JP5772800B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
なお、特許請求の範囲および上記手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
図1に示す搬送システム40は、半導体装置を製造する生産設備10に採用される搬送用のシステムであって、それぞれ複数の製造装置を有する各工程に対して製造対象となる被搬送物を搬送するように機能する。この搬送システム40は、第1工程20および第2工程30を含めた複数の工程間の工程間搬送を実施するとともに、各工程内のそれぞれの製造装置同士間等での工程内搬送を実施するように構成されている。
搬送システム40は、工程間搬送手段として機能する1または2以上のOHT(Overhead Hoist Transport)41と、第1工程20および第2工程30の工程内搬送手段として機能するRGV(Rail Guided Vehicle)42,43と、中継受渡部44と、搬送システム40の全体制御を司る制御装置45とを備えている。
RGV42は、第1工程20の受渡部23、洗浄装置21および各拡散炉22a〜22hの配列方向に沿い搬送経路が直線状に敷設されたレール42a上を被搬送物を把持した状態で走行するように構成されている。なお、RGV42は、特許請求の範囲に記載の「第1搬送台車」の一例に相当し得る。
まず、RGV42は、走行台車部51がレール42a上を走行することで搬送ハンド52を受取対象のステージまで移動させ、伸縮部52bが所定の位置まで伸縮することで把持部52cをステージ上の被搬送物を把持可能な位置に移動させる。そして、把持部52cの把持動作により被搬送物が把持され、この把持状態で伸縮部52bが搬送ポジションに戻ることで、被搬送物がRGV42により搬送可能に把持された状態となる。
まず、RGV42は、走行台車部51がレール42a上を走行することで被搬送物を把持した搬送ハンド52を載置対象のステージまで移動させ、伸縮部52bが所定の位置まで伸縮することで把持部52cに把持された被搬送物をステージ上に移動させる。そして、把持部52cの把持解除動作により被搬送物がステージ上に載置される。
中継受渡部44は、その載置面44aに被搬送物が一時的に載置される中継用のステージであって、レール42aとレール43aとの間であって、RGV42およびRGV43によりそれぞれ被搬送物を受け渡し可能な位置に配置されている。特に、中継受渡部44は、旋回機構(図示略)を備えており、当該旋回機構の動作に応じて、図3に示すように、載置面44aが旋回軸Lを中心に当該載置面44aに沿う方向に少なくとも180度旋回するように構成されている。この旋回機構は、載置面44aに被搬送物を載置したRGV42またはRGV43からの指令に応じて180度旋回するように駆動制御される。なお、図3では、載置面44aの旋回前の被搬送物Wを実線にて示し、180度旋回後の被搬送物Wを二点鎖線にて示している。
制御装置45は、図4に示すように、工場全体制御を司る上位端末からの搬送指令に応じて、OHT41等を用いた工程間搬送制御と、RGV42,43等を用いた工程内搬送制御とを実施する。また、制御装置45は、上記搬送指令に応じて、受渡部23,33等の各工程の工程内搬送経路端にそれぞれ設けられる受渡部の受渡制御を実施する。
RGV42とRGV43との被搬送物の受け渡しを中継する受渡部として、上述した中継受渡部44に代えて、載置面のうち被搬送物が載置される部位と載置面の旋回中心Lとを当該載置面に沿う方向にずらして形成された中継受渡部を採用してもよい。
(1)本発明は、半導体装置を製造する生産設備の搬送システムに適用されることに限らず、それぞれ複数の製造装置を有する複数の工程に対して被搬送物を工程間搬送および工程内搬送する搬送システムに適用されてもよい。
21,31…洗浄装置(製造装置)
22a〜22h,32a〜32h…拡散炉(製造装置)
23…受渡部(第1受渡部) 33…受渡部(第2受渡部)
40…搬送システム
41…OHT(工程間搬送手段)
42…RGV(第1搬送台車)
43…RGV(第2搬送台車)
44,46…中継受渡部
44a,46a…載置面
Claims (3)
- それぞれ複数の製造装置(21,22a〜22h,31,32a〜32h)を有する第1工程(20)および第2工程(30)を含めた各工程に対して被搬送物を工程間搬送する工程間搬送手段(41)を有する搬送システム(40)であって、
前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第1受渡部(23)と前記第1工程のいずれかの製造装置との間および前記第1工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第1搬送台車(42)と、
前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第2受渡部(33)と前記第2工程のいずれかの製造装置との間および前記第2工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第2搬送台車(43)と、
前記第1搬送台車および前記第2搬送台車によりそれぞれ被搬送物を受け渡し可能な位置に配置される中継受渡部(44,46)と、
を備え、
前記中継受渡部は、前記第1搬送台車の搬送路と前記第2搬送台車の搬送路との間に配置されて、前記被搬送物が載置される載置面(44a,46a)が当該載置面に沿う方向に少なくとも180度旋回可能に構成され、
前記被搬送物が前記載置面上に載置されているか否かを検知するセンサを備え、
前記中継受渡部は、前記センサにより前記被搬送物の載置が検知されると180度旋回することを特徴とする搬送システム。 - 前記中継受渡部は、前記載置面のうち前記被搬送物が載置される部位(47)が、180度旋回する前と後とで前記搬送路までの距離が異なるように、当該載置面の旋回中心(L)に対してずれて形成されることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。
- それぞれ複数の製造装置(21,22a〜22h,31,32a〜32h)を有する第1工程(20)および第2工程(30)を含めた各工程に対して被搬送物を工程間搬送する工程間搬送手段(41)を有する搬送システム(40)であって、
前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第1受渡部(23)と前記第1工程のいずれかの製造装置との間および前記第1工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第1搬送台車(42)と、
前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第2受渡部(33)と前記第2工程のいずれかの製造装置との間および前記第2工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第2搬送台車(43)と、
前記第1搬送台車および前記第2搬送台車によりそれぞれ被搬送物を受け渡し可能な位置に配置される中継受渡部(44,46)と、
を備え、
前記中継受渡部は、前記第1搬送台車の搬送路と前記第2搬送台車の搬送路との間に配置されて、前記被搬送物が載置される載置面(44a,46a)が当該載置面に沿う方向に少なくとも180度旋回可能に構成されて、前記載置面のうち前記被搬送物が載置される部位(47)が、180度旋回する前と後とで前記搬送路までの距離が異なるように、当該載置面の旋回中心(L)に対してずれて形成されることを特徴とする搬送システム。
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