JP5046882B2 - インライン式成膜装置 - Google Patents
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Description
異なる2つの成膜材料を蒸発又は昇華させ、当該蒸気を混合させて、共蒸着による混合膜の成膜を行う共蒸着室を、複数の蒸着室のうちに少なくとも1つ有し、前記複数の蒸着室を基板の搬送方向に並べ、搬送される前記基板に対して、各蒸着室による成膜を連続して行うことにより、前記基板に多層膜を成膜するインライン式成膜装置において、
前記共蒸着室は、
前記搬送方向に垂直な前記基板の幅方向に長く、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置された開口部を各々備え、前記成膜材料を各々収容する2つの蒸着源と、
搬送される前記基板と離れて配置されると共に、前記2つの蒸着源を間にして、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置され、当該共蒸着室と隣接する他の蒸着室とを仕切る2つの仕切部材と、
下流側の前記仕切部材により制限された下流側の前記開口部からの蒸気の前記基板の下流側における蒸着範囲と一致するように、上流側の前記開口部からの蒸気の下流側への蒸着範囲を制限する制限部材とを有し、
上流側の前記開口部おける、下流側の前記開口部に近い方の開口部側面を延設し、該開口部側面を前記制限部材とすると共に、
下流側の前記開口部の上端と下流側の前記仕切部材の先端とを通る直線が前記基板と交わる点を起点とし、該起点と上流側の前記開口部の上端とを通る直線と上流側の前記開口部の上面の位置が一致するように、上流側の前記開口部の上面を傾けて形成して、前記開口部側面を形成し、
前記基板の下流側において、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とする。
上記第1の発明に記載のインライン式成膜装置において、
前記制限部材は、更に、
上流側の前記仕切部材により制限された上流側の前記開口部からの蒸気の前記基板の上流側における蒸着範囲と一致するように、下流側の前記開口部からの蒸気の上流側への蒸着範囲を制限するものであり、
下流側の前記開口部おける、上流側の前記開口部に近い方の開口部側面を延設し、該開口部側面を前記制限部材とすると共に、
上流側の前記開口部の上端と上流側の前記仕切部材の先端とを通る直線が前記基板と交わる点を起点とし、該起点と下流側の前記開口部の上端とを通る直線と下流側の前記開口部の上面の位置が一致するように、下流側の前記開口部の上面を傾けて形成して、前記開口部側面を形成し、
前記基板の上流側においても、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とする。
上記第1又は第2の発明に記載のインライン式成膜装置において、
前記開口部をカットすることにより、前記上面を傾けて形成したことを特徴とする。
異なる2つの成膜材料を蒸発又は昇華させ、当該蒸気を混合させて、共蒸着による混合膜の成膜を行う共蒸着室を、複数の蒸着室のうちに少なくとも1つ有し、前記複数の蒸着室を基板の搬送方向に並べ、搬送される前記基板に対して、各蒸着室による成膜を連続して行うことにより、前記基板に多層膜を成膜するインライン式成膜装置において、
前記共蒸着室は、
前記搬送方向に垂直な前記基板の幅方向に長く、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置された開口部を各々備え、前記成膜材料を各々収容する2つの蒸着源と、
搬送される前記基板と離れて配置されると共に、前記2つの蒸着源を間にして、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置され、当該共蒸着室と隣接する他の蒸着室とを仕切る2つの仕切部材と、
上流側又は下流側のいずれか一方側の前記仕切部材により制限された前記一方側の前記開口部からの蒸気の前記基板の前記一方側における蒸着範囲と一致するように、上流側又は下流側のいずれか他方側の前記開口部からの蒸気の前記一方側への蒸着範囲を制限する制限部材とを有し、
前記制限部材として、前記一方側の前記開口部の上端と前記一方側の前記仕切部材の先端とを通る直線と、両方の前記開口部の上面の位置が一致するように、両方の前記開口部の上面を傾けて形成することにより、両方の前記開口部おける前記一方側の方に延設された開口部側面を設け、
前記基板の前記一方側において、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とする。
上記第4の発明に記載のインライン式成膜装置において、
前記2つの蒸着源の間に断熱部材を設けると共に、前記2つの蒸着源を近接して配置したことを特徴とする。
又、単独膜の生成が防止できるため、蒸着室同士の距離を長くする必要はなく、その結果、装置の大きさをコンパクトにすることができる。
2、12、22、32 蒸着源
2a、12a、22a、32a 開口部
12b、22b、32b 開口部側面
3、13、23、33 蒸着源
3a、13a、33a 開口部
13b、33b 開口部側面
5A、5B、15A、15B、25A、25B、35A、35B 防着板
4、14、24、34 ガラス基板
5A、5B、15A、15B、25A、25B、35A、35B 防着板
6 衝立
36 断熱板
Claims (5)
- 異なる2つの成膜材料を蒸発又は昇華させ、当該蒸気を混合させて、共蒸着による混合膜の成膜を行う共蒸着室を、複数の蒸着室のうちに少なくとも1つ有し、前記複数の蒸着室を基板の搬送方向に並べ、搬送される前記基板に対して、各蒸着室による成膜を連続して行うことにより、前記基板に多層膜を成膜するインライン式成膜装置において、
前記共蒸着室は、
前記搬送方向に垂直な前記基板の幅方向に長く、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置された開口部を各々備え、前記成膜材料を各々収容する2つの蒸着源と、
搬送される前記基板と離れて配置されると共に、前記2つの蒸着源を間にして、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置され、当該共蒸着室と隣接する他の蒸着室とを仕切る2つの仕切部材と、
下流側の前記仕切部材により制限された下流側の前記開口部からの蒸気の前記基板の下流側における蒸着範囲と一致するように、上流側の前記開口部からの蒸気の下流側への蒸着範囲を制限する制限部材とを有し、
上流側の前記開口部おける、下流側の前記開口部に近い方の開口部側面を延設し、該開口部側面を前記制限部材とすると共に、
下流側の前記開口部の上端と下流側の前記仕切部材の先端とを通る直線が前記基板と交わる点を起点とし、該起点と上流側の前記開口部の上端とを通る直線と上流側の前記開口部の上面の位置が一致するように、上流側の前記開口部の上面を傾けて形成して、前記開口部側面を形成し、
前記基板の下流側において、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とするインライン式成膜装置。 - 請求項1に記載のインライン式成膜装置において、
前記制限部材は、更に、
上流側の前記仕切部材により制限された上流側の前記開口部からの蒸気の前記基板の上流側における蒸着範囲と一致するように、下流側の前記開口部からの蒸気の上流側への蒸着範囲を制限するものであり、
下流側の前記開口部おける、上流側の前記開口部に近い方の開口部側面を延設し、該開口部側面を前記制限部材とすると共に、
上流側の前記開口部の上端と上流側の前記仕切部材の先端とを通る直線が前記基板と交わる点を起点とし、該起点と下流側の前記開口部の上端とを通る直線と下流側の前記開口部の上面の位置が一致するように、下流側の前記開口部の上面を傾けて形成して、前記開口部側面を形成し、
前記基板の上流側においても、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とするインライン式成膜装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のインライン式成膜装置において、
前記開口部をカットすることにより、前記上面を傾けて形成したことを特徴とするインライン式成膜装置。 - 異なる2つの成膜材料を蒸発又は昇華させ、当該蒸気を混合させて、共蒸着による混合膜の成膜を行う共蒸着室を、複数の蒸着室のうちに少なくとも1つ有し、前記複数の蒸着室を基板の搬送方向に並べ、搬送される前記基板に対して、各蒸着室による成膜を連続して行うことにより、前記基板に多層膜を成膜するインライン式成膜装置において、
前記共蒸着室は、
前記搬送方向に垂直な前記基板の幅方向に長く、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置された開口部を各々備え、前記成膜材料を各々収容する2つの蒸着源と、
搬送される前記基板と離れて配置されると共に、前記2つの蒸着源を間にして、前記搬送方向の上流側及び下流側に互いに平行に配置され、当該共蒸着室と隣接する他の蒸着室とを仕切る2つの仕切部材と、
上流側又は下流側のいずれか一方側の前記仕切部材により制限された前記一方側の前記開口部からの蒸気の前記基板の前記一方側における蒸着範囲と一致するように、上流側又は下流側のいずれか他方側の前記開口部からの蒸気の前記一方側への蒸着範囲を制限する制限部材とを有し、
前記制限部材として、前記一方側の前記開口部の上端と前記一方側の前記仕切部材の先端とを通る直線と、両方の前記開口部の上面の位置が一致するように、両方の前記開口部の上面を傾けて形成することにより、両方の前記開口部おける前記一方側の方に延設された開口部側面を設け、
前記基板の前記一方側において、一方の前記成膜材料からなる単独膜の成膜を防止して、混合膜のみを成膜するようにしたことを特徴とするインライン式成膜装置。 - 請求項4に記載のインライン式成膜装置において、
前記2つの蒸着源の間に断熱部材を設けると共に、前記2つの蒸着源を近接して配置したことを特徴とするインライン式成膜装置。
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