CN109338305A - 蒸镀挡板机构及蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，所述蒸镀挡板机构设置在一蒸镀源及一基板之间，所述蒸镀挡板机构包括一挡板组件及一驱动源，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。

Description

蒸镀挡板机构及蒸镀装置
技术领域
本发明是有关于一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，特别是有关于一种应用在显示器制造领域的蒸镀挡板机构及蒸镀装置。
背景技术
随着显示技术的急速进步，作为显示装置核心的半导体元件技术也随之得到了飞跃性的进步。对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode,OLED)作为一种电流型发光器件，因其所具有的自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。另外，OLED显示器具有色彩鲜艳，高对比度，功耗低，可柔等诸多优点，成为显示领域开发和投资的热点。随着OLED显示器制作工艺的日趋成熟，OLED显示器越来越被大众所认可，应用领域将会越来越广。
在光电及显示领域，特别是OLED器件制造领域，有机小分子真空蒸镀的不均匀性、蒸镀掩膜板(Mask)强度及精确度的要求等因素制约了OLED显示技术往基板大尺化方向的发展。现有技术的真空蒸镀装置中，蒸发源无论采用点蒸发源、线蒸发源、或面蒸发源等，一般均为一步式真空蒸镀，即各层薄膜均一次性蒸镀到整个基板上。
然而，OLED生产技术上，用于蒸镀的设备为蒸发源(source)，而蒸发源又分为有机蒸发源和无机蒸发源。对于蒸镀不同材料的蒸发源的设计会有所差别，其中angle shield(角度限制版)的设计也存在差异。在目前的应用中，角度限制版对应设计的长度和高度是固定的，但是不同材料的掺杂率不同，对应的角度限制版都不同，这对于生产中调节掺杂率是很难的，而材料的掺杂率影响着产品的效率和寿命。
发明内容
本发明的目的在于提供一种蒸镀挡板机构及蒸镀装置，利用驱动源驱动挡板组件的升降移动，能够放大或缩小基板的蒸镀区域，以实现角度限制板的高度的自动调节。
为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀挡板机构，所述蒸镀挡板机构设置在一蒸镀源及一基板之间，而且所述蒸镀挡板机构包括一挡板组件及一驱动源，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径形成在所述角度限制板上，而且所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域；所述驱动源与所述挡板组件安装在一起，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。
在本发明的一实施例中，所述驱动源具有二底座及二支撑杆，所述支撑杆分别支撑在所述角度限制板的二相反侧。
在本发明的一实施例中，所述底座为自动高度调节器，配置用以升降所述支撑杆。
在本发明的一实施例中，所述底座为弹性调节器，配置用以升降所述支撑杆。
在本发明的一实施例中，所述底座为气压杆或油压缸，配置用以升降所述支撑杆。
在本发明的一实施例中，所述驱动源具有二滑块，安装在所述支撑杆上而带动所述角度限制板移动。
为达成本发明的前述目的，所述支撑杆标示有一刻度，配置用以识别所述角度限制板所在位置的一高度。
为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括上述的蒸镀挡板机构。
在本发明的一实施例中，所述蒸镀装置还包含一腔体，所述蒸镀挡板机构设置在所述腔体中。
在本发明的一实施例中，所述蒸镀装置还包含多个所述蒸镀源及多个所述蒸镀挡板机构，每一个蒸镀挡板机构设置在相应的所述蒸镀源的上方。
如上所述，利用所述驱动源驱动所述挡板组件的升降移动，能够放大或缩小所述基板的蒸镀区域，以实现所述角度限制板的高度的自动调节。当所述挡板组件需要调节高度时，通过所述驱动源调节所述角度限制板的高度，以改变所述基板的蒸镀区域的大小，以此来调节材料的掺杂率，并改善所述蒸镀装置的效率及寿命。
附图说明
图1是本发明蒸镀装置的一优选实施例的挡板组件向下移动的一示意图。
图2是本发明蒸镀装置的一优选实施例的挡板组件向上移动的一示意图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。再者，本发明所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
请参照图1所示，为本发明蒸镀装置的一优选实施例的一示意图。所述蒸镀装置包括一腔体2、多个蒸镀挡板机构3及多个蒸镀源4，在有机发光二级管的领域中，所述蒸镀装置配置用以在一基板101(如玻璃基板)上蒸镀薄膜，而且所述基板101设置在所述腔体2中。本发明将于下文详细说明各实施例上述各组件的细部构造、组装关系及其运作原理。
续参照图1所示，所述腔体2具有一底板21、二侧板22及一顶板23，其中所述两侧板22设置在所述底板21的二相对侧，所述顶板23覆盖在所述底板21的上方并与所述两侧板22组合在一起，而且所述基板101固定在所述顶板23上。
续参照图1所示，所述多个蒸镀挡板机构3设置在所述多个蒸镀源4及所述基板101之间，而且每一个蒸镀挡板机构3具有一挡板组件31及一驱动源32，在本实施例中，所述多个蒸镀挡板机构3并排设置在所述腔体2中，每一个蒸镀挡板机构3设置在相应的所述蒸镀源4的上方。在其他实施例中，在所述腔体2中也可以仅设置一个蒸镀挡板机构3及一个蒸镀源4，并不以此为限。
续参照图1所示，所述挡板组件31具有一角度限制板311及一蒸镀孔径312，所述蒸镀孔径312形成在所述角度限制板311上，而且所述蒸镀孔径312配置用以供相应的所述蒸镀源4蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板101的一蒸镀区域，另外，所述驱动源32与所述挡板组件31安装在一起，所述驱动源32配置用以驱动所述挡板组件31向上移动而使得所述基板101的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件31向下移动而使得所述基板101的蒸镀区域扩大。
续参照图1所示，所述驱动源32具有二底座321及二支撑杆322，所述支撑杆322分别支撑在所述角度限制板311的二相反侧。在本实施例中，所述底座321为自动高度调节器，配置用以沿着一方向(如Z轴)升降所述支撑杆322。在其他实施例中，所述底座321也能够设置为弹性调节器，配置用以升降所述支撑杆322，或者所述底座321为气压杆或油压缸，配置用以升降所述支撑杆322，或者所述驱动源32具有二滑块(未绘示)，安装在所述支撑杆322上而带动所述角度限制板311移动。进一步来说，所述支撑杆322能够标示有一刻度，配置用以识别所述角度限制板311所在位置的一高度。
续参照图1所示，所述蒸镀装置采用点蒸发源的方式，例如：在所述腔体2的底板21并排设置所述多个蒸镀源4，使得所述多个蒸镀源4位于所述基板101的下方，而且所述多个蒸镀挡板机构3位于所述基板101及所述多个蒸镀源4之间。
依据上述的结构，蒸镀前，所述多个蒸镀挡板机构3尚未启动，工作时，将需要蒸镀的材料放入所述多个蒸镀源4中并加热；所述基板101在水平方向上以自身的几何中心为中心旋转，当蒸汽的喷射速度达到设定值时，所述多个蒸镀源4蒸发出来的物质会通过相应的蒸镀孔径312附着在所述基板101上。如图2所示，若想要缩小所述基板101的一蒸镀区域R2来降低材料的掺杂率，即通过所述驱动源32驱动所述挡板组件31向上移动，限缩所述蒸镀源4蒸发出的物质呈圆锥形放射状的一蒸发角度A2。如图1所示，若想要扩大所述基板101的一蒸镀区域R1来提高材料的掺杂率，即通过所述驱动源32驱动所述挡板组件31向下移动，放大所述蒸镀源4蒸发出的物质呈圆锥形放射状的一蒸发角度A1，通过对所述角度限制板311的高度的自动调节来实现所述蒸发角度A1至蒸发角度A2的变化，对应材料的蒸镀区域R1至蒸镀区域R2的变化，由此可以调节掺杂率。最后，当蒸镀材料在所述基板101上形成规定厚度的膜层时，关闭所述多个蒸镀源4以完成所述基板101的蒸镀作业。
通过上述的设计，利用所述驱动源32驱动所述挡板组件31的升降移动，能够放大或缩小所述基板101的蒸镀区域，以实现所述角度限制板311的高度的自动调节。当所述挡板组件31需要调节高度时，通过所述驱动源32调节所述角度限制板311的高度，以改变所述基板101的蒸镀区域的大小，以此来调节材料的掺杂率，并改善所述蒸镀装置的效率及寿命。
本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已公开的实施例并未限制本发明的范围。相反地，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包括于本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种蒸镀挡板机构，设置在一蒸镀源及一基板之间，其特征在于：所述蒸镀挡板机构包括：
一挡板组件，所述挡板组件具有一角度限制板及一蒸镀孔径，所述蒸镀孔径形成在所述角度限制板上，而且所述蒸镀孔径配置用以供所述蒸镀源蒸发出的一物质呈圆锥形放射状穿过，而沉积在所述基板的一蒸镀区域；及一驱动源，所述驱动源与所述挡板组件安装在一起，所述驱动源配置用以驱动所述挡板组件向上移动而使得所述基板的蒸镀区域缩小，或者驱动所述挡板组件向下移动而使得所述基板的蒸镀区域扩大。
2.如权利要求1所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述驱动源具有二底座及二支撑杆，所述支撑杆分别支撑在所述角度限制板的二相反侧。
3.如权利要求2所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述底座为自动高度调节器，配置用以升降所述支撑杆。
4.如权利要求2所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述底座为弹性调节器，配置用以升降所述支撑杆。
5.如权利要求2所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述底座为气压杆或油压缸，配置用以升降所述支撑杆。
6.如权利要求2所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述驱动源具有二滑块，安装在所述支撑杆上而带动所述角度限制板移动。
7.如权利要求2所述的蒸镀挡板机构，其特征在于：所述支撑杆标示有一刻度，配置用以识别所述角度限制板所在位置的一高度。
8.一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置包括如上述权利要求1至7任一项所述的蒸镀挡板机构。
9.如权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置还包含一腔体，所述蒸镀挡板机构设置在所述腔体中。
10.如权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置还包含多个所述蒸镀源及多个所述蒸镀挡板机构，每一个蒸镀挡板机构设置在相应的所述蒸镀源的上方。
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