JPH07188905A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
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- JPH07188905A JPH07188905A JP34689693A JP34689693A JPH07188905A JP H07188905 A JPH07188905 A JP H07188905A JP 34689693 A JP34689693 A JP 34689693A JP 34689693 A JP34689693 A JP 34689693A JP H07188905 A JPH07188905 A JP H07188905A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】複数の蒸着物質を複数個のルツボより溶解蒸発
蒸着する際、合金または化合物蒸着層の上層または下層
に、合金または化合物の構成物質単独層を生成させる事
なく蒸着を行う装置を提供する。 【構成】長尺物進行方向の上流側より、それぞれのルツ
ボに１，２，３・，ｎ，・，Ｎと番号を付与し、上流側
および下流側のルツボ浴面と長尺物との距離をそれぞれ
Ｌu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方向上流側ルツボ壁高
さをそれぞれＨiu，Ｈid、浴面からの長尺物進行方向下
流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、ルツボ内の長
尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、上流側ルツボ
内壁部と下流側ルツボ内壁部との距離をＤとした時、ル
ツボの寸法関係が（１）式、（２）式、の条件を満たす
ルツボを少なくとも１組有する。
蒸着する際、合金または化合物蒸着層の上層または下層
に、合金または化合物の構成物質単独層を生成させる事
なく蒸着を行う装置を提供する。 【構成】長尺物進行方向の上流側より、それぞれのルツ
ボに１，２，３・，ｎ，・，Ｎと番号を付与し、上流側
および下流側のルツボ浴面と長尺物との距離をそれぞれ
Ｌu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方向上流側ルツボ壁高
さをそれぞれＨiu，Ｈid、浴面からの長尺物進行方向下
流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、ルツボ内の長
尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、上流側ルツボ
内壁部と下流側ルツボ内壁部との距離をＤとした時、ル
ツボの寸法関係が（１）式、（２）式、の条件を満たす
ルツボを少なくとも１組有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続真空蒸着装置に関
するものであり、更に詳しくは、複数の蒸着物質を複数
個のルツボより溶解蒸発させ蒸着する際に、合金または
化合物蒸着層の上層または下層に、合金または化合物の
構成物質単独層を生成させる事なく蒸着を行う連続真空
蒸着装置に関するものである。
するものであり、更に詳しくは、複数の蒸着物質を複数
個のルツボより溶解蒸発させ蒸着する際に、合金または
化合物蒸着層の上層または下層に、合金または化合物の
構成物質単独層を生成させる事なく蒸着を行う連続真空
蒸着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】合金または化合物の真空蒸着を行う場
合、合金または化合物そのものを単一のルツボ内に挿入
し、同時に溶解蒸発させる方法がある。
合、合金または化合物そのものを単一のルツボ内に挿入
し、同時に溶解蒸発させる方法がある。
【０００３】また、金属ストリップなどの長尺物に、様
々な構成元素からなる合金または化合物を真空蒸着する
方法としては、特開平４―１７３９５９号公報に示すよ
うに、単独物質を挿入したルツボを、長尺物進行方向に
複数個設置し、真空蒸着を行う方法がある。
々な構成元素からなる合金または化合物を真空蒸着する
方法としては、特開平４―１７３９５９号公報に示すよ
うに、単独物質を挿入したルツボを、長尺物進行方向に
複数個設置し、真空蒸着を行う方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、合金または化
合物そのものを単一のルツボ内に挿入し、溶解蒸発させ
る方法では、各々の構成元素の蒸気圧により蒸発量が異
なるため、最初ルツボ内に挿入したのとは異なる組成の
蒸着層となる。
合物そのものを単一のルツボ内に挿入し、溶解蒸発させ
る方法では、各々の構成元素の蒸気圧により蒸発量が異
なるため、最初ルツボ内に挿入したのとは異なる組成の
蒸着層となる。
【０００５】そのため、蒸気圧の近い構成元素より成り
立つ合金または化合物の蒸着層を、少量製造する場合の
みにしか利用できない。
立つ合金または化合物の蒸着層を、少量製造する場合の
みにしか利用できない。
【０００６】また、図１に示す様に、長尺物進行方向に
単独物質を挿入したルツボを複数個設置し、真空蒸着を
行う方法では、長尺物は長尺物上流側に設置されたルツ
ボからの蒸着がまず行われ、ついで下流側に設置された
ルツボから蒸着が行われる。
単独物質を挿入したルツボを複数個設置し、真空蒸着を
行う方法では、長尺物は長尺物上流側に設置されたルツ
ボからの蒸着がまず行われ、ついで下流側に設置された
ルツボから蒸着が行われる。
【０００７】そのため蒸着層は、長尺物界面側から順
に、上流側ルツボ内蒸着物質単独層、上流側および下流
側ルツボ内蒸着物質からなる合金または化合物層、下流
側ルツボ内蒸着物質単独層の多層構造となる。
に、上流側ルツボ内蒸着物質単独層、上流側および下流
側ルツボ内蒸着物質からなる合金または化合物層、下流
側ルツボ内蒸着物質単独層の多層構造となる。
【０００８】このため、目的とする合金または化合物層
のみの蒸着層が得られないため、蒸着被膜の性質劣化、
あるいは不要となる単独層剥離のための前処理または後
処理実施によるコスト高を引き起こしていた。
のみの蒸着層が得られないため、蒸着被膜の性質劣化、
あるいは不要となる単独層剥離のための前処理または後
処理実施によるコスト高を引き起こしていた。
【０００９】本発明は、複数のルツボを用いて長尺物に
合金または化合物を蒸着する真空蒸着法において、合金
または化合物蒸着層の上層または下層に、合金または化
合物の構成物質単独層を生成させる事なく、目的とする
合金または化合物のみの蒸着層を製造するための連続真
空蒸着装置を提供することを目的とする。
合金または化合物を蒸着する真空蒸着法において、合金
または化合物蒸着層の上層または下層に、合金または化
合物の構成物質単独層を生成させる事なく、目的とする
合金または化合物のみの蒸着層を製造するための連続真
空蒸着装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
従来法の欠点を有利に排除しうる連続真空蒸着装置であ
り、その要旨とするところは、
従来法の欠点を有利に排除しうる連続真空蒸着装置であ
り、その要旨とするところは、
【００１１】（１）複数の蒸発ルツボを有する金属スト
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長
尺物との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進
行方向上流側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、ルツ
ボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツ
ボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長
尺物との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進
行方向上流側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、ルツ
ボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツ
ボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、
【００１２】
【数５】
【００１３】であるルツボを少なくとも１組有する事を
特徴とする連続真空蒸着装置。
特徴とする連続真空蒸着装置。
【００１４】（２）複数の蒸発ルツボを有する金属スト
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長
尺物との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進
行方向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、ルツ
ボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツ
ボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長
尺物との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進
行方向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、ルツ
ボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツ
ボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、
【００１５】
【数６】
【００１６】であるルツボを少なくとも１組有する事を
特徴とする連続真空蒸着装置。
特徴とする連続真空蒸着装置。
【００１７】（３）複数の蒸発ルツボを有する金属スト
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側および下流側ルツボ浴面と長尺物と
の距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方向
上流側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、浴面からの
長尺物進行方向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈ
od、ルツボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，
Ｗd、ルツボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法
関係が
リップなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺
物進行方向の上流側および下流側ルツボ浴面と長尺物と
の距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方向
上流側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、浴面からの
長尺物進行方向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈ
od、ルツボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，
Ｗd、ルツボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法
関係が
【００１８】
【数７】
【００１９】かつ
【００２０】
【数８】
【００２１】であるルツボを少なくとも１組有する事を
特徴とする連続真空蒸着装置にある。
特徴とする連続真空蒸着装置にある。
【００２２】
【作用】以下本発明について図２を用いて詳細に説明す
る。
る。
【００２３】上流側のルツボより蒸発した蒸着物質と、
下流側のるつぼより蒸発した蒸着物質が、上流側で完全
な合金または化合物として長尺物に蒸着するためには、
上流側ルツボ上流側蒸着範囲ａと、下流側ルツボ上流側
蒸着範囲ａ’がほぼ一致する事が必要である。
下流側のるつぼより蒸発した蒸着物質が、上流側で完全
な合金または化合物として長尺物に蒸着するためには、
上流側ルツボ上流側蒸着範囲ａと、下流側ルツボ上流側
蒸着範囲ａ’がほぼ一致する事が必要である。
【００２４】ここでａは、上流側ルツボ内下流側内壁側
浴面点ｄから、上流側ルツボ上流側内壁上端点ｇとを結
ぶ直線と、長尺物との交差する点である。
浴面点ｄから、上流側ルツボ上流側内壁上端点ｇとを結
ぶ直線と、長尺物との交差する点である。
【００２５】ａ’は、下流側ルツボ内下流側内壁側浴面
点ｆから、下流側ルツボ上流側内壁上端点ｉとを結ぶ直
線と、長尺物との交差する点である。
点ｆから、下流側ルツボ上流側内壁上端点ｉとを結ぶ直
線と、長尺物との交差する点である。
【００２６】また、各ルツボの下流側内壁面の長尺物上
投影点を上流側よりそれぞれｌ、ｎとする。ａとａ’が
一致するためには、
投影点を上流側よりそれぞれｌ、ｎとする。ａとａ’が
一致するためには、
【００２７】
【数９】
【００２８】となればよい。ここで、相似三角形の辺の
比から、
比から、
【００２９】
【数１０】
【００３０】
【数１１】
【００３１】また、
【００３２】
【数１２】
【００３３】であることより、ａとａ’がほぼ一致する
ための条件は、
ための条件は、
【００３４】
【数１３】
【００３５】となる。
【００３６】上流側のルツボより蒸発した蒸着物質と、
下流側のるつぼより蒸着した蒸着物質が、下流側で完全
な合金または化合物として長尺物に蒸着するためには、
上流側ルツボ下流側蒸着範囲ｂと、下流側ルツボ下流側
蒸着範囲ｂ’がほぼ一致する事が必要である。
下流側のるつぼより蒸着した蒸着物質が、下流側で完全
な合金または化合物として長尺物に蒸着するためには、
上流側ルツボ下流側蒸着範囲ｂと、下流側ルツボ下流側
蒸着範囲ｂ’がほぼ一致する事が必要である。
【００３７】ここでｂは、上流側ルツボ内上流側内壁浴
面点ｃから、上流側ルツボ下流側内壁上端点ｈとを結ぶ
直線と、長尺物との交差する点である。
面点ｃから、上流側ルツボ下流側内壁上端点ｈとを結ぶ
直線と、長尺物との交差する点である。
【００３８】ｂ’は、下流側ルツボ内上流側内壁浴面点
ｅから、下流側ルツボ下流側内壁上端点ｊとを結ぶ直線
と、長尺物との交差する点である。
ｅから、下流側ルツボ下流側内壁上端点ｊとを結ぶ直線
と、長尺物との交差する点である。
【００３９】また、各ルツボの上流側内壁面の長尺物上
投影点を上流側よりそれぞれｋ、ｍとすると、ｂとｂ’
がほぼ一致するためには、
投影点を上流側よりそれぞれｋ、ｍとすると、ｂとｂ’
がほぼ一致するためには、
【００４０】
【数１４】
【００４１】となればよい。ここで、相似三角形の辺の
比から、
比から、
【００４２】
【数１５】
【００４３】
【数１６】
【００４４】また、
【００４５】
【数１７】
【００４６】であることより、ｂとｂ’がほぼ一致する
ための条件は、
ための条件は、
【００４７】
【数１８】
【００４８】となる。
【００４９】（１）の条件を満たした場合、上流側およ
び下流側のルツボより蒸発した蒸着物質は、長尺物上流
側でそれぞれの蒸着物質の単独層を形成することなく、
完全に合金または化合物層を形成する事が可能となる。
び下流側のルツボより蒸発した蒸着物質は、長尺物上流
側でそれぞれの蒸着物質の単独層を形成することなく、
完全に合金または化合物層を形成する事が可能となる。
【００５０】（２）の条件を満たした場合、上流側およ
び下流側のルツボより蒸発した蒸着物質は、長尺物下流
側でそれぞれの蒸着物質の単独層を形成することなく、
完全に合金または化合物層を形成する事が可能となる。
び下流側のルツボより蒸発した蒸着物質は、長尺物下流
側でそれぞれの蒸着物質の単独層を形成することなく、
完全に合金または化合物層を形成する事が可能となる。
【００５１】（１）および（２）の条件を同時に満たし
た場合、上流側および下流側のルツボより蒸発した蒸着
物質は、長尺物上流側および下流側でそれぞれの蒸着物
質の単独層を形成することなく、すなわちそれぞれの蒸
着範内で、完全に合金または化合物層を形成する事が可
能となる。
た場合、上流側および下流側のルツボより蒸発した蒸着
物質は、長尺物上流側および下流側でそれぞれの蒸着物
質の単独層を形成することなく、すなわちそれぞれの蒸
着範内で、完全に合金または化合物層を形成する事が可
能となる。
【００５２】なお、本発明のルツボは、真空蒸着装置の
みならず、イオンプレーティング法のように、蒸着物質
を溶融蒸発させ蒸着させるプロセスを有する、気相コー
ティングプロセス全てに用いる事ができる。
みならず、イオンプレーティング法のように、蒸着物質
を溶融蒸発させ蒸着させるプロセスを有する、気相コー
ティングプロセス全てに用いる事ができる。
【００５３】
【００５４】
【実施例１】図３に示す長尺物の連続蒸着装置にて、Ｚ
ｎとＴｉをそれぞれ別個のルツボにて溶融蒸発させ、表
１に示す条件にて真空蒸着を行った。
ｎとＴｉをそれぞれ別個のルツボにて溶融蒸発させ、表
１に示す条件にて真空蒸着を行った。
【００５５】長尺物１は長尺物払いだしリール６より巻
き解かれ、入り側差圧シール８を経て、真空チャンバー
１２にてＴｉ及びＺｎの真空蒸着処理が施された後、出
側差圧シール９を経て、長尺物巻取リール７にて巻き取
られる。
き解かれ、入り側差圧シール８を経て、真空チャンバー
１２にてＴｉ及びＺｎの真空蒸着処理が施された後、出
側差圧シール９を経て、長尺物巻取リール７にて巻き取
られる。
【００５６】入り側差圧シール８、出側差圧シール９お
よび真空チャンバー１２は、それぞれ入り側差圧シール
用真空ポンプ１０、出側差圧シール用真空ポンプ１１、
真空チャンバー用真空ポンプ１３により真空排気されて
いる。
よび真空チャンバー１２は、それぞれ入り側差圧シール
用真空ポンプ１０、出側差圧シール用真空ポンプ１１、
真空チャンバー用真空ポンプ１３により真空排気されて
いる。
【００５７】真空チャンバー１２には外部よりガスを導
入できるようガス導入管１４、およびＴｉ用ルツボ１
７、及びＺｎ用ルツボ１８が設置されている。
入できるようガス導入管１４、およびＴｉ用ルツボ１
７、及びＺｎ用ルツボ１８が設置されている。
【００５８】Ｔｉ用ルツボ内に挿入されたＴｉ１９は、
電子銃１６より放たれる電子ビームにより加熱され、溶
解蒸発する。
電子銃１６より放たれる電子ビームにより加熱され、溶
解蒸発する。
【００５９】亜鉛用ルツボ１８内に挿入されたＺｎ２０
はＺｎ用ルツボヒーター２１により加熱され、溶解蒸発
する。長尺物１は真空蒸着前に長尺物加熱用誘導加熱装
置１５により所定の温度まで加熱された後、Ｔｉ用ルツ
ボ１７から蒸発したＴｉ１９及びＺｎ用ルツボ１８から
蒸発したＺｎ２０により真空蒸着される。
はＺｎ用ルツボヒーター２１により加熱され、溶解蒸発
する。長尺物１は真空蒸着前に長尺物加熱用誘導加熱装
置１５により所定の温度まで加熱された後、Ｔｉ用ルツ
ボ１７から蒸発したＴｉ１９及びＺｎ用ルツボ１８から
蒸発したＺｎ２０により真空蒸着される。
【００６０】得られた真空蒸着層を、表面より深さ方向
に、電子プローブマイクロアナリシスを用いて成分分析
を行ったところ、図４に示す様に、ＴｉあるいはＺｎが
単独で存在する領域はなく、真空蒸着層の深さ方向全体
に、ＴｉとＺｎが共に存在していた。
に、電子プローブマイクロアナリシスを用いて成分分析
を行ったところ、図４に示す様に、ＴｉあるいはＺｎが
単独で存在する領域はなく、真空蒸着層の深さ方向全体
に、ＴｉとＺｎが共に存在していた。
【００６１】この事より、得られた真空蒸着層には、Ｔ
ｉまたはＺｎの単独層は生成しておらず、蒸着層すべて
がＺｎ―Ｔｉ合金層となっていることが確認された。
ｉまたはＺｎの単独層は生成しておらず、蒸着層すべて
がＺｎ―Ｔｉ合金層となっていることが確認された。
【００６２】
【表１】
【００６３】
【発明の効果】本発明によれば、複数のルツボを用いて
金属ストリップなどの長尺物に合金または化合物を蒸着
する連続真空蒸着法において、合金または化合物蒸着層
の上層または下層に、合金または化合物の構成物質単独
層を生成させる事なく、目的とする合金または化合物の
みの蒸着層を製造することが可能である。
金属ストリップなどの長尺物に合金または化合物を蒸着
する連続真空蒸着法において、合金または化合物蒸着層
の上層または下層に、合金または化合物の構成物質単独
層を生成させる事なく、目的とする合金または化合物の
みの蒸着層を製造することが可能である。
【図１】複数のルツボを使用しての長尺物の連続蒸着例
を示す慨要図。
を示す慨要図。
【図２】本発明にかかわる真空蒸着用ルツボの説明図。
【図３】本発明に係わる連続真空蒸着装置を示す概要
図。
図。
【図４】本発明により作成したＺｎ―Ｔｉ真空蒸着層の
表面から深さ方向への電子プローブマイクロアナリシス
結果図。
表面から深さ方向への電子プローブマイクロアナリシス
結果図。
１ 長尺物 ２ 上流側ルツボ ３ 下流側ルツボ ４ 上流側ルツボ内蒸着物質浴面 ５ 下流側蒸着ルツボ内蒸着物質浴面 ６ 長尺物払いだしリール ７ 長尺物巻取リール ８ 入り側差圧シール ９ 出側差圧リール １０ 入り側差圧シール用真空ポンプ １１ 出側差圧シール用真空ポンプ １２ 真空チャンバー １３ 真空チャンバー用真空ポンプ １４ ガス導入管 １５ 長尺物加熱用誘導加熱装置 １６ 電子銃 １７ Ｔｉ用ルツボ １８ Ｚｎ用ルツボ １９ Ｔｉ ２０ Ｚｎ ２１ 亜鉛用ルツボ加熱ヒーター ａ 上流側ルツボ上流側蒸着範囲 ａ’ 下流側ルツボ上流側蒸着範囲 ｂ 上流側ルツボ下流側蒸着範囲 ｂ’ 下流側ルツボ下流側蒸着範囲 ｃ 上流側ルツボ内上流側内壁側浴面点 ｄ 上流側ルツボ内下流側内壁側浴面点 ｅ 下流側ルツボ内上流側内壁側浴面点 ｆ 下流側ルツボ内下流側内壁側浴面点 ｇ 上流側ルツボ上流側内壁上端点 ｈ 上流側ルツボ下流側内壁上端点 ｉ 下流側ルツボ上流側内壁上端点 ｊ 下流側ルツボ下流側内壁上端点 ｋ 上流側ルツボ上流側内壁面の長尺物上投影点 ｌ 上流側ルツボ下流側内壁面の長尺物上投影点 ｍ 下流側ルツボ上流側内壁面の長尺物上投影点 ｎ 下流側ルツボ下流側内壁面の長尺物上投影点
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の蒸発ルツボを有する金属ストリッ
プなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺物進
行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長尺物
との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方
向上流側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、ルツボ内
の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツボ内
壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、 【数１】 であるルツボを少なくとも１組有する事を特徴とする連
続真空蒸着装置。 - 【請求項２】 複数の蒸発ルツボを有する金属ストリッ
プなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺物進
行方向の上流側ルツボおよび下流側ルツボ浴面と長尺物
との距離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方
向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、ルツボ内
の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、ルツボ内
壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が、 【数２】 であるルツボを少なくとも１組有する事を特徴とする連
続真空蒸着装置。 - 【請求項３】 複数の蒸発ルツボを有する金属ストリッ
プなどの長尺物の連続真空蒸着装置において、長尺物進
行方向の上流側および下流側ルツボ浴面と長尺物との距
離をそれぞれＬu，Ｌd、浴面からの長尺物進行方向上流
側ルツボ壁高さをそれぞれＨiu，Ｈid、浴面からの長尺
物進行方向下流側ルツボ壁高さをそれぞれＨou，Ｈod、
ルツボ内の長尺物進行方向への幅をそれぞれＷu，Ｗd、
ルツボ内壁面間距離をＤとした時、ルツボの寸法関係が 【数３】 かつ 【数４】 であるルツボを少なくとも１組有する事を特徴とする連
続真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34689693A JPH07188905A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34689693A JPH07188905A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07188905A true JPH07188905A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18386559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34689693A Withdrawn JPH07188905A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07188905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009228098A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | ルツボ、真空蒸着方法、および真空蒸着装置 |
| KR101023006B1 (ko) * | 2007-11-21 | 2011-03-22 | 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤 | 인라인 필름 형성 장치 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP34689693A patent/JPH07188905A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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