JP6414338B2 - 保管装置および保管方法 - Google Patents

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Description

本発明は、保管装置および保管方法に関する。
半導体デバイス、液晶デバイスなどの各種デバイスの製造工場では、シリコンウェハ、ガラスウェハ等の基板に、薄膜の形成処理、酸化処理、エッチング処理などの各種処理を施して、デバイスを製造する。このような各処理を行う処理装置の間では、基板、あるいは処理に用いられるレチクルなどの物品を容器に収容し、この容器を搬送装置により搬送する。搬送装置と処理装置との受け渡し場所には、容器を一時的に保管する保管装置（バッファ、ストッカ）が設けられる（例えば、下記の特許文献１参照）。次に搬送装置が搬出する容器、及び／または次に処理装置が処理する物品の容器を、保管装置に一時的に保管しておくことで、搬送装置、処理装置の待機時間を減らすことができ、搬送効率および処理効率を高めることができる。
近年、各種デバイスの高集積が進められており、酸化、汚染などによる欠陥が微小であっても歩留まりを低下させる要因になる。そのため、酸化抑制、汚染抑制に対する要求が厳しく、保管装置（例えば保管倉庫）において容器にパージ処理を行うことが可能であることが求められる。保管装置において容器にパージ処理を行うには、容器を保管する保管棚にパージ装置を設け、保管棚に容器が載置されるたびにパージ装置によりパージ処理を行う手法が用いられる。
特許第５０８３２７８号公報
ところで、処理装置に搬入される容器または処理装置から搬出される容器は、保管装置でパージ処理を行う必要がない場合がある。例えば、処理装置の処理前の物品を収容した容器にはパージ処理が必要であるが、処理装置の処理後の物品を収容した容器にはパージ処理が不要の場合がある。逆に、処理装置の処理前の物品を収容した容器にはパージ処理が不要であるが、処理装置の処理後の物品を収容した容器にはパージ処理が必要である場合もある。このような場合に、搬入時および搬出時の双方でパージ処理を行うと、パージ処理に要するコスト、時間が無駄になる。本発明は、上述の事情に鑑みなされたものであり、容器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことが可能な保管装置および保管方法を提供することを目的とする。
本発明の保管装置は、容器を保管する保管棚と、保管棚に設けられ、容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置と、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決定部と、を備える。
また、保管棚への容器の搬入および保管棚からの容器の搬出を行う入出庫装置を備え、パージ決定部は、入出庫装置への搬送指令に応じて、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって容器が受け渡される搬送車用ポートと、処理装置のロードポートとの間で受け渡される容器を保管棚に保管し、パージ決定部は、入出庫装置に対する搬送車用ポートと保管棚との間の搬送指令、または入出庫装置に対するロードポートと保管棚との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元が搬送車用ポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先がロードポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元がロードポートであると特定するものでもよい。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先が搬送車用ポートであると特定するものでもよい。また、パージ決定部は、搬出先を特定した結果を、搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた情報と照合して、パージ処理の要否を決定するものでもよい。また、パージ決定部は、搬入元を特定した結果を、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた情報と照合して、パージ処理の要否を決定するものでもよい。
本発明の保管方法は、容器を保管棚に保管することと、保管棚に設けられるパージ装置により容器にパージ処理を行うことと、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することと、を含む。
本発明によれば、保管棚への容器の搬入元、及び保管棚からの容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否を決定するので、容器内の環境を良好に保ちつつ、不要なパージ処理を省くことができる。また、保管棚への容器の搬入および保管棚からの容器の搬出を行う入出庫装置を備え、パージ決定部は、入出庫装置への搬送指令に応じて、パージ処理の要否を決定する保管装置では、入出庫装置の動作に用いられる搬送指令を利用するので、簡易かつ確実にパージ処理の要否を決定することができる。また、容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって容器が受け渡される搬送車用ポートと、処理装置のロードポートとの間で受け渡される容器を保管棚に保管し、パージ決定部は、入出庫装置に対する搬送車用ポートと保管棚との間の搬送指令、または入出庫装置に対するロードポートと保管棚との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定する保管装置では、搬送車用ポートあるいはロードポートと保管棚との搬送指令に基づくので、搬入元、搬出先を確実に特定することができ、簡易かつ確実にパージ処理の要否を決定することができる。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元が搬送車用ポートであると特定する保管装置では、搬入元を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器を搬送車用ポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先がロードポートであると特定する保管装置では、搬出先を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬入元がロードポートであると特定する保管装置では、搬入元を確実に特定することができる。また、搬送指令が、容器をロードポートから保管棚へ搬送させる指令である場合、パージ決定部は、搬出先が搬送車用ポートであると特定する保管装置では、搬出先を確実に特定することができる。また、パージ決定部は、搬出先を特定した結果を、搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する保管装置では、パージ処理の要否を簡易かつ確実に決定することができる。また、パージ決定部は、搬入元を特定した結果を、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する保管装置では、パージ処理の要否を容易かつ確実に決定することができる。
実施形態に係る保管装置を適用した製造システムの一例を示す図である。 実施形態に係るパージ装置を示す図である。 実施形態に係る製造システムを示すブロック図である。 （Ａ）から（Ｄ）は、実施形態に係る参照情報を示す図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は、実施形態に係るパージ方法を示すフローチャートである。
以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、適宜、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向をＺ方向とし、水平方向をＸ、Ｙ方向とする。
図１は、実施形態に係る保管装置１を適用した製造システムＳＹＳの一例を示す図である。製造システムＳＹＳは、半導体デバイス、液晶デバイスなどの各種デバイスを製造する。製造システムＳＹＳは、例えば、シリコンウェハなどの基板に、半導体素子、配線、絶縁膜などの構造物を形成し、半導体デバイスを製造する。製造システムＳＹＳは、保管装置１、処理装置２、及び搬送車（天井搬送車３）を備える。
処理装置２は、デバイスを製造する工程の処理を実行する。処理装置２は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、エッチング装置などである。処理装置２には、ロードポート４、５を介して、処理に関する物品を収容した容器Ｆが搬入、搬出される。処理に関する物品は、例えば、処理対象の基板、あるいは処理に用いる物品（例、レチクル）などである。処理装置２は、ロードポート４において容器Ｆを受け取り、容器Ｆに収容された基板を取り出し、基板に所定の処理を施す。また、処理装置２は、処理後の基板を容器Ｆに再度収容して、ロードポート５に渡す。
天井搬送車３は、例えばＯＨＴビークルなどであり、設備の天井（図示せず）に設置されたレール（図示せず）に沿って移動可能である。天井搬送車３は、容器Ｆを保持（例、把持）して移動することにより、保管装置１の外部で容器Ｆを搬送する。例えば、天井搬送車３は、処理装置２の処理に関する物品を収容した容器Ｆを搬送する。また、天井搬送車３は、処理装置２が処理した物品を収容した容器Ｆを受け取り、この容器Ｆを他の処理装置などに搬送する。天井搬送車３は、搬送車用ポート（入出庫ポート６、７）において、容器Ｆの受け渡しを行う。例えば、天井搬送車３は、処理装置２に搬入される容器Ｆを入出庫ポート６（入庫ポート）で渡し、処理装置２から搬出された容器Ｆを入出庫ポート７（出庫ポート）で受け取る。
保管装置１は、ツールバッファなどであり、処理装置２に併設される。保管装置１は、天井搬送車３と処理装置２との間の搬送経路に配置される。保管装置１は、天井搬送車３によって容器Ｆが受け渡される入出庫ポート６、７と、処理装置２のロードポート４、５との間で受け渡される容器Ｆを保管する。保管装置１は、天井搬送車３が入出庫ポート６に容器Ｆを搬送した際に容器Ｆを受け取り、この容器Ｆを処理装置２に渡すまで一時的に保管する。これにより、入出庫ポート６において次の容器Ｆを受け入れ可能になる。また、保管装置１は、処理装置２から搬出された容器Ｆを一時的に保管し、入出庫ポート７が空いている場合に、入出庫ポート７に渡す。これにより、入出庫ポート７において、天井搬送車３が容器Ｆを受け取り可能な状態になる。このように、保管装置１に容器Ｆを一時的に保管することで、天井搬送車３の待機時間を減らすことができ、搬送効率が高くなる。また、保管装置１は、天井搬送車３から受け取った容器Ｆを一時的に保管した後、処理装置２のロードポート４が空いている場合に、ロードポート４に容器Ｆを渡す。これにより、処理装置２は、処理の終了後に次の容器Ｆを速やかに受け取ることができる。また、保管装置１は、処理装置２がロードポート５に容器Ｆを搬出した際に、この容器Ｆを受け取り、一時的に保管する。これにより、処理装置２は、次の容器Ｆをロードポート５に渡すことが可能になる。このように、保管装置１に容器Ｆを一時的に保管することで、処理装置２の待機時間を減らすことができ、処理効率が高くなる。
次に、保管装置１の各部について説明する。保管装置１は、保管棚１１と、保管棚１１に設けられるパージ装置１２（後の図２にも示す）と、入出庫装置（移載装置１３）と、保管制御装置１４とを備える。保管制御装置１４は、保管装置１の各部を総括的に制御する。保管制御装置１４には、パージ決定部１５および記憶部１６が設けられる。
保管棚１１は、高さ方向（Ｚ方向）に１段または２段以上並んで配置され、水平方向（Ｘ方向）に複数並んで配置される。複数の保管棚１１は、それぞれ、保管装置１のフレーム２１に支持される。複数の保管棚１１には、それぞれ容器Ｆを載置可能である。複数の保管棚１１は、それぞれパージ装置１２によりパージ処理された容器Ｆを保持可能な棚である。保管装置１は、ロードポート４、５、保管棚１１、入出庫ポート６、７がＺ方向に多段に配置された構造であり、下段にロードポート４、５が配置され、中段に保管棚１１が配置され、上段に入出庫ポート６、７が配置される。なお、保管棚１１の数および配置に限定はなく、保管棚１１の数および配置は、任意に設定される。
移載装置１３は、保管装置１の内部（例、フレーム２１に囲まれる空間）で、容器Ｆを搬送する。移載装置１３は、入出庫ポート６、７と、保管棚１１との間で容器Ｆを搬送可能であり、また、ロードポート４、５と保管棚１１との間で容器Ｆを搬送可能である。例えば、移載装置１３は、入出庫ポート６に渡された容器Ｆを保管棚１１に搬入し、保管棚１１から容器Ｆを搬出してロードポート４に渡す。この場合、保管棚１１への容器Ｆの搬入元は入出庫ポート６であり、保管棚１１からの容器Ｆの搬出先はロードポート４である。また、移載装置１３は、ロードポート５に渡された容器Ｆを保管棚１１に搬入し、保管棚１１から容器Ｆを搬出して入出庫ポート７に渡すことができる。この場合、保管棚１１への容器Ｆの搬入元はロードポート５であり、保管棚１１からの容器Ｆの搬出先は入出庫ポート７である。
移載装置１３は、水平ガイド２２、水平スライダ２３、鉛直ガイド２４、鉛直スライダ２５、アーム２６、及び移載制御部２７を備える。水平ガイド２２は、フレーム２１に取り付けられ、Ｘ方向に延びている。水平スライダ２３は、水平ガイド２２に沿ってＸ方向に移動可能である。鉛直ガイド２４は、水平スライダ２３に取り付けられ、Ｚ方向に延びている。鉛直ガイド２４は、水平スライダ２３が移動する際に、水平スライダ２３とともにＸ方向に移動する。鉛直スライダ２５は、鉛直ガイド２４に沿ってＺ方向に移動可能である。アーム２６は、鉛直スライダ２５に取り付けられている。アーム２６は、水平スライダ２３が移動する際に、水平スライダ２３および鉛直スライダ２５とともにＸ方向に移動する。また、アーム２６は、鉛直スライダ２５が移動する際に、鉛直スライダ２５とともにＺ方向に移動する。アーム２６は、１または２以上の関節を有するロボットアームであり、その先端側がＵ字状の把持部２６ａになっている。アーム２６は、例えば関節の伸縮により、把持部２６ａをＸ方向およびＹ方向に移動可能である。把持部２６ａは、容器Ｆのフランジ部３４（後に図２にも示す）の下に差し込まれ、容器Ｆを把持する。アーム２６は、把持部２６ａにより容器Ｆを把持した状態で関節を伸縮させることで、容器ＦをＸ方向およびＹ方向に移動可能である。なお、水平スライダ２３の移動によって容器ＦをＸ方向に移動させてもよい。また、移載装置１３は、把持部２６ａに容器Ｆを把持した状態で、水平スライダ２３の移動、鉛直スライダ２５の移動により、容器ＦをＸ方向およびＺ方向に移動可能である。
移載制御部２７は、水平スライダ２３の駆動部、鉛直スライダ２５の駆動部、及びアーム２６の駆動部をそれぞれ制御する。後の図３では、これら駆動部を符号２８で表す。移載制御部２７は、保管制御装置１４と通信可能に接続され、保管制御装置１４から供給される搬送指令に応じて、上記の駆動部を制御する。搬送指令は、容器Ｆを搬送する起点および終点を指定して、容器Ｆの搬送を要求する指令である。なお、移載装置１３は、上記の構成に限定されず、例えば容器Ｆの底面をすくい上げて容器Ｆを保持し、容器Ｆを搬送するものでもよい。
図２は、パージ装置１２を示す図である。図２には容器Ｆの一例としてＦＯＵＰを示すが、容器Ｆは、ＳＭＩＦ Ｐｏｄ、レチクルＰｏｄなどでもよい。容器Ｆは、前面に開口３１を有する箱状の本体部３２と、開口３１を塞ぐ蓋部３３とを備える。ウェハなどの物品は、開口３１を介して容器Ｆの内部Ｆａ（内部空間、収容スペース）に収容される。本体部３２の上部には、フランジ部３４が設けられる。本体部３２は、その底面Ｆｂ側に位置決め用の凹部（図示せず）を備える。保管棚１１の上面には位置決め用のピン（図示せず）が設けられる。容器Ｆを保管棚１１に載置する際に、容器Ｆの底面Ｆｂ側の凹部には保管棚１１の上面のピンが入り込み、容器Ｆが保管棚１１に対して位置決めされる。容器Ｆの本体部３２は、底面Ｆｂ側に、ガス導入ポート３５およびガス排気ポート３６を備える。
ガス導入ポート３５には、例えば、ガス導入口、フィルタ、及び逆止弁が設けられる。ガス導入口は、本体部３２の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス導入口の内側は、容器Ｆの内部Ｆａに供給されるパージガスＧ１の流路であり、フィルタはこの流路に設けられる。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、ガス導入口を通るガスに含まれる埃を除去する。ガス導入ポート３５の逆止弁は、容器Ｆの内部Ｆａからガス導入口を介して外部へガスが流出することを抑制する。ガス排気ポート３６には、例えば、排気口、逆止弁、及びフィルタが設けられる。排気口は、本体部３２の内部Ｆａと外部とに連通する。ガス排気ポート３６の逆止弁は、容器Ｆの外部から排気口を介して内部Ｆａへガスが流入することを抑制する。フィルタは、例えばパーティクルフィルタであり、排気口を通るガスに含まれる埃を除去する。排気口を通るガスは、パージ処理の開始直後において、パージ処理前の容器Ｆにおける内部Ｆａの雰囲気ガスの比率が高く、パージ処理の開始から時間が経過するにつれてパージガスＧ１の比率が高くなる。
パージ装置１２は、保管棚１１に設けられ、容器Ｆにパージ処理を行うことが可能である。パージ装置１２は、パージノズル４１、排気ノズル４２、流量制御装置４３、及びパージ制御部４４を備える。パージノズル４１及び排気ノズル４２は、保管棚１１の上面に設けられる。パージノズル４１及び排気ノズル４２は、保管棚１１に容器Ｆを載置した際に、それぞれガス導入口、排気口と接続するように配置される。容器Ｆのガス導入口は、保管棚１１に容器Ｆを載置した際に、パージノズル４１を介して配管４５に接続され、さらに流量制御装置４３を介してガス源４６と接続される。排気ノズル４２は、配管４７を介してパージガスＧ１の排気経路（ガス排気４８）に接続される。
ガス源４６は、パージガスＧ１を供給する。パージガスＧ１の種類は、容器Ｆに収容される収容物（物品）に応じて選択される。例えば、収容物に対する酸化抑制、分子汚染等を抑制するガス、容器Ｆの内部の水分を減少させるガスなどが用いられる。例えば、収容物がシリコンウェハである場合、パージガスＧ１として窒素ガスなどの収容物にとって不活性なガスが用いられる。窒素ガスが容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、酸素を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、シリコンウェハが酸化されることが抑制（防止）される。また、収容物がレチクルである場合、パージガスＧ１として清浄乾燥空気（ＣＤＡ）などの乾燥ガスが用いられる。清浄乾燥空気が容器Ｆの内部Ｆａに供給されることによって、水分を含む雰囲気ガスが容器Ｆの内部から外部へ排気（除去）され、レチクルに水分が付着すること、及び収容物にとって有害なガスにさらされることが抑制（防止）される。ガス源４６は、保管装置１の一部でもよいし、保管装置１の外部の装置でもよく、例えば、保管装置１が設けられる設備の一部でもよい。
容器Ｆをパージ処理する際、ガス源４６からのパージガスＧ１は、流量制御装置４３および配管４５を介して、容器Ｆのガス導入口から内部Ｆａに供給され、容器Ｆの内部Ｆａに充填される。また、内部Ｆａのガスは、排気口から容器Ｆの外部に排出され、配管４５を介してガス排気４８により外部に排気される。なお、ガス排気４８は、ポンプなどによりガスを吸引する装置が設けられてよい。また、容器Ｆはガス排気ポート３６を備えなくてもよく、この場合、パージ装置１２は排気ノズル４２を備えなくてもよい。例えば、容器Ｆの内部Ｆａの圧力が閾値以上になると、容器Ｆの内部Ｆａのガスが開口３１と蓋部３３との隙間などから外部へ漏れるので、ガス排気ポート３６が無い場合でも容器Ｆの内部Ｆａのガスを外部へ排気することができる。
流量制御装置４３は、容器Ｆに接続される配管４５（容器Ｆのガス導入口とガス源４６との間の流路）におけるパージガスＧ１の流量を制御する。流量制御装置４３は、例えばマスフローコントローラであり、その内部にパージガスＧ１が流れる流路を有する。流量制御装置４３の内部の流路には、例えば、自己発熱型抵抗体を利用した流量計、電磁弁などの流量制御バルブが設けられる。流量制御装置４３は、流量計の測定結果をもとに電磁弁をフィードバック制御し、その内部におけるパージガスＧ１の流量を目標値に近づける。流量制御装置４３が配管４５におけるパージガスＧ１の流量を制御することにより、ガス源４６からパージノズル４１へ供給されるパージガスＧ１の流量が制御される。流量制御装置４３は、パージ制御部４４と通信可能に接続され、パージ制御部４４から供給される制御信号に基づいて、パージガスＧ１の流量を制御する。
保管棚１１には、容器Ｆが載置されたことを検出する在席センサ４９（在荷センサ）が設けられる。在席センサ４９は、ボタンセンサなどの接触型センサであり、容器Ｆの底面によって押し下げられることで、容器Ｆが保管棚１１に載置されたことを検出する。在席センサ４９は、パージ制御部４４と通信可能に接続され、その検出結果をパージ制御部４４に供給する。パージ制御部４４は、保管制御装置１４と通信可能に接続され、保管制御装置１４から供給される指令に応じて流量制御装置４３を制御し、パージ処理を実行させる。
図３は、実施形態に係る製造システムＳＹＳを示すブロック図である。製造システムＳＹＳは、上位制御装置５１を備える。上位制御装置５１は、MES（Manufacturing Execution System）、MCS（Material Control System、Material Handling Control System）などである。上位制御装置５１は、保管装置１、処理装置２、及び天井搬送車３を包括的に制御する。なお、図３には製造システムＳＹＳに設けられる１つの処理装置２を代表的に示したが、実際には製造システムＳＹＳには複数の処理装置が設けられ、上位制御装置５１は、複数の処理装置を制御する。上位制御装置５１は、天井搬送車３に制御指令を供給し、天井搬送車３に容器Ｆを搬送させる。また、上位制御装置５１は、処理装置２に制御指令を供給し、処理装置２に処理を実行させる。また、上位制御装置５１は、保管装置１に制御指令を供給し、天井搬送車３との容器Ｆの受け渡し、処理装置２との容器Ｆとの受け渡しなどを実行させる。保管装置１の保管制御装置１４は、上位制御装置５１からの制御指令に基づいて、移載装置１３の移載制御部２７に搬送指令を供給し、移載装置１３に容器Ｆを搬送させる。
ところで、処理装置２に渡す容器Ｆ、または処理装置２から受け取る容器Ｆは、保管装置１のパージ装置１２によるパージ処理が不要である場合がある。例えば、処理装置２の処理前にパージ処理が施されている必要があるが、処理後の物品を搬送する際に容器Ｆにパージ処理が施されていなくてもよい場合がある。このような場合、処理装置２に渡す容器Ｆに対するパージ処理が必要であるが、処理装置２から受け取る容器Ｆに対するパージ処理は不要であり、処理後に対応する容器Ｆにパージ処理を行うとコスト、時間が無駄になる。そこで、保管装置１において、パージ決定部１５は、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否を決定する。また、保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を必要と決定した容器Ｆに対して、パージ装置１２によるパージ処理を実行させ、パージ決定部１５がパージ処理を不要と決定した容器Ｆに対して、パージ装置１２によるパージ処理を実行させない。
なお、処理装置２に渡す容器Ｆ、または処理装置２から受け取る容器Ｆは、保管装置１のパージ装置１２によるパージ処理においてパージガスの供給量が少なくても問題がない場合がある。例えば、処理装置２に渡す容器Ｆ、及び処理装置２から受け取る容器Ｆのいずれにもパージ処理が必要であるが、処理装置２に渡す容器Ｆは、保管装置１に搬送される前に予めパージ処理が施されており、搬送中にパージガスが抜けた分だけ保管装置１でパージ処理を行えばよい場合がある。そこで、パージ決定部１５は、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の条件を決定してもよい。パージ処理の条件は、例えば、パージガスの流量、パージガスの供給時間などである。
パージ決定部１５は、移載装置１３に対する入出庫ポート６、７と保管棚１１との間の搬送指令、または移載装置１３に対するロードポート４、５と保管棚１１との間の搬送指令に基づいて、パージ処理の要否を決定する。ここで、搬送指令が、容器Ｆを入出庫ポート６から保管棚１１へ搬送させる指令である場合、この容器Ｆは、一時的に保管された後に処理装置２に渡されるので、処理装置２による処理前の物品を収容していることになる。また、搬送指令が、容器Ｆをロードポート５から保管棚１１へ搬送させる指令である場合、この容器Ｆは、処理装置２による処理後の物品を収容していることになる。処理装置２による処理前の物品についてのパージ処理の要否、及び処理装置２による処理後の物品についてのパージ処理の要否は、処理装置２の処理の種類等に応じて予め分かっているので、搬送指令に基づいてパージ処理の要否を決定することができる。パージ決定部１５は、搬送指令に基づいて容器Ｆの搬入元および搬出先を特定し、その結果を参照情報と照合する。参照情報は、搬入元とパージ処理の要否とを関連付けた情報、あるいは搬出先とパージ処理の要否とを関連付けた情報である。参照情報は、記憶部１６に記憶されており、パージ決定部１５は、搬入元、搬出先を特定した結果を記憶部１６から取得した参照情報と照合することにより、パージ処理の要否を決定する。
図４は、実施形態に係る参照情報の例を示す図である。図４（Ａ）の参照情報Ｄ１は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の要否とを関連付けたテーブルデータである。ここでは、処理装置２の処理前にパージ処理が不要であり、処理装置２の処理後にパージ処理が必要であるものとする。参照情報Ｄ１において、「保管棚への搬入元」の項目が「入出庫ポート」である場合、この容器Ｆは処理装置２の処理前に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「不要」である。また、「保管棚への搬入元」の項目が「ロードポート」である場合、この容器Ｆは処理装置２の処理後に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「必要」である。
また、図４（Ｂ）の参照情報Ｄ２のように、保管棚１１への搬出先とパージ処理の要否とを関連付けたテーブルデータを用いることもできる。参照情報Ｄ２において「保管棚からの搬出先」が「入出庫ポート」である場合、参照情報Ｄ１において「保管棚への搬入元」が「ロードポート」に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「必要」である。また、参照情報Ｄ２において「保管棚からの搬出先」が「ロードポート」である場合、参照情報Ｄ１における「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」に対応するので、「パージ処理の要否」の項目が「不要」である。
図４（Ｃ）の参照情報Ｄ３は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の条件とを関連付けたテーブルデータである。ここでは、パージ処理の条件がパージガスの流量および供給時間であるものとする。「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」である場合、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ１」であり、「供給時間」が「Ｔ１」である。また、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」である場合、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ２」であり、「供給時間」が「Ｔ２」である。ここで、処理装置２の処理前に対応する容器Ｆについては、処理後に対応する容器Ｆよりもパージ処理の程度が軽く（パージガスの供給量が少なく）てもよいものとする。処理前に対応する容器Ｆは、「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」であり、処理後に対応する容器Ｆは、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」であるので、Ｑ１はＱ２よりも少なく設定され、あるいはＴ１はＴ２よりも短く設定される。なお、図４（Ａ）などの「パージ処理の要否」の代わりに、「パージ処理の条件」を用いてパージ処理の要否を表すこともでき、例えば、「パージガスの流量」および「供給時間」の少なくとも一方を０とすることで、パージ処理が不要であることを表すこともできる。
図４（Ｄ）の参照情報Ｄ４は、保管棚１１への搬入元とパージ処理の要否および条件とを関連付けたテーブルデータである。「保管棚への搬入元」が「入出庫ポート」である場合、「パージ処理の要否」が「不要」であり、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」および「供給時間」はいずれも「０」である。また、「保管棚への搬入元」が「ロードポート」である場合、「パージ処理の要否」が「必要」であり、「パージ処理の条件」の「パージガスの流量」が「Ｑ２」であり「供給時間」が「Ｔ２」である。
次に、上述の保管装置１の動作に基づき、実施形態に係るパージ方法について説明する。図５（Ａ）は、実施形態に係るパージ方法を示すフローチャートであり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のステップＳ１の処理の一例を示すフローチャートである。図５（Ａ）のステップＳ１において、パージ決定部１５はパージ処理の要否を決定する。図５（Ｂ）に示すように、ステップＳ１のステップＳ１１において、パージ決定部１５は、移載装置１３に対する搬送指令を取得する。また、ステップＳ１２において、パージ決定部１５は取得した搬送指令に基づいて、保管棚１１への容器Ｆの搬入元を特定する。また、パージ決定部１５はステップＳ１３において記憶部１６から参照情報（図４参照）を取得し、ステップＳ１４において、保管棚１１への容器Ｆの搬入元を参照情報と照合して、パージ処理の要否を決定する。
次に、図５（Ａ）のステップＳ２において、保管制御装置１４はパージ処理を実行するか否かを判定する。保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を必要と決定した場合、パージ処理を実行すると判定し（ステップＳ２；Ｙｅｓ）、ステップＳ３において、パージ制御部４４に対してパージ処理の実行を要求する制御指令を供給することで、パージ処理を実行させる。また、保管制御装置１４は、パージ決定部１５がパージ処理を不要と決定した場合、パージ処理を実行しないと判定する（ステップＳ２；Ｎｏ）。ステップＳ４の処理後、又はパージ処理を実行しないと判定された場合（ステップＳ２；Ｎｏ）、保管装置１は、保管棚１１において容器Ｆを保管する。
上述の実施形態において、保管制御装置１４は、例えばコンピュータシステムを含む。保管制御装置１４は、記憶部１６に記憶されているプログラムを読み出し、この制御プログラムに従って各種の処理を実行する。この制御プログラムは、例えば、コンピュータに、容器Ｆを保管棚１１に保管することと、保管棚１１に設けられるパージ装置１２により容器Ｆにパージ処理を行うことと、保管棚１１への容器Ｆの搬入元、及び保管棚１１からの容器Ｆの搬出先の少なくとも一方に応じて、パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することとを含む制御を実行させる。このプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記録されて提供されてもよい。
なお、上述の実施形態において、パージ決定部１５は移載装置１３への搬送指令に応じてパージ処理の要否を決定するが、その他の情報に基づいてパージ処理の要否を決定してもよい。例えば、保管装置１は、上位制御装置５１あるいは処理装置２から容器Ｆの情報などを取得し、この情報に基づいてパージ処理の要否を決定してもよい。容器Ｆの情報は、例えば、容器Ｆの個別のＩＤなどと関連付けられ、容器Ｆに収容された物品の種類、処理の段階などの情報を含む。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１５−１６８５９４、及び上述の実施形態などで引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
１ 保管装置
２ 処理装置
３ 天井搬送車（搬送車）
４、５ ロードポート
６、７ 入出庫ポート（搬送車用ポート）
１１ 保管棚
１２ パージ装置
１３ 移載装置（入出庫装置）
１５ パージ決定部
Ｆ 容器

Claims (10)

  1. 容器を保管する保管棚と、
    前記保管棚に設けられ、前記容器にパージ処理を行うことが可能なパージ装置と、
    前記保管棚への前記容器の搬入元、及び前記保管棚からの前記容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、前記パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定するパージ決定部と、を備える保管装置。
  2. 前記保管棚への前記容器の搬入および前記保管棚からの前記容器の搬出を行う入出庫装置を備え、
    前記パージ決定部は、前記入出庫装置への搬送指令に応じて、前記パージ処理の要否を決定する、請求項１に記載の保管装置。
  3. 前記容器に収容された物品を処理する処理装置に併設され、搬送車によって前記容器が受け渡される搬送車用ポートと、前記処理装置のロードポートとの間で受け渡される前記容器を前記保管棚に保管し、
    前記パージ決定部は、前記入出庫装置に対する前記搬送車用ポートと前記保管棚との間の前記搬送指令、または前記入出庫装置に対する前記ロードポートと前記保管棚との間の前記搬送指令に基づいて、前記パージ処理の要否を決定する、請求項２に記載の保管装置。
  4. 前記搬送指令が、前記容器を前記搬送車用ポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬入元が前記搬送車用ポートであると特定する、請求項３に記載の保管装置。
  5. 前記搬送指令が、前記容器を前記搬送車用ポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬出先が前記ロードポートであると特定する、請求項３または請求項４に記載の保管装置。
  6. 前記搬送指令が、前記容器を前記ロードポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬入元が前記ロードポートであると特定する、請求項３に記載の保管装置。
  7. 前記搬送指令が、前記容器を前記ロードポートから前記保管棚へ搬送させる指令である場合、前記パージ決定部は、前記搬出先が前記搬送車用ポートであると特定する、請求項３または請求項６に記載の保管装置。
  8. 前記パージ決定部は、前記搬出先を特定した結果を、前記搬出先と前記パージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、前記パージ処理の要否を決定する、請求項５または請求項７に記載の保管装置。
  9. 前記パージ決定部は、前記搬入元を特定した結果を、前記搬入元と前記パージ処理の要否とを関連付けた参照情報と照合して、前記パージ処理の要否を決定する、請求項６または請求項８に記載の保管装置。
  10. 容器を保管棚に保管することと、
    前記保管棚に設けられるパージ装置により前記容器にパージ処理を行うことと、
    前記保管棚への前記容器の搬入元、及び前記保管棚からの前記容器の搬出先の少なくとも一方に応じて、前記パージ処理の要否および条件の少なくとも一方を決定することと、を含む保管方法。
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