CN205999474U - 真空蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种真空蒸镀装置，属于蒸镀技术领域。所述装置包括：材料容器及回收结构；材料容器的上端面设置有喷嘴，回收结构设置在喷嘴的周围，在喷嘴喷出的材料回落时，回收结构能够承接材料。本实用新型通过设置回收结构，在沉积的材料回落的时候，能够承接回落的材料，保证了喷嘴不会被回落的材料堵塞。

Description

真空蒸镀装置
技术领域
本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种真空蒸镀装置。
背景技术
随着电子技术的不断发展，有机发光显示器件作为新一代的显示方式，得到了广泛的应用。在有机发光面板的制造过程中，需要在衬底基板上形成有机发光层，即在衬底基板上沉积有机发光二极管。目前，有机发光二极管主要采用加热蒸发镀膜的方式进行沉积。然而在蒸镀过程中，材料蒸汽从材料容器出来后向四面八方喷射出去，其喷射角度最大可达180°，而衬底基板的面积有限，辐射到衬底基板以外的材料蒸汽会被损耗，降低了材料的利用率，进而增加制造成本。
图1为现有技术的真空蒸镀装置0的结构示意图，如图1所示，现有技术中通过在材料容器00上设置角度板01，使得辐射到衬底基板02以外的材料蒸汽附着在角度板01上边，从而解决材料蒸汽辐射到衬底基板02外造成浪费的问题。
但是，利用真空蒸镀装置进行蒸发镀膜的时候，随着蒸镀时间的增加，蒸镀到角度板上边的蒸镀材料越来越多，极易掉落，造成喷嘴堵塞，进而影响产能，同时增加生产成本。
发明内容
为了解决由于角度板上沉积的材料掉落，导致喷嘴堵塞的问题，本实用新型实施例提供了一种真空蒸镀装置。所述技术方案如下：
一方面，本实用新型提供一种真空蒸镀装置，所述装置包括：
材料容器及回收结构；
所述材料容器的上端面设置有喷嘴，所述回收结构设置在所述喷嘴的周围，在所述喷嘴喷出的材料回落时，所述回收结构能够承接所述材料。
可选的，所述回收结构包括围绕在所述喷嘴周围的角度板，所述角度板为沿远离所述喷嘴的方向上行的阶梯状弯折结构。
可选的，所述回收结构包括围绕在所述喷嘴周围的角度板，所述角度板垂直所述材料容器的上端面设置，所述角度板上端内侧设置有挡板，所述角度板的内壁设置有至少一个回收板。
可选的，所述回收板在所述上端面的正投影与所述喷嘴在所述上端面的正投影不重叠。
可选的，所述角度板的内壁设置有至少两个回收板，每个所述回收板一端与所述角度板的内壁连接，所述至少两个回收板沿远离所述喷嘴的方向，开口面积依次减小。
可选的，每个所述回收板为向上弯曲的曲面板。
可选的，所述至少两个回收板沿所述角度板的高度方向等间距排布。
可选的，所述角度板与所述材料容器可拆卸连接。
可选的，所述挡板朝向所述喷嘴延伸，所述挡板在所述上端面的正投影与所述喷嘴在所述上端面的正投影不重叠。
可选的，所述挡板在所述上端面的正投影在所述回收板在所述上端面的正投影内。
可选的，所述材料容器为线性材料容器。
本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
本实用新型提供的真空蒸镀装置，通过设置回收结构，在沉积的材料回落的时候，能够承接回落的材料，保证了喷嘴不会被回落的材料堵塞。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型一示意性实施例提供的一种真空蒸镀装置的结构示意图；
图2是本实用新型一示意性实施例提供的另一种真空蒸镀装置的结构示意图；
图3是本实用新型一示意性实施例提供的又一种真空蒸镀装置的结构示意图；
图4是本实用新型一示意性实施例提供的一种回收结构的设计示意图；
图5是本实用新型一示意性实施例提供的再一种真空蒸镀装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
本实用新型实施例提供一种真空蒸镀装置1，如图2和图3所示，包括：
材料容器11及回收结构12。例如，材料容器11为线性材料容器。
材料容器11的上端面设置有喷嘴13，回收结构12设置在喷嘴13的周围，在喷嘴13喷出的材料回落时，回收结构12能够承接材料。
综上所述，本实用新型实施例提供的真空蒸镀装置，通过设置回收结构，在沉积的材料回落的时候，能够承接回落的材料，保证了喷嘴不会被回落的材料堵塞。
可选的，如图2所示，回收结构12可以包括围绕在喷嘴周围的角度板121，角度板121为沿远离喷嘴13的方向上行的阶梯状弯折结构。
本实用新型实施例的回收结构可以为沿远离喷嘴方向上行的阶梯状弯折结构的角度板，沉积在角度板内壁的材料在回落的时候，可以被横向的台阶承接住，保证喷嘴不会被堵塞。
可选的，如图3中所示，回收结构12可以包括围绕在喷嘴周围的角度板121，角度板121垂直材料容器11的上端面设置，角度板121上端内侧设置有挡板122，角度板121的内壁设置有至少一个回收板123。实际应用中，回收板123可以至少为两个，每个回收板123一端与角度板121的内壁连接，至少两个回收板123沿远离喷嘴13的方向，开口面积依次减小。
本实用新型实施例的回收结构也可以为上端内侧设置有挡板，内壁设置有回收板的角度板，回收板可以采用焊接的方式和角度板连接，当角度板内壁沉积的材料回落的时候，可以被内壁设置的回收板承接住，保证喷嘴不会被掉落的材料堵塞。实际应用中，可以设置回收板与角度板的内壁连接，沿远离喷嘴的方向，开口面积不变，也可以设置为回收板与角度板内壁连接，沿远离喷嘴的方向，开口面积减小。开口面积依次较小，能够节省制造成本，且最靠近喷嘴的回收板面积最大，当上边面积较小的回收板上承接的材料掉落或面积较小的回收板未能完全承接掉落的材料时，底下最大面积的回收板能将其承接。其中，每个回收板123为向上弯曲的曲面板。选择向上弯曲的曲面板，可以更加有效的将掉落的材料承接。回收板还可以为图4中所示的回收板，在回收板未与角度板连接的一端设置向角度板方向倾斜的结构，这样可以使得回收板上承接的材料不易掉落。本实用新型实施例对于具体的回收板形状不做限定，可以根据实际情况选择其他的形状作为回收板的形状。
进一步的，图3中的回收板123在上端面的正投影与喷嘴13在上端面的正投影不重叠，避免回收板影响喷嘴的正常工作。并且，挡板122可以朝向喷嘴13延伸，挡板122在上端面的正投影与喷嘴13在上端面的正投影不重叠，避免挡板影响喷嘴的正常工作。
实际应用中，回收板和档板均与真空蒸镀装置工作时的蒸镀角没有交集，该蒸镀角为真空蒸镀装置工作时，从角度板最上端出射的材料刚好能将衬底基板覆盖的材料出射角，示例的，该蒸镀角可以为图3中的角度A。这样可以保证回收板和档板不会影响真空蒸镀装置的正常工作。实际应用中，不同的衬底基板加工时对应的蒸镀角各不相同，回收结构对应不同的蒸镀角时，需要进行相应的调整。同时，挡板122在上端面的正投影在回收板123在上端面的正投影内，这样可以保证沉积在挡板上的材料掉落时，能被回收板承接。
可选的，图3中至少两个回收板123沿角度板121的高度方向h等间距排布。本实用新型实施例对于回收板的排布方式不做限定，例如可以为沿角度板的高度方向等间距的排布方式。角度板121与材料容器11可拆卸连接，方便后期对角度板的维护清洗。
需要说明的是，在对衬底基板进行蒸发镀膜操作的时候，通常需要将多个真空蒸镀装置组装在一起对衬底基板进行蒸发镀膜操作，每个真空蒸镀装置均可以为本实用新型实施例图2或图3提供的真空蒸镀装置1，示例的，可以如图5所示，可以将3个真空蒸镀装置组装在一起，在组装该3个真空蒸镀装置时候，3个真空蒸镀装置可以线性阵列排布，且每个真空蒸镀装置材料容器的长度方向平行，确保各个真空蒸镀装置上设置的回收结构之间互不影响，同时，在实际应用中，真空蒸镀装置的喷嘴可以根据情况进行调节，如图5所示，左右两侧的真空蒸镀装置的喷嘴可以向内侧倾斜。
综上所述，本实用新型实施例提供的真空蒸镀装置，通过设置回收结构，在沉积的材料回落的时候，能够承接回落的材料，保证了喷嘴不会被回落的材料堵塞。
以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种真空蒸镀装置，其特征在于，包括：
材料容器及回收结构；
所述材料容器的上端面设置有喷嘴，所述回收结构设置在所述喷嘴的周围，在所述喷嘴喷出的材料回落时，所述回收结构能够承接所述材料。
2.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
所述回收结构包括围绕在所述喷嘴周围的角度板，所述角度板为沿远离所述喷嘴的方向上行的阶梯状弯折结构。
3.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
所述回收结构包括围绕在所述喷嘴周围的角度板，所述角度板垂直所述材料容器的上端面设置，所述角度板上端内侧设置有挡板，所述角度板的内壁设置有至少一个回收板。
4.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
所述回收板在所述上端面的正投影与所述喷嘴在所述上端面的正投影不重叠。
5.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
所述角度板的内壁设置有至少两个回收板，每个所述回收板一端与所述角度板的内壁连接，所述至少两个回收板沿远离所述喷嘴的方向，开口面积依次减小。
6.根据权利要求5所述的真空蒸镀装置，其特征在于，
每个所述回收板为向上弯曲的曲面板。
7.根据权利要求4所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述至少两个回收板沿所述角度板的高度方向等间距排布。
8.根据权利要求2或3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述角度板与所述材料容器可拆卸连接。
9.根据权利要求3所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述挡板朝向所述喷嘴延伸，所述挡板在所述上端面的正投影与所述喷嘴在所述上端面的正投影不重叠。
10.根据权利要求9所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述挡板在所述上端面的正投影在所述回收板在所述上端面的正投影内。
11.根据权利要求1所述的真空蒸镀装置，其特征在于，所述材料容器为线性材料容器。
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