CN103282538B - 蒸镀装置、蒸镀方法、有机el元件和有机el显示装置 - Google Patents

Abstract

从第一和第二蒸镀源开口(61a、61b)放出的第一和第二蒸镀颗粒(91a、91b)通过限制板单元(80)的第一和第二限制开口(82a、82b)，并通过蒸镀掩模(70)的掩模开口(71)，附着在基板(10)上形成覆膜。限制板单元限制朝向基板行进的第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒在第一方向(10a)上的指向性，使得将假定没有蒸镀掩模的情况下第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒附着的基板上的区域分别设为第一区域(92a)和第二区域(92b)时，第二区域被包括在第一区域中。由此，能够利用分涂蒸镀形成使用掺杂法得到的发光层。

Description

蒸镀装置、蒸镀方法、有机EL元件和有机EL显示装置

技术领域

本发明涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀装置和蒸镀方法。此外，本发明涉及具备利用蒸镀形成的发光层的有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)元件和有机EL显示装置。

背景技术

近年来，在各种商品和领域中平板显示器得到广泛应用，需求平板显示器的进一步的大型化、高画质化、低消耗电力化。

在这样的状况下，具备利用有机材料的电致发光(ElectroLuminescence)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在能够低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器而备受瞩目。

例如在有源矩阵方式的有机EL显示装置中，在设置有TFT(薄膜晶体管)的基板上设置薄膜状的有机EL元件。在有机EL元件中，在一对电极之间叠层包括发光层的有机EL层。在一对电极中的一个电极上连接有TFT。于是，通过向一对电极间施加电压使发光层发光来进行图像显示。

在全彩色的有机EL显示装置中，通常在基板上作为子像素排列形成有具备红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各种颜色的发光层的有机EL元件。通过使用TFT使这些有机EL元件有选择地按所期望的亮度发光来进行彩色图像显示。

为了制造有机EL显示装置，需要在每个有机EL元件中以规定图案形成包括发出各种颜色的光的有机发光材料的发光层。

作为以规定图案形成发光层的方法，例如已知有真空蒸镀法、喷墨法、激光转印法。例如，在低分子型有机EL显示装置(OLED)中，大多使用真空蒸镀法。

在真空蒸镀法中，使用形成有规定图案的开口的掩模(也称为荫罩)。使紧密固定有掩模的基板的被蒸镀面与蒸镀源相对。然后，使来自蒸镀源的蒸镀颗粒(成膜材料)通过掩模的开口蒸镀在被蒸镀面，由此形成规定图案的覆膜。蒸镀按发光层的每种颜色进行(将这称为“分涂蒸镀”)。

在专利文献1中记载了如下的蒸镀装置：其配置有分别具备狭缝状吐出口的多个线状蒸镀源，使得吐出口的长度方向彼此平行，在相邻的线状蒸镀源间设置有用于防止蒸镀材料混合的限制板。相对于多个线状蒸镀源，在与其吐出口的长度方向正交的方向上使密合有蒸镀掩模的基板移动。多个线状蒸镀源例如包括分别放出有机空穴注入材料、有机空穴输送材料、有机发光材料的三个线状蒸镀源。由此，能够通过蒸镀掩模的掩模开口，在基板上依次形成空穴注入层、空穴输送层、发光层。

另一方面，在有机EL元件中，为了得到所期望的发光颜色，或者为了提高发光效率等，已知使用在称为“主体”的母体材料中添加称为“掺杂剂”的添加材料的掺杂法形成发光层的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-170200号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述专利文献1中记载的蒸镀装置中，多个线状蒸镀源彼此被限制板分隔，因此使主体和掺杂剂从不同的线状蒸镀源放出，不能在基板上形成两者混合而成的发光层。

本发明的目的在于提供能够适合在利用分涂蒸镀形成使用掺杂法的发光层时使用的蒸镀装置。

此外，本发明的目的在于提供使用这样的蒸镀装置的蒸镀方法。

进一步，本发明的目的在于提供具备在主体中分散含有掺杂剂的发光层的有机EL元件和有机EL显示装置。

用于解决问题的手段

本发明的蒸镀装置是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模，在基板上形成与上述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从上述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的至少一个第一限制开口和从上述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的至少一个第二限制开口；和

移动机构，其使上述基板和上述蒸镀单元中的一方相对于另一方沿着与上述基板的法线方向正交的第一方向相对地移动。

上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口配置在上述第一方向的不同位置。

上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口配置在上述第一方向的不同位置。

上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得将假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与上述第一方向和上述基板的法线方向正交的第二方向观察时上述第二区域被包括在上述第一区域中。

本发明的蒸镀方法是具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序的蒸镀方法，使用上述本发明的蒸镀装置进行上述蒸镀工序。

本发明的有机EL元件和有机EL显示装置具备使用上述本发明的蒸镀方法形成的覆膜作为发光层。

发明的效果

根据本发明的蒸镀装置和蒸镀方法，能够形成不同的多种蒸镀材料混合而成的覆膜。因此，能够利用分涂蒸镀形成使用掺杂法的发光层。

此外，因为限制板单元限制朝向基板行进的蒸镀颗粒在第一方向上的指向性，所以能够减小蒸镀颗粒附着的基板上的区域的第一方向的尺寸。其结果，能够实现装置的小型化。

本发明的有机EL元件和有机EL显示装置具备使用上述蒸镀方法形成的覆膜作为发光层，因此能够提供具备在主体中分散含有掺杂剂的发光层的有机EL元件和有机EL显示装置。

附图说明

图1是表示有机EL显示装置的概略结构的截面图。

图2是表示构成图1所示的有机EL显示装置的像素的结构的平面图。

图3是沿着图2的3-3线的构成有机EL显示装置的TFT基板的向视截面图。

图4是按工序顺序表示有机EL显示装置的制造工序的流程图。

图5是表示本发明的实施方式1的蒸镀装置的基本结构的立体图。

图6是图5所示的蒸镀装置的、沿着与基板的行进方向垂直、通过第一蒸镀源开口的面的正面截面图。

图7是构成图5所示的蒸镀装置的限制板单元的平面图。

图8是表示本发明的实施方式1的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图9A是在图5所示的蒸镀装置中省略了限制板单元的比较例的蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图9B是利用图9A所示的蒸镀装置在基板上形成的覆膜的截面图。

图10是在图5所示的蒸镀装置中省略了限制板单元的比较例的蒸镀装置的正面截面图。

图11是用于说明在覆膜的两端部边缘产生模糊的原因的截面图。

图12是表示本发明的实施方式1的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向正交的面的截面图。

图13是本发明的实施方式1的另一蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图14是本发明的实施方式1的又一蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图15是本发明的实施方式1的又一蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图16是本发明的实施方式1的又一蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图17是本发明的实施方式2的蒸镀装置的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图18是表示本发明的实施方式3的蒸镀装置的基本结构的立体图。

图19是构成图18所示的蒸镀装置的限制板单元的平面图。

图20是图18所示的蒸镀装置的、沿着与基板的行进方向垂直、通过第一蒸镀源开口的面的正面截面图。

图21是图18所示的蒸镀装置的、沿着与基板的行进方向垂直、通过第二蒸镀源开口的面的正面截面图。

图22是表示本发明的实施方式3的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图23A是表示本发明的实施方式4的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图23B是利用图23A所示的蒸镀装置在基板上形成的覆膜的截面图。

图24A是表示本发明的实施方式4的另一蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图24B是利用图24A所示的蒸镀装置在基板上形成的覆膜的截面图。

图25是表示本发明的实施方式5的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图26是构成图25所示的蒸镀装置的限制板单元的平面图。

图27A是表示本发明的实施方式6的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图27B是利用图27A所示的蒸镀装置在基板上形成的覆膜的、沿着与基板的移动方向垂直的面的截面图。

图28是表示本发明的实施方式7的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

图29A是图28所示的本发明的实施方式7的蒸镀装置中使用的蒸镀掩模的平面图。

图29B是通过图29A所示的蒸镀掩模在基板上形成的覆膜的、沿着与基板的移动方向垂直的面的截面图。

图30A是本发明的实施方式8的蒸镀装置中使用的蒸镀掩模的平面图。

图30B是通过图30A所示的蒸镀掩模在基板上形成的覆膜的截面图。

图31是表示本发明的实施方式9的蒸镀装置的基本结构的立体图。

图32是表示本发明的实施方式9的蒸镀装置中、在基板上形成覆膜的状态的、沿着与基板的移动方向平行的面的截面图。

具体实施方式

本发明的蒸镀装置是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模、在基板上形成与上述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从上述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的至少一个第一限制开口和从上述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的至少一个第二限制开口；和

移动机构，其使上述基板和上述蒸镀单元中的一方相对于另一方沿着与上述基板的法线方向正交的第一方向相对地移动。

上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口配置在上述第一方向的不同位置。

上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口配置在上述第一方向的不同位置。

上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得将假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与上述第一方向和上述基板的法线方向正交的第二方向观察时上述第二区域被包括在上述第一区域中。

在上述说明中，第二区域“被包括”在第一区域中是指，包括第二区域与第一区域一致的情况；和第一区域比第二区域宽、第一区域将第二区域包括在内的情况的两者情况。此外，“假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第一蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域”是指，能够从放出第一蒸镀颗粒的第一蒸镀源开口、通过第一限制开口进行透视的基板上的区域。同样，“假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第二蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域”是指，能够从放出第二蒸镀颗粒的第二蒸镀源开口、通过第二限制开口进行透视的基板上的区域。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得上述第一区域和上述第二区域在上述第一方向上的位置一致。由此，能够形成第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定的覆膜。

或者，也可以为如下方式：上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得在上述第一方向上上述第一区域超出上述第二区域。由此，能够形成第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定的混合层、和仅包括第一蒸镀颗粒的第一材料层在厚度方向上叠层而得到的覆膜。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口中的至少一方以其开口方向朝向对方侧的方式倾斜。由此，附着在限制板单元的蒸镀材料的量减少，因此能够提高蒸镀材料的利用效率。此外，能够减少限制板单元的更换频率，因此能够提高批量生产时的生产能力。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口设置于共同的蒸镀源。由此，能够实现蒸镀源的小型化。此外，安装在蒸镀源的加热装置和隔热装置也能够实现小型化，还能够减少其个数，因此能够降低装置成本。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口形成于共同的限制板单元。由此，能够实现限制板单元整体的小型化和轻量化。其结果，限制板单元的更换变得容易。此外，限制板单元的冷却特性提高，因此能够稳定地管理蒸镀颗粒的飞翔方向。

在上述说明中，优选上述限制板单元在上述第一方向上相邻的上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口之间具备分隔壁板。在这种情况下，优选上述分隔壁板的上述基板一侧的面与上述限制板单元的除了上述分隔壁板以外的部分的上述基板一侧的面相比，配置在远离上述基板的位置。由此，能够扩大分隔壁板的第一方向的尺寸，因此容易将冷却装置内置在分隔壁板内。

或者，在上述本发明的蒸镀装置中，上述限制板单元可以具备彼此独立的、形成有上述至少一个第一限制开口的第一限制板单元和形成有上述至少一个第二限制开口的第二限制板单元。由此，能够将第一限制板单元和第二限制板单元在与蒸镀材料的附着量相应的适当的时间分开更换。此外，因为能够实现第一限制板单元和第二限制板单元各自的小型化和轻量化，所以仅更换它们之中任一方的更换工作容易进行。并且，因为能够分别地仅从第一限制板单元容易地回收第一蒸镀颗粒的材料或仅从第二限制板单元容易地回收第二蒸镀颗粒的材料，所以蒸镀材料的再利用变得容易。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选在上述限制板单元形成上述第一蒸镀颗粒通过的多个第一限制开口、和上述第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口。在这种情况下，优选上述多个第一限制开口在上述第二方向上由多个第一限制板划分，优选上述多个第二限制开口在上述第二方向上由多个第二限制板划分。进一步，优选上述多个第一限制板限制向上述掩模开口入射的上述第一蒸镀颗粒在上述第二方向上的入射角度，优选上述多个第二限制板限制向上述掩模开口入射的上述第二蒸镀颗粒在上述第二方向上的入射角度。由此，能够减小覆膜的第二方向的两侧的模糊部分的宽度。其结果，如果使用该蒸镀装置进行发光层的分涂蒸镀，能够防止混色的发生。由此，能够实现可进行高精细且高亮度的显示的、高可靠性的有机EL显示装置。

或者，在上述本发明的蒸镀装置中，上述限制板单元可以形成有上述第一蒸镀颗粒通过的仅一个第一限制开口、和上述第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口。在这种情况下，优选上述多个第二限制开口在上述第二方向上由多个第二限制板划分。进一步，优选上述多个第二限制板限制向上述掩模开口入射的上述第二蒸镀颗粒在上述第二方向上的入射角度。由此，能够形成包括覆膜主要部分和模糊部分的覆膜，其中，该覆膜主要部分为第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒混合而成，该模糊部分在该覆膜主要部分的第二方向的两侧，实质上仅包括第一蒸镀颗粒。在上述说明中，在第一蒸镀颗粒的材料为主体、第二蒸镀颗粒的材料为发光性的掺杂剂的情况下，发光区域依赖于掺杂剂的分布。由此，如果使用该蒸镀装置进行发光层的分涂蒸镀，能够防止混色的发生，因此能够实现可进行高精细且高亮度的显示的、高可靠性的有机EL显示装置。此外，能够减少附着在限制板单元的第一蒸镀材料的量，因此材料利用效率提高，还能够减少限制板单元的更换频率。

在上述本发明的蒸镀装置中，上述蒸镀源也可以进一步具备至少一个第三蒸镀源开口。在这种情况下，优选上述限制板单元进一步形成有从上述至少一个第三蒸镀源开口放出的第三蒸镀颗粒通过的至少一个第三限制开口。优选上述至少一个第三蒸镀源开口与上述至少一个第一蒸镀源开口和上述至少一个第二蒸镀源开口配置在上述第一方向的不同位置。此外，优选上述至少一个第三限制开口与上述至少一个第一限制开口和上述至少一个第二限制开口配置在上述第一方向的不同位置。上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第三蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得将假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第三蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域设为第三区域时，沿着上述第二方向观察时上述第三区域被包括在上述第一区域中。

在上述说明中，第三区域“被包括”在第一区域中是指，包括第三区域与第一区域一致的情况；和第一区域比第三区域宽、第一区域将第三区域包括在内的情况的两者情况。此外，“假定没有上述蒸镀掩模的情况下上述第三蒸镀颗粒附着的上述基板上的区域”是指，能够从放出第三蒸镀颗粒的第三蒸镀源开口、通过第三限制开口进行透视的基板上的区域。

根据上述优选结构，能够形成包括第一蒸镀颗粒和第三蒸镀颗粒混合而成的部分、或者第一蒸镀颗粒、第二蒸镀颗粒和第三蒸镀颗粒混合而成的部分的覆膜。

在上述说明中，优选上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得上述第一区域、上述第二区域和上述第三区域在上述第一方向上的位置一致。由此，能够形成第一蒸镀颗粒、第二蒸镀颗粒和第三蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定的覆膜。

或者，在上述本发明的蒸镀装置中，也可以为如下方式：上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得上述第二区域与上述第三区域在上述第一方向上的位置一致、且在上述第一方向上上述第一区域超出上述第二区域和上述第三区域。由此，能够形成第一蒸镀颗粒、第二蒸镀颗粒和第三蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定的混合层、和仅包括第一蒸镀颗粒的第一材料层在厚度方向上叠层而得到的覆膜。

优选上述蒸镀装置进一步具备闸门和移位机构，该闸门均有选择地遮断朝向上述基板行进的上述第二蒸镀颗粒的粒流和上述第三蒸镀颗粒的粒流中的任一粒流，该移位机构使上述蒸镀掩模或上述基板在上述第二方向上移动。由此，能够容易地在基板上的第二方向上不同的位置形成第一覆膜和第二覆膜，该第一覆膜为第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒混合而成，该第二覆膜为第一蒸镀颗粒与第三蒸镀颗粒混合而成。

优选上述限制板单元限制朝向上述基板行进的上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒在上述第一方向上的指向性，使得在沿着上述第二方向观察时上述第二区域与上述第三区域彼此不重合、且上述第一区域包括上述第二区域和上述第三区域。由此，能够容易地在基板上的第二方向上不同的位置形成第一覆膜和第二覆膜，该第一覆膜为第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒混合而成，该第二覆膜为第一蒸镀颗粒与第三蒸镀颗粒混合而成。或者，能够容易地在基板上形成包括第一混合层和第二混合层的覆膜，该第一混合层为第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒混合而成，该第二混合层为第一蒸镀颗粒与第三蒸镀颗粒混合而成。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述蒸镀单元具备上述蒸镀掩模。在这种情况下，优选在上述蒸镀掩模上形成的上述掩模开口包括在与上述第二区域对应的上述蒸镀掩模的区域内形成的第一掩模开口、和在与上述第三区域对应的上述蒸镀掩模的区域内形成的第二掩模开口。而且，优选上述第一掩模开口和上述第二掩模开口在上述第二方向上配置在彼此不同的位置。由此，能够容易地在基板上的第二方向上不同的位置形成第一覆膜和第二覆膜，该第一覆膜为第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒混合而成，该第二覆膜为第一蒸镀颗粒与第三蒸镀颗粒混合而成。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述蒸镀单元具备上述蒸镀掩模。在这种情况下，优选在上述蒸镀掩模上形成的上述掩模开口从与上述第二区域对应的区域沿着上述第一方向延伸至与上述第三区域对应的区域。由此，能够容易地在基板上形成包括第一混合层和第二混合层的覆膜，该第一混合层为第一蒸镀颗粒与第二蒸镀颗粒混合而成，该第二混合层为第一蒸镀颗粒与第三蒸镀颗粒混合而成。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述限制板单元形成有上述第三蒸镀颗粒通过的多个第三限制开口。在这种情况下，优选上述多个第三限制开口在上述第二方向上由上述多个第三限制板划分。而且，优选上述多个第三限制板限制向上述掩模开口入射的上述第三蒸镀颗粒在上述第二方向上的入射角度。由此，能够防止在覆膜的第二方向的两侧由于第三蒸镀颗粒而产生模糊。在上述说明中，在第一蒸镀颗粒的材料为主体、第三蒸镀颗粒的材料为发光性的掺杂剂的情况下，能够防止混色的发生，因此能够实现可进行高精细且高亮度的显示、高可靠性的有机EL显示装置。

在上述本发明的蒸镀装置中，优选上述蒸镀单元具备上述蒸镀掩模。在这种情况下，优选上述移动机构以使上述基板与上述蒸镀掩模离开一定间隔的状态使上述基板和上述蒸镀单元中的一方相对于另一方沿上述第一方向相对地移动。由此，能够使蒸镀掩模的第一方向的尺寸比基板的第一方向的尺寸小。因此，能够抑制蒸镀掩模的自重弯曲和伸长，能够容易地进行对于大型基板的蒸镀。

或者，在上述本发明的蒸镀装置中，上述蒸镀掩模可以固定在上述基板上。由此能够减小基板与蒸镀掩模的间隔，因此，用于限制向蒸镀掩模的掩模开口入射的蒸镀颗粒在第二方向上的入射角度的设计的必要性降低。其结果，能够提高蒸镀速率，提高批量生产时的生产能力。

本发明的蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，上述蒸镀方法的特征在于：使用上述本发明的蒸镀装置进行上述蒸镀工序。

在本发明的上述蒸镀方法中，优选上述覆膜包括上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒混合而成的部分。由此，能够形成在主体中混合有掺杂剂的有机EL元件的发光层。

在上述覆膜中，优选上述第一蒸镀颗粒与上述第二蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定。由此，能够将覆膜的厚度方向的所有部分用作发光层。

在本发明的上述蒸镀方法中，上述覆膜可以包括覆膜主要部分和模糊部分，该覆膜主要部分为上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒混合而成，该模糊部分在上述覆膜主要部分的上述第二方向的两侧形成，仅包括上述第一蒸镀颗粒。由此，能够防止混色的发生并提高第一蒸镀颗粒的材料的利用效率，还能够减少限制板单元的更换频率。

在本发明的上述蒸镀方法中，上述覆膜可以包括混合层和第一材料层，该混合层为上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒混合而成，该第一材料层叠层在上述混合层的至少一侧，仅包括上述第一蒸镀颗粒。由此，只要恰当地选择第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒的各材料，就能够连续地形成发光层和电子输送层或空穴阻挡层。

在本发明的上述蒸镀方法中，优选上述覆膜包括上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒混合而成的部分。由此，能够形成在主体中混合有不同掺杂剂的有机EL元件的发光层。

在本发明的上述蒸镀方法中，优选在上述覆膜中上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定。由此，能够将覆膜的厚度方向的所有部分用作发出同一颜色的光的发光层。

在本发明的上述蒸镀方法中，上述覆膜可以包括覆膜主要部分和模糊部分，该覆膜主要部分为上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒混合而成，该模糊部分在上述覆膜主要部分的上述第二方向的两侧形成，仅包括上述第一蒸镀颗粒。由此，能够防止混色的发生并提高第一蒸镀颗粒的材料的利用效率，还能够减少限制板单元的更换频率。

在本发明的上述蒸镀方法中，上述覆膜可以包括混合层和第一材料层，该混合层为上述第一蒸镀颗粒、上述第二蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒混合而成，该第一材料层叠层在上述混合层的至少一侧，仅包括上述第一蒸镀颗粒。由此，只要恰当地选择第一蒸镀颗粒和第二蒸镀颗粒的各材料，就能够连续地形成发光层和电子输送层或空穴阻挡层。

在本发明的上述蒸镀方法中，可以在上述基板上的不同位置形成第一覆膜和第二覆膜，该第一覆膜为上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒混合而成，该第二覆膜为上述第一蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒混合而成。由此，能够在同一真空腔室内，使用共同的第一蒸镀源开口，在不同的位置容易地形成组成不同的两种覆膜。

在本发明的上述蒸镀方法中，上述覆膜可以包括第一混合层和第二混合层，该第一混合层为上述第一蒸镀颗粒和上述第二蒸镀颗粒混合而成，该第二混合层为上述第一蒸镀颗粒和上述第三蒸镀颗粒混合而成。由此，只要恰当地选择第一、第二和第三蒸镀颗粒的各材料，就能够在同一真空腔室内，使用共同的第一蒸镀源开口，形成包括发出所期望的颜色的光的发光层的有机EL元件。该有机EL元件例如能够用作面状发光体。

在上述说明中，上述覆膜可以在上述第一混合层与上述第二混合层之间包含仅包括上述第一颗粒的第一材料层。

在本发明的上述蒸镀方法中，优选上述第一蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的主体，上述第二蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的掺杂剂。此外，优选上述第三蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的掺杂剂。由此，能够形成使用掺杂法的发光层。

优选上述覆膜为有机EL元件的发光层。

以下，通过说明优选实施方式对本发明进行详细说明。不过，本发明当然并不限定于以下的实施方式。为了便于说明，在以下的说明中参照的各图，是仅将本发明的实施方式的构成部件中的为了对本发明进行说明所需的主要部件简略化地进行图示的图。因此，本发明能够具备以下各图中未图示的任意的构成部件。此外，以下各图中的部件的尺寸并未忠实地表示实际的构成部件的尺寸和各部件的尺寸比例等。

(有机EL显示装置的结构)

对能够应用本发明进行制造的有机EL显示装置的一个例子进行说明。本例的有机EL显示装置为从TFT基板一侧取出光的底部发光型，是通过控制包括红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各色的像素(子像素)的发光来进行全彩色的图像显示的有机EL显示装置。

首先，对上述有机EL显示装置的整体结构在以下进行说明。

图1是表示有机EL显示装置的概略结构的截面图。图2是表示构成图1所示的有机EL显示装置的像素的结构的平面图。图3是沿着图2的3-3线的构成有机EL显示装置的TFT基板的向视截面图。

如图1所示，有机EL显示装置1具有如下结构：在设置有TFT12(参照图3)的TFT基板10上，依次设置有与TFT12连接的有机EL元件20、粘接层30、密封基板40。有机EL显示装置1的中央是进行图像显示的显示区域19，有机EL元件20配置在该显示区域19内。

有机EL元件20通过使用粘接层30将叠层有该有机EL元件20的TFT基板10与密封基板40贴合而被封入这一对基板10、40间。通过这样使得有机EL元件20被封入TFT基板10与密封基板40之间，防止氧和水分从外部浸入有机EL元件20。

如图3所示，TFT基板10具备例如玻璃基板等透明的绝缘基板11作为支承基板。不过，在顶部发光型的有机EL显示装置中，绝缘基板11不必透明。

如图2所示，在绝缘基板11上设置有多个配线14，该多个配线14包括在水平方向敷设的多个栅极线和在垂直方向敷设、与栅极线交叉的多个信号线。在栅极线上连接有驱动栅极线的未图示的栅极线驱动电路，在信号线上连接有驱动信号线的未图示的信号线驱动电路。在绝缘基板11上，在由这些配线14包围的各区域，呈矩阵状配置有包括红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的颜色的有机EL元件20的子像素2R、2G、2B。

子像素2R发射红色光，子像素2G发射绿色光，子像素2B发射蓝色光。在列方向(图2的上下方向)上配置相同颜色的子像素，在行方向(图2的左右方向)上，包括子像素2R、2G、2B的重复单位反复地配置。构成行方向的重复单位的子像素2R、2G、2B构成像素2(即，一个像素)。

各子像素2R、2G、2B具备担负各种颜色的发光的发光层23R、23G、23B。发光层23R、23G、23B在列方向(图2的上下方向)呈条状延伸设置。

对TFT基板10的结构进行说明。

如图3所示，TFT基板10在玻璃基板等透明的绝缘基板11上具备TFT12(开关元件)、配线14、层间膜13(层间绝缘膜、平坦化膜)、边缘覆盖物15等。

TFT12作为控制子像素2R、2G、2B的发光的开关元件发挥作用，按子像素2R、2G、2B的每个子像素设置。TFT12与配线14连接。

层间膜13还作为平坦化膜发挥作用，以覆盖TFT12和配线14的方式在绝缘基板11上的显示区域19的整个面叠层。

在层间膜13上形成有第一电极21。第一电极21通过在层间膜13形成的接触孔13a与TFT12电连接。

边缘覆盖物15在层间膜13上以覆盖第一电极21的图案端部的方式形成。边缘覆盖物15是绝缘层，用于防止由于在第一电极21的图案端部有机EL层27变薄、或者发生电场集中而引起构成有机EL元件20的第一电极21与第二电极26短路。

在边缘覆盖物15，在子像素2R、2G、2B的每个子像素设置有开口15R、15G、15B。该边缘覆盖物15的开口15R、15G、15B成为各子像素2R、2G、2B的发光区域。换言之，各子像素2R、2G、2B由具有绝缘性的边缘覆盖物15分隔。边缘覆盖物15作为元件分离膜发挥作用。

对有机EL元件20进行说明。

有机EL元件20是能够利用低电压直流驱动进行高亮度发光的发光元件，依次具备第一电极21、有机EL层27、第二电极26。

第一电极21是具有向有机EL层27注入(供给)空穴的作用的层。第一电极21如上所述通过接触孔13a与TFT12连接。

如图3所示，有机EL层27，在第一电极21与第二电极26之间，从第一电极21一侧起依次具备空穴注入层兼空穴输送层22、发光层23R、23G、23B、电子输送层24、电子注入层25。

在本实施方式中，将第一电极21作为阳极、将第二电极26作为阴极，但是也可以将第一电极21作为阴极、将第二电极26作为阳极，在这种情况下，构成有机EL层27的各层的顺序反转。

空穴注入层兼空穴输送层22同时具有作为空穴注入层的功能和作为空穴输送层的功能。空穴注入层是具有提高向有机EL层27注入空穴的效率的功能的层。空穴输送层是具有提高向发光层23R、23G、23B输送空穴的效率的功能的层。空穴注入层兼空穴输送层22以覆盖第一电极21和边缘覆盖物15的方式在TFT基板10的显示区域19的整个面上均匀地形成。

在本实施方式中，设置空穴注入层和空穴输送层一体化的空穴注入层兼空穴输送层22，但是本发明并不仅限于此，空穴注入层和空穴输送层也可以形成为彼此独立的层。

在空穴注入层兼空穴输送层22上，发光层23R、23G、23B以覆盖边缘覆盖物15的开口15R、15G、15B的方式分别与子像素2R、2G、2B的列对应地形成。发光层23R、23G、23B是具有使从第一电极21一侧注入的空穴(hole)与从第二电极26一侧注入的电子再结合从而射出光的功能的层。发光层23R、23G、23B分别含有低分子荧光色素或金属配位化合物等发光效率高的材料。

电子输送层24是具有提高从第二电极26向发光层23R、23G、23B输送电子的效率的功能的层。

电子注入层25是具有提高从第二电极26向有机EL层27注入电子的效率的功能的层。

电子输送层24以覆盖发光层23R、23G、23B和空穴注入层兼空穴输送层22的方式，在这些发光层23R、23G、23B和空穴注入层兼空穴输送层22上，遍及TFT基板10的显示区域19的整个面均匀地形成。此外，电子注入层25以覆盖电子输送层24的方式，在电子输送层24上，遍及TFT基板10的显示区域19的整个面均匀地形成。

在本实施方式中，电子输送层24和电子注入层25设置为彼此独立的层，但是本发明并不仅限于此，这可以设置为两者一体化而得到的单一的层(即，电子输送层兼电子注入层)。

第二电极26是具有向有机EL层27注入电子的功能的层。第二电极26以覆盖电子注入层25的方式，在电子注入层25上，遍及TFT基板10的显示区域19的整个面均匀地形成。

另外，发光层23R、23G、23B以外的有机层作为有机EL层27并非必需，可以根据所要求的有机EL元件20的特性进行取舍选择。此外，根据需要有机EL层27可以进一步具有载流子阻挡层。例如，通过在发光层23R、23G、23B与电子输送层24之间追加空穴阻挡层作为载流子阻挡层，能够阻止空穴通过电子输送层24，提高发光效率。

(有机EL显示装置的制造方法)

接着，对有机EL显示装置1的制造方法在以下进行说明。

图4是按工序顺序表示上述有机EL显示装置1的制造工序的流程图。

如图4所示，本实施方式的有机EL显示装置1的制造方法例如依次包括TFT基板·第一电极的制作工序S1、空穴注入层·空穴输送层的形成工序S2、发光层的形成工序S3、电子输送层的形成工序S4、电子注入层的形成工序S5、第二电极的形成工序S6、密封工序S7。

以下，对图4的各工序进行说明。不过，以下所示的各构成要素的尺寸、材质、形状等只不过是一个例子，本发明并不限定于此。此外，在本实施方式中，将第一电极21作为阳极、将第二电极26作为阴极，在与此相反将第一电极21作为阴极、将第二电极26作为阳极的情况下，有机EL层的叠层顺序与以下的说明反转。同样，构成第一电极21和第二电极26的材料也与以下的说明反转。

首先，在绝缘基板11上利用公知的方法形成TFT12和配线14等。作为绝缘基板11，例如能够使用透明的玻璃基板或塑料基板等。在一个实施例中，作为绝缘基板11，能够使用厚度约1mm、纵横尺寸为500×400mm的矩形形状的玻璃板。

接着，以覆盖TFT12和配线14的方式在绝缘基板11上涂敷感光性树脂，利用光刻技术进行图案形成，由此形成层间膜13。作为层间膜13的材料，例如能够使用丙烯酸树脂或聚酰亚胺树脂等绝缘性材料。不过，聚酰亚胺树脂一般不透明，是有色的。因此，在制造图3所示那样的底部发光型的有机EL显示装置1的情况下，作为层间膜13优选使用丙烯酸树脂等透明性树脂。就层间膜13的厚度而言，只要能够消除TFT12的上表面的台阶差即可，没有特别限定。在一个实施例中，能够使用丙烯酸树脂形成厚度约2μm的层间膜13。

接着，在层间膜13形成用于将第一电极21与TFT12电连接的接触孔13a。

接着，在层间膜13上形成第一电极21。即，在层间膜13上形成导电膜(电极膜)。接着，在导电膜上涂敷光致抗蚀剂，利用光刻技术进行图案化后，将氯化铁作为蚀刻液，对导电膜进行蚀刻。之后，使用抗蚀剂剥离液剥离光致抗蚀剂，并进一步进行基板清洗。由此，在层间膜13上得到矩阵状的第一电极21。

作为第一电极21所使用的导电膜材料，能够使用ITO(Indium TinOxide：铟锡氧化物)、IZO(Indium Zinc Oxide：铟锌氧化物)、镓添加氧化锌(GZO)等透明导电材料、金(Au)、镍(Ni)、铂(Pt)等金属材料。

作为导电膜的叠层方法，能够使用溅射法、真空蒸镀法、CVD(chemical vapor deposition：化学蒸镀)法、等离子体CVD法、印刷法等。

在一个实施例中，能够利用溅射法、使用ITO，形成厚度约100nm的第一电极21。

接着，形成规定图案的边缘覆盖物15。边缘覆盖物15例如能够使用与层间膜13相同的绝缘材料，能够利用与层间膜13相同的方法进行图案化。在一个实施例中，能够使用丙烯酸树脂形成厚度约1μm的边缘覆盖物15。

由此制作TFT基板10和第一电极21(工序S1)。

接着，为了脱水对经过工序S1的TFT基板10进行减压烘焙处理，进一步，为了第一电极21的表面清洗进行氧等离子体处理。

接着，在上述TFT基板10上，利用蒸镀法在TFT基板10的显示区域19的整个面形成空穴注入层和空穴输送层(在本实施方式中为空穴注入层兼空穴输送层22)(S2)。

具体而言，将显示区域19的整个面开口的开放式掩模紧密固定在TFT基板10上，使TFT基板10和开放式掩模一起旋转，同时通过开放式掩模的开口将空穴注入层和空穴输送层的材料蒸镀在TFT基板10的显示区域19的整个面。

空穴注入层和空穴输送层可以如上所述被一体化，也可以为彼此独立的层。层的厚度为每一层例如10～100nm。

作为空穴注入层和空穴输送层的材料，例如能够列举苯炔、苯乙烯胺、三苯胺、卟啉、三唑、咪唑、噁二唑、聚芳烷烃、苯二胺、芳胺、噁唑、蒽、芴酮、腙、茋、苯并菲、氮杂苯并菲以及它们的衍生物、聚硅烷类化合物、乙烯基咔唑类化合物、噻吩类化合物、苯胺类化合物等的杂环式或链状式共轭类的单体、低聚物或聚合物等。

在一个实施例中，能够使用4，4′-双[N-(1-萘基)-N-苯基氨基]联苯(α-NPD)，形成厚度30nm的空穴注入层兼空穴输送层22。

接着，在空穴注入层兼空穴输送层22上，以覆盖边缘覆盖物15的开口15R、15G、15B的方式，呈条状地形成发光层23R、23G、23B(S3)。发光层23R、23G、23B以按红色、绿色、蓝色各色分别分涂规定区域的方式蒸镀(分涂蒸镀)。

作为发光层23R、23G、23B的材料，能够使用低分子荧光色素、金属配位化合物等发光效率高的材料。例如能够列举蒽、萘、茚、菲、芘、并四苯、苯并菲、蒽、苝、苉、荧蒽、醋菲烯、戊芬、戊省、晕苯、丁二烯、香豆素、吖啶、茋以及它们的衍生物、三(8-羟基喹啉)铝配位化合物、双(羟基苯并喹啉)铍配位化合物、三(二苯酰甲基)菲绕啉铕配位化合物、二甲苯酰基乙烯基联苯等。

发光层23R、23G、23B可以仅由上述有机发光材料构成，也可以含有空穴输送层材料、电子输送层材料、添加剂(施主、受主等)、发光性的掺杂剂等。此外，也可以为将这些材料分散在高分子材料(粘结用树脂)或无机材料中的结构。从提高发光效率和长寿命化的观点出发，优选在主体中分散发光性的掺杂剂。

作为发光性的掺杂剂，没有特别限定，能够使用公知的掺杂剂材料。例如能够列举4，4′-双(2，2′-二苯基乙烯基)-联苯(DPVBi)、4，4′-双[2-{4-(N，N-二苯基氨基)苯基}乙烯基]联苯(DPAVBi)等芳香族二亚甲基衍生物、苯乙烯基衍生物、苝、铱配位化合物、香豆素6等香豆素衍生物、Lumogen F红、二氰基亚甲基吡喃、酚噁嗪酮、卟啉衍生物等。另外，通过恰当地选择掺杂剂的种类，获得发出红色光的红色发光层23R、发出绿色光的绿色发光层23G和发出蓝色光的蓝色发光层23B。

作为发光性掺杂剂的分散介质的主体材料，例如能够列举与形成发光层23R、23G、23B的材料相同的材料或咔唑衍生物等。

在形成主体中分散有掺杂剂的发光层的情况下，掺杂剂相对于主体的含量没有特别限制，能够根据各种材料进行适当变更，但是一般优选为从几％至30％左右。

发光层23R、23G、23B的厚度例如能够为10～100nm。

本发明的蒸镀方法和蒸镀装置特别适用于该发光层23R、23G、23B的分涂蒸镀。使用本发明的发光层23R、23G、23B的形成方法的详细情况后述。

接着，以覆盖空穴注入层兼空穴输送层22和发光层23R、23G、23B的方式，利用蒸镀法在TFT基板10的显示区域19的整个面形成电子输送层24(S4)。电子输送层24能够利用与上述的空穴注入层·空穴输送层的形成工序S2相同的方法形成。

接着，以覆盖电子输送层24的方式，利用蒸镀法在TFT基板10的显示区域19的整个面形成电子注入层25(S5)。电子输注入层25能够利用与上述的空穴注入层·空穴输送层的形成工序S2相同的方法形成。

作为电子输送层24和电子注入层25的材料，例如能够使用喹啉、苝、菲绕啉、双苯乙烯、吡嗪、三唑、噁唑、噁二唑、芴酮以及它们的衍生物和金属配位化合物、LiF(氟化锂)等。

如上所述，电子输送层24和电子注入层25可以形成为一体化的单一层，也可以形成为独立的层。各层的厚度例如为1～100nm。此外，电子输送层24和电子注入层25的合计厚度例如为20～200nm。

在一个实施例中，能够使用Alq(三(8-羟基喹啉)铝)形成厚度30nm的电子输送层24，使用LiF(氟化锂)形成厚度1nm的电子注入层25。

接着，以覆盖电子注入层25的方式，利用蒸镀法在TFT基板10的显示区域19的整个面形成第二电极26(S6)。第二电极26能够利用与上述的空穴注入层·空穴输送层的形成工序S2相同的方法形成。作为第二电极26的材料(电极材料)，优选使用功函数小的金属等。作为这样的电极材料，例如能够列举镁合金(MgAg等)、铝合金(AlLi、AlCa、AlMg等)、金属钙等。第二电极26的厚度例如为50～100nm。在一个实施例中，能够使用铝形成厚度50nm的第二电极26。

在第二电极26上，为了阻止氧和水分从外部浸入有机EL元件20内，还可以进一步以覆盖第二电极26的方式设置保护膜。作为保护膜的材料，能够使用具有绝缘性或导电性的材料，例如能够列举氮化硅和氧化硅。保护膜的厚度例如为100～1000nm。

由此，能够在TFT基板10上形成包括第一电极21、有机EL层27和第二电极26的有机EL元件20。

接着，如图1所示，通过粘接层30将形成有有机EL元件20的TFT基板10与密封基板40贴合，将有机EL元件20封入。作为密封基板40，例如能够使用厚度为0.4～1.1mm的玻璃基板或塑料基板等绝缘基板。

这样，得到有机EL显示装置1。

在这样的有机EL显示装置1中，当通过来自配线14的信号输入而使TFT12导通(ON)时，从第一电极21向有机EL层27注入空穴。另一方面，从第二电极26向有机EL层27注入电子。空穴与电子在发光层23R、23G、23B内再结合，在使能量失活时射出规定颜色的光。通过控制各子像素2R、2G、2B的发光亮度，能够在显示区域19内显示规定的图像。

以下，对利用分涂蒸镀形成发光层23R、23G、23B的工序S3进行说明。

(实施方式1)

图5是表示本发明的实施方式1的蒸镀装置的基本结构的立体图。图6是图5所示的蒸镀装置的、沿着通过第一蒸镀源60a的面的正面截面图。

由蒸镀源60、蒸镀掩模70和配置在它们之间的限制板单元80构成蒸镀单元50。基板10在相对于蒸镀掩模70与蒸镀源60相反的一侧以一定速度沿箭头10a移动。以下为了便于说明，设定以与基板10的移动方向(第一方向)10a平行的水平方向轴为Y轴、以与Y轴垂直的水平方向轴为X轴、以与X轴和Y轴垂直的上下方向轴为Z轴的XYZ正交坐标系。Z轴与基板10的被蒸镀面10e的法线方向平行。为了便于说明，将Z轴方向的箭头一侧(图6的纸面的上侧)称为“上侧”。

蒸镀源60包括第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b。第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b，在其上表面(即，与蒸镀掩模70相对的面)分别具备多个第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b。多个第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b配置在Y轴方向的不同位置，分别沿着与X轴方向平行的直线以一定间距配置。多个第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b配置在X轴方向的相同位置。各蒸镀源开口61a、61b具有与Z轴平行地朝向上方开口的喷嘴形状。第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b分别向蒸镀掩模70放出作为发光层的材料的第一材料的蒸气(即，第一蒸镀颗粒91a)和第二材料的蒸气(即，第二蒸镀颗粒91b)。例如，能够从第一蒸镀源60a的第一蒸镀源开口61a放出构成发光层的主体的蒸气(第一蒸镀颗粒91a)，从第二蒸镀源60b的第二蒸镀源开口61b放出构成发光层的掺杂剂的蒸气(第二蒸镀颗粒91b)。

蒸镀掩模70是其主面(面积最大的面)与XY面平行的板状物，沿X轴方向在X轴方向的不同位置形成有多个掩模开口71。掩模开口71是将蒸镀掩模70在Z轴方向上贯通的贯通孔。在本实施方式中，各掩模开口71的开口形状具有与Y轴平行的狭缝形状，但是本发明并不仅限于此。所有的掩模开口71的形状和尺寸可以相同，也可以不同。掩模开口71的X轴方向间距可以为一定，也可以不同。

蒸镀掩模70优选通过未图示的掩模张力机构保持。掩模张力机构通过在与蒸镀掩模70的主面平行的方向上向其施加张力，防止由于蒸镀掩模70的自重而引起的弯曲或伸长。

在蒸镀源开口61与蒸镀掩模70之间配置有限制板单元80。图7是限制板单元80的平面图。在限制板单元80，形成有多个限制开口，该多个限制开口是分别将限制板单元80在Z轴方向上贯通的贯通孔。多个限制开口包括沿与X轴方向平行的直线配置的多个第一限制开口82a、和沿与X轴方向平行的另一直线配置的多个第二限制开口82b。在X轴方向上相邻的第一限制开口82a被第一限制板81a隔开，在X轴方向上相邻的第二限制开口82b被第二限制板81b隔开。多个第一限制板81a沿X轴方向以一定间距配置，多个第二限制板81b也沿X轴方向以一定间距配置。多个第一限制开口82a和多个第二限制开口82b配置在X轴方向的相同位置。多个第一限制开口82a和多个第二限制开口82b配置在Y轴方向的不同位置。在Y轴方向上相邻的第一限制开口82a和第二限制开口82b被分隔壁板85隔开。

为了防止附着的蒸镀材料再蒸发等，限制板单元80可以包括用于将限制板单元80冷却的冷却装置。作为冷却装置，并无特别限定，例如能够任意地选择用于使致冷剂(例如水)通过的配管、帕尔贴元件等的冷却元件等。

限制板单元80上会附着蒸镀材料。因此，优选按规定的期间将附着有蒸镀材料的限制板单元80更换为新的限制板单元80。为了容易地进行限制板单元80的更换工作，限制板单元80可以采用能够分割为多个部分的结构。

在图5、图6和图7中，配置在X轴方向的第一和第二蒸镀源开口61a、61b以及第一和第二限制开口82a、82b的数量分别为8个，但是本发明并不仅限于此，或多或少均可。

多个蒸镀源开口61a、61b与限制板单元80在Z轴方向上分离，且限制板单元80与蒸镀掩模70在Z轴方向上分离。蒸镀源60a、60b、限制板单元80以及蒸镀掩模70的相对的位置优选至少在进行分涂蒸镀的过程中实质上固定。

基板10由保持装置55保持。作为保持装置55，例如能够使用利用静电力保持基板10的与被蒸镀面10e相反一侧的面的静电吸盘。由此，能够以实质上不存在由于基板10的自重而引起的弯曲的状态保持基板10。不过，保持基板10的保持装置55并不限定于静电吸盘，也可以为此以外的装置。

被保持在保持装置55的基板10通过移动机构56以使相对于蒸镀掩模70与蒸镀源60相反的一侧从蒸镀掩模70离开一定间隔的状态、以一定速度沿着与Y轴平行的移动方向10a扫描(移动)。基板10的移动可以为往复移动，或者也可以仅朝向任一方单方向移动。移动机构56的结构并无特别限制。例如能够使用利用电动机使进给螺杆旋转的进给螺杆机构或直线电动机等公知的搬送驱动机构。

上述蒸镀单元50、基板10、保持基板10的保持装置55和使基板10移动的移动机构56被收纳在未图示的真空腔室内。真空腔室是被密封的容器，其内部空间被减压而维持在规定的低压力状态。

从第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a依次通过限制板单元80的第一限制开口82a、蒸镀掩模70的掩模开口71。从第二蒸镀源开口61b放出的第二蒸镀颗粒91b依次通过限制板单元80的第二限制开口82b、蒸镀掩模70的掩模开口71。通过掩模开口71的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b附着于在Y轴方向行进的基板10的被蒸镀面(即，基板10的与蒸镀掩模70相对的一侧的面)10e，形成第一和第二蒸镀颗粒91a、91b混合而成的覆膜90。覆膜90呈在Y轴方向上延伸的条状。如上所述，如果将第一蒸镀颗粒91a的材料作为主体、将第二蒸镀颗粒91b的材料作为掺杂剂，就能够形成在主体中分散含有掺杂剂的覆膜90。

形成覆膜90的第一蒸镀颗粒91a必须通过第一限制开口82a和掩模开口71。此外，形成覆膜90的第二蒸镀颗粒91b必须通过第二限制开口82b和掩模开口71。以不会使得从蒸镀源开口61a、61b放出的蒸镀颗粒91a、91b不通过限制开口82a、82b和掩模开口71而到达基板10的被蒸镀面10e的方式设计限制板单元80和蒸镀掩模70，还可以根据需要设置妨碍蒸镀颗粒91a、91b的飞翔的防附着板等(未图示)。

通过按红色、绿色、蓝色各种颜色分别改变第一蒸镀颗粒91a和/或第二蒸镀颗粒91b的材料进行三次蒸镀(分涂蒸镀)，能够在基板10的被蒸镀面10e上形成与红色、绿色、蓝色的各种颜色对应的条状的覆膜90(即，发光层23R、23G、23B)。

根据本实施方式1，基板10相对于包括蒸镀掩模70的蒸镀单元50沿着移动方向10a移动，因此，能够设定蒸镀掩模70的、基板10的移动方向10a的尺寸Lm而不依赖于基板10的相同方向的尺寸。因此，能够使用比基板10小的蒸镀掩模70。因此即使将基板10大型化也不需要将蒸镀掩模70大型化，因此蒸镀掩模70的自重弯曲和伸长成为问题的可能性低。此外，也不会出现蒸镀掩模70和保持它的框架等巨大化、重量化的问题。因此能够容易地进行对大型基板的分涂蒸镀。

图8是表示本实施方式1中、在基板10上形成覆膜90的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。

第一和第二蒸镀颗粒91a、91b在X轴方向和Y轴方向具有一定扩展性(指向性)地分别从第一和第二蒸镀源开口91a、91b放出。在本实施方式1中，第一和第二蒸镀源开口61a、61b向着与Z轴平行的方向开口。从第一和第二蒸镀源开口61a、61b放出的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的数量在第一和第二蒸镀源开口61a、61b的开口方向(在本例中为Z轴方向)最多，随着与开口方向所成的角度(射出角度)增大而逐渐减少。从第一和第二蒸镀源开口61a、61b放出的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b分别朝着各自的放出方向直进。以大的射出角度放出的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b撞击限制板单元80而被捕捉。

如从图8能够理解的那样，当沿着与X轴平行的方向(第二方向)观察时，从第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a中、只有未撞击限制板单元80的第一蒸镀颗粒91a能够通过第一限制开口82a。同样，从第二蒸镀源开口61b放出的第二蒸镀颗粒91b中、只有未撞击限制板单元80的第二蒸镀颗粒91b能够通过第二限制开口82b。在图8中，以虚线表示分别通过第一和第二限制开口82a、82b的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的粒流(蒸镀颗粒流)。这样，限制板单元80限制从第一和第二蒸镀源开口61a、61b放出、朝向基板10行进的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b在Y轴方向上的指向性。在此，第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的“在Y轴方向上的指向性”由在投向YZ面的投影图中、从第一和第二蒸镀源开口61a、61b朝向基板10行进的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的粒流(蒸镀颗粒流)的扩展角度(发散角)θa、θb定义。

在本实施方式中，将假定没有蒸镀掩模70的情况下通过第一限制开口82a的第一蒸镀颗粒91a附着的基板10上的区域设为第一区域92a，将假定没有蒸镀掩模70的情况下通过第二限制开口82b的第二蒸镀颗粒91b附着的基板10上的区域设为第二区域92b时，沿着X轴方向观察时第一区域92a的Y轴方向位置与第二区域92b的Y轴方向位置基本一致。换言之，以使得第一区域92a与第二区域92b基本一致的方式，构成限制板单元80的各部分，且设定限制板单元80相对于第一和第二蒸镀源开口61a、61b以及基板10的相对位置。而且，各掩模开口71的一部分、优选其全部在与第一区域92a和第二区域92b重合的区域对应的蒸镀掩模70上的区域内形成。

在本实施方式中，第一蒸镀颗粒91a附着的第一区域92a与第二蒸镀颗粒91b附着的第二区域92b基本一致，因此能够形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的覆膜90。以下使用比较例对此进行详细说明。

图9A是将在本实施方式1中省略了限制板单元80而得到的比较例的蒸镀装置与图8同样进行表示的截面图。因为不存在限制板单元80，所以从第一和第二蒸镀源开口61a、61b具有一定扩展性(指向性)地放出的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b沿着各自的放出方向直进到达基板10。因此，如图9A所示，假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a附着的基板10上的第一区域92a和假定没有蒸镀掩模70的情况下第二蒸镀颗粒91b附着的基板10上的第二区域92b，在Y轴方向上发生位置偏移，其一部分相互重合。

图9B是在图9A中、基板10向与Y轴平行的箭头10a的方向移动时在基板10上形成的覆膜90的厚度方向的放大截面图。如图9A所示，由于第一区域92a和第二区域92b位置偏移，因此在基板10上首先仅第一蒸镀颗粒91a附着而形成第一材料层99a，接着第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合并附着而形成混合层99m，最后仅第二蒸镀颗粒91b附着而形成第二材料层99b。例如在第一蒸镀颗粒91a的材料为主体、第二蒸镀颗粒91b的材料为掺杂剂的情况下，在第二材料层99m中仅高浓度地存在掺杂剂。当将这样的三层结构的覆膜90用作有机EL元件的发光层时，由于第二材料层99b，载流子的移动受到妨碍、电压异常上升，导致有机EL元件的特性变得不稳定或下降。因此，不能得到可靠性和显示品质优异的有机EL显示装置。

如果在图9A中、在与第一区域92a和第二区域92b重合的区域对应的蒸镀掩模70上的区域内形成掩模开口71，则能够不形成图9B所示的第一材料层99a和第二材料层99b，形成仅包括第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的混合层99m的覆膜90。但是，在这种情况下，需要用蒸镀掩模70遮蔽第一区域92a和第二区域92b中的、除了第一区域92a与第二区域92b重合的区域以外的区域，因而导致蒸镀掩模70的大型化。因此，出现蒸镀掩模70的自重弯曲和伸长、蒸镀掩模70和保持它的框架等变得巨大化·重量化等问题。

与此相对，在本实施方式中，如图8所示，在第一和第二蒸镀源开口61a、61b与蒸镀掩模70之间配置限制板单元70，利用限制板单元70限制朝向基板10行进的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b在Y轴方向上的指向性。由此，不必利用蒸镀掩模70遮蔽不需要的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b，使第一蒸镀颗粒91a附着的第一区域92a与第二蒸镀颗粒91b附着的第二区域92b基本一致。其结果，能够不使蒸镀掩模70大型化而容易地形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的覆膜90。因此，如果利用本实施方式1形成发光层23R、23G、23B，则能够形成发光特性和电流特性提高且稳定的有机EL元件，因此能够得到可靠性和显示品质优异的大型的有机EL显示装置。

如上述的说明能够理解的那样，在本实施方式1中，使用限制板单元80限制朝向基板10行进的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b在Y轴方向上的指向性，由此，使假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a附着的基板10上的第一区域92a与假定没有蒸镀掩模70的情况下第二蒸镀颗粒91b附着的基板10上的第二区域92b基本一致，这一点至关重要。也可以利用蒸镀掩模70的掩模开口71在Y轴方向上进一步限制在不存在蒸镀掩模70的状态下基本一致的第一区域92a和第二区域92b，本发明包括这样的情况。另外，在本例以及以下的说明中，为了简化说明，除了需要特别说明的情况，掩模开口71的Y轴方向的开口尺寸足够大，因此蒸镀颗粒流在Y轴方向上不会被蒸镀掩模70限制。不过，本发明并不限定于此。

接着，对限制板单元80的限制板81a、81b的作用进行说明。

图10是将在本实施方式1中省略了限制板单元80而得到的比较例的蒸镀装置与图6同样进行表示的截面图。如上所述，第一蒸镀颗粒91a在X轴方向具有一定扩展性(指向性)地从各第一蒸镀源开口61a放出。在图10中，以箭头示意性地表示从第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a的粒流。箭头的长度与第一蒸镀颗粒91a的数量对应。因此，在各掩模开口71，从位于其正下方的第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a飞来得最多，但是并不限定于此，也会飞来从位于斜下方的第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a。

图11是在图10的蒸镀装置中、由通过某个掩模开口71的第一蒸镀颗粒91a在基板10上形成的覆膜90的、与图10同样沿着与Y轴平行的方向观察的截面图。因为需要使基板10相对于蒸镀掩模70相对地移动，所以在基板10与蒸镀掩模70之间存在间隙。在该状态下，如上所述，从各个方向飞来的第一蒸镀颗粒91a通过掩模开口71。到达基板10的被蒸镀面10e的第一蒸镀颗粒91a的数量在掩模开口71的正上方的区域最多，随着离此渐远而逐渐减少。因此，如图11所示，在基板10的被蒸镀面10e，在将掩模开口71向正上方向投影在基板10上的区域，形成厚且具有基本一定厚度的覆膜主要部分90m，在其两侧形成模糊部分90e，该模糊部分90e随着逐渐远离覆膜主要部分90m而逐渐变薄。而且，该模糊部分90e使得产生覆膜90的端部边缘的模糊。

为了减小模糊部分90e的宽度We，可以减小蒸镀掩模70与基板10的间隔。但是因为需要使基板10相对于蒸镀掩模70相对地移动，所以不能使蒸镀掩模70与基板10的间隔为零。

如果模糊部分90e的宽度We变大、模糊部分90e扩及相邻的不同颜色的发光层区域，则发生“混色”，有机EL元件的特性劣化。为了不发生混色而使得模糊部分90e不扩及相邻的不同颜色的发光层区域，需要减小像素(指图2的子像素2R、2G、2B)的开口宽度、或者增大像素的间距以增大非发光区域。但是，如果减小像素的开口宽度，则发光区域变小，因此亮度下降。如果为了获得所需的亮度而提高电流密度，则有机EL元件寿命变短、易受损伤，可靠性下降。另一方面，如果增大像素间距，则不能实现高精细显示，显示品质下降。

与此相对，在本实施方式1中，如图6所示那样在第一蒸镀源开口60a与蒸镀掩模70之间设置限制板单元80。

图12是表示本实施方式1中、在基板10上形成覆膜90的状态的、沿着与XZ平行的面的截面图。在本例中，相对于一个第一限制开口82a配置有一个第一蒸镀源开口61a，在X轴方向，第一蒸镀源开口61a配置在相邻的一对第一限制板81a的中央位置。以虚线表示从第一蒸镀源开口61a放出的具有代表性的第一蒸镀颗粒91a的飞翔路径。从第一蒸镀源开口61a具有一定扩展性(指向性)地放出的第一蒸镀颗粒91a中、通过该第一蒸镀源开口61a的正上方的第一限制开口82a、并进一步通过掩模开口71的第一蒸镀颗粒91a附着在基板10上形成覆膜90。另一方面，X轴方向成分具有大的速度向量的第一蒸镀颗粒91a撞击规定第一限制开口82a的第一限制板81a并附着在其上，因此不能通过第一限制开口82a，不能到达掩模开口71。

这样，第一限制板81a限制向掩模开口71(或基板10)入射的第一蒸镀颗粒91a的X轴方向的入射角度。在此，相对于掩模开口71(或基板10)的“X轴方向的入射角度”由在投向XZ面的投影图中向掩模开口71(或基板10)入射的第一蒸镀颗粒91a的飞翔方向相对于Z轴所成的角度定义。

这样，限制板单元80的多个第一限制板81a使向基板10入射的第一蒸镀颗粒91a在X轴方向上的指向性提高。因此，能够减小由于第一蒸镀颗粒91a引起的模糊部分90e的宽度We。

在本实施方式中，向各掩模开口71入射的第一蒸镀颗粒91a限定于全部从相同的第一蒸镀源开口61a放出。即，从不同的蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a不会向相同的掩模开口71入射。由此，能够进一步减小模糊部分90e的宽度We。

对于第一限制板81a对从第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a的作用进行的上述的说明，对于第二限制板81b对从第二蒸镀源开口61b放出的第二蒸镀颗粒91b的作用也适用。因此，也同样能够减小由于第二蒸镀颗粒91b引起的模糊部分90e的宽度We。此外，第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b在X轴方向上附着在基板10的相同区域。即，在基板10上，第一蒸镀颗粒91a形成的覆膜和第二蒸镀颗粒91b形成的覆膜在X轴方向上不发生位置偏移。因此，不会发生由于两个覆膜的位置偏移而导致的覆膜90的X轴方向的两端部边缘的模糊。

这样，根据本实施方式1，即使基板10与蒸镀掩模70分离，也能够减小在基板10上形成的覆膜90的端部边缘的模糊部分90e的宽度We。因此，如果使用本实施方式1进行发光层23R、23G、23B的分涂蒸镀，能够防止混色的发生。由此，能够缩小像素间距，在这种情况下，能够提供可进行高精细显示的有机EL显示装置。另一方面，也可以不改变像素间距而扩大发光区域，在这种情况下，能够提供可进行高亮度显示的有机EL显示装置。此外，因为不需要为了高亮度化而提高电流密度，所以有机EL元件不会缩短寿命或受到损伤，能够防止可靠性的下降。

在本实施方式1中，多个第一限制开口82a和多个第二限制开口82b形成于共同的限制板单元80。因此，能够实现限制板单元80整体的小型化和轻量化，在蒸镀颗粒附着在限制板单元80时等进行的限制板单元80的更换工作容易。因此，生产中的停止损失减少，批量生产时的生产能力得到提高。此外，能够提高限制板单元80的更换频率，因此能够总是将限制板单元80维持在蒸镀材料的附着量少的洁净的状态。因此，能够可靠地捕捉撞击限制板单元80的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b，并且，能够抑制所捕捉的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的再蒸发。其结果，能够稳定地管理第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的飞翔方向，因此能够提高覆膜90的图案精度。

只要恰当地设定限制板单元80的Z轴方向上的位置，就能够减小限制板单元80的Z轴方向的尺寸。在这种情况下，能够进一步实现限制板单元80的小型化和轻量化。

在上述的例子中，在X轴方向，在相邻的第一限制板81a的中央配置有一个第一蒸镀源开口61a。此外，在X轴方向，在相邻的第二限制板81b的中央配置有一个第二蒸镀源开口61b。因此，第一蒸镀源开口61a与第一限制开口82a一对一地对应，第二蒸镀源开口61b与第二限制开口82b一对一地对应。但是本发明并不仅限于此。例如，也可以以多个第一限制开口82a对应于一个第一蒸镀源开口61a的方式构成。同样，还可以以多个第二限制开口82b对应于一个第二蒸镀源开口61b的方式构成。或者，也可以以一个第一限制开口82a对应于多个第一蒸镀源开口61a的方式构成。同样，还可以以一个第二限制开口82b对应于多个第二蒸镀源开口61b的方式构成。在本发明中，“与蒸镀源开口对应的限制开口”是指，以从蒸镀源开口放出的蒸镀颗粒能够通过的方式设计的限制开口。

如上所述，在本实施方式1中，第一和第二蒸镀颗粒91a、91b通过多个掩模开口71的各个。而且通过多个掩模开口71的第一蒸镀颗粒91a在基板10上的分布、与通过多个掩模开口71的第二蒸镀颗粒91b在基板10上的分布，在X轴方向和Y轴方向上一致。因此，在基板10上，能够稳定地形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的多个覆膜90。

上述附图所示的结构不过是本实施方式1的一个例子。本发明并不限定于本例，能够进行适当的变更。

例如如图13所示，可以扩大分隔壁板85的Y轴方向尺寸、缩小其Z轴方向尺寸。在这种情况下，为了使第一区域92a的Y轴方向位置与第二区域92b的Y轴方向位置一致，优选使分隔壁板85的上表面(蒸镀掩模70一侧的面)比限制板单元80的分隔壁板85以外的部分的上表面(蒸镀掩模70一侧的面)低。

通过如图13所示那样构成分隔壁板85，例如能够容易地在分隔壁板85内内置用于冷却限制板单元80的冷却装置。

考虑到限制板单元80的冷却特性和更换作业性等，可以将包括分隔壁板85的限制板单元80的形状任意地变更为图8和图13以外的形状。

也可以如图14所示那样，使第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b倾斜，使得第一蒸镀源开口61a的开口方向和第二蒸镀源开口61b的开口方向彼此朝向对方侧。通过这样构成蒸镀源60，能够减少与限制板单元80撞击而被捕捉的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b，因此能够提高材料利用效率且提高蒸镀速率。此外，因为蒸镀材料对限制板单元80的附着量减少，所以限制板单元80的更换频率减少，批量生产时的生产能力提高。由此，能够降低覆膜90的蒸镀成本。另外，也可以仅使第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b中的任一个的开口方向朝向另一方侧倾斜。

如图15所示，可以将第一蒸镀源61a与第二蒸镀源61b一体化。在该结构中，在共同的单一的蒸镀源60设置第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b，第一蒸镀源开口61a放出第一蒸镀颗粒91a，第二蒸镀源开口61b放出第二蒸镀颗粒91b。通过这样构成蒸镀源60，能够使蒸镀源60整体小型化。此外，因为不需要对每个第一蒸镀源61a和第二蒸镀源61b分别地设置用于将蒸镀源60维持在规定的高温的加热装置和隔热装置，所以能够降低装置成本。

还可以如图16所示，将第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b与图15同样地设置在共同的蒸镀源60，进一步还可以与图14同样地以它们各自的开口方向彼此朝向对方侧的方式使它们倾斜。通过这样构成蒸镀源60，能够实现同时具有图14的结构的上述效果和图15的结构的上述效果的蒸镀装置。

在上述的例子中多个第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b在X轴方向以相同间距配置在同一位置，但是本发明并不仅限于此。例如，第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b，其X轴方向的间距和位置及其个数也可以不同。同样，在上述的例子中多个第一限制开口82a和多个第二限制开口82b在X轴方向以相同间距配置在同一位置，但是本发明并不仅限于此。例如，第一限制开口82a和第二限制开口82b，其X轴方向的间距和位置及其个数也可以不同。

(实施方式2)

图17是本实施方式2的蒸镀装置的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。本实施方式2，在限制板单元80被分割为第一限制板单元80a和第二限制板单元80b这一点上与实施方式1不同。在本实施方式2中，对具有与实施方式1中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。以下以与实施方式1的不同点为中心对实施方式2进行说明。

在第一限制板单元80a，第一蒸镀颗粒91a通过的多个第一限制开口82a沿着与X轴方向平行的方向形成。同样，在第二限制板单元80b，第二蒸镀颗粒91b通过的多个第二限制开口82b沿着与X轴方向平行的方向形成。在X轴方向上相邻的第一限制开口82a和第二限制开口82b被第一限制板81a和第二限制板81b分别隔开，在这一点上与实施方式1相同。

在本实施方式2中，构成限制板单元80的第一限制板单元80a和第二限制板单元80b分别限制第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b在Y轴方向上的指向性。由此，与实施方式1相同，将假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b分别附着的基板10上的区域设为第一区域92a和第二区域92b时，第一区域92a的Y轴方向位置与第二区域92b的Y轴方向位置基本一致。其结果，能够容易地形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的覆膜90，能够获得与实施方式1同样的效果。

进一步，在本实施方式2中，限制板单元80由彼此独立的第一限制板单元80a和第二限制板单元80b构成，因此能够对它们分别进行更换。

例如，在第一蒸镀颗粒91a的材料为主体、第二蒸镀颗粒91b的材料为掺杂剂的情况下，一般主体的蒸发量比掺杂剂的蒸发量多。因此，蒸镀材料对于限制板单元80的附着量，主体比掺杂剂多。通过如本实施方式2那样，将限制板单元80分割为第一蒸镀颗粒91a用的第一限制板单元80a和第二蒸镀颗粒91b用的第二限制板单元80b，能够使蒸镀材料的附着量相对较多的第一限制板单元80a的交换频率比第二限制板单元80b的交换频率多等、在与蒸镀材料的附着量相应的恰当的时间更换第一限制板单元80a和第二限制板单元80b。

此外，通过将限制板单元80分割为第一限制板单元80a和第二限制板单元80b，能够实现第一限制板单元80a和第二限制板单元80b各自的小型化和轻量化。因此，例如仅第一限制板单元80a的更换工作比实施方式1的一体化的限制板单元80的更换工作容易。因此，生产中的停止损失减少，批量生产时的生产能力提高。

在将附着在限制板单元的蒸镀材料回收再利用的情况下，在实施方式1中，因为在限制板单元80上附着着第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b两者，所以难以将两者分别回收。与此相对，在本实施方式2中，在第一限制板单元80a上附着着第一蒸镀颗粒91a，在第二限制板单元80b上附着着第二蒸镀颗粒91b。因此，能够容易地从第一限制板单元80a回收第一蒸镀颗粒91a的材料(第一材料)，从第二限制板单元80b回收第二蒸镀颗粒91b的材料(第二材料)。这样，根据本实施方式2，能够容易且在短时间内从用过的限制板单元回收高品质的蒸镀材料。因此，蒸镀材料的再利用变得容易，能够降低蒸镀成本。

在图17中，第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b以各自的开口方向彼此朝向对方侧的方式倾斜，因此，如在图14说明的那样，材料利用效率提高，并且蒸镀速率也提高。

本实施方式2除了上述说明以外与实施方式1相同。在实施方式1中的说明在本实施方式2中也能够适用。

(实施方式3)

图18是表示本实施方式3的蒸镀装置的基本结构的立体图。图19是构成本实施方式3的蒸镀装置的限制板单元80的平面图。本实施方式3关于限制板单元80的结构与实施方式1不同。即，在实施方式1的限制板单元80上形成有由多个第一限制板81a隔开的多个第一限制开口81a，而在本实施方式3的限制板单元80上形成单一的第一限制开口82a。因此，本实施方式3的限制板单元80不存在第一限制板81a。在本实施方式3中，对与在实施方式1、2中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。以下以与实施方式1的不同点为中心对本实施方式3进行说明。

图20是本实施方式3的蒸镀装置的、沿着通过第一蒸镀源开口60a的面的正面截面图。如在实施方式1中说明的那样，从多个第一蒸镀源开口61a中的各个放出具有一定扩展性(指向性)的第一蒸镀颗粒91a。在本实施方式3中，与实施方式1不同，第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a不存在用于限制第一蒸镀颗粒91a相对于掩模开口71的X轴方向的入射角度的第一限制板81a。因此，比实施方式1多的来自第一蒸镀源开口61a的第一蒸镀颗粒91a射入各掩模开口71。因此，向基板10入射的第一蒸镀颗粒91a在X轴方向上的指向性降低，在覆膜90的X轴方向的两端部边缘形成的由于第一蒸镀颗粒91a引起的模糊部分90e的宽度We(参照图11)增大。

图21是本实施方式3的蒸镀装置的、沿着通过第二蒸镀源开口61b的面的正面截面图。图21的结构与实施方式1相同。因此，在本实施方式3中，与实施方式1同样，第二限制板81b限制相对于掩模开口71的第二蒸镀颗粒91b的X轴方向的的入射角度。因此，能够与实施方式1同样地减小由于第二蒸镀颗粒91b引起的模糊部分90e的宽度We(参照图11)。

因此，在本实施方式3中，在图11中在将掩模开口71向正上方向投影在基板10的区域，形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合附着的覆膜主要部分90m，在其X轴方向的两侧形成实质上仅由第一蒸镀颗粒91a引起的模糊部分90e。覆膜主要部分90m和模糊部分90e的厚度方向上的组成一定。模糊部分90e的宽度We比实施方式1宽，在X轴方向上相邻的覆膜90间模糊部分90e可能连续。

但是，在本实施方式3中，即使这样的覆膜90，在第一蒸镀颗粒91a的材料为主体、第二蒸镀颗粒91b的材料为掺杂剂的情况下，也能够实现不发生混色的高精细的有机EL显示装置。以下对其理由进行说明。一般而言，有机EL元件的发光层通过将发光性的掺杂剂分散在主体中而高效率地发光。在这样的有机EL元件中，发光层的发光区域实质上依赖于掺杂剂的蒸镀图案。因此，只要在主体中按期望的图案混合掺杂剂，即使主体的蒸镀图案超出掺杂剂的蒸镀图案，也能够实现高精细的发光。

图22是表示本实施方式3的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜90的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。图22的结构与实施方式1相同。因此，限制板单元80分别限制第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b在Y轴方向上的指向性。由此，与实施方式1相同，假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b分别附着的基板10上的第一区域92a和第二区域92b的Y轴方向位置基本一致。其结果，能够容易地形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的覆膜90，能够获得与实施方式1同样的效果。

如上所述，本实施方式3与实施方式1同样，能够稳定地得到可靠性和显示品质优异的有机EL显示装置。并且，本实施方式3能够获得以下的效果。

因为第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a没有被第一限制板81a隔开，所以与限制板单元80撞击而附着的第一蒸镀颗粒91a的量少。因此，由于第一蒸镀颗粒91a的材料的利用效率提高、成膜速率提高、成膜分布提高等，生产率提高，还能够降低蒸镀成本。

进一步，因为附着在限制板单元80的第一蒸镀颗粒91a的量减少，所以能够减少由于第一蒸镀颗粒91a的附着而引起的限制板单元80的更换频率。在第一蒸镀颗粒91a的材料为蒸发量相对多的主体的情况下，特别有效。

在实施方式1中，多个第一限制板81a选择多个第一蒸镀源开口61a中的放出向各掩模开口71入射的第一蒸镀颗粒91a的第一蒸镀源开口61a。因此，多个第一蒸镀源开口61a间的特性的差异对多个覆膜90间的厚度差异、进而对有机EL元件的发光特性的差异具有较大影响。与此相对，在本实施方式3中，比实施方式1多的来自第一蒸镀源开口61a的第一蒸镀颗粒91a射入各掩模开口71。因此，即使多个第一蒸镀源开口61a间存在特性的差异，该差异也被平均化，因而难以产生多个覆膜90间的厚度差异和有机EL元件的发光特性的差异。由此，能够进一步提高有机EL显示装置的显示品质和可靠性。

在本实施方式3中，不需要提高向掩模开口71入射的第一蒸镀颗粒91a在X轴方向上的指向性。因此，例如第一蒸镀源开口61a不需要为了提高第一蒸镀颗粒91a的指向性而具有喷嘴形状。此外，第一蒸镀源开口61a的X轴方向的配置位置也是任意的。因此，例如第一蒸镀源开口61a可以为X轴方向的开口尺寸大的狭缝状的开口。作为第一蒸镀源开口61a，可以在X轴方向的不同位置配置多个狭缝状的开口，也可以沿着X轴方向仅配置一个狭缝状的开口(参照后述的图31)。在本实施方式3中，关于第一蒸镀源开口61a的形状和配置的设计自由度提高，通过在这方面付出努力能够进一步提高成膜速率。

本实施方式3除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式3中也能够适用。

进一步，在实施方式2中说明的变更例在本实施方式3中也能够适用。即，可以将限制板单元80分割为第一限制板单元80a和第二限制板单元80b，在第一限制板单元80a中与本实施方式3同样地省略多个第一限制板81a。

(实施方式4)

图23A是表示本实施方式4的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。在本实施方式4中，对具有与在实施方式1～3中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。以下以与实施方式1的不同点为中心对本实施方式4进行说明。

如图23A所示，在本实施方式4中，将假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b附着的基板10上的区域分别设为第一区域92a和第二区域92b时，在沿着X轴方向观察时，第一区域92a与第二区域92b相比在Y轴方向跨越更广的范围。更详细而言，在Y轴方向的一侧(图23的左侧)，第一区域92a和第二区域92b的两端部边缘位置一致，在Y轴方向的另一侧(图23的右侧)，第一区域92a超过第二区域92b的端部边缘而从第二区域92b超出。以这样配置第一区域92a和第二区域92b的方式构成限制板单元80的各部分，且设定限制板单元80相对于第一和第二蒸镀源开口61a、61b以及基板10的相对的位置。

基板10相对于蒸镀掩模70在箭头10a的方向、即在图23A中从左向右单方向移动。

除了上述说明以外与实施方式1相同。

因为基板10a相对于上述的第一区域92a和第二区域92b向箭头10a的方向单方向地移动，所以能够如图23B所示那样，在基板10上形成覆膜90，该覆膜90为先后依次形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合并附着而成的混合层99b、和仅第一蒸镀颗粒91a附着的第一材料层99a的二层结构。混合层99m与第一材料层99a的厚度比率能够通过改变图23A中第二区域92b与从第二区域92b超出的第一区域92a的部分在Y轴方向上的尺寸比率来任意地设定。

构成有机EL元件20的有机EL层27(参照图3)的层的种类和构成有机EL层27的各层的材料，可以考虑各种各样的组合。例如，可以考虑形成在主体中分散含有发光性的掺杂剂的发光层的情况。在这种情况下，作为该主体有时使用电子输送效率良好的材料(即，电子输送性材料)。或者，作为该主体有时使用具有阻挡空穴移动的特性(即，空穴阻挡性)的材料。

因此，在第一蒸镀颗粒91a的材料为构成发光层的上述主体、第二蒸镀颗粒91b的材料为构成发光层的掺杂剂的情况下，能够将图23B所示的混合层99m用作发光层(图3的发光层23R、23G、23B)，能够将第一材料层99a用作电子输送层(图3的电子输送层24)或空穴阻挡层。

这样，根据本实施方式4，如图23所示仅使基板10沿着移动方向10a单方向地移动，能够连续地形成发光层和电子输送层或空穴阻挡层。由此，与分别形成发光层和电子输送层或空穴阻挡层的情况相比，批量生产时的生产能力提高，生产率提高。此外，因为不需要与发光层用分别地设置电子输送层或空穴阻挡层用的蒸镀源和真空腔室，所以能够实现设备的小型化和低成本化，因此能够实现廉价的有机EL显示装置。

如上所述，在图3所示的有机EL显示装置1中，在将第一电极21作为阴极、将第二电极26作为阳极的情况下，在形成电子输送层或空穴阻挡层之后，形成发光层。在这种情况下，在图23A中，使基板10向与箭头10a相反的方向、即图23A中从右向左单方向地移动即可。

在图23A中，作为限制板单元80，可以使用第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a未被第一限制板81a区分的、在实施方式3中说明的限制板单元80(参照图19)。在这种情况下，能够形成在X轴方向上不被分割的连续的第一材料层99a(即，电子输送层或空穴阻挡层)。

也可以如图24A所示那样，第一区域92a超过第二区域92b的Y轴方向的两端部边缘在Y轴方向超出第二区域92b。在该结构中，使基板10相对于蒸镀掩模70向箭头10a的方向、即图24A中从左向右单方向地移动。由此，能够如图24B所示，在基板10上形成覆膜90，该覆膜90为先后依次形成仅第一蒸镀颗粒91a附着的第一材料层99a、第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合并附着而成的混合层99b、仅第一蒸镀颗粒91a附着的第一材料层99a的三层结构。混合层99m与其两侧的第一材料层99a的厚度比率能够通过改变图24A中第二区域92b与从第二区域92b向两侧超出的第一区域92a的各部分在Y轴方向上的尺寸比率来任意地设定。

在图24A中，作为限制板单元80，也可以使用第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a未被第一限制板81a区分的、在实施方式3中说明的限制板单元80(参照图19)。在这种情况下，能够形成在X轴方向上不被分割的连续的第一材料层99a。

另外，图24B所示的三层结构的覆膜可以通过使用图23A的装置使基板10在Y轴方向上往复移动而形成。

在图23A和图24A中，第一蒸镀源开口61a和第二蒸镀源开口61b以各自的开口方向彼此朝向对方侧的方式倾斜，因此，如在图14中说明，材料利用效率提高，并且蒸镀速率也提高。

本实施方式4除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式4中也能够适用。进一步，在实施方式2、3中说明的各种变更例在本实施方式4中也能够适用。

(实施方式5)

本实施方式5适用于形成在主体中含有不同种类的多种掺杂剂的发光层。图25是表示本实施方式5的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。图26是构成本实施方式5的蒸镀装置的限制板单元80的平面图。在本实施方式5中，对具有与在实施方式1～4中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。关于蒸镀源60和限制板单元80的结构，本实施方式5与实施方式1不同。以下以与实施方式1的不同点为中心对本实施方式5进行说明。

在本实施方式5中，蒸镀源60不仅包括在实施方式1中说明的第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b，而且包括第三蒸镀源60c。在Y轴方向，第三蒸镀源60c配置在相对于第一蒸镀源60a与第二蒸镀源60b相反的一侧。第三蒸镀源60c与第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b相同，在其上表面(即，与蒸镀掩模70相对的面)具备多个第三蒸镀源开口61c。多个第三蒸镀源开口61c沿着与X轴方向平行的直线以一定间距配置。多个第三蒸镀源开口61c也可以与多个第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b配置在X轴方向的同一位置。各蒸镀源开口61c具有与蒸镀源开口61a、61b同样的喷嘴形状。第三蒸镀源开口61c朝向蒸镀掩模70在X轴方向和Y轴方向具有一定扩展性(指向性)地放出作为发光层的材料的第三材料的蒸气(第三蒸镀颗粒91c)。

第二蒸镀源开口61b以其开口方向朝向第一蒸镀源开口61a一侧的方式倾斜，第三蒸镀源开口61c也以其开口方向朝向第一蒸镀源开口61a一侧的方式倾斜。

例如，能够使构成发光层的主体的蒸气(第一蒸镀颗粒91a)从第一蒸镀源60a的第一蒸镀源开口61a放出，使构成发光层的第一掺杂剂的蒸气(第二蒸镀颗粒91b)从第二蒸镀源60b的第二蒸镀源开口61b放出，使构成发光层的第二掺杂剂的蒸气(第三蒸镀颗粒91c)从第三蒸镀源60c的第三蒸镀源开口61c放出。第一掺杂剂和第二掺杂剂由不同的材料构成。

限制板单元80不仅形成有在实施方式3中说明的、单一的第一限制开口82a和多个第二限制开口82b，而且形成有多个第三限制开口82c。在Y轴方向，多个第三限制开口82c配置在相对于第一限制开口82a与多个第二限制开口82b相反的一侧。多个第三限制开口82c与多个第二限制开口82b配置在X轴方向的相同的位置。多个第三限制开口82c与多个第二限制开口82b同样配置在X轴方向的不同的位置，在X轴方向上相邻的第三限制开口82c由第三限制板81c隔开。多个第三限制板81c沿着X轴方向以一定间距与多个第二限制板81b配置在X轴方向的相同的位置。在Y轴方向上相邻的第一限制开口82a和第二限制开口82b由第一分隔壁板85b隔开，在Y轴方向上相邻的第一限制开口82a和第三限制开口82c由第二分隔壁板85c隔开。

如图25所示，限制板单元80分别限制第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c在Y轴方向上的指向性，使得在投向YZ面的投影图中朝向基板10行进的第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c的粒流(蒸镀颗粒流)的扩展角度(发散角)为θa、θb、θc。由此，将假定没有蒸镀掩模70的情况下第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c分别附着的基板10上的区域分别设为第一、第二和第三区域92a、92b、92c时，在沿着X轴方向观察时第一、第二和第三区域92a、92b、92c的各Y轴方向位置基本一致。换言之，以第一区域92a、第二区域92b和第三区域92c基本一致的方式构成限制板单元80的各部分，且设定限制板单元80相对于第一、第二和第三蒸镀源开口61a、61b、61c以及基板10的相对的位置。

与第二限制板81b限制相对于掩模开口71的第二蒸镀颗粒91b的X轴方向的入射角度同样，第三限制板81c限制相对于掩模开口71的第三蒸镀颗粒91c的X轴方向的入射角度。因此，如在实施方式1中说明的那样，能够与减小由于第二蒸镀颗粒91b引起的模糊部分90e的宽度We同样地减小由于第三蒸镀颗粒91c引起的模糊部分90e的宽度We(参照图11)。

另一方面，与实施方式3相同，在第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a，不存在限制第一蒸镀颗粒91a的相对于掩模开口71的X轴方向的入射角度的第一限制板81a。因此，与实施方式3同样，向基板10入射的第一蒸镀颗粒91a的X轴方向上的指向性下降，在覆膜90的X轴方向的两端部边缘形成的模糊部分90e的宽度We(参照图11)增大。

因此，在本实施方式5中，在图11中将掩模开口71向正上方向投影在基板10上的区域，第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c混合而形成覆膜主要部分90m，在其X轴方向的两侧，形成实质上仅由第一蒸镀颗粒91a引起的模糊部分90e。覆膜主要部分90m和模糊部分90e的厚度方向上的组成一定。在X轴方向上相邻的覆膜90间由第一蒸镀颗粒91a引起的模糊部分90e可能连续。但是，如在实施方式3中说明的那样，在第一蒸镀颗粒91a的材料为主体、第二和第三蒸镀颗粒91b、91c的材料为掺杂剂的情况下，能够实现不产生混色的高精细的有机EL显示装置。

如上所述，本实施方式5具备包括两种掺杂剂的发光层，与实施方式1同样，能够稳定地得到可靠性和显示品质优异的有机EL显示装置。

此外，与实施方式3同样，第一蒸镀颗粒91a通过的第一限制开口82a由第一限制板81a隔开。因此，能够获得与实施方式3中说明的同样的效果。

并且，第二和第三蒸镀源开口61b、61c以其开口方向朝向第一蒸镀源开口61a一侧的方式倾斜，因此如在图14说明的那样，材料利用效率提高，并且蒸镀速率也提高。

在上述的例子中，形成包括两种掺杂剂的覆膜90，但是也可以通过进一步设置放出不同的掺杂剂的蒸气的蒸镀源开口，形成包括三种以上的掺杂剂的覆膜90。

在上述的例子中，可以与实施方式1同样地由多个第一限制板81a将第一蒸镀颗粒91a通过的第一蒸镀源开口61a划分为多个。

第一、第二和第三蒸镀源开口61a、61b、61c的Y轴方向的配置并不限定于图25。只要能够使第一、第二和第三区域92a、92b、92c的Y轴方向位置基本一致，能够任意地设定第一、第二和第三蒸镀源开口61a、61b、61c的Y轴方向的配置顺序。对应于第一、第二和第三蒸镀源开口61a、61b、61c的Y轴方向的配置顺序，设定限制板单元80的第一、第二和第三限制空间81a、81b、81c的Y轴方向的配置顺序。

本实施方式5除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式5中也能够适用。此外，在实施方式2、3中说明的各种变更例在本实施方式5中也能够适用。

并且，在实施方式4中说明的各种变更例也可以在本实施方式5中适用。例如可以与实施方式4同样，在图25中使第一区域92a越过第二和第三区域92b、92c的Y轴方向的一方或双方的端部边缘，从第二和第三区域92b、92c向Y轴方向超出而形成。由此，能够形成第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c混合而成的混合层、和在其至少一方侧叠层仅包括第一蒸镀颗粒91a的第一材料层而得到的、在厚度方向上组成变化的、二层或三层结构的覆膜90。

(实施方式6)

图27A是表示本实施方式6的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。在本实施方式6，对具有与在实施方式1～5中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。

本实施方式6的蒸镀装置相对于实施方式5的蒸镀装置(参照图25)在以下方面不同。

第一，在限制板单元80与蒸镀源60之间设置有第一闸门87b和第二闸门87c。第一闸门87b和第二闸门87c能够通过未图示的驱动机构在Y轴方向上往复移动，由此使多个第二限制开口82b和多个第三限制开口82c分别开闭。限制板单元80的结构与在实施方式5中说明的图26相同。

第二，蒸镀掩模70能够通过掩模移位机构73在X轴方向上移位。掩模移位机构73的结构没有特别限定，例如能够使用利用电动机使进给螺杆旋转的进给螺杆机构和直线电动机等公知的搬送驱动机构。

本实施方式6的蒸镀装置如下所述形成覆膜。

首先，以打开第一闸门87b、关闭第二闸门87c的状态，使基板10从图27A的纸面的左侧向右侧沿箭头10a扫描(移动)(第一扫描)。由此，如图27B所示，在基板10上形成第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b混合而成的条状的第一覆膜90b。

接着，关闭第一闸门87b，打开第二闸门87c。进一步，通过掩模移位机构73使蒸镀掩模70在X轴方向上移位规定的量。蒸镀掩模70的移位量例如可以设定为小于掩模开口71的X轴方向的间距的规定值或该规定值的整数倍。在该状态下，使基板10与上述第一扫描相反地从图27A的纸面的右侧向左侧沿箭头10a扫描(移动)(第二扫描)。由此，如图27B所示，在基板10上形成第一蒸镀颗粒91a和第三蒸镀颗粒91c混合而成的条状的第二覆膜90c。在第一扫描和第二扫描中，蒸镀掩模70的掩模开口71的X轴方向位置不同，因此，在第二扫描中形成的第二覆膜90c相对于在第一扫描中形成的第一覆膜90b在X轴方向的不同位置形成。

在上述覆膜的形成工序中，例如在使用主体作为第一蒸镀颗粒91a的材料、使用发出红色光的发光性掺杂剂作为第二蒸镀颗粒91b的材料、使用发出绿色光的发光性掺杂剂作为第三蒸镀颗粒91c的材料的情况下，仅使基板10往复一次就能够形成红色的发光层23R和绿色的发光层23G(参照图3)。

在上述的例子中，能够通过改变构成第二和第三蒸镀颗粒91b、91c的掺杂剂的种类来形成红色、绿色、蓝色中的任意两种颜色的发光层。

这样，根据本实施方式6，能够在同一真空腔室内共有主体用的蒸镀源地形成组成不同的多种覆膜。而且，仅进行在基板10的每一次扫描中开闭第一和第二闸门87b、87c且使蒸镀掩模70移位这样极简单的操作。因此能够简化蒸镀装置的结构。还能够缩短蒸镀时间。由此，批量生产时的生产能力提高、生产率提高，能够提供低成本的有机EL显示装置。

在上述的例子中，多个第二限制开口82b和多个第三限制开口82c分别使用专用的第一闸门87b和第二闸门87c，但是也可以使单一的闸门移动以交替地关闭多个第二限制开口82b和多个第三限制开口82c。

闸门的配置位置是任意的。能够有选择地遮断朝向基板行进的多种蒸镀颗粒的粒流即可。例如可以以开闭蒸镀源开口的方式配置闸门。

在上述的例子中，第一和第二覆膜90b、90c的形成顺序是任意的。此外，可以不通过使基板10向往复方向的任一方向单方向地移动来形成第一和第二覆膜90b、90c的各覆膜，而通过例如使基板10往复移动来形成各覆膜。

在上述的例子中，可以进一步设置放出发出蓝色光的发光性掺杂剂的第四蒸镀颗粒的第四蒸镀源开口。在限制板单元80进一步形成第四蒸镀颗粒通过的多个第四限制开口。而且，利用该限制板单元80分别限制第四蒸镀颗粒在Y轴方向上的指向性，使得在假定没有蒸镀掩模70的情况下第四蒸镀颗粒附着的基板10上的第四区域与第一～第三区域92a～92c基本一致。通过择一地依次打开第二、第三和第四限制开口、并且使蒸镀掩模70在X轴方向上依次偏移位置，能够依次形成红色的发光层23R、绿色的发光层23G和蓝色的发光层23B(参照图3)。

在上述的例子中，为了在基板10上、在X轴方向的不同位置形成不同组成的覆膜，在每形成各组成的覆膜时使蒸镀掩模70在X轴方向上移动。但是本发明并不仅限于此，例如也可以每次在用于形成各组成的覆膜的基板10的Y轴方向的移动(扫描)结束时，使基板10在X轴方向上移动。用于使基板10在X轴方向上移动的基板移位机构的结构并无特别限制，能够与上述的掩模移位机构73同样地构成。

本实施方式6除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式6中也能够适用。此外，在实施方式2～5中说明的各种变更例在本实施方式6中也能够适用。

(实施方式7)

图28是表示本实施方式7的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。在本实施方式7中，对具有与在实施方式1～6中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。

本实施方式7的限制板单元80的基本结构与在实施方式5中说明的图26相同。但是，在本实施方式7中，如图28所示，限制板单元80分别限制第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c在Y轴方向上的指向性，使得将假定没有蒸镀掩模70的情况下第一、第二和第三蒸镀颗粒91a、91b、91c分别附着的基板10上的区域依次设为第一、第二和第三区域92a、92b、92c时，第二区域92b和第三区域92c被包括在第一区域92a中，且第二区域92b与第三区域92c不重合。第二区域92b与第三区域92c在Y轴方向上分离。

图29A是本实施方式7的蒸镀装置中使用的蒸镀掩模70的平面图。在图29A中，同时表示图28所示的第二区域92b和第三区域92c的Y轴方向位置在蒸镀掩模70中与哪里对应。

如图29A所示，在蒸镀掩模70，多个第一掩模开口71b和多个第二掩模开口71c分别沿着X轴方向形成。多个第一掩模开口71b和多个第二掩模开口71c，其X轴方向间距相同，但是其X轴方向位置不同。多个第一掩模开口71b在与第二区域92b对应的蒸镀掩模70的区域内形成，多个第二掩模开口71c在与第三区域92c对应的蒸镀掩模70的区域内形成。

如图28所示，使基板10从图28的纸面的右侧向左侧向箭头10a的方向移动。由此，在基板10上，首先，通过第一掩模开口71b的第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合并附着而形成条状的第一覆膜90b，接着，通过第二掩模开口71c的第一蒸镀颗粒91a与第三蒸镀颗粒91c混合并附着而形成条状的第二覆膜90c。图29B是表示在基板10上形成的第一覆膜90b和第二覆膜90c的、沿着与基板10的移动方向10a垂直的面的截面图。如图所示，与实施方式6(参照图27)同样地交替形成第一覆膜90b和第二覆膜90c。

在上述覆膜的形成工序中，例如在使用主体作为第一蒸镀颗粒91a的材料、使用发出红色光的发光性掺杂剂作为第二蒸镀颗粒91b的材料、使用发出绿色光的发光性掺杂剂作为第三蒸镀颗粒91c的材料的情况下，仅使基板10沿箭头10a向一个方向移动就能够形成红色的发光层23R和绿色的发光层23G(参照图3)。

在上述的例子中，能够通过改变构成第二和第三蒸镀颗粒91b、91c的掺杂剂的种类来形成红色、绿色、蓝色中的任意两种颜色的发光层。

这样，根据本实施方式7，能够在同一真空腔室内共有主体用的蒸镀源地形成组成不同的多种覆膜。因此能够简化蒸镀装置的结构。还能够缩短蒸镀时间。由此，批量生产时的生产能力提高、生产率提高，能够提供低成本的有机EL显示装置。

本实施方式7不需要实施方式6中使用的、遮断朝向基板10行进的蒸镀颗粒的粒流的闸门(第一闸门87b和第二闸门87c)和用于使蒸镀掩模70在X轴方向上移动的掩模移位机构73。因此，与实施方式6相比，能够简化蒸镀装置的结构。

基板10的移动方向可以与上述的例子相反。还可以使基板10往复移动。

在上述的例子中，可以进一步设置放出发出蓝色光的发光性掺杂剂的第四蒸镀颗粒的第四蒸镀源开口。在限制板单元80进一步形成第四蒸镀颗粒通过的多个第四限制开口。而且，利用该限制板单元80分别限制第四蒸镀颗粒在Y轴方向上的指向性，使得假定没有蒸镀掩模70的情况下第四蒸镀颗粒附着的基板10上的第四区域被包括在第一区域92a中，且与第二区域92b和第三区域92c中的任意区域均不重合。在蒸镀掩模70，在相当于第四区域的区域，沿着X轴方向形成与第一和第二掩模开口71b、71c的X轴方向间距相同、X轴方向位置不同的多个第三掩模开口。通过使用这样的蒸镀装置使基板10移动，能够形成红色的发光层23R、绿色的发光层23G和蓝色的发光层23B(参照图3)。

本实施方式7除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式6中也能够适用。此外，在实施方式2～6中说明的各种变更例在本实施方式7中也能够适用。

(实施方式8)

本实施方式8的蒸镀装置，除了蒸镀掩模70以外与实施方式7的蒸镀装置(参照图28)相同。图30A是本实施方式8的蒸镀装置中使用的蒸镀掩模70的平面图。如图所示，在蒸镀掩模70形成有单一的掩模开口71。掩模开口71从与第二区域92b对应的区域达到与第三区域92c对应的区域。

如图28所示，使基板10从图28的纸面的右侧向左侧在箭头10a的方向移动。由此，在基板10上，首先，在第二区域92b，第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b混合并附着而形成第一混合层96b，接着，在第二区域92b与第三区域92c之间的区域，仅第一蒸镀颗粒91a附着而形成第一材料层99a，最后，在第三区域92c，第一蒸镀颗粒91a和第三蒸镀颗粒91c混合并附着而形成第二混合层96c。图30B是表示这样在基板10上形成的、包括第一混合层96b、第一材料层99a和第二混合层96c的三层结构的覆膜90的厚度方向的放大截面图。

在上述覆膜90的形成工序中，例如在使用主体作为第一蒸镀颗粒91a的材料、使用发出红色光的发光性掺杂剂作为第二蒸镀颗粒91b的材料、使用发出绿色光的发光性掺杂剂作为第三蒸镀颗粒91c的材料的情况下，仅使基板10沿箭头10a向一个方向移动就能够形成发出彼此不同的颜色的光的2层在厚度方向上叠层的发光层。

能够通过改变构成第一蒸镀颗粒91a的主体和构成第二及第三蒸镀颗粒91b、91c的掺杂剂的种类来使覆膜90作为主体发出所期望的颜色(例如白色)的光。具备这样的覆膜90作为发光层的有机EL元件例如能够用作照明用的面状发光体。

这样，根据本实施方式8，能够在同一真空腔室内共有主体用的蒸镀源地形成组成不同的多层叠层而成的覆膜。因此能够简化蒸镀装置的结构，还能够缩短蒸镀时间。由此，批量生产时的生产能力提高、生产率提高，能够提供低成本的有机EL显示装置。

基板10的移动方向可以与上述的例子相反。在这种情况下，构成覆膜90的层结构与图30B上下反转。

蒸镀掩模70的掩模开口71的形状并不限定于图30A。掩模开口71只要从第二区域92b所对应的区域沿Y轴方向延伸至第三区域92c所对应的区域即可。

本实施方式8除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式8中也能够适用。此外，在实施方式2～7中说明的各种变更例在本实施方式8中也能够适用。

(实施方式9)

在上述的实施方式1～8中，基板10在相对于蒸镀掩模70离开一定间隔的状态下、相对于包括蒸镀掩模70的蒸镀单元50相对地移动。与此相对，在本实施方式9中，蒸镀掩模70被固定在基板10上，基板10和蒸镀掩模70所成的整体相对于包括蒸镀源60和限制板单元80的蒸镀单元50相对地移动。

图31是表示本实施方式9的蒸镀装置的基本结构的立体图。图32是表示本实施方式9的蒸镀装置中、在基板10上形成覆膜的状态的、沿着与基板10的移动方向10a平行的面的截面图。在本实施方式9中，对具有与在实施方式1～8中说明的部件对应的部件标注相同的附图标记，省略对它们重复的说明。以下，以与实施方式1的不同点为中心对本实施方式9进行说明。

蒸镀掩模70叠层在基板10上而一体化。因此，蒸镀掩模70具有能够覆盖基板10的整个被蒸镀面的尺寸。在基板10，形成与要在基板10上形成的覆膜的图案相应的掩模开口(未图示)。基板10与蒸镀掩模70所成的整体通过未图示的移动机构、以一定速度沿着与Y轴平行的移动方向10a扫描(移动)。基板10的移动既可以为往复移动，或者也可以为仅朝向任一方向的单方向移动。

蒸镀源60包括第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b。第一蒸镀源60a和第二蒸镀源60b在其上表面(即，与蒸镀掩模70相对的面)分别具备第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b。第一蒸镀源开口61a和多个第二蒸镀源开口61b具有沿着X轴方向延伸的狭缝形状。

在限制板单元80形成有第一限制开口82a和第二限制开口82b。第一限制开口82a和第二限制开口82b隔着分隔壁板85在Y轴方向上相邻。在Y轴方向上将第一和第二限制板开口82a、82b分别隔开的实施方式1的第一和第二限制板81a、81b(参照图5)在本实施方式9中不设置。

从第一蒸镀源开口61a放出的第一蒸镀颗粒91a依次通过限制板单元80的第一限制开口82a、蒸镀掩模70的掩模开口，附着在基板10上。从第二蒸镀源开口61b放出的第二蒸镀颗粒91b依次通过限制板单元80的第二限制开口82b、蒸镀掩模70的掩模开口，附着在基板10上。

如图32所示，与实施方式1相同，限制板单元80限制朝向基板10行进的第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b在Y轴方向上的指向性，使得将假定没有蒸镀掩模70的情况下第一蒸镀颗粒91a和第二蒸镀颗粒91b附着的基板10上的区域设为第一区域92a和第二区域92b时，沿着X轴方向观察时第一区域92a与第二区域92b基本一致。因此，当基板10与蒸镀掩模70所成的整体通过第一和第二区域92a、92b时，第一和第二蒸镀颗粒91a、91b通过蒸镀掩模70的掩模开口而附着在基板10上，能够形成第一蒸镀颗粒91a与第二蒸镀颗粒91b的混合比率在厚度方向上一定的覆膜。

在基板10上形成与在蒸镀掩模70形成的掩模开口相同的图案的覆膜。与实施方式1～8不同，能够容易地形成在Y轴方向上不连续的图案的覆膜。

在本实施方式9中，由于蒸镀掩模70被固定在基板10上，因此基板10与蒸镀掩模70的间隔比实施方式1小。因此，在理论上覆膜的端部边缘的模糊部分90e(参照图11)的宽度We减小。因此，与实施方式1不同，缺乏限制向蒸镀掩模70的掩模开口入射的第一和第二蒸镀颗粒91a、91b的X轴方向的入射角的必要性。因此，在本实施方式9中，与实施方式1不同，在限制板单元80中省略第一和第二限制板81a、81b，并且使第一和第二蒸镀源开口61a、61b为狭缝形状。由此，能够提高蒸镀速率，提高批量生产时的生产能力。但是，也可以与实施方式1同样在限制板单元80设置第一和第二限制板81a、81b，还可以使第一和第二蒸镀源开口61a、61b为喷嘴形状。例如在基板10和蒸镀掩模70大型化的情况下等、难以使基板10与蒸镀掩模70紧贴的情况下，这是非常有效的。

本实施方式9除了上述说明以外与实施方式1相同。实施方式1中的说明在本实施方式9中也能够适用。此外，在实施方式2～5、8中说明的各种变更例在本实施方式9中也能够适用。

上述的实施方式1～9只不过是例示。本发明并不限定于上述实施方式1～9，能够进行适当的变更。

蒸镀源60的蒸镀源开口的形状可以任意地设定。例如，实施方式1～8的蒸镀源开口可以为实施方式9中所示的、在X轴方向上延伸的狭缝形状。

在基板10的X轴方向尺寸大的情况下，可以使上述各实施方式所示的蒸镀单元50的X轴方向位置和Y轴方向位置变化地配置多个。

限制板单元的、规定限制开口82a、82b、82c的内周面在上述实施方式1～9中为与Z轴平行的平面，但是本发明并不仅限于此。例如也可以为相对于Z轴倾斜的倾斜面或曲面。还可以为将平面和曲面组合两个以上而构成的复合面。

在上述实施方式1～9中，基板10相对于不动的蒸镀单元50移动，但是本发明并不仅限于此，只要使蒸镀单元50和基板10中的一方相对于另一方相对地移动即可。例如，可以使基板10的位置一定、使蒸镀单元50移动，或者，还可以使蒸镀单元50和基板10两者移动。

在上述实施方式1～9中，将基板10配置在蒸镀单元50的上方，但是蒸镀单元50与基板10的相对位置关系并不限定于此。例如，可以将基板10配置在蒸镀单元50的下方，或者，还可以将蒸镀单元50和基板10在水平方向上相对地配置。

在上述实施方式1～9中，以形成有机EL元件的发光层的情况为例进行了说明，但是本发明能够在利用蒸镀法形成有机EL元件的发光层以外的各种薄膜的情况下利用。

产业上的可利用性

本发明的蒸镀装置和蒸镀方法的利用领域并无特别限定，能够优选用于有机EL显示装置的发光层的形成。

附图标记的说明

10：基板；10a：第一方向；10e：被蒸镀面；20：有机EL元件；23R、23G、23B：发光层；50：蒸镀单元；56：移动机构；60：蒸镀源；60a：第一蒸镀源；60b：第二蒸镀源；60c：第三蒸镀源；61a：第一蒸镀源；61b：第二蒸镀源；61c：第三蒸镀源；70：蒸镀掩模；71：掩模开口；71b：第一掩模开口；71c：第二掩模开口；73：掩模移位机构：80：限制板单元；80a：第一限制板单元；80b：第二限制板单元；81a：第一限制板；81b：第二限制板；81c：第三限制板；82a：第一限制开口；82b：第二限制开口；82c：第三限制开口；85：分隔壁板；85b：第一分隔壁板；85c：第二分隔壁板；87b：第一闸门；87c：第二闸门；90：覆膜；90b：第一覆膜；90c：第二覆膜；90e：模糊部分；90m：覆膜主要部分；91a：第一蒸镀颗粒；91b：第二蒸镀颗粒；91c：第三蒸镀颗粒；92a：第一区域；92b：第二区域；92c：第三区域；96b：第一混合层；96c：第二混合层；99a：第一材料层；99m：混合层。

Claims (34)

1.一种蒸镀装置，其是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模、在基板上形成与所述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，所述蒸镀装置的特征在于，包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从所述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的多个第一限制开口、和从所述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口；和

移动机构，其使所述基板和所述蒸镀单元中的一方沿着与所述基板的法线方向正交的第一方向相对于另一方相对地移动，

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述多个第一限制开口和所述多个第二限制开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得将假定没有所述蒸镀掩模的情况下所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒附着的所述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与所述第一方向和所述基板的法线方向正交的第二方向观察时所述第二区域被包括在所述第一区域中，

所述多个第一限制开口在所述第二方向由多个第一限制板划分，

所述多个第二限制开口在所述第二方向由多个第二限制板划分，

所述多个第一限制板限制向所述掩模开口入射的所述第一蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度，

所述多个第二限制板限制向所述掩模开口入射的所述第二蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。

2.一种蒸镀装置，其是通过形成有掩模开口的蒸镀掩模、在基板上形成与所述掩模开口的开口形状对应的图案的覆膜的蒸镀装置，所述蒸镀装置的其特征在于，包括：

蒸镀单元，其具备蒸镀源和限制板单元，该蒸镀源具备至少一个第一蒸镀源开口和至少一个第二蒸镀源开口，该限制板单元形成有从所述至少一个第一蒸镀源开口放出的第一蒸镀颗粒通过的仅一个第一限制开口、和从所述至少一个第二蒸镀源开口放出的第二蒸镀颗粒通过的多个第二限制开口；和

移动机构，其使所述基板和所述蒸镀单元中的一方沿着与所述基板的法线方向正交的第一方向相对于另一方相对地移动，

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述仅一个第一限制开口和所述多个第二限制开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得将假定没有所述蒸镀掩模的情况下所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒附着的所述基板上的区域分别设为第一区域和第二区域时，沿着与所述第一方向和所述基板的法线方向正交的第二方向观察时所述第二区域被包括在所述第一区域中，

所述多个第二限制开口在所述第二方向由多个第二限制板划分，

所述多个第二限制板限制向所述掩模开口入射的所述第二蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得所述第一区域和所述第二区域在所述第一方向上的位置一致。

4.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得在所述第一方向上所述第一区域超出所述第二区域。

5.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口中的至少一方以其开口方向朝向对方侧的方式倾斜。

6.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口设置于共同的蒸镀源。

7.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述第一限制开口和所述多个第二限制开口形成于共同的限制板单元。

8.如权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元在所述第一方向上相邻的所述第一限制开口与所述多个第二限制开口之间具备分隔壁板，

所述分隔壁板的所述基板一侧的面与所述限制板单元的除了所述分隔壁板以外的部分的所述基板一侧的面相比，配置在远离所述基板的位置。

9.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元具备彼此独立的、形成有所述第一限制开口的第一限制板单元和形成有所述多个第二限制开口的第二限制板单元。

10.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀源还包括至少一个第三蒸镀源开口，

所述限制板单元进一步形成有从所述至少一个第三蒸镀源开口放出的第三蒸镀颗粒通过的至少一个第三限制开口，

所述至少一个第三蒸镀源开口与所述至少一个第一蒸镀源开口和所述至少一个第二蒸镀源开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述至少一个第三限制开口与所述第一限制开口和所述多个第二限制开口配置在所述第一方向的不同位置，

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第三蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得将假定没有所述蒸镀掩模的情况下所述第三蒸镀颗粒附着的所述基板上的区域设为第三区域时，沿着所述第二方向观察时所述第三区域被包括在所述第一区域中。

11.如权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域在所述第一方向上的位置一致。

12.如权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得所述第二区域和所述第三区域在所述第一方向上的位置一致、且在所述第一方向上所述第一区域超出所述第二区域和所述第三区域。

13.如权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀装置还包括闸门和移位机构，

该闸门均有选择地遮断朝向所述基板行进的所述第二蒸镀颗粒的粒流和所述第三蒸镀颗粒的粒流中的任一粒流，

该移位机构使所述蒸镀掩模或所述基板在所述第二方向上移动。

14.如权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元限制朝向所述基板行进的所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒在所述第一方向上的指向性，使得在沿着所述第二方向观察时所述第二区域与所述第三区域彼此不重合、且所述第一区域包括所述第二区域和所述第三区域。

15.如权利要求14所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀单元具备所述蒸镀掩模，

形成于所述蒸镀掩模的所述掩模开口包括在与所述第二区域对应的所述蒸镀掩模的区域内形成的第一掩模开口、和在与所述第三区域对应的所述蒸镀掩模的区域内形成的第二掩模开口，

所述第一掩模开口和所述第二掩模开口配置在所述第二方向上彼此不同的位置。

16.如权利要求14所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀单元具备所述蒸镀掩模，

形成于所述蒸镀掩模的所述掩模开口从与所述第二区域对应的区域沿所述第一方向延伸至与所述第三区域对应的区域。

17.如权利要求10所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述限制板单元形成有所述第三蒸镀颗粒通过的多个第三限制开口，

所述多个第三限制开口在所述第二方向上由多个第三限制板划分，

所述多个第三限制板限制向所述掩模开口入射的所述第三蒸镀颗粒在所述第二方向上的入射角度。

18.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀单元具备所述蒸镀掩模，

所述移动机构以使所述基板与所述蒸镀掩模离开一定间隔的状态使所述基板和所述蒸镀单元中的一方相对于另一方沿着所述第一方向相对地移动。

19.如权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述蒸镀掩模被固定于所述基板。

20.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，所述蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求1或2所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序。

21.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求1或2所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒混合而成的部分。

22.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求3所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

在所述覆膜中，所述第一蒸镀颗粒与所述第二蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定。

23.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求2所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括覆膜主要部分和模糊部分，该覆膜主要部分为所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒混合而成，该模糊部分在所述覆膜主要部分的所述第二方向的两侧形成，仅包括所述第一蒸镀颗粒。

24.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求4所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括混合层和第一材料层，该混合层为所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒混合而成，该第一材料层叠层在所述混合层的至少一侧，仅包括所述第一蒸镀颗粒。

25.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求10所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒混合而成的部分。

26.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求11所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

在所述覆膜中，所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒的混合比率在厚度方向上一定。

27.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求10所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括覆膜主要部分和模糊部分，该覆膜主要部分为所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒混合而成，该模糊部分在所述覆膜主要部分的所述第二方向的两侧形成，仅包括所述第一蒸镀颗粒。

28.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求12所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括混合层和第一材料层，该混合层为所述第一蒸镀颗粒、所述第二蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒混合而成，该第一材料层叠层在所述混合层的至少一侧，仅包括所述第一蒸镀颗粒。

29.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求13所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

在所述基板上的不同位置形成第一覆膜和第二覆膜，该第一覆膜为所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒混合而成，该第二覆膜为所述第一蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒混合而成。

30.一种蒸镀方法，其具有使蒸镀颗粒附着在基板上而形成规定图案的覆膜的蒸镀工序，该蒸镀方法的特征在于：

使用权利要求16所述的蒸镀装置进行所述蒸镀工序，

所述覆膜包括第一混合层和第二混合层，该第一混合层为所述第一蒸镀颗粒和所述第二蒸镀颗粒混合而成，该第二混合层为所述第一蒸镀颗粒和所述第三蒸镀颗粒混合而成。

31.如权利要求30所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述覆膜在所述第一混合层与所述第二混合层之间包含仅包括所述第一颗粒的第一材料层。

32.如权利要求20所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述第一蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的主体，所述第二蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的掺杂剂。

33.如权利要求25所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述第三蒸镀颗粒的材料为构成有机EL元件的发光层的掺杂剂。

34.如权利要求20所述的蒸镀方法，其特征在于：

所述覆膜为有机EL元件的发光层。