JP6330596B2

JP6330596B2 - 搬送システム

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Publication number: JP6330596B2
Application number: JP2014187798A
Authority: JP
Inventors: 雅明畔柳; 寿浩奥村; 圭佑吉田; 賢司大田
Original assignee: Murata Machinery Ltd; Denso Corp
Current assignee: Murata Machinery Ltd; Denso Corp
Priority date: 2014-09-16
Filing date: 2014-09-16
Publication date: 2018-05-30
Anticipated expiration: 2034-09-16
Also published as: TWI626703B; US20160079103A1; US9805961B2; TW201630104A; JP2016060561A

Description

本発明は、半導体装置の生産工場等において被処理物を搬送する搬送システムに関するものである。

従来より、半導体装置の生産工場等において、複数の処理装置を設置し、半導体ウェハ等の被処理物を各処理装置に順に移動させることによって各工程が実施されるようにした搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。

具体的には、このような搬送システムでは、複数の処理装置と共に、処理装置で処理される前の被処理物を保管するステーションと、ステーションと処理装置との間を搬送する搬送台車を備えている。そして、被処理物は、基本的には、ステーションから処理装置に搬送されて処理された後、処理装置からステーションに搬送されて保管され、その後、別の処理装置に搬送されて処理される。

特開２００４−２２１２７７号公報

しかしながら、上記搬送システムでは、通常複数の搬送台車を備えているものの、複数の処理装置に対して順に搬送を行うため、処理装置が空いている（待機状態）にも関わらず搬送を行うことができないことがあるという問題があり、ひいては稼動率が低下することがあるという問題がある。

本発明は上記点に鑑みて、稼動率が低下することを抑制できる搬送システムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、被処理物に対して所定の処理を施す複数の処理装置（２０ａ、２０ｂ）と、処理装置を制御する処理装置制御手段（８０ａ、８０ｂ）と、処理装置で処理される被処理物を保管するステーション（１０）と、ステーション内に配置され、被処理物を移載する移載手段（１２）と、移載手段を制御するステーション制御手段（７０）と、を備え、以下の点を特徴としている。

すなわち、複数の処理装置は、一部の処理装置がステーションに連結された連結処理装置（２０ａ）とされ、残りの処理装置がステーションに連結されていない通常処理装置（２０ｂ）とされており、ステーションと通常処理装置との間で被処理物の搬入および搬出を行う搬送台車（３０ａ）を有し、ステーション制御手段は、処理装置制御手段（８０ａ）との間で通信を行い、移載手段を制御することによってステーションから連結処理装置に被処理物を搬入すると共に連結処理装置からステーションに被処理物を搬出し、連結処理装置からステーションに被処理物を搬出する際には、処理装置制御手段から搬出する被処理物があることを示す信号（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が入力された後に開始することを特徴としている。

これによれば、ステーションと連結処理装置との間で被処理物を移載（搬送）する際には搬送台車を使用する必要がないため、稼動率が低下することを抑制できる。また、ステーション制御手段は、連結処理装置からステーションに被処理物を搬出する際には、処理装置制御手段から搬出する被処理物があることを示す信号が入力されると行う。このため、従来のステーション制御手段の通信を利用でき、搬送システム全体の大幅な変更をすることなく連結処理装置を設置することができる（図３Ｃ参照）。

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態における搬送システムを示す模式図である。ステーションおよび処理装置の配置を示す全体の模式図である。工程内搬送台車から通常処理装置に出力される信号を示す図である。通常処理装置から工程内搬送台車に出力される信号を示す図である。連結処理装置からステーションに出力される信号を示す図である。ステーションから連結処理装置に容器を搬入する際のタイミングチャートである。連結処理からステーションに容器を搬出する際のタイミングチャートである。本発明の他の実施形態における第１エリアのステーションと連結処理装置および通常処理装置の配置を示す模式図である。本発明の他の実施形態における第１エリアのステーションと連結処理装置との配置を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかる搬送システムについて説明する。なお、本実施形態の搬送システムは、半導体装置の生産工場等で容器に収容された被処理物を搬送するのに適用されると好適であり、以下では半導体装置の生産工場に適用した例について説明する。

本実施形態の搬送システムは、図１に示されるように、ステーション１０、処理装置２０ａ、２０ｂ、搬送台車３０ａ、３０ｂ、ホストコントローラ４０、搬送統括制御部５０、工程内搬送台車制御部６０ａ、工程間搬送台車制御部６０ｂ、ステーション制御部７０、連結処理装置制御部８０ａ、通常処理装置制御部８０ｂを備えている。

ステーション１０は、図２に示されるように、本実施形態では、工場内において区画された第１〜第３エリア（第１〜第３製造ライン）１ａ〜１ｃに１つずつ備えられている。そして、ステーション１０は、図１に示されるように、半導体ウェハ等の被処理物が収容された容器を保管する保管棚１１、容器を移載する移載手段としての移載ロボット１２、後述する光通信機２１ａと光Ｉ／Ｏ通信を行う第１光通信機１３、後述する光通信機３１ａと光Ｉ／Ｏ通信を行う第２光通信機１４、後述する光通信機３１ｂと光Ｉ／Ｏ通信を行う第３光通信機１５、容器が載置される第１、第２ステージ１６、１７等を有している。

なお、図２では、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃを図示しているが、実際にはさらに複数のエリアが設けられている。また、被処理物を収容する容器は、例えば、一面が開口している本体と、本体の開口を閉塞する蓋と、本体に備えられるフランジとを備えた一般的なＳＭＩＦ（Standard of Mechanical Interface）やＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)等が用いられる。そして、本体および蓋により構成される収容空間内に被処理物としての半導体ウェハ等が収容されている。特に限定されるものではないが、被処理物が半導体ウェハである場合には、数十枚程度の半導体ウェハが１つの容器に収容される。

処理装置２０ａ、２０ｂは、例えば、熱処理装置、イオン注入装置、エッチング装置、成膜装置、洗浄装置、フォトレジスト塗布装置、露光装置、検査装置等の半導体装置を製造するための装置であり、図２に示されるように、各エリア１ａ〜１ｃに複数設置されている。そして、各処理装置２０ａ、２０ｂには、それぞれ光通信機２１ａ、２１ｂが備えられている。

本実施形態では、図１および図２に示されるように、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃに設置された複数の処理装置２０ａ、２０ｂのうちの１つの処理装置２０ａがステーション１０に連結されて設置されている。そして、この処理装置２０ａの光通信機２１ａは、ステーション１０に備えられた第１光通信機１３と直接光Ｉ／Ｏ通信を行うことができるようになっている。このため、ステーション１０から処理装置２０ａへの容器の搬入、および処理装置２０ａからステーション１０への容器の搬出がステーション１０内の移載ロボット１２によって直接行われる。以下では、ステーション１０に備えられた処理装置２０ａを連結処理装置とし、ステーション１０に備えられていない処理装置２０ｂを通常処理装置として説明する。

ここで、連結処理装置２０ａは、同じ第１〜第３エリア１ａ〜１ｃに設置された処理装置２０ａ、２０ｂのうちの処理期間が最も長いもの以外のものとされている。本実施形態では、連結処理装置２０ａは、同じ第１〜第３エリア１ａ〜１ｃに設置された処理装置２０ａ、２０ｂのうちの最も処理期間が短いものが連結処理装置とされており、検査装置とされている。

また、連結処理装置２０ａおよび通常処理装置２０ｂは、本実施形態では、容器が搬入される際、または容器を搬出する際に容器が載置される第１、第２ステージ２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂを有している。

搬送台車３０ａ、３０ｂは、容器を搬送すると共に当該容器の移載を行うものであり、移載手段としての図示しない移載ロボット等を備えている。このような搬送台車３０ａ、３０ｂとしては、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）やＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）等が用いられる。以下では、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃ内を走行する搬送台車３０ａを工程内搬送台車３０ａとし、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃを跨いで搬送する搬送台車３０ｂを工程間搬送台車３０ｂ（図１、図２参照）として説明する。

工程内搬送台車３０ａには、ステーション１０に備えられた第２光通信機１４および通常処理装置２０ｂに備えられた光通信機２１ｂと光Ｉ／Ｏ通信を行う光通信機３１ａが備えられている。同様に、工程間搬送台車３０ｂには、ステーション１０に備えられた第３光通信機１５と光Ｉ／Ｏ通信を行う光通信機３１ｂが備えられている。

ホストコントローラ４０、搬送統括制御部５０、工程内搬送台車制御部６０ａ、工程間搬送台車制御部６０ｂ、ステーション制御部７０、連結処理装置制御部８０ａ、通常処理装置制御部８０ｂは、それぞれＣＰＵ、記憶手段を構成する各種メモリ、周辺機器等を用いて構成されている。なお、本実施形態では、ステーション制御部７０が本発明のステーション制御手段に相当し、連結処理装置制御部８０ａがステーション制御手段と通信を行う処理装置制御手段に相当している。

ホストコントローラ４０は、工場全体のシステムを管理するものであり、搬送統括制御部５０、連結処理装置制御部８０ａ、通常処理装置制御部８０ｂと通信可能に構成されている。そして、各容器（被処理物）の処理工程を記憶手段に記憶しおり、各容器の処理状況および各処理装置２０ａ、２０ｂの状態に基づき、容器の搬送元と搬送先を含む第１、第２信号Ｓ１、Ｓ２を生成して出力する。なお、本明細書では具体的に説明しないが、各処理装置２０ａ、２０ｂを駆動させる信号等も出力する。

具体的には、同じ第１〜第３エリア１ａ〜１ｃ内のステーション１０と通常処理装置２０ｂとの間で容器を搬送する場合、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃを跨いで容器を搬送する場合、ステーション１０から連結処理装置２０ａに容器を搬入する場合には、第１信号Ｓ１を搬送統括制御部５０に出力する。また、連結処理装置２０ａからステーション１０に容器を搬出する場合には、第２信号Ｓ２を連結処理装置制御部８０ａに出力する。

搬送統括制御部５０は、各連結処理装置２０ａ、各通常処理装置２０ｂ、各ステーション１０がそれぞれ第１〜第３エリア１ａ〜１ｃのうちのどこに設置されているのかを記憶手段に記憶している。そして、ホストコントローラ４０から第１信号Ｓ１が入力されると、搬送元と搬送先のステーション１０、連結処理装置２０ａ、通常処理装置２０ｂが第１〜第３エリア１ａ〜１ｃのどこに設置されているのかを記憶手段から取得する。

そして、搬送統括制御部５０は、第１信号Ｓ１が、同じ第１〜第３エリア１ａ〜１ｃ内のステーション１０と通常処理装置２０ｂとの間で容器を搬送する信号である場合には、当該エリア１ａ〜１ｃに備えられている工程内搬送台車制御部６０ａに第１搬送指令信号Ｔ１を出力する。

また、第１信号Ｓ１が、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃを跨いで容器を搬送する信号である場合、工程間搬送台車制御部６０ｂに第２搬送指令信号Ｔ２を出力する。そして、第１信号Ｓ１が、ステーション１０から連結処理装置２０ａに容器を搬入する信号である場合には、ステーション制御部７０に第３搬送指令信号Ｔ３を出力する。

工程内搬送台車制御部６０ａは、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃにそれぞれ備えられており、設置されている各エリア１ａ〜１ｃ内の各工程内搬送台車３０ａと通信可能に構成されている。そして、各工程内搬送台車３０ａが待機状態であるか、搬送状態であるか等の搬送状態を記憶手段に記憶している。また、搬送統括制御部５０から第１搬送指令信号Ｔ１が入力されると、搬送エリアの中から待機状態である工程内搬送台車３０ａを選択し、当該工程内搬送台車３０ａに搬送指令を送信する。これにより、工程内搬送台車３０ａは、ステーション１０および通常処理装置２０ｂの間で容器の搬入および搬出を行う。

工程間搬送台車制御部６０ｂは、工程間搬送台車３０ｂと通信可能に構成されている。そして、工程間搬送台車３０ｂが待機状態であるか、搬送状態であるか等の搬送状態を記憶手段に記憶している。また、搬送統括制御部５０から第２搬送指令信号Ｔ２が入力されると、搬送エリアの中から待機状態である工程間搬送台車３０ｂを選択し、当該工程間搬送台車３０ｂに搬送指令を送信する。これにより、工程間搬送台車３０ｂは、各エリア１ａ〜１ｃに設置されているステーション１０の間で容器の搬入および搬出を行う。

ステーション制御部７０は、第１〜第３光通信機１３〜１５を介して適宜光Ｉ／Ｏ通信を行い、ステーション１０内に備えられている移載ロボット１２を制御して容器の移載を行う。そして、搬送統括制御部５０から第３搬送指令信号Ｔ３が入力されると、ステーション１０内に備えられている移載ロボット１２を制御し、当該ステーション１０に備えられている連結処理装置２０ａに容器を搬入する。

連結処理装置制御部８０ａは、連結処理装置２０ａと通信可能に構成されており、所定の処理条件にて連結処理装置２０ａに処理を行わせる。また、連結処理装置２０ａの処理が終了すると、処理が終了したことを示す信号をホストコントローラ４０に出力する。その後、ホストコントローラ４０から第２信号Ｓ２が入力されると、光通信機２１ａおよび第１光通信機１３を介してステーション制御部７０と光Ｉ／Ｏ通信を行い、ステーション１０に容器を搬出する。つまり、連結処理装置２０ａからステーション１０への容器の搬出は、連結処理装置制御部８０ａ（連結処理装置２０）を基準にして行われる。なお、本実施形態では、連結処理装置２０ａが検査装置であるため、連結処理装置制御部８０ａからホストコントローラ４０には検査結果も出力される。

通常処理装置制御部８０ｂは、通常処理装置２０ｂと通信可能に構成されており、所定の処理条件にて通常処理装置２０ｂに処理を行わせる。また、光通信機２１ｂおよび光通信機３１ａを介して工程内搬送台車制御部６０ａと光Ｉ／Ｏ通信を行い、通常処理装置２０ｂへの容器の搬入、通常処理装置２０ｂからの容器の搬出を行う。

ここで、各光Ｉ／Ｏ通信について説明する。本実施形態では、工程内搬送台車３０ａ（工程内搬送台車制御部６０ａ）と通常処理装置２０ｂ（通常処理装置制御部８０ｂ）およびステーション１０（ステーション制御部７０）、工程間搬送台車３０ｂ（工程間搬送台車制御部６０ｂ）とステーション１０（ステーション制御部７０）、ステーション１０（ステーション制御部７０）と連結処理装置２０ａ（連結処理装置制御部８０ａ）との光Ｉ／Ｏ通信は、ＳＥＭＩ規格で規格されている８ビット入力／出力によって行われる。

まず、工程内搬送台車３０ａと通常処理装置２０ｂおよびステーション１０、工程間搬送台車３０ｂとステーション１０との光Ｉ／Ｏ通信について説明する。なお、これらの各光Ｉ／Ｏ通信は、従来と同様であるため、例として、工程内搬送台車３０ａと通常処理装置２０ｂとの光Ｉ／Ｏ通信について説明する。

図３Ａに示されるように、工程内搬送台車３０ａからは、ＶＡＬＩＤ、ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２、ＴＲ＿ＲＥＱ、ＢＵＳＹ、ＣＯＭＰＬＥＴＥを示すビットを格納した信号が通常処理装置２０ｂに出力される。反対に、図３Ｂに示されるように、通常処理装置２０ｂからは、Ｌ＿ＲＥＱ、Ｕ＿ＲＥＱ、ＲＥＡＤＹを示すビットを格納した信号出力される。

なお、工程内搬送台車３０ａから出力される信号において、ＶＡＬＩＤは、信号が有効であるか否かを示すものであり、１である場合（立ち上がっているとき）が有効を示している。ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２は、通常処理装置２０ｂの第１、第２ステージ２２ｂ、２３ｂを示すものであり、各ビットの０、１で第１、第２ステージ２２ｂ、２３ｂのいずれかを示している。ＴＲ＿ＲＥＱは、移載をするか否かを示すものであり、１である場合に移載をすることを示している。ＢＵＳＹは移載を行っているか否かを示すものであり、１である場合に移載を行っていることを示している。ＣＯＭＰＬＥＴＥは、移載が完了したか否かを示すものであり、１である場合に移載が完了したことを示している。

そして、通常処理装置２０ｂから出力される信号において、Ｌ＿ＲＥＱは、容器の搬入要求があるか否かを示すものであり、１である場合に搬入要求があることを示している。Ｕ＿ＲＥＱは、容器を搬出する要求があるか否かを示すものであり、１である場合に搬出要求があることを示している。ＲＥＡＤＹは、移載を許可するか否かを示すものであり、１である場合に移載を許可することを示している。

また、工程内搬送台車３０ａとステーション１０、工程間搬送台車３０ｂとステーション１０との光Ｉ／Ｏ通信は基本的には上記と同様であり、ステーション１０が通常処理装置２０ｂと同じ信号を出力する。そして、工程内搬送台車３０ａとステーション１０、工程間搬送台車３０ｂとステーション１０との場合には、ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２は、ステーション１０の第１、第２ステージ１６、１７を示すビットとなる。

次に、本発明の特徴点である連結処理装置２０ａとステーション１０との光Ｉ／Ｏ通信について説明する。

ステーション１０と連結処理装置２０ａとの光Ｉ／Ｏ通信も８ビット入力／出力によって行われ、図３Ｃに示されるように、連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される信号の中には、ＲＥＱ１、ＲＥＱ２が含まれている。このＲＥＱ１、ＲＥＱ２は、連結処理装置２０ａから搬出する容器があるか否かを示すものである。本実施形態では、上記のように連結処理装置２０ａは第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを有しているため、ＲＥＱ１が第１ステージ２２ａに搬出する容器があるか否かを示すものであり、１である場合に搬出する容器があることを示している。また、ＲＥＱ２が第２ステージ２２ｂに搬出する容器があるか否かを示すものであり、１である場合に搬出する容器があることを示している。

なお、ステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される信号は、図３Ａと同様であり、ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２は、連結処理装置２０ａの第１、第２ステージ２２ｂ、２３ｂを示している。

以上が本実施形態における搬送システムの構成である。次に上記搬送システムの作動について説明する。なお、工程内搬送台車３０ａと通常処理装置２０ｂおよびステーション１０との間の搬送、工程間搬送台車３０ｂとステーション１０との間の搬送は従来の搬送システム（ＳＥＭＩ規格）と同様である。このため、これらの間の搬送については説明を省略し、以下では、ステーション１０と連結処理装置２０ａとの間の容器の搬入、搬出について、図４および図５を参照しつつ説明する。

なお、図４および図５において、Ａ→Ｐは、ステーション（Ａｃｔｉｖｅ）１０から連結処理装置（Ｐａｓｓｉｖｅ）２０ａに出力される信号であることを意味し、Ｐ→Ａは、連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される信号であることを意味している。また、以下では、実際にはステーション制御部７０と連結処理装置制御部８０ａとの間で信号の出力、入力が行われるが、理解をし易くするために、単にステーション１０または連結処理装置２０ａから信号が出力、入力されるとして説明する。

まず、ステーション１０から連結処理装置２０ａに容器を搬入する場合の作動について説明する。

図４に示されるように、時点Ｔ１において、ステーション制御部７０に搬送統括制御部５０から第３搬送信号Ｔ３が入力されると、連結処理装置２０ａの搬入先の第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２）が適宜１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。また、時点Ｔ２において、信号が有効であることを示すビット（ＶＡＬＩＤ）も１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

そして、時点Ｔ３において、容器の搬入を要求することを示すビット（Ｌ＿ＲＥＱ）が１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。次に、時点Ｔ４において、移載をすることを示すビット（ＴＲ＿ＲＥＱ）が１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

続いて、時点Ｔ５において、移載を許可する旨のビット（ＲＥＡＤＹ）が１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力され、時点Ｔ６において、動作を行うビット（ＢＵＳＹ）が１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。これにより、ステーション１０から連結処理装置２０ａへの容器の搬入が開始される。

そして、時点Ｔ７において、容器が連結処理装置２０ａに搬入されると、容器の搬入を要求することを示すビット（Ｌ＿ＲＥＱ）が０になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。続いて、時点Ｔ８において、動作を行うビット（ＢＵＳＹ）が０である共に、移載の完了を示すビット（ＣＯＭＰＬＥＴＥ）が１である信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

そして、時点Ｔ９において、容器の移載が終了したため、移載を許可することを示すビット（ＲＥＡＤＹ）が０である信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。そして、時点Ｔ１０において、搬入先の第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示す信号（ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２）および信号が有効であることを示すビット（ＶＡＬＩＤ）が０である信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

次に、連結処理装置２０ａからステーション１０に容器を搬出する場合の作動について説明する。

図５に示されるように、時点Ｔ１１において、ホストコントローラ４０から第２信号Ｓ２が入力されると、連結処理装置２０ａの容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が適宜１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。ここでは、第１ステージ２２ａに搬出する容器が載置されているとし、第１ステージ２２ａに搬出する容器が載置されていることを示すビット（ＲＥＱ１）が１になった信号が出力される。

そして、時点Ｔ１２において、連結処理装置２０ａの搬出元の第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２）が適宜１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。つまり、容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が適宜１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力されると、連結処理装置２０ａからステーション１０に容器を搬出する作動が開始される。言い換えると、容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が適宜１になることがステーション１０に容器を搬出する作動のトリガとなる。また、時点Ｔ１３において、信号が有効であることを示すビット（ＶＡＬＩＤ）も１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

そして、時点Ｔ１４において、容器の搬出を要求することを示すビット（Ｕ＿ＲＥＱ）が１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。次に、時点Ｔ１５において、移載をすることを示すビット（ＴＲ＿ＲＥＱ）が１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

次に、時点Ｔ１６において、移載を許可することを示すビット（ＲＥＡＤＹ）が１になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力され、時点Ｔ１７において、動作を行うビット（ＢＵＳＹ）が１になった信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。れにより、連結処理装置２０ａからステーション１０へ容器が搬出される。

そして、時点Ｔ１８において、容器が連結処理装置２０ａから搬出されると、容器の搬出を要求することを示すビット（Ｕ＿ＲＥＱ）が０になった信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。続いて、時点Ｔ１９において、動作を行うビット（ＢＵＳＹ）が０であると共に、移載の完了を示すビット（ＣＯＭＰＬＥＴＥ）が１である信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

そして、時点Ｔ２０において、容器の移載が終了したため、移載を許可することを示すビット（ＲＥＡＤＹ）が０であると共に連結処理装置２０ａの容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が０である信号が連結処理装置２０ａからステーション１０に出力される。そして、時点Ｔ２１において、搬出元の第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示す信号（ＣＳ＿０〜ＣＳ＿２）および信号が有効であることを示すビット（ＶＡＬＩＤ）が０である信号がステーション１０から連結処理装置２０ａに出力される。

以上が本実施形態における搬送システムの作動である。なお、図４では、ステーション１０から連結処理装置２０ａに容器を搬入する際、容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が０であるものを示しているが、実際には、ステーション１０から連結処理装置２０ａに容器を搬入している際に容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が１となることがある。この場合は、既に行っている搬入が終了した後、搬出が開始される。

以上説明したように、本実施形態では、ステーション１０に連結処理装置２０ａを連結し、ステーション１０と連結処理装置２０ａとの間で容器を移載する際には移載ロボット１２を用いて容器を移載している。このため、この間の容器の移載では、搬送台車を使用する必要がないため、稼動率が低下することを抑制できる。

また、本実施形態では、ステーション１０に、当該ステーション１０が設置される第１〜第３エリア１ａ〜１ｃの中で最も処理期間が短い処理装置を連結処理装置２０ａとして備えている。このため、さらに稼動率が低下することを抑制できる。

そして、本実施形態では、ステーション制御部７０と連結処理装置制御部８０ａとは、工程内搬送台車制御部６０ａと通常処理装置制御部８０ｂおよびステーション制御部７０等との通信と同様に、光Ｉ／Ｏ通信によって通信を行っている。このため、従来の通常処理装置を容易な変更で連結処理装置２０ａとすることができる。

さらに、本実施形態では、連結処理装置制御部８０ａからステーション１０に出力される信号の中に容器が載置されている第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が含まれるようにし、第１、第２ステージ２２ａ、２３ａを示すビット（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が適宜１になった場合に連結処理装置２０ａからステーション１０に容器を搬出する作動を開始するようにしている。このため、従来のステーション制御部７０の通信を利用でき、搬送システム全体の大幅な変更をすることなく、連結処理装置２０ａを設置することができる。

（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。

例えば、上記第１実施形態において、図６に示されるように、第１エリア１ａにおいて、ステーション１０に複数の連結処理装置２０ａを備えるようにしてもよい。また、図７に示されるように、第１エリア１ａにおいて、ステーション１０に全ての処理装置を連結するようにしてもよい。つまり、第１エリア１ａ内に通常処理装置２０ｂおよび工程内搬送台車３０ａを備えないようにしてもよい。なお、特に図示しないが、第２、第３エリア１ｂ、１ｃにおいても同様である。

さらに、第１実施形態では、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃに１つずつステーション１０が配置されているものを図示したが、第１〜第３エリア１ａ〜１ｃに配置されるステーション１０の数は適宜変更可能である。

また、上記第１実施形態において、工程間搬送台車は、ＯＨＳ（Over Head Shuttle）であってもよい。

そして、上記第１実施形態において、工程内搬送台車制御部６０ａと工程間搬送台車制御部６０ｂとを同じ制御部として構成してもよいし、連結処理装置制御部８０ａと通常処理装置制御部８０ｂを同じ制御部としてもよい。

１０ステーション
１２移載ロボット
２０ａ連結処理装置
２０ｂ通常処理装置
７０ステーション制御部
８０ａ連結処理装置制御手段
８０ｂ通常処理装置制御手段

Claims

被処理物に対して所定の処理を施す複数の処理装置（２０ａ、２０ｂ）と、
前記処理装置を制御する処理装置制御手段（８０ａ、８０ｂ）と、
前記処理装置で処理される前記被処理物を保管するステーション（１０）と、
前記ステーション内に配置され、前記被処理物を移載する移載手段（１２）と、
前記移載手段を制御するステーション制御手段（７０）と、を備え、
前記複数の処理装置は、一部の処理装置が前記ステーションに連結された連結処理装置（２０ａ）とされ、残りの処理装置が前記ステーションに連結されていない通常処理装置（２０ｂ）とされており、
前記ステーションと前記通常処理装置との間で前記被処理物の搬入および搬出を行う搬送台車（３０ａ）を有し、
前記ステーション制御手段は、前記処理装置制御手段（８０ａ）との間で通信を行い、前記移載手段を制御することによって前記ステーションから前記連結処理装置に前記被処理物を搬入すると共に前記連結処理装置から前記ステーションに前記被処理物を搬出し、前記連結処理装置から前記ステーションに前記被処理物を搬出する際には、前記処理装置制御手段から搬出する被処理物があることを示す信号（ＲＥＱ１、ＲＥＱ２）が入力された後に開始することを特徴とする搬送システム。
前記連結処理装置は、前記複数の処理装置のうちの最も処理期間が長いものを除いた処理装置であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
前記連結処理装置は、前記複数の処理装置のうちの最も処理期間が短いものであることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送システム。