KR101023006B1 - 인라인 필름 형성 장치 - Google Patents

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게이이치 사토
히로코 기타모토
도시로 고바야시
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미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
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Abstract

증착원과 증착 방지 플레이트 및 스크린을 포함하는 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 증착원은 다른 필름 형성재를 저장하고 기재의 이송방향의 수직방향인 기재의 폭방향으로 신장되어 있는 개구를 포함한다. 서로 나란히 배열되어 있는 개구는 이송방향의 상류측과 하류측 각각에 위치되어 있다. 인접한 증착실로부터 공증착실을 분할하며 서로 평행하게 위치되어 있는 플레이트는 이송방향의 상류측과 하류측에 개구에 생긴 증기의 증착영역을 제한한다. 스크린이 제한하고 개구에서 생긴 증기를 위한 기재의 증착영역이 플레이트에 의해 제한된 증착영역과 일치하게 한다. 그러므로, 기재에 단일재 필름의 형성이 예방되며 혼합 필름만이 형성된다.
증착원, 증착 방지 플레이트, 인라인 필름 형성 장치.

Description

인라인 필름 형성 장치{IN―LINE FILM―FORMATION APPARATUS}
본 발명은 멀티플 필름 형성재가 증발 또는 승화되고 나서, 기재상에 혼합 증착되어 필름을 형성하는 공증착실이 장착된 인라인 필름 형성 장치에 관한 것이다.
멀티플 필름 형성재가 증발 또는 승화되고 나서, 기재상에 혼합 증착되어 필름을 형성하는 공증착 필름 형성 장치가 공지되어 있다. 예를 들어 유기 전계발광 (EL) 장치와 그러한 공증착 필름 형성 장치를 사용하는 유사한 장치의 발광층을 형성하는 경우, 필름 형성은 이하의 공정에 의해 수행되어야 한다. 유리기재가 이송되는 동안, 증발 또는 승화된 멀티플 필름 형성재가 유리 기재의 하류측에 있는 멀티플 노즐에서 분무되어져서 미리 결정된 비로 함께 혼합된다. 이리하여, 혼합된 필름 형성재가 유리기재에 증착되어 필름을 형성하게 된다. 일본 특허 출원 공보 No 2002-348659 에서 개시된 장치는 상기 언급한 공증착 필름 형성 장치의 특정예이며, 개시된 장치는 필름 형성재를 혼합하고 이하의 방법으로 필름을 형성한다. 필름 형성재 각각을 포함하며 경사질 수 있는 컨테이너들이 장치에 제공되어 있다. 이 컨테이너들의 각은 각각의 필름 형성재의 공증착을 단 일 증착영역에서 허용되도록 하는 위치에 있도록 조정된다. 공증착 필름 형성장치의 다른예가 일본 특허 출원 공보 No 2006-057173 에 개시되어 있다. 다른 필름 형성재를 포함하는 멀티플 컨테이너들이 개시된 장치에 제공되어 있으며, 멀티플 컨테이너의 노즐이 유리 기재의 폭 방향으로 (유리기재가 이송되는 방향에 수직 방향으로) 번갈아 배열되어 있다. 그리고 나서, 필름을 형성하기 위해 노즐에서 분무되는 필림 형성재를 함께 혼합함으로써 공증착이 수행된다.
멀티플 필름 형성재를 갖는 혼합 필름을 포함하는 다층 필름이 일정 속도로 이송되는 유리 기재에 연속적으로 형성되는 인라인 필름 형성 장치가 공지되어있다. 그러한 인라인 필름 형성장치는 일본 특허 출원 공보 No. Hei 10-140351, No 2002-176090 및 No. Hei 02-125866 (도 5 참조) 에 개시되어 있다. 이러한 각각의 인라인 필름 형성 장치에서, 일련의 증착실이 유리 기재가 이송되는 방향 (이하, 유리 기재 이송 방향 또는 이송 방향으로 간단히 칭함) 으로 연속적으로 배치된다. 다층 필름을 형성하기 위해서, 상기 장치에는 멀티플 증착실을 분할하는 증착 방지 플레이트가 제공되어 있다. 증착 방지 플레이트는 서로 인접해 있는 증착실의 증착원에서 나오는 다른 종류의 필름 형성재의 증기가 혼합되는 것을 예방한다.
도 5 는 종래의 인라인 필름 형성 장치에 제공된 공증착실의 예시적인 구성을 나타낸다. 필름 형성재 (A,B) 각각을 저장하는 공증착실 (41,42,43) 이 제공되어 있다. 유리 기재 (44) 가 이송방향 (T) 으로 이송된다. 필름 형성재 (A,B) 가 컨테이너 (42,43) 에서 각각 나와서, 이 필름 형성재 (A,B) 의 공증착 을 유리 기재 (44) 에 수행한다. 이때, 증착 방지 플레이트 (45A,45B) 가 공증착실 (41) 을 분할하기 위해 사용된다. 그러한 구성이 있는 장치를 사용하여 혼합필름이 형성되는 경우를 생각해본다. 이 경우, 증착 방지 플레이트 (45A,45B) 가 필름 형성재 (A,B) 의 공증착에 어떠한 영향을 미치지 않는 동안, 유리 기재 (44) 상의 증착 영역 (R) 내에서 필름 형성재 (A,B) 의 혼합 필름이 얻어질 수 있다. 반대로, 필름 형성재 (A,B) 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름이 유리 기재상에서 각각의 증착영역 (RA,RB) (이송방향에서 볼때 증착영역 (R) 의 하류측과 상류측에 각각 있음) 에 형성된다. 다시말해, 증착 방지 플레이트 (45A,45B) 에 대한 컨테이너 (42,43) 의 노즐의 기하학적 위치 때문에 상기 영역에 혼합 필름이 형성될 수 없다. 유기 EL 장치의 생산시 그러한 단일재 필름의 형성으로 인해 전자 주입 층에서 발광을 위해 더 큰 전압이 필요하다는 문제점이 발생되며, 이로써 결과적으로 발광 효율이 더 낮아진다.
도 5 를 참조하여 이하 단일재 필름의 형성 기구를 설명한다. 상류측에서 증착 방지 플레이트 (45A) 는 컨테이너 (42) 에서 나온 필름 형성재 (A) 의 증착을 라인 (UA) 에 의해 규정된 영역내로 제한한다. 다른 한편으로, 상류측에서 증착 방지 플레이트 (45A) 는 컨테이너 (43) 에서 나온 필름 형성재 (B) 의 증착도 라인 (UB) 에 의해 규정된 영역내로 제한한다. 이로써 형성된 증착영역 (RB) 은 컨테이너 (43) 의 필름형성재 (B) 의 증착 영역내에 포함되지만, 컨테이너 (42) 의 필름 형성재 (A) 의 증착영역에는 포함되지 않는다. 결과적으로, 증착영역 (RB) 에 형성된 필름은 필름 형성재 (B) 의 단일재 필름이 된다. 이와 마찬가지로, 하류측에서 증착 방지 플레이트 (45B) 는 컨테이너 (42) 에서 나온 필름 형성재 (A) 의 증착을 라인 (DA) 에 의해 규정된 영역내로 제한한다. 다른 한편으로, 하류측에서 증착 방지 플레이트 (45B) 는 컨테이너 (43) 에서 나온 필름 형성재 (B) 의 증착도 라인 (DB) 에 의해 규정된 영역내로 제한한다. 이로써 형성된 증착영역 (RA) 은 컨테이너 (42) 의 필름형성재 (A) 의 증착 영역내에 포함되지만, 컨테이너 (43) 의 필름 형성재 (B) 의 증착영역에는 포함되지 않는다. 결과적으로, 증착영역 (RA) 에 형성된 필름은 필름 형성재 (A) 의 단일재 필름이 된다. 따라서, 유리 기재 (44) 의 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 혼합 필름이 아닌 단일재 필름이 형성된다는 문제가 발생된다. 이러한 이유로, 모든 두 증착실사이의 간격이 길어져야 하며 이로 인해 결과적으로 전체 장치는 더 커지게 된다.
도 6 은 일본 특허 출원 공보 No 2006-057173 에 개시된 장치의 구성을 나타낸다. 공증착실 (51) 에는 멀티플 컨테이너 (52,53) 가 필름 형성재 (A,B) 를 저장하기 위해 제공된다. 멀티플 컨테이너 (52,53) 의 노즐은 유리 기재 (54) 의 기재폭 방향 (W) 으로 (즉, 유리 기재 이송 방향 (T) 에 수직 방향으로) 번갈아 배열된다. 따라서 이 노즐에서 나온 필름 형성재 (A,B) 는 혼합되어 공증착된다. 따라서, 이 구성은 단일재 필름을 형성한다는 전술한 문제를 발생시키지는 않을 것이다. 그럼에도 불구하고 컨테이너 (52,53) 의 노즐이 기재폭 방향 (W) 으로 번갈아 배열된 상기 구성은 도 6 에서 나타내는 바와 같이 기재 폭 방향 (W) 으로 필름 형성재의 농도가 불균일하게 분포되는 다른 문제를 야기시킨다. 다른 필름 형성재가 증발되거나 승화되기 위해 다른 온도로 가열되어야 한다. 게다가, 다른 필름 형성 속도는 다른 온도를 요구한다. 따라서, 증발 컨테이터 (52,53) 의 노즐은 다른 온도로 가열되어야 한다. 게다가, 열 절연을 위해 모든 두개의 인접해 있는 노즐사이에 공간이 필요하다. 그러한 열 절연에 대한 필요성은 노즐사이에 더 큰 간격을 요구한다. 결과적으로, 기재 폭 방향으로 불균일한 농도 분포가 증가한다.
지금까지 설명해온 것과 같이, 종래의 인라인 필름 형성 장치에 의한 공증착은 단일재 필름의 형성 및 불균일한 농도 분포의 발생이라는 문제점을 발생시킨다.
본 발명은 상기 설명된 문제점을 고려하여 제작된 것이다. 본 발명의 목적은 단일재 필름의 형성시키지 않고 또는 어떠한 불균일한 농도 분포를 발생시키지 않고, 공증착을 수행할 수 있는 인라인 필름 형성 장치를 제공하는데 있다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 1 태양은 복수개의 증착실을 포함하는 인라인 필름 형성장치를 제공하는 것으로서, 상기 증착실 중 적어도 하나는 두 개의 다른 필름 형성재가 증발되거나 승화되고 나서, 이 증발 또는 승화된 두 개의 필름 형성재의 증기가 혼합되어 증착되는 공증착 공정에 의해 혼합 필름을 형성하는 공증착실이며, 상기 복수개의 증착실은 기재가 이송되는 이송방향으로 배열되어 있으며, 이렇게 배열된 증착실은 이송되는 기재상에 필름을 연속적으로 형성하여 기재에 다층의 필름을 형성한다. 상기 인라인 필름 형성장치의 상기 공증착실은 필름 형성재를 각각 저장하는 두 개의 증착원으로서, 상기 이송방향에 수직인 기재의 폭 방향으로 각각 신장되어 있는 개구를 각각 포함하고, 이 개구는 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란하게 배열되어 있는 상기 두 개의 증착원과, 인접한 증착실로부터 공증착실을 각각 분할하는 두 개의 분할 부재로서, 이송되는 기재로부터 떨어져 있고 또한 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란히 위치되어 있으며, 상기 두 개의 증착원을 사이에 두고 있는 상기 두 분할 부재 및, 상류측 개구에서 나와서 기재의 하류측에 증착되는 증기를 제한하여 증기가 증착될 증착 영역에 하류측 한계를 설정하게 되는 제한 부재를 포함하며, 상기 하류측 한계를 갖는 증착 영역은 하류측 개구에서 나와서 기재의 하류측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 하류측에 있는 분할 부재는 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 하류측 한계를 설정하며, 기재의 하류측에서 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 하류측에 형성된다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 2 태양은 이하의 특징을 가지며 제 1 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 상기 제한 부재는 또한 하류측 개구에서 나와 기재의 상류측에 증착되는 증기도 제한하여 상류측 한계가 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 설정되며, 상류측 한계를 갖는 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역은 상류측 개구에서 나와 기재의 상류측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 상류측 분할 부재는 상류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 상류측 한계를 설정하고, 기재의 상류측에서 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 또한 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 상류측에 형성된다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 3 태양은 이하의 특징을 가지며 제 1 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 상기 인라인 필름 형성 장치는 제한 부재의 역할을 하며 두 개의 개구 사이에 위치되는 스크린을 포함한다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 4 태양은 이하의 특징을 가지며 제 3 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 하류측 분할 부재의 선단과 하류측 개구의 가장자리들 중 하류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하는 라인과 기재가 만나는 점을 시작점으로하여 상류측 개구의 가장자리들 중 하류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 그어진 라인을 제 1 라인이라 하고, 상류측 분할 부재의 선단과 상류측 개구의 가장자리들 중 상류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하는 라인과 기재가 만나는 점을 시작점으로하여 하류측 개구의 가장자리들 중 상류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 그어진 라인을 제 2 라인이라고 할 때, 상기 스크린은 스크린의 상단이 상기 제 1 라인과 제 2 라인 중 적어도 하나의 라인 상에 있을 수 있도록 위치된다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 5 태양은 이하의 특징을 가지며 제 1 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 상류측 개구의 두 개구 측벽 중 하류측 개구에 더 가까이 위치되어 있는 개구측벽과, 하류측 개구의 두 개구 측벽 중 상류측 개구에 더 가까이 위치되어 있는 개구 측벽 중의 적어도 하나는 제한 부재의 역할을 할 수 있도록 연장되어 있다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 6 태양은 이하의 특징을 가지며 제 5 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 상류측 개구의 상면의 위치와, 하류측 분할 부재의 선단과 하류측 개구의 상단을 통과하는 라인과 기재가 만나는 시작점에서 그어져 상류측 개구의 상단을 통과하는 라인간에 존재하는 일치를 제 1 일치라하고, 하류측 개구의 상면의 위치와, 상류측 분할 부재의 선단과 상류측 개구의 상단을 통과하는 라인과 기재가 만나는 시작점에서 그어져 하류측 개구 의 상단을 통과하는 라인간에 존재하는 일치를 제 2 일치라고 할 때, 개구 중 적어도 하나의 상면이 경사지게 형성되어 상기 제 1 일치와 제 2 일치 중 임의의 일치가 얻어지도록 상기 개구 측벽이 형성되어 있다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 7 태양은 이하의 특징을 가지며 제 6 태양에 따른 인라인 필름 형성 장치를 제공한다. 상기 상면은 개구를 절단하여 경사지게 형성된다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 8 태양은 복수개의 증착실을 포함하는 인라인 필름 형성장치를 제공하는 것으로서, 이 증착실 중 적어도 하나는 두 개의 다른 필름 형성재가 증발되거나 승화되고 나서, 이 증발 또는 승화된 두 개의 필름 형성재의 증기가 혼합되어 증착되는 공증착 공정에 의해 혼합 필름을 형성하는 공증착실이며, 상기 복수개의 증착실은 기재가 이송되는 이송방향으로 배열되어 있으며, 이렇게 배열된 증착실은 이송되는 기재상에 필름을 연속적으로 형성하여 기재에 다층의 필름을 형성한다. 상기 인라인 필름 형성장치의 상기 공증착실은 필름 형성재를 각각 저장하는 두 개의 증착원으로서, 상기 이송방향에 수직인 기재의 폭 방향으로 각각 신장되어 있는 개구를 각각 포함하고, 이 개구는 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란하게 배열되어 있는 상기 두 개의 증착원과, 인접한 증착실로부터 공증착실을 각각 분할하는 두 개의 분할 부재로서, 이송되는 기재로부터 떨어져 있고 또한 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란히 위치되어 있으며, 상기 두 개의 증착원을 사이에 두고 있는 상기 두 분할 부재, 및 상류측과 하류측 중의 제 1 측에 있는 제 1 측 개구에서 나와서 기재의 상류측과 하류측 중의 제 2 측에 증착되는 증기를 제한하여 증기가 증착될 증착 영역에 제 2 측 한계를 설정하게 되는 제한 부재를 포함하며, 상기 제 2 측 한계를 갖는 증착 영역은 제 2 측에 있는 제 2 측 개구에서 나와서 기재의 제 2 측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 제 2 측의 제 2 분할 부재는 제 2 측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 제 2 측 한계를 설정하며, 각각의 개구의 제 2 측에서 연장되어 있는 개구 측벽은 개구의 상면이 제 2 측 개구의 상단과 제 2 분할 부재의 선단을 통과하는 라인상에 있도록 개구의 상면을 경사지게 형성함으로써 제한 부재로서 형성되어 있으며, 기재의 제 2 측에 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 제 2 측에 형성된다.
전술한 목적을 달성하는 본 발명의 제 9 태양은 이하의 특징을 가지며 제 8 태양에 따른 인라인 필름 형성장치를 제공한다. 상기 인라인 필름 형성장치는 두 개의 증착원 사이에 제공되는 열 절연 부재를 더 포함하며, 상기 두개의 증착원은 서로 근접하게 위치되어 있다.
본 발명에 따라, 공증착실에서 상기 제한 부재는 증착원들 중 임의의 한 증착원 또는 두 증착원 모두에서 나온 증기의 증착영역에 한계를 설정한다. 이 때문에, 기재의 이송방향의 상류측과 하류측 중 임의의 일측 또는 양 측 모두에서 단일재 필름의 형성이 예방된다. 게다가, 이송방향뿐 만 아니라 이송방향의 수직방향인 기재의 폭 방향으로도 밀도의 불균일이 없는 공증착이 달성될 수 있다. 증착원들 중 임의의 한 증착원 또는 두 증착원 모두에서 나온 증기의 증착영역에 한계를 설정하는 제한 부재는 인접한 증착실이 서로 더 근접하게 위치되게 한다. 따라서, 더 짧고, 더 컴팩트한 인라인 필름 형성 장치가 형성될 수 있다.
본 발명의 몇 가지 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치가 도 1 내지 도 4 를 참조하여 이하 설명될 것이다.
실시형태 1
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다. 이 실시형태의 설명을 위해 사용된 도 1 은 인라인 필름 형성 장치를 구성하는 모든 멀티플 증착실의 혼합 필름을 형성하는 공증착실만을 도시한다.
본 발명의 이 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치는 멀티플 증착실을 가진다. 멀티플 증착실의 적어도 하나는 공증착 공정을 수행하는 공증착실이며, 이 공증착 공정에서 증발되거나 승화된 두 개의 다른 필름 형성재가 혼합되어 증착되어 혼합 필름을 형성한다. 멀티플 증착실은 기재가 이송되는 방향으로 배열되어 있다. 기재가 일정 속도로 이송되는 동안, 멀티플 증착실에 의해 필름이 각각 연속적으로 형성된다. 결과적으로, 상기 기재에 다층의 필름이 형성되고 그 동안 다층의 필름에 멀티플 필름 형성재로 형성된 혼합 필름이 포함된다. 이하 설명될 제 2 내지 제 4 의 실시형태에 따른 각 인라인 필름 형성 장치는 유사한 구성을 가진다.
도 1 에 나타낸바와 같이, 이 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 적어도 하나의 공증착실 (1) 을 가지며, 이 공증착실 (1) 은 두 개의 증착원 (2, 3) 을 가지며, 이 증착원들은 각각 필름 형성재 (A,B) 를 저장한다. 상기 증착원 (2,3) 각각에는 개구 (2a,3a) 가 형성되어 있다. 이 개구 (2a,3a) 각각은 유리 기재 (4) 의 폭방향으로 연장되어 있으며 이 방향은 유리 기재 (4) 의 이송 방향 (T) 에 수직이다. 상기 개구 (2a,3a) 들은 서로 나란히 배열되고, 상기 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 각각 배치되어 있다. 우선 증착원 (2,3) 에 각각 저장되어 있는 필름 형성재 (A,B) 를 증발시키거나 승화시킴으로써 공증착을 수행한다. 그리고 나서, 증발 또는 승화된 필름 형성재 (A, B) 는 혼합되어 증착되어 혼합 필름이 상기 이송 방향 (T) 으로 이송되는 유리기재 (4) 상에 형성될 수 있다. 유리 기재 (4) 의 폭 방향 (상기 이송 방향 (T) 에 수직인 방향) 으로 상기 각각의 개구 (2a,3a) 의 길이가 유리 기재 (4) 의 폭과 바람직하게는 동일하거나 더 길다. 도 1 에서, 상기 각각의 개구 (2a,3a) 의 상부면은 상기 유리 기재 (4) 의 표면 (바닥면) 에 대해 경사져 있다. 그러나, 상기 각각의 개구 (2a,3a) 의 상부면은 유리 기재 (4) 의 표면에 나란히 있을 수 있으며, 또는 도 1 에서 도시된 것과는 다른 방법으로 기울어질 수도 있다.
두 개의 증착 방지 플레이트 (5A,5B) (분할 부재) 가 공증착실 (1) 에 배치되어 있어서, 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 는 인접한 증착실로부터 각각 공증착실 (1) 을 분할할 수 있다. 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 는 이송되는 유리 기재 (4) 에서 떨어져 있도록 위치되어 있다. 이 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 는 서 로에 대하여 평행하게 위치되어 있으며 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 각각 위치되어 있으며, 플레이트들 사이에 두 개의 증착원 (2,3) 이 있다. 인라인 필름 형성 장치는 이송 방향 (T) 으로 연속적으로 위치해 있는 멀티플 증착실을 구비한다. 따라서, 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 는 증착실을 분할하기 위해 그리고, 인접한 증착실의 증착원에서 생긴 증기가 함께 혼합되지 않기 위해 제공된다.
게다가, 이 실시형태의 공증착실 (1) 에는 개구 (2a,3a) 사이에 스크린 (6) (제한 부재) 이 제공되어 있다. 전술한 경우처럼 스크린 (6) 이 없으면 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 에 대한 증착원 (2) 의 개구 (2a) 와 증착원 (3) 의 개구 (3a) 의 기하학적 위치로 인해 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측 각각에 필름 형성재 (A,B) 중 하나로 된 단일재의 필름이 형성된다. 이 실시형태에서 스크린 (6) 을 제공함으로써 유리 기재 (4) 의 증착 영역 (R) 에 그러한 단일재 필름이 형성될 가능성이 없어진다. 따라서, 필름 형성재 (A, B) 모두를 포함하는 혼합 필름만을 얻을 수 있다. 이 혼합 필름만을 얻을 수 있도록 하는 기구는 도 1 을 참조하여 이하 설명될 것이다.
이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (3) 의 개구 (3a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (5B) 에 의해 라인 (DB)에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (2) 의 개구 (2a) 에서 나온 증기의 이동은 스크린 (6) 에 의해 라인 (DA)에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 이 스크린 (6) 은 유리 기재 (4) 의 표면에 라인 (DA)에 의해 규정된 증착 영역이 유리 기재 (4) 의 표면에 라인 (DB) 에 의해 규정된 증착 영역과 일치할 수 있도록 배치된다. 특히, 스크린 (6) 의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 증착원 (3) 의 개구 (3a) 의 가장자리 중 증착 방지 플레이트 (5B) 로부터 더 멀리있는 가장자리부터 증착 방지 플레이트 (5B) 의 선단 (tip) 을 통과하는 직선을 긋는다. 이로써, 이 그어진 선은 라인 (DB) 라 한다. 유리 기재 (4) 와 라인 (DB) 이 만나는 점에서부터 다른 직선을 증착원 (2) 의 개구 (2a) 의 가장자리 중 증착 방지 플레이트 (5B) 로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 긋는다. 따라서 이 그어진 선은 라인 (DA ) 라 한다. 스크린 (6) 의 상단부가 라인 (DA ) 상에 있을 수 있도록 스크린 (6) 을 위치시킨다. 이러한 방법으로 스크린 (6) 을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착 영역이 유리 기재 (4) 의 하류측에서 (즉, 증착 영역 (R) 안의 하류측 부분에서) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치된다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 중 어느 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 필름 형성재 (A,B) 의 두 형성재를 포함하는 혼합 필름만이 형성될 수 있다.
이와 마찬가지로, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (2) 의 개구 (2a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (5A) 에 의해 라인 (UA) 에 의해 규정되 는 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 으로 상류측으로 증착원 (3) 의 개구 (3a) 에서 나온 증기의 이동은 스크린 (6) 에 의해 라인 (UB) 에 의해 규정되는 영역내로 제한된다. 스크린 (6) 은 유리 기재 (4) 의 표면상에 라인 (UB) 에 의해 규정된 증착 영역이 유리 기재 (4) 의 표면상에 라인 (UA) 에 의해 규정된 증착영역과 일치할 수 있도록 위치된다. 특히, 스크린 (6) 의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 증착원 (2) 의 개구 (2a) 의 가장자리 중 증착 방지 플레이트 (5A) 로부터 더 멀리있는 가장자리부터 증착 방지 플레이트 (5A) 의 선단을 통과하는 직선을 긋는다. 이로써, 이 그어진 선은 라인 (UA) 라 한다. 유리 기재 (4) 와 라인 (UA) 이 만나는 점에서부터 다른 직선을 증착원 (3) 의 개구 (3a) 의 가장자리 중 증착 방지 플레이트 (5A) 로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 긋는다. 따라서 이 그어진 선은 라인 (UB) 라 한다. 스크린 (6) 의 상단부가 라인 (UB) 상에 있을 수 있도록 스크린 (6) 을 위치시킨다. 이러한 방법으로 스크린 (6) 을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착 영역이 유리 기재 (4) 의 상류측에서도 (즉,증착 영역 (R) 안의 상류측 부분에서도) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치된다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 필름 형성재 (A,B) 의 두 형성재를 포함하는 혼합 필름만이 형성될 수 있다.
스크린 (6) 은 필름 형성재 (A,B) 를 포획하고, 이로써 이 스크린은 증착원 (2) 의 개구 (2a) 에서 그리고 증착원 (3) 의 개구 (3a) 에서 각각 나온 필름 형성재 (A,B) 의 다른 종류의 증기의 증착으로부터 유리 기재 (4) 의 표면의 일부 영역을 보호할 수 있는 방벽이 된다. 결과적으로, 스크린 (6) 은 어떠한 단일재 필름의 형성도 예방한다. 이러한 이유로, 스크린 (6) 은 바람직하게 필름 형성재 (A,B) 를 포획할 수 있게 유지된다. 다시 말하면, 스크린 (6) 은 바람직하게 필름 형성재 (A,B) 가 증발되지 않도록 충분히 낮은 온도에서 유지된다. 게다가, 스크린 (6) 은 바람직하게는 이송방향 (T) 으로 공증착실 (1) 의 중심에 위치되어 있다. 이로써, 증착원 (2) 의 개구 (2a) 와 증착원 (3) 의 개구 (3a) 는 바람직하게 스크린 (6) 의 위치를 기준으로 대칭적으로 위치되어 있으며, 증착 방지 플레이트 (5A,5B) 도 스크린 (6) 의 위치를 기준으로 대칭적으로 위치되어 있다. 그러므로, 전술한 기하학적 배치 위치는 라인 (UA,UB,DA,DB) 이 더 용이하게 설정될 수 있게 해준다. 게다가, 라인 (UA,UB,DA,DB) 의 조정을 가능하게 하기 위해서는 스크린 (6) 의 두께를 더 두껍게 하거나 또는 여러개의 스크린 (6) 을 사용할 수도 있다. 대안적으로, 라인 (UA,UB,DA,DB) 의 조정을 가능하게 하기 위해서는 스크린 (6) 을 수직방향과 수평방향으로 움직일 수 있게 할 수 있다.
지금까지 기술한 바와 같이, 스크린 (6) 은 증착원 (2) 의 개구 (2a) 와 증착원 (3) 의 개구 (3a) 에 대해 적절한 위치에 배치된다. 따라서, 필름 형성재 (A,B) 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 피하게 되며, 유리 기재 (4) 의 전체 증착 영역 (R) 은 필름 형성재 (A,B) 의 두 형성재를 모두를 포함하는 혼합 필름만을 가질 수 있다.
게다가, 단일재 필름의 형성의 예방은 인접해 있는 증착실사이의 간격을 늘려야 할 필요성을 없애고 이로써 장치의 전체 크기는 더 컴팩트하게 될 수 있다.
이 실시형태의 스크린 (6) 은 증착원 (2) 의 개구 (2a) 와 증착원 (3) 의 개구 (3a) 에서 각각 나온 다른 종류의 필름 형성재 (A,B) 의 증기의 증착 영역을 제한하는 제한 부재로 작용한다는 점을 주목하여야 한다. 그러나, 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측 중 한측에 단일재 필름의 형성이 허용될 수도 있는 경우도 있을 수 있다. 이 경우, 스크린 (6) 이 후술할 제 3 실시형태와 제 4 실시형태의 경우와 같이 증착원 (2) 의 개구 (2a) 와 증착원 (3) 의 개구 (3a) 중 하나의 개구에서 나온 증기의 증착 영역을 제한할 수 있다.
실시형태 2
도 2 는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다. 이 제 2 실시형태의 설명을 위해 사용된 도 2 는 도 1 의 경우에서와 같이 인라인 필름 형성 장치를 구성하는 모든 멀티플 증착실 중 공증착실만을 도시한다.
도 2 에 나타낸바와 같이, 제 2 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 적어도 하나의 공증착실 (11) 을 가지며, 이 공증착실 (11) 은 두 개의 증착원 (12, 13) 을 가지며, 이 증착원들은 각각 필름 형성재 (A 와 B) 를 저장한다. 상기 증착원 (12,13) 각각에는 개구 (12a,13a) 가 형성되어 있다. 이 개구 (12a,13a) 각 각은 유리 기재 (14) 의 폭방향으로 연장되어 있으며 이 방향은 유리 기재 (14) 의 이송 방향 (T) 에 수직이다. 상기 개구 (12a,13a) 들은 서로 나란히 배열되고, 상기 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측상에 각각 배치되어 있다. 우선 증착원 (12,13) 에 각각 저장되어 있는 필름 형성재 (A,B) 를 증발시키거나 승화시킴으로써 공증착을 수행한다. 그리고 나서, 증발 또는 승화된 필름 형성재 (A, B) 는 혼합되어 증착되어 혼합 필름이 상기 이송 방향 (T) 으로 이송되는 유리기재 (14) 상에 형성될 수 있다. 유리 기재 (14) 의 폭 방향 (상기 이송 방향 (T) 에 수직인 방향) 으로 상기 각각의 개구 (12a,13a) 의 길이가 유리 기재 (14) 의 폭과 바람직하게는 동일하거나 더 길다.
두 개의 증착 방지 플레이트 (15A,15B) (분할 부재) 가 공증착실 (11) 에 배치되어 있어서, 증착 방지 플레이트 (15A,15B) 는 인접한 증착실에서 각각 공증착실 (11) 을 분할할 수 있다. 증착 방지 플레이트 (15A,15B) 는 이송되는 유리 기재 (14) 에서 떨어져 위치되어 있으며, 서로에 대하여 평행하게 위치되어 있으며, 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 각각 위치되어 있으며, 플레이트들 사이에는 두 개의 증착원 (12,13) 이 있다. 인라인 필름 형성 장치는 이송 방향 (T) 으로 연속적으로 위치해 있는 멀티플 증착실을 구비한다. 따라서, 증착 방지 플레이트 (15A,15B) 는 증착실을 분할하기 위해 그리고, 인접한 증착실의 증착원에서 나온 증기가 함께 혼합되지 않게 하기위해 제공된다.
제 1 실시형태에서는 증착원의 두 개의 개구 사이에 제한 부재로서 스크린이 제공되어 있다. 그러나 제 2 실시형태에서는 증착원 (12) 의 개구 (12a) 와 증착원 (13) 의 개구 (13a) 각각의 측벽들 중 하나가 제한 부재로서 역할하도록 연장되어 있다. 각각의 개구 (12a, 13a) 의 두 개의 측벽 중 연장 측벽은 다른 개구에 더 근접한 측에 위치하여 있다. 특히, 도 2 에 도시된 바와 같이, 개구 (12a) 의 연장 측벽은 개구 (13a) 에 더 인접한 측에 위치되어 있으며, 이 측벽은 개구 측벽 (12b) 이라 칭한다. 개구 (13a) 의 연장 측벽은 개구 (12a) 에 더 근접한 측에 위치되어 있으며, 이 측벽은 개구 측벽 (13b) 이라 칭한다. 단지 개구 측벽 (12b, 13b) 을 연장함으로써 제한 부재로서 기능하는 가장 간단한 구조가 얻어질 수 있다는 점은 주목할 만하다. 그러나, 이 제 2 실시형태에서는 각각의 개구 (12a,13a) 의 상면이 개구 측벽 (12b,13b) 을 형성할 수 있도록 경사져 형성되어 있다. 각각의 개구 (12a,13a) 의 상면이 경사져 형성되어 있을 때, 각각의 증착원 (12,13) 의 개구는 적절한 위치에 상면을 형성할 수 있도록 절단될 수 있으며, 이는 이하 설명하기로 한다.
따라서, 개구 측벽 (12b,13b) 이 연장되어 있음으로 인해, 유리 기재 (14) 의 증착영역 (R) 에 그러한 단일재 필름이 형성될 가능성이 없어진다. 이로써, 필름 형성재 (A,B) 의 두 형성재를 포함하는 혼합필름만을 얻을 수 있다. 혼합 필름만을 형성할 수 있게 하는 기구와, 각각의 개구 (12a,13a) 의 상면의 적절한 위치에 대한 설명은 도 2 를 참조하여 이하 주어질 것이다.
이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (13) 의 개구 (13a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (15B) 에 의해 라인 (DB) 에 의해 규정되는 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (12) 의 개구 (12a) 에서 나온 증기의 이동은 개구 측벽 (12b) 에 의해 라인 (DA) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 유리 기재 (14) 의 표면에 라인 (DA) 에 의해 규정된 증착 영역이 유리 기재 (14) 의 표면에 라인 (DB) 에 의해 규정된 증착 영역과 일치할 수 있도록 개구 (12a) 의 상면이 형성되어 있다. 특히, 개구 (12a) 의 상면의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 개구 (13a) 의 상단에서부터 증착 방지 플레이트 (15B) 의 선단을 통과하는 직선을 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (DB) 이라 한다. 유리 기재 (14) 와 라인 (DB) 이 만나는 점으로부터 다른 직선을 개구 (12a) 의 상단을 통과하도록 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (DA) 이라 한다. 개구 (12a) 의 상면을 나타내는 선분이 라인 (DA) 상에 있을 수 있도록 개구 (12a) 의 상면의 위치가 결정된다. 이러한 방법으로 개구 (12a) 의 상면을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착영역이 유리 기재 (14) 의 하류측에서 (즉, 증착 영역 (R) 내의 하류측 부분에서) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치된다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 의 둘 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 예방될 수 있으며, 두 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름이 형성될 수 있다.
마찬가지로, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (12) 의 개구 (12a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (15A) 에 의해 라인 (UA) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (13) 의 개구 (13a) 에서 나온 증기의 이동은 개구 측벽 (13b) 에 의해 라인 (UB) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 개구 (13a) 의 상면은 유리 기재 (14) 의 표면에 라인 (UB) 에 의해 규정된 증착 영역이 유리 기재 (14) 의 표면에 라인 (UA) 에 의해 규정된 증착영역과 일치 할 수 있도록 형성된다. 특히, 개구 (13a) 의 상면의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 개구 (12a) 의 상단에서부터 증착 방지 플레이트 (15A) 의 선단을 통과하는 직선을 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (UA) 이라 한다. 유리 기재 (14) 와 라인 (UA) 이 만나는 점으로부터 다른 직선을 개구 (13a) 의 상단을 통과하게 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (UB) 이라 한다. 개구 (13a) 의 상면을 나타내는 선분이 라인 (UB) 상에 있을 수 있도록 개구 (13a) 의 상면의 위치가 결정되어 있다. 이러한 방법으로 개구 (13a) 의 상면을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착영역이 유리 기재 (14) 의 상류측에서 (즉, 증착 영역 (R) 내의 상류측 부분에서) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치된다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 의 둘 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 예방될 수 있으며, 두 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만이 형성될 수 있다.
개구 측벽 (12b,13b) 은 증착원 (12) 의 개구 (12a) 에서 그리고 증착원 (13) 의 개구 (13a) 에서 나온 증기의 증착으로부터 유리 기재 (14) 의 표면의 일부 영역을 보호할 수 있는 방벽이 된다. 결과적으로, 개구 측벽 (12b,13b) 은 어떠한 단일재 필름의 형성도 예방한다. 개구 측벽 (12b,13b) 은 각각의 증착원 (12,13) 에 통합되어 형성되어 있으며, 이로써 개구 측벽 (12b,13b) 의 온도는 각각의 증착원 (12,13) 의 온도와 같다. 이 때문에, 제 1 실시형태에서 제공된 스크린 (6) 과는 반대로, 개구 측벽 (12b,13b) 은 그 어떤 필름 형성재 (A,B) 도 포획하지 못한다. 따라서, 포획되지 않은 필름 형성재 (A,B) 의 증기는 유리 기재 (14) 측에 효율적으로 제공될 수 있다.
지금까지 전술된 바와 같이, 증착원 (12) 의 개구 (12a) 와 증착원 (13) 의 개구 (13a) 에는 각각의 개구 측벽 (12b,13b) 이 연장되어 있다. 이로써, 필름 형성재 (A,B) 의 둘 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 예방될 수 있으며, 유리 기재 (14) 의 전체 증착 영역 (R) 은 두 개의 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만을 가질 수 있다.
게다가, 단일재 필름의 형성의 예방은 인접해 있는 증착실사이의 간격을 늘려야 할 필요성을 없애고 이로써 장치의 전체 크기는 더 컴팩트하게 될 수 있다. 게다가, 대부분의 경우에는 증착원의 개구의 상면이 유리 기재에 평행하게 형성되어 있지만, 이렇게 형성된 상면은 상기 전술한 방법으로 개구를 절단함으로써 이 제 2 실시형태에 적합하게 쉽게 개조될 수 있다.
실시형태 3
도 3 은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다. 이 제 3 실시형태의 설명을 위해 사용된 도 3 은 제 1 실시형태 및 제 2 실시형태의 경우와 같이, 인라인 필름 형성 장치를 구성하는 모든 멀티플 증착실 중 공증착실만을 도시한다.
이 제 3 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 제 2 실시형태의 장치 (도 2 에 도시) 의 개조된 실시예이다. 제 3 실시형태의 장치의 구성은 이송 방향 (T) 의 상류측 또는 하류측 중 하나의 측에 단일재 필름이 형성되도록 허용한다. 특히, 이 제 3 실시형태의 장치는 단일재 필름이 이송 방향 (T) 의 상류측에 형성되도록 허용한다.
도 3 에 나타낸바와 같이, 이 제 3 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 적어도 하나의 공증착실 (21) 을 가지며, 이 공증착실 (21) 은 두 개의 증착원 (22, 23) 을 가지며, 이 증착원들은 각각 필름 형성재 (A 와 B) 를 저장한다. 상기 증착원 (22,23) 각각에는 개구 (22a,23a) 가 형성되어있다. 이 개구 (22a,23a) 각각은 유리 기재 (24) 의 폭방향으로 연장되어 있으며, 이 방향은 유리 기재 (24) 의 이송 방향 (T) 에 수직이다. 상기 개구 (22a,23a) 들은 서로 나란히 배열되고, 상기 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측상에 각각 배치되어 있다. 우선 증착원 (22,23) 에 각각 저장되어 있는 필름 형성재 (A,B) 를 증발시키거나 승화시킴으로써 공증착을 수행한다. 그리고 나서, 증발 또는 승화된 필름 형성재 (A, B) 는 혼합되어 증착되어, 혼합 필름을 상기 이송 방향 (T) 으로 이송되는 유리기재 (24) 상에 형성한다. 유리 기재 (24) 의 폭 방향 (상기 이송 방향 (T) 에 수직인 방향) 으로 상기 각각의 개구 (22a,23a) 의 길이가 유리 기재 (24) 의 폭과 바람직하게는 동일하거나 더 길다.
두 개의 증착 방지 플레이트 (25A,25B) (분할 부재) 가 공증착실 (21) 에 배치되어 있어서, 증착 방지 플레이트 (25A,25B) 는 인접한 증착실에서 각각 공증착실 (21) 을 분할할 수 있다. 증착 방지 플레이트 (25A,25B) 는 이송되는 유리 기재 (24) 에서 떨어져 위치되어 있으며, 서로에 대하여 평행하게 위치되어 있으며, 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 각각 위치되어 있으며, 이 플레이트들 사이에 두 개의 증착원 (22,23) 이 있다. 인라인 필름 형성 장치는 이송 방향 (T) 으로 연속적으로 위치해 있는 멀티플 증착실을 구비한다. 따라서, 증착 방지 플레이트 (25A,25B) 는 증착실을 분할하기 위해 그리고, 근접한 증착실의 증착원에서의 증기가 함께 혼합되지 않게 하기 위해 제공된다.
제 2 실시형태에서는 두 증착원 각각의 개구의 측벽들 중 하나의 측벽이 제한 부재로서 역할하도록 연장되어 있다. 두 개구 각각의 두 개의 측벽 중 연장된 측벽은 다른 개구에 더 근접한 측에 위치하여 있다. 그러나 제 3 실시형태에서는 도 3 이 도시하는 바와 같이, 증착원 (22) 의 개구 (22a) 의 상면만이 경사져 형성되어 있다. 단일재 필름의 형성이 회피되어야 하는 측 (도 3 에서는 이송 방향 (T) 의 하류측에) 에 있는 개구 측벽 (22b) 이 연장되어 있다. 그러므로, 개구 측벽 (22b) 만이 제한 부재로서 역할한다.
따라서, 개구 측벽 (22b) 이 연장됨으로써 유리 기재 (24) 의 증착 영역 (R) 내의 하류측 부분에 그러한 단일재 필름이 형성될 가능성이 없어진다. 이로써, 두 개의 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만이 얻어질 수 있다. 반대로, 유리 기재 (24) 의 증착 영역 (R) 의 상류측 즉, 유리 기재 (24) 의 증착 영역 (RB) 에는 단일재 필름이 형성될 수 있다.
제 3 실시형태에서, 제 2 실시형태의 경우와 마찬가지로, 이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (23) 의 개구 (23a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (25B) 에 의해 라인 (DB) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (22) 의 개구 (22a) 에서 나온 증기의 이동은 개구 측벽 (22b) 에 의해 라인 (DA) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 개구 (22a) 의 상면은 유리 기재 (24) 의 표면상에 라인 (DA) 에 의해 규정된 증착 영역이 유리 기재 (24) 의 표면에 라인 (DB) 에 의해 규정된 증착영역과 일치할 수 있도록 형성된다. 특히, 개구 (22a) 의 상면의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 개구 (23a) 의 상단에서부터 증착 방지 플레이트 (25B) 의 선단을 통과하는 직선을 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (DB) 이라 한다. 유리 기재 (24) 와 라인 (DB) 이 만나는 점으로부터 다른 직선을 개구 (22a) 의 상단을 통과하게 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (DA) 이라 한다. 개구 (22a) 의 상면을 나타내는 선분이 라인 (DA) 상에 있을 수 있도록 개구 (22a) 의 상면의 위치가 결정된다. 이러한 방법으로 개구 (22a) 의 상면을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착영역 이 유리 기재 (24) 의 하류측에서 (즉, 증착 영역 (R) 내의 하류측 부분에서) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치하게 한다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 의 둘 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 예방될 수 있으며, 두 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만이 형성될 수 있다.
다른 한편으로, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (22) 의 개구 (22a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (25A) 에 의해 라인 (UA) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (23) 의 개구 (23a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (25A) 에 의해 라인 (UB) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 따라서, 이렇게 형성된 증착 영역 (RB) 은 증착원 (23) 의 필름 형성재 (B) 의 증착영역에는 포함되지만, 증착원 (22) 의 필름 형성재 (A) 의 증착영역에는 포함되지 않는다. 결과적으로 증착 영역 (RB) 에 이렇게 형성된 필름은 필름 형성재 (B) 만의 단일재 필름이 된다.
개구 측벽 (22b) 은 증착원 (22) 의 개구 (22a) 에서 나온 증기의 증착으로부터 유리 기재 (24) 의 표면의 일부 영역을 보호할 수 있는 방벽이 된다. 결과적으로, 개구 측벽 (22b) 은 유리 기재 (24) 의 하류측에서만 단일재 필름의 형성을 예방한다. 개구 측벽 (22b) 은 증착원 (22) 에 통합되어 형성되어 있다. 이로써 개구 측벽 (22b) 의 온도는 증착원 (22) 의 온도와 같다. 이 때문에, 제 1 실시형태에서 제공된 스크린 (6) 과는 반대로, 개구 측벽 (22b) 은 그 필름 형성재 (A) 를 포획하지 않는다. 따라서, 포획되지 않은 필름 형성재 (A) 의 증기는 유리 기재 (24) 측에 효율적으로 제공될 수 있다. 게다가, 대부분의 경우에는 증착원의 개구의 상면이 유리 기재에 나란하게 형성되어 있지만, 이렇게 형성된 상면은 상기 전술한 방법으로 개구를 절단함으로써 이 제 3 실시형태에 적합하게 쉽게 개조될 수 있다.
제 4 실시형태
도 4 은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다. 이 제 4 실시형태의 설명을 위해 사용된 도 4 는 제 1 실시형태 내지 제 3 실시형태의 경우와 같이, 인라인 필름 형성 장치를 구성하는 모든 멀티플 증착실 중 공증착실만을 도시한다.
이 제 4 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 제 3 실시형태의 장치 (도 3 에 도시) 와 같이 이송 방향 (T) 의 상류측 또는 하류측 중 하나의 측에 단일재 필름이 형성되도록 허용하는 구성을 가진다. 특히, 이 제 4 실시형태의 장치는 단일재 필름이 이송 방향 (T) 의 상류측에 형성되도록 허용한다.
도 4 에 나타낸바와 같이, 이 제 4 실시형태의 인라인 필름 형성 장치는 적어도 하나의 공증착실 (31) 을 가지며, 이 공증착실 (31) 은 두 개의 증착원 (32, 33) 을 가지며, 이 증착원들은 각각 필름 형성재 (A 와 B) 를 저장한다. 상기 증착원 (32,33) 각각에는 개구 (32a,33a) 가 형성되어 있다. 이 개구 (32a,33a) 각각은 유리 기재 (34) 의 폭방향으로 연장되어 있으며, 이 방향은 유리 기재 (34) 의 이송 방향 (T) 에 수직이다. 상기 개구 (32a,33a) 들은 서로 나란히 배열되고, 상기 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측상에 각각 배치되어 있다. 우선 증착원 (32,33) 에 각각 저장되어 있는 필름 형성재 (A,B) 를 증발시키거나 승화시킴으로써 공증착을 수행한다. 그리고 나서, 증발 또는 승화된 필름 형성재 (A, B) 는 혼합되어 증착되어, 상기 이송 방향 (T) 으로 이송되는 유리기재 (34) 상에 혼합 필름이 형성된다. 유리 기재 (34) 의 폭 방향 (상기 이송 방향 (T) 에 수직인 방향) 으로 상기 각각의 개구 (32a,33a) 의 길이가 유리 기재 (34) 의 폭과 바람직하게는 동일하거나 더 길다.
두 개의 증착 방지 플레이트 (35A,35B) (분할 부재) 가 공증착실 (31) 에 배치되어 있어서, 증착 방지 플레이트 (35A,35B) 는 인접한 증착실에서 각각 공증착실 (31) 을 분할할 수 있다. 증착 방지 플레이트 (35A,35B) 는 이송되는 유리 기재 (34) 에서 떨어져 위치되어 있으며, 서로에 대하여 평행하게 위치되어 있으며, 이송 방향 (T) 의 상류측과 하류측에 각각 위치되어 있으며, 이 플레이트들 사이에 두 개의 증착원 (32,33) 이 있다. 인라인 필름 형성 장치는 이송 방향 (T) 으로 연속적으로 위치해 있는 멀티플 증착실을 구비한다. 따라서, 증착 방지 플레이트 (35A,35B) 는 증착실을 분할하기 위해 그리고, 인접한 증착실의 증착원에서의 증기가 함께 혼합되지 않게 하기 위해 제공된다.
제 3 실시형태에서는 두 개의 증착원 (22,23) 이 그들 사이에 일정한 간격을 두고 위치해 있다. 그러나, 이 제 4 실시형태의 증착원 (32,33) 은 도 4 에서 나타낸 바와 같이 그 사이에 적어도 하나의 열 절연 플레이트 (36) 를 두고 서로 근접하게 위치되어 있다. 증착원 (32) 의 개구 (32a) 와 증착원 (33) 의 개구 (33a) 의 상면은 경사져 형성되어 있다. 이로써, 단일재 필름의 형성이 회피될 필요가 있는 측에 (도 4 에서 이송 방향 (T) 의 하류측에) 개구 측벽 (32b, 33b) 이 연장되어 있으며, 개구 측벽 (32b, 33b) 모두가 제한 부재로서 작용된다.
따라서, 개구 측벽 (32b,33b) 이 연장됨으로써 유리 기재 (34) 의 증착 영역내의 하류측 부분에 그러한 단일재 필름이 형성될 가능성이 없어진다. 이로써, 두 개의 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만이 얻어질 수 있다. 반대로, 유리 기재 (34) 의 증착 영역의 상류측에는 단일재 필름이 형성될 수 있다.
제 4 실시형태에서, 이송 방향 (T) 의 하류측쪽으로 증착원 (33) 의 개구 (33a) 에서 나온 증기의 이동은 개구 측벽 (33b) 에 의해 라인 (DB) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 한편, 이송 방향 (T) 의 하류측으로 증착원 (32) 의 개구 (32a) 에서 나온 증기의 이동은 개구 측벽 (32b) 에 의해 라인 (DA) 에 의해 규정된 영역내로 제한된다. 개구 (32a,33a) 의 상면은 라인 (DA) 과 라인 (DB) 이 일치할 수 있도록 형성된다. 따라서, 유리 기재 (34) 에 라인 (DA) 에 의해 규정된 증착영역은 유리 기재 (34) 에 라인 (DB) 에 의해 규정된 증착영역과 일치한다. 특히, 개구 (32a,33a) 의 상면의 위치는 이하의 방법으로 결정된다. 개구 (33a) 의 상단에서부터 증착 방지 플레이트 (35B) 의 선단을 통과하는 직선을 긋는다. 이렇게 그어진 직선은 라인 (DA = DB ) 이라 한다. 개구 (32a,33a) 의 상면을 나타내는 선분이 라인 (DA = DB )) 상에 있을 수 있도록 개구 (32a,33a) 의 상면의 위치가 결정된다. 이러한 방법으로 개구 (32a,33a) 의 상면을 위치시키면, 필름 형성재 (A) 의 증착영역이 유리 기재 (34) 의 하류측에서 (즉, 증착 영역내의 하류측 부분에서) 필름 형성재 (B) 의 증착 영역과 일치하게 된다. 결과적으로, 필름 형성재 (A,B) 의 둘 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성은 예방될 수 있으며, 두 필름 형성재 (A,B) 모두를 포함하는 혼합 필름만이 형성될 수 있다.
다른 한편으로, 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (32) 의 개구 (32a) 에서 나온 증기의 이동과 이송 방향 (T) 의 상류측으로 증착원 (33) 의 개구 (33a) 에서 나온 증기의 이동은 증착 방지 플레이트 (25A) 에 의해 제한된다. 따라서, 유리 기재 (34) 의 상류측에 형성되는 영역은 증착원 (33) 의 필름 형성재 (B) 의 증착영역에는 포함되지만, 증착원 (32) 의 필름 형성재 (A) 의 증착영역에는 포함되지 않는다. 결과적으로, 상류측에서 증착 영역에 형성된 필름은 필름 형성재 (B) 만의 단일재 필름이 된다.
개구 측벽 (32b,33b) 은 증착원 (32) 의 개구 (32a) 에서 나온 증기의 증착과 증착원 (33) 의 개구 (33a) 에서 나온 증기의 증착으로부터 유리 기재 (34) 의 표면의 일부 영역을 보호할 수 있는 방벽이 된다. 결과적으로, 개구 측벽 (32b,33b) 은 유리 기재 (34) 의 하류측에서만 단일재 필름만의 형성을 예방한다. 개구 측벽 (32b,33b) 은 증착원 (32,33) 에 각각 통합되어 형성되어 있다. 이로써 개구 측벽 (32b,33b) 의 온도는 각각 증착원 (32,33) 의 온도와 같다. 이 때문에, 제 1 실시형태에서 제공된 스크린 (6) 과는 반대로, 개구 측벽 (32b,33b) 은 필름 형성재 (A,B) 를 포획하지 않는다. 따라서, 포획되지 않은 필름 형성재 (A,B) 의 증기는 유리 기재 (34) 의 측에 효율적으로 제공될 수 있다. 게다가, 대부분의 경우에는 증착원의 개구의 상면이 유리 기재에 나란하게 형성되어 있지만, 이렇게 형성된 상면은 상기 전술한 방법으로 개구를 절단함으로써 이 제 4 실시형태에 적합하게 쉽게 개조될 수 있다.
제 4 실시형태의 구성에는 증착원 (32,33) 사이에 열 절연 플레이트 (36) 가 제공되어 있다. 따라서, 증착원 (32) 의 온도와 증착원 (33) 의 온도의 큰 차이가 있을 때 (예를 들어 증착원 (32,33) 중 하나의 온도는 300 ℃ 이고, 다른 증착원의 온도는 600 ℃ 일 때) 에도, 두 개의 증착원 (32,33) 은 서로 근접하게 위치될 수 있다. 다시 말해, 열 절연 플레이트 (36) 는 증착원 (32,33) 사이의 열 구배 (열 절연층) 를 제공하는 기능을 갖는다. 적절한 열 구배는 두 개의 증착원 (32,33) 사이의 온도차의 크기에 따라 열 절연 플레이트 (36) 의 갯수를 증가하거나 감소시킴으로써 얻을 수 있다.
본 발명은 인라인 필름 형성 장치에 적합하며 특히 유기 전계발광 (EL) 장치를 제조하기 위해 사용되는 인라인 필름 형성 장치에 적합하다.
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다.
도 3 은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다.
도 4 은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 인라인 필름 형성 장치를 도시하는 개략도이다.
도 5 은 종래의 인라인 필름 형성 장치의 공증착실을 도시하는 개략도이다.
도 6 은 종래의 다른 인라인 필름 형성 장치의 공증착실을 도시하는 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
1, 11, 21, 31, 41, 51: 공증착실
2, 3, 12, 13, 22, 23, 32, 33: 증착원
2a, 3a, 12a, 13a, 22a, 23a, 32a, 33a: 개구
12b, 13b, 22b, 23b, 32b, 33b: 개구 측벽
4, 14, 24, 34: 유리 기재
5A, 5B, 15A, 15B, 25A, 25B, 35A, 35B : 증착 방지 플레이트
6: 스크린
36: 열 절연 플레이트
A,B: 필름 형성재
T: 이송 방향
R: 증착 영역
UA,UB,DA,DB: 라인

Claims (9)

  1. 복수개의 증착실을 포함하는 인라인 필름 형성장치로서, 이 증착실 중 적어도 하나는 두 개의 다른 필름 형성재가 증발되거나 승화되고 나서, 이 증발 또는 승화된 두 개의 필름 형성재의 증기가 혼합되어 증착되는 공증착 공정에 의해 혼합 필름을 형성하는 공증착실이며, 상기 복수개의 증착실은 기재가 이송되는 이송방향으로 배열되어 있으며, 이렇게 배열된 증착실은 이송되는 기재상에 필름을 연속적으로 형성하여 기재에 다층의 필름을 형성하며,
    상기 공증착실은
    필름 형성재를 각각 저장하는 두 개의 증착원으로서, 상기 이송방향에 수직인 기재의 폭 방향으로 각각 신장되어 있는 개구를 각각 포함하고, 이 개구는 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란하게 배열되어 있는 상기 두 개의 증착원과,
    인접한 증착실로부터 공증착실을 각각 분할하는 두 개의 분할 부재로서, 이송되는 기재로부터 떨어져 있고 또한 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란히 위치되어 있으며, 상기 두 개의 증착원을 사이에 두고 있는 상기 두 분할 부재 및,
    상류측 개구에서 나와서 기재의 하류측에 증착되는 증기를 제한하여 증기가 증착될 증착 영역에 하류측 한계를 설정하게 되는 제한 부재를 포함하며,
    상기 하류측 한계를 갖는 증착 영역은 하류측 개구에서 나와서 기재의 하류 측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 하류측에 있는 분할 부재는 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 하류측 한계를 설정하며,
    기재의 하류측에서 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 하류측에 형성되는, 인라인 필름 형성장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제한 부재는 또한 하류측 개구에서 나와 기재의 상류측에 증착되는 증기도 제한하여 상류측 한계가 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 설정되며, 상류측 한계를 갖는 하류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역은 상류측 개구에서 나와 기재의 상류측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 상류측 분할 부재는 상류측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 상류측 한계를 설정하고,
    기재의 상류측에서 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 또한 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 상류측에 형성되는, 인라인 필름 형성장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 제한 부재의 역할을 하며 두 개의 개구 사이에 위치되는 스크린을 포함하는, 인라인 필름 형성 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 하류측 분할 부재의 선단과 하류측 개구의 가장자리들 중 하류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하는 라인과 기재가 만나는 점을 시작점으로하여 상류측 개구의 가장자리들 중 하류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 그어진 라인을 제 1 라인이라 하고, 상류측 분할 부재의 선단과 상류측 개구의 가장자리들 중 상류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하는 라인과 기재가 만나는 점을 시작점으로하여 하류측 개구의 가장자리들 중 상류측 분할 부재로부터 더 멀리 있는 가장자리를 통과하게 그어진 라인을 제 2 라인이라고 할 때,
    상기 스크린은 스크린의 상단이 상기 제 1 라인과 제 2 라인 중 적어도 하나의 라인 상에 있을 수 있도록 위치되는, 인라인 필름 형성 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상류측 개구의 두 개구 측벽 중 하류측 개구에 더 가까이 위치되어 있는 개구측벽과, 하류측 개구의 두 개구 측벽 중 상류측 개구에 더 가까이 위치되어 있는 개구 측벽 중의 적어도 하나는 제한 부재의 역할을 할 수 있도록 연장되어 있는, 인라인 필름 형성 장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상류측 개구의 상면의 위치와, 하류측 분할 부재의 선단과 하류측 개구의 상단을 통과하는 라인과 기재가 만나는 시작점에서 그어져 상류측 개구의 상단을 통과하는 라인간에 존재하는 일치를 제 1 일치라하고,
    하류측 개구의 상면의 위치와, 상류측 분할 부재의 선단과 상류측 개구의 상단을 통과하는 라인과 기재가 만나는 시작점에서 그어져 하류측 개구의 상단을 통 과하는 라인간에 존재하는 일치를 제 2 일치라고 할 때,
    개구 중 적어도 하나의 상면이 경사지게 형성되어 상기 제 1 일치와 제 2 일치 중 임의의 일치가 얻어지도록 상기 개구 측벽이 형성되어 있는, 인라인 필름 형성 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 상면은 개구를 절단하여 경사지게 형성된, 인라인 필름 형성 장치
  8. 복수개의 증착실을 포함하는 인라인 필름 형성장치로서, 이 증착실 중 적어도 하나는 두 개의 다른 필름 형성재가 증발되거나 승화되고 나서, 이 증발 또는 승화된 두 개의 필름 형성재의 증기가 혼합되어 증착되는 공증착 공정에 의해 혼합 필름을 형성하는 공증착실이며, 상기 복수개의 증착실은 기재가 이송되는 이송방향으로 배열되어 있으며, 이렇게 배열된 증착실은 이송되는 기재상에 필름을 연속적으로 형성하여 기재에 다층의 필름을 형성하며,
    상기 공증착실은
    필름 형성재를 각각 저장하는 두 개의 증착원으로서, 상기 이송방향에 수직인 기재의 폭 방향으로 각각 신장되어 있는 개구를 각각 포함하고, 이 개구는 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란하게 배열되어 있는 상기 두 개의 증착원과,
    인접한 증착실로부터 공증착실을 각각 분할하는 두 개의 분할 부재로 서, 이송되는 기재로부터 떨어져 있고 또한 이송방향의 상류측과 하류측 각각에서 서로 나란히 위치되어 있으며, 상기 두 개의 증착원을 사이에 두고 있는 상기 두 분할 부재, 및
    상류측과 하류측 중의 제 1 측에 있는 제 1 측 개구에서 나와서 기재의 상류측과 하류측 중의 제 2 측에 증착되는 증기를 제한하여 증기가 증착될 증착 영역에 제 2 측 한계를 설정하게 되는 제한 부재를 포함하며,
    상기 제 2 측 한계를 갖는 증착 영역은 제 2 측에 있는 제 2 측 개구에서 나와서 기재의 제 2 측에 증착되는 증기의 증착 영역과 일치하며, 제 2 측의 제 2 분할 부재는 제 2 측 개구에서 나온 증기의 증착 영역에 제 2 측 한계를 설정하며,
    각각의 개구의 제 2 측에서 연장되어 있는 개구 측벽은 개구의 상면이 제 2 측 개구의 상단과 제 2 분할 부재의 선단을 통과하는 라인상에 있도록 개구의 상면을 경사지게 형성함으로써 제한 부재로서 형성되있으며,
    기재의 제 2 측에 두 개의 필름 형성재 중 하나의 형성재를 포함하는 단일재 필름의 형성이 예방되며, 혼합 필름만이 기재의 제 2 측에 형성되는, 인라인 필름 형성장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 두 개의 증착원 사이에 제공되는 열 절연 부재를 더 포함하며, 상기 두개의 증착원은 서로 근접하게 위치되어 있는, 인라인 필름 형성장치.
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