KR20020088419A - 처리 장치 - Google Patents

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KR20020088419A
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하야시요시노부
야마구치미츠유키
고다시마야스시
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

처리 장치는 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부(4)와, 피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부(11∼18)와, 트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기(21, 22)를 가지며, 상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고, 상기 반송기의 이동 경로가, 각각이 상기 처리부를 따르는 복수 개의 경로로 이루어지며, 상기 반송기 각각이 단일이며 양측의 처리부 또는 트랜스퍼부 사이의 피처리체의 교환이 가능한 구성이다.

Description

처리 장치{TREATING DEVICE}
종래, 이러한 처리 장치로서, 예컨대 일본국 특개평10-144765호 공보에는, 반도체 기판의 처리 장치에 있어서, 각 처리부를 복수로 나누고, 이 복수로 나눈 처리부 내에서 이동하여 처리 기판을 반송시키는 반송 기구를, 장치 사이의 처리 기판을 반송하는 반송기의 반송 경로에 접속한 기판 처리 장치가 개시되어 있다.
도 1은 이 기판 처리 장치에 있어서의 처리 기판의 반송 경로를 나타내는 것으로서, 처리전의 기판을 취출하는 기판 트랜스퍼부(4)로부터의 처리 기판은, 기판 트랜스퍼부(4)에 설치한 반송 수단(a)으로부터 각 처리부 사이의 반송 경로(3)를 통과하는 1대의 반송기(2)에 옮겨 실리며, 이 반송기(2)에 의해 각각의 처리부에 도달한다.
한편, 처리되는 기판은 분리된 각 처리부(11∼13, 14∼16 및 17∼19) 사이를 이동하는 반송 수단(b)에 옮겨 실리며, 그리고, 이 반송 수단(b)에 의해 소정의 처리 장소까지 반송되어 소정의 처리를 받는다. 그리고, 처리후의 기판은, 각각의 반송 수단(b)에 의해서 반송 경로(3)에서 처리부 사이를 이동하는 반송기(2)에 옮겨실려 원래의 기판 트랜스퍼부(4)로 복귀하며, 거기에서 기판 트랜스퍼부(4) 내에 설치한 반송 수단(a)에 의해 기판 수납기(5)로 복귀된다. 이에 의해, 장치 내의 처리 기판의 교환 횟수나 반송 횟수가 상당히 줄어들어, 반송에 요하는 시간을 단축한다고 하는 효과를 나타내는 것으로 되어 있다.
이 종래의 장치에 있어서, 기판 트랜스퍼부와 처리부 사이의 기판 반송 경로 중의 임의의 일부분, 예컨대 도 1에 있어서의 반송기(2)의 이동 범위에 착안하면, 그 부분에 있어서의 기판의 반송은 1대의 반송기에 의해 이루어지게 된다.
이 때문에, 기판 트랜스퍼부(4)와 처리부(11∼19) 사이, 혹은 처리부와 처리부 사이에서 복수 개의 기판(W)을 순차적으로 반송할 때의 반송 능력(단위 시간당 반송 가능한 기판 매수)이 1대의 반송기(2)의 반송 능력에 의해서 제한되게 된다.
이 때문에, 처리부의 수가 많은 경우나 처리부에서의 처리 시간이 짧은 경우에는, 처리부의 가동율이 저하되어 버리는 경우가 있다. 장치의 전체적인 작업 처리량(단위 시간당 처리 가능한 매수)을 향상시키기 위해서는, 처리부에서의 처리 시간을 짧게 함과 동시에 처리부의 가동율을 높게 할 필요가 있다.
본 발명은 예컨대 반도체 기판과 같은 피처리체를 처리부로 반송하여 피처리체에 처리를 실시하기 위한 처리 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 기판 처리 장치에 있어서의 반송기의 이동 경로를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 2는 본 발명에 따른 처리 장치의 실시 형태의 제1예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 3은 반송기의 상세를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 처리 장치의 실시 형태의 제2예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 5는 본 발명에 따른 처리 장치의 실시 형태의 제3예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 6은 본 발명에 따른 처리 장치의 실시 형태의 제4예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 7은 도 6에 나타내는 실시 형태의 예에 있어서의 반송기의 트랜스퍼기의 제1 동작예의 설명도이다.
도 8은 도 6에 나타내는 실시 형태의 예에 있어서의 반송기의 트랜스퍼기의 제2 동작예의 설명도이다.
도 9는 도 6에 나타내는 실시 형태의 예에 있어서의 반송기의 트랜스퍼기의 제3 동작예의 설명도이다.
도 10은 도 6에 나타내는 실시 형태의 예에 있어서의 반송기의 트랜스퍼기의 제4 동작예의 설명도이다.
도 11은 도 6에 나타내는 실시 형태의 예에 있어서의 반송기의 트랜스퍼기의 제5 동작예의 설명도이다.
도 12는 본 발명에 따른 처리 장치의 실시 형태의 제5예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
도 13은 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 14는 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 15는 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 또 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 16은 대기압하에서의 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 17은 대기압하에서의 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 18은 처리 장치의 실시 형태의 제6예를 나타내는 평면 레이아웃도이다.
본 발명에 있어서 해결하여야 할 과제는, 처리부의 가동율이 높고, 소정수의 피처리체를 단시간에 처리할 수 있는 처리 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 처리 장치는, 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해서 용기를 배치하는 트랜스퍼부와, 피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와, 트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며, 상기 복수 개의 반송기는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 각각 이동이 가능하도록 한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 처리 장치에 의해서, 하나의 반송기가 트랜스퍼부와 처리부 사이에서 피처리체를 반송 중이었다고 할지라도 다른 반송기가 다른 피처리체를 반송할 수 있기 때문에, 트랜스퍼부와 처리부 사이에서 복수 개의 피처리체를 순차적으로 단시간에 반송할 수 있게 되어, 처리부의 가동율이 향상되고, 소정수의 피처리체를 단시간에 처리할 수 있다.
본 발명의 처리 장치에 있어서, 동종(同種)의 처리를 행하기 위한 복수 개의 상기 처리부를 가지며, 상기 복수 개의 반송기 각각이 상기 제1 위치와 상기 복수 개의 처리부 각각에 대응하는 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하도록 할 수 있다.
이 경우에는, 복수 개의 피처리체에 대한 처리를 복수 개의 처리부를 이용하여 병행하여 행함과 동시에, 복수 개의 처리부에 대한 피처리체의 분배를 단시간에 행할 수 있기 때문에, 복수 개의 피처리체에 대한 병행된 처리를 단시간에 행할 수 있게 된다.
또한, 복수 개의 처리를 연속적으로 행하기 위한 복수 개의 처리부를 가지며, 복수 개의 반송기 각각이, 상기 복수 개의 처리부 각각에 대응하는 상기 제2 위치의 상호간에서의 이동이 가능하도록 할 수 있다. 이에 의해, 처리와 처리 사이에 용기에 대한 피처리체의 장전 및 용기로부터의 피처리체의 취출을 행하지 않고, 피처리체에 대하여 복수 개의 처리를 연속적으로 행함과 동시에, 먼저 행하는 처리를 위한 처리부로부터 후에 행하는 처리를 위한 처리부로 복수 개의 피처리체를 순차적으로 단시간에 반송할 수 있기 때문에, 복수 개의 피처리체에 대한 연속 처리를 단시간에 행할 수 있게 된다.
또한, 복수 개의 반송기 각각이, 동일한 용기에 대응하는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하도록 할 수 있다. 이에 의해, 하나의 용기 내에 수용된 복수 개의 피처리체를 복수 개의 반송기를 이용하여 처리부로 순차적으로 단시간에 반송함으로써, 하나의 용기 내에 수용된 모든 피처리체에 대한 처리를 단시간에 완료할 수 있다.
또한, 반송기의 대수와 반송기의 이동 경로는 임의의 것을 채용할 수 있으며, 처리부의 배치수도 반송기의 대수와 처리 종류, 및 처리 시간에 따라서 임의로 대응시킬 수 있다.
게다가, 처리전의 피처리체의 취출을 행하기 위한 트랜스퍼부와 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위한 트랜스퍼부를, 1개 장소로 하여 공통화할 수도 있고, 또한, 그 기능에 따라서 별도의 위치에 설치할 수도 있다.
또한, 상기 반송기의 이동 경로가 루프 형상을 가지며, 이 이동 경로 상에 상기 제1 위치와 상기 제2 위치가 배치되도록 할 수 있다.
이 경우에는, 하나의 반송기가 처리부 또는 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하고 있는 동안에, 그 반송기에 저해받지 않고, 그 반송기가 피처리체의교환을 행하고 있는 처리부 또는 용기 이외의 임의의 처리부 또는 용기로 다른 반송기가 피처리체를 반송할 수 있기 때문에, 반송기의 가동 효율을 높여, 복수 개의 반송기의 전체적인 반송 능력을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 반송기의 이동 경로가 주(主)반송로와, 주반송로로부터 분기되어 복수 개의 처리부 각각에 대응하는 상기 제2 위치에 이르는, 각 처리부마다 설치된 복수 개의 분기로를 갖도록 할 수 있다.
이 경우에는, 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하고 있는 반송기에 저해받지 않고, 그 반송기가 피처리체의 교환을 행하고 있는 처리부 이외의 임의의 처리부로 다른 반송기가 피처리체를 반송할 수 있기 때문에, 반송기의 가동 효율을 높여, 복수 개의 반송기의 전체적인 반송 능력을 향상시킬 수 있다.
또한, 반송기의 이동 경로를 각각이 처리부를 따르는 복수 개의 경로(대략 직선형)로 함으로써, 이동 경로 속에서 반송기가 방향 전환을 할 필요를 없앨 수 있으며, 따라서, 반송기의 방향 전환을 위해 이동 경로의 곡율을 크게 구성할 필요가 없어지고, 그 결과, 반송기의 이동 경로가 배치되는 영역의 면적을 효과적으로 축소할 수 있다.
또한, 이동 경로 사이의 중앙부에 임시 받침대를 설치함으로써, 반송기 간의 피처리체의 교환을 효율적으로 또한 원활하게 행할 수 있게 된다.
또한, 1대의 반송기가 양측의 처리부 또는 트랜스퍼부에 액세스 가능한 구성으로 함으로써, 반송 동작에 변화를 줄 수 있게 되어, 융통성 있게 반송 계획을 세울 수 있게 된다. 또한, 가령 한대의 반송기가 고장나더라도 다른 반송기가 모든처리부, 트랜스퍼부로부터 피처리체 교환이 가능하기 때문에, 처리가 중단되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 반송기의 이동 경로를, 처리부를 따르는 양단이 막힌 구성으로 일체(대략 직선형)로 함으로써, 반송기의 이동 경로가 배치되는 영역의 면적을 더욱 축소할 수 있다. 그 경우, 이동 경로의 양단에 후퇴 영역을 마련함으로써 복수 개의 반송기 중의 일부를 후퇴 영역으로 후퇴시키는 것에 의해, 다른 반송기가 필요 이동 범위 전역을 이동할 수 있게 된다. 또한, 임시 받침대를 설치함으로써, 반송기 상호간의 교환을 효율적이고 또한 원활하게 행할 수 있게 된다.
본 발명의 다른 목적 및 특징은, 이하의 도면과 함께 이루어지는 실시 형태의 설명에서 상세히 설명한다.
본 발명의 실시 형태의 예를 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 처리 장치의 제1예를 나타낸다. 동 도면에 나타내는 처리 장치(10)에 있어서의 처리부는, 한쪽에 11∼15의 5개 장소, 타측에 16∼18의 3개 장소에 배치되어 있고, 2대의 반송기(21, 22)는 처리부(11∼18)의 내주를 따른 루프형의 이동 경로(3) 상에서 각각 독립적으로 이동 가능하게 배치되어 있다. 4는 기판 트랜스퍼부로서, 반송기(21, 22)는 반송실(6) 내에 배치되어 있다. 반송실(6)의 천장부에는 도시하지 않은 팬 필터 유닛이 설치되어, 반송실(6) 내에 청정 공기가 도입되도록 되어 있다. 기판 트랜스퍼부(4)에 배치된 2개의 기판 수납 용기(5)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위한 각 위치와 처리부(11∼18)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위한 각 위치가 이동 경로(3) 상에 배치되어 있다. 기판 수납 용기(5)는 그 내부 공간이 반송실(6) 내의 공간과 연통하도록 기판 트랜스퍼부(4)에 배치되어, 기판 수납 용기(5)와 반송기(21, 22) 사이에서 기판의 교환이 행하여진다. 기판 수납 용기(5)는 외부로부터 기판 트랜스퍼부(4)에, 또한 기판 트랜스퍼부(4)로부터 외부로 반송되는 동안에는 그 내부가 밀폐되어 있는 것이 바람직하다.밀폐된 상태에서 외부로부터 기판 트랜스퍼부(4)에 반송된 기판 수납 용기(5)를 반송실(6) 내의 공간과 연통시키고, 또한, 반송실(6) 내의 공간과 연통한 기판 수납 용기(5)를 밀폐된 상태로 복귀시키는 것은, 예컨대 일본국 특개평8-279546호 공보에 기재된 기술을 이용함으로써 행할 수 있다.
도 3은 반송기(21, 22)의 상세를 나타내는 사시도이다. 이 반송기(21, 22)는 이동 경로(3)를 따른 수평 이동 및 임의의 위치에서의 회전이 가능한 베이스(23)와, 베이스(23)의 일단측에 설치되고, 기판(W)의 가장자리부를 지지하는 복수 개의 지지부(24)가 다단(多段)으로 형성된 버퍼 기구(25)와, 베이스(23)의 타단측에 설치된 로봇 아암(26)을 가지며, 로봇 아암(26)은 베이스(23)의 타단측에 설치된 승강축(261)과, 승강축(261)의 승강에 의해 상하 이동이 가능하고, 승강축(261)에 대하여 회전 가능한 제1 아암(262)과, 제1 아암(262)에 대하여 회전 가능한 제2 아암(263)과, 제2 아암(263)에 대하여 회전 가능하며 기판(W)이 적재되는 제3 아암(264)을 갖는다. 베이스(23)의 이동 경로(3)를 따른 이동은, 예컨대 플로어에 설치된 레일에 의해 안내되는 자주 주행차 RGV(Rail Guided Vehicle)에 이용되는 주행 기구를 이용함으로써 실현할 수 있다.
이 반송기(21, 22)는 제1∼제3 아암(262, 263, 264)의 회전에 의해 용기(5)(도 2참조)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하는 위치에 있어서 용기(5)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하는 것, 또한, 처리부(11∼18)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하는 위치에 있어서 처리부(11∼18)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하는 것이 가능하다.
또한, 이 반송기(21, 22)는 용기(5) 혹은 처리부(11∼18)로부터 1장씩 수취한 기판(W)을 순차적으로 버퍼 기구(25)에 수용하여 버퍼 기구(25)에 복수 매의 기판(W)을 저류하는 것 및 버퍼 기구(25)에 수용된 복수 매의 기판(W)을 용기(5) 혹은 처리부(11∼18)에 1장씩 전달하는 것이 가능하다.
또한, 이 반송기(21, 22)는 처리부(11∼18)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하는 위치에 있어서, 처리부(11∼18)로부터 수취한 처리후의 기판(W)을 버퍼 기구(25)에 수용하고, 버퍼 기구(25)에 수용된 처리전의 기판(W)을 처리부(11∼18)에 전달하는 것이 가능하다.
도 2로 되돌아가서, 처리해야 할 기판(W)은 기판 트랜스퍼부(41) 또는 기판 트랜스퍼부(42)에 배치된 기판 수납 용기(5)로부터 반송기(21, 22) 중 어느 하나에 반송기에 부착된 로봇 아암(26)에 의해 옮겨 실리고, 루프형의 이동 경로(3)를 따라서 소정의 처리부 쪽으로 반송된다. 소정의 처리부(도시한 경우 11과 16)와의 사이에서 기판(W)의 교환을 행하기 위한 위치에 있어서, 기판(W)을 각각의 처리부 내에 장입한다. 그리고, 각각의 처리부에서 소정의 처리가 실시된 기판(W)은, 그 위치로 이동하여 온 임의의 한 반송기로 복귀되고, 이동 경로(3)를 따라 복귀하여, 기판 트랜스퍼부(41) 또는 기판 트랜스퍼부(42)에 배치된 기판 수납 용기(5)에 기판(W)을 복귀시키거나, 혹은, 다른 처리부로 반송한다. 이 때, 각각의 처리부에 있어서, 처리 시간이 다르더라도 빨리 처리가 종료한 기판은 반송기가 2대 있기 때문에, 또한, 이동 경로(3)가 루프형을 형성하고 있기 때문에, 소정의 장소로 빠르게 반송할 수 있다.
도 2에 나타내는 처리 장치(10)에 있어서는, 반송기가 2대 있으며, 이동 경로(3)가 루프형을 형성하고 있음으로써, 1대의 반송기가 처리부 또는 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하고 있는 동안에, 그 반송기에 저해받지 않고, 그 반송기가 기판의 교환을 행하고 있는 처리부 또는 용기 이외의 임의의 처리부 또는 용기에 대하여, 다른 반송기가 기판(W)을 반송하여 옮겨 실을 수 있다. 이에 의해, 2대의 반송기의 각각의 가동 효율을 높여, 2대의 반송기의 전체적인 전송 능력(단위 시간당 반송 가능한 기판 매수)을 향상시킬 수 있다.
또한 도 2에 나타낸 예에서는, 기판 트렌스퍼부(41, 42)의 각각을 처리전의 기판(W)의 취출과 처리후의 기판(W)의 장전을 모두 행하기 위한 기판 트랜스퍼부로 하고 있지만, 도 2의 처리 장치(10)에 있어서, 기판 트랜스퍼부(41)를 처리전의 기판(W)의 취출을 위한 기판 트랜스퍼부로 하고, 기판 트랜스퍼부(42)를 처리후의 기판(W)의 장전을 위한 기판 트랜스퍼부로 하여도 좋다.
도 4는 본 발명에 따른 처리 장치의 제2예를 나타내는 것으로서, 이 처리 장치(20)의 경우, 도 2의 경우와 마찬가지로, 처리부(11∼18)는 주변에 배치되어 있지만, 이동 경로(3)는 두 개의 주반송로(31a, 31b)와, 그들을 연결하는 연결로(32)를 가지며, 2대의 반송기(21, 22) 각각은 조작 프로그램에 의해 서로 간섭하지 않도록 이동 조작된다. 그리고, 용기로부터 처리전의 기판을 취출하기 위한 기판 트랜스퍼부(43)와, 처리후의 기판을 용기에 옮겨 싣기 위한 기판 트랜스퍼부(44)는, 각각 장치(20)의 양측에 떨어져 배치되어 있으며, 그 때문에, 반송기(21, 22)에 기판을 옮겨 싣는 것을 서로 간섭받지 않게 효율적으로 행할 수 있다. 기판 트랜스퍼부(43)에는 용기(5a, 5b)가 배치되고, 기판 트랜스퍼부(44)에는 용기(5c, 5d)가 배치된다. 처리부(11∼15) 및 용기(5a, 5c)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 각 위치는 주반송로(31a) 상에 있으며, 처리부(16∼18) 및 용기(5b, 5d)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 각 위치는 주반송로(31b) 상에 있다.
도 5는 본 발명에 따른 처리 장치의 제3예를 나타내는 것으로서, 이 처리 장치(30)의 경우, 처리부(11∼14)는, 장치의 일측에만 배치된 예로서, 이동 경로(3)는 주반송로(33)와, 주반송로(33)로부터 분기되어, 각 처리부(11∼15)마다 마련된 분기로(34a∼34e)와, 주반송로(33)로부터 분기되어, 각 용기(5a∼5d)마다 마련된 분기로(35a∼35d)를 가지며, 2대의 반송기(21, 22) 각각은, 조작 프로그램에 의해 서로 간섭하지 않도록 이동 조작된다. 기판 트랜스퍼부(43)에는 용기(5a, 5b)가 배치되고, 기판 트랜스퍼부(44)에는 용기(5c, 5d)가 배치된다.
처리부(11∼15)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 각 위치는, 각각 분기로(34a∼34e) 상에 있으며, 각 용기(5a∼5d)와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 각 위치는 각각 분기로(35a∼35d) 상에 있다.
도 5에 나타내는 처리 장치(30)에 있어서는, 도 2의 경우와 마찬가지로, 하나의 반송기가 어느 장소에 정지하고 있더라도 그 반송기에 저해받지 않고, 그 반송기가 기판의 교환을 행하고 있는 처리부 또는 용기 이외의 임의의 처리부 또는 용기에 대하여, 다른 반송기가 기판(W)을 반송하여 옮겨 실을 수 있다.
또한, 도 5에 나타내는 이동 경로(3)에 의하면, 도 5에 나타내는 처리 장치(30)에 있어서, 반송기의 대수를 3대 이상으로 한 경우에 있어서도, 동일한 특징을 가질 수 있다.
예컨대, 도 5에 있어서 이동 경로(3) 위에 반송기를 3대 설치한 경우, 제1, 제2 반송기가 각각 처리부(11, 15)와의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있을 때에, 제3 반송기가 처리부(12∼14) 및 용기(5a∼5d) 중 어느 하나에 기판을 반송하여 옮겨 실을 수 있게 된다.
이와 같이, 도 5에 나타내는 이동 경로(3)에 의하면, 처리 장치가 3대 이상의 반송기를 갖는 경우에 있어서도, 용기 또는 처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하고 있는 반송기에 저해받지 않고, 그 반송기가 기판의 교환을 행하고 있는 용기 또는 처리부 이외의 임의의 용기 및 처리부에 대하여 다른 반송기가 기판을 반송하여 옮겨 실을 수 있게 되기 때문에, 반송기의 가동 효율을 높여, 복수 개의 반송기의 전체적인 반송 능력(단위 시간당 반송 가능한 기판 매수)을 향상시킬 수 있다.
도 5에 나타내는 이동 경로(3)에 의한 이러한 특징은, 예컨대, 용기 또는 처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 위치에 정지한 반송기가 용기 또는 처리부에 대하여 버퍼 기구(25)에 수용된 복수 개의 기판을 1장씩 옮겨 싣거나, 용기 또는 처리부로부터 버퍼 기구(25)에 복수 개의 기판을 1장씩 옮겨 싣는 경우와 같이, 용기 또는 처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 위치에 있어서의 기판의 교환에 장시간을 필요로 하는 경우에 특히 유효하다.
또한, 도 4, 도 5에 도시한 예에서는, 기판 트랜스퍼부(43)를 처리전의 기판(W)의 취출을 위한 기판 트랜스퍼부로 하고, 기판 트랜스퍼부(44)를 처리후의기판(W)의 장전을 위한 기판 트랜스퍼부로 하고 있지만, 도 4, 도 5의 처리 장치(20, 30)에 있어서, 기판 트랜스퍼부(43, 44) 각각을 처리전의 기판(W)의 취출과 처리후의 기판(W)의 장전 모두를 행하기 위한 기판 트랜스퍼부로 하여도 좋다.
도 6은 본 발명의 처리 장치의 제4예를 나타내는 것으로서, 이 처리 장치의 경우, 도 2의 예와 마찬가지로, 처리부(11∼15, 16∼18)는 반송기(21, 22)의 이동 경로(3)의 양측에 배치된다. 이동 경로(3)는 이동 경로(3a, 3b)로 이루어지고, 상기 이동 경로(3a, 3b)는 각각 상호 평행한 직선형으로 되어 있다. 각각의 이동 경로(3a, 3b) 상에서 이동 가능한 구성의 반송기(21, 22)는 조작 프로그램에 의해서 상호 간섭하지 않도록 이동 조작된다.
이 예에서는, 이동 경로가 곡선 부분을 갖는 다른 예에 비하여, 반송기(21, 22)의 방향 전환을 위한 회전 반경(이동 경로의 곡선 부분의 곡율 반경)을 고려할 필요가 없기 때문에, 반송실(6)의 면적을 작게 할 수 있다. 따라서 처리 장치 전체의 설치 면적을 축소할 수 있다.
도 6의 예의 경우, 처리부(11∼15) 중 어느 하나에 있어서의 처리와 처리부(16∼18) 중 어느 하나에 있어서의 처리 사이에서 연속적으로 처리를 속행할 필요가 없는 경우에는, 복수 개의 반송기(21, 22)는, 반송기(21)가 처리부(11∼15)에, 반송기(22)가 처리부(16∼18)에 각각 기판(W)을 반송한다. 이에 대하여, 처리부(11∼15) 중 어느 하나에 있어서의 처리와 처리부(16∼l8) 중 어느 하나에 있어서의 처리 사이에서 연속적으로 처리를 속행해야 할 필요가 있는 경우에는, 필요에 따라서 복수 개의 반송기(21, 22) 사이에서, 각각의 트랜스퍼기(로봇 아암)에 의해기판(W)을 직접 교환해도 좋고, 혹은 2개의 이동 경로(3a, 3b) 사이의 중앙 부근에 설치된 버퍼부(27)를 매개로[한쪽 트랜스퍼기가 기판(W)을 일단 임시로 얹어 둔 후, 다른 쪽 트랜스퍼기가 그것을 집으러 감으로써] 상호간의 교환을 행하여도 좋다. 버퍼부(27)는 고정식의 단순한 임시 받침대로서 구성하면, 구동 장치를 설치할 필요가 없고, 예컨대 구동 장치의 고장에 의해 사용할 수 없게 된다고 하는 문제점이 발생하지 않는다고 하는 점에서 바람직하지만, 상하 이동에 의해 반송기와의 간섭을 피할 수 있도록 상하 이동 가능하게 구성하여도 좋다. 또한, 버퍼부(27)를 도 3에 있어서의 버퍼 기구(25)와 같이 구성하여, 복수 매의 기판을 다단으로 수용할 수 있도록 하여도 좋다. 이 경우, 로봇 아암 간에 기판을 한 장씩 교환할 때에 버퍼부(27)가 상하 이동할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.
더욱이, 도 6의 예의 경우, 반송기(21, 22)의 각각의 드랜스퍼기의 트랜스퍼 범위를 대향하는 쪽의 처리부까지 닿도록 구성하는 것도 가능하다. 그와 같이 함으로써, 반송기(21)의 트랜스퍼기가 직접 처리부(16∼18)에, 반송기(22)의 트랜스퍼기가 직접 처리부(11∼15)에 기판을 반송할 수 있게 된다. 그 경우, 예컨대 도시한 바와 같이, 각각의 트랜스퍼기가 다관절 아암으로 구성되는 경우, 관절(21a, 22a)의 수, 및/또는 아암(21b, 22b)의 길이를 적절한 길이로 설계함으로써 실현될 수 있다. 마찬가지로, 이들 각각의 트랜스퍼기의 구성을 적절하게 설계함으로써, 각 반송기(21, 22)가 기판 수용부(5a, 5b)의 어느 곳이라도 기판(W)을 반송 가능하게 할 수 있다.
도 7, 도 8, 도 9, 도 10 및 도 11은 도 6에 나타내는 처리 장치의 예에 있어서의 반송기(22)의 트랜스퍼기의 동작예를 나타낸다. 이들 예에 나타낸 바와 같이, 트랜스퍼기의 설계에 의해, 반송기(22)로부터 기판 수용부(5b) 간의 기판의 교환(도 7), 기판 수용부(5a) 간의 기판의 교환(도 10), 처리부(18) 간의 기판의 교환(도 8), 처리부(11) 간의 기판의 교환(도 11) 및 반송기(21, 22) 간의 기판의 교환(도 9)이 가능하게 된다. 또한, 도 9, 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 반송기(21, 22)가 갖는 2개의 트랜스퍼기(로봇 아암)는 선단의 제3 아암의 형상이 상호 다르고(한쪽은 주걱형, 다른 쪽은 포크형), 또한, L자형의 굴곡 방향이 상호 반대이다. 더욱이, 제1, 제2, 제3 아암의 회전 방향도 2개의 트랜스퍼기에서 상호 반대 방향의 구성이다. 이와 같이 구성함으로써, 도 9에 나타내는 바와 같이, 반송기(21, 22) 간의 기판(W)의 직접 교환시에, 서로의 제3 아암이 간섭하는 것이 방지되어, 교환이 효율적이고 또한 원활하게 이루어질 수 있다. 또한, 이와 같이 각각의 반송기가 갖는 2개의 트랜스퍼기의 형상, 동작, 기능이 상호 다르도록 구성함으로써, 각 기판 수용부(5a, 5b), 처리부(11∼18)에 대한 액세스시에, 각각의 상황에 따라서 사용하기 쉬운 구성을 갖는 트랜스퍼기 쪽을 사용함으로써, 보다 효율적으로 기판의 교환을 행할 수 있게 된다. 또한, 각 트랜스퍼기(로봇 아암)는 주지의 벨트와 풀리 기구에 의한 동력 전달 기구를 채용함으로써, 아암의 각 관절(각각, 어깨, 팔꿈치, 손목에 대응)의 회전 각도에 대응 관계를 갖게 함으로써 하나의 구동원(모터 등)으로 3개의 관절을 동시에 동작시키는 것이 가능하다. 단, 그와 같은 동력 전달 기구를 채용한 경우에 각 기판 수용부(5a, 5b), 처리부(11∼18) 주위의 구조 등에 의해 도 7 내지 도 11에 나타내는 동작을 실행하는 것이 곤란한 경우에는 각 관절의 각각, 또는 그 중의 복수 개의 관절마다 구동원을 설치하는 구성을 채용하면 좋다.
또한, 도 6의 예의 경우, 3라인 이상의 이동 경로를 마련하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 그 경우, 양측의 이동 경로 상의 반송기는 오로지 각각 가까운 쪽의 처리부 사이의 기판의 교환을 담당하고, 중앙의 이동 경로 상의 반송기는 어느 쪽의 처리부라도 상관없는 것으로 함으로써, 반송 계획에 유연성을 갖게 할 수 있게 되어, 보다 효율적인 반송 계획 수립이 가능해진다.
도 12는 본 발명의 처리 장치의 제5예를 나타내는 것(단, 동 도면에서는 간략화할 목적으로 각 반송기가 갖는 트랜스퍼기의 도시를 생략하고 있다)으로, 이 처리 장치의 경우, 도 6의 예와 달리 직선형의 이동 경로(3)는 1라인뿐이며, 처리부(11∼18)는 도면 중, 이동 경로(3)의 우측에 배치되고, 기판 수용부(5a, 5b)는 이동 경로(3)의 좌측에 배치되어 있다. 이 구성은 도 6의 구성보다 더욱 반송실(6)의 면적을 축소할 수 있다. 이 경우, 도면 중, 상부와 하부에 각각 후퇴 영역(6a, 6b)이 마련되어 있고, 예컨대 반송기(21)가 후퇴 영역(6a)으로 후퇴함으로써, 반송기(22)는 필요한 이동 범위의 전역을 이동할 수 있게 되며, 반대로 반송기(22)가 후퇴 영역(6b)으로 후퇴함으로써, 반송기(21)는 필요한 이동 범위의 전역을 이동할 수 있게 된다. 더욱이, 도면 중, 이동 경로(3)의 좌측에 버퍼부(27)를 수용한 버퍼실(28)이 마련되어 있고, 반송기(21, 22)가 상호 기판(W)을 교환할 때에 버퍼부(27)를 임시 받침대로서 이용할 수 있다.
또, 중복 설명은 생략하지만, 상기 이외에, 도 6, 도 12의 예에 있어서도 전술한 도 2, 도 4, 도 5의 예에서 설명한 바와 같은 작용 효과를 보임은 말할 필요도 없다.
도 13은 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 일례를 나타내는 평면도이다.
이 처리부는, 볼트(61)에 의해 플랜지부(62)를 반송실(6)의 측벽(63)에 착탈 가능하게 고정함으로써, 개폐 가능한 게이트 밸브(64)를 매개로 반송실(6)에 착탈 가능하게 접속된 로드 로크실(60)과, 게이트 밸브(65)를 매개로 로드 로크실(60)에 접속되고, 내부에 트랜스퍼기(66)가 배치된 트랜스퍼실(67)과, 게이트 밸브(68)를 매개로 트랜스퍼실(67)에 접속된 진공 처리실(69)을 갖는다.
이 처리부에 따르면, 반송기(21, 22)에 의해 로드 로크실(60) 내의 기판 적재부(70)에 반입된 기판(W)을, 트랜스퍼기(66)에 의해서 진공 처리실(69) 내의 기판 적재부(71)에 옮겨 싣고, 진공 처리실(69)에 있어서 기판에 소정의 진공 처리를 행하며, 트랜스퍼기(66)에 의해 기판을 진공 처리실(69) 내의 기판 적재부(71)로부터 로드 로크실(60) 내의 기판 적재부(70)에 옮겨 싣고, 로드 로크실(60) 내의 기판 적재부(70)로부터 기판을 반송기(21, 22)에 의해 반출할 수 있다. 이 처리부에 있어서는, 기판에 대하여, 예컨대 에칭 처리나 CVD 처리와 같은 진공 처리를 행하는 것이 가능하다.
도 14는 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 다른 예를 나타내는 평면도이다. 이 처리부는 볼트(61, 61')에 의해 플랜지부(62, 62')를 반송실(6)의 측벽(63)에 착탈 가능하게 고정함으로써, 개폐 가능한 게이트 밸브(64, 64')를 매개로 반송실(6)에 착탈 가능하게 접속된 2개의 로드 로크실(60, 60')과, 게이트 밸브(65, 65')를 매개로 로드 로크실(60, 60')에 각각 접속되고, 각각 내부에 트랜스퍼기(66, 66')가 배치된 2개의 트랜스퍼실(67, 67')과, 게이트 밸브(68, 68')를 매개로 트랜스퍼실(67, 67')에 각각 접속된 2개의 진공 처리실(69, 69')과, 게이트 밸브(72, 73)를 매개로 트랜스퍼실(67, 67') 쌍방에 접속된 1개의 중계실(74)을 갖는다.
이 처리부에 의하면, 반송기(21, 22)에 의해 로드 로크실(60) 내의 기판 적재부(70)에 반입된 기판을 트랜스퍼기(66)에 의해 진공 처리실(69) 내의 기판 처리실(71)에 옮겨 싣고, 진공 처리실(69)에 있어서 기판에 소정의 진공 처리를 행하며, 트랜스퍼기(66)에 의해 기판을 진공 처리실(69) 내의 기판 적재부(71)로부터 중계실(74)의 기판 적재부(75)에 옮겨 싣고, 트랜스퍼기(66')에 의해 기판을 중계실(74)의 기판 적재부(75)로부터 진공 처리실(69') 내에 옮겨 싣고, 진공 처리실(69')에 있어서 기판에 소정의 진공 처리를 행하고, 그 후, 트랜스퍼기(66')에 의해 기판을 진공 처리실(69') 내로부터 로드 로크실(60') 내의 기판 적재부(70')에 옮겨 싣고, 로드 로크실(60') 내의 기판을 반송기(21, 22)에 의해 반출하는 것이 가능하다. 이 처리부에 있어서는, 2개의 진공 처리실(69, 69')를 이용하여, 기판에 대하여, 예컨대 CVD에 의한 기판 위에의 산화 탄탈막의 성막 처리와, 산화 탄탈막의 어닐링 처리와 같은 연속 처리를 행하는 것이 가능하다.
도 15는 진공 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 또 다른 예를 나타내는 것이다.
이 처리부는, 볼트(61, 61')에 의해 플랜지부(62, 62')를 반송실(6)의 측벽(63)에 착탈 가능하게 고정함으로써, 개폐 가능한 게이트 밸브(64, 64')를 매개로 반송실(6)에 착탈 가능하게 접속된 2개의 로드 로크실(60, 60')과, 게이트 밸브(65, 65')를 매개로 2개의 로드 로크실(60, 60')의 쌍방에 접속되고, 내부에 트랜스퍼기(80)가 배치된 1개의 공통 트랜스퍼실(81)과, 게이트 밸브(82∼85)를 매개로 공통 트랜스퍼실(81)에 각각 접속된 4개의 진공 처리실(86∼89)을 갖는다.
이 처리부에 의하면, 반송기에 의해 어느 하나의 로드 로크실(60, 60') 내의 기판 적재부(70, 70')에 반입된 기판을 트랜스퍼기(80)에 의해 진공 처리실(86∼89) 내의 기판 적재부(90∼93)에 옮겨싣고, 진공 처리실(86∼89)에 있어서 기판에 소정의 처리를 행하며, 트랜스퍼기(80)에 의해 기판을 진공 처리실(86∼89) 내의 기판 적재부(90∼93)로부터 어느 하나의 로드 로크실(60, 60') 내의 기판 적재부(70, 70')에 옮겨싣고, 로드 로크실(60, 60') 내의 기판 트랜스퍼부(70, 70')의 기판을 반송기에 의해 반출하는 것이 가능하다.
이 처리부에 있어서, 4개의 진공 처리실(86∼89)을, 연속적인 처리를 행하기 위한 상호 다른 진공 처리실로 한 경우에는, 기판에 대하여 연속 처리를 행하는 것이 가능하다. 예컨대, 4개의 진공 처리실(86∼89)을 각각 산화막의 플라즈마 에칭, 스퍼터 성막, CVD, 텅스텐의 플라즈마 에칭을 행하기 위한 처리실로 하고, 각각의 기판을 4개의 진공 처리실(86∼89)에 순차적으로 반입하여, 각각의 처리부에서 처리를 행하는 것에 의해, 층간 절연층의 플라즈마 에칭에 의한 관통홀의 형성→스퍼터 성막에 의한, 관통홀에 대한 오옴 접촉층으로서의 티탄층, 오옴 접촉층 위의 배리어층으로서의 질화티탄층의 형성→CVD에 의한, 배리어층 위에의 텅스텐층의 형성→텅스텐층의 플라즈마 에칭에 의한 텅스텐층의 에치백과 같은 연속 처리를 기판에 대하여 행할 수 있다.
또한, 이 처리부에 있어서, 4개의 진공 처리실(86∼89)을 동종의 처리를 행하기 위한 진공 처리실로 한 경우에는, 복수 개의 기판에 대하여 동종의 처리를 병행하여 행하는 것이 가능해진다.
도 16은 대기압하에서의 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 일례를 나타내는 것이다. 이 처리부는, 볼트(100)에 의해서 플랜지부(101)를 반송실(6)의 측벽(63)에 착탈 가능하게 고정함으로써, 개폐 가능한 셔터(102)를 매개로 반송실(6)에 착탈 가능하게 접속되고, 내부에 기판 적재부(103)를 갖는 처리실(104)을 갖는다.
이 처리부에 의하면, 반송기에 의해 처리실(104) 내의 기판 적재부(103)에 반입된 기판에 소정의 처리를 행할 수 있다. 이 처리부에 의하면, 기판에 대하여 예컨대, 레지스트 도포 처리나 웨트 세정 처리와 같은 처리를 행할 수 있다.
도 17은 대기압하에서의 처리를 행하기 위한 처리부의 형태의 다른 예를 나타내는 것이다. 이 처리부는 볼트(110)에 의해 플랜지부(111)를 반송실(6)의 측벽(63)에 착탈 가능하게 고정함으로써, 개폐 가능한 셔터(112)를 매개로 반송실(6)에 착탈 가능하게 접속되고, 내부에 기판 적재부(113)와 트랜스퍼기(114)를 구비한 트랜스퍼실(115)과, 개폐 가능한 셔터(116∼119)를 매개로 트랜스퍼실(115)에 접속된 4개의 처리실(120∼123)을 갖는다.
이 처리부에 의하면, 반송기에 의해 트랜스퍼실(115) 내의 기판 적재부(113)에 반입된 기판을 트랜스퍼기(114)에 의해 처리실(120∼123) 내의 기판 적재부(124∼127)에 옮겨 싣고, 처리실(120∼123)에 있어서 기판에 소정의 처리를 행할 수 있다.
이 처리부에 있어서, 4개의 처리실(120∼123)을 연속적인 처리를 행하기 위한 상호 다른 처리실로 한 경우에는, 기판에 대하여 연속 처리를 행할 수 있다. 예컨대, 4개의 처리실(120∼123)을 레지스트 도포 처리, 도포 후의 베이킹 처리, 현상 처리, 현상 후의 베이킹 처리를 위한 처리실로 하고, 각각의 기판을 4개의 처리실(120∼123)에 순차적으로 반입하고, 각각의 처리부에서 처리를 행함으로써, 레지스트 도포 처리→도포 후의 베이킹 처리→(처리부에 접속된 도시하지 않은 노광 장치에 의해 노광된 기판에 대한) 현상 처리→현상 후의 베이킹 처리와 같은 연속 처리를 기판에 대하여 행할 수 있다.
또한, 이 처리부에 있어서, 4개의 처리실(120∼123)을 동종의 처리를 행하기 위한 처리실로 한 경우에는, 복수 개의 기판에 대하여 동종의 처리를 병행하여 행할 수 있다.
도 18은 처리 장치의 실시 형태의 다른 예를 나타낸 것이다.
이 처리 장치가 도 2에 나타낸 처리 장치와 상이한 곳은, 반송기가 용기, 처리부와의 사이에서 기판의 교환을 행하기 위한 로봇 아암을 가지고 있지 않다는 점이다.
이 처리 장치의 경우에는, 예컨대 도 15 내지 도 17에 나타낸 처리부의구조[의 반송실(6)에 접속되는 쪽]에, 내부에 트랜스퍼기(131∼138)를 구비한 트랜스퍼실(141∼148)을 접속한 것을 처리부(11∼18)로 하고, 트랜스퍼기(131∼138)에 의해 반송기(21, 22)와 트랜스퍼실(141∼148) 사이(반송기와 처리부 사이)에서의 기판의 교환을 행하도록 하면 좋다. 이 경우, 기판 트랜스퍼부(4)의 수납 용기(5)와 반송기(21, 22)의 버퍼 기구 사이에서 기판(W)을 옮겨 싣는 것은 트랜스퍼기(130)를 이용한다.
또, 상기 이외에도, 도 4, 도 5, 도 6, 도 12의 예에 있어서도, 트랜스퍼기를 반송기가 아니라, 처리부 및 기판 수용부측에 설치하는 것이 가능함은 말할 필요도 없다.
전술한 처리 장치에 있어서는, 복수 개의 처리부를 가지고 있기 때문에, 다양한 처리를 행할 수 있다.
예컨대, 도 2의 처리 장치에 있어서, 처리부(11∼18)를 에칭 처리부로 한 경우에는, 8개의 에칭 처리부를 이용한 병행 처리를 행하므로 복수 개의 기판에 대한 에칭 처리를 단시간에 행할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 2의 처리 장치에 있어서, 처리부(11∼13)를 에칭 처리부, 처리부(14, 15)를 애싱 처리부, 처리부(16∼18)를 세정 처리부로 한 경우에는, 처리부(11∼13) 중 어느 하나→처리부(14, 15) 중 어느 하나→처리부(16∼18) 중 어느 하나의 순으로 기판을 반송하고, 각각의 처리부에서 처리를 행함으로써, 기판에 대하여 에칭→애싱→세정의 연속 처리를 단시간에 행할 수 있다.
또한, 예컨대 도 2의 처리 장치에 있어서, 검사 장치를 처리부(11∼15)의 열및 /또는 처리부(16∼18)의 열에 나란하게 설치하고, 검사 장치에 대한 기판의 반입 및 반출도 반송기(21, 22)에 의해 행하도록 구성하며, 처리부에 있어서의 처리 전 및/또는 후에, 기판에 대하여 예컨대, 전기적 특성의 검사 등의 소정의 검사를 행하도록 하여도 좋다.
또한, 도 2, 도 4, 도 5, 도 6, 도 12, 도 18의 처리 장치에 있어서, 기판 트랜스퍼부(41)에 배치된 용기(5)로부터 각 처리부로 반송할 때에 반송기(21)와 반송기(22) 쌍방이 이용되어, 기판 트랜스퍼부(41)에 배치된 하나의 용기(5) 내에 수용된 모든 기판에 대한 처리를 단시간에 완료할 수 있다.
더욱이, 도 2, 도 4, 도 5, 도 6, 도 12, 도 18의 처리 장치에 있어서, 반송기(21, 22)는 그 전체가 이동 경로(3)를 따라서 이동 가능하기 때문에, 이동 경로(3)를 확장하여 반송기(21, 22)의 이동 범용을 확장함으로써, 처리부의 증설을 용이하게 행할 수 있다.
도 13 내지 도 17의 처리부와 같이, 처리부를 반송실에 대하여 볼트에 의해 착탈 가능하게 접속하는 구조로 함으로써, 처리부의 교환이나 증설을 용이하게 행할 수 있다.
본 발명은 상기 각 실시 형태의 예로 한정되지 않고, 본 발명의 범위 내에서 여러 가지 변형예가 가능함은 말할 필요도 없다.
본원의 기초 출원인 2000년 4월5일 출원의 일본국 특허 출원 평2000-103402호의 모든 내용을 인용하며 여기에 포함하는 것으로 한다.

Claims (13)

  1. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    상기 반송기의 이동 경로 각각이, 상기 처리부의 배열을 따르는 복수 개의 경로로 이루어지며,
    상기 반송기 각각이, 단일로 상기 이동 경로의 양측 처리부 또는 트랜스퍼부 사이에서의 피처리체의 교환이 가능한 처리 장치.
  2. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    상기 반송기의 이동 경로 각각이, 상기 처리부의 배열을 따르는 복수 개의 경로로 이루어지며,
    복수 개의 경로 사이에 임시 받침부를 마련함으로써, 복수 개의 반송기 간의 임시 받침부를 매개로 한 피처리체의 교환을 가능하게 하는 처리 장치.
  3. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    상기 반송기의 이동 경로 각각이, 상기 처리부의 배열을 따르는 복수 개의 경로로 이루어지며,
    복수 개의 반송기 간의 직접적인 피처리체의 교환을 가능하게 하는 처리 장치.
  4. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해서 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    상기 반송기의 이동 경로가 단일 경로만으로 이루어지며,
    상기 단일 경로는 그 양단이 각각 막힌 처리 장치.
  5. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    주반송로와, 주반송로로부터 분기되어 상기 복수 개의 처리부 각각에 대응하는 상기 제2 위치에 이르는, 각 처리부마다 마련된 복수 개의 분기로를 갖는 처리 장치.
  6. 처리전의 피처리체의 취출과 처리후의 피처리체의 장전을 행하기 위해 용기를 배치하는 트랜스퍼부와,
    피처리체에 소정의 처리를 행하기 위한 처리부와,
    트랜스퍼부에 배치된 용기와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제1 위치와 처리부와의 사이에서 피처리체의 교환을 행하기 위한 제2 위치 사이에서 피처리체를 반송하는 복수 개의 반송기를 가지며,
    상기 복수 개의 반송기 각각이, 상기 제1 위치와 상기 제2 위치 사이에서 이동이 가능하고,
    용기로부터의 피처리체의 취출을 위한 트랜스퍼부와 용기 내에 피처리체의 장전을 행하는 트랜스퍼부를 공통화한 처리 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피처리체는 반도체 기판으로 이루어지고, 처리부에서 행해지는 처리는 반도체 제조에 관한 처리로 이루어지는 것인 처리 장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송기는 각각 복수 개의트랜스퍼기를 가지며,
    각 트랜스퍼부의 형상, 동작, 기능이 상호 다른 것인 처리 장치.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송기는 트랜스퍼기를 가지며, 이 트랜스퍼기는 복수 개의 아암부와 이들을 접속하는 관절부로 이루어지는 것인 처리 장치.
  10. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 각 처리부 및 트랜스퍼부는 트랜스퍼기를 가지며, 이 트랜스퍼기에 의해 피처리체가 각 처리부 및 트랜스퍼부와 반송기 사이에서 교환되는 것인 처리 장치.
  11. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수 개의 경로는 상호 대략 평행하고 각각 대략 직선형으로 되며, 양단이 막힌 구성으로 된 것인 처리 장치.
  12. 제4항에 있어서, 상기 단일의 경로는 대략 직선형으로 된 것인 처리 장치.
  13. 제4항에 있어서, 상기 처리실에는 후퇴 영역이 마련되는 것인 처리 장치.
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