或可在垂直於基板2之搬運方向的方向上被設置於同一直線上。

在本發明中，第一及第二搬運模組30、40係分別由第一及第二驅動單元36、46單獨地加以驅動。但是，第一及第二驅動軸37、47可由一個驅動單元加以驅動。

在實施為一個驅動單元之情況下，驅動單元可配置有離合器等裝置，用以選擇性地驅動第一驅動軸37或第二驅動軸47。

用以搬運基板2之搬運設備具有一對安裝空間被最小化的搬運模組。此搬運設備可被應用於各種類型的基板處理設備中，這些基板處理設備係用於需要基板之搬運機以及真空處理系統之基板處理過程中。

在下文中，將對藉由本發明之搬運設備對基板2所進行之搬運過程加以說明。

「第1圖」表示了已經被裝配好的基板2從外部搬運至第一及第二搬運模組30、40之狀況。為了便於交換基板2，基板2係被安裝於第一及第二手柄32、42中位於上側的一個手柄上。

現在將更加詳細地說明與外界，例如裝載有複數個基板之收疊箱交換基板2之過程。首先，一個閘門12係與外界相聯，並且位於處理室4與搬運室10之間的閘門12係由閘門閥關閉。而後，透過升高搬運室10之內的壓力，將真空狀態變為大氣壓狀態，且隨後與外界相聯之閘門12被開啟。

一旦與外界相聯之閘門12被開啟，完全經過真空處理之基板2係透過額外的搬運模組(附圖中未示出)而從處理室4中被取出。並且，將要進行真空處理之基板2係被安裝於第一及第二手柄32、42中位於上側的一個手柄上。

一旦搬運室10完成與外界交換基板2之過程，與外界相聯之閘門12係被閘門閥再次關閉。接下來，如「第1圖」所示之當搬運已經被引入搬運室10之中的基板2至處理室4之前，搬運室10之內部壓力將被減小至預定的真空狀態，在此狀況下，搬運室10係透過閘門閥而與處理室4及外界相隔絕。

一旦搬運室10之內部壓力達到基本上與處理室4之內部壓力相等的預定真空壓力時，位於處理室4與搬運室10之間的閘門12將被開啟。因此，搬運室10與處理室4將相互聯接。

接著，如「第2圖」及「第3圖」所示，在處理室4中經過真空處理的基板2將從處理室4中被取出至搬運室10。如「第4圖」及「第5圖」所示，藉由第一搬運模組30所支撐的並且將要進行真空處理之基板2將從搬運室10被引入至處理室4中。

這裡，第一及第二搬運模組30、40可被同時驅動，也可被順序驅動，或者也可間隔預定的時間而被驅動。

一旦在處理室4中經過真空處理之基板2從處理室4中被取出，並且將要進行真空處理的基板2被引入至處理室4中，搬運室10將藉由閘門閥而與處理室4及外界相隔絕。在此狀況下，搬運室10之內部壓力將被增高至大氣壓狀態，且隨後搬運室10將再次進行與外界交換基板2之進程。

雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。在不脫離本發明之精神和範圍內，所為之更動與潤飾，均屬本發明之專利保護範圍。關於本發明所界定之保護範圍請參考所附之申請專利範圍。

2．．．基板

4．．．處理室

10．．．搬運室

12．．．閘門

30．．．第一搬運模組

32．．．第一手柄

32A．．．支撐部分

32B．．．接合部分

32C．．．連接部分

34．．．第一旋轉臂單元

34A．．．第一連接部分

34B．．．第二連接部分

36．．．第一驅動單元

37．．．第一驅動軸

40．．．第二搬運模組

42．．．第二手柄

44．．．第二旋轉臂單元

44A．．．第一連接部分

44B．．．第二連接部分

46．．．第二驅動單元

47．．．第二驅動軸

第1圖為本發明之搬運設備之平面剖視圖。

第2圖至第5圖分別對應於第1圖表示了本發明之待搬運之物體的搬運過程。

第6圖為沿著第1圖中的〞A-A〞線所作的剖視圖。

第7圖為本發明之搬運設備的主要部分之透視圖。

2．．．基板

4．．．處理室

10．．．搬運室

12．．．閘門

30．．．第一搬運模組

32．．．第一手柄

32A．．．支撐部分

34．．．第一旋轉臂單元

34A．．．第一連接部分

34B．．．第二連接部分

36．．．第一驅動單元

37．．．第一驅動軸

40．．．第二搬運模組

42．．．第二手柄

44．．．第二旋轉臂單元

44A．．．第一連接部分

44B．．．第二連接部分

46．．．第二驅動單元

47．．．第二驅動軸

Claims (14)

1. 一種搬運設備，係包含：一第一搬運模組，該第一搬運模組包含：用以支撐一待搬運之物體的一第一手柄，用以透過旋轉而線性移動該第一手柄藉以搬運該待搬運之物體的一第一旋轉臂單元，及用以旋轉驅動該第一旋轉臂單元之一第一驅動軸；以及與該第一搬運模組間隔設置的一第二搬運模組，該第二搬運模組包含：用以支撐一待搬運之物體的一第二手柄，用以透過旋轉而線性移動該第二手柄藉以搬運該待搬運之物體的一第二旋轉臂單元，及用以旋轉驅動該第二旋轉臂單元之一第二驅動軸，其中，該第一旋轉臂單元之轉動區域與該第二旋轉臂單元之轉動區域相互重疊；其中，所述第一和第二驅動軸在軸向上不重疊；其中，所述第一和第二旋轉臂單元在與待搬運之物體移動方向垂直的方向上的所述第一和第二驅動軸之間旋轉；以及所述第一和第二旋轉臂單元均設置於所述搬運設備的底部。
2. 一種搬運設備，係包含：一第一搬運機器人，該第一搬運機器人包含：用以支撐一待搬運之物體的一第一手柄，以及用以透過旋轉而線性移動該第一手柄藉以搬運該待搬運之物體的一第一旋轉臂單元，以及 旋轉驅動所述第一旋轉臂單元的第一驅動軸；以及與該第一搬運機器人間隔設置的一第二搬運機器人，該第二搬運機器人包含：用以支撐一待搬運之物體的一第二手柄，以及用以透過旋轉而線性移動該第二手柄藉以搬運該待搬運之物體的一第二旋轉臂單元，以及旋轉驅動所述第二旋轉臂單元的第二驅動軸，其中，該第一旋轉臂單元與該第二旋轉臂單元係於該第一搬運機器人與該第二搬運機器人之間轉動，並且，其中，所述第一和第二驅動軸在軸向上不重疊；其中，所述第一和第二旋轉臂單元在與待搬運之物體移動方向垂直的方向上的所述第一和第二驅動軸之間旋轉；以及所述第一和第二旋轉臂單元均設置於所述搬運設備的底部。
3. 如請求項第1項或第2項所述之搬運設備，其中該第一和第二旋轉臂單元均位於該第一和第二手柄的下方。
4. 如請求項第1項或第2項所述之搬運設備，其中該第一旋轉臂單元包含：一第一連接部分，係安裝成以使得其一側可旋轉定心該第一驅動軸；以及一第二連接部分，係與該第一連接部分之另一側連接藉以透過與該第一連接部分相互配合而旋轉，該第二連接部分用以支撐該第一手柄，並且 該第二旋轉臂單元包含：一第一連接部分，係安裝成以使得其一側可旋轉定心該第二驅動軸；以及一第二連接部分，係與該第一連接部分之另一側連接藉以透過與該第一連接部分相互配合而旋轉，該第二連接部分用以支撐該第二手柄。
5. 如請求項第1項或第2項所述之搬運設備，其中該第一手柄與該第二手柄係分別被安裝成用以防止與該待搬運之物體相干擾。
6. 如請求項第5項所述之搬運設備，其中該第一手柄包含：用以支撐該待搬運之物體的一支撐部分；與該第一旋轉臂單元相連接的一接合部分；以及用以將該接合部分與該支撐部分相互連接，並可通過由該第二手柄所搬運之物體的一連接部分。
7. 如請求項第5項所述之搬運設備，其中該第一手柄與該第二手柄係沿著該第一驅動軸之方向被安裝成彼此具有不同的高度。
8. 如請求項第1項或第2項所述之搬運設備，其中該第一驅動軸與該第二驅動軸係由單獨的驅動單元獨立地加以驅動，或由一個驅動單元旋轉驅動。
9. 一種具有如請求項第4項所述之搬運設備的搬運室。
10. 如請求項第9項所述之搬運室，該搬運室進一步包含一壓力控制器，係用以將該搬運室內的壓力從大氣壓狀態降低至真空狀 態藉以搬運一待搬運之物體，或者用以將該搬運室內的壓力從真空狀態增高至大氣壓狀態。
11. 如請求項第9項所述之搬運室，該搬運室還包含一升降裝置，該升降裝置包含：複數個安裝成可上下移動的升降插腳藉以上下移動由該第一手柄或該第二手柄支撐的待搬運之物體；以及一個或多個上下驅動單元，係用以上下驅動該等升降插腳。
12. 如請求項第9項所述之搬運室，該搬運室還包含一校準器，係用以調整安裝於該第一手柄或該第二手柄之上的待搬運之物體的安裝位置。
13. 如請求項第9項所述之搬運室，係包含：一壓力控制器，係用以將該搬運室內的壓力從大氣壓狀態降低至真空狀態藉以搬運一待搬運之物體，或者用以將該搬運室內的壓力從真空狀態增高至大氣壓狀態；一升降裝置，該升降裝置包含：複數個安裝成可上下移動的升降插腳藉以上下移動由該第一手柄或該第二手柄支撐的待搬運之物體，以及一個或多個上下驅動單元，係用以上下驅動該等升降插腳；以及一校準器，係用以調整安裝於該第一手柄或該第二手柄之上的待搬運之物體的安裝位置。
14. 一種真空處理系統，係包含： 一處理室，係用於對待搬運之一晶圓或一基板進行真空處理；以及如請求項第13項所述之搬運室，係連接至該處理室。