JP4614529B2 - インライン式基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、基板に対して真空中で連続して処理する基板処理装置に関するものであり、特に、基板の搬送路に沿って複数の真空チャンバーが配置されたインライン式基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板に対する表面処理は、薄膜作成処理やエッチング等として広く知られている。例えば薄膜作成処理は、スパッタリング装置や真空蒸着蒸着装置のような物理的な作用を利用したものや、化学蒸着装置(CVD装置)のような化学的作用を利用したものが知られている。このような基板処理装置は、LSI(大規模集積回路)等の半導体デバイスや液晶ディスプレイ等の表示装置、ハードディスク等の記録媒体の製造に盛んに使用されている。
このような基板処理装置の中には、異種又は同種の処理を真空中で連続して行うため、複数の真空チャンバーを基板の搬送路3に沿って気密に縦設した構成が採用したものがあり、インライン式基板処理装置と呼ばれる。特開平8−274142号公報に開示された装置は、このようなインライン式基板処理装置の一例である。
【0003】
上述したインライン式基板処理装置においても、生産性の向上が重要な課題となっている。生産性を向上させる単純な方法は、生産現場により多くの装置を導入することである。つまり、従来一台の装置であったら、二台、三台と増やしていけば良い。そうすれば、生産性は二倍、三倍になる。
しかしながら、装置を二台、三台と増やしていけば、その分だけスペースが必要になる。生産性を向上させるため、ある程度大きなスペースが必要になるのは仕方のない面もあるが、必要スペースの拡大はある程度抑えたいという意向もある。
本願の発明は、このような課題を解決するため成されたものであり、占有スペースの拡大を抑えつつ生産性を向上させることが可能な実用的な構成のインライン式基板処理装置を提供する技術的意義がある。
【0004】
上記課題を解決するため、本願の請求項1記載の発明は、処理対象物である基板を保持する基板保持具と、この基板保持具を移動させて基板を搬送する搬送系と、所定の処理を基板に対して真空中で連続的にできるように搬送路に沿って配置された複数の真空チャンバーとより成るインライン式基板処理装置であって、前記搬送路は無終端の周状であって、前記基板保持具は所定回数の成膜処理の間大気に取り出されることなく真空中で前記搬送路を周回するものであり、
前記搬送路は複数に区分されていて、各区分では同一又は異種の前記真空連続処理が行われるようになっており、各区分の搬送路の最上流部には大気側から基板を搬入する真空チャンバーであるロードロックチャンバーが設けられ、各区分の搬送路の最下流部には大気側に基板を搬出する真空チャンバーであるアンロードロックチャンバーが設けられているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記搬送路は方形であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項1又は2の構成において、前記基板保持具は、大気側に取り出されることなく前記搬送路を所定回数周回して基板の保持に利用されるものであるという構成を有する。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。
図1は、本願発明の実施形態のインライン式基板処理装置の平面概略図である。
図1に示す装置は、処理対象物である基板(図1中不図示)を保持する基板保持具1と、この基板保持具1を移動させて基板を搬送する搬送系と、基板に対して真空中で連続して処理ができるように搬送路3に沿って配置された複数の真空チャンバー41〜49,51〜59とより成る構成である。
【0006】
搬送路3は、図1に示すように無終端の周状、より具体的には方形である。基板保持具1は、所定回数の成膜処理の間大気に取り出されることなく真空中で搬送路3を所定回数周回するようになっている。各真空チャンバー41〜49,51〜59は、専用又は兼用の排気系によって排気される気密な容器である。各真空チャンバー41〜49,51〜59の境界部分には、ゲートバルブ6が設けられている。
【0007】
次に、図2を使用して、基板保持具1の構成について説明する。図2は、図1の装置で使用される基板保持具1の正面概略図である。
本実施形態の装置は、液晶ディスプレイ用の基板のようなほぼ方形の基板9に対して薄膜を作成するものとなっている。この基板9は、隅の部分への膜の付着を防止するマスク枠90内に収容されている。マスク枠90は、基板9の形状寸法に適合したほぼ方形の開口を有し、その開口の縁がV溝となっている。そして、マスク枠90は、このV溝に基板9の周縁を落とし込むようにして基板9を収容している。
【0008】
基板保持具1は、このように基板9を収容したマスク枠90を垂直な姿勢で保持するものである。基板保持具1は、保持具本体11と、保持具本体11に取り付けた二つの保持板12とから成る構成である。各保持板12は、垂直な姿勢であり、水平な上縁から下方にほぼ方形の切り欠きを設けた形状である。
マスク枠90は、この方形の切り欠き内で保持されるようになっている。保持板12は、切り欠きの両側の縁に、マスク枠90の側縁が落とし込まれるV溝を有している。また、両側の縁のうちの下半分の部分には、マスク枠90の転倒を防止する一対の凸部121が形成されている。
【0009】
図3は、図2に示す保持板12の凸部121の形状を示す平面断面概略図である。図3に示すように、一対の凸部121は、マスク枠90を両側から挟み込み、転倒を防止している。基板保持具1は、搬送系によって移動する際、後述するように回転運動を行う場合があるので、このような場合にマスク枠90が転倒しないようにしている。尚、一対の凸部121は、マスク枠90の搭載及び回収の際、マスク枠90の側縁の移動をガイドするガイドレールとしても機能する。
【0010】
また、図2に示すように、各保持板12は、切り欠きの下側の水平な縁の部分に、二つの突出部122を有している。二つの突出部122は、マスク枠90の下縁に接触してマスク枠90を支える部分である。突出部122は、水平方向に長いV溝を有し、このV溝にマスク枠90の下縁が落とし込まれている。
【0011】
次に、このような基板保持具1を移動させて基板9を搬送する搬送系の構成について、図2及び図4を使用して説明する。図4は、搬送系及び第一成膜チャンバー45の構成について説明する側面概略図である。
図2に示すように、基板保持具1の保持具本体11下端部には、小さな磁石(以下、保持具側磁石)111が多数設けられている。各保持具側磁石111は、上下の面に磁極を有している。この保持具側磁石111は、図2に示すように、配列方向に交互に逆の磁極になっている。
【0012】
また、基板保持具1の下側には、図2中不図示の隔壁を挟んで磁気結合ローラ21が設けられている。磁気結合ローラ21は丸棒状の部材であり、図2に示すように、螺旋状に延びる細長い磁石(以下、ローラ側磁石)211を有している。このローラ側磁石211は互いに異なる磁極で二つ設けられており、二重螺旋状になっている。
【0013】
磁気結合ローラ21は、ローラ側磁石211が隔壁を挟んで保持具側磁石111に向かい合うよう配置されている。不図示の隔壁は、透磁率の高い材料で形成されており、保持具側磁石111とローラ側磁石211とは、隔壁を通して磁気結合している。尚、隔壁の基板保持具1側の空間は真空側であり、磁気結合ローラ21側の空間は大気側である。このような磁気結合ローラ21は、図1に示す方形の搬送路3に沿って設けられている。
【0014】
また、図4に示すように、基板保持具1は、水平な回転軸の回りに回転する主プーリ22の上に載せられている。主プーリ22は、図1に示す方形の搬送路3に沿って多数設けられている。また、基板保持具1の下端部分には、垂直な回転軸の回りに回転する一対の副プーリ23が当接している。この副プーリ23は、基板保持具1の下端部分を両側から挟むように押さえて基板保持具1の転倒を防止している。この副プーリ23も、搬送路3に沿って多数設けられている。
【0015】
磁気結合ローラ(図4中不図示)には傘歯車24を介して駆動棒25が連結されている。そして、駆動棒35には移動用モータ26が接続されており、駆動棒25を介して磁気結合ローラ21をその中心軸の周りに回転させるようになっている。
磁気結合ローラ21が回転すると、図2に示す二重螺旋状のローラ側磁石211も回転する。この際、ローラ側磁石211が回転する状態は、保持具側磁石111から見ると、交互に異なる磁極の複数の小さな磁石が一列に並んでその並びの方向に沿って一体に直線移動しているのと等価な状態となる。従って、ローラ側磁石211に結合している保持具側磁石111は、ローラ側磁石211の回転とともに直線移動し、この結果、基板保持具1が全体に直線移動することになる。この際、図4に示す主プーリ22及び副プーリ23は従動する。
【0016】
また、図1に示す構成において、方形の搬送路3の角の部分に設けられた真空チャンバー42,48,52,58は、基板9の搬送方向を90度転換する方向転換機構を備えた方向転換チャンバーになっている。方向転換機構の構成は、特開平8−274142号公報に開示されたものを使用することができるので、詳細な説明は省略する。
【0017】
さて、本実施形態の装置の大きな特徴点は、上記搬送路3が複数に区分されていて、各区分での真空連続処理が行われるようになっている点である。以下、この点について図5を使用して説明する。図5は、図1に示す装置における搬送路3の区分について説明する図である。
本実施形態では、搬送路3は二つに区分されている。具体的には、図5に示すように、紙面上上下に延びる中心線を挟んで左側と右側とに区分されている。以下、左側の搬送路3を第一区分搬送路31、右側の搬送路3を第二区分搬送路32と呼ぶ。
【0018】
図1及び図5に示す方形の搬送路3のうち、紙面上下側の辺には、第一区分搬送路31の最上流部と、第二区分搬送路32の最下流部が位置している。第一区分搬送路31の最上流部には、第一区分搬送路31上で真空連続処理を行う基板9を大気側から搬入する第一ロードロックチャンバー41が設けられている。また、第二区分搬送路32の最下流部には、第二区分搬送路32上で真空連続処理がされた基板9を大気側に搬出する第二アンロードロックチャンバー59が設けられている。第一ロードロックチャンバー41と第二アンロードロックチャンバー59とは、ゲートバルブ6を介して気密に接続されている。
【0019】
また、図1に示す方形の搬送路3のうち、紙面上上側の辺には、第一区分搬送路31の最下流部と第二区分搬送路32の最上流部が位置している。第一区分搬送路31の最下流部には、第一区分搬送路31上で真空連続処理された基板9を大気側に搬出する第一アンロードロックチャンバー49が設けられている。また、第二区分搬送路32の最上流部には、第二区分搬送路32上で真空連続処理を行う基板9を大気側から搬入する第二ロードロックチャンバー51が設けられている。第一アンロードロックチャンバー49と第二ロードロックチャンバー51とは、同様にゲートバルブ6を介して気密に接続されている。
【0020】
第一第二ロードロックチャンバー41,51内には、それぞれ搬入用ロボット71が設けられている。また、第一第二アンロードロックチャンバー49,59内には、搬出用ロボット72が設けられている。搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72の構成について、図6及び図7を使用して説明する。
図6及び図7は、搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72の構成について説明する図である。搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72は、内部に基板9を収容したマスク枠90を保持しながら基板9の搬入搬出を行うロボットである。搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72は同様の構成なので、以下、一例として搬入用ロボット71の構成について図示及び説明する。
【0021】
搬入用ロボット71は、図6に示すように、多関節のアーム711と、このアーム711を駆動するロボット本体712と、アーム711の先端に固定された先端ユニット713とから成っている。ロボット本体712は、アーム711の伸縮運動、垂直な軸の周りの回転運動及び上下運動を行うようになっている。
先端ユニット713は、アーム711の先端に固定された垂直な姿勢のベース板714と、ベース板714に固定された三つのフィンガ715,716,717とから成る。各フィンガ715,716,717は、水平に延びており、先端でマスク枠90を保持するようになっている。
【0022】
三つのフィンガ715,716,717のうちの一つ(以下、第一フィンガ)715は、ベース板714の下端中央に固定されている。残りの二つのフィンガ(第二第三フィンガ)716,717は、ベース板714の上端の両隅に固定されている。即ち、第二フィンガ716は、ベース板714の上端の左隅から水平に延びており、第三フィンガ717は、ベース板714の上端の右隅から水平に延びている。
【0023】
第一フィンガ715の先端には、図6に示すようにV溝が二つ形成されている。マスク枠90が保持される際、マスク枠90の下縁がこのV溝に落とし込まれる。また、第二第三フィンガ716,717の先端にも、二つのV溝が形成されている。マスク枠90の上端の両隅には、図2に示すように円形の保持用開口91が設けられている。第二第三フィンガ716,717の先端は、図7に示すように、この保持用開口91内に進入してV溝で保持用開口91の上縁を受ける。この結果、各マスク枠90が各フィンガ715,716,717に接触して支持されるようになっている。
【0024】
次に、基板9の搬入搬出の動作について説明する。
未処理の基板9は、予めマスク枠90に収容され、図1中不図示の未処理用カセット内に収められている。このカセットは、マスク枠90を垂直な姿勢で複数収容可能なものである。第一第二ロードロックチャンバー41,51内では、所定の位置で空の(基板9を保持していない)基板保持具1が待機している。
【0025】
搬入用ロボット71は、前述したように未処理用カセット内のマスク枠90を保持し、アーム711を伸ばして先端ユニット713を第一第二ロードロックチャンバー41,51内の基板保持具1の真上まで持っていく。搬入用ロボット71は、マスク枠90内の基板9の板面が、基板保持具1の保持板12の板面方向に一致した状態とし、その状態を保持しながらアーム711を下降させ、マスク枠90を前述したように保持板12の切り欠き内に位置させる。この際、マスク枠90は、その側部が保持板12の一対の凸部121によってガイドされがら下降し、下縁が突出部122のV溝に落とし込まれる。これにより、マスク枠90が基板保持具1に保持された状態となる。その後、搬入用ロボット71は、先端ユニット713をわずかに下降させ、アーム711を縮めて先端ユニット713を後退させる。
【0026】
処理済みの基板9を搬出する搬出用ロボット72の動作は、これは逆になる。即ち、アーム711を伸ばして先端ユニット713を基板保持具1のところに持っていき、少し上昇させて三つのフィンガ715,716,717で保持枠を支持する。搬出用ロボット72は、そのまま先端ユニット713を上昇させ、マスク枠90を基板保持具1から引き抜く。マスク枠90が所定の上昇位置に達したら、アーム711の縮めて先端ユニット713を後退させる。そして、マスク枠90を、図1中不図示の処理済み用カセットのところまで持っていき、処理済み用カセットに収める。
【0027】
次に、本実施形態の装置における各真空チャンバー41〜49,51〜59の構成について説明する。
本実施形態では、基板9に対する処理の一例として、薄膜作成処理(成膜処理)を含む処理を真空中で連続して行うようになっている。そして、第一区分搬送路31上での真空連続処理と、第二区分搬送路32上での真空連続処理とは同一のものとなっている。即ち、第一区分搬送路31上の各真空チャンバー41〜49の構成と、第二区分搬送路32上の各真空チャンバー51〜59の構成は、同一のものとなっている。以下、一例として、第一区分搬送路31上の各真空チャンバー41〜49の構成について説明する。
【0028】
第一区分搬送路31上の各真空チャンバーについて、基板9が搬送される順に説明すると、第一ロードロックチャンバー41、第一方向転換チャンバー42、第一プリヒートチャンバー43、第二プリヒートチャンバー44、第一成膜チャンバー45、第二成膜チャンバー46、予備真空チャンバー47、第二方向転換チャンバー48、第一アンロードロックチャンバー49となっている。
【0029】
第一第二プリヒートチャンバー43,44は、真空中で基板9を加熱して基板9の表面又は内部のガスを予め放出させるものである。第一第二プリヒートチャンバー43,44は、ともに同様の構成であり、輻射加熱ランプによって基板9を所定の温度まで加熱するよう構成されるている。
【0030】
第一第二成膜チャンバー45,46は、本実施形態では、同様の構成となっており、スパッタリングによる成膜を行うものとなっている。以下、一例として、第一成膜チャンバー45の構成について説明する。図4には、第一成膜チャンバー45の構成が示されている。
第一成膜チャンバー45は、内部を排気する排気系451と、内部にプロセスガスを導入するガス導入系452と、内部の空間に被スパッタ面を露出させて設けたターゲット453と、ターゲット453にスパッタ放電用の電圧を印加するスパッタ電源454と、マグネトロンスパッタリングを行うためにターゲットの背後に設けられた磁石機構455とから主に構成されている。磁石機構455は、中央磁石456と、中央磁石を取り囲む周辺磁石457と、両者をつなぐヨーク458等から構成されている。
【0031】
ガス導入系452によってプロセスガスを導入しながら排気系451によって第一成膜チャンバー45内を所定の圧力に保ち、この状態でスパッタ電源454を動作させる。この結果、スパッタ放電が生じてターゲット453がスパッタされ、スパッタされたターゲット453の材料が基板9に達して基板9の表面に所定の薄膜が作成される。
尚、図2に示すように、本実施形態では基板保持具1は二枚の基板9を同時に保持している。第一成膜チャンバー45内では、最初の基板9がターゲット453に対向する状態で成膜が行われた後、基板保持具1が移動して次の基板9がターゲット453に対向する状態とし、次の基板9への成膜を行う。
【0032】
また、特開平10−88336号公報に開示されているように、磁石機構455をターゲット453の中心軸から偏心した配置とし、磁石機構455が、ターゲット453の中心軸の周りの回転(公転)及び自らの中心軸の周りの回転(自転)とを行うようにすると、エロージョンが均一になるので好適である。
【0033】
成膜の一例としては、透明電極用のITO(Indium-Tin-Oxide)膜が挙げられる。この場合、ターゲット453は、ITOから成るものが使用される。ガス導入系452は、アルゴンと酸素を混合して導入するよう構成される。酸素は、ターゲット453をスパッタする作用もあるが、酸化作用によって膜の組成や特性を良くするために導入される。
【0034】
尚、図1に示す予備真空チャンバー47は、必要に応じて構成が最適化される。例えば、成膜後に基板9を冷却する必要がある場合、冷却チャンバーとして構成される。冷却チャンバーは、特開平11−203734号公報に開示されているように、所定の低温に冷却された冷却ブロックを基板9に対向させ、基板9と冷却ブロックとの間にヘリウム等の熱伝導性の高いガスを導入する構成とされる。
【0035】
次に、上記構成に係る本実施形態の装置の全体の動作について説明する。本実施形態の装置は、全体として構成が左右対称であることから、動作も全体に左右対称であり、同じ動作をする。
まず、第一区分搬送路31上の第一ロードロックチャンバー41内には、基板9を保持していない基板保持具1が位置し、第一アンロードロックチャンバー49内には、処理済みの基板9を搭載した基板保持具1が位置している。また、第二区分搬送路32上の第二ロードロックチャンバー51内には、基板9を搭載していない基板保持具1が位置し、第二アンロードロックチャンバー59内には、処理済みの基板9を搭載した基板保持具1が位置している。さらに、第一区分搬送路31上の各真空チャンバー42〜48及び第二区分搬送路32上の各真空チャンバー52〜58内には、基板9を保持した基板保持具1が位置している。
【0036】
この状態で、1タクトタイムが開始される。即ち、各プリヒートチャンバー43,44,53,54内では予備加熱が行われ、各成膜チャンバー45,46,55,56では所定の成膜が行われる。並行して、第一第二ロードロックチャンバー41,51内では未処理の基板9の基板保持具1への搭載動作が前述したように行われ、第一第二アンロードロックチャンバー49,59内では処理済みの基板9の基板保持具1からの回収動作がそれぞれ行われる。また、各方向転換チャンバー42,48,52,58では、不図示の方向転換機構が動作して基板9の搬送方向を90度転換する。
【0037】
1タクトタイムが経過すると、各ゲートバルブ6が開き、各基板保持具1は、搬送方向下流側の真空チャンバー41〜49,51〜59にそれぞれ移動する。そして、各ゲートバルブ6が閉じた後、同様にして次のタクトタイムの動作を繰り返す。
尚、第一アンロードロックチャンバー49内にあった基板保持具1は、処理済みの基板9の回収動作の後、大気に取り出されることなく第二ロードロックチャンバー51内に移動し、次の未処理の基板9の保持に利用される。また、第二アンロードロックチャンバー59内にあった基板保持具1は、処理済みの基板9の回収動作の後、大気に取り出されることなく第一ロードロックチャンバー41内に移動し、次の未処理の基板9の保持に利用される。
【0038】
このようにして、各基板保持具1は、基板9を保持しながら第一区分搬送路31上を移動した後、別の基板9を保持して第二区分搬送路32上を移動する。そして、第一区分搬送路31と第二区分搬送路32から成る方形の搬送路3を何回も周回しながら、次々に基板9を保持して、基板9の処理が行われるようにする。
尚、基板保持具1は、所定回数の周回の後、メンテナンス等のため大気に取り出される。これは、例えば基板保持具1の表面に堆積した膜の除去のためである。堆積した膜を除去しておかないと、剥離により微粒子(パーティクル)を発生させる原因となるからである。パーティクルが基板9に付着すると、局部的な膜厚異常等の欠陥を生じさせる原因になる場合がある。
【0039】
上記説明から解るように、本実施形態の構成によれば、一つの無終端状の搬送路3を区分して使い、未処理の基板9の投入と処理済みの基板9の投入とが複数箇所で行われるようにしている。このため、装置全体の占有スペースの増大を抑えつつ、生産性を高めることができる。生産性を高めるには、一例の連続真空処理を行う無終端状の搬送路3を複数設けることが考えられるが、このような構成は、前述したように装置自体を複数設置するのと同じであり、占有スペースが非常に大きくなってしまう。本実施形態のようにすれば、占有スペースの増大を抑えつつ真空チャンバーの数を増やすことができ、生産性をより高くすることができる。
【0040】
尚、本願発明は、複数の無終端状の搬送路を設けることを排除するものではない。複数の無終端状の搬送路を複数に区分して、複数の真空連続処理を行うようにする場合もある。
また、本実施形態では、搬送路3が方形であるので、各真空チャンバー41〜49,51〜59の配列も方形となり、装置全体の構造が整然となる。このため、スペースの利用効率が高く、既存の生産ラインへの導入が容易である。尚、搬送路3の形状は方形に限られる訳ではなく、三角形や五角形、六角形等でも良い。
【0041】
また、本実施形態では、基板保持具1が大気に取り出されることなく所定回数周回するので、大気中のゴミや不純ガスの取り込みが抑制されている。基板保持具1が一連の処理のたびに大気に取り出されると、大気中のゴミや不純ガスが基板保持具1の表面に付着し易い。これが遊離して基板9の表面に付着すると、基板9の表面を汚損する原因になる。また、基板保持具1が大気に取り出されると、基板保持具1に堆積した膜の表面酸化等が生じ内部応力が大きくなる。この結果、膜が剥離してパーティクルを発生させる可能性が高くなる。本実施形態の構成では、このような問題はない。
上記実施形態では、第一区分搬送路31上での真空連続処理と第二区分搬送路32上の真空連続処理は同じものであったが、異なる真空連続処理をするものであっても良い。また、区分搬送路の数は、三つ以上であっても良い。
【0042】
さらに、上記実施形態の説明では、成膜はITO膜の作成を例にして説明されたが、TFT(薄膜トランジスタ)用の成膜、ブラックマトリックス用の成膜等でも良い。また、装置は、液晶ディスプレイ製造プロセスに使用されるものの他、プラズマディスプレイの製造プロセスに使用されるものでも良い。さらに、ディスプレイ用の他、ハードディスク等の情報記録媒体の製造プロセスや、LSIを始めとする各種電子製品の製造プロセスに使用されるものでも良い。処理を行う真空チャンバー41〜49,51〜59の構成は、それらの目的のために適宜変更され、最適化される。従って、前述したスパッタリング以外の他、化学蒸着(CVD)のような成膜処理、プラズマを利用したエッチング処理等を行うよう構成される場合もある。
【0043】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本願の請求項1記載の発明によれば、一つの無終端状の搬送路を区分して使い、未処理の基板の投入と処理済みの基板の投入とが複数箇所で行われるようにしているため、装置全体の占有スペースの増大を抑えつつ、生産性を高めることができる。
また、請求項2記載の発明によれば、上記効果に加え、搬送路が方形であるので、スペースの利用効率が高く、既存の生産ラインへの導入が容易である。
また、請求項3記載の発明によれば、上記効果に加え、基板保持具が大気に取り出されることなく所定回数周回するので、大気中のゴミや不純ガスの取り込みが抑制される。このため、基板に対する処理の品質が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明の実施形態のインライン式基板処理装置の平面概略図である。
【図2】図1の装置で使用される基板保持具1の正面概略図である。
【図3】図2に示す保持板12の凸部121の形状を示す平面断面概略図である。
【図4】搬送系及び第一成膜チャンバー45の構成について説明する側面概略図である。
【図5】図1に示す装置における搬送路3の区分について説明する図である。
【図6】搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72の構成について説明する図である。
【図7】搬入用ロボット71及び搬出用ロボット72の構成について説明する図である。
【符号の説明】
1 基板保持具
3 搬送路
31 第一区分搬送路
32 第二区分搬送路
41 第一ロードロックチャンバー
45 第一成膜チャンバー
46 第二成膜チャンバー
49 第一アンロードロックチャンバー
51 第二ロードロックチャンバー
59 第二アンロードロックチャンバー
6 ゲートバルブ
71 搬入用ロボット
72 搬出用ロボット
9 基板
90 マスク枠
Claims (3)
- 処理対象物である基板を保持する基板保持具と、この基板保持具を移動させて基板を搬送する搬送系と、所定の処理を基板に対して真空中で連続的にできるように搬送路に沿って配置された複数の真空チャンバーとより成るインライン式基板処理装置であって、
前記搬送路は無終端の周状であって、前記基板保持具は所定回数の成膜処理の間大気に取り出されることなく真空中で前記搬送路を周回するものであり、
前記搬送路は複数に区分されていて、各区分では同一又は異種の前記真空連続処理が行われるようになっており、各区分の搬送路の最上流部には大気側から基板を搬入する真空チャンバーであるロードロックチャンバーが設けられ、各区分の搬送路の最下流部には大気側に基板を搬出する真空チャンバーであるアンロードロックチャンバーが設けられていることを特徴とするインライン式成膜装置。 - 前記搬送路は方形であることを特徴とする請求項1記載のインライン式基板処理装置。
- 前記基板保持具は、大気側に取り出されることなく前記搬送路を所定回数周回して基板の保持に利用されるものであることを特徴とする請求項1又は2記載のインライン式基板処理装置。
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