KR100740805B1 - 다단 반송장치 및 그것을 사용한 기판 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 적어도 2개 이상의 기판들을 동시에 반송할 수 있는 다단 반송 장치 및 그것을 사용한 기판 처리 설비에 관한 것이다. 본 발명의 특징에 의하면, 기판 처리 설비는 기판이 놓여지는 서셉터들이 2열로 배치된 공정챔버; 상기 공정챔버와 연결되는 트랜스퍼 챔버; 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인수받기 위한 제1다단 반송 장치; 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인계하기 위한 제2다단 반송 장치; 및 상기 트랜스퍼 챔버 밖에서 상기 제1,2다단 반송 장치로 기판을 주고받기 위한 반송 아암을 포함할 수 있다. 상술한 구성을 갖는 기판 처리 설비는 설비의 면적 대비 처리량을 증가시킬 수 있으며, 기판의 반송 및 처리 시간을 단축시킬 수 있는 이점이 있다.
기판, 공정챔버, 다단

Description

다단 반송장치 및 그것을 사용한 기판 처리 설비{MULTISTAGE TRANSFER EQUIPMENT AND WORKPIECE PROCESSING SYSTEM USING THE SAME}
도 1은 본 발명의 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 다단 반송 장치를 보여주는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 다단 반송장치가 펼쳐진 상태 및 접혀진 상태를 각각 보여주는 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는 다단 반송장치가 펼쳐진 상태 및 접혀진 상태를 각각 보여주는 기판 처리 설비의 측단면도이다.
도 5는 다단 반송장치가 설치된 트랜스퍼 챔버의 정단면도이다.
도 6은 기판이송로봇에서 다단 반송 장치로의 기판 인계를 보여주는 도면이다.
도 7a 내지 도 7i는 기판이 다단 반송 장치에서 서셉터로 인수 인계되는 과정을 단계적으로 보여주는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 기판 처리 설비의 전체적인 외관을 보여주는 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
102 : 인덱스
110 : 공정처리부
112 : 트랜스퍼 챔버
130a : 제1다단 반송 장치
130b : 제2다단 반송장치
132 : 제1이송체
142 : 제2이송체
본 발명은 기판 처리 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 적어도 2개 이상의 기판들을 동시에 반송할 수 있는 다단 반송 장치 및 그것을 사용한 기판 처리 설비에 관한 것이다.
일반적으로, 클라스터(cluster) 시스템은 이송 로봇(또는 핸들러;handler)과 그 주위에 마련된 복수의 처리 모듈을 포함하는 멀티 챔버형 기판 처리 시스템을 지칭한다. 최근에는, 액정 모니터 장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 장치, 반도체 제조 장치 등에 있어서 복수의 처리를 일관해서 실행할 수 있는 클러스터 시스템의 수요가 높아지고 있다. 예컨대, 클러스터 시스템은 반송실(transfer chamber)과, 이 반송실내에 회동 자유롭게 마련된 이송 로봇을 갖고 있다. 그리고 반송실의 각변에는 공정챔버 등의 처리 모듈이 장착될 수 있다.
그러나 기존의 클러시터 시스템은 이송 로봇이 한번에 하나의 피처리체(예컨 대 기판)를 이송하고, 또한 공정 챔버에서는 하나의 피처리체만을 처리하도록 구성되어 있기 때문에, 이러한 이송 장치와 공정챔버의 구성은 시스템 내의 기판을 처리하는데 필요한 전체 처리 시간을 증가시키는 원인으로 작용된다. 특히, 이것은 생산 속도를 저하시키며 완성 제품의 비용을 증가시키는 문제점을 유발시킨다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 설비의 면적 대비 처리량을 증가시킬 수 있는 그리고 기판의 반송 및 처리 시간을 감소시킬 수 있는 다단 반송 장치 및 그것을 사용한 기판 처리 설비를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 기판 처리 설비는 기판이 놓여지는 서셉터들이 2열로 배치된 공정챔버; 상기 공정챔버와 연결되는 트랜스퍼 챔버; 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인수받기 위한 제1다단 반송 장치; 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인계하기 위한 제2다단 반송 장치; 및 상기 트랜스퍼 챔버 밖에서 상기 제1,2다단 반송 장치로 기판을 주고받기 위한 반송 아암을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2다단 반송 장치는 상기 제1열의 서셉터들로 기판을 이송하기 위해 슬라이드 이동되는 제1이송체; 및 상기 제1이송체로부터 이격된 상태로 설치되며 상기 제2열의 서셉터들로 기판을 이송하기 위해 상기 제1이송체의 상부에서 슬라이드 이동되는 제2이송체를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1이송체는 상기 기판이 놓여지는 지지부를 갖는 하부 플레이트와; 상기 하부 플레이트를 이동시키기 위한 하부 구동장치를 포함하고, 상기 제2이송체는 상기 기판이 놓여지는 지지부를 갖는 상부 플레이트와; 상기 상부 플레이트를 이동시키기 위한 상부 구동장치를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 트랜스퍼 챔버의 상부에 설치되는 그리고 기판을 냉각하는 쿨링챔버 더 포함할 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 7i에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
본 발명의 기본적인 의도는 공정챔버에 2열로 배치된 서셉터로의 기판 이송에 적합한 그리고 전후 슬라이드 이동으로 펼쳐지거나 접혀지는 동작으로 기판을 이송할 수 있는 다단 반송 장치와 기판 처리 설비를 구비하는데 있다. 이를 달성하기 위하여 본 발명자는 전후 슬라이드 이동을 통해 제1열의 서셉터의 기판 이송을 책임지는 제1이송체와, 이 제1이송체 상에서의 전후 슬라이드 이동을 통해 제2열의 서셉터의 기판 이송을 책임지는 제2이송체를 갖는 다단 반송 장치를 갖는데 있다.
도 1은 본 발명의 기판 처리 설비를 개략적으로 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 다단 반송 장치를 보여주는 사시도이다. 도 3a 및 도 3b는 다단 반송장치가 펼쳐진 상태 및 접혀진 상태를 각각 보여주는 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 1 내지 도 3a를 참조하면, 기판 처리 설비(100)는 전방에 인덱스(102)를 갖는다. 인덱스(102)에는 기판(w)들이 적재된 2개의 풉(FOUP;104)(일명 캐리어)이 안착되는 그리고 풉의 덮개를 개폐하는 풉 오프너(FOUP opener)를 포함한다. 상기 풉(104)은 생산을 위한 일반적인 로트(lot)용 캐리어로써, 물류 자동화 시스템(예를 들어 OHT, AGV, RGV 등)에 의하여 인덱스(102)에 안착된다. 이 인덱스(102)는 기판 이송에 필요한 공간을 갖는 이송부(106)에 연결되도록 설치된다.
이송부(106)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, EFEM)이라고 불리는 인터페이스로, 이송부에는 인덱스(102)에 안착된 2개의 풉(104) 및 공정처리부(110) 사이에서 기판을 이송하기 위해 동작할 수 있는 기판이송로봇(108)이 설치된다. 이 기판이송로봇(108)은 인덱스(102)와 공정처리부(110) 사이에서 기판을 이송시킨다. 즉, 이 기판이송로봇(108)은 인덱스(102)에 놓여진 2개의 풉(104)으부터 기판을 1회 동작에 2장씩 반출하여 공정처리부(110)로 각각 반입시킨다. 이송부(106)에 설치되는 기판이송로봇(108)은 통상적으로 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 공정처리부(110)는 이송부(106) 후방에 배치된다. 공정처리부(110)는 트랜스퍼 챔버(112)와 공정챔버(116)로 이루어지는데, 트랜스퍼 챔버(112)는 이송부(106)에 인접하게 배치되고, 공정챔버(116)는 트랜스퍼 챔버(112) 후미에 연결 배치된다. 트랜스퍼 챔버(112) 전면에는 기판이 인입/인출되는 기판 출입구(114)를 갖으며, 기판 출입구(114)는 통상의 게이트 밸브(미도시됨)에 의해 개폐된다. 게이트 밸브는 이송부(106)로부터 트랜스퍼 챔버(112)를 밀폐시켜서 트랜스퍼 챔버(112)가 진공화 될 수 있게 한다. 그리고 트랜스퍼 챔버(112)와 공정챔버(116)간에는 게이트 밸브(미도시됨)에 의해 개폐되는 기판 출입구(118)를 갖는다. 이 게이트 밸브는 트랜스퍼 챔버(112)로부터 공정챔버(116)를 밀폐시켜서 공정챔버(116)의 방해 없이 트랜스퍼 챔버(112)가 대기압으로 통풍될 수 있게 한다. 통상적으로 트랜스퍼 챔버(112)는 두개 이상의 상이한 환경, 예를 들어 실온의 대기압 환경과 승온의 진공 환경 사이에서 완충 공간 역할을 하며, 공정챔버(116)에서 공정처리하기 위한 기판(또는 공정챔버에서 공정처리된 기판)이 일시적으로 대기하게 된다. 트랜스퍼 챔버(112)와 공정챔버(116)의 압력은 하나의 진공 펌프에 의해 제어될 수 있다.
도 8에서와 같이, 트랜스퍼 챔버(116)의 상부에는 기판을 냉각하는 쿨링 챔버(170)가 설치될 수 있다. 쿨링 챔버(170)는 이송부(106)의 일측에 배치될 수 도 있다. 참조부호 180은 플라즈마 소스부를 나타낸다.
공정챔버(116)에는 한열에 2개씩 총 4개의 서셉터(120a,120b)(일명 기판 척이라고도 불림)가 2열로 나란히 배치된다. 편의상, 기판 출입구(118)에 가까운 2개의 서셉터들을 제1열 서셉터(120a)들 그리고 그 뒤에 배치된 2개의 서셉터들을 제2열 서셉터(120b)들로 정한다. 도시하지 않았지만, 서셉터(120a,120b)들은 여러개 의 기본 기능, 즉 기판을 제1,2다단 반송 장치로부터 인계받거나 인계하는 기능(통상적으로 서셉터에 설치되는 리프트 핀 어셈블리에 의해 이루어짐), 처리중에 기판을 유지하는 기능, 기판을 처리온도에 따라 기판에 균일한 열적 환경을 제공하는 기능 등을 갖는 것은 자명한 사실이다.
여기서 공정 챔버(116)는 다양한 기판 프로세싱 작동들을 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버는 포토 레지스트를 제거하기 위해서 플라즈마를 이용하여 포토 레지스트를 제거하는 애싱(ashing) 챔버일 수 있고, 공정 챔버는 절연막을 증착시키도록 구성된 CVD 챔버일 수 있고, 공정 챔버는 인터커넥트 구조들을 형성하기 위해 절연막에 애퍼쳐(aperture)들이나 개구들을 에치하도록 구성된 에치 챔버일 수 있고, 공정 챔버는 장벽(barrier) 막을 증착시키도록 구성된 PVD 챔버일 수 있으며, 공정 챔버는 금속막을 증착시키도록 구성된 PVD 챔버일 수 있다. 집적 회로 또는 칩의 완전한 제조에 요구되는 모든 프로세스를 수행하기 위해 다수의 프로세싱 시스템들이 요구될 수 있다.
도 4a, 4b 그리고 도 5에 도시된 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(112)에는 이송부(106)의 기판이송로봇(108)으로부터 인수 받은 기판을 공정챔버(116)내의 서셉터(120a,120b)들상으로 인계하기 위한 특별한 구조의 제1,2다단 반송 장치(130a,130b)가 위 아래에 나란히 설치된다.
도 2는 도 1에 도시된 제1,2다단 반송 장치를 보여주는 사시도이다. 도 3a 및 도 3b는 제1,2다단 반송장치가 펼쳐진 상태 및 접혀진 상태를 각각 보여주는 기판 처리 설비의 평면도 및 측단면도이다.
도 2 내지 도 4b를 참조하면, 제1,2다단 반송 장치(130a,130b)는 한번에 4장의 기판(w)들을 로딩 또는 언로딩 할 수 있는 것으로, 특히 본 발명의 실시예에서 도시한 2열로 배치된 서셉터(120a,120b)들로의 기판 이송에 매우 적합한 구조를 갖고 있다.
제1다단 반송 장치(130a)는 이송부(106)의 기판이송로봇(108)에 의해 반송되어진 기판을 인계받아 공정챔버(116)의 제1열과 제2열의 서셉터들(120a,120b)일명 기판 척이라고도 불림)로 기판들을 인계하는 로딩전용 유닛이다. 그리고 제2다단 반송 장치(130b)는 제1다단 반송 장치(120a)와 반대로 제1열의 서셉터(120a)와 제2열의 서셉터(120b)에서 공정 처리를 마친 기판들을 인수받아 이송부(106)의 기판이송로봇(108)으로 인계하는 언로딩전용 유닛이다.
이렇게, 본 발명에서는 2개의 다단 반송 장치(130a,130b)가 4개의 서셉터(120a,120b)들로의 기판 로딩과 기판 언로딩을 각각 분담하여 처리하기 때문에 연속적으로 기판의 로딩/언로딩이 가능하여 신속한 기판 로딩,언로딩이 가능한 각별한 효과를 갖는다. 예컨대, 트랜스퍼 챔버(112)에는 1개의 다단 반송 장치만이 배치되어 공정챔버(116)에 설치된 4개의 서셉터(120a,120b)들의 기판 로딩과 언로딩을 처리할 수도 있다. 이 경우, 트랜스퍼 챔버(112) 내부의 높이를 슬림화할 수 있고 다단 반송 장치의 설치 비용을 줄일 수 있는 이점이 있는 반면에, 2개의 다단 반송 장치를 적용한 경우에 비해 상대적으로 로딩,언로딩 시간이 지연될 수 있는 단점이 있다. 즉, 트랜스퍼 챔버(112)에 설치된 다단 반송 장치는 한번에 4장의 기판들을 로딩 또는 언로딩할 수 있는 반면에 이송부(106)의 기판 이송 로봇(108)은 한번에 2장의 기판들만을 이송할 수 있기 때문이다. 따라서, 서셉터(120a,120b)들로부터 4장의 기판들을 언로딩 한 후 새로운 4장의 기판들(공정 처리전)을 서셉터(120a,120b)들로 로딩하기 까지 대기 시간이 늘어날 수 있다.
제1,2다단 반송 장치(130a,130b)는 동일한 구성으로 이루어지며, 이중에서 제1다단 반송장치(130a)에 대해서 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
제1다단 반송 장치(130a)는 크게 제1이송체(132)와 제2이송체(142)로 이루어진다. 제1이송체(132)는 제1열 서셉터(120a)들의 기판 인수인계를 위한 것이고, 제2이송체(134)는 제2열 서셉터(120b)들의 기판 인수인계를 위한 것으로, 특이하게 제2이송체(142)는 제1이송체(132) 상부에서 전후 슬라이드 가능한 구성으로 이루어진다.
제1이송체(132)는 기판이 놓여지는 지지부(133)를 갖는 하부 플레이트(134)와, 하부 플레이트(134)를 이동시키기 위한 하부 구동장치(135)를 포함한다. 하부 플레이트(134)는 좌우에 각각 기판이 놓여지고 기판의 양측 가장자리를 지지하는 지지부(133)를 갖는다.
제2이송체(142)는 양측에 각각 기판이 놓여지는 2개의 지지부(143)를 갖는 상부 플레이트(144)와, 상부 플레이트(144)를 이동시키기 위한 상부 구동장치(145)를 포함한다.
하부 플레이트(134)와 상부 플레이트(144)는 각각 지지부(133,143)의 앞뒤에 일정 폭(L)으로 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다. 여기서 폭(L)은 기판이송로봇(108)의 블레이드 보다 넓어야 하며 또한, 서셉터(120a,120b)의 리프트 핀(122) 들 보다 넓게 형성되어야지만 기판 인수/인계가 원활하게 이루어진다. 하부/상부 플레이트(134,144)의 개구부는 기판을 넘겨받기 위해 기판이송로봇(108)의 블레이드가 진입할 수 있는 제1진입통로(132a,142a)(도 6참조)와, 공정챔버(116)의 서셉터(120a,120b)로 기판을 넘겨주기 위해 서셉터(120a,120b)의 리프트 핀(122)들이 진입할 수 있는 제2진입통로(132b,142b)를 갖는다. 여기서 제1진입통로(132a,142a)는 지지부(133,143)보다 낮게 형성된 오목한 부분으로 이루어지며 제2진입통로(132b,142b)는 절개된 부분으로 이루어진다. 만약, 이러한 제1,2진입통로를 갖는 하부/상부 플레이트(134,144)가 없다면 기판이송로봇(108)이 하부/상부 플레이트(134,144)의 지지부(133,143)에 기판을 인계하는 과정에서 하부/상부 플레이트(134,144)와 기판이송로봇(108) 간의 충돌이 발생하거나, 하부/상부 플레이트(134,144)의 지지부(133,143)가 리프트 핀(122)들 상으로 기판을 인계하고 되돌아 올 때 리프트 핀(122)과 충돌이 발생할 수 있다. 예컨대, 하부/상부 플레이트(134,144)는 기판 인수/인계시 간섭이 발생되지 않도록 기판 인계 위치 및 기판이송로봇의 블레이드의 형상에 따라 적합한 모양으로 제작될 수 있다.
한편, 제1이송체(132)는 하부 구동장치(135)의 추진력에 의해서 그리고 제2이송체(142)는 상부 구동장치(145)의 추진력에 의해서 트랜스퍼 챔버(112)내에서 대기하는 대기위치(도 3b, 도 4b 참고)와 공정챔버(116)의 서셉터(120a,120b)들의 상부위치(도 3a, 도 4a 참고) 사이에서 직선 운동하게 되면서 기판을 이송시킨다.
하부 구동장치(135)는 트랜스퍼 챔버(112)의 일측에 설치되는 직선력을 발생하는 직선구동장치(136)와, 트랜스퍼 챔버(112)의 타측에 설치되어 제1이송체(132) 의 직선 이동을 가이드해주는 가이드레일(138)을 갖는다. 직선구동장치(136)는 트랜스퍼 챔버(112)의 일 측면에 설치되며, 직선구동장치(136)에 의해 발생되는 진선력은 제1이송체(132)로 전달되게 된다. 직선구동장치(136)는 모터(136a), 모터(136a)에 의해 회전되는 볼스크류(136b) 그리고 제1이송체(132)와 연결되는 볼너트(136c)를 포함한다. 볼너트(136c)는 볼스크류(136b)에 체결되어 볼스크류(136b)의 회전에 의해 직선 이동된다. 예컨대, 모터(136a)는 트랜스퍼 챔버(112)의 오염 방지를 위해 트랜스퍼 챔버의 외부에 설치될 수 있다. 특히, 파티클이 많이 발생되는 볼스크류(136b)는 벨로우즈 형태의 튜브(137)로 싸여져 있어서, 볼스크류(136b)에서 발생되는 파티클로 인한 트랜스퍼 챔버의 오염을 최소화할 수 있다.
본 발명에서는 모터와 볼스크류 그리고 볼너트를 이용한 방식을 적용하였으나, 이는 하나의 예에 불과하며 실린더 장치와 같은 직선력을 발생하는 다양한 방식의 직선구동장치가 사용될 수 있음은 자명하다.
상부 구동장치(145)는 하부 구동장치(135)와 거의 동일한 구성을 갖는데, 직선구동장치(146)는 하부 플레이트(134)의 상부 일측에 설치되고, 가이드레일(148)은 하부 플레이트(134)의 타측에 설치된다. 이렇게 상부 플레이트(144)는 상부 구동장치(145)에 의해 상기 하부 플레이트(134)의 상부로부터 이격된 상태에서 제2열의 서셉터(120b) 상부위치로 슬라이드 이동되는 것이다.
이처럼, 본 발명의 제2이송체(142)의 상부 플레이트(144)가 트랜스퍼 챔버(112)의 대기위치에서 제2열의 서셉터(120b) 상부위치까지 이동하는 거리는, 제1이송체(132)의 상부 플레이트(134)가 이동한 거리와 상부 플레이트(144)가 하부 플레 이트(134)에서 전진 이동한 거리를 합한 것에 대응되며, 제1다단 반송 장치(130a)는 제1이송체(132)와 제2이송체(142)가 다단으로 신장하는 특징을 갖으며, 신장 거리는 슬라이드 되는 플레이트의 적층 수에 비례해서 길어질 수 있는 것이다.
이처럼, 본 발명의 기판 처리 설비(100)는 다단 반송 장치의 제1,2이송체(132,142)가 다단으로 신장되고 각각의 이송체가 2열로 배치된 서셉터(120a,120b)들의 기판 이송을 책임짐으로써, 2열(또는 그 이상)로 배치된 서셉터(120a,120b)들로의 기판 반송이 한번에 가능하여 멀티 서셉터 구조에서의 기판 반송에 매우 적합한 이점이 있는 것이다.
제1,2다단 반송 장치(130a,130b)와 제1,2열 서셉터(120a,120b)들간의 기판 로딩/언로딩 과정은 도 7a 내지 도 7i에서 자세히 보여주고 있다.
도 7a 내지 도 7i에서 보여주는 바와 같이, 공정챔버(116)에서 그 전에 제1다단 반송 장치(130a)에 의해 4개의 서셉터(120a,120b)들로 로딩된 기판들의 공정 처리가 진행되며(7a), 그 동안 새로운 기판(w)들은 기판이송로봇(108)에 의해 트랜스퍼 챔버(112)에서 대기중인 제1다단 반송 장치(130a)(제1,2이송체)의 지지부(133,143)들에 각각 놓여진다. 기판이송로봇(108)의 블레이드는 기판을 지지부(133,143)에 올려 놓은 후 제1진입통로(132a.142a)를 통해 빠져나가게 된다. 기판이송로봇(108)은 2번에 걸쳐 4장의 기판들을 제1다단 반송 장치(130a)의 지지부(133,143)들에 옮겨놓는다. 공정챔버(116)에서의 기파 처리가 완료되면, 제1,2열 서셉터(120a,120b)의 기판들은 리프트핀(122)들에 의해 제1언로딩 높이로 상승된다(도 7c). 제1다단 반송 장치(130a)와 제2다단 반송 장치(130)는 트랜스퍼 챔버 (112)의 대기위치에서 공정챔버(116)의 서셉터(120a,120b) 상부인 로딩/언로딩 위치로 슬라이드 이동된다. 이때, 제2다단 반송장치(130b)의 하부 플레이트(134) 상부에는 제1열 서셉터(120a)로부터 들어올려진 기판들이 위치되고, 상부 플레이트(144) 상부에는 제2열의 서셉터(120b)로부터 들어올려진 기판들이 위치된다(도 7d). 이 상태에서 각 서셉터(120a,120b)들의 리프트핀(122)들이 하강하여 제2다단 반송 장치(130b)의 하부/상부 플레이트(134,144)에 기판들을 올려놓게 된다(도 7e). 기판들을 인수받은 제2다단 반송 장치(130b)는 트랜스퍼 챔버(112)의 대기 위치로 이동된다(도 7f). 제2다단 반송장치(130b)가 공정챔버(116)에서 물러나면, 제1,2열 서셉터(120a,120b)의 리프트핀(122)들이 로딩 높이로 상승하여 제1다단 반송장치(130a)의 제1,2이송체(132,142)에 올려져 있는 기판들을 들어올리게 된다(도 7g). 그 상태에서 제1다단 반송 장치(130a)는 트랜스퍼 챔버(112)의 대기 위치로 원 위치된다(도 7h). 제1다단 반송장치(130a)가 공정챔버(116)에서 물러나면, 리프트 핀들(122)이 하강하여 기판(w)을 제1,2열 서셉터(120a,120b)들 상면에 올려놓게 된다(도 7i). 한편, 트랜스퍼 챔버(112)에서는 이송부의 기판이송장치(108)가 제2다단 반송장치(130b)에 놓여진 기판(공정을 마친 기판)들을 2번에 걸쳐 인수해가고, 새로운 기판들을 제1다단 반송 장치(130a)에 인계하는 과정이 진행된다.
이상에서, 본 발명에 따른 기판 처리 설비의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 처리 설비는 설비의 면적 대비 처리량을 증가시킬 수 있는 이점이 있다. 본 발명의 기판 처리 설비는 기판의 반송 및 처리 시간을 단축시킬 수 있는 이점이 있다.

Claims (11)

  1. 서셉터들(120a, 120b)이 수평되게 2열로 배치된 공정챔버(116)로의 기판 반송을 위한 다단 반송장치(130a, 130b)에 있어서:
    제1열의 상기 서셉터(120a)로의 기판 인수인계를 위하여 전후 이동 가능한 제1이송체(132); 및
    상기 제1이송체의 상부에 이격된 상태로 배치되어 제2열의 상기 서셉터(120b)로의 기판 인수인계를 위하여 상기 제1이송체로부터 전후 이동 가능한 제2이송체(142)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(133)를 갖는 하부 플레이트(134)와;
    상기 하부 플레이트를 이동시키기 위한 하부 구동장치(135)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(143)를 갖는 상부 플레이트(144)와;
    상기 상부 플레이트를 이동시키기 위한 상부 구동장치(145)를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트는
    기판을 넘겨받기 위해 외부의 반송로봇(108)이 진입할 수 있는 제1진입통(132a, 142a)로와, 상기 공정챔버의 서셉터로 기판을 인수인계하기 위해 서셉터의 리프트 핀들이 진입할 수 있는 제2진입통로(132b, 142b)를 갖는 것을 특징으로 하는 다단 반송 장치.
  5. 기판 처리 시스템에 있어서,
    기판이 놓여지는 서셉터(120a, 120b)들이 수평되게 2열로 배치된 공정챔버(116);
    상기 공정챔버와 연결되는 트랜스퍼 챔버(112);
    상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인수받기 위한 제1다단 반송 장치(130a);
    상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 인계하기 위한 제2다단 반송 장치(130b); 및
    상기 트랜스퍼 챔버 밖에서 상기 제1,2다단 반송 장치로 기판을 주고받기 위한 반송 아암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1,2다단 반송 장치는
    상기 제1열의 서셉터들로 기판을 이송하기 위해 슬라이드 이동되는 제1이송체(132); 및
    상기 제1이송체로부터 이격된 상태로 설치되며 상기 제2열의 서셉터들로 기판을 이송하기 위해 상기 제1이송체의 상부에서 슬라이드 이동되는 제2이송체(142)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(133)를 갖는 하부 플레이트(134)와;
    상기 하부 플레이트를 이동시키기 위한 하부 구동장치(135)를 포함하고,
    상기 제2이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(143)를 갖는 상부 플레이트(144)와;
    상기 상부 플레이트를 이동시키기 위한 상부 구동장치(145)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 트랜스퍼 챔버의 상부에 설치되는 그리고 기판을 냉각하는 쿨링챔버(170) 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  9. 기판 처리 시스템에 있어서,
    기판이 놓여지는 서셉터들(120a, 120b)이 수평되게 2열로 배치된 공정챔버(116);
    상기 공정챔버와 연결되는 트랜스퍼 챔버(112);
    상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되며, 상기 공정챔버의 제1,2열의 서셉터들로 기판을 주고받는 다단 반송 장치(130a, 130b); 및
    상기 트랜스퍼 챔버 밖에서 상기 다단 반송 장치로 기판을 주고받는 반송 아암을 포함하되;
    상기 다단 반송 장치는
    상기 제1열의 서셉터들(120a)로 기판을 이송하기 위해 슬라이드 이동되는 제1이송체(132); 및 상기 제1이송체로부터 이격된 상태로 설치되며 상기 제2열의 서셉터들(120b)로 기판을 이송하기 위해 상기 제1이송체의 상부에서 슬라이드 이동되는 제2이송체(142)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(133)를 갖는 하부 플레이트(134)와;
    상기 하부 플레이트를 이동시키기 위한 하부 구동장치를 포함하고,
    상기 제2이송체는
    상기 기판이 놓여지는 지지부(143)를 갖는 상부 플레이트(144)와;
    상기 상부 플레이트를 이동시키기 위한 상부 구동장치(145)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 하부 플레이트와 상기 상부 플레이트는
    기판을 넘겨받기 위해 외부의 반송로봇이 진입할 수 있는 제1진입통로(132a, 142a)와, 상기 공정챔버의 서셉터로 기판을 인수인계하기 위해 서셉터의 리프트 핀들이 진입할 수 있는 제2진입통로(132b, 142b)를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
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